[go: up one dir, main page]

RU52749U1 - DEVICE FOR PRODUCING MONODISPERSED SPHERICAL GRANULES - Google Patents

DEVICE FOR PRODUCING MONODISPERSED SPHERICAL GRANULES Download PDF

Info

Publication number
RU52749U1
RU52749U1 RU2005137197/22U RU2005137197U RU52749U1 RU 52749 U1 RU52749 U1 RU 52749U1 RU 2005137197/22 U RU2005137197/22 U RU 2005137197/22U RU 2005137197 U RU2005137197 U RU 2005137197U RU 52749 U1 RU52749 U1 RU 52749U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
crucible
unit
melt
heat exchange
exchange chamber
Prior art date
Application number
RU2005137197/22U
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Василий Борисович Анкудинов
Максим Геннадьевич Клёнов
Юрий Александрович Марухин
Владимир Павлович Огородников
Original Assignee
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский энергетический институт (технический университет)" (ГОУВПО "МЭИ (ТУ)"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский энергетический институт (технический университет)" (ГОУВПО "МЭИ (ТУ)" filed Critical Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский энергетический институт (технический университет)" (ГОУВПО "МЭИ (ТУ)"
Priority to RU2005137197/22U priority Critical patent/RU52749U1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU52749U1 publication Critical patent/RU52749U1/en

Links

Landscapes

  • Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)

Abstract

Полезная модель относится к порошковой металлургии и позволяет повысить надежность устройства получения монодисперсных сферических гранул. Устройство содержит емкость 1 для дозагрузки исходного диспергируемого материала 2, содержащего по крайней мере один из группы редкоземельных элементов, верхний затвор 3, установленный на выходе емкости 1, блок измерения уровня 4 расплава 5, поддавливаемого газом с помощью блока 6. Расплав 5 расположен в нагреваемом тигле 7 с закрепленной на его дне фильере 8, выполненной из тугоплавкого металла, и установленной на входе теплообменной камеры 9. Устройство также содержит блок возмущения 10 струи 11, вытекающей из фильеры 8, заряжающий электрод 12, расположенный вокруг зоны распада струи 11 на капли 13 и подключенный к зарядному блоку 14, отклоняющие электроды 15, установленные внутри теплообменной камеры 9 и расположенные за заряжающим электродом 12 по ходу потока капель 13. Теплообменная камера 9 соединена с блоком очистки 16 охлаждающего инертного газа и регулятором его температуры 17 и имеет блок контроля 18 размера капель 13. Выходная часть 19 камеры 9 служит для сбора гранул 20 и имеет расположенный внутри сепаратор 21, служащий для сбора некондиционного материала 22, образующегося в пусковой период работы устройства, и нижний затвор 23, установленный на ее выходе. Тигель 7 соединен с одним концом трубы 24, имеющей электроклапан 25. Другой конец трубы 29 расположен в прозрачной емкости 26, заполненной жидкостью, например, водой. Загружают исходный диспергируемый материал в тигель 7 и емкость 1 при закрытых верхнем 3 и нижнем 23 затворах. Заполняют тигель 7, емкость для дозагрузки 1 и камеру 9 с через блок очистки 16 инертным газом. Расплавляют исходный материал в тигле 7, затем из емкости 1 в тигель 7 дополняют диспергируемый материал 2 до заданного уровня расплава 5. Блоком поддавливания 6 расплава 5 формируют ламинарную струю расплава 11, которая распадается под действием возмущения, формируемого блоком 10 с заданной частотой.The utility model relates to powder metallurgy and improves the reliability of the device for producing monodisperse spherical granules. The device contains a container 1 for reloading the initial dispersible material 2, containing at least one of the group of rare-earth elements, an upper shutter 3 installed at the outlet of the tank 1, a level measuring unit 4 of the melt 5, pressurized by gas using the unit 6. The melt 5 is located in the heated crucible 7 with a die 8 fixed on its bottom made of refractory metal and installed at the input of the heat exchange chamber 9. The device also contains a disturbance block 10 of the jet 11 flowing from the die 8, the charging electrode 12, p located around the decay zone of the jet 11 into droplets 13 and connected to the charging unit 14, deflecting electrodes 15 installed inside the heat exchange chamber 9 and located behind the charging electrode 12 in the direction of the droplet stream 13. The heat exchange chamber 9 is connected to the inert gas cooling treatment unit 16 and a regulator its temperature 17 and has a control unit 18 of the size of the drops 13. The output part 19 of the chamber 9 is used to collect granules 20 and has a separator 21 located inside, which serves to collect substandard material 22 formed in the launch Heat-work device and the lower shutter 23 mounted on its output. The crucible 7 is connected to one end of the pipe 24 having an electrovalve 25. The other end of the pipe 29 is located in a transparent container 26 filled with liquid, for example, water. Download the source dispersible material in the crucible 7 and the tank 1 with the closed upper 3 and lower 23 gates. The crucible 7, the refueling tank 1 and the chamber 9 s are filled through the purification unit 16 with inert gas. The starting material is melted in the crucible 7, then the dispersible material 2 is supplemented from the tank 1 to the crucible 7 to a predetermined melt level 5. The laminar stream of the melt 11 is formed by the blocking unit 6 of the melt 5, which decomposes under the action of a disturbance generated by the block 10 with a given frequency.

Description

Полезная модель относится к порошковой металлургии, в частности к устройствам производства монодисперсных материалов, применяемых в регенеративных теплообменниках.The utility model relates to powder metallurgy, in particular to devices for the production of monodisperse materials used in regenerative heat exchangers.

Известно устройство, реализующее способ получения монодисперсных сферических гранул (патент РФ N 2115514 МПК 6 В 22 Р 9/06, опуб. 20.07.1998 г.), содержащее нагреваемый тигель и закрепленную на его дне фильеру, блок возбуждения струи, блок поддавливания расплава, теплообменную камеру, регулятор температуры охлаждающего газа, сепаратор гранул, блок очистки охлаждающего газа и блок контроля размера гранул.A device is known that implements a method for producing monodisperse spherical granules (RF patent N 2115514 IPC 6 В 22 Р 9/06, publ. 07.20.1998), containing a heated crucible and a die attached to its bottom, a jet excitation unit, a melt suppression unit, a heat exchange chamber, a cooling gas temperature controller, a pellet separator, a cooling gas purification unit and a granule size control unit.

Однако это устройство имеет ограниченную по диаметру производимых гранул область применения в мелкодисперсной и крупнодисперсной областях, где не обеспечивается получение требуемого качества дисперсного материала.However, this device has a limited application in the diameter of the produced granules in the fine and coarse areas, where the required quality of the dispersed material is not ensured.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемо полезной модели является устройство получения монодиспесных гранул, реализующее способ, описанный в пат. RU №2174060, MПK7 B 22 Р 9/06, опубл. 17.09.2001, содержащее емкость для дозагрузки исходного диспергируемого материала, содержащего по крайней мере один из группы редкоземельных элементов: Y, La, Се, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Du, Tb, Dи, Но, Ег, Тm, Уb, верхний затвор, установленный на выходе емкости, блок измерения уровня расплава, поддавливаемого газом с помощью блока поддавливания. Расплав расположен в нагреваемом тигле с закрепленной на его дне фильере, выполненной из тугоплавкого металла, например молибдена, вольфрама или тантала, и установленной на входе теплообменной камеры. Устройство также содержит блок возмущения струи, вытекающей из фильеры, заряжающий электрод, расположенный вокруг зоны распада струи на капли и подключенный к зарядному блоку, отклоняющие электроды, установленные внутри теплообменной камеры и расположенные за заряжающим The closest in technical essence to the proposed utility model is a device for producing monodisperse granules that implements the method described in US Pat. RU No. 2174060, MPK 7 B 22 P 9/06, publ. 09/17/2001, containing a container for reloading the initial dispersible material containing at least one of the group of rare-earth elements: Y, La, Ce, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Du, Tb, Di, But, Er, Tm, Ub, the upper shutter installed at the outlet of the tank, the unit for measuring the level of the melt, pressurized by gas using the block pressurization. The melt is located in a heated crucible with a die fixed on its bottom made of refractory metal, such as molybdenum, tungsten or tantalum, and installed at the inlet of the heat exchange chamber. The device also contains a block of perturbation of the jet flowing out of the die, a charging electrode located around the zone of jet disintegration into droplets and connected to the charging block, deflecting electrodes installed inside the heat exchange chamber and located behind the charging chamber

электродом по ходу потока капель. Теплообменная камера соединена с блоком очистки охлаждающего инертного газа и регулятором его температуры и имеет блок контроля размера капель. Выходная часть теплообменной камеры служит для сбора монодисперсных гранул и имеет расположенный внутри сепаратор, служащий для сбора некондиционного материала, образующегося в пусковой период работы устройства, и нижний затвор, установленный на ее выходе.electrode along the stream of drops. The heat exchange chamber is connected to the inert gas cooling purification unit and its temperature controller and has a droplet size control unit. The output part of the heat exchange chamber serves to collect monodisperse granules and has a separator located inside, which serves to collect substandard material formed during the start-up period of the device, and a lower shutter installed at its outlet.

Однако в таком устройстве возможна полная или частичная закупорка (забивка) фильеры твердыми микрочастицами, присутствующими в расплаве и имеющими поперечный размер больший чем диаметр фильеры и, следовательно, это может привести к остановке процесса диспергирования материала, что, в свою очередь, приводит к снижению надежности работы устройства в целом.However, in such a device, full or partial blockage (blocking) of the die by solid microparticles present in the melt and having a transverse dimension larger than the diameter of the die is possible and, therefore, this can stop the dispersion of the material, which, in turn, leads to a decrease in reliability the operation of the device as a whole.

Технической задачей полезной модели является повышение надежности устройства получения монодисперсных сферических гранулThe technical task of the utility model is to increase the reliability of the device for producing monodisperse spherical granules

Технический результат достигается тем, что известное устройство получения монодисперсных сферических гранул, содержащее емкость для дозагрузки исходного диспергируемого материала, на выходе которой расположен верхний затвор, блок измерения уровня расплава, тигель с закрепленной на его дне фильерой, выполненной из тугоплавкого металла, например, молибдена, и установленной на входе теплообменной камеры, соединенной с блоком очистки, заряжающий электрод, подключенный к зарядному блоку, отклоняющие электроды, расположенные за заряжающим электродом и установленные внутри теплообменной, в выходной части которой установлен сепаратор и нижний затвор, снабжено трубой с электроклапаном, один конец которой соединен с тиглем, а другой опущен в сосуд с жидкостью, например, водой.The technical result is achieved by the fact that the known device for producing monodisperse spherical granules containing a container for reloading the initial dispersible material, at the outlet of which there is an upper shutter, a melt level measuring unit, a crucible with a die fixed on its bottom made of refractory metal, for example, molybdenum, and installed at the input of the heat exchange chamber connected to the cleaning unit, a charging electrode connected to the charging unit, deflecting electrodes located behind the charging electrode and installed inside the heat exchanger, at the outlet of which is mounted the separator and the bottom gate is provided with a pipe with a solenoid, one end of which is connected to the crucible, and the other is lowered into the vessel with a liquid, e.g., water.

Сущность изобретения поясняется чертежом, где на изображено устройство получения монодисперсных сферических гранул,The invention is illustrated in the drawing, which shows a device for producing monodisperse spherical granules,

Устройство получения монодисперсных сферических гранул, содержит емкость 1 для дозагрузки исходного диспергируемого материала 2, содержащего по крайней мере один из группы редкоземельных элементов: Y, La, Се, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Du, Tb, Dи, Но, Ег, Тm, Уb, верхний затвор 3, установленный на выходе емкости 1, блок измерения уровня 4 расплава 5, поддавливаемого газом с A device for producing monodisperse spherical granules, contains a container 1 for additional loading of the initial dispersible material 2, containing at least one of the group of rare-earth elements: Y, La, Ce, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Du, Tb, Di, But, Eg, Tm, Ub, the upper shutter 3 installed at the outlet of the tank 1, the unit for measuring the level 4 of the melt 5, pressurized with gas

помощью блока 6. Расплав 5 расположен в нагреваемом тигле 7 с закрепленной на его дне фильере 8, выполненной из тугоплавкого металла, например молибдена, вольфрама или тантала, и установленной на входе теплообменной камеры 9. Устройство также содержит блок возмущения 10 струи 11, вытекающей из фильеры 8, заряжающий электрод 12, расположенный вокруг зоны распада струи 11 на капли 13 и подключенный к зарядному блоку 14, отклоняющие электроды 15, установленные внутри теплообменной камеры 9 и расположенные за заряжающим электродом 12 по ходу потока капель 13. Теплообменная камера 9 соединена с блоком очистки 16 охлаждающего инертного газа и регулятором его температуры 17 и имеет блок контроля 18 размера капель 13. Выходная часть 19 теплообменной камеры 9 служит для сбора монодисперсных гранул 20 и имеет расположенный внутри сепаратор 21, служащий для сбора некондиционного материала 22, образующегося в пусковой период работы устройства, и нижний затвор 23, установленный на ее выходе. Тигель 7 соединен с одним концом трубы 24, имеющей электроклапан 25. Другой конец трубы 29 расположен в прозрачной емкости 26, заполненной жидкостью, например, водой.using block 6. The melt 5 is located in a heated crucible 7 with a die 8 fixed on its bottom, made of refractory metal, such as molybdenum, tungsten or tantalum, and installed at the inlet of the heat exchange chamber 9. The device also contains a disturbance block 10 of the jet 11 arising from die 8, a charging electrode 12 located around the decay zone of the jet 11 into droplets 13 and connected to the charging unit 14, deflecting electrodes 15 installed inside the heat exchange chamber 9 and located behind the charging electrode 12 along the stream of drops 13. The heat exchange chamber 9 is connected to the purification unit 16 of the cooling inert gas and its temperature regulator 17 and has a control unit 18 for droplet size 13. The output part 19 of the heat exchange chamber 9 is used to collect monodisperse granules 20 and has a separator 21 located inside, which serves to collect substandard material 22, formed in the starting period of the device, and the lower shutter 23 mounted on its output. The crucible 7 is connected to one end of the pipe 24 having an electrovalve 25. The other end of the pipe 29 is located in a transparent container 26 filled with liquid, for example, water.

Устройство получения монодисперсных сферических гранул работает следующим образом.A device for producing monodisperse spherical granules works as follows.

Загружают исходный диспергируемый химически активный материал в тигель 7 и емкость для дозагрузки 1 при закрытых верхнем 3 и нижнем 23 затворах. Заполняют тигель 7, емкость для дозагрузки 1 и теплообменную камеру 9 с выходной ее частью 19 через блок очистки 16 инертным газом с содержанием кислорода не более 0,0001 мол.%. Расплавляют исходный материал в тигле 7, затем из емкости дозагрузки 1 в тигель 7 дополняют диспергируемый материал 2 до заданного уровня расплава 5. Блоком поддавливания 6 расплава 5 формируют ламинарную струю расплава 11, которая распадается под действием возмущения, формируемого блоком 10 с заданной частотой.The initial dispersible chemically active material is loaded into the crucible 7 and the reloading tank 1 with the upper 3 and lower 23 gates closed. The crucible 7 is filled, the refueling tank 1 and the heat exchange chamber 9 with its outlet part 19 through the purification unit 16 with an inert gas with an oxygen content of not more than 0.0001 mol%. The starting material is melted in the crucible 7, then the dispersible material 2 is added from the reloading tank 1 to the crucible 7 to a predetermined melt level 5. A melt block 6 is formed by a melt pressing unit 6, which decomposes under the action of a disturbance generated by the block 10 with a given frequency.

На заряжающий электрод 12 от блока зарядки 14 подается увеличивающееся во времени ступенчатое напряжение, создающее заряжающее поле со ступенчато увеличивающейся во времени напряженностью. В этом поле происходит распад струи 11 и формирование капель 13. Начало каждой ступени напряжения An incremental voltage increasing in time is applied to the charging electrode 12 from the charging unit 14, which creates a charging field with intensity gradually increasing in time. In this field, the decay of jet 11 and the formation of droplets 13 occur. The beginning of each voltage step

синхронизировано с моментом формирования капли 13, так как блок зарядки 14 и блок возмущения 10 работают синхронно. Длительность ступени напряжения на заряжающем электроде 12 равна периоду синусоидального сигнала возбуждения, вызывающего распад струи 11 на капли 13.synchronized with the moment of formation of the droplet 13, since the charging unit 14 and the disturbance unit 10 operate synchronously. The duration of the voltage step on the charging electrode 12 is equal to the period of the sinusoidal excitation signal, causing the decay of the jet 11 into droplets 13.

Последовательный ряд капель 13 на выходе из заряжающего электрода 12 получает ступенчатое изменение заряда. После зарядки N капель цикл зарядки повторяется. В области действия отклоняющих электродов 15 происходит разделение капель с разными зарядами и формирование N разряженных потоков капель.A series of drops 13 at the exit of the charging electrode 12 receives a stepwise change in charge. After charging N drops, the charging cycle is repeated. In the field of action of the deflecting electrodes 15, droplets with different charges are separated and N discharged flows of droplets are formed.

В начальный пусковой период работы устройства при прохождении капель 13 внутри теплообменной камеры 9 и их кристаллизации образуются некондиционные гранулы 22, которые поступают в сепаратор 21. После стабилизации всех режимных параметров устройства и установления стационарного режима генерации капель 13 происходит формирование монодисперсных гранул 20, размер которых определяется блоком контроля 18, а заполняются они в выходной части 19 теплообменной камеры 9. В процессе работы устройства происходит уменьшение уровня расплава в тигле 7, измерение которого осуществляется блоком 4. При уменьшении уровня расплава более чем на 5% открывается верхний затвор 3 и производится дополнительное заполнение тигля 7 исходным диспергируемым материалом 2 до установления заданного уровня.In the initial starting period of operation of the device, when droplets 13 pass through the heat exchange chamber 9 and crystallize them, substandard granules 22 are formed, which enter the separator 21. After stabilization of all operating parameters of the device and establishment of a stationary mode of droplet generation 13, monodisperse granules 20 are formed, the size of which is determined the control unit 18, and they are filled in the output part 19 of the heat exchange chamber 9. During operation of the device, the melt level in the crucible 7 decreases the friction of which is carried out by block 4. When the melt level decreases by more than 5%, the upper shutter 3 opens and the crucible 7 is additionally filled with the initial dispersible material 2 until a specified level is established.

После заполнения выходной части 19 теплообменной камеры 9 монодисперсными гранулами открывается нижний затвор 23 и производится ее разгрузка.After filling the output part 19 of the heat exchange chamber 9 with monodisperse granules, the lower shutter 23 opens and is unloaded.

При закупорке фильеры 8 в теплообменную камеру 9 напускают инертный газ до давления P=Pг+РPизб,When the die 8 is blocked, an inert gas is injected into the heat exchange chamber 9 to a pressure P = P g + PP huts ,

где Pг - гидростатическое давление расплава;where P g is the hydrostatic pressure of the melt;

Pизб - избыточное давление, причем Pизб≫0.P huts - overpressure, and P huts ≫0.

Отключают блок поддавливания 6, открывают электроклапан 25, и давление в тигле 7 резко падает до давления окружающей среды Pатм, возникает обратный перепад давления на фильере 8. Твердые микрочастицы отбрасываются потоком инертного газа, который из теплообменной камеры 9 через фильеру 8 поступает The pressurization unit 6 is turned off, the electrovalve 25 is opened, and the pressure in the crucible 7 drops sharply to the ambient pressure P atm , a pressure differential across the die 8 occurs.

в тигель 7 и через электроклапан 25 с трубой 24, опущенной в прозрачную емкость 26 с жидкостью, например, с водой, выходит в виде пузырьков газа. Это показывает, что фильера 8 очищена от твердых микрочастиц.into the crucible 7 and through an electrovalve 25 with a pipe 24, lowered into a transparent container 26 with a liquid, for example, with water, comes out in the form of gas bubbles. This shows that die 8 is free of solid microparticles.

Затем восстанавливается давление инертного газа в теплообменной камере 9 до прежнего значения, закрывается электроклапан 25, блоком поддавливания 6 расплава 5 формируется ламинарная струя расплава 11. Процесс диспергирования материала продолжается.Then, the pressure of the inert gas in the heat exchange chamber 9 is restored to the previous value, the electrovalve 25 is closed, the laminar stream of the melt 11 is formed by the melt suppression unit 6. The process of dispersing the material continues.

Использование полезной модели обеспечивает повышение надежности работы устройства получения монодисперсных сферических гранул.Using the utility model provides increased reliability of the device for producing monodisperse spherical granules.

Claims (1)

Устройство получения монодисперсных сферических гранул, содержащее емкость для дозагрузки исходного диспергируемого материала, на выходе которой расположен верхний затвор, блок измерения уровня расплава, тигель с закрепленной на его дне фильерой, выполненной из тугоплавкого металла, например, молибдена, и установленной на входе теплообменной камеры, соединенной с блоком очистки, заряжающий электрод, подключенный к зарядному блоку, отклоняющие электроды, расположенные за заряжающим электродом внутри теплообменной камеры, в выходной части которой установлен сепаратор и нижний затвор, отличающееся тем, что оно снабжено трубой с электроклапаном, один конец которой соединен с тиглем, а другой расположен в сосуде с жидкостью, например водой.
Figure 00000001
A device for producing monodisperse spherical granules containing a container for reloading the initial dispersible material, at the outlet of which there is an upper shutter, a melt level measuring unit, a crucible with a die fixed on its bottom made of refractory metal, such as molybdenum, and installed at the inlet of the heat exchange chamber, connected to the cleaning unit, a charging electrode connected to the charging unit, deflecting electrodes located behind the charging electrode inside the heat exchange chamber, at the output The part of which is equipped with a separator and a lower shutter, characterized in that it is equipped with a pipe with an electrovalve, one end of which is connected to the crucible, and the other is located in a vessel with a liquid, such as water.
Figure 00000001
RU2005137197/22U 2005-11-30 2005-11-30 DEVICE FOR PRODUCING MONODISPERSED SPHERICAL GRANULES RU52749U1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2005137197/22U RU52749U1 (en) 2005-11-30 2005-11-30 DEVICE FOR PRODUCING MONODISPERSED SPHERICAL GRANULES

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2005137197/22U RU52749U1 (en) 2005-11-30 2005-11-30 DEVICE FOR PRODUCING MONODISPERSED SPHERICAL GRANULES

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU52749U1 true RU52749U1 (en) 2006-04-27

Family

ID=36655929

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2005137197/22U RU52749U1 (en) 2005-11-30 2005-11-30 DEVICE FOR PRODUCING MONODISPERSED SPHERICAL GRANULES

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU52749U1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2506143C2 (en) * 2011-03-14 2014-02-10 Микаил Гаджимагомедович Вердиев Method of producing monodisperse nano-sized powders
RU2590360C1 (en) * 2015-05-06 2016-07-10 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "МЭИ" (ФГБОУ ВО "НИУ "МЭИ") Method of producing monodisperse spherical granules

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2506143C2 (en) * 2011-03-14 2014-02-10 Микаил Гаджимагомедович Вердиев Method of producing monodisperse nano-sized powders
RU2590360C1 (en) * 2015-05-06 2016-07-10 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "МЭИ" (ФГБОУ ВО "НИУ "МЭИ") Method of producing monodisperse spherical granules

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5490362B2 (en) Method and apparatus for processing EUV light source target material
RU2486003C2 (en) Device and method for preparation of nanoparticles on continuous basis
CN107925211A (en) Laser gas rectification systems
KR101086741B1 (en) Particle Manufacturing Method and Apparatus
KR101177707B1 (en) Method and apparatus for euv light source target material handling
RU52749U1 (en) DEVICE FOR PRODUCING MONODISPERSED SPHERICAL GRANULES
CN107036438A (en) It is a kind of to use simultaneously along inverse supply hydrogen rotary furnace
Juzaszek et al. Influence of fines dissolving on crystal size distribution in an MSMPR crystallizer
CN107661717A (en) A kind of heat accumulating compounds cooling device
CN100482820C (en) Method for Separating Ti from Ti Slurry
RU2174060C1 (en) Method for producing monodisperse spherical pellets
US7914715B2 (en) Granulating method, granulated particle(s) and granulating device
KR102573251B1 (en) Methods and facilities for converting uranium hexafluoride to uranium dioxide
CN110221037A (en) A kind of air water rock reaction unit and method
DE10155171A1 (en) Hydrogen generation for use e.g. in vehicle fuel cells is effected using an aqueous alkali solution and silicon at relatively low temperature in a novel apparatus speeding up the process
RU2115514C1 (en) Method for production of monodisperse spherical pellets
KR100927097B1 (en) Continuous Catalyst Manufacturing Equipment
Ganatra et al. Process and equipment development for the preparation of small size UO2 microspheres by Jet Entrainment Technique
US4752542A (en) Activatable battery
US10456837B2 (en) Method for producing monodisperse spherical granules
WO2016059674A1 (en) Target material, material processing device, material processing method, material production method and program
EP3162568A1 (en) Inkjet head and application device in which same is used
KR102028586B1 (en) Apparatus for seperating mixture
RU2349656C2 (en) Method of manufacturing tantalum powder and facility for its implementation
CN105339063B (en) Crystallization reaction unit

Legal Events

Date Code Title Description
MM1K Utility model has become invalid (non-payment of fees)

Effective date: 20111201