[go: up one dir, main page]

RU2729978C1 - Method of estimating activation energies of diffusion of oxygen ions in a memristor filament - Google Patents

Method of estimating activation energies of diffusion of oxygen ions in a memristor filament Download PDF

Info

Publication number
RU2729978C1
RU2729978C1 RU2019136089A RU2019136089A RU2729978C1 RU 2729978 C1 RU2729978 C1 RU 2729978C1 RU 2019136089 A RU2019136089 A RU 2019136089A RU 2019136089 A RU2019136089 A RU 2019136089A RU 2729978 C1 RU2729978 C1 RU 2729978C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
memristor
psd
diffusion
filament
activation energies
Prior art date
Application number
RU2019136089A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Аркадий Викторович Якимов
Олег Николаевич Горшков
Дмитрий Олегович Филатов
Дмитрий Александрович Антонов
Иван Николаевич Антонов
Алексей Викторович Клюев
Бернардо Спаньоло
Original Assignee
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского" filed Critical Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского"
Priority to RU2019136089A priority Critical patent/RU2729978C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2729978C1 publication Critical patent/RU2729978C1/en
Priority to PCT/RU2020/050308 priority patent/WO2021091429A1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N70/00Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching

Landscapes

  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)

Abstract

FIELD: measurement technology.
SUBSTANCE: invention can be used to estimate activation energies of oxygen ion diffusion inside said filaments. Essence of the invention lies in the fact that the method of estimating activation energies of diffusion of oxygen ions in the memristor filament by determining the probability distribution of said activation energies setting the memristor operation mode, is characterized by measuring power spectral density (PSD) SI(f) of low-frequency (LF) noise of memristor current in low resistive state (LRS) by means of a current meter, which provides local measurement in area of filament output to surface of one of memristor electrodes, and spectrum analyzer at a fixed temperature, in said PSD flicker component SFit(f)~1/fγ is extracted, characterized by spectrum shape parameter γ, and based on said spectrum shape parameter γ determining the desired probabilistic distribution of activation energies of diffusion of oxygen ions Ea, expressed by the probability density (PD) of said energies WE(Ea), calculated by a certain formula.
EFFECT: possibility of increasing efficiency of evaluation of activation energy of diffusion of oxygen ions in memristor filament.
1 cl, 4 dwg

Description

Изобретение относится к области нанотехнологий, а именно к способам измерения электрофизических параметров филаментов (проводящих нитей) в мемристивных структурах, и может быть использовано для оценки энергий активации диффузии ионов кислорода внутри указанных филаментов.The invention relates to the field of nanotechnology, namely to methods for measuring the electrophysical parameters of filaments (conductive filaments) in memristive structures, and can be used to assess the activation energies of oxygen ion diffusion inside said filaments.

Оценка энергий активации диффузии ионов кислорода в филаменте мемристора имеет важное значение при технологической отработке функционирования перспективного элемента памяти - мемристора.Evaluation of the activation energies for the diffusion of oxygen ions in the memristor filament is of great importance in the technological development of the functioning of a promising memory element - memristor.

Известен метод измерения и анализа электрофизических характеристик мемристивной структуры, в котором для определения энергии активации Еа диффузии ионов кислорода использовалось измерение температурных зависимостей вольт-фарадных характеристик мемристора, его высокочастотной проводимости, а также тока деполяризации в диапазоне температур 300-500 К, усложняющем указанный метод (см. статью на англ. яз. авторов Stanislav Tikhov, Oleg Gorshkov, Ivan Antonov, Alexander Morozov, Maria Koryazhkina and Dmitry Filatov «Ion Migration Polarization in the Yttria Stabilized Zirconia Based Metal-Oxide-Metal and Metal-Oxide-Semiconductor Stacks for Resistive Memory», Advances in Condensed Matter Physics, 2018, [https://doi.orq/10.1155/2018/2028491]).Known method of measuring and analyzing the electrophysical characteristics memristivnoy structure in which to determine the activation energy E and the diffusion of oxygen ions used measurement of temperature dependency of the current-voltage characteristics memristora its high conductivity and current depolarization in the temperature range 300-500 K, this method complicates (see the article in English by authors Stanislav Tikhov, Oleg Gorshkov, Ivan Antonov, Alexander Morozov, Maria Koryazhkina and Dmitry Filatov “Ion Migration Polarization in the Yttria Stabilized Zirconia Based Metal-Oxide-Metal and Metal-Oxide-Semiconductor Stacks for Resistive Memory ", Advances in Condensed Matter Physics, 2018, [https: //doi.orq/10.1155/2018/2028491]).

Данный метод, являясь примером прямого определения энергий активации диффузии ионов кислорода в филаменте мемристора, не исчерпывает современные возможности оценки энергий активации диффузии ионов кислорода в филаменте мемристора, расширяющие актуальную диагностику надежного функционирования мемристора.This method, being an example of direct determination of the activation energies for the diffusion of oxygen ions in a memristor filament, does not exhaust the current possibilities of assessing the activation energies for the diffusion of oxygen ions in a memristor filament, which expand the current diagnostics of the reliable functioning of a memristor.

Задачей предлагаемого изобретения является разработка способа оценки энергий активации диффузии ионов кислорода в филаменте мемристора, реализующего изложенные выше возможности.The objective of the present invention is to develop a method for evaluating the activation energies of diffusion of oxygen ions in a memristor filament, realizing the above possibilities.

В связи с отсутствием в уровне техники источников информации со сведениями о способах оценки энергий активации диффузии ионов кислорода в филаменте мемристора, основанных на косвенном определении указанных энергий активации и подходящих для корректного сравнения с заявляемым способом, в настоящем описании изобретения выбрана форма раскрытия сущности предлагаемого изобретения и изложения его в формуле изобретения без прототипа.Due to the lack of information sources in the prior art with information on methods for assessing the activation energies of diffusion of oxygen ions in the memristor filament, based on the indirect determination of the indicated activation energies and suitable for correct comparison with the claimed method, in the present description of the invention the form of disclosing the essence of the invention is chosen and presenting it in the claims without a prototype.

Технический результат от использования заявляемого способа - обеспечение повышенной эффективности оценки энергий активации диффузии ионов кислорода в филаменте мемристора за счет повышения надежности и простоты реализации предлагаемого способа, на основе апробированных методов измерений и анализа, лежащих в его основе и проводимых для определения плотности вероятности распределения энергий активации диффузии ионов кислорода в филаменте мемристора при одной фиксированной температуре.The technical result from the use of the proposed method is to provide increased efficiency in assessing the activation energies for the diffusion of oxygen ions in the memristor filament by increasing the reliability and ease of implementation of the proposed method, based on the approved measurement and analysis methods underlying it and conducted to determine the probability density of the distribution of activation energies diffusion of oxygen ions in a memristor filament at one fixed temperature.

Кроме того, предлагаемый способ расширяет арсенал измерительной технологии в актуальной области изготовления мемристоров, являющихся основой нового поколения устройств энергонезависимой памяти.In addition, the proposed method expands the arsenal of measuring technology in the actual field of manufacturing memristors, which are the basis for a new generation of non-volatile memory devices.

Для достижения указанного технического результата предлагается способ оценки энергий активации диффузии ионов кислорода в филаменте мемристора путем определения вероятностного распределения указанных энергий активации, задающих режим работы мемристора, характеризующийся тем, что измеряют спектральную плотность мощности (СПМ) SI(f) низкочастотного (НЧ) шума тока мемристора в низком резистивном состоянии (НРС) с помощью измерителя тока, обеспечивающего локальное измерение на участке выхода филамента на поверхность одного из электродов мемристора, и анализатора спектра при фиксированной температуре, в указанной СПМ выделяют фликкерную компоненту SFit(f)~1/fγ, характеризующуюся параметром формы спектра γ, и на основе указанного параметра формы спектра γ определяют искомое вероятностное распределение энергий активации диффузии ионов кислорода Еа, выражаемое плотностью вероятности (ПВ) указанных энергий WEа), рассчитываемой по формулеTo achieve this technical result, a method is proposed for evaluating the activation energies of oxygen ion diffusion in a memristor filament by determining the probabilistic distribution of the indicated activation energies setting the operating mode of the memristor, characterized by the fact that the spectral power density (PSD) S I (f) of low-frequency (LF) noise is measured of the memristor current in the low resistive state (LRS) using a current meter that provides a local measurement at the filament exit section on the surface of one of the memristor electrodes, and a spectrum analyzer at a fixed temperature, the flicker component S Fit (f) ~ 1 / f γ, characterized by the shape of the spectrum parameter γ, and based on said shape parameter γ determines the desired spectrum probability distribution of activation energies of diffusion of oxygen ions and E, expressed by the probability density (MF) of said energy W E (E a), which is calculated by the formula

Figure 00000001
Figure 00000001

где k=1.38×10-23 Дж/К - постоянная Больцмана,where k = 1.38 × 10 -23 J / K is the Boltzmann constant,

T≈300 K - абсолютная температура мемристора,T≈300 K - absolute temperature of the memristor,

BE - нормировочный множитель, соответствующий площади, равной единице, под кривой ПВ WE(Ea) в диапазоне энергий активации диффузии ионов кислорода Еа ∈ [E1; Е2], определяемом диапазоном частот f ∈ [f1; f2], в котором фликкерная компонента SFit(f) является преобладающей,B E is the normalization factor corresponding to the area equal to one under the PV curve W E (E a ) in the range of activation energies for the diffusion of oxygen ions E a ∈ [E 1 ; E 2 ], determined by the frequency range f ∈ [f 1 ; f 2 ], in which the flicker component S Fit (f) is predominant,

Figure 00000002
Figure 00000002

где fT=1013 Гц - средняя частота тепловых колебаний в кристаллической решетке мемристора.where f T = 10 13 Hz is the average frequency of thermal vibrations in the memristor crystal lattice.

В частном случае осуществления предлагаемого способа измерение СПМ НЧ шума тока мемристора в НРС с помощью измерителя тока и анализатора спектра производят путем измерения первой СПМ собственного шума измерителя тока, отключенного от мемристора, измерения второй полной СПМ шума на выходе измерителя тока, подключенного с помощью зонда атомного силового микроскопа к мемристору на участке выхода филамента на поверхность одного из электродов мемристора в НРС, и вычитания первой СПМ из второй СПМ.In the particular case of the proposed method, the measurement of the PSD of the LF noise of the memristor current in the LDC using a current meter and a spectrum analyzer is performed by measuring the first PSD of the intrinsic noise of a current meter disconnected from the memristor, measuring the second total PSD of noise at the output of a current meter connected with an atomic probe. a force microscope to the memristor at the filament exit section on the surface of one of the memristor electrodes in the LDC, and subtracting the first SPD from the second SPD.

На фиг. 1 показана блок-схема измерительной установки для осуществления предлагаемого способа; на фиг. 2 - графические кривые СПМ собственного шума измерителя тока, отключенного от мемристора, результата вычитания СПМ собственного шума измерителя тока, отключенного от мемристора, из полной СПМ шума на выходе измерителя тока, подключенного к мемристору, и фликкерной компоненты, выделенной из указанного результата вычитания двух СПМ; на фиг. 3 - графическая кривая искомого вероятностного распределения энергий активации диффузии ионов кислорода в филаменте мемристора; на фиг. 4 - графическая кривая лоренцевой СПМ случайного телеграфного процесса, использованная в настоящем описании изобретения для пояснения в обосновании предлагаемого способа.FIG. 1 shows a block diagram of a measuring device for implementing the proposed method; in fig. 2 - graphical curves of the PSD of the intrinsic noise of the current meter disconnected from the memristor, the result of subtracting the PSD of the intrinsic noise of the current meter disconnected from the memristor from the total PSD of the noise at the output of the current meter connected to the memristor, and the flicker component extracted from the indicated result of subtracting two PSD ; in fig. 3 is a graphical curve of the sought-for probabilistic distribution of activation energies for diffusion of oxygen ions in a memristor filament; in fig. 4 is a graphical curve of the Lorentz PSD of a random telegraph process used in the present description of the invention to explain the rationale for the proposed method.

Предлагаемой способ осуществляют в следующем примере с помощью установки (см. фиг. 1), содержащей измеритель тока 1 и зонд 2, выполненные на базе атомного силового микроскопа (Omicron® UHV AFM / STM LF1) для подключения к запитанному источником напряжения 3 мемристору 4 на участке выхода филамента 5 на поверхность базового электрода мемристора 4. К измерителю тока 1 через блок аналого-цифрового преобразователя, входящего в состав измерителя тока 1, подсоединен анализатор спектра 6, выход которого соединен с входом персонального компьютера 7. Причем в настоящем примере анализатор спектра 6 (ADSViewer) реализован заявителем в виде программного обеспечения персонального компьютера 7.The proposed method is carried out in the following example using an installation (see Fig. 1) containing a current meter 1 and a probe 2, made on the basis of an atomic force microscope (Omicron® UHV AFM / STM LF1) for connection to a memristor 4 powered by a voltage source 3 on the section of the filament 5 exit to the surface of the base electrode of the memristor 4. A spectrum analyzer 6 is connected to the current meter 1 through the analog-to-digital converter unit included in the current meter 1, the output of which is connected to the input of the personal computer 7. Moreover, in this example, the spectrum analyzer 6 (ADSViewer) is implemented by the applicant in the form of personal computer software 7.

С помощью измерителя тока 1, который посредством зонда 2 присоединен к мемристору 4 на участке выхода филамента 5 на поверхность базового электрода мемристора 4, и анализатора спектра 6 измеряют СПМ SI(f) НЧ шума тока мемристора 4 в НРС путем измерения первой СПМ собственного шума измерителя тока 1, отключенного от мемристора 4, измерения второй полной СПМ шума на выходе измерителя тока 1, подключенного к мемристору 4 в НРС, и вычитания первой СПМ из второй СПМ (результат вычета см. на фиг. 2, на которой первая СПМ собственного шума измерителя тока 1 обозначена цифрой «0», а результат вычета - как «НРС» и фликкерная компонента SFit(0 - как «Fit»).Using a current meter 1, which by means of a probe 2 is connected to the memristor 4 at the section of the filament 5 exit to the surface of the base electrode of the memristor 4, and a spectrum analyzer 6, the PSD S I (f) of the LF current noise of memristor 4 in the LDC is measured by measuring the first PSD of the intrinsic noise current meter 1 disconnected from memristor 4, measuring the second total noise PSD at the output of current meter 1 connected to memristor 4 in the LDC, and subtracting the first PSD from the second PSD (see the result of the deduction in Fig. 2, in which the first noise PSD of the current meter 1 is denoted by the number "0", and the result of the deduction - as "HPC" and the flicker component S Fit (0 - as "Fit").

Измерение СПМ SI(f) низкочастотного шума тока мемристора 4 в НРС с помощью измерителя тока 1 и анализатора спектра 6 при фиксированной температуре может производиться без вычета двух указанных выше СПМ на основе измерения второй СПМ без учета первой СПМ при высокой прецизионности (малых собственных шумах) измерителя тока 1, а также с помощью электроконтактного приспособления не только в виде зонда 2 атомного силового микроскопа, например, в виде плоских структур типа металл-окисел-металл, либо металл-окисел-полупроводник, использованных в упомянутой выше статье на англ. яз. авторов Stanislav Tikhov, Oleg Gorshkov, Ivan Antonov, Alexander Morozov, Maria Koryazhkina and Dmitry Filatov «Ion Migration Polarization in the Yttria Stabilized Zirconia Based Metal-Oxide-Metal and Metal-Oxide-Semiconductor Stacks for Resistive Memory», Advances in Condensed Matter Physics, 2018, [https://doi.org/10.1155/2018/2028491]).The measurement of PSD S I (f) of the low-frequency current noise of memristor 4 in the LDC using current meter 1 and spectrum analyzer 6 at a fixed temperature can be performed without deducting the two above PSDs based on the measurement of the second PSD without taking into account the first PSD at high precision (low intrinsic noise ) of the current meter 1, as well as using an electrical contact device not only in the form of an atomic force microscope probe 2, for example, in the form of flat structures of the metal-oxide-metal or metal-oxide-semiconductor type used in the above-mentioned article in English. lang. authors Stanislav Tikhov, Oleg Gorshkov, Ivan Antonov, Alexander Morozov, Maria Koryazhkina and Dmitry Filatov "Ion Migration Polarization in the Yttria Stabilized Zirconia Based Metal-Oxide-Metal and Metal-Oxide-Semiconductor Stacks for Resistive Memory", Advances in Condensed Matter Physics , 2018, [https://doi.org/10.1155/2018/2028491]).

В настоящем примере исследован виртуальный мемристор 4, состоящий из контакта проводящего зонда 2 к тонкой пленке переключающего диэлектрика - диоксида циркония, стабилизированной иттрием (YSZ), с толщиной порядка 5 нм. Пленка нанесена на базовый электрод (TiN) мемристора 4 толщиной 25 нм. Диаметр контакта зонда 2 с указанной пленкой составлял менее 10 нм. Это позволило исследовать ток It(t), как функцию от времени t, протекающий через отдельный филамент 5. Измерения производились при температуре Т≈300 K, как в высоком резистивном состоянии (ВРС), так и в НРС.In the present example, a virtual memristor 4 is investigated, consisting of a contact of a conducting probe 2 to a thin film of a switching dielectric - yttrium-stabilized zirconia (YSZ), with a thickness of about 5 nm. The film is deposited on the base electrode (TiN) of memristor 4 25 nm thick. The diameter of the contact of the probe 2 with the specified film was less than 10 nm. This made it possible to investigate the current I t (t), as a function of time t, flowing through a separate filament 5. The measurements were carried out at a temperature of T≈300 K, both in a high resistive state (HRC) and in an LDC.

Результаты для ВРС практически не отличаются от результатов, полученных при измерении собственного шума измерительной установки. В НРС наблюдался значительный фликкерный шум со спектром вида 1/fγ, где параметр формы спектра γ=1.3. Полученные результаты представлены на фиг.2 в двойном логарифмическом масштабе, на которой верхняя ломаная линия «НРС» - СПМ НЧ шума в токе через филамент, полученная вычитанием СПМ собственного шума измерителя тока 1, представленной нижней ломаной линией «0», из полной СПМ шума на выходе измерителя тока 1, подключенного к мемристору 4 в НРС. Прямая линия «Fit» - результат аппроксимации СПМ, обозначенной как «НРС», фликкерной зависимостью с параметрами A0=2.3×103, γ=1.3:The results for HRV practically do not differ from the results obtained when measuring the intrinsic noise of the measuring installation. In the LDC, significant flicker noise was observed with a spectrum of the form 1 / f γ , where the spectral shape parameter γ = 1.3. The results obtained are presented in Fig. 2 in a double logarithmic scale, on which the upper broken line "LPC" is the PSD of the LF noise in the current through the filament, obtained by subtracting the PSD of the intrinsic noise of the current meter 1, represented by the lower broken line "0", from the total PSD of the noise at the output of the current meter 1 connected to the memristor 4 in the LDC. The straight line “Fit” is the result of the approximation of the PSD, designated as “LDC”, by the flicker dependence with the parameters A 0 = 2.3 × 10 3 , γ = 1.3:

Figure 00000003
Figure 00000003

Статистическая погрешность определения СПМ, обозначенной на фиг. 2 как «НРС», составляет примерно 2%, в области преобладания квазигармонических помех она достигает 10-60%.The statistical error in determining the PSD, indicated in FIG. 2 as "LDC" is about 2%, in the area of predominance of quasi-harmonic interference it reaches 10-60%.

Полученную с помощью персонального компьютера 7, подсоединенного к анализатору спектра 6 (см. фиг. 1), из анализа СПМ, обозначенной на фиг. 2 как «НРС», при фиксированной температуре T≈300 К, выделенную фликкерную компоненту (2) SFit(f)~1/fγ, характеризующуюся параметром формы спектра γ, используют для определения искомого вероятностного распределения энергий активации диффузии ионов кислорода Еа, выражаемого ПВ указанных энергий WE(Ea), которую рассчитывают по формуле (1) (результат расчета показан в виде кривой на фиг. 3).Obtained using a personal computer 7 connected to a spectrum analyzer 6 (see FIG. 1), from the analysis of the PSD indicated in FIG. 2 as "LDC", at a fixed temperature T≈300 K, the isolated flicker component (2) S Fit (f) ~ 1 / f γ , characterized by the parameter of the spectrum shape γ, is used to determine the desired probability distribution of the activation energies for the diffusion of oxygen ions E a , expressed by the PV of the indicated energies W E (E a ), which is calculated by the formula (1) (the result of the calculation is shown in the form of a curve in Fig. 3).

При этом установлен диапазон энергий активации диффузии ионов кислорода Еа ∈ [E1, Е2] (E1=0.52 эВ и Е2=0.68 эВ), определяемый диапазоном частот f ∈ [f1; f2] (f1=15.6 Гц и f2=8 кГц), в котором фликкерная компонента SFit(f) является преобладающей (см. фиг. 2).The range of activation energies for diffusion of oxygen ions E a ∈ [E 1 , E 2 ] (E 1 = 0.52 eV and E 2 = 0.68 eV), determined by the frequency range f ∈ [f 1 ; f 2 ] (f 1 = 15.6 Hz and f 2 = 8 kHz), in which the flicker component S Fit (f) is predominant (see Fig. 2).

Видно (см. фиг. 3), что при значении параметра формы спектра, выявленному из выполненных измерений, γ=1.3, ПВ WE(Ea) является монотонно нарастающей функцией. При минимальном значении E1=0.52 эВ имеем WE(E1)=2.06 эВ-1, при максимальном значении Е2=0.68 эВ имеем WE(E2)=14.06 эВ-1. Таким образом, ПВ увеличивается, при повышении энергии активации, примерно в 7 раз. Среднее значение энергии активации составляет 0.62 эВ.It can be seen (see Fig. 3) that for the value of the spectral shape parameter revealed from the measurements, γ = 1.3, the PW W E (E a ) is a monotonically increasing function. At the minimum value E 1 = 0.52 eV we have W E (E 1 ) = 2.06 eV -1 , at the maximum value E 2 = 0.68 eV we have W E (E 2 ) = 14.06 eV -1 . Thus, the PV increases with an increase in the activation energy by about 7 times. The average activation energy is 0.62 eV.

Предлагаемый способ подтверждается следующим обоснованием.The proposed method is confirmed by the following justification.

Элементарный диффузионный скачок иона кислорода требует энергии активации Еа. Средняя частота таких скачков определяется соотношением:An elementary diffusion jump of an oxygen ion requires an activation energy E a . The average frequency of such jumps is determined by the ratio:

Figure 00000004
Figure 00000004

Здесь FT=1013 Гц - средняя частота тепловых колебаний решетки образца; k=1.38×1023 Дж/К - постоянная Больцмана; Т≈300 K - абсолютная температура анализируемой структуры.Here F T = 10 13 Hz is the average frequency of thermal vibrations of the sample lattice; k = 1.38 × 10 23 J / K - Boltzmann constant; Т≈300 K - absolute temperature of the analyzed structure.

Последовательные диффузионные скачки ионов кислорода приводят к флуктуациям проводимости G филамента 5, G=G(t). Эти флуктуации представляют собой случайный телеграфный процесс (СТП), обладающий лоренцевой СПМ (см. фиг. 4):Successive diffusion jumps of oxygen ions lead to fluctuations in the conductivity G of filament 5, G = G (t). These fluctuations represent a random telegraph process (STP) with a Lorentz PSD (see Fig. 4):

Figure 00000005
Figure 00000005

Здесь АСТП - параметр, определяемый дисперсией СТП.Here A STF is a parameter determined by the dispersion of the STF.

Средняя частота fc диффузионных скачков ионов кислорода, определяемая соотношением (3), имеет смысл частоты среза для СПМ SСТП флуктуаций проводимости филамента 5, представленной соотношением (4), изображенной на фиг. 4.The average frequency f c of diffusion jumps of oxygen ions, determined by relation (3), has the meaning of the cutoff frequency for the PSD S HFS of conductivity fluctuations of filament 5, represented by relation (4) shown in Fig. 4.

Флуктуации проводимости филамента G(t) приводят, согласно закону Ома, к появлению НЧ шума (дополнительного к тепловому шуму) в токе It(t) через филамент 5:Fluctuations in the conductivity of the filament G (t) lead, according to Ohm's law, to the appearance of LF noise (additional to the thermal noise) in the current I t (t) through filament 5:

Figure 00000006
Figure 00000006

Здесь Vg - напряжение, приложенное к мемристору 4, см. фиг. 1.Here V g is the voltage applied to the memristor 4, see Fig. 1.

Измеряя СПМ НЧ шума в токе через филамент 5 и анализируя его форму, можно определить частоту среза fc. Затем, с помощью соотношения (3) определяется энергия активации Еа диффузии ионов кислорода внутри филамента 5:By measuring the PSD of the LF noise in the current through filament 5 and analyzing its shape, one can determine the cutoff frequency f c . Then, using equation (3) is determined by the activation energy E and the diffusion of oxygen ions within the filament 5:

Figure 00000007
Figure 00000007

Таким образом, способ оценки энергий активации диффузии ионов кислорода в филаменте 5 мемристора 4 при фиксированной температуре можно считать реализованным.Thus, the method for estimating the activation energies of oxygen ion diffusion in filament 5 of memristor 4 at a fixed temperature can be considered implemented.

Однако внутри филамента 5 находится относительно большое количество N ионов кислорода. Каждый ион обладает своей энергией Еа активации диффузии. Эти энергии распределены в некотором диапазоне значений, Ea ∈ [E1; Е2], и характеризуются плотностью вероятности WE(Ea).However, the filament 5 contains a relatively large amount of N oxygen ions. Each ion has its own energy E and diffusion activation. These energies are distributed in a certain range of values, E a ∈ [E 1 ; E 2 ], and are characterized by the probability density W E (E a ).

В результате, средние частоты диффузионных скачков fc ионов кислорода, имеющие смысл частот среза для СПМ SСТП флуктуаций проводимости филамента 5, представленной соотношением (4), тоже распределены в некотором диапазоне значений, fc ∈ [f1; f2], и характеризуются плотностью вероятности Wc(fc).As a result, the average frequencies of diffusion jumps f c of oxygen ions, which have the meaning of cut-off frequencies for the PSD S HFS of conductivity fluctuations of filament 5, represented by relation (4), are also distributed in a certain range of values, f c ∈ [f 1 ; f 2 ], and are characterized by the probability density W c (f c ).

Связь нижнего f1 и верхнего f2 значений частот среза fс в результирующей СПМ флуктуаций проводимости филамента 5 с минимальным E1 и максимальным Е2 значениями энергий Еа активации диффузии ионов кислорода определяется с помощью соотношения (3):The relationship between the lower f 1 and upper f 2 values of the cutoff frequencies f c in the resulting PSD of fluctuations of the conductivity of filament 5 with the minimum E 1 and maximum E 2 values of the energies E and activation of oxygen ion diffusion is determined using the relation (3):

Figure 00000008
Figure 00000008

Соотношение (3) позволяет также найти связь между ПВ частот среза Wc(fс) и ПВ энергий активации диффузии WEa), относящимися к учитываемым ионам кислорода, в заданных диапазонах значений:Relation (3) also makes it possible to find the relationship between the PV of the cutoff frequencies W c (f с ) and the PV of the diffusion activation energies W E (E a ), related to the taken into account oxygen ions, in the given ranges of values:

Figure 00000009
Figure 00000009

Здесь функция Еа(fс) определяется соотношением (6), которое является обратным к соотношению (3), определяющему функцию fса).Here, the function E a (f c ) is determined by relation (6), which is the inverse to relation (3), which determines the function f c (E a ).

Учет всех N ионов кислорода, находящихся внутри филамента 5, приводит к следующему выражению для результирующей СПМ SG(f) флуктуаций его проводимости:Taking into account all N oxygen ions inside filament 5 leads to the following expression for the resulting PSD S G (f) of fluctuations of its conductivity:

Figure 00000010
Figure 00000010

Здесь интегрирование осуществляется в диапазоне частот, fc ∈ [f1; f2], в котором фликкерная компонента SFit(f), представленная соотношением (2), является преобладающей. То есть осуществляется взвешенное суммирование всех лоренцевых СПМ, описываемых соотношением (4), приводящее к фликкерной зависимости в СПМ SG(f), совпадающей по форме с соотношением (2).Here the integration is carried out in the frequency range, f c ∈ [f 1 ; f 2 ], in which the flicker component S Fit (f) represented by relation (2) is predominant. That is, a weighted summation of all Lorentzian PSDs described by relation (4) is carried out, leading to a flicker dependence in the PSD S G (f), which coincides in shape with relation (2).

Поскольку к филаменту 5 приложено с помощью источника напряжения 3 напряжение Vg, флуктуации проводимости, характеризуемые СПМ (9), проявляются, согласно соотношению (5), через НЧ шум в токе It(t) через филамент. СПМ SI(f) этого шума равнаSince the voltage V g is applied to the filament 5 by means of a voltage source 3, fluctuations in the conductivity characterized by the PSD (9) appear, according to relation (5), through the LF noise in the current I t (t) through the filament. PSD S I (f) of this noise is

Figure 00000011
Figure 00000011

Именно эта СПМ подлежит измерению и анализу для реализации способа оценки энергий активации диффузии ионов кислорода в филаменте мемристора при одной фиксированной температуре (в отличие от указанного выше аналога - прямого определения энергий активации диффузии ионов кислорода в филаменте мемристора в результате измерений при различных температурах в диапазоне ее величин).It is this PSD that is subject to measurement and analysis to implement the method for evaluating the activation energies of oxygen ion diffusion in a memristor filament at one fixed temperature (in contrast to the above analogue, direct determination of the activation energies of oxygen ion diffusion in a memristor filament as a result of measurements at different temperatures in the range of its quantities).

Claims (8)

1. Способ оценки энергий активации диффузии ионов кислорода в филаменте мемристора путем определения вероятностного распределения указанных энергий активации, задающих режим работы мемристора, характеризующийся тем, что измеряют спектральную плотность мощности (СПМ) SI(f) низкочастотного шума тока мемристора в низком резистивном состоянии с помощью измерителя тока, обеспечивающего локальное измерение на участке выхода филамента на поверхность одного из электродов мемристора, и анализатора спектра при фиксированной температуре, в указанной СПМ выделяют фликкерную компоненту SFit(f)~1/fγ, характеризующуюся параметром формы спектра γ, и на основе указанного параметра формы спектра γ определяют искомое вероятностное распределение энергий активации диффузии ионов кислорода Еа, выражаемое плотностью вероятности указанных энергий WE(Ea), рассчитываемой по формуле1. A method for evaluating the activation energies of oxygen ion diffusion in a memristor filament by determining the probabilistic distribution of the indicated activation energies setting the operating mode of the memristor, characterized by measuring the power spectral density (PSD) S I (f) of the low-frequency noise of the memristor current in a low resistive state with using a current meter that provides local measurement at the filament exit area on the surface of one of the memristor electrodes, and a spectrum analyzer at a fixed temperature, in the specified PSD, the flicker component S Fit (f) ~ 1 / f γ , characterized by the spectral shape parameter γ , is isolated, and on based on said shape parameter γ determines the desired spectrum probability distribution of activation energies of diffusion of oxygen ions and E, expressed by the probability density of said energy W E (E a), calculated according to the formula
Figure 00000012
Figure 00000012
где k=1.38×10-23 Дж/К - постоянная Больцмана,where k = 1.38 × 10 -23 J / K is the Boltzmann constant, T≈300 K - абсолютная температура мемристора,T≈300 K - absolute temperature of the memristor, BE - нормировочный множитель, соответствующий площади, равной единице, под кривой плотности вероятности WE(Ea) в диапазоне энергий активации диффузии ионов кислорода Еа ∈ [E1; Е2], определяемом диапазоном частот f ∈ [f1; f2], в котором фликкерная компонента SFit(f) является преобладающей,B E is the normalization factor corresponding to the area equal to one under the probability density curve W E (E a ) in the range of activation energies for the diffusion of oxygen ions E a ∈ [E 1 ; E 2 ], determined by the frequency range f ∈ [f 1 ; f 2 ], in which the flicker component S Fit (f) is predominant,
Figure 00000013
Figure 00000013
где fT=1013 Гц - средняя частота тепловых колебаний кристаллической решетки мемристора.where f T = 10 13 Hz is the average frequency of thermal vibrations of the memristor crystal lattice. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что измерение СПМ низкочастотного шума тока мемристора в низком резистивном состоянии с помощью измерителя тока и анализатора спектра производят путем измерения первой СПМ собственного шума измерителя тока, отключенного от мемристора, измерения второй полной СПМ шума на выходе измерителя тока, подключенного с помощью зонда атомного силового микроскопа к мемристору на участке выхода филамента на поверхность одного из электродов мемристора в низком резистивном состоянии, и вычитания первой СПМ из второй СПМ.2. The method according to claim 1, characterized in that the measurement of the PSD of the low-frequency noise of the memristor current in a low resistive state using a current meter and a spectrum analyzer is performed by measuring the first PSD of the intrinsic noise of a current meter disconnected from the memristor, measuring the second total PSD of the noise at the output a current meter connected with an atomic force microscope probe to the memristor at the filament exit section on the surface of one of the memristor electrodes in a low resistive state, and subtracting the first PSD from the second PSD.
RU2019136089A 2019-11-08 2019-11-08 Method of estimating activation energies of diffusion of oxygen ions in a memristor filament RU2729978C1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019136089A RU2729978C1 (en) 2019-11-08 2019-11-08 Method of estimating activation energies of diffusion of oxygen ions in a memristor filament
PCT/RU2020/050308 WO2021091429A1 (en) 2019-11-08 2020-10-29 Method for evaluating the activation energies of oxygen ion diffusion in a memristor filament

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019136089A RU2729978C1 (en) 2019-11-08 2019-11-08 Method of estimating activation energies of diffusion of oxygen ions in a memristor filament

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2729978C1 true RU2729978C1 (en) 2020-08-13

Family

ID=72086258

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019136089A RU2729978C1 (en) 2019-11-08 2019-11-08 Method of estimating activation energies of diffusion of oxygen ions in a memristor filament

Country Status (2)

Country Link
RU (1) RU2729978C1 (en)
WO (1) WO2021091429A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2753590C1 (en) * 2020-11-18 2021-08-18 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского» Method for estimating microstructure of electron current fluctuations in memristor filament

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2169914C2 (en) * 1999-06-01 2001-06-27 Томский политехнический университет Method determining diffusion constants in polycrystalline bodies
US20120043519A1 (en) * 2010-08-23 2012-02-23 Crossbar, Inc. Device switching using layered device structure
US9336870B1 (en) * 2013-08-16 2016-05-10 Sandia Corporation Methods for resistive switching of memristors
RU2585963C1 (en) * 2015-04-08 2016-06-10 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского" Method of determining electrophysical parameters of capacitor structure of memristor characterising moulding process
US9831427B1 (en) * 2014-08-21 2017-11-28 National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc Ion-barrier for memristors/ReRAM and methods thereof

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103928057B (en) * 2014-04-11 2016-09-28 中国科学院微电子研究所 Method for measuring activation energy of resistive random access memory

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2169914C2 (en) * 1999-06-01 2001-06-27 Томский политехнический университет Method determining diffusion constants in polycrystalline bodies
US20120043519A1 (en) * 2010-08-23 2012-02-23 Crossbar, Inc. Device switching using layered device structure
US9336870B1 (en) * 2013-08-16 2016-05-10 Sandia Corporation Methods for resistive switching of memristors
US9831427B1 (en) * 2014-08-21 2017-11-28 National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc Ion-barrier for memristors/ReRAM and methods thereof
RU2585963C1 (en) * 2015-04-08 2016-06-10 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского" Method of determining electrophysical parameters of capacitor structure of memristor characterising moulding process

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2753590C1 (en) * 2020-11-18 2021-08-18 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского» Method for estimating microstructure of electron current fluctuations in memristor filament

Also Published As

Publication number Publication date
WO2021091429A1 (en) 2021-05-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Osinkin An approach to the analysis of the impedance spectra of solid oxide fuel cell using the DRT technique
Osburn et al. Dielectric breakdown in silicon dioxide films on silicon: I. Measurement and interpretation
Corrigan Dissociation of molecular hydrogen by electron impact
Xu et al. Directed inelastic hopping of electrons through metal-insulator-metal tunnel junctions
Zhang et al. The impact of initial SEI formation conditions on strain‐induced capacity losses in silicon electrodes
Fowler et al. Electroforming and resistive switching in silicon dioxide resistive memory devices
Mehta et al. Transfer-free multi-layer graphene as a diffusion barrier
EP2401623B1 (en) Method of characterizing an electrical system by impedance spectroscopy
Nandi et al. Effect of electrode roughness on electroforming in HfO 2 and defect-induced moderation of electric-field enhancement
WO2010097355A1 (en) Method of determining a state of health of an electrochemical device
CN108804774B (en) Method for analyzing ideal factor of solar cell based on electrochemical impedance spectrum test
Haslam et al. Evaluating Pressure‐dependent Discharge Behavior of Foil Versus In situ Plated Lithium Metal Anodes in Solid‐State Batteries
RU2729978C1 (en) Method of estimating activation energies of diffusion of oxygen ions in a memristor filament
Stasner et al. Reliability effects of lateral filament confinement by nano-scaling the oxide in memristive devices
Bondarenko et al. Study of temperature dependence of positive charge generation in thin dielectric film of MOS structure under high-fields
CN118156358B (en) SiC semiconductor detector, ore component analysis apparatus and method
CN114923894A (en) Method, system, equipment and medium for detecting hardness of surface coating of insulator
RU2753590C1 (en) Method for estimating microstructure of electron current fluctuations in memristor filament
Nandi et al. Room temperature synthesis of HfO2/HfOx heterostructures by ion-implantation
Dong et al. An efficient multi-point impedance method for real-time monitoring the working state of solid oxide fuel cells
Yamauchi et al. Nondestructive depth profiling using soft X-ray emission spectroscopy by incident angle variation method
Stoynov et al. Differential Resistance Analysis-Current Achievements and Applications
RU2411513C1 (en) Method of identifying and monitoring concentration nano-objects in dispersed media
Ranjan et al. Estimating the Number of Defects in a Single Breakdown Spot of a Gate Dielectric
Nguyen et al. Leakage Current Measurements of Amorphous Silicon Carbide Encapsulation for Implantable Microelectrode Arrays