RU2786489C2 - Improved nozzle - Google Patents
Improved nozzle Download PDFInfo
- Publication number
- RU2786489C2 RU2786489C2 RU2020128733A RU2020128733A RU2786489C2 RU 2786489 C2 RU2786489 C2 RU 2786489C2 RU 2020128733 A RU2020128733 A RU 2020128733A RU 2020128733 A RU2020128733 A RU 2020128733A RU 2786489 C2 RU2786489 C2 RU 2786489C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- nozzle
- channels
- recess
- channel
- depth
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Description
Область техникиTechnical field
Изобретение относится к области ингаляционных устройств для жидкостей. В частности, изобретение относится к распыливающему соплу, предназначенному для использования в таком ингаляционном устройстве, а также к способу изготовления такого сопла.The invention relates to the field of inhalation devices for liquids. In particular, the invention relates to a spray nozzle for use in such an inhalation device, as well as to a method for manufacturing such a nozzle.
Уровень техникиState of the art
Из уровня техники давно известны небулайзеры или другие аэрозольные генераторы для жидкостей. В частности, такие устройства используются в медицине в терапевтических и исследовательских целях. В указанных областях они служат в качестве ингаляционных устройств для доставки активных ингредиентов в виде аэрозолей, т.е. небольших распределенных в газе капель жидкости. Такое ингаляционное устройство, например, известно из документа EP 0627230 B1. Основными компонентами указанного ингаляционного устройства являются резервуар, в котором содержится жидкость, подлежащая переводу в аэрозольное состояние; нагнетательный блок для создания давления, являющегося достаточно высоким для распыливания; а также распылительное устройство в виде сопла.Nebulizers or other aerosol generators for liquids have long been known in the art. In particular, such devices are used in medicine for therapeutic and research purposes. In these areas, they serve as inhalation devices for the delivery of active ingredients in the form of aerosols, i. small liquid droplets dispersed in a gas. Such an inhalation device is, for example, known from EP 0627230 B1. The main components of said inhalation device are a reservoir containing a liquid to be aerosolised; a pressure unit for generating a pressure that is high enough to atomize; as well as a spray device in the form of a nozzle.
Усовершенствование такого ингаляционного устройства раскрыто в патентной заявке EP 17168869, поданной тем же заявителем, что и настоящее изобретение, содержание которой полностью включено в настоящий документ.An improvement to such an inhalation device is disclosed in patent application EP 17168869 filed by the same applicant as the present invention, the contents of which are incorporated herein in their entirety.
Для получения достаточно гомогенной и мелкодисперсной взвеси капель жидкости обычно требуются относительно высокое давление, такое как от 10 бар до 1000 бар. Чтобы поддерживать приемлемо малое количество испаряемой жидкости для каждой дозы, распыливающее сопло обычно содержит один или несколько каналов, поперечное сечение каждого из которых составляет только порядка нескольких мкм2, например от 2 мкм2 до 200 мкм2. Каналы находятся в корпусе сопла и часто изготавливаются с использованием технологий изготовления на микроуровне, таких как микротравление, микролитография и т.п. Однако указанные технологии часто предназначены для твердых и хрупких материалов, таких как кремний, стекло или металл, и для того, чтобы избежать любой нежелательной деформации сопла под воздействием указанного высокого давления, сопло часто изготавливают из очень жесткого материала.Relatively high pressure, such as 10 bar to 1000 bar, is generally required to obtain a sufficiently homogeneous and fine suspension of liquid droplets. In order to maintain an acceptably small amount of vaporized liquid for each dose, the spray nozzle typically contains one or more channels, each of which has a cross section of only a few microns 2 , for example from 2 microns 2 to 200 microns 2 . The channels are located in the nozzle body and are often fabricated using micro-manufacturing techniques such as micro-etching, microlithography, and the like. However, these techniques are often designed for hard and brittle materials such as silicon, glass or metal, and in order to avoid any unwanted deformation of the nozzle under said high pressure, the nozzle is often made from a very rigid material.
Таким образом, сопло обычно размещают в металлическом кожухе, который защищает сопло во время сборки и использования. Несмотря на то, что часто термин «сопло» используют в отношении кожуха и части, которые друг с другом вместе фактически образуют сопло, в дальнейшем термины «сопло» и «корпус сопла» относятся к «основной» части, которая направляет жидкость.Thus, the nozzle is usually placed in a metal casing that protects the nozzle during assembly and use. While the term "nozzle" is often used to refer to the shroud and the part that together actually form the nozzle, hereinafter the terms "nozzle" and "nozzle body" refer to the "main" part that guides the fluid.
Для изготовления сопла из кремния или стекла часто на пластину-подложку в виде диска накладывается маска, которую облучают с формированием большого количества двумерных контуров сопел или таких элементов сопла, как каналы. Затем, посредством избирательного травления контуры и, в частности, каналы вертикально протравливают в подложку таким образом, что получается пластина, на которой образованы десятки или сотни заготовок сопел, изготовленных по групповой технологии. На этапе разделения пластину разрезают посредством распиловки с помощью пилы для распиловки пластин на фрагменты, которые представляют собой отдельные сопла.To fabricate a silicon or glass nozzle, a mask is often applied to a disc-shaped substrate plate and irradiated to form a large number of two-dimensional nozzle contours or nozzle features such as channels. Then, by means of selective etching, the contours, and in particular the channels, are vertically etched into the substrate in such a way that a plate is obtained on which tens or hundreds of batch-produced nozzle blanks are formed. In the separating step, the wafer is cut by sawing with a wafer saw into fragments which are individual nozzles.
Однако, если выравнивание распиловочного устройства по отношению к соплам не является предельно точной (или даже изменяется во время процесса распиловки), это отрицательно сказывается на длинах каналов. В пределах одного сопла, если угол расположения пилы не точно ориентирован перпендикулярно по отношению к продольной оси сопла, два (или более) каналов имеют различную длину, поскольку передний край сопла не перпендикулярен к (обычно присутствующей) оси симметрии и продольной оси сопла. Кроме того, средняя длина всех каналов одного сопла варьирует от одного к другому таким образом, что выпуск сопел получается очень неоднородным, что является нежелательным результатом.However, if the alignment of the sawing device with respect to the nozzles is not extremely accurate (or even changes during the sawing process), this negatively affects the lengths of the channels. Within a single nozzle, if the saw angle is not exactly perpendicular to the longitudinal axis of the nozzle, the two (or more) channels are of different lengths because the leading edge of the nozzle is not perpendicular to the (usually present) axis of symmetry and the longitudinal axis of the nozzle. In addition, the average length of all channels of one nozzle varies from one to another, so that the discharge of the nozzles is very non-uniform, which is an undesirable result.
Другая проблема возникает в связи с возможным образованием мелких сколов материала в процессе распиловки. Это приводит к образованию неодинаковых по форме, «бахромчатых» выходов из каналов, что приводит к неоптимальной струе и, соответственно, к неоптимальному формированию капель.Another problem arises in connection with the possible formation of small chips of the material during the sawing process. This leads to the formation of unevenly shaped, "fringed" exits from the channels, which leads to a non-optimal jet and, accordingly, to non-optimal droplet formation.
Еще одна проблема возникает из-за повреждения выходов из каналов при сборке сопла, во время использования сопла или из-за его загрязнения во время изготовления, использования и хранения. Пыль или следы от пальцев могут засорить выходы, что приведет к недостаточно оптимальному испарению жидкости из-за неравномерного образования струи.Another problem arises from damage to the channel outlets during assembly of the nozzle, during use of the nozzle, or from contamination during manufacture, use and storage. Dust or fingerprints can clog the outlets, resulting in sub-optimal liquid evaporation due to uneven jet formation.
Раскрытие сущности изобретенияDisclosure of the essence of the invention
В первом аспекте настоящее изобретение обеспечивает сопло для ингаляционного устройства для распыливания жидкости с образованием вдыхаемого аэрозоля, с корпусом (1) сопла, который имеет передний конец (1B) и содержит по меньшей мере два эжекционных канала (2, 2'), каждый канал (2, 2') имеет выход (2A, 2A') из канала, причем эжекционные каналы (2, 2') расположены таким образом, чтобы эжектировать жидкость по соответствующим траекториям эжекции, которые пересекаются друг с другом в точке столкновения, In a first aspect, the present invention provides a nozzle for an inhalation device for spraying liquid to form an inhalable aerosol, with a nozzle body (1) that has a front end (1B) and contains at least two ejection channels (2, 2'), each channel ( 2, 2') has an outlet (2A, 2A') from the channel, the ejection channels (2, 2') being positioned so as to eject the liquid along respective ejection paths which intersect each other at the point of collision,
причем на переднем конце (1B) обеспечено по меньшей мере одно углубление (3), в котором расположены по меньшей мере два выхода (2A, 2A') из каналов,moreover, at the front end (1B) at least one recess (3) is provided, in which at least two exits (2A, 2A') from the channels are located,
корпус (1) сопла имеет плоскую сторону (1A) по меньшей мере с двумя каналами (2, 2’) для жидкости, заглубленными на заданную глубину (D) на указанной плоской стороне (1A),the body (1) of the nozzle has a flat side (1A) with at least two channels (2, 2’) for liquid buried to a predetermined depth (D) on said flat side (1A),
дополнительно обеспечена крышка (4), которая закрывает по меньшей мере два канала (2, 2’) и имеет передний конец (4B), который на виде, перпендикулярном продольной оси (X) корпуса (1) сопла, соответствует переднему концу (1B) корпуса (1) сопла,a cover (4) is additionally provided, which closes at least two channels (2, 2') and has a front end (4B), which, in a view perpendicular to the longitudinal axis (X) of the nozzle body (1), corresponds to the front end (1B) body (1) nozzle,
указанное углубление (3) имеет первую глубину (D’), которая больше, чем глубина (D) указанных по меньшей мере двух каналов (2, 2’).said recess (3) has a first depth (D') which is greater than the depth (D) of said at least two channels (2, 2').
Во втором аспекте настоящее изобретение обеспечивает способ изготовления сопла в соответствии с первым аспектом изобретения, включающий этапы:In a second aspect, the present invention provides a method for manufacturing a nozzle according to the first aspect of the invention, comprising the steps of:
a) обеспечения корпуса (1) сопла, который имеет передний конец (1B) и содержит по меньшей мере два эжекционных канала (2, 2'), каждый из каналов (2, 2') имеет выход (2A, 2A') из канала, причем эжекционные каналы (2, 2') расположены таким образом, чтобы эжектировать жидкость по соответствующим траекториям эжекции, которые пересекаются друг с другом в точке столкновения,a) providing a body (1) of the nozzle, which has a front end (1B) and contains at least two ejection channels (2, 2'), each of the channels (2, 2') has an exit (2A, 2A') from the channel , and the ejection channels (2, 2') are arranged in such a way as to eject the liquid along the respective ejection paths, which intersect each other at the point of collision,
причем на переднем конце (1B) обеспечено по меньшей мере одно углубление (3), в котором расположены по меньшей мере два выхода (2A, 2A') из каналов,moreover, at the front end (1B) at least one recess (3) is provided, in which at least two exits (2A, 2A') from the channels are located,
корпус (1) сопла имеет плоскую сторону (1A) по меньшей мере с двумя каналами (2, 2’) для жидкости, заглубленными на заданную глубину (D) на указанной плоской стороне (1A),the body (1) of the nozzle has a flat side (1A) with at least two channels (2, 2’) for liquid buried to a predetermined depth (D) on said flat side (1A),
при этом обеспечение включает следующие этапы:the provision includes the following steps:
- обеспечение пластины-подложки (wafer substrate);- providing a substrate plate (wafer substrate);
- изготовление на одной стороне (1A) указанной подложки по меньшей мере двух каналов (2, 2’) для жидкости, имеющих заданную глубину (D);- manufacturing on one side (1A) of said substrate at least two channels (2, 2') for liquid having a predetermined depth (D);
- изготовление углубления (3), имеющего первую глубину (D’), большую чем глубина (D) указанных по меньшей мере двух каналов (2, 2’) для жидкости на указанной одной стороне (1A) корпуса (1), при этом указанное углубление ограждает концевую часть каналов (2, 2’);- making a recess (3) having a first depth (D') greater than the depth (D) of said at least two fluid channels (2, 2') on said one side (1A) of the housing (1), wherein said the recess encloses the end of the channels (2, 2');
- отделение указанного корпуса (1) от подложки по разделительной линии (5), которая пересекает вышеупомянутое углубление (3);- separating said body (1) from the substrate along a dividing line (5) which crosses the aforementioned recess (3);
таким образом, что в указанном углублении (3) обеспечивают по меньшей мере два выхода (2В, 2В’) из каналов, причем обеспечена возможность сохранения расстояния между указанными выходами (2A, 2A') из каналов независящим от возможного углового или линейного отклонения указанной разделительной линии (5) от оптимальной разделительной линии (5’), иin such a way that at least two outlets (2B, 2B') from the channels are provided in the said recess (3), and it is possible to maintain the distance between the said outlets (2A, 2A') from the channels independent of the possible angular or linear deviation of the said dividing line (5) from the optimal dividing line (5'), and
b) закрытия вышеупомянутого корпуса (1) сопла крышкой (4).b) closing the aforementioned nozzle body (1) with a cover (4).
В дополнительных аспектах настоящее изобретение обеспечивает сопло в соответствии с первым аспектом изобретения, полученное или выполненное с возможностью получения посредством способа в соответствии со вторым аспектом изобретения, а также применение сопла в соответствии с первым аспектом изобретения в ингаляционном устройстве для распыливания жидкости с образованием вдыхаемого аэрозоля.In additional aspects, the present invention provides a nozzle in accordance with the first aspect of the invention, obtained or capable of being obtained by the method in accordance with the second aspect of the invention, as well as the use of the nozzle in accordance with the first aspect of the invention in an inhalation device for spraying a liquid to form an inhalable aerosol.
Еще в одном аспекте настоящее изобретение обеспечивает ингаляционное устройство для распыливания жидкости с образованием вдыхаемого аэрозоля, содержащее сопло в соответствии с первым аспектом изобретения.In yet another aspect, the present invention provides an inhalation device for nebulizing a liquid to form an inhalable aerosol, comprising a nozzle in accordance with the first aspect of the invention.
Задача изобретенияThe task of the invention
Задачей изобретения является обеспечение сопла, которое позволяет избежать одного или более недостатков известного уровня техники.The object of the invention is to provide a nozzle that avoids one or more of the disadvantages of the prior art.
Другой задачей является обеспечение способа изготовления сопла или корпуса сопла, который обеспечивает или которое обеспечивает, что при отделении сопла от пластины процесс отделения не влияет на взаимное расположение или качество выходов из каналов.Another object is to provide a method for manufacturing a nozzle or nozzle body which ensures or which ensures that when the nozzle is separated from the plate, the separation process does not affect the relative position or quality of the exits from the channels.
При отделении от пластины, для сопла с каналами, симметричными по отношению к продольной оси сопла и/или имеющими определенные длины, необходимо, чтобы указанная симметрия и/или указанные длины не зависела от процесса отделения.When separating from the plate, for a nozzle with channels that are symmetrical with respect to the longitudinal axis of the nozzle and/or have certain lengths, it is necessary that the indicated symmetry and/or the indicated lengths be independent of the separation process.
При изготовлении по групповой технологии необходимо, чтобы длины каналов всех сопел из партии имели желаемую величину независимо от небольших смещений пилы для распиловки пластин.In batch production, it is necessary that the lengths of the channels of all nozzles from a batch have the desired value, regardless of small displacements of the saw for sawing plates.
При изготовлении, использовании или хранении необходимо снизить риск повреждения или загрязнения незащищенных выходов из каналов.During manufacture, use or storage, the risk of damage or contamination of unprotected channel outlets must be reduced.
Осуществление изобретенияImplementation of the invention
Задача изобретения решена посредством обеспечения сопла для ингаляционного устройства для распыливания жидкости с образованием вдыхаемого аэрозоля, с корпусом (1) сопла, который имеет передний конец (1B) и содержит по меньшей мере два эжекционных канала (2, 2'), каждый канал (2, 2') имеет выход (2A, 2A') из канала, причем эжекционные каналы (2, 2') расположены таким образом, чтобы эжектировать жидкость по соответствующим траекториям эжекции, которые пересекаются друг с другом в точке столкновения, The object of the invention is solved by providing a nozzle for an inhalation device for spraying a liquid to form an inhalable aerosol, with a nozzle body (1) that has a front end (1B) and contains at least two ejection channels (2, 2'), each channel (2 , 2') has an exit (2A, 2A') from the channel, and the ejection channels (2, 2') are arranged in such a way as to eject the liquid along the respective ejection paths, which intersect each other at the point of collision,
причем на переднем конце (1B) обеспечено по меньшей мере одно углубление (3), в котором расположены по меньшей мере два выхода (2A, 2A') из каналов,moreover, at the front end (1B) at least one recess (3) is provided, in which at least two exits (2A, 2A') from the channels are located,
корпус (1) сопла имеет плоскую сторону (1A) по меньшей мере с двумя каналами (2, 2’) для жидкости, заглубленными на заданную глубину (D) на указанной плоской стороне (1A),the body (1) of the nozzle has a flat side (1A) with at least two channels (2, 2’) for liquid buried to a predetermined depth (D) on said flat side (1A),
дополнительно обеспечена крышка (4), которая закрывает по меньшей мере два канала (2, 2’) и имеет передний конец (4B), который на виде, перпендикулярном продольной оси (X) корпуса (1) сопла, соответствует переднему концу (1B) корпуса (1) сопла,a cover (4) is additionally provided, which closes at least two channels (2, 2') and has a front end (4B), which, in a view perpendicular to the longitudinal axis (X) of the nozzle body (1), corresponds to the front end (1B) body (1) nozzle,
указанное углубление (3) имеет первую глубину (D’), которая больше, чем глубина (D) указанных по меньшей мере двух каналов (2, 2’).said recess (3) has a first depth (D') which is greater than the depth (D) of said at least two channels (2, 2').
Кроме того, задача изобретения решена посредством способа в соответствии со вторым аспектом изобретения. Конкретные варианты осуществления аспектов настоящего изобретения представлены в соответствующих зависимых пунктах формулы изобретения, нижеследующем описании, а также на прилагаемых чертежах.In addition, the object of the invention is solved by the method according to the second aspect of the invention. Specific embodiments of aspects of the present invention are presented in the respective dependent claims, the following description, as well as in the accompanying drawings.
Для справки, предполагается, что сопло имеет продольную ось (ось X, X-направление). Расстояния, которые по меньшей мере преимущественно расположены в этом направлении, в дальнейшем называются «длинами». Термин «ширина» обозначает расстояние, которое проходит в боковом направлении от этой оси X (ось Y), а термины «глубина» и «высота» обозначают расстояние, которое проходит перпендикулярно обоим вышеупомянутым направлениям.For reference, the nozzle is assumed to have a longitudinal axis (X-axis, X-direction). Distances which are at least predominantly located in this direction are hereinafter referred to as "lengths". The term "width" refers to the distance that extends laterally from this X-axis (Y-axis), while the terms "depth" and "height" denote the distance that extends perpendicular to both of the aforementioned directions.
Настоящее изобретение относится к соплу для ингаляционного устройства для распыливания жидкости с образованием вдыхаемого аэрозоля и, в частности, к ингаляционному устройству, которое содержит и в котором используется сопло, обеспечивающее столкновение множества потоков. Такие сопла характеризуются тем, что они содержат множество, конкретно по меньшей мере два, например от двух до примерно пяти или четырех или, более конкретно, двух каналов для жидкости, из которых жидкость выпускается с высокой скоростью. При проектировании и изготовлении надлежащим образом отдельные струи, которые движутся по соответствующим траекториям эжекции, пересекаются друг с другом, образуя мелкодисперсную взвесь в точке столкновения.The present invention relates to a nozzle for an inhalation device for nebulizing a liquid to form an inhalable aerosol, and in particular to an inhalation device that includes and uses a nozzle that provides collision of multiple streams. Such nozzles are characterized in that they comprise a plurality, specifically at least two, such as two to about five or four, or more specifically two, fluid channels from which fluid is discharged at high speed. When properly designed and manufactured, the individual jets, which move along the respective ejection paths, intersect with each other, forming a fine suspension at the point of impact.
Сопло содержит корпус сопла, который может быть изготовлен по групповой технологии из пластины-подложки, причем подложка обычно состоит из хрупкого материала такого как, например, кремний, стекло или керамика. В дополнительных вариантах осуществления она может быть также выполнена из другого материала, такого как полимерный материал, например, термопластичный полимер, такой как, например, полиэтилен, полипропилен, полистирол или полиэфирэфиркетон (ПЭЭК) или т.п. В дополнительных вариантах осуществления корпус сопла может быть выполнен из или может состоять из дюропласта, меламиновых смол или металлов, таких как нержавеющая сталь или титан, или содержать их.The nozzle comprises a nozzle body which can be mass-produced from a substrate plate, the substrate usually consisting of a brittle material such as, for example, silicon, glass or ceramic. In additional embodiments, it may also be made from another material such as a polymeric material, for example a thermoplastic polymer such as, for example, polyethylene, polypropylene, polystyrene or polyetheretherketone (PEEK) or the like. In further embodiments, the nozzle body may be made of, or may consist of, or contain Duroplast, melamine resins, or metals such as stainless steel or titanium.
Корпус сопла может иметь форму, подобную пластине, размеры которой обычно находятся в сантиметровом или миллиметровом диапазоне, таком как, например, толщина от 1 мм до 5 мм, длина - от 5 мм до 30 мм и ширина - от 5 мм до 30 мм.The nozzle body may be shaped like a plate, the dimensions of which are usually in the centimeter or millimeter range, such as, for example, a thickness of 1 mm to 5 mm, a length of 5 mm to 30 mm, and a width of 5 mm to 30 mm.
Корпус сопла содержит по меньшей мере два канала для жидкости, которые могут быть заглублены на заданную глубину на одной стороне указанного корпуса сопла. Для формирования сопла ударного типа должны присутствовать по меньшей мере два канала с осями пересекающихся струй таким образом, если не указано иное, последующие примеры будут основаны на предположении, что одно сопло имеет ровно два канала. Однако объём притязаний настоящего изобретения, изложенный ниже в настоящем описании, охватывает в целом также и многоканальные сопла.The nozzle body contains at least two fluid channels that can be buried to a predetermined depth on one side of said nozzle body. To form an impact type nozzle, at least two channels with intersecting jet axes must be present so, unless otherwise noted, the following examples will be based on the assumption that one nozzle has exactly two channels. However, the scope of the present invention, as set forth below in the present description, generally covers multi-channel nozzles as well.
В соответствии с настоящим изобретением, на переднем конце предусмотрено углубление, в котором расположены по меньшей мере два (возможно больше) выхода из каналов.In accordance with the present invention, a recess is provided at the front end, in which at least two (possibly more) exits from the channels are located.
Таким образом, благодаря указанному углублению обеспечены выходы из каналов, которые смещены назад по отношению к указанному переднему концу на определенную величину смещения. Другими словами, указанное углубление находится в той области, где каналы обычно заканчиваются, то есть в той области, которая совпадает с соответствующими контурами переднего конца.Thus, due to said recess, exits from the channels are provided which are displaced rearward with respect to said front end by a certain amount of displacement. In other words, said recess is located in the area where the channels usually end, that is, in the area that coincides with the corresponding contours of the front end.
В одном варианте осуществления это углубление проходит в боковом направлении по меньшей мере от внешней стороны канала, который является крайним справа каналом, к внешней стороне канала, который является крайним слева каналом, где «право» и «лево» определяют по отношению к продольной оси сопла. В предпочтительном варианте осуществления углубление проходит за пределы указанных внешних сторон, предпочтительно по меньшей мере на одно и то же или на одно и то же расстояние, соответствующее разнице между глубиной (D) по меньшей мере двух каналов для жидкости и первой глубиной (D’) углубления, как будет подробно описано ниже. Углубление имеет такие размеры, чтобы «отсекать» теоретическую самую переднюю часть каждого канала (таким образом, смещая положение выходов из каналов). Глубина (D’) углубления больше, чем глубина (D) канала, чтобы избежать или минимизировать контакт эжектируемых из каналов струй жидкости с поверхностями углубления. Посредством обеспечения углубления выходы из каналов смещены назад в сопло так, чтобы располагаться в задней стенке углубления; расстояние (смещение) равно размеру углубления, измеряемому в направлении, параллельном продольной оси сопла, от переднего конца сопла до «задней стенки» углубления.In one embodiment, this recess extends laterally from at least the outside of the channel, which is the rightmost channel, to the outside of the channel, which is the leftmost channel, where "right" and "left" are defined with respect to the longitudinal axis of the nozzle. . In a preferred embodiment, the recess extends beyond said outer sides, preferably at least the same or the same distance corresponding to the difference between the depth (D) of at least two fluid channels and the first depth (D') recesses, as will be described in detail below. The recess is sized to "cut off" the theoretical frontmost portion of each channel (thus shifting the position of the channel outlets). The depth (D') of the recess is greater than the depth (D) of the channel in order to avoid or minimize the contact of liquid jets ejected from the channels with the surfaces of the recess. By providing the recess, the outlets of the channels are shifted back into the nozzle so as to be located in the rear wall of the recess; the distance (offset) is equal to the size of the recess, measured in a direction parallel to the longitudinal axis of the nozzle, from the front end of the nozzle to the "back wall" of the recess.
Сторона, которая содержит указанные каналы, обычно является «плоской» или «верхней» стороной корпуса сопла, которая может иметь в целом пластинообразную или кубовидную общую форму. В вышеприведенном примере для сопла, изготовленного из заготовки, размеры которой составляют, например, приблизительно 30 мм x 30 мм x 5 мм, это будет сторона, имеющая большие размеры (такие как, например, 30 мм x 30 мм). В этом контексте сторона, которая имеет меньшие размеры (такие как, например, 30 мм x 5 мм) будет называться «передним концом», что обозначает самую переднюю физическую часть сопла, и также приблизительное направление, в котором соответствующая струя жидкости покидает каналы. Как правило, передний конец и верхняя сторона расположены перпендикулярно друг к другу.The side that contains these channels is usually the "flat" or "top" side of the nozzle body, which may have a generally plate-like or cuboidal general shape. In the above example, for a nozzle made from a blank that measures approximately 30 mm x 30 mm x 5 mm, for example, this would be the larger side (such as 30 mm x 30 mm, for example). In this context, the smaller side (such as for example 30 mm x 5 mm) will be referred to as the "front end", which refers to the most forward physical part of the nozzle, and also the approximate direction in which the corresponding liquid jet leaves the channels. As a rule, the front end and the top side are perpendicular to each other.
Ось струи или траектория эжекции каждого канала (но необязательно сама ось канала) пересекает указанную переднюю плоскость, которая соответствует переднему концу сопла, таким образом, чтобы образовывать «гипотетический» выход из канала на указанной плоскости, то есть «гипотетическое» расположение выхода из канала, если бы не было углубления. Термин «гипотетический» указывает на то, что в настоящем изобретении, благодаря наличию углубления, обеспечен «реальный» выход из канала (называемый просто «выходом»), который расположен в другом месте. The jet axis or ejection path of each channel (but not necessarily the channel axis itself) intersects the specified front plane, which corresponds to the front end of the nozzle, in such a way as to form a "hypothetical" channel outlet on the specified plane, that is, a "hypothetical" location of the channel outlet, if there were no recess. The term "hypothetical" indicates that in the present invention, due to the presence of a recess, a "real" outlet is provided from a channel (called simply an "outlet") that is located elsewhere.
В результате, при отделении сопла от подложки посредством распиловки или лазерной резки по разделительной линии, даже если ориентация указанной разделительной линии отличается от оптимальной разделительной линии, которая проходит перпендикулярно продольной оси сопла, расстояние между выходами из каналов остается неизменным. Таким образом, расстояние, точное регулирование которого является важной мерой для получения оптимального результата распыливания, становится независимым от ориентации разделительной линии. Это возможно, поскольку выходы из каналов определяются положением заднего конца углубления, на которое процесс отделения не влияет. Указанным положением можно точно управлять, поскольку оно является результатом того же самого точного процесса, который применяется для изготовления самих конструкций канала (например, маскирования, избирательного травления, лазерного сверления, лазерной абляции). Однако оно не зависит от процесса отделения, который в противном случае (т.е. при отсутствии углубления) определял бы положение и ориентацию выходов из каналов, которые были бы в этом случае расположены на переднем конце (полученном в результате распиловки или иным образом отделенного). As a result, when separating the nozzle from the substrate by sawing or laser cutting along the dividing line, even if the orientation of the dividing line differs from the optimal dividing line, which runs perpendicular to the longitudinal axis of the nozzle, the distance between the outlets of the channels remains unchanged. In this way, the distance, the precise regulation of which is an important measure for obtaining an optimal spraying result, becomes independent of the orientation of the dividing line. This is possible because the exits from the channels are determined by the position of the rear end of the recess, which is not affected by the separation process. This position can be precisely controlled as it is the result of the same precise process that is used to fabricate the channel structures themselves (eg, masking, selective etching, laser drilling, laser ablation). However, it does not depend on the separation process, which would otherwise (i.e., in the absence of a recess) determine the position and orientation of the exits from the channels, which would in this case be located at the front end (obtained by sawing or otherwise separated) .
Также, поскольку выходы из каналов расположены в точно сформированной области (задняя стенка углубления), а не на возможно неровном или даже «шероховатом» переднем конце сопла, качество струй находится на очень высоком уровне и не зависит от качества распиловки.Also, since the outlets of the channels are located in a precisely formed area (the back wall of the recess), and not at the possibly uneven or even "rough" front end of the nozzle, the quality of the jets is at a very high level and does not depend on the quality of sawing.
Кроме того, применительно к примыкающим соплам, которые изготавливают с помощью конфигурации, представляющей собой множество сопел, и затем отделяют от единой подложки, остается неизменным расстояние между каналами не только в пределах каждого отдельного сопла, но это также в отношении всех сопел, изготовленных из пластины-подложки. Таким образом, можно получить практически однородную партию, что приводит в результате к более высокому качеству и меньшему отклонению от желаемой конструкции.In addition, for adjacent nozzles that are made with a plurality of nozzles and then separated from a single substrate, the distance between the channels remains unchanged, not only within each individual nozzle, but this also applies to all nozzles made from a plate - substrates. In this way, a substantially uniform batch can be obtained, resulting in higher quality and less deviation from the desired design.
Другое преимущество состоит в том, что риск повреждения или загрязнения незащищенных выходов каналов значительно снижается, поскольку, в зависимости от соответствующей конструкции, углубление может иметь такие размеры, чтобы препятствовать прикосновению к его заднему концу, где расположены выходы из каналов, что делает невозможным их физическое достижение при случайном прикосновении во время использования или хранения.Another advantage is that the risk of damaging or fouling unprotected channel outlets is greatly reduced because, depending on the appropriate design, the recess may be sized to prevent touching its rear end, where the channel outlets are located, making it impossible for them to physically achievement by accidental touch during use or storage.
В соответствии с одним вариантом осуществления предусмотрены по меньшей мере два (или более) углубления; в каждом из по меньшей мере двух из указанных двух или более углублений расположен только один выход из канала. В дополнительных конкретных вариантах осуществления предусмотрено одно отдельное углубление для каждого выхода из канала. Это означает, что для каждого выхода из канала обеспечено отдельное углубление, которое обеспечивает смещение назад указанного выхода от соответствующего переднего конца.In accordance with one embodiment, at least two (or more) recesses are provided; in each of at least two of said two or more recesses there is only one exit from the channel. In additional specific embodiments, one separate recess is provided for each exit from the channel. This means that for each exit from the channel, a separate recess is provided, which provides a displacement back of the specified exit from the corresponding front end.
Преимущество этого варианта осуществления состоит в том, что требуется удалить меньше материала, чтобы достичь эффекта независимости от процесса изготовления, и в том, что вышеупомянутый защитный эффект дополнительно усиливается, благодаря небольшому размеру углубления, в особенности, по сравнению с большим одиночным углублением для двух или более выходов из каналов, расположенных на сравнительно большом расстоянии друг от друга.The advantage of this embodiment is that less material needs to be removed to achieve the effect of independence from the manufacturing process, and that the aforementioned protective effect is further enhanced due to the small size of the recess, especially compared to a large single recess for two or more outlets from channels located at a relatively large distance from each other.
В соответствии с конкретными вариантами осуществления корпус сопла может представлять собой монолитную конструкцию, или может быть получен из монолитной конструкции. Это означает, что вся конструкция корпуса сопла, содержащая внутренние конструкции каналов, изготовлена из объемного материала, и не требуется никакого дополнительного элемента, кроме соответствующей крышки, а именно, для закрывания изначально открытых конструкций канала, где «открытый», безусловно, не относится к отверстиям, необходимым для надлежащего функционирования, таким как, например, выходы из каналов. Например, посредством прорисовки конструкций каналов на заготовке, состоящей из светочувствительного материала, и последующего вытравливания облучаемых областей, могут быть сформированы каналы в указанной заготовке. С применением того же самого процесса также может быть изготовлено (могут быть изготовлены) углубление (углубления), в соответствии с настоящим изобретением.In accordance with specific embodiments, the nozzle body may be of a monolithic structure, or may be formed from a monolithic structure. This means that the entire structure of the nozzle body, containing the internal structures of the channels, is made of bulk material, and no additional element is required other than an appropriate cover, namely, to close the initially open structures of the channel, where "open" certainly does not refer to openings necessary for proper functioning, such as duct outlets. For example, by drawing channel designs on a preform consisting of a photosensitive material and then etching out irradiated areas, channels can be formed in said preform. Using the same process, recess(s) in accordance with the present invention can also be made (may be made).
Корпус сопла имеет плоскую сторону по меньшей мере с двумя каналами для жидкости, заглубленными на заданную глубину на вышеупомянутой плоской стороне, причем дополнительно обеспечена крышка, закрывающая по меньшей мере два канала и имеющая передний конец, который на виде, перпендикулярном продольной оси корпуса сопла, соответствует переднему концу корпуса сопла.The nozzle body has a flat side with at least two fluid channels recessed to a predetermined depth on the aforementioned flat side, and a cover is additionally provided covering at least two channels and having a front end that, in a view perpendicular to the longitudinal axis of the nozzle body, corresponds to front end of the nozzle body.
Другими словами, для того, чтобы закрыть каналы во всех боковых направлениях, но не область входа и выхода, предусмотрена крышка, которая закрывает изначально открытую верхнюю сторону корпуса сопла. Крышка может быть изготовлена из того же самого материала, что и пластина-подложка, но она также может быть изготовлена из другого материала, такого как полимерный материал, например, термопластичный полимер, такой как полиэтилен, полипропилен, полистирол или полиэфирэфиркетон (ПЭЭК) или т.п. В конкретных вариантах осуществления корпус сопла и/или крышка могут быть выполнены из ПЭЭК. В дополнительных конкретных вариантах осуществления корпус сопла и крышка могут быть выполнены из ПЭЭК или, другими словами, могут содержать ПЭЭК или состоять из него. В дополнительных вариантах осуществления корпус сопла и/или крышка могут быть выполнены из ПЭЭК, а другое из них может быть выполнено из или состоять из другого материала, предпочтительно кремния или стекла. В дополнительных вариантах осуществления крышка и/или корпус сопла, как описано выше, могут быть выполнены из или состоять из дюропласта или меламиновых смол или металлов, таких как нержавеющая сталь или титан, или могут содержать их.In other words, in order to close the channels in all lateral directions, but not the inlet and outlet area, a cover is provided which covers the initially open upper side of the nozzle body. The lid can be made from the same material as the backing plate, but it can also be made from a different material such as a polymeric material, such as a thermoplastic polymer such as polyethylene, polypropylene, polystyrene, or polyetheretherketone (PEEK) or t .P. In specific embodiments, the nozzle body and/or cap may be made of PEEK. In further specific embodiments, the nozzle body and cover may be made of PEEK or, in other words, may contain or consist of PEEK. In additional embodiments, the nozzle body and/or cap may be made of PEEK, and the other of them may be made of or consist of another material, preferably silicon or glass. In further embodiments, the cap and/or nozzle body as described above may be made of or comprised of or comprise Duroplast or melamine resins or metals such as stainless steel or titanium.
Например, подложка может состоять из кремния, а крышка может состоять из стекла, или наоборот. Передний конец крышки должен быть выровнен с передним концом корпуса сопла. В конкретных вариантах осуществления передняя линия крышки и передняя линия корпуса сопла могут быть ориентированы перпендикулярно продольной оси корпуса сопла. Однако, даже если дело обстоит иным образом, после соединения крышки с подложкой перед отделением сопел друг от друга процесс распиловки может быть спроектирован таким образом, чтобы привести в результате к такому выравниванию.For example, the substrate may be silicon and the lid may be glass, or vice versa. The front end of the cover must be aligned with the front end of the nozzle body. In particular embodiments, the cover front line and the nozzle body front line may be oriented perpendicular to the longitudinal axis of the nozzle body. However, even if this is not the case, after bonding the cover to the substrate before separating the nozzles from each other, the sawing process can be designed to result in such an alignment.
В конкретных вариантах осуществления крышка выполнена как, возможно, предварительно структурированная вторая подложка, которую присоединяют к подложке корпуса сопла. После присоединения сопла могут быть разделены между собой. Таким образом, не все крышки должны быть по отдельности размещены на подложке и присоединены к ней или даже присоединены к ранее отделенным друг от друга корпусам сопел. Однако последнее также возможно.In particular embodiments, the lid is configured as possibly a pre-structured second substrate that is attached to the nozzle body substrate. After attachment, the nozzles can be separated from each other. Thus, not all caps need to be individually placed on the substrate and attached to it, or even attached to previously separated nozzle bodies. However, the latter is also possible.
В дополнительных конкретных вариантах осуществления крышка содержит некоторые или все конструкции, которые содержит корпус сопла, но в перевернутом виде. Таким образом, после присоединения крышки к корпусу сопла, оба они совместно образуют конструкции для жидкости. Например, боковая стенка канала состоит из нижней части, заглубленной в корпусе сопла, и вышерасположенной части, заглубленной в крышке. Фактически, если сопло спроектировано практически симметричным по отношению к его продольной оси, крышка может быть обеспечена посредством второго корпуса сопла, которое устанавливают его плоской стороной на плоскую сторону первого корпуса сопла.In further specific embodiments, the lid comprises some or all of the structures that the nozzle body contains, but in an upside-down position. Thus, once the cap is attached to the nozzle body, both of them together form the fluid structures. For example, the side wall of the channel consists of a lower part buried in the nozzle body and an upper part buried in the cover. In fact, if the nozzle is designed to be substantially symmetrical with respect to its longitudinal axis, the cap can be provided by means of a second nozzle body that mounts its flat side against the flat side of the first nozzle body.
В конкретных вариантах осуществления крышка может образовывать верхнюю часть углубления, причем указанная часть углубления проходит от одной стороны крышки к другой её стороне. В этих вариантах осуществления указанная часть углубления может иметь форму фаски с прилегающим к каналам краем. В предпочтительных вариантах осуществления, указанный край коллинеарен соответствующим краям выходов из каналов. Таким образом, вокруг указанных выходов из каналов может быть обеспечен проходящий по периферии уступ.In particular embodiments, the lid may form an upper portion of the recess, said portion of the recess extending from one side of the lid to the other side thereof. In these embodiments, the implementation of the specified part of the recess may be in the form of a chamfer with an edge adjacent to the channels. In preferred embodiments, said edge is collinear with the respective edges of the channel outlets. In this way, a circumferential ledge can be provided around said channel outlets.
Дополнительное преимущество, которое может быть связано с этими вариантами осуществления, состоит в том, что в связи с капиллярными эффектами жидкость, подлежащая эжектированию из эжекционных каналов, которая может накапливаться вокруг выходов из них во время использовании сопла, может быть отведена в сторону от указанных выходов в направлении к сторонам сопла.An additional advantage that may be associated with these embodiments is that, due to capillary effects, the liquid to be ejected from the ejection channels, which may accumulate around their outlets during use of the nozzle, can be diverted away from said outlets. towards the sides of the nozzle.
Углубление имеет глубину (D’), которая больше, чем глубина (D) указанных каналов. Это приводит в результате к формированию уступа на выходе из канала, при этом указанный уступ также может быть точно изготовлен. Таким образом, каждый выход из канала имеет (по меньшей мере) три стороны, которые обеспечивают высокое качество поверхности, а именно, правую и левую стороны (заданные, если смотреть вдоль продольной оси, «шириной» углубления), а также нижнюю сторону (заданную на том же виде глубиной углубления). Это высокое качество поверхности также будет приводить в результате к получению высокого качества краев на выходах из каналов, которые также имеют особые преимущества, состоящие в том, что они дополнительно способствуют выпусканию из сопла точно задаваемых, воспроизводимых струй жидкости при рабочих условиях.The recess has a depth (D') which is greater than the depth (D) of said channels. This results in the formation of a ledge at the outlet of the channel, wherein said ledge can also be accurately produced. Thus, each exit from the channel has (at least) three sides that provide a high surface quality, namely, the right and left sides (given, when viewed along the longitudinal axis, the "width" of the recess), as well as the bottom side (given on the same view with the depth of the recess). This high surface quality will also result in high quality edges at the outlets of the channels, which also have the particular advantage of further facilitating precise, reproducible liquid jets from the nozzle under operating conditions.
Глубина углубления имеет величину, равную глубине каналов, умноженную на коэффициент > 1. Множитель может, например, находиться в диапазоне между 1,1 и 50, и предпочтительно в диапазоне от 1,5 до 30 или в диапазоне от 1,5 до 10, или от 1,5 до 5, например, может приблизительно равняться 3. Разница между глубиной (D) каналов для жидкости и глубиной (D’) углубления в абсолютных величинах может находиться в диапазоне от приблизительно 20 мкм до приблизительно 400 мкм, предпочтительно от приблизительно 20 мкм до приблизительно 100 мкм. В боковом направлении стенки углубления могут находиться на расстоянии, например, от 100 мкм до 150 мкм от каждого выхода из канала; длина углубления (смещение) может, например, составлять от приблизительно 50 мкм до 80 мкм.The depth of the recess has a value equal to the depth of the channels multiplied by a factor > 1. The multiplier may, for example, be between 1.1 and 50, and preferably in the range of 1.5 to 30 or in the range of 1.5 to 10, or from 1.5 to 5, for example, may be approximately 3. The difference between the depth (D) of the fluid channels and the depth (D') of the recess in absolute terms may range from about 20 µm to about 400 µm, preferably from about 20 µm to approximately 100 µm. Laterally, the walls of the recess may be spaced, for example, from 100 µm to 150 µm from each exit from the channel; the length of the depression (offset) may, for example, be from about 50 µm to 80 µm.
В конкретных вариантах осуществления по меньшей мере два эжекционных канала могут иметь длину в диапазоне от приблизительно 20 мкм до приблизительно 500 мкм, или от приблизительно 50 мкм до приблизительно 150 мкм, например, приблизительно равную 100 мкм. В других конкретных вариантах осуществления по меньшей мере два эжекционных канала имеют равную длину. Кроме того, по меньшей мере два эжекционных канала могут иметь поперечное сечение, находящееся в диапазоне от приблизительно 2 мкм2 до приблизительно 400 мкм2, или от приблизительно 10 мкм2 до приблизительно 100 мкм2, например от приблизительно 20 мкм2 до приблизительно 50 мкм2. Предпочтительно, по меньшей мере два эжекционных канала имеют поперечное сечение, величина которого является постоянной по всей длине канала.In specific embodiments, the at least two ejection channels may have a length in the range of from about 20 microns to about 500 microns, or from about 50 microns to about 150 microns, for example, about 100 microns. In other specific embodiments, at least two ejection channels are of equal length. In addition, at least two ejection channels may have a cross section ranging from about 2 µm 2 to about 400 µm 2 , or from about 10 µm 2 to about 100 µm 2 , for example, from about 20 µm 2 to about 50 µm 2 . Preferably, at least two ejection channels have a cross section, the value of which is constant along the entire length of the channel.
Предпочтительно, каждый выход из канала окружен по меньшей мере в трех направлениях (справа, слева, снизу) симметричным проходящим по периферии уступом. В конкретных вариантах осуществления выход из канала окружен проходящим по периферии уступом, более конкретно, симметричным уступом, проходящим по периферии в четырех направлениях (справа, слева, снизу, сверху).Preferably, each exit from the channel is surrounded in at least three directions (right, left, bottom) by a symmetrical ledge extending along the periphery. In particular embodiments, the channel outlet is surrounded by a periphery ledge, more specifically a symmetrical ledge extending circumferentially in four directions (right, left, bottom, top).
В предпочтительном варианте осуществления вышеупомянутая крышка имеет на своем переднем конце часть, где углубление проходит в крышку. Другими словами, крышка также имеет углубление или делит углубление с корпусом сопла. Таким образом, преимущества углубления в корпусе сопла «дублируются» применительно к крышке. В частности, может быть обеспечен уступ, полностью окружающий выход из канала.In a preferred embodiment, the aforementioned lid has at its front end a portion where a recess extends into the lid. In other words, the cap also has a recess or shares a recess with the nozzle body. Thus, the advantages of the recess in the nozzle body are "duplicated" in relation to the cap. In particular, a ledge can be provided that completely surrounds the exit from the channel.
В дополнительных конкретных вариантах осуществления выполненное в крышке углубление является симметричным углублению, выполненному в корпусе сопла по отношению к плоскости, которая является параллельной вышеупомянутой одной стороне и которая делит каналы на две половины одинаковой высоты (центральная плоскость). Таким образом, симметрия указанного уступа увеличивается; струя не будет отклоняться в какую-то определённую сторону при выходе из канала, потому что верхняя и нижняя стороны могут находиться на одном и том же расстоянии от выходов из канала.In additional specific embodiments, the recess made in the cover is symmetrical to the recess made in the nozzle body with respect to a plane that is parallel to the aforementioned one side and that divides the channels into two halves of the same height (central plane). Thus, the symmetry of the specified ledge increases; the jet will not deviate in any particular direction when leaving the channel, because the upper and lower sides can be at the same distance from the exits from the channel.
В соответствии с дополнительными конкретными вариантами осуществления, указанное углубление может иметь, если смотреть в направлении продольной оси, увеличивающуюся глубину и/или ширину, таким образом, что обеспечено наклонное поперечное сечение, являющееся наиболее широким на переднем конце. Другими словами, обеспечивают постепенное расширяющееся и/или углубляющееся поперечное сечение углубления. Такое скошенное, расширяющееся и/или углубляющееся поперечное сечение обеспечивает возможность осуществления особенно плавного перехода от выхода из канала к стенкам углубления, обеспечивая «подобную раструбу» или «подобную колоколу» область, где струя жидкости покидает выход из канала.In accordance with further specific embodiments, said recess may have, when viewed in the direction of the longitudinal axis, an increasing depth and/or width, such that a sloping cross section is provided that is widest at the front end. In other words, a gradual expanding and/or deepening cross section of the recess is provided. Such a bevelled, flared and/or recessed cross-section allows for a particularly smooth transition from the channel outlet to the walls of the recess, providing a "bell-like" or "bell-like" area where the fluid jet leaves the channel outlet.
Такое поперечное сечение может быть достигнуто путем последовательного удаления все большего количества материала в направлении, перпендикулярном одной из сторон (то есть верхней стороне, которая содержит каналы), по мере приближения к переднему концу. На выходах из каналов глубина и ширина, и соответственно удаляемое количество, может быть больше, чем глубина самого выхода из канала, или внешнее расстояние между выходами из каналов, соответственно. Наклон может, например, быть линейным, экспоненциальным или логарифмическим.Such a cross section can be achieved by successively removing more and more material in a direction perpendicular to one of the sides (ie, the top side that contains the channels) as it approaches the front end. At the channel outlets, the depth and width, and thus the amount removed, may be greater than the depth of the channel outlet itself, or the outer distance between the channel outlets, respectively. The slope may, for example, be linear, exponential, or logarithmic.
В дополнительных конкретных вариантах осуществления сопло содержит множество корпусов сопел. Указанные корпуса сопел могут быть уложены один над другим, таким образом, формируя стопу из отдельных корпусов сопел. В этих вариантах осуществления каждый корпус сопла может иметь передний конец (1B) и может содержать по меньшей мере два эжекционных канала (2, 2'), причем каждый из каналов (2, 2') имеет выход (2A, 2A') из канала, и эжекционные каналы (2, 2') расположены таким образом, чтобы эжектировать жидкость по соответствующим траекториям эжекции, которые пересекаются друг с другом в точке столкновения, и по меньшей мере одно углубление (3), которое обеспечено на переднем конце (1B), в котором расположены по меньшей мере два выхода (2A, 2A') из каналов, причем корпус (1) сопла имеет плоскую сторону (1A) по меньшей мере с двумя каналами (2, 2') для жидкости, заглубленными на глубину (D) на указанной плоской стороне (1A).In further specific embodiments, the nozzle comprises a plurality of nozzle bodies. Said nozzle bodies may be stacked one above the other, thus forming a stack of individual nozzle bodies. In these embodiments, each nozzle body may have a front end (1B) and may contain at least two ejection channels (2, 2'), each of the channels (2, 2') having an exit (2A, 2A') from the channel , and the ejection channels (2, 2') are arranged so as to eject the liquid along the respective ejection paths that intersect each other at the point of collision, and at least one recess (3), which is provided at the front end (1B), in which there are at least two exits (2A, 2A') from the channels, and the body (1) of the nozzle has a flat side (1A) with at least two channels (2, 2') for liquid, buried to a depth (D) on the specified flat side (1A).
В конкретных вариантах осуществления может быть получено сопло, обеспечивающее множество точек столкновения, если существует по меньшей мере две пары струй с соответственно пересекающимися траекториями эжекции. Каждая из пар может быть обеспечена посредством одного «слоя», то есть одного корпуса сопла.In particular embodiments, a nozzle providing multiple collision points can be obtained if there are at least two pairs of jets with respectively intersecting ejection paths. Each of the pairs may be provided by one "layer", ie one nozzle body.
В дополнительных конкретных вариантах осуществления каждый корпус сопла может иметь свое собственное углубление. Это означает, что может присутствовать множество отдельных углублений, причем каждое из углублений ограждает только подгруппу каналов; предпочтительно, это подгруппа, состоящая из каналов одного отдельного корпуса сопла («слоя»). Преимущество этого варианта осуществления состоит в том, что отдельные углубления могут быть небольшими, что, таким образом, увеличивает вышеупомянутый защитный эффект.In further specific embodiments, each nozzle body may have its own recess. This means that a plurality of individual recesses may be present, with each of the recesses enclosing only a subset of channels; preferably, it is a subgroup consisting of the channels of a single nozzle body ("bed"). The advantage of this embodiment is that the individual recesses can be small, thus increasing the above-mentioned protective effect.
В дополнительных вариантах осуществления множество корпусов сопел может делить между собой общее углубление. Это означает, что углубление проходит на более чем один корпус сопла или слой, таким образом, ограждая некоторые или даже все выходы из каналов. Преимущество этого варианта осуществления состоит в том, что общие углубления могут быть более просто изготовлены, например, в один этап после укладки отдельных корпусов сопел для формирования сопла.In further embodiments, a plurality of nozzle bodies may share a common recess. This means that the recess extends over more than one nozzle body or bed, thus enclosing some or even all of the channel outlets. The advantage of this embodiment is that the common recesses can be more easily produced, for example in one step after the individual nozzle bodies have been laid down to form the nozzle.
В дополнительном конкретном варианте осуществления сторона, противоположная плоской стороне одного корпуса сопла, служит в качестве крышки для примыкающего корпуса сопла. Другими словами, «верхняя» сторона первого корпуса сопла закрыта «нижней» стороной второго корпуса сопла.In a further specific embodiment, the side opposite the flat side of one nozzle body serves as a cover for an adjacent nozzle body. In other words, the "top" side of the first nozzle body is covered by the "bottom" side of the second nozzle body.
Таким образом, только последний (самый верхний) корпус сопла требуется закрыть специальной крышкой; все другие слои закрыты посредством примыкающих слоев. Это приводит к более простой конструкции сопла с меньшим количеством отдельных элементов и этапов технологического процесса.Thus, only the last (uppermost) nozzle body needs to be closed with a special cover; all other layers are closed by adjoining layers. This results in a simpler nozzle design with fewer individual elements and process steps.
Во втором аспекте изобретение также относится к способу изготовления сопла в соответствии с первым аспектом изобретения, как описано выше, причем способ включает этапы:In a second aspect, the invention also relates to a method for manufacturing a nozzle according to the first aspect of the invention, as described above, the method comprising the steps of:
a) обеспечения корпуса (1) сопла, который имеет передний конец (1B) и содержит по меньшей мере два эжекционных канала (2, 2'), каждый из каналов (2, 2') имеет выход (2A, 2A') из канала, причем эжекционные каналы (2, 2') расположены таким образом, чтобы эжектировать жидкость по соответствующим траекториям эжекции, которые пересекаются друг с другом в точке столкновения,a) providing a body (1) of the nozzle, which has a front end (1B) and contains at least two ejection channels (2, 2'), each of the channels (2, 2') has an exit (2A, 2A') from the channel , and the ejection channels (2, 2') are arranged in such a way as to eject the liquid along the respective ejection paths, which intersect each other at the point of collision,
причем на переднем конце (1B) обеспечено по меньшей мере одно углубление (3), в котором расположены по меньшей мере два выхода (2A, 2A') из каналов,moreover, at the front end (1B) at least one recess (3) is provided, in which at least two exits (2A, 2A') from the channels are located,
корпус (1) сопла имеет плоскую сторону (1A) по меньшей мере с двумя каналами (2, 2’) для жидкости, заглубленными на заданную глубину (D) на указанной плоской стороне (1A),the body (1) of the nozzle has a flat side (1A) with at least two channels (2, 2’) for liquid buried to a predetermined depth (D) on said flat side (1A),
при этом обеспечение включает следующие этапы:the provision includes the following steps:
- обеспечение пластины-подложки;- providing a plate-substrate;
- изготовление на одной стороне (1A) указанной подложки по меньшей мере двух каналов (2, 2’) для жидкости, имеющих заданную глубину (D);- manufacturing on one side (1A) of said substrate at least two channels (2, 2') for liquid having a predetermined depth (D);
- изготовление углубления (3), имеющего первую глубину (D’), большую, чем глубина (D) указанных по меньшей мере двух каналов (2, 2’) для жидкости, на указанной одной стороне (1A) корпуса (1), при этом указанное углубление ограждает концевую часть каналов (2, 2’);- making a recess (3) having a first depth (D') greater than the depth (D) of said at least two fluid channels (2, 2') on said one side (1A) of the housing (1), with this specified recess encloses the end of the channels (2, 2');
- отделение указанного корпуса (1) от подложки по разделительной линии (5), которая пересекает указанное углубление (3);- separating said body (1) from the substrate along a dividing line (5) which crosses said recess (3);
таким образом, что в указанном углублении (3) обеспечивают по меньшей мере два выхода (2В, 2В’) из каналов, причем обеспечена возможность сохранения расстояния между указанными выходами (2A, 2A') из каналов независящим от возможного углового или линейного отклонения указанной разделительной линии (5) от оптимальной разделительной линии (5’), иin such a way that at least two outlets (2B, 2B') from the channels are provided in the said recess (3), and it is possible to maintain the distance between the said outlets (2A, 2A') from the channels independent of the possible angular or linear deviation of the said dividing line (5) from the optimal dividing line (5'), and
b) закрытия указанного корпуса (1) сопла крышкой (4).b) closing said body (1) of the nozzle with a cover (4).
В результате получаются по меньшей мере два выхода из каналов, расположенные в указанном углублении. Таким образом «задняя стенка» углубления определяет положение выходов из канала, а не положение или ориентацию разделительной линии, по которой корпус сопла отделяют от остающейся подложки или объемного материала. Поэтому расстояние между указанными выходами из каналов остается независящим от возможного отклонения указанной разделительной линии от оптимальной разделительной линии. Как правило, такая оптимальная разделительная линия проходит перпендикулярно продольной оси корпуса сопла и/или параллельно передней плоскости (то есть без углового или осевого смещения). Таким образом, результат процесса производства оказывается независящим от точной ориентации линии распиловки.The result is at least two exits from the channels located in the specified recess. Thus, the "back wall" of the recess defines the position of the outlets from the channel, and not the position or orientation of the dividing line along which the nozzle body is separated from the remaining substrate or bulk material. Therefore, the distance between said outlets from the channels remains independent of the possible deviation of said dividing line from the optimal dividing line. As a rule, such an optimal dividing line runs perpendicular to the longitudinal axis of the nozzle body and/or parallel to the front plane (ie without angular or axial displacement). Thus, the result of the production process is independent of the exact orientation of the sawing line.
Очевидно, что указанная независимость имеет свои пределы, но эти пределы обычно выходят за рамки точности, которую возможно обеспечить посредством обычных усилий в отношении производственного процесса. В качестве примера, если рассмотреть стандартную пластину, имеющую диаметр 300 мм, и размер отдельного корпуса сопла, составляющий 3 мм x 5 мм, и длину канала, составляющую 150 мкм, измеренную в направлении продольной оси корпуса сопла, отклонение линии распиловки от оптимальной разделительной линии в 1 градус является все еще допустимым.Obviously, this independence has its limits, but these limits usually go beyond the accuracy that can be achieved through normal efforts in relation to the production process. As an example, considering a standard plate having a diameter of 300 mm and a separate nozzle body dimension of 3 mm x 5 mm and a channel length of 150 µm measured in the direction of the longitudinal axis of the nozzle body, the deviation of the sawing line from the optimal dividing line at 1 degree is still valid.
В конкретных вариантах осуществления, после осуществления этапов технологического процесса, обобщенных как этап a), указанный корпус (1) сопла закрывают крышкой (4), в соответствии с этапом b). Для закрытия указанного корпуса сопла указанная крышка может быть размещена или прикреплена, или присоединена, к стороне корпуса сопла, на которой расположены каналы.In specific embodiments, after performing the process steps summarized as step a), said nozzle body (1) is closed with a cover (4) according to step b). In order to close said nozzle body, said cover may be placed or affixed to, or attached to, the channel side of the nozzle body.
В дополнительных конкретных вариантах осуществления подложка, содержащая множество крышек, может быть размещена на структурированной, но еще не разделенной на части подложке с корпусами сопел и прикреплена к ней, а разделение на части осуществляется по разделительной линии после выполнения неразъемного соединения.In additional specific embodiments, a substrate comprising a plurality of caps may be placed on and attached to a structured but not yet divided substrate with nozzle bodies, and the separation is carried out along a dividing line after a permanent connection has been made.
Крышка для закрытия корпуса сопла может быть неструктурированной, или она может быть изготовлена таким же образом, что и подложка с корпусом сопла, то есть посредством выполнения каналов на одной из сторон крышки. Таким образом, посредством выравнивания надлежащим образом корпуса и крышки, каналы и углубления на обеих подложках совпадают друг с другом, и в результате получается сопло с конструкциями каналов для жидкости в обеих частях сопла. Кроме того, крышка может быть зеркальной копией корпуса сопла; другими словами, посредством соединения двух соответствующих корпусов сопел друг с другом, может быть также получено сопло.The cover for closing the nozzle body can be unstructured, or it can be made in the same way as the substrate with the nozzle body, that is, by providing channels on one of the sides of the cover. Thus, by properly aligning the body and cover, the channels and recesses on both substrates match each other, and the result is a nozzle with fluid channel structures in both nozzle portions. In addition, the cap may be a mirror image of the nozzle body; in other words, by connecting two respective nozzle bodies to each other, a nozzle can also be obtained.
В конкретных вариантах осуществления, в которых конфигурацию, представляющую собой множество корпусов сопел, изготавливают по групповой технологии в указанной пластине-подложке, разделительная линия пересекает все углубления, сформированные в пределах подложки. В этих вариантах осуществления не только один одиночный корпус сопла, но и все примыкающие друг к другу корпуса сопел отделяют по общей разделительной линии. Указанная линия пересекает все углубления всех корпусов сопел. Таким образом, вышеупомянутое преимущество, относящееся к одному отдельному корпусу сопла, увеличивается, так что все корпуса сопел имеют одни и то же геометрические размеры, необходимые для обеспечения единого уровня качества изготовленных методом групповой технологии изделий.In specific embodiments, in which a plurality of nozzle bodies is batch-produced in said substrate plate, the dividing line intersects all depressions formed within the substrate. In these embodiments, not only one single nozzle body, but all adjacent nozzle bodies are separated along a common dividing line. The specified line intersects all recesses of all nozzle bodies. In this way, the aforementioned advantage relating to one single nozzle body is increased so that all nozzle bodies have the same geometrical dimensions, which are necessary to ensure a uniform level of quality in batch-produced products.
В соответствии с конкретными вариантами осуществления, каналы и/или углубление (углубления) могут быть изготовлены посредством травления. Эта технология изготовления является особенно предпочтительной при использовании подложки в виде пластины, предпочтительно пластины-подложки из стекла или кремния, для изготовления методом групповой технологии большего количества корпусов сопел.According to specific embodiments, the channels and/or recess(s) may be produced by etching. This manufacturing technique is particularly advantageous when using a plate-like substrate, preferably a glass or silicon substrate plate, to batch-make more nozzle bodies.
В соответствии с ещё одним вариантом осуществления, каналы и/или углубление (углубления) могут быть изготовлены посредством лазерного сверления и/или лазерной абляции. Эта технология изготовления является особенно предпочтительной, если корпус сопла изготавливают из монолитной заготовки или из другого материала, описанного выше применительно к корпусу сопла или крышке первого аспекта изобретения.In accordance with yet another embodiment, the channels and/or recess(s) can be made by laser drilling and/or laser ablation. This manufacturing technique is particularly preferred if the nozzle body is made from a monolithic blank or from other material described above in relation to the nozzle body or cover of the first aspect of the invention.
В третьем аспекте, изобретение также относится к соплу в соответствии с первым аспектом изобретения, описанным выше, полученному или выполненному с возможностью получения посредством способа в соответствии со вторым аспектом изобретения. Другими словами, изобретение относится ко всем соплам, содержащим корпус сопла, как определено выше, причем указанный корпус сопла изготавливают посредством описанного выше процесса.In a third aspect, the invention also relates to a nozzle in accordance with the first aspect of the invention described above, obtained or made possible to obtain by the method in accordance with the second aspect of the invention. In other words, the invention relates to all nozzles comprising a nozzle body as defined above, said nozzle body being manufactured by the process described above.
В четвертом аспекте, изобретение относится также к использованию сопла в соответствии с первым аспектом изобретения, как описано выше, в ингаляционном устройстве для распыливания жидкости с образованием вдыхаемого аэрозоля.In a fourth aspect, the invention also relates to the use of a nozzle according to the first aspect of the invention, as described above, in an inhalation device for spraying a liquid to form an inhalable aerosol.
В пятом аспекте, изобретение относится к ингаляционному устройству для распыливания жидкости с образованием вдыхаемого аэрозоля, содержащему сопло в соответствии с первым аспектом изобретения. Соответственно, настоящее изобретение также относится к ингаляционному устройству для распыливания жидкости, предпочтительно жидкости, содержащей пригодный для вдыхания активный фармацевтический ингредиент (АФИ), с образованием вдыхаемого аэрозоля, содержащему сопло с корпусом (1) сопла, имеющим передний конец (1B) и содержащим по меньшей мере два эжекционных канала (2, 2'), каждый канал (2, 2') имеет выход (2A, 2A') из канала, причем эжекционные каналы (2, 2') расположены таким образом, чтобы эжектировать жидкость по соответствующим траекториям эжекции, которые пересекаются друг с другом в точке столкновения, и по меньшей мере одно углубление (3) на переднем конце (1B), в котором расположены по меньшей мере два выхода (2A, 2A') из канала, причем корпус (1) сопла имеет плоскую сторону (1A) по меньшей мере с двумя каналами (2, 2’) для жидкости, заглубленными на заданную глубину (D) на вышеупомянутой плоской стороне (1A), и дополнительно обеспечена крышка (4), которая закрывает по меньшей мере два канала (2, 2’) и имеет передний конец (4B), который на виде, перпендикулярном продольной оси (X) корпуса (1) сопла, соответствует переднему концу (1B) корпуса (1) сопла, причем указанное углубление (3) имеет первую глубину (D’), большую, чем глубина (D) указанных по меньшей мере двух каналов (2, 2’).In a fifth aspect, the invention relates to an inhalation device for nebulizing a liquid to form an inhalable aerosol, comprising a nozzle according to the first aspect of the invention. Accordingly, the present invention also relates to an inhalation device for spraying a liquid, preferably a liquid containing an inhalable active pharmaceutical ingredient (API), to form an inhalable aerosol, comprising a nozzle with a nozzle body (1) having a front end (1B) and containing at least two ejection channels (2, 2'), each channel (2, 2') has an exit (2A, 2A') from the channel, and the ejection channels (2, 2') are located in such a way as to eject liquid along the corresponding trajectories ejections that intersect each other at the point of collision, and at least one recess (3) at the front end (1B), in which at least two exits (2A, 2A') from the channel are located, and the body (1) of the nozzle has a flat side (1A) with at least two fluid channels (2, 2') buried to a predetermined depth (D) on the aforementioned flat side (1A), and a lid (4) is additionally provided that covers at least at least two channels (2, 2') and has a front end (4B), which in the view perpendicular to the longitudinal axis (X) of the body (1) of the nozzle corresponds to the front end (1B) of the body (1) of the nozzle, and the specified recess ( 3) has a first depth (D') greater than the depth (D) of said at least two channels (2, 2').
Чтобы избежать повторения, сделана ссылка на приведенные выше пояснения относительно сопла, способа его изготовления и ингаляционного устройства, содержащего такое сопло, а также на нижеследующее описание чертежей.To avoid repetition, reference is made to the above explanations regarding the nozzle, the method of its manufacture and the inhalation device containing such a nozzle, as well as to the following description of the drawings.
Краткое описание чертежейBrief description of the drawings
Далее изобретение проиллюстрировано при помощи следующих чертежей. На которых, The invention is further illustrated with the aid of the following drawings. Where,
На Фиг. 1 показан корпус сопла в соответствии с уровнем техники;On FIG. 1 shows a nozzle body according to the prior art;
На Фиг. 2 показан корпус сопла по Фиг. 1, полученный в результате расположения под углом разделительной линии;On FIG. 2 shows the nozzle body of FIG. 1 obtained by angling the dividing line;
На Фиг. 3 показан корпус сопла, имеющий углубление;On FIG. 3 shows a nozzle body having a recess;
На Фиг. 4 показан корпус сопла, имеющий углубление увеличенной глубины;On FIG. 4 shows a nozzle body having a recess of increased depth;
На Фиг. 5 показан корпус сопла по Фиг. 4, полученный в результате смещения разделительной линии;On FIG. 5 shows the nozzle body of FIG. 4 resulting from the offset of the dividing line;
На Фиг. 6 показан корпус сопла по Фиг. 4, полученный в результате расположения под углом разделительной линии;On FIG. 6 shows the nozzle body of FIG. 4 obtained by angling the dividing line;
На Фиг. 7 показан корпус сопла по Фиг. 4, закрытый крышкой, имеющий одиночное углубление;On FIG. 7 shows the nozzle body of FIG. 4, closed with a lid, having a single recess;
На Фиг. 8 показан корпус сопла, закрытый крышкой, имеющий два отдельных углубления;On FIG. 8 shows a capped nozzle body having two separate recesses;
На Фиг. 9 показан корпус сопла по Фиг. 4, закрытый крышкой, имеющий углубление от одной стороны до другой;On FIG. 9 shows the nozzle body of FIG. 4, closed with a lid, having a recess from one side to the other;
На Фиг. 10 показан вид в разрезе передней часть сопла;On FIG. 10 is a sectional view of the front of the nozzle;
На Фиг. 11 показано сопло с углублением, которое проходит в крышку;On FIG. 11 shows a nozzle with a recess that extends into the cover;
На Фиг. 12 показано множество корпусов сопел предшествующего уровня техники, отделенных от подложки по оптимальной разделительной линии;On FIG. 12 shows a plurality of prior art nozzle bodies separated from a substrate along an optimal separation line;
На Фиг. 13 показано множество корпусов сопел предшествующего уровня техники при их отделении по расположенной под углом разделительной линии;On FIG. 13 shows a plurality of prior art nozzle bodies as they are separated along an angled dividing line;
На Фиг. 14 показано множество корпусов сопел в соответствии с настоящим изобретением перед их отделением вдоль смещенной разделительной линиии; иOn FIG. 14 shows a plurality of nozzle bodies in accordance with the present invention before separation along an offset dividing line; and
На Фиг. 15 показано множество корпусов сопел в соответствии с настоящим изобретением перед их отделением по расположенной под углом разделительной линии.On FIG. 15 shows a plurality of nozzle bodies in accordance with the present invention before they are separated along an angled dividing line.
На Фиг. 1 схематично показан корпус 1 сопла в соответствии с уровнем техники. Корпус 1 сопла в целом имеет кубовидную прямоугольную форму. В задней части обеспечена собирательная камера; однако для ясности впускные каналы и т.п. на чертеже не показаны.On FIG. 1 schematically shows a
На одной плоской стороне 1A указанного корпуса 1 сопла выполнены два канала 2, 2’ для жидкости, которые заглублены на заданную глубину D. Продольная ось X (тонкая штриховая линия) проходит по длине корпуса 1 сопла.On one
Каждая из осей А, А’ прохождения струи (штрих-пунктирная линия) каждого из каналов 2, 2’ пересекает переднюю плоскость, соответствующую переднему концу 1B корпуса 1 сопла. В этом примере ось А, А’ прохождения струи коллинеарна соответствующей оси канала (ссылочная позиция отсутствует). На Фиг. 1, на которой показан существующий уровень техники, сформированные таким образом “выходы из каналов переднего конца” 2B, 2B’ - при отсутствии углубления - расположены в указанной передней плоскости, которая является также передним концом 1B.Each of the axes A, A' of the passage of the jet (dash-dot line) of each of the
При изготовлении передний конец 1B может быть образован посредством распиловки или отделения иным образом корпуса 1 сопла от более крупного блока (например, пластины) по разделительной линии 5 (жирная штриховая линия). В данном примере указанная разделительная линия 5 коллинеарна оптимальной разделительной линии 5’. Следовательно, боковое расстояние Y выходов 2B, 2B’ из каналов переднего конца, измеренное между их соответствующими осями А, A’ прохождения струи, является таким, каким оно было изначально спроектировано или запланировано.In manufacture, the
На Фиг. 2 показан корпус сопла предшествующего уровня техники, такой как показанный на Фиг. 1, но являющийся результатом неоптимальной, расположенной под углом (по отношению к оптимальной разделительной линии 5') разделительной линии 5. На этом чертеже опущены некоторые из ранее представленных ссылочных позиций.On FIG. 2 shows a prior art nozzle body such as that shown in FIG. 1, but resulting from a non-optimal angled (with respect to the optimum dividing line 5') dividing
Как можно видеть, вследствие углового отклонения разделительной линии 5 от оптимальной разделительной линии 5’, боковое расстояние Y’ выходов 2B, 2B’ из каналов переднего конца, как и в предыдущем примере измеренное между их соответствующими осями А, А’ прохождения струи, на соответствующих выходах 2B, 2B’ из каналов переднего конца, не соответствует тому, каким оно было изначально спроектировано (в этом примере оно больше, чем было запланировано). Поскольку выходы 2B, 2B’ из каналов переднего конца теперь больше не располагаются в запланированной плоскости (передняя плоскость на Фиг. 1), но располагаются на плоскости, полученной в результате указанного углового отклонения, их соответствующие длины (ссылочная позиция отсутствует) также отличаются друг от друга. Это может привести к недостаточно оптимальному распылению. В данном примере канал 2 короче, чем канал 2’.As can be seen, due to the angular deviation of the
Как показано на Фиг. 3, примерный корпус сопла 1 имеет углубление 3. Углубление 3 имеет глубину D’, которая в этом примере равна глубине D каналов 2, 2’. Также как и каналы 2, 2’, углубление 3 выполнено в указанной плоской стороне 1A. Оно расположено на переднем конце 1B корпуса 1 сопла в виде углубления на переднем конце. Таким образом, углубление 3 можно понимать как окружение (теперь «воображаемых») выходов 2B, 2B’ из канала переднего конца (заштрихованные области) таким образом, что получаются («реальные») выходы из канала 2A, 2A’, которые отведены назад по отношению к указанному переднему концу 1B, располагаясь на определенном смещении О1.As shown in FIG. 3, an
В результате, любое потенциальное повреждение переднего конца 1B, возникающее в результате отделения, такого как отделение посредством механической распиловки, корпуса 1 сопла от большего блока по разделительной линии 5’, которая в этом примере также является оптимальной разделительной линией 5, не влияет на выходы 2A, 2A’ из каналов, поскольку они никогда не затрагиваются пильным полотном или любым другим устройством для разделения. Таким образом, качественные характеристики струи жидкости, эжектируемой из таких каналов при распылении, также не подвергаются изменениям. Даже если шероховатость поверхности на передней стороне 1B увеличится вследствие более быстрой распиловки, то это не будет оказывать отрицательного влияния на качество струи. Следовательно, могут быть использованы более быстрые и/или менее дорогостоящие технологии разделения для отделения корпуса 1 сопла от его подложки.As a result, any potential damage to the
На Фиг. 4 показан корпус 1 сопла, имеющий углубление 3 увеличенной глубины D’. Таким образом, присутствует уступ на выходах 2A, 2A’ из каналов 2, 2’, причем указанный уступ также может быть точно изготовлен. В этом примере каждый из выходов 2A, 2A’ из каналов (пред добавлением ответной части, такой как крышка) имеет три стороны, которые могут быть спроектированы таким образом, чтобы обеспечивать высокое качество поверхности, а именно, правую и левую стороны (определяемые шириной W’ углубления 3), а также нижнюю сторону (определяемую глубиной D’ углубления 3). Следует отметить, что для обеспечения приемлемого качества струи, в частности, качество краев, окружающих каждый выход 2A, 2A’ из каналов, должно быть хорошим; это относится ко всем вариантам осуществления. Преимущество рассматриваемого варианта осуществления состоит в том, что струя жидкости (не показана), которая покидает канал 2, 2’, не контактирует с какими-либо другими поверхностями или краями, которые могут иметь более низкое качество поверхности или качество краев, что обеспечивает высокое качество и воспроизводимость процесса распыливания.On FIG. 4 shows a
На Фиг. 5 показан корпус сопла 1, показанный на Фиг. 4, но в этом случае корпус 1 сопла был отделен по разделительной линии 5, которая отстоит со смещением O2 от оптимальной разделительной линии 5', расположенной перед корпусом 1 сопла. В результате передний конец 1B корпуса 1 сопла на Фиг. 5 параллелен таковому, показанному на Фиг. 4. Несмотря на это различие, выходы 2A, 2A’ расположены на том же самом желаемом расстоянии друг от друга, как в варианте осуществления, показанном на Фиг. 4. Таким образом, положение разделительной линии 5 может изменяться в определенном диапазоне, не влияя на соответствующую геометрию корпуса 1 сопла.On FIG. 5 shows the
На Фиг. 6 показан корпус сопла аналогичный корпусу сопла, показанному на Фиг. 4, однако в показанном в случае, корпус 1 сопла был отделен по разделительной линии 5, которая составляет с оптимальной разделительной линией 5' угол, включающий острый угол α. Однако и в этом случае указанное отклонение не влияет ни на длину каналов, ни на расстояние между выходами из каналов (соответствующие ссылочной позиции опущены), поскольку углубление 3 обеспечивает «буфер» для неточной ориентации разделительной линии 5.On FIG. 6 shows a nozzle body similar to the nozzle body shown in FIG. 4, however, in the case shown, the
Конечно, углубление 3 может также компенсировать возникающие в противном случае отрицательные эффекты сочетания углового отклонения и отклонения, вызванного смещением, а также любые другие отклонения, при условии, что плоскость разреза располагается полностью в пределах углубления 3.Of course,
На Фиг. 7 показан корпус сопла 1, который закрыт крышкой 4. Полученное в результате сопло содержит одиночное углубление 3, которое имеет нижнюю часть, расположенную в корпусе 1 сопла, и верхнюю часть 3’, расположенную в крышке 4. Как можно видеть, присутствует проходящий по периферии уступ, окружающий оба выхода 2A, 2A’ из каналов.On FIG. 7 shows a
Напротив, на Фиг. 8 показан ещё один корпус 1 сопла, который может быть выполнен из монолитной конструкции. Таким образом, крышка не является необходимой. В данном варианте осуществления обеспечена два отдельных углубления 3, каждое из которых окружает один из выходов 2A и 2A’ из канала, соответственно. Очевидно, что вариант осуществления с двумя углублениями также возможен, если корпус 1 сопла будет выполнен таким, как показанный, например, на Фиг. 7 с «открытыми» каналами 2, 2’ и крышкой 4.On the contrary, in Fig. 8 shows another
На Фиг. 9 показан вариант осуществления с крышкой 4, которая образует верхнюю часть 3’ углубления 3, причем указанная часть 3’ проходит от одной стороны крышки 4 до другой стороны. Часть углубления 3’ имеет форму фаски с примыкающим к каналам краем 6. Как показано, предпочтительно указанный край 6 коллинеарен соответствующим краям выходов 2A, 2A’ из каналов. Таким образом, по-прежнему обеспечивают уступ, проходящий по периферии вокруг указанных выходов 2A, 2A’.On FIG. 9 shows an embodiment with a
Дополнительное преимущество указанного варианта осуществления состоит в том, что в связи с капиллярными эффектами, жидкость, которая может накапливаться во время использования сопла вокруг выходов 2A, 2A’, отводится в сторону от выходов в направлении к сторонам сопла. Следует понимать, что ни показанные углы, ни размеры не вычерчены в масштабе; в зависимости от физических параметров, таких как вязкость жидкости, могут потребоваться другие размеры для получения оптимального результата. Также очевидно, что наклон фаски должен быть большим, чем диаметр струи для того, чтобы избежать столкновения струи со стенкой части 3’.An additional advantage of this embodiment is that, due to capillary effects, liquid that may accumulate during use of the nozzle around the
На Фиг. 10 показан вид в разрезе передней часть сопла, на основании вариантов осуществления, показанных на Фиг. с 3 по 6, содержащий корпус 1 сопла. В данном варианте осуществления ответная часть в виде крышки 4, которая служит в качестве закрывающего элемента, установлена на одну сторону 1A таким образом, чтобы закрыть каналы 2, 2’ (канал 2’ не виден). Вид в разрезе проходит через концевую часть канала 2, который в связи с этим показан без штриховки.On FIG. 10 is a sectional view of the front of the nozzle, based on the embodiments shown in FIG. 3 to 6, containing the
Благодаря углублению 3, выход 2A из канала смещен на расстояние O1 от переднего конца 1B. Как можно видеть, передний конец 4B крышки 4 на виде, перпендикулярном продольной оси X (вид сверху на Фиг. 7, параллельный плоскости чертежа), соответствует переднему концу 1B корпуса 1 сопла.Due to the
Несмотря на то, что несоответствующие варианты осуществления изобретения также возможны, вариант осуществления, показанный на Фиг. 10, является особенно предпочтительным, поскольку он может быть получен сначала посредством соединения подложки, содержащей множество корпусов сопел, и другой подложки, содержащей множество крышек 4, друг с другом, и затем посредством отделения первоначальной заготовки сопла от соседнего с ней сопла (не показано) по разделительной линии, перпендикулярной плоскости чертежа, показанного на Фиг. 10, таким образом, что получаются отделенные сопла, каждое из которых содержит корпус сопла и крышку, присоединенную к нему. Поскольку подложка крышки и подложка корпуса сопла разрезаются на одном этапе, совмещение возникает автоматически. Преимуществом является симметричный результат, поскольку верхняя и нижняя стороны перед выходами 2A, 2A’ из каналов по существу зеркально перевернуты друг относительно друга. Таким образом, струя жидкости не будет отклоняться в каком-либо из этих направлений.While nonconforming embodiments of the invention are also possible, the embodiment shown in FIG. 10 is particularly preferred because it can be obtained by first joining a substrate containing a plurality of nozzle bodies and another substrate containing a plurality of
На Фиг. 11 показан другой вариант исполнения сопла, аналогичный варианту осуществления, показанному на Фиг. 7, содержащий корпус 1 сопла и крышку 4, в этом случае также с наличием углубления 3, имеющего часть 3’, которая проходит на крышку 4. Нижняя часть углубления 3 расположена в корпусе 1 сопла, также ограждая канал 2, тогда как верхняя часть 3’ расположена в крышке 4. В данном варианте осуществления часть 3’, по отношению к центральной плоскости P сопла (пунктирная линия), которая является параллельной указанной одной стороне 1A, симметрична нижней части углубления 3 корпуса 1 сопла.On FIG. 11 shows another embodiment of the nozzle, similar to the embodiment shown in FIG. 7 comprising a
Дополнительно и в отличие от конфигурации, показанной на Фиг. 10, в данном варианте осуществления углубление 3 имеет, если смотреть со стороны выходов 2A, 2A’ из каналов, увеличивающуюся глубину D’ (измеренную в вертикальном направлении на Фиг. 11), таким образом, увеличивающуюся в направлении переднего конца 1B, 4B. При необходимости ширина может также увеличиваться в том же самом направлении. Таким образом, обеспечивают показанное наклонное сечение, которое является наибольшим на соответствующем переднем конце 1B, 4B. Такое наклонное сечение создает возможность особенно плавного перехода от выходов 2A, 2A’ из каналов к стенкам углубления, обеспечивая «подобную колоколу» область, где струя жидкости (не показана) покидает каждый выход из канала. В результате улучается качество струи.Additionally, and in contrast to the configuration shown in FIG. 10, in this embodiment, the
На Фиг. 12 схематично показано множество корпусов сопел известного уровня техники, которые были только отделены от подложки (не показана) вдоль их соответствующих передних концов (ссылочные позиции опущены). Оптимальная разделительная линия 5’ обозначена пунктирной линией. В результате все корпуса сопел являются идентичными; в частности, расстояния между выходами из канала являются одинаковыми для всех корпусов сопла.On FIG. 12 schematically shows a plurality of prior art nozzle bodies that have only been detached from a substrate (not shown) along their respective front ends (reference numerals omitted). The optimal dividing line 5' is indicated by a dotted line. As a result, all nozzle bodies are identical; in particular, the distances between the outlets of the channel are the same for all nozzle bodies.
Однако, если корпуса сопел отделены по разделительной линии 5, таким образом, как показано на Фиг. 13, то присутствует угловое отклонение, которое приводит в результате к варьированию боковых расстояний Y’ между выходами из каналов, что, разумеется, является нежелательным. Кроме того, соответствующие длины обоих каналов одного корпуса сопла также несколько различаются (каждый левый канал короче, чем соответствующий правый канал).However, if the nozzle bodies are separated along the
Этого недостатка можно эффективно избежать посредством, сопла, имеющего углубление, как описанное выше.This drawback can be effectively avoided by having a nozzle having a recess as described above.
Как можно видеть из Фиг. 14, смещение между оптимальной разделительной линией 5’ и реальной разделительной линией 5 не влияет на положение выходов из канала, или длину каналов (ссылочные позиции опущены), если только смещение O1 не превышает длину углубления 3 (смещение O2).As can be seen from FIG. 14, the offset between the optimal dividing line 5' and the
Кроме того, как можно видеть из Фиг. 15, угловое отклонение разделительной линии 5 не влияет на положение или длину выходов каналов, до тех пор, пока разделительная линия 5 пересекает углубление 3 каждого из корпусов сопел.Moreover, as can be seen from FIG. 15, the angular deviation of the
Ниже приведен список пронумерованных пунктов, которые включают в себя настоящее изобретение:The following is a list of numbered items that include the present invention:
1. Сопло для ингаляционного устройства для распыливания жидкости с образованием вдыхаемого аэрозоля, с корпусом (1) сопла, который имеет передний конец (1B) и содержит по меньшей мере два эжекционных канала (2, 2'), каждый канал (2, 2') имеет выход (2A, 2A') из канала, причем эжекционные каналы (2, 2') расположены таким образом, чтобы эжектировать жидкость по соответствующим траекториям эжекции, которые пересекаются друг с другом в точке столкновения,1. Nozzle for an inhalation device for spraying a liquid with the formation of an inhalable aerosol, with a nozzle body (1) that has a front end (1B) and contains at least two ejection channels (2, 2'), each channel (2, 2' ) has an exit (2A, 2A') from the channel, and the ejection channels (2, 2') are located in such a way as to eject the liquid along the respective ejection paths, which intersect each other at the point of collision,
причем на переднем конце (1B) обеспечено по меньшей мере одно углубление (3), в котором расположены по меньшей мере два выхода (2A, 2A') из каналов,moreover, at the front end (1B) at least one recess (3) is provided, in which at least two exits (2A, 2A') from the channels are located,
корпус (1) сопла имеет плоскую сторону (1A) по меньшей мере с двумя каналами (2, 2’) для жидкости, заглубленными на заданную глубину (D) на указанной плоской стороне (1A),the body (1) of the nozzle has a flat side (1A) with at least two channels (2, 2’) for liquid buried to a predetermined depth (D) on said flat side (1A),
дополнительно обеспечена крышка (4), которая закрывает по меньшей мере два канала (2, 2’) и имеет передний конец (4B), который на виде, перпендикулярном продольной оси (X) корпуса (1) сопла, соответствует переднему концу (1B) корпуса (1) сопла, a cover (4) is additionally provided, which closes at least two channels (2, 2') and has a front end (4B), which, in a view perpendicular to the longitudinal axis (X) of the nozzle body (1), corresponds to the front end (1B) body (1) nozzle,
указанное углубление (3) имеет первую глубину (D’), которая больше, чем глубина (D) указанных по меньшей мере двух каналов (2, 2’).said recess (3) has a first depth (D') which is greater than the depth (D) of said at least two channels (2, 2').
2. Сопло по пункту 1, в котором обеспечено по меньшей мере два углубления (3), причем в каждом из этих двух углублений расположен только один выход (2A, 2A') из канала.2. Nozzle according to
3. Сопло по пункту 1 или 2, в котором корпус (1) сопла является монолитной конструкцией.3. Nozzle according to
4. Сопло по любому из предшествующих пунктов, в котором углубление (3) дополнительно имеет часть (3’), которая проходит в крышку (4).4. Nozzle according to any one of the preceding claims, wherein the recess (3) additionally has a part (3') which extends into the cover (4).
5. Сопло по любому из предшествующих пунктов, в котором указанное углубление (3) имеет, если смотреть вдоль продольной оси (X), увеличивающуюся глубину (D’) и/или ширину (W’), таким образом, что обеспечено наклонное сечение, которое является наиболее широким на переднем конце (1B, 4B).5. Nozzle according to any one of the preceding claims, wherein said recess (3) has, when viewed along the longitudinal axis (X), an increasing depth (D') and/or width (W'), so that an oblique section is provided, which is widest at the anterior end (1B, 4B).
6. Сопло по любому из предшествующих пунктов, содержащее множество корпусов (1) сопел.6. A nozzle according to any one of the preceding claims, comprising a plurality of nozzle bodies (1).
7. Сопло по пункту 6, в котором каждый корпус (1) сопла имеет свое собственное углубление (3).7. Nozzle according to
8. Сопло по пункту 6, в котором множество корпусов (1) сопел имеют общее углубление (3).8. Nozzle according to
9. Сопло по любому из предшествующих пунктов, в котором сторона, противоположная плоской стороне (1A) одного корпуса (1) сопла, служит в качестве крышки (4) для соседнего корпуса (1) сопла.9. A nozzle according to any one of the preceding claims, wherein the side opposite the flat side (1A) of one nozzle body (1) serves as a cover (4) for an adjacent nozzle body (1).
10. Сопло по любому из пунктов с 4 по 9, в котором крышка (4) обеспечивает верхнюю часть (3’) углубления (3), причем указанная часть (3’) проходит от одной стороны крышки (4) до другой стороны. 10. Nozzle according to any one of
11. Сопло по пункту 10, в котором часть (3’) углубления имеет форму фаски с примыкающим к каналам краем (6).11. The nozzle according to claim 10, in which the part (3') of the recess is in the form of a chamfer with an edge (6) adjacent to the channels.
12. Способ изготовления сопла по любому из предшествующих пунктов, включающий этапы:12. A method for manufacturing a nozzle according to any one of the preceding claims, comprising the steps of:
a) обеспечения корпуса (1) сопла, который имеет передний конец (1B) и содержит по меньшей мере два эжекционных канала (2, 2'), каждый из которых имеет выход (2A, 2A') из канала, причем эжекционные каналы (2, 2') расположены таким образом, чтобы эжектировать жидкость по соответствующим траекториям эжекции, которые пересекаются друг с другом в точке столкновения,a) providing a body (1) of the nozzle, which has a front end (1B) and contains at least two ejection channels (2, 2'), each of which has an exit (2A, 2A') from the channel, and the ejection channels (2 , 2') are arranged in such a way as to eject the liquid along respective ejection trajectories which intersect each other at the point of collision,
причем на переднем конце (1B) обеспечено по меньшей мере одно углубление (3), в котором расположены по меньшей мере два выхода (2A, 2A') из каналов,moreover, at the front end (1B) at least one recess (3) is provided, in which at least two exits (2A, 2A') from the channels are located,
корпус (1) сопла имеет плоскую сторону (1A) по меньшей мере с двумя каналами (2, 2’) для жидкости, заглубленными на заданную глубину (D) на указанной плоской стороне (1A),the body (1) of the nozzle has a flat side (1A) with at least two channels (2, 2’) for liquid buried to a predetermined depth (D) on said flat side (1A),
при этом обеспечение включает следующие этапы:the provision includes the following steps:
- обеспечение пластины-подложки;- providing a plate-substrate;
- изготовление на одной стороне (1A) указанной подложки по меньшей мере двух каналов (2, 2’) для жидкости, имеющих заданную глубину (D);- manufacturing on one side (1A) of said substrate at least two channels (2, 2') for liquid having a predetermined depth (D);
- изготовление углубления (3), имеющего первую глубину (D’), большую, чем глубина (D) указанных по меньшей мере двух каналов (2, 2’) для жидкости, на указанной одной стороне (1A) корпуса (1), при этом указанное углубление ограждает концевую часть каналов (2, 2’);- making a recess (3) having a first depth (D') greater than the depth (D) of said at least two fluid channels (2, 2') on said one side (1A) of the housing (1), with this specified recess encloses the end of the channels (2, 2');
- отделение указанного корпуса (1) от подложки по разделительной линии (5), которая пересекает указанное углубление (3);- separating said body (1) from the substrate along a dividing line (5) which crosses said recess (3);
таким образом, что в указанном углублении (3) обеспечивают по меньшей мере два выхода (2В, 2В’) из каналов, причем расстояние между указанными выходами (2A, 2A') из каналов остается независящим от возможного углового или линейного отклонения указанной разделительной линии (5) от оптимальной разделительной линии (5’), иin such a way that at least two outlets (2B, 2B') from the channels are provided in the said recess (3), and the distance between the said outlets (2A, 2A') from the channels remains independent of the possible angular or linear deviation of the said dividing line ( 5) from the optimal dividing line (5'), and
b) закрытия указанного корпуса (1) сопла крышкой (4).b) closing said body (1) of the nozzle with a cover (4).
13. Способ по пункту 12, в котором крышка (4) закрывает по меньшей мере два канала (2, 2’) и имеет передний конец (4B), который на виде, перпендикулярном продольной оси (X) корпуса (1) сопла, соответствует переднему концу (1B) корпуса (1) сопла.13. The method according to claim 12, in which the cover (4) closes at least two channels (2, 2') and has a front end (4B), which, in a view perpendicular to the longitudinal axis (X) of the body (1) of the nozzle, corresponds to front end (1B) of the body (1) of the nozzle.
14. Способ по пункту 12 или 13, в котором конфигурацию, представляющую собой множество корпусов (1) сопел, изготавливают по групповой технологии в указанной пластине-подложке, причем разделительная линия (5) пересекает все углубления (3).14. The method according to claim 12 or 13, in which the configuration, which is a plurality of nozzle bodies (1), is manufactured by batch technology in said substrate plate, with a dividing line (5) crossing all recesses (3).
15. Способ по любому из пунктов с 12 по 14, в котором сопло изготовлено по групповой технологии из пластины-подложки.15. The method according to any one of paragraphs 12 to 14, wherein the nozzle is made by batch technology from a substrate plate.
16. Способ по любому из пунктов с 12 по 15, в котором пластина-подложка содержит хрупкий материал, такой как кремний, стекло или керамика, или состоит из него.16. The method of any one of claims 12 to 15, wherein the substrate wafer comprises or consists of a brittle material such as silicon, glass, or ceramic.
17. Способ по любому из пунктов с 12 по 15, в котором пластина-подложка содержит полиэфирэфиркетон (ПЭЭК) или состоит из него.17. The method of any one of 12 to 15, wherein the substrate plate comprises or consists of polyetheretherketone (PEEK).
18. Сопло по любому из пунктов с 1 по 11, причем сопло изготовлено по групповой технологии из пластины-подложки.18. Nozzle according to any one of
19. Сопло по любому из пунктов с 1 по 11 или пункту 18, в котором пластина-подложка содержит, хрупкий материал, такой как кремний, стекло или керамика или состоит из него.19. A nozzle according to any one of 1 to 11 or 18, wherein the substrate plate comprises or consists of a brittle material such as silicon, glass, or ceramic.
20. Сопло по любому из пунктов с 1 по 11 или с 18 по 19, в котором пластина-подложка содержит полиэфирэфиркетон (ПЭЭК) или состоит из него.20. A nozzle as claimed in any one of 1 to 11 or 18 to 19, wherein the substrate plate comprises or consists of polyetheretherketone (PEEK).
21. Сопло по любому из пунктов с 1 по 11 или с 18 по 20, полученное или выполненное с возможностью получения посредством способа по любому из пунктов с 12 по 17.21. The nozzle according to any one of
22. Применение сопла по любому из пунктов с 1 по 11 или с 18 по 21 в ингаляционном устройстве для распыливания жидкости с образованием вдыхаемого аэрозоля.22. Use of a nozzle according to any one of 1 to 11 or 18 to 21 in an inhalation device to spray a liquid to form an inhalable aerosol.
23. Ингаляционное устройство для распыливания жидкости с образованием вдыхаемого аэрозоля, содержащее сопло по любому из пунктов с 1 по 11 или с 18 по 21.23. An inhalation device for spraying a liquid to form an inhalable aerosol, comprising a nozzle according to any one of
Список ссылочных позицийList of reference positions
1 - корпус сопла1 - nozzle body
1A - плоская сторона1A - flat side
1B - передний конец1B - front end
1C - область, содержащая передний конец 1C - area containing the front end
2, 2’ - эжекционный канал, канал для жидкости, канал2, 2' - ejection channel, liquid channel, channel
2A, 2A’ - выход из канала2A, 2A’ - channel exit
2B, 2B’ - выход из канала переднего конца2B, 2B’ - front end channel exit
3 - углубление3 - deepening
3’ - верхняя часть углубления3' - the top of the recess
4 - крышка4 - cover
4B - передний конец4B - front end
5 - разделительная линия5 - dividing line
5’ - оптимальная разделительная линия5' - optimal dividing line
6 - край6 - edge
D - глубинаD - depth
D’ - глубинаD' - depth
W’ - ширинаW' - width
A, A’ - ось прохождения струиA, A’ - jet passage axis
X - продольная осьX - longitudinal axis
Y, Y’ - боковое расстояниеY, Y’ - lateral distance
O1, O2 - смещениеO1, O2 - offset
α - уголα - angle
P - плоскостьP - plane
Claims (37)
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US201862646193P | 2018-03-21 | 2018-03-21 | |
| EP18163039 | 2018-03-21 | ||
| EP18163039.3 | 2018-03-21 | ||
| US62/646,193 | 2018-03-21 | ||
| PCT/EP2019/056844 WO2019180022A1 (en) | 2018-03-21 | 2019-03-19 | Spray nozzle for an inhalation device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2020128733A RU2020128733A (en) | 2022-04-22 |
| RU2786489C2 true RU2786489C2 (en) | 2022-12-21 |
Family
ID=
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994007607A1 (en) * | 1992-09-29 | 1994-04-14 | Boehringer Ingelheim International Gmbh | Atomising nozzle and filter and spray generating device |
| EP0627230B1 (en) * | 1990-03-21 | 2000-02-02 | BOEHRINGER INGELHEIM INTERNATIONAL GmbH | Atomising device |
| GB2466631A (en) * | 2008-10-21 | 2010-07-07 | Philip Alan Durrant | A spray device for atomising fluids having at least three nozzles with a restriction |
| US20110049262A1 (en) * | 2007-06-28 | 2011-03-03 | Medspray Xmems B.V. | Atomising device, atomising body and method of manufacturing the same |
| RU2495726C2 (en) * | 2008-01-16 | 2013-10-20 | Берингер Ингельхайм Фарма Гмбх Унд Ко. Кг | Nozzle and inhaler and method of nozzle fabrication |
| WO2016075433A1 (en) * | 2014-11-14 | 2016-05-19 | The Technology Partnership Plc | Low cost impinging jet nozzle |
| EP3097981A1 (en) * | 2015-05-27 | 2016-11-30 | Taren-Salt UG | Spray head for a spray can, method for its preparation and atomisation method |
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0627230B1 (en) * | 1990-03-21 | 2000-02-02 | BOEHRINGER INGELHEIM INTERNATIONAL GmbH | Atomising device |
| WO1994007607A1 (en) * | 1992-09-29 | 1994-04-14 | Boehringer Ingelheim International Gmbh | Atomising nozzle and filter and spray generating device |
| US20110049262A1 (en) * | 2007-06-28 | 2011-03-03 | Medspray Xmems B.V. | Atomising device, atomising body and method of manufacturing the same |
| RU2495726C2 (en) * | 2008-01-16 | 2013-10-20 | Берингер Ингельхайм Фарма Гмбх Унд Ко. Кг | Nozzle and inhaler and method of nozzle fabrication |
| GB2466631A (en) * | 2008-10-21 | 2010-07-07 | Philip Alan Durrant | A spray device for atomising fluids having at least three nozzles with a restriction |
| WO2016075433A1 (en) * | 2014-11-14 | 2016-05-19 | The Technology Partnership Plc | Low cost impinging jet nozzle |
| EP3097981A1 (en) * | 2015-05-27 | 2016-11-30 | Taren-Salt UG | Spray head for a spray can, method for its preparation and atomisation method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20250090770A1 (en) | Nozzle | |
| CA2645145C (en) | Nozzle pore configuration for intrapulmonary delivery of aerosolized formulations | |
| US8020973B2 (en) | Method of manufacturing a liquid droplet spray device and such spray device | |
| JPH07223316A (en) | Inkjet head manufacturing method | |
| US20070210029A1 (en) | Process for Producing Microfluidic Arrangements from a Plate-Shaped Composite Structure | |
| KR102366748B1 (en) | Nozzle device and manufacturing method thereof | |
| RU2786489C2 (en) | Improved nozzle | |
| EP1273355B1 (en) | Method of manufacturing a liquid droplet spray device and such spray device | |
| JP2022538393A (en) | Microfluidic device and method for manufacturing same | |
| JP7658718B2 (en) | Multi-liquid nozzle | |
| EP3797001B1 (en) | Micro nozzle assembly | |
| US20250319264A1 (en) | Inhaler | |
| KR20250044264A (en) | Microfluidic devices and manufacturing methods | |
| US20230364360A1 (en) | Nozzle Arrangement | |
| WO2025078603A1 (en) | Microfluidic chips and methods of manufacture thereof | |
| EP4514434A1 (en) | Nozzle arrangement | |
| ZA200600417B (en) | A process for producing microfluidic arrangements from a plate-shaped composite structure | |
| HK1086780B (en) | A process for producing microfluidic arrangements from a plate-shaped composite structure |