RU2768364C1 - Vacuum post for the manufacture of an electrovacuum device - Google Patents
Vacuum post for the manufacture of an electrovacuum device Download PDFInfo
- Publication number
- RU2768364C1 RU2768364C1 RU2021121265A RU2021121265A RU2768364C1 RU 2768364 C1 RU2768364 C1 RU 2768364C1 RU 2021121265 A RU2021121265 A RU 2021121265A RU 2021121265 A RU2021121265 A RU 2021121265A RU 2768364 C1 RU2768364 C1 RU 2768364C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- vacuum
- vacuum chamber
- diffusion welding
- stem
- manufacture
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 9
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims abstract description 19
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 12
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims description 2
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 abstract description 10
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 2
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 238000010943 off-gassing Methods 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 239000011195 cermet Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 230000000930 thermomechanical effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/40—Closing vessels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для изготовления и герметизации электровакуумных приборов (ЭВП).The invention relates to vacuum technology and is intended for the manufacture and sealing of electrovacuum devices (EVD).
Наиболее трудоемким, сложным и ответственным технологическим процессом, который формирует электрические и вакуумные характеристики вакуумных приборов всех типов, является откачка. Подавляющее большинство приборов откачивается через штенгели, которые герметизируются холодной диффузионной сваркой (металлические) и огневой заваркой (стеклянные) при пониженных температурах оболочки (по сравнению с температурой обезгаживания). Кроме этого, штенгели могут запаиваться припоями. Пайка узлов прибора при бесштенгельной откачке также приводит к газовыделению и напылению металла из припоя на элементы внутренней арматуры, что может вызывать токоутечки и пробои по изоляторам. Кроме того, холодносварные и паяные соединения элементов приборов не всегда выдерживают термомеханические нагрузки.The most time-consuming, complex and responsible technological process that forms the electrical and vacuum characteristics of all types of vacuum devices is pumping. The vast majority of devices are pumped out through stems, which are sealed by cold diffusion welding (metal) and fire welding (glass) at low shell temperatures (compared to the outgassing temperature). In addition, the shtengels can be soldered with solder. The soldering of the device components during the pinless pumping also leads to gas evolution and metal deposition from the solder on the elements of the internal fittings, which can cause current leakage and breakdowns along the insulators. In addition, cold-welded and soldered joints of instrument elements do not always withstand thermomechanical loads.
Известно устройство для изготовления фотоэлектронных приборов (А.с. СССР № 900343, опубл. 23.01.1982) в которой размещение узлов прибора производят в отдельных герметично изолированных объемах, снабженных индивидуальными средствами откачки и соединенных между собой переходным отсеком, после обработки узлов производят перемещения одного узла прибора через переходной отсек до сочленения с другим узлом.A device for the manufacture of photoelectronic devices is known (AS USSR No. 900343, publ. 01/23/1982) in which the placement of the device nodes is carried out in separate hermetically isolated volumes, equipped with individual pumping means and interconnected by a transitional compartment, after processing the nodes, one is moved instrument node through the transition compartment to the junction with another node.
Недостатком известного решения является сложность применяемого оборудования, его высокая трудоемкость, сложность совмещения фотокатода с корпусом прибора.The disadvantage of the known solution is the complexity of the equipment used, its high labor intensity, the complexity of combining the photocathode with the body of the device.
Известна вакуумная камера для изготовления вакуумного прибора (патент РФ № 144398, МПК H01J 9/40, опубл. 20.08.2014г.), содержащая откачную систему, держатель прибора, устройство прогрева прибора и устройство дозированной подачи герметизирующего материала с электромагнитным приводом.A vacuum chamber for the manufacture of a vacuum device is known (RF patent No. 144398, IPC H01J 9/40, publ. 08/20/2014), containing an exhaust system, a device holder, a device for heating the device and a device for metered supply of sealing material with an electromagnetic drive.
Недостатком этого технического решения является высокая сложность и ограничение температуры обезгаживания прибора, связанное с температурой плавления и кипения герметизирующего материала. Кроме этого нагревание герметизирующего материала до его расплавления приводит к активному газовыделению и напылению частиц герметизирующего материала на элементы внутренней арматуры вакуумной камеры и деталей прибора, что понижает вакуум, а так же может вызывать токоутечки и пробои по изоляторам.The disadvantage of this technical solution is the high complexity and limitation of the outgassing temperature of the device associated with the melting and boiling temperatures of the sealing material. In addition, heating the sealing material until it melts leads to active gas evolution and deposition of sealing material particles on the elements of the internal fittings of the vacuum chamber and device parts, which lowers the vacuum, and can also cause current leakage and breakdowns in insulators.
Известна конструкция вакуумного поста, предназначенного для технологической обработки электровакуумных приборов (Королев Б.И. и др. Основы вакуумной техники. Учебник для учащихся техникумов. М.: «Энергия», 1975 г., с.264, табл.13-2, схема 4). В котором проводится предварительная откачка изделий масляным форвакуумным насосом, снабженным адсорбционной ловушкой. До высокого вакуума прибор откачивается турбомолекулярным насосом. Откачной пост содержит также прогреваемую вакуумную защитную камеру, в которую помещен прибор. Защитная камера откачивается механическим масляным форвакуумным насосом.A well-known design of a vacuum post intended for technological processing of electrovacuum devices (Korolev B.I. and others. Fundamentals of vacuum technology. A textbook for students of technical schools. M .: "Energy", 1975, p. 264, tables 13-2, scheme 4). In which the preliminary pumping of products is carried out by an oil fore vacuum pump equipped with an adsorption trap. Up to a high vacuum, the device is pumped out by a turbomolecular pump. The evacuation post also contains a heated vacuum protective chamber in which the device is placed. The protective chamber is pumped out by a mechanical oil foreline pump.
Недостатком известного решения является то, что откачка вакуумного прибора в камере происходит через штенгель, с последующей герметизацией прибора посредством холодного отпая штенгеля. Прибор герметично через штенгель соединяют с вакуумной откачной системой, откачивают, производят температурное обезгаживание, после чего отключают нагрев, колпак вакуумной камеры поднимают, а штенгель герметизируют посредством холодной диффузионной сварки (перекусывают специальными клещами). Однако холодной диффузионной сварке по сравнению с горячей диффузионной сваркой присущи недостатки в виде повышенного процента неисправимого брака из-за недостаточной вакуумной плотности пережатого металлического штенгеля. Другим недостатком этого устройства является наличие двух вакуумных систем откачки, а именно прибора и защитной камеры, что усложняет и, соответственно, ведет к удорожанию вакуумного поста.The disadvantage of the known solution is that the vacuum device in the chamber is evacuated through the stem, followed by sealing of the device by means of a cold seal of the stem. The device is hermetically connected through the stem to a vacuum evacuation system, pumped out, thermal degassing is performed, after which the heating is turned off, the cap of the vacuum chamber is raised, and the stem is sealed by cold diffusion welding (they bite with special tongs). However, cold diffusion welding, compared to hot diffusion welding, has disadvantages in the form of an increased percentage of irreparable defects due to insufficient vacuum density of the clamped metal stem. Another disadvantage of this device is the presence of two vacuum pumping systems, namely the device and the protective chamber, which complicates and, accordingly, leads to an increase in the cost of the vacuum post.
Известны конструкции вакуумных постов в которых реализована «бесштенгельная откачка» при которой прибор, помещенный в вакуумную камеру обезгаживается и вакуумируется одной общей вакуумной системой откачки и затем герметизируется посредством горячей диффузионной сварки металлического штенгеля (Ф.Г.Закиров, Е.А.Николаев. Откачник - вакуумщик. М.:«Высшая школа», 1975, стр.194-197, рис.64). Указанное техническое решение принято в качестве прототипа.There are known designs of vacuum stations in which “stapleless pumping” is implemented, in which the device placed in a vacuum chamber is degassed and evacuated by one common vacuum pumping system and then sealed by hot diffusion welding of a metal stem (F.G. Zakirov, E.A. Nikolaev. Otkachnik - Vacuum worker. M.: "Higher School", 1975, pp. 194-197, fig. 64). The specified technical solution is taken as a prototype.
В соответствии с уравнением Менделеева - Клапейрона (уравнение состояния идеального газа) видно, что в замкнутом объеме чем ниже температура газа, тем ниже давление:In accordance with the Mendeleev-Clapeyron equation (ideal gas equation of state), it can be seen that in a closed volume, the lower the gas temperature, the lower the pressure:
p⋅V =
где p - давление газа;where p is the gas pressure;
V - объем газа;V is the volume of gas;
m - масса газа;m is the mass of gas;
М - молярная масса;M is the molar mass;
R - универсальная газовая постоянная, R ≈ 8,314 Дж/(моль ⋅ К);R is the universal gas constant, R ≈ 8.314 J/(mol ⋅ K);
Т - термодинамическая температура, К.T - thermodynamic temperature, K.
По этому, при горячем пережиме штенгеля и, соответственно, при нагретом электровакуумном приборе (ЭВП), достигается более высокий вакуум после остывании ЭВП. В соответствии с изложенным температура отпаивания каждого конкретного прибора должна быть максимально возможной с учетом потока газоотделения прибора при этой температуре Therefore, with a hot pinch of the stem and, accordingly, with a heated electro-vacuum device (EVD), a higher vacuum is achieved after the EVP cools down. In accordance with the above, the desoldering temperature of each particular device should be the maximum possible, taking into account the gas separation flow of the device at this temperature.
и состояния вакуумной системы вакуумного поста. Оптимальные температуры отпаивания для некоторых ЭВП в металлокерамическом исполнении лежат в интервале 300 - 500°С.and the state of the vacuum system of the vacuum post. Optimum soldering temperatures for some cermet EVPs are in the range of 300 - 500°C.
В тех случаях, когда отпаивание ЭВП осуществляется при высоких температурах, рабочие элементы механизма герметизации вводятся непосредственно в объем печи. Гидравлический привод механизма герметизации выносится за пределы рабочего пространства печи. Механизмы герметизации с гидравлическим приводом выпускаются отечественной промышленностью двух типоразмеров: ИО 96.005 и ИО 96.006. Эти механизмы обеспечивают диффузионную сварку штенгелей при температуре до 500 - 600°С.In those cases when evaporating the EVP is carried out at high temperatures, the working elements of the sealing mechanism are introduced directly into the volume of the furnace. The hydraulic drive of the sealing mechanism is taken out of the working space of the furnace. Sealing mechanisms with a hydraulic drive are produced by the domestic industry in two standard sizes: IO 96.005 and IO 96.006. These mechanisms provide diffusion welding of the stems at temperatures up to 500 - 600°C.
Недостатком известного устройства является высокий процент брака, получающегося из-за отсутствия осесимметричной нагрузки на металлический штенгель при его перекусывании призмами гидромеханического привода. При установке ЭВП внутри камеры практически невозможно выставить штенгель на одинаковом расстоянии от пережимных призм гидромеханического привода. При смыкании призм, вначале происходит касание одной из призм штенгеля, что приводит к его перекосу и изгибанию относительно продольной оси. Изгибание штенгеля приводит к нарушению вакуумной плотности места сочленения штенгеля с корпусом ЭВП, а также к неравномерному пережиму самого штенгеля, что влечет неустранимый брак.The disadvantage of the known device is a high percentage of rejects resulting from the lack of an axisymmetric load on the metal shaft when it is bitten by the prisms of the hydromechanical drive. When installing EVP inside the chamber, it is practically impossible to set the stem at the same distance from the pinch prisms of the hydromechanical drive. When the prisms are closed, at first one of the prisms of the stem is touched, which leads to its distortion and bending relative to the longitudinal axis. The bending of the stem leads to a violation of the vacuum density of the junction of the stem with the body of the EVP, as well as to uneven clamping of the stem itself, which leads to irreparable marriage.
Техническим результатом изобретения являются повышение надежности и качества откачки, вакуумирования и диффузионной сварки штенгеля ЭВП, снижение неустранимого брака, упрощение конструкции вакуумного поста.The technical result of the invention is to increase the reliability and quality of pumping, evacuation and diffusion welding of the EVP shaft, reducing the irremovable waste, simplifying the design of the vacuum post.
Указанные задачи решаются следующим образом.These tasks are solved in the following way.
Вакуумный пост для изготовления электровакуумного прибора, содержащий одну откачную вакуумную систему, вакуумную камеру с нагревателем и приспособлением для закрепления электровакуумного прибора, гидравлический механизм для диффузионной сварки металлического штенгеля, отличающийся тем, что гидравлический механизм для диффузионной сварки выполнен в виде жесткой самоцентрирующейся рамы с двумя гидроцилиндрами, передающими усилия через сильфонные герметичные узлы на пережимные призмы, размещенные в вакуумной камере, а штанги самоцентрирующейся рамы размещены снаружи вакуумной камеры c возможностью перемещения в продольных подшипниках скольжения, неподвижно закрепленных относительно вакуумной камеры в плоскости, перпендикулярной продольной оси металлического штенгеля электровакуумного прибора.Vacuum station for the manufacture of an electric vacuum device, containing one evacuation vacuum system, a vacuum chamber with a heater and a device for fixing an electric vacuum device, a hydraulic mechanism for diffusion welding of a metal shaft, characterized in that the hydraulic mechanism for diffusion welding is made in the form of a rigid self-centering frame with two hydraulic cylinders , transmitting forces through sealed bellows assemblies to clamping prisms placed in the vacuum chamber, and the rods of the self-centering frame are placed outside the vacuum chamber with the ability to move in longitudinal plain bearings fixed relative to the vacuum chamber in a plane perpendicular to the longitudinal axis of the metal stem of the electrovacuum device.
Заявленное техническое решение поясняется чертежами, где на фиг.1 схематически показана термовакуумная камера поста с размещенным внутри электровакуумным прибором; на фиг.2 схематически показана конструкция поста и термовакуумной камеры по разрезу А-А, на котором показана самоцентрирующая рама с гидроцилиндрами, штанги которой размещены в подшипниках скольжения.The claimed technical solution is illustrated by drawings, where figure 1 schematically shows the thermal vacuum chamber post placed inside the electrovacuum device; figure 2 schematically shows the design of the post and the thermal vacuum chamber along the section A-A, which shows a self-centering frame with hydraulic cylinders, the rods of which are placed in plain bearings.
Вакуумный пост содержит вакуумную камеру 1 совмещенную с откачной вакуумной системой. На вакуумной камере 1 размещены сильфонные герметичные узлы 2 для передачи усилий на пережимные призмы 3 посредством штоков 4 гидроцилиндров 5. Для функционирования гидроцилиндров 5 в их рабочие полости под давлением Р подается масло от общего гидронасоса (на фиг. не показан). Внутри вакуумной камеры 1 размещены пережимные призмы 3, электронагревательный элемент 6 и электровакуумный прибор 7. Металлический штенгель 8 электровакуумного прибора 7 размещен между пережимными призмами 3. Гидроцилиндры 5 размещены на жесткой самоцентрирующейся раме 9. При этом штанги 10 самоцентрирующейся рамы 9 проходят через подшипники скольжения 11, которые закреплены неподвижно относительно вакуумной камеры 1 в плоскости, перпендикулярной продольной оси штенгеля 8. Для размещения и фиксации электровакуумного прибора 7 внутри вакуумной камеры камеры 1 служит приспособление 12.The vacuum post contains a
Пример. Разработана и изготовлена термовакуумная камера для изготовления электровакуумных приборов, работающая следующим образом. На начальном этапе внутрь вакуумной камеры 1 помещали электровакуумный прибор 7 и закрепляли его на фиксирующем приспособлении 12. При этом металлический штенгель 8 размещали между пережимными призмами 3. Далее производили вакуумирование камеры 1 и, соответственно, электровакуумного прибора 7, поскольку внутренняя полость прибора 7 через штенгель 8 соединена с вакуумной полостью камеры 1. Далее производили термическое обезгаживание электровакуумного прибора 7 путем повышения температуры внутри камеры 1 посредством электронагревательного элемента 6. Далее, без понижения температуры электровакуумного прибора 7 переходили к технологической операции горячей диффузионной вакуумноплотной сварки штенгеля 8. Для этого одновременно повышали давление масла в рабочих полостях гидроцилиндров 5. При этом пережимные призмы 3 начинали двигаться навстречу друг другу до касания со штенгелем 8. В момент касания одной из пережимных призм 3 со штенгелем 8 в точке касания возникает сила реакции, направленная в противоположную сторону и передвигающая в подшипниках скольжения 11, раму 9 с гидроцилиндрами 5 до касания второй пережимной призмы 3 штенгеля 8. После этого силы реакции обоих пережимных призм 3 взаимоуравновешивались и, далее, при дальнейшем смыкании пережимных призм 3 происходило «перекусывание» штенгеля 8 и горячая диффузионная вакуумноплотная сварка штенгеля 8. Проверка на вакуумную плотность штенгеля после его горячей диффузионной сварки методом масспектометрического течеискания показало его хорошую герметичность и соответствовало Q = 0,5 × 10-13 Пам3/c.Example. A thermal vacuum chamber for the manufacture of electrovacuum devices has been developed and manufactured, operating as follows. At the initial stage, an
Предложенное устройство позволяет упростить конструкцию технологического оборудования и, соответственно, снизить ее стоимость за счет применения одной общей откачной вакуумной системы, повысить надежность и качество откачки и вакуумирования электровакуумного прибора, а также снизить процент неустранимого брака электровакуумных приборов за счет устранения не осесимметричного пережима штенгеля при его горячей диффузионной сварке.The proposed device makes it possible to simplify the design of technological equipment and, accordingly, reduce its cost through the use of one common evacuation vacuum system, increase the reliability and quality of pumping and evacuation of an electric vacuum device, and also reduce the percentage of irreparable marriage of electric vacuum devices by eliminating non-axisymmetric clamping of the stem during its hot diffusion welding.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2021121265A RU2768364C1 (en) | 2021-07-19 | 2021-07-19 | Vacuum post for the manufacture of an electrovacuum device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2021121265A RU2768364C1 (en) | 2021-07-19 | 2021-07-19 | Vacuum post for the manufacture of an electrovacuum device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2768364C1 true RU2768364C1 (en) | 2022-03-24 |
Family
ID=80819777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2021121265A RU2768364C1 (en) | 2021-07-19 | 2021-07-19 | Vacuum post for the manufacture of an electrovacuum device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2768364C1 (en) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005259591A (en) * | 2004-03-12 | 2005-09-22 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Reduced pressure treatment device |
| KR100858702B1 (en) * | 2007-04-03 | 2008-09-17 | 금호전기주식회사 | Bulb exhaust device for electrodeless fluorescent lamp |
| CN201266590Y (en) * | 2008-10-10 | 2009-07-01 | 株洲市德光设备制造有限责任公司 | Clamper for metal halogenide electric discharge lamp exhauster |
| RU2515937C1 (en) * | 2012-12-11 | 2014-05-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП "НПП "Исток") | High-vacuum station for vacuum tubes pumping out |
| RU144398U1 (en) * | 2014-04-07 | 2014-08-20 | Открытое акционерное общество "Центральный научно-исследовательский институт "Электрон" | VACUUM CAMERA FOR MAKING A VACUUM DEVICE |
| RU2558380C1 (en) * | 2014-03-20 | 2015-08-10 | Открытое акционерное общество "Центральный научно-исследовательский институт "Электрон" | Method of manufacturing of vacuum device, vacuum device casing, and vacuum chamber |
-
2021
- 2021-07-19 RU RU2021121265A patent/RU2768364C1/en active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005259591A (en) * | 2004-03-12 | 2005-09-22 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Reduced pressure treatment device |
| KR100858702B1 (en) * | 2007-04-03 | 2008-09-17 | 금호전기주식회사 | Bulb exhaust device for electrodeless fluorescent lamp |
| CN201266590Y (en) * | 2008-10-10 | 2009-07-01 | 株洲市德光设备制造有限责任公司 | Clamper for metal halogenide electric discharge lamp exhauster |
| RU2515937C1 (en) * | 2012-12-11 | 2014-05-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП "НПП "Исток") | High-vacuum station for vacuum tubes pumping out |
| RU2558380C1 (en) * | 2014-03-20 | 2015-08-10 | Открытое акционерное общество "Центральный научно-исследовательский институт "Электрон" | Method of manufacturing of vacuum device, vacuum device casing, and vacuum chamber |
| RU144398U1 (en) * | 2014-04-07 | 2014-08-20 | Открытое акционерное общество "Центральный научно-исследовательский институт "Электрон" | VACUUM CAMERA FOR MAKING A VACUUM DEVICE |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| ЗАКИРОВ Ф.Г. Откачник - вакуумщик. М.: Высшая школа, 1975, с.194-197, рис.64 . * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5597631B2 (en) | Vacuum solar panel with vacuum hermetic glass metal seal | |
| US4510210A (en) | Internal-integral sodium return line for sodium heat engine | |
| US3531853A (en) | Method of making a ceramic-to-metal seal | |
| US3226467A (en) | Double-walled ultra-high vacuum vessel defining a work chamber | |
| USRE27733E (en) | Method of sealing and evacuating vacuum envelopes | |
| US2882116A (en) | Method of making electron tubes | |
| US5433639A (en) | Processing of vacuum-sealed dewar assembly | |
| RU2768364C1 (en) | Vacuum post for the manufacture of an electrovacuum device | |
| CN100585294C (en) | absorption tube | |
| GB902161A (en) | Improvements in ultra high vacuum chambers | |
| CN212516578U (en) | A vacuum pumping device for nuclear fusion device | |
| US3274429A (en) | High frequency electron discharge device with heat dissipation means | |
| RU2716261C1 (en) | High-resource metal-ceramic x-ray tube | |
| CN115866869A (en) | Integral sealed electronic curtain accelerator | |
| US2962619A (en) | Anode top-cap assembly for electron discharge devices | |
| US3792373A (en) | Metallic vapor laser assembly | |
| US3866280A (en) | Method of manufacturing high pressure sodium arc discharge lamp | |
| US20140345329A1 (en) | Method for performing a frit firing cycle in the manufacturing of a vacuum solar thermal panel | |
| US3102180A (en) | Apparatus for making electron tubes | |
| US4286833A (en) | Method and apparatus to fabricate image intensifier tubes | |
| CN111816330B (en) | A vacuum pumping device and method for nuclear fusion device | |
| US3144320A (en) | Method for the heating of articles made of glass | |
| SU46635A1 (en) | Electronic lamp | |
| Eastman et al. | The development of a cesium-vapor-filled thermionic energy converter final technical report, 18 jun.-18 nov. 1962 | |
| GB900023A (en) | Method and apparatus for making pressure seals between metallic surfaces, more especially in electron tubes |