RU2839713C1 - Piezoelectric actuator manufacturing method - Google Patents
Piezoelectric actuator manufacturing method Download PDFInfo
- Publication number
- RU2839713C1 RU2839713C1 RU2024130586A RU2024130586A RU2839713C1 RU 2839713 C1 RU2839713 C1 RU 2839713C1 RU 2024130586 A RU2024130586 A RU 2024130586A RU 2024130586 A RU2024130586 A RU 2024130586A RU 2839713 C1 RU2839713 C1 RU 2839713C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- piezoelectric layers
- layers
- piezoelectric
- roll
- tape
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 68
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 10
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 claims description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- 239000002998 adhesive polymer Substances 0.000 claims description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
Abstract
Description
Изобретение относится к способам изготовления устройств на основе пьезоматериалов, а именно осесимметричных пьезоэлектрических актюаторов цилиндрического типа контролируемых радиальных перемещений для использования в микромеханике, управляемой оптике, сенсорной технике, акустике, в частности, при изготовлении пьезоэлектрических акустических элементов - датчиков и излучателей. The invention relates to methods for manufacturing devices based on piezoelectric materials, namely, axisymmetric piezoelectric actuators of a cylindrical type with controlled radial movements for use in micromechanics, controlled optics, sensor technology, acoustics, in particular, in the manufacture of piezoelectric acoustic elements - sensors and emitters.
Наиболее близким способом того же назначения к заявленному изобретению по совокупности признаков является способ изготовления пьезоэлектрического актюатора (патент RU № 2817399 от 16.04.2024), согласно которому образуют составную ленту из двух пьезоэлектрических слоев с электродированными поверхностями (электродами) и с взаимообратными направлениями поляризаций слоев по толщине, которую сворачивают в рулон с использованием межслойных адгезионных клеевых прослоек, с образованием цилиндрического пьезоэлектрического актюатора.The closest method for the same purpose to the claimed invention in terms of its combination of features is the method for manufacturing a piezoelectric actuator (RU patent No. 2817399 dated 16.04.2024), according to which a composite tape is formed from two piezoelectric layers with electroded surfaces (electrodes) and with mutually opposite directions of layer polarization by thickness, which is rolled into a roll using interlayer adhesive adhesive layers, forming a cylindrical piezoelectric actuator.
Данный способ принят за прототип.This method is taken as a prototype.
Недостатком известного способа изготовления, принятого за прототип, является наличие у произведенного таким способом пьезоэлектрического актюатора конструктивного недостатка - относительно большой толщины результирующего трехслойного ленточного электрода, сформированного склеиванием адгезионной клеевой прослойкой двух смежных электродированных поверхностей соседних пьезоэлектрических слоев при их намотке в рулон, что приводит к занижению рабочих характеристик пьезоэлектрического актюатора и завышению себестоимости его изготовления, например, при использовании серебра для электродирования поверхностей. Другим недостатком этого способа является сложность недопущения при намотке двух пьезоэлектрических слоев в рулон непосредственного электро-механического контакта (вблизи передних концов ленточных пьезоэлектрических слоев в центре рулона) адгезионных прослоек для случая наличия у прослоек электропроводности.A disadvantage of the known manufacturing method adopted as a prototype is the presence of a design flaw in the piezoelectric actuator produced in this way - a relatively large thickness of the resulting three-layer tape electrode formed by gluing the adhesive adhesive layer of two adjacent electroded surfaces of neighboring piezoelectric layers during their winding into a roll, which leads to an underestimation of the working characteristics of the piezoelectric actuator and an overestimation of the cost of its manufacture, for example, when using silver for electrodeposition of surfaces. Another disadvantage of this method is the difficulty of preventing direct electromechanical contact (near the front ends of the tape piezoelectric layers in the center of the roll) of the adhesive layers when winding two piezoelectric layers into a roll in the case of the presence of electrical conductivity in the layers.
Признаки прототипа, совпадающие с существенными признаками заявляемого изобретения, - образуют и сворачивают в рулон составную ленту из двух пьезоэлектрических слоев ленточного типа, между пьезоэлектрическими слоями размещают две непрерывные электропроводные адгезионные прослойки.The prototype features, which coincide with the essential features of the claimed invention, are the formation and rolling into a roll of a composite tape from two piezoelectric layers of the tape type, and the placement of two continuous conductive adhesive layers between the piezoelectric layers.
Задачей, на решение которой направлено изобретение, является разработка способа изготовления цилиндрического пьезоэлектрического актюатора с повышенной эффективностью в результате минимизации описанных конструктивных недостатков прототипа. The problem that the invention is aimed at solving is the development of a method for manufacturing a cylindrical piezoelectric actuator with increased efficiency as a result of minimizing the described design shortcomings of the prototype.
Поставленная задача была решена за счет того, что в известном способе изготовления пьезоэлектрического актюатора, согласно которому образуют и сворачивают в рулон составную ленту из двух пьезоэлектрических слоев ленточного типа, между пьезоэлектрическими слоями размещают две непрерывные электропроводные адгезионные прослойки, согласно изобретениюThe stated problem was solved due to the fact that in the known method of manufacturing a piezoelectric actuator, according to which a composite tape is formed and rolled into a roll from two piezoelectric layers of a tape type, two continuous conductive adhesive layers are placed between the piezoelectric layers, according to the invention
при намотке двух пьезоэлектрических слоев ленточного типа в рулон используют полимерную электроизоляционную цилиндрическую подложку заданного (в частности, малого) диаметра (с высотой цилиндрической подложки, равной ширине пьезоэлектрических слоев), при этом перед намоткой примыкающие к цилиндрической поверхности подложки центральные концевые участки: торцы и/или участки боковых поверхностей вблизи торцов этих двух лент присоединяются (приклеиваются с использованием электроизоляционного адгезива) по всей ширине лент к одному или двум различным участкам внешней цилиндрической поверхности подложки с целью исключения непосредственного электро-механического контакта в центре рулона двух различных электропроводных адгезионных прослоек (расположенных по разные стороны каждого пьезоэлектрического слоя).when winding two piezoelectric layers of the tape type into a roll, a polymeric electrically insulating cylindrical substrate of a given (in particular, small) diameter is used (with the height of the cylindrical substrate equal to the width of the piezoelectric layers), wherein before winding the central end sections adjacent to the cylindrical surface of the substrate: the ends and/or sections of the side surfaces near the ends of these two tapes are attached (glued using an electrically insulating adhesive) across the entire width of the tapes to one or two different sections of the outer cylindrical surface of the substrate in order to exclude direct electromechanical contact in the center of the roll of two different electrically conductive adhesive layers (located on different sides of each piezoelectric layer).
В качестве электропроводных адгезионных прослоек между пьезоэлектрическими слоями можно использовать две непрерывные двухсторонние липкие полимерные электропроводные ленты (жесткость которых близка к жесткости пьезоэлектрических слоев) типа двухстороннего скотча с шириной пьезоэлектрических слоев с целью обеспечения постоянства толщин электродов (электропроводных адгезионных прослоек) вдоль направления намотки пьезоэлектрических слоев.As electrically conductive adhesive layers between the piezoelectric layers, two continuous double-sided adhesive polymer conductive tapes (the rigidity of which is close to the rigidity of the piezoelectric layers) of the double-sided adhesive tape type with the width of the piezoelectric layers can be used in order to ensure the constancy of the thickness of the electrodes (electrically conductive adhesive layers) along the winding direction of the piezoelectric layers.
Пьезоэлектрические слои могут быть выполнены с электродированными или неэлектродированными боковыми поверхностями.Piezoelectric layers can be made with electroded or non-electrodized side surfaces.
Могут использоваться предварительно поляризованные по толщине пьезоэлектрические слои с взаимообратными направлениями поляризаций слоев в составе составной ленты или поляризацию пьезоэлектрических слоев можно осуществить после сворачивания составной ленты в рулон посредством подключения к выходам спирали электродов поляризующего значения электрического напряжения.Pre-polarized piezoelectric layers with mutually opposite directions of layer polarization in the composition of the composite tape can be used, or polarization of the piezoelectric layers can be carried out after rolling the composite tape into a roll by connecting the polarizing value of the electric voltage to the outputs of the spiral of electrodes.
Признаки заявляемого технического решения, отличительные от прототипа, - при намотке двух пьезоэлектрических слоев ленточного типа в рулон используют полимерную электроизоляционную цилиндрическую подложку заданного (в частности, малого) диаметра (с высотой цилиндрической подложки, равной ширине пьезоэлектрических слоев), при этом перед намоткой примыкающие к цилиндрической поверхности подложки центральные концевые участки: торцы и/или участки боковых поверхностей вблизи торцов этих двух лент присоединяются (приклеиваются с использованием электроизоляционного адгезива) по всей ширине лент к одному или двум различным участкам внешней цилиндрической поверхности подложки с целью исключения непосредственного электро-механического контакта в центре рулона двух различных электропроводных адгезионных прослоек (расположенных по разные стороны каждого пьезоэлектрического слоя);The features of the claimed technical solution, which are distinctive from the prototype, are that when winding two piezoelectric layers of the tape type into a roll, a polymeric electrically insulating cylindrical substrate of a given (in particular, small) diameter is used (with the height of the cylindrical substrate equal to the width of the piezoelectric layers), wherein before winding, the central end sections adjacent to the cylindrical surface of the substrate: the ends and/or sections of the side surfaces near the ends of these two tapes are attached (glued using an electrically insulating adhesive) across the entire width of the tapes to one or two different sections of the outer cylindrical surface of the substrate in order to exclude direct electromechanical contact in the center of the roll of two different electrically conductive adhesive layers (located on different sides of each piezoelectric layer);
в качестве электропроводных адгезионных прослоек между пьезоэлектрическими слоями используют две непрерывные двухсторонние липкие полимерные электропроводные ленты (жесткость которых близка к жесткости пьезоэлектрических слоев) типа двухстороннего скотча с шириной пьезоэлектрических слоев с целью обеспечения постоянства толщин электродов (электропроводных адгезионных прослоек) вдоль направления намотки пьезоэлектрических слоев;two continuous double-sided adhesive polymer conductive tapes (the rigidity of which is close to the rigidity of the piezoelectric layers) of the double-sided adhesive tape type with the width of the piezoelectric layers are used as conductive adhesive layers between the piezoelectric layers in order to ensure the constancy of the thickness of the electrodes (conductive adhesive layers) along the winding direction of the piezoelectric layers;
пьезоэлектрические слои выполняют с электродированными или неэлектродированными боковыми поверхностями;piezoelectric layers are made with electroded or non-electrodized side surfaces;
используют предварительно поляризованные по толщине пьезоэлектрические слои с взаимообратными направлениями поляризаций слоев в составе составной ленты или поляризацию пьезоэлектрических слоев осуществляют после сворачивания составной ленты в рулон посредством подключения к выходам спирали электродов поляризующего значения электрического напряжения.use pre-polarized piezoelectric layers by thickness with mutually opposite directions of polarization of the layers in the composition of the composite tape, or polarization of the piezoelectric layers is carried out after rolling the composite tape into a roll by connecting the polarizing value of the electric voltage to the outputs of the spiral electrodes.
Отличительные признаки, в совокупности с известными, позволяют изготовить цилиндрический, в частном случае, мембранный пьезоэлектрический актюатор с повышенной эффективностью в результате минимизации описанных конструктивных недостатков прототипа.The distinctive features, in combination with the known ones, allow the production of a cylindrical, in a particular case, membrane piezoelectric actuator with increased efficiency as a result of minimizing the described design shortcomings of the prototype.
Заявителю неизвестно использование в науке и технике отличительных признаков заявленного способа изготовления такого пьезоэлектрического актюатора с получением указанного технического результата.The applicant is not aware of the use in science and technology of the distinctive features of the claimed method for manufacturing such a piezoelectric actuator with the achievement of the specified technical result.
Предлагаемый способ изготовления пьезоэлектрического актюатора иллюстрируется чертежами, представленными на фиг.1 - фиг.3.The proposed method for manufacturing a piezoelectric actuator is illustrated by the drawings presented in Fig.1 - Fig.3.
На фиг.1 изображены элементы (слои) составной ленты и схема закрепления концевых участков обоих ленточных пьезоэлектрических слоев к одному участку внешней цилиндрической поверхности подложки.Fig. 1 shows the elements (layers) of the composite tape and a diagram of the fastening of the end sections of both tape piezoelectric layers to one section of the outer cylindrical surface of the substrate.
На фиг.2 изображены элементы (слои) составной ленты и схема закрепления концевых участков обоих ленточных пьезоэлектрических слоев к двум различным участкам внешней цилиндрической поверхности подложки.Fig. 2 shows the elements (layers) of the composite tape and a diagram of the fastening of the end sections of both tape piezoelectric layers to two different sections of the outer cylindrical surface of the substrate.
На фиг.3 изображена схема подключения управляющего электрического напряжения U con к выходам электродов - электропроводных адгезионных прослоек пьезоэлектрического актюатора.Fig. 3 shows a diagram of the connection of the control electrical voltage U con to the outputs of the electrodes - electrically conductive adhesive layers of the piezoelectric actuator.
Способ изготовления пьезоэлектрического актюатора включает в себя образование составной ленты (фиг.1, фиг.2) из двух пьезоэлектрических слоев 1 и двух электропроводных адгезионных прослоек 2. The method for manufacturing a piezoelectric actuator includes the formation of a composite tape (Fig. 1, Fig. 2) from two piezoelectric layers 1 and two electrically conductive adhesive layers 2.
В качестве электропроводных адгезионных прослоек 2 между пьезоэлектрическими слоями 1 используют две непрерывные двухсторонние липкие полимерные электропроводные ленты типа двухстороннего скотча с шириной пьезоэлектрических слоев 1 с целью обеспечения постоянства толщин электродов (электропроводных адгезионных прослоек 2) вдоль направления намотки пьезоэлектрических слоев 1.As electrically conductive adhesive layers 2 between piezoelectric layers 1, two continuous double-sided adhesive polymeric conductive tapes of the double-sided adhesive tape type with the width of the piezoelectric layers 1 are used in order to ensure the constancy of the thicknesses of the electrodes (electrically conductive adhesive layers 2) along the winding direction of the piezoelectric layers 1.
Перед намоткой составной ленты (фиг.1, фиг.2) концевые участки 3 пьезоэлектрических слоев 1 присоединяются (приклеиваются с использованием электроизоляционного адгезива) по всей ширине к одному (фиг.1) или двум (фиг.2) различным участкам внешней цилиндрической поверхности подложки 4 с целью исключения непосредственного электро-механического контакта в центре рулона двух различных электропроводных адгезионных прослоек 2, расположенных по разные стороны каждого пьезоэлектрического слоя 1. Цилиндрическая подложка 4 изготовлена из электроизоляционного полимера с заданным, в частности, малым диаметром и высотой, равной ширине составной ленты из пьезоэлектрических слоев 1 и адгезионных прослоек 2.Before winding the composite tape (Fig. 1, Fig. 2), the end sections 3 of the piezoelectric layers 1 are attached (glued using an electrically insulating adhesive) across the entire width to one (Fig. 1) or two (Fig. 2) different sections of the outer cylindrical surface of the substrate 4 in order to exclude direct electromechanical contact in the center of the roll of two different electrically conductive adhesive layers 2 located on different sides of each piezoelectric layer 1. The cylindrical substrate 4 is made of an electrically insulating polymer with a given, in particular, small diameter and a height equal to the width of the composite tape of the piezoelectric layers 1 and the adhesive layers 2.
Далее, сворачивают составную ленту (фиг.1, фиг.2) в рулон с образованием цилиндрического пьезоэлектрического актюатора (фиг.3) с взаимодействующими через пьезоэлектрические слои 1 электродами в виде электропроводных адгезионных прослоек 2 двухпроводной токопроводящей линии с выходами 5 для подключения управляющего электрического напряжения U con.Next, the composite tape (Fig. 1, Fig. 2) is rolled into a roll to form a cylindrical piezoelectric actuator (Fig. 3) with electrodes interacting through piezoelectric layers 1 in the form of electrically conductive adhesive layers 2 of a two-wire conductive line with outputs 5 for connecting the control electrical voltage U con .
Пьезоэлектрические слои 1 выполняют с электродированными или неэлектродированными боковыми поверхностями.Piezoelectric layers 1 are made with electroded or non-electrodized side surfaces.
Используют предварительно поляризованные по толщине пьезоэлектрические слои 1 с взаимообратными направлениями поляризаций слоев в составе составной ленты (фиг.1, 2) или поляризацию пьезоэлектрических слоев 1 осуществляют после сворачивания составной ленты в рулон посредством подключения к выходам 5 (фиг.3) поляризующего значения U pol электрического напряжения.Pre-polarized piezoelectric layers 1 by thickness are used with mutually opposite directions of layer polarization in the composition of the composite tape (Fig. 1, 2) or the polarization of the piezoelectric layers 1 is carried out after the composite tape is rolled into a roll by connecting the polarizing value U pol of the electric voltage to the outputs 5 (Fig. 3).
Используют защитное электроизоляционное покрытие на внешней поверхности пьезоэлектрического актюатора (на фиг.1 - фиг.3 не изображено).A protective electrical insulating coating is used on the outer surface of the piezoelectric actuator (not shown in Fig. 1 - Fig. 3).
Устройство работает следующим образом.The device works as follows.
Цилиндрический пьезоэлектрический актюатор (см. фиг.3) осуществляет осесимметричные деформации с радиальным перемещением внешней рабочей цилиндрической поверхности (и/или торцов) при подключении к выходам 5 постоянного или переменного управляющего электрического напряжения U con. Например, мембранный (т.е. с малой толщиной) цилиндрический пьезоэлектрический актюатор (см. фиг.3) устанавливается (приклеивается) на одной (например, верхней) или обеих (верхней и нижней) поверхностях круглой упругой мембраны и осуществляется подключение управляющего электрического напряжения U con к выходам 5.The cylindrical piezoelectric actuator (see Fig. 3) carries out axisymmetric deformations with radial displacement of the outer working cylindrical surface (and/or ends) when connecting to outputs 5 of a constant or alternating control electric voltage U con . For example, a membrane (i.e. with a small thickness) cylindrical piezoelectric actuator (see Fig. 3) is installed (glued) on one (for example, the upper) or both (upper and lower) surfaces of a round elastic membrane and the control electric voltage U con is connected to outputs 5.
Для пьезоэлектрического актюатора силовые линии электрического поля в смежных (соседних) пьзоэлектрических слоях 1 между соответствующими спиралями электродов - двух электропроводных адгезионных прослоек 2 направлены взаимопротивоположно (с периодическим чередованием) по направлению или против радиальной координатной оси, при этом в зависимости от знака подключенного управляющего электрического напряжения U con все силовые линии в пьезоэлектрических слоях 1 направлены по направлению или против их направлений взаимообратных поляризаций (см. фиг.3).For a piezoelectric actuator, the lines of force of the electric field in adjacent (neighboring) piezoelectric layers 1 between the corresponding spirals of the electrodes - two electrically conductive adhesive layers 2 are directed in mutually opposite directions (with periodic alternation) in the direction of or against the radial coordinate axis, while depending on the sign of the connected control electric voltage U con, all lines of force in the piezoelectric layers 1 are directed in the direction of or against their directions of mutually inverse polarizations (see Fig. 3).
При подключении управляющего электрического напряжения U con к выходам 5 электродов - двух электропроводных адгезионных прослоек 2 в пьзоэлектрических слоях 1 между электродами возникают высокие значения напряженности (E 1,2 ≈ U con /d) электрического поля, что обусловлено малыми (в частности, d < 1 мм) значениями толщины пьзоэлектрических слоев 1 и большими (до 1500 В) значениями управляющих напряжений U con.When connecting the control electric voltage U con to the outputs 5 of the electrodes - two conductive adhesive layers 2 in the piezoelectric layers 1 between the electrodes, high values of the electric field strength ( E 1.2 ≈ U con /d ) arise, which is due to the small (in particular, d < 1 mm) values of the thickness of the piezoelectric layers 1 and the large (up to 1500 V) values of the control voltages U con .
В результате обратного пьезоэффекта в пьзоэлектрических слоях 1 возникают большие значения осевых (сжимающих или растягивающих в зависимости от знака управляющего электрического напряжения U con) деформации вдоль радиальной оси пьезоэлектрического актюатора (рулона), что обуславливает высокую эффективность созданного предложенным способом пьезоэлектрического актюатора.As a result of the inverse piezoelectric effect in the piezoelectric layers 1, large values of axial (compressive or tensile, depending on the sign of the control electrical voltage U con ) deformations along the radial axis of the piezoelectric actuator (roll) arise, which determines the high efficiency of the piezoelectric actuator created by the proposed method.
Пьезоэлектрический актюатор может функционировать в режиме пьезоэлектрического датчика - электромеханического преобразователя деформаций в информативные электрические сигналы напряжения U inf на выходах 5.The piezoelectric actuator can operate in the piezoelectric sensor mode - an electromechanical converter of deformations into informative electrical signals of voltage U inf at outputs 5.
Таким образом, предложенное техническое решение - способ изготовления пьезоэлектрического актюатора позволяет изготовить цилиндрический, в частном случае, тонкий мембранный пьезоэлектрический актюатор с повышенной эффективностью в результате минимизации описанных конструктивных недостатков прототипа.Thus, the proposed technical solution - the method for manufacturing a piezoelectric actuator allows for the production of a cylindrical, in a particular case, thin membrane piezoelectric actuator with increased efficiency as a result of minimizing the described design shortcomings of the prototype.
Claims (4)
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2839713C1 true RU2839713C1 (en) | 2025-05-12 |
Family
ID=
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004047794A (en) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Nec Tokin Corp | Manufacturing method of laminated piezoelectric actuator |
| CN108199607A (en) * | 2018-01-22 | 2018-06-22 | 浙江大学 | Cantilevered actuator and start method is laminated in high-power piezoelectric bimorph |
| RU2801619C1 (en) * | 2023-05-03 | 2023-08-11 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" | Piezoelectric actuator |
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004047794A (en) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Nec Tokin Corp | Manufacturing method of laminated piezoelectric actuator |
| CN108199607A (en) * | 2018-01-22 | 2018-06-22 | 浙江大学 | Cantilevered actuator and start method is laminated in high-power piezoelectric bimorph |
| RU2803015C1 (en) * | 2023-04-11 | 2023-09-05 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" | Piezoelectric actuator |
| RU2801619C1 (en) * | 2023-05-03 | 2023-08-11 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" | Piezoelectric actuator |
| RU2817399C1 (en) * | 2023-10-17 | 2024-04-16 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" | Piezoelectric actuator manufacturing method |
| RU2811420C1 (en) * | 2023-10-24 | 2024-01-11 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" | Method for manufacturing piezoelectric actuator |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5153859A (en) | Laminated piezoelectric structure and process of forming the same | |
| EP0174897B1 (en) | Underwater piezoelectric arrangement | |
| CN110892362A (en) | Active element structure | |
| US4841494A (en) | Underwater piezoelectric arrangement | |
| CN104578892A (en) | Integrated frictional generator and vibration sensor | |
| JP2001518721A (en) | Piezoelectric element | |
| RU2839713C1 (en) | Piezoelectric actuator manufacturing method | |
| JPH11341838A (en) | Laminated-type piezoelectric actuator | |
| US20050035683A1 (en) | Electromechanical transducer element, method for forming an electromechanical transducer element and transducer formed by said method | |
| RU2835767C1 (en) | Piezoelectric actuator manufacturing method | |
| RU2817399C1 (en) | Piezoelectric actuator manufacturing method | |
| RU2837440C1 (en) | Piezoelectric actuator manufacturing method | |
| JP2006351602A (en) | Multilayer piezoelectric actuator element | |
| RU2811420C1 (en) | Method for manufacturing piezoelectric actuator | |
| JPH03174783A (en) | Laminated type piezoelectric element | |
| JP2009278377A (en) | Sounding body | |
| JP2003009555A (en) | Laminated electro-mechanical energy conversion element and vibration wave driving device | |
| RU2822349C1 (en) | Piezoelectric actuator manufacturing method | |
| RU2811499C1 (en) | Piezoelectric actuator | |
| JPH04245899A (en) | Ultrasonic sensor | |
| RU2818079C1 (en) | Piezoelectric actuator | |
| RU2801619C1 (en) | Piezoelectric actuator | |
| KR102233018B1 (en) | Ultrasonic sensor having laminaged type piezoelectric ceramic layer | |
| RU2821960C1 (en) | Piezoelectric actuator | |
| US20040183406A1 (en) | Piezoelectrical bending converter |