RU2752175C2

RU2752175C2 - Чистые помещения, содержащие газообразный разбавленный пероксид водорода (рпв), и способы их использования

Info

Publication number: RU2752175C2
Application number: RU2017139863A
Authority: RU
Inventors: Джеймс Д. ЛИ; Дуглас Дж. БОСМА
Original assignee: СИНЕКСИС ЭлЭлСи
Priority date: 2015-04-20
Filing date: 2016-04-20
Publication date: 2021-07-23
Also published as: AU2016252618A1; KR20170141732A; AU2020213371B2; RU2017139863A3; CA2983154A1; JP2021183902A; IL255130A0; EP3285816A4; AU2016252618B2; SG11201708605SA; HK1250219A1; BR112017022309B1; CN107921163A; RU2017139863A; EP3285816A1; BR112017022309A2; SG10202010181TA; JP2018513343A; AU2020213371A1; WO2016172223A1

Abstract

Группа изобретений относится к области дезинфектологии и санитарии и предназначена для обеспечения асептических условий. Чистое помещение содержит систему отопления, вентиляции и кондиционирования воздуха (ОВКВ), которая обеспечивает газообразный разбавленный пероксид водорода (РПВ) в концентрации по меньшей мере 0,05 частей на миллион (м.д.) и до 1,0 м.д. Указанный РПВ является негидратированным и не содержит частиц плазмы или органических веществ, при этом содержит менее 0,015 частей на миллион (м.д.) озона. Чистое помещение соответствует по меньшей мере требованиям к помещениям класса 8 по ISO 14644. В других воплощениях обеспечиваются способы предотвращения, снижения и устранения загрязнения чистого помещения микроорганизмами; способ уменьшения органических соединений в чистом помещении; способ снижения уровней летучих органических соединений в чистом помещении; способ обеспечения указанного чистого помещения газообразным РПВ в концентрации по меньшей мере 0,05 частей на миллион (м.д.); а также способ снижения загрязнения, вызванного адсорбцией органических веществ во время производства кремниевой пластины. Использование группы изобретений позволяет повысить чистоту с одновременным уменьшением или удалением микроорганизмов, таких как бактерии, грибки, плесени и вирусы. 8 н. и 48 з.п. ф-лы, 2 табл., 2 пр.

Description

ОБЛАСТЬ ИЗОБРЕТЕНИЯ

[0001] Настоящее изобретение относится, в целом, к помещениям с повышенной чистотой, содержащим газообразный разбавленный пероксид водорода (РПВ), который обеспечивает антисептические условия. Кроме того, настоящее изобретение относится к содержащим газообразный РПВ чистым помещениям, которые имеют пониженные уровни летучих органических соединений (ЛОС). Настоящее изобретение также относится к способам создания чистых помещений с газообразным РПВ.

УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ ИЗОБРЕТЕНИЯ

[0002] Пероксид водорода (H₂O₂) является сильным окислителем и обладает хорошо известными антимикробными и антисептическими свойствами, а также активностью в отношении органических соединений. H₂O₂ также обладает активностью в отношении летучих органических соединений (ЛОС), окисляя, гидролизуя и разрушая их. Пероксид водорода гидролизует, помимо прочего, формальдегид, сероуглерод, углеводы, фосфорорганические и азотные соединения и многие другие более сложные органические молекулы. H₂O₂производится коммерчески в больших количествах либо в виде бесцветной жидкости, либо в виде водного раствора с концентрацией, обычно, от примерно 3 до 90%. Смотрите химический справочник Merck Index, 10-е издание, с 4705 по 4707. Недавно было обнаружено, что H₂O₂ может быть получен в виде очищенного газообразного пероксида водорода (ОГПВ), который не содержит озона, частиц плазмы или органических частиц.

[0003] ОГПВ является негидратированной газообразной формой H₂O₂, которая отличается от жидкой формы пероксида водорода, включающей гидратированные аэрозоли и парообразные формы. Аэрозольные и парообразные формы раствора пероксида водорода, имеющие значительно более высокие концентрации H₂O₂, обычно содержат более 1×10⁶ молекул на кубический микрон по сравнению с воздухом, включающим ОГПВ, который содержит от 5 до 25 молекул на кубический микрон. Аэрозоли и пары пероксида водорода получают из водных растворов пероксида водорода, и они также отличаются от ОГПВ, поскольку аэрозоли гидратируются и, независимо от размера капли, оседают под действием силы тяжести. Парообразные формы конденсируются и осаждаются. Аэрозолизованные формы пероксида водорода являются эффективными противомикробными средствами, однако они, как правило, считаются токсичными и полностью непригодными для использования в занимаемых помещениях. Смотрите, например, Kahnert et al., «Обеззараживание испаренным пероксидом водорода эффективно против Mycobacterium tuberculosis» (ʺDecontamination with vaporized hydrogen peroxide is effective against Mycobacterium tuberculosisʺ), Lett Appl Microbiol. 40(6):448-52 (2005). Применение испаренного пероксида водорода ограничено проблемами, связанными с взрывоопасностью паров, опасными реакциями, коррозионной активностью и безопасностью работников. Смотрите Agalloco et al., «Преодоление ограничений в использовании испаренного пероксида водорода» (ʺOvercoming Limitations of Vaporized Hydrogen Peroxideʺ), Pharmaceutical Technology, 37(9):1-7 (2013). Кроме того, помещения, обрабатываемые аэрозольными формами, обычно при концентрациях в диапазоне от 150 до 700 м.д., остаются непригодными для их использования, пока содержание H₂O₂ не будет снижено путем разложения на воду и кислород и H₂O₂. Использование ОГПВ решает проблему токсичности аэрозольной формы H₂O₂, парообразной и жидкой формы H₂O₂ и может обеспечить непрерывную безопасную антимикробную и окислительную активность.

[0004] ОГПВ является негидратированным и ведет себя, по сути, как идеальный газ. В этой форме ОГПВ ведет себя, в основном, как идеальный газ, способный свободно диффундировать через всю окружающую среду с достижением средней концентрации примерно 25 молекул на кубический микрон воздуха. В качестве газа ОГПВ способен проникать в большинство пористых материалов, по существу, свободно распространяясь, чтобы занять любое пространство, которое не является непроницаемым для воздуха. Газообразная форма пероксида водорода не оседает, не осаждается и не конденсируется, когда она присутствует при концентрациях вплоть до 10 м.д. ОГПВ является полностью экологичным, и не оставляет остатков, поскольку он разлагается на воду и кислород.

[0005] Важно отметить, что в отличие от парообразных и аэрозольных форм H₂O₂, среды, содержащие вплоть до 1 м.д. H₂O₂, обозначают как безопасные для непрерывной работы человека в соответствии с действующими стандартами Управления по охране труда и здоровья (OSHA), Национального института охраны труда и здоровья (NIOSH) или Американской ассоциации промышленных гигиенистов (ACGIH). Считается, что 10 м.д. также безопасны для деятельности человека, хотя эта концентрация еще не признана регулирующими органами. В настоящее время с появлением устройств генерации ОГПВ могут быть проведены соответствующие исследования. Способность создавать эффективные количества ОГПВ, безопасность ОГПВ при наличии его в качестве газообразного разбавленного пероксида водорода (РПВ) в сочетании с его эффективностью в качестве противомикробного агента обеспечивает множество полезных применений.

[0006] В патенте США № 8168122, выданном 1 мая 2012 года, и в патенте США № 8685329, выданном 1 апреля 2014 года,- владельцем которых является Lee, раскрываются способы и устройства приготовления ОГПВ для микробиологического контроля и/или дезинфекции/восстановления окружающей среды. В международной патентной заявке № PCT/US2015/029276, опубликованной как международная патентная публикация № WO 2015/171633, предлагаются усовершенствованные способы и устройства генерации ОГПВ, способные обеспечивать более высокие уровни устойчивого состояния ОГПВ. Международная патентная заявка № PCT/US2014/038652, опубликованная как международная патентная публикация № WO 2014/186805, раскрывает эффективность и использование ОГПВ для контроля членистоногих, включая насекомых и паукообразных. Международная патентная заявка № PCT/US2014/051914, опубликованная 26 февраля 2015 года как международная патентная публикация № WO/2015/026958, раскрывает положительные эффекты ОГПВ на здоровье органов дыхания, включая повышенную устойчивость к инфекции и увеличение иона гипотиоцианата в легких млекопитающих. Содержание каждой из вышеприведенных заявок включено в настоящее описание путем ссылки во всей их полноте.

[0007] Чистые помещения, начиная с их введения в 60-е годы, становятся все более важными как в промышленных, так и в медицинских учреждениях. В дополнение к их широкому использованию в производстве полупроводников чистые помещения используются в производстве фармацевтических препаратов, а также в биомедицинских исследовательских учреждениях, например, как часть сред биобезопасности. Чистые помещения предусматривают контроль и уменьшение количества частиц в воздухе, таких как пыль, путем использования способов фильтрации и характеризуются размером, количеством и распределением частиц в воздухе. Чистые помещения, как правило, не поддерживаются как стерильные среды, хотя ограниченным образом можно использовать ультрафиолетовые лучи для снижения нагрузки со стороны микроорганизмов. Чистые помещения также можно снабдить системами вентиляции для удаления летучих соединений, хотя таким образом можно удалять только соединения и частицы, переносимые по воздуху.

[0008] Чистые помещения классифицируются в соответствии с допустимым количеством и размером частиц на единицу объема воздуха. Классификация и стандарты для чистых помещений установлены Международной организацией по стандартизации МОС(ISO). Стандарты ISO 14644 первоначально были оформлены как документ в соответствии с Федеральным стандартом США 209E (FS 209E). Текущей версией стандарта является ISO 14644-2, опубликованный в 2000 году. Эти стандарты и способы достижения таких стандартов известны в данной области техники.

[0009] К чистым помещениям относятся лабораторные помещения, обеспечивающие различные уровни изоляции, чтобы не допустить выброса потенциально опасных биологических агентов и, чтобы защитить работников от возможного загрязнения. Существует четыре уровня биологической безопасности: BSL-1 - BSL-4, которые определены в США Центрами по контролю и профилактике заболеваний. См. http://www.cdc.gov/biosafety/publications/bmbl5/BMBL5_sect_IV.pdf. Федеральные руководства по Биобезопасности в микробиологических и биомедицинских лабораториях (БМБЛ, BMBL) известны специалистам в этой области техники и самой последней версией является BMBL, 5-е издание (декабрь 2009). BMBL можно найти в интернете по адресу www.cdc.gov/biosafety/publications/bmbl5/. Аналогичные уровни определены в Европейском Cоюзе и в других местах.

[0010] Материалы, используемые при сооружении чистых помещений, выбирают так, чтобы исключить образование частиц. Таким образом, даже обычные материалы, такие как бумага и материалы из натурального волокна, исключают из чистых помещений, поскольку они могут быть значительными источниками загрязняющих частиц. Поэтому чистые помещения сооружают из материалов повышенной непроницаемости с гладким покрытием, а острые углы и края сглаживают для предотвращения образования частиц. Среди подходящих материалов - фенольные пластмассы, стеклопластик и сталь. Когда используются более распространенные материалы, такие как гипсокартон, необходимо покрыть и отполировать поверхность, чтобы предотвратить образование частиц. Отметим, что многие из материалов выделяют в виде газа нежелательные органические вещества, которые не соответствуют условиям чистого помещения. Более конкретно, различные органические вещества, выделяющиеся из самих строительных материалов для чистого помещения, могут создавать примеси на поверхности кремниевых пластин при производстве полупроводников. В таблице 1, ниже, приведены примеры соединений, выделяющихся в форме газа из обычных строительных материалов для чистых помещений. Эти органические соединения нежелательны.

Таблица 1: Строительные материалы для чистых помещений и соединения, выделяющиеся в форме газа

Строительный материал	Органические соединения, выделяющиеся в форме газа
Напольные материалы	Диоктилфталат (ДОФ)
Уплотнитель для фильтра HEPA	Триэтилфосфат (ТЭФ)
Уретаны из герметиков для системы отопления, вентиляции и кондиционирования воздуха	ТЭФ и бутилированный гидрокситолуол (БГТ)
Полиуретановые адгезивы	БГТ, аминосоединения
Муфта гибкого трубопровода	Сложные эфиры фосфорной кислоты, ДОФ
Водонепроницаемая краска по бетону	Алкены, спирты, амины
Силиконовый герметик	Циклические силоксаны
Виниловый материал	ДОФ, тексанол-изобутират (ТИБ), трибутилфосфат (ТБФ)
Силиконовые трубы	Силоксаны, дибутилфосфат (ДБФ)

Источник: Gutowski, T., Oikawa, H., и Kobayashi, S. Молекулярные загрязнения в воздухе. Контроль материалов, используемых при строительстве завода по производству полупроводников. 1997 SPWCC Proceedings, т. II, стр. 143.

[0011] Существует потребность в чистых помещениях, в которых соединения, выделяемые материалами, используемыми для сооружения чистых помещений, могут удаляться или разлагаться, поскольку эти соединения, к примеру, мешают производству полупроводников.

[0012] Кроме того, желательно иметь помещения повышенной чистоты, в которых могут удаляться или разлагаться нежелательные органические соединения, например, органические соединения, которые оседают на поверхности в чистом помещении. Также очень желательны помещения повышенной чистоты, обеспечивающие разложение органических соединений в среде чистых помещений до фильтрации, а также другие способы удаления.

[0013] Чистые помещения, в основном, предназначены для устранения микрочастиц и не являются стерильными. Поэтому существует потребность в помещениях повышенной чистоты, которые обеспечивают уменьшение или удаление микроорганизмов, таких как бактерии, грибки, плесени и вирусы.

РАСКРЫТИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

[0014] Настоящее изобретение обеспечивает и включает создание чистых помещений, содержащих газообразный разбавленный пероксид водорода (РПВ) в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион.

[0015] Более конкретно, настоящее изобретение обеспечивает чистое помещение класса 1 по ISO 14644, которое содержит, по меньшей мере, 0,05 м.д. газообразного РПВ, чистое помещение класса 2 по ISO 14644, чистого помещения класса 3 по ISO 14644, чистое помещение класса 4 по ISO 14644, чистого помещения класса 5 по ISO 14644, чистое помещение класса 6 по ISO 14644, чистого помещения класса 7 по ISO 14644, чистое помещение класса 8 по ISO 14644, содержащего газообразный разбавленный пероксид водорода (РПВ) в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион.

[0016] Настоящее изобретение обеспечивает и включает способы подготовки чистых помещений, содержащих газообразный разбавленный пероксид водорода (РПВ), в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион, который включает обеспечение чистого помещения одним или более устройствами, генерирующими ОГПВ.

[0017] Настоящее изобретение обеспечивает и включает способы предотвращения загрязнения чистого помещения микроорганизмами, включающие обеспечение чистого помещения газообразным разбавленным пероксидом водорода (РПВ) в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.).

[0018] Настоящее изобретение обеспечивает и включает способы снижения загрязнения чистого помещения микроорганизмами, включающие обеспечение чистого помещения газообразным разбавленным пероксидом водорода (РПВ) в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.).

[0019] Настоящее изобретение обеспечивает и включает способы устранения загрязнения чистого помещения микроорганизмами, включающие обеспечение чистого помещения газообразным разбавленным пероксидом водорода (РПВ) в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.).

[0020] Настоящее изобретение обеспечивает и включает способы уменьшения органических соединений в чистом помещении, включающие обеспечение чистого помещения газообразным разбавленным пероксидом водорода (РПВ) в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.).

ПОДРОБНОЕ ОПИСАНИЕ

[0021] Если не указано иное, технические и научные термины, используемые в данном документе, имеют то же значение, которое обычно понимается специалистом в данной области техники. Специалист в данной области поймет, что многие способы могут быть использованы в практике настоящего изобретения. Действительно, настоящее изобретение никоим образом не ограничивается описанными способами и материалами. Любые ссылки, приведенные здесь, включены в качестве ссылки во всей их полноте. Для целей настоящего изобретения нижеуказанные термины определены ниже.

[0022] В контексте данного документа очищенный газообразный пероксид водорода (ОГПВ) и газообразный разбавленный пероксид водорода (РПВ) используются взаимозаменяемо. Очищенный газообразный пероксид водорода, используемый здесь, является негидратированным, по сути, не содержащим озон, частицы плазмы и органические вещества. Кроме того, в контексте данного документа уровень ОГПВ в помещении определяется как уровень устойчивого состояния ОГПВ в чистом помещении. Чистые помещения, согласно настоящему изобретению содержащие газообразный РПВ, являются чистыми помещениями с концентрацией газообразного РПВ в устойчивом состоянии, равной, по меньшей мере, 0,05 м.д. в течение, по меньшей мере, 15 минут. Примечательно, что при обычном использовании, ОГПВ исчерпывается, когда он реагирует с органическими соединениями, взаимодействует с микроорганизмами или иным образом разлагается и, следовательно, должен постоянно восполняться. На практике ожидается, что чистые помещения в соответствии с настоящим изобретением поддерживаются в состоянии, содержащем газообразный РПВ, путем постоянного производства ОГПВ посредством одного или более устройств как части системы отопления, вентиляции и кондиционирования воздуха (ОВКВ) или подачи одним или более автономными устройствами генерации ОГПВ.

[0023] Используемая в данном документе единственная форма существительного включает множественное число, если контекст явно не диктует иное. Например, термин «бактерия» или «по меньшей мере одна бактерия» может включать множество бактерий, включая их смеси. В другом примере термин «грибок» или «по меньшей мере один грибок» может включать множество бактерий, включая их смеси. Аналогичным образом, «ЛОС» или «по меньшей мере одно ЛОС» может включать несколько ЛОС и их смеси.

[0024] Используемый в данном документе термин «примерно» означает ± 10%.

[0025] Термины «содержит», «содержащий», «включает», «включающий», «имеющий» и родственные слова означают «включая, но не ограничиваясь ими».

[0026] Термин «состоящий из» означает «включая и ограничиваясь».

[0027] Термин «состоящий в основном из» означает, что композиция, способ или структура могут включать дополнительные ингредиенты, этапы и/или части, но только если дополнительные ингредиенты, этапы и/или части существенно не изменяют основные и новые характеристики заявленной композиции, способа или структуры.

[0028] Используемая в данном документе форма единственного числа существительного включает множественное число, если контекст явно не диктует иное. Например, термин «соединение» или «по меньшей мере одно соединение» может включать множество соединений, включая их смеси.

[0029] Используемый в данном документе термин «выше» относится к, по меньшей мере, примерно на 3, 5, 7, 10, 15, 20, 25, 30, 50, 60, 70, 80, 90%, или даже в несколько раз выше.

[0030] Используемый в данном документе термин «улучшение» или «увеличение» относится к, по меньшей мере, примерно на 2%, по меньшей мере, примерно на 3%, по меньшей мере, примерно на 4%, по меньшей мере, примерно на 5%, по меньшей мере, примерно на 10%, по меньшей мере, примерно на 15%, по меньшей мере, примерно на 20%, по меньшей мере, примерно на 25%, по меньшей мере, примерно на 30%, по меньшей мере, примерно на 35%, по меньшей мере, примерно на 40%, по меньшей мере, примерно на 45%, по меньшей мере, примерно на 50%, по меньшей мере, примерно на 60%, по меньшей мере, примерно на 70%, по меньшей мере, примерно на 80%, по меньшей мере, примерно на 90%, или на большее значение.

[0031] Используемый в данном документе термин «меньше» относится к, по меньшей мере, примерно на 3, 5, 7, 10, 15, 20, 25, 30, 50, 60, 70, 80, 90%, или даже в несколько раз больше.

[0032] Используемый в данном документе термин «снижение» или «уменьшение» относится к, по меньшей мере, примерно на 2%, по меньшей мере, примерно на 3%, по меньшей мере, примерно на 4%, по меньшей мере, примерно на 5%, по меньшей мере, примерно на 10%, по меньшей мере, примерно на 15%, по меньшей мере, примерно на 20%, по меньшей мере, примерно на 25%, по меньшей мере, примерно на 30%, по меньшей мере, примерно на 35%, по меньшей мере, примерно на 40%, по меньшей мере, примерно на 45%, по меньшей мере, примерно на 50%, по меньшей мере, примерно на 60%, по меньшей мере, примерно на 70%, по меньшей мере, примерно на 80%, по меньшей мере, примерно на 90%, или на большее значение.

[0033] Во всем объеме этой заявки различные варианты воплощения изобретения могут быть представлены в формате диапазона. Следует понимать, что описание в формате диапазона выполняется просто для удобства и краткости и не должно толковаться как негибкое ограничение объема изобретения. Соответственно, описание диапазона следует рассматривать как конкретно раскрывающее все возможные поддиапазоны, а также отдельные числовые значения в этом диапазоне. Например, описание диапазона, такого как от 1 до 6, следует рассматривать как конкретно описанные поддиапазоны, такие как от 1 до 3, от 1 до 4, от 1 до 5, от 2 до 4, от 2 до 6, от 3 до 6 и тому подобное, а также отдельные числа в этом диапазоне, например, 1, 2, 3, 4, 5 и 6. Применимо независимо от ширины диапазона.

[0034] Всякий раз, когда здесь указывается числовой диапазон, он должен включать любую указанную цифру (дробную или целую) в пределах указанного диапазона. Фразы «находящийся в диапазоне/находится в диапазоне между» первым указанным числом и вторым указанным числом и «находящийся в диапазоне/находится в диапазоне от» первого указанного числа до второго указанного числа используются в контексте данного документа взаимозаменяемо и предназначены для включения первого и второго указанных чисел и всех дробных и целых чисел между ними.

[0035] Используемый в данном документе термин «способ» относится к приемам, средствам, способам и процедурам для выполнения данной задачи, включая, но не ограничиваясь ими, приемы, средства, способы и процедуры, которые известны или легко выводятся из известных приемов, средств, способов и процедур практиками химической, фармакологической, биологической, биохимической и медицинской отрасли.

[0036] Настоящее изобретение предлагает и включает чистое помещение, содержащее газообразный разбавленный пероксид водорода (РПВ) в концентрации, равной, по меньшей мере 0,05 частей на миллион (м.д.), которое соответствует одному или более национальным или международным стандартам, включая, но не ограничиваясь ими, US 209D от 1988 года, US 209E от 1992 года, стандарт Великобритании BS 5295 от 1989 года, Австралийский стандарт AS 1386, Французский стандарт AFNOR X44101 от 1972 года, Немецкий стандарт VD I.2083 от 1990 года и стандарт ISO 14644-1 и 14644-2 от 2000 года. В настоящее описание также включены и предусмотрены любые помещения и/или зоны, предназначенные для уменьшения количества частиц и соединений в воздухе. Чистые помещения, в соответствии с вышеуказанным, подчиняются одному или более национальным или международным стандартам и включают уровни газообразного РПВ, как указано в пунктах [0045] и [0046].

[0037] В аспектах согласно настоящему изобретению чистое помещение соответствует стандарту ISO 14644-2. В одном из аспектов чистое помещение является чистым помещением класса 1 по ISO 14644, содержащее газообразный РПВ в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.). В другом аспекте чистое помещение является чистым помещением класса 2 по ISO 14644, содержащее газообразный РПВ в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.). В еще одном аспекте чистое помещение является чистым помещением класса 3 по ISO 14644, содержащее газообразный РПВ в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.). В следующем аспекте чистое помещение является чистым помещением класса 4 по ISO 14644, содержащее газообразный РПВ в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.). В следующем аспекте чистое помещение является чистым помещением класса 5 по ISO 14644, содержащее газообразный РПВ в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.). В другом аспекте чистое помещение является чистым помещением класса 6 по ISO 14644, содержащее газообразный РПВ в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.). В следующем аспекте чистое помещение является чистым помещением класса 7 по ISO 14644, содержащее газообразный РПВ в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.). В следующем аспекте чистое помещение является чистым помещением класса 8 по ISO 14644. Предлагаемые в настоящем изобретении чистые помещения, соответствующие стандарту ISO 14644-2, содержат уровни газообразного РПВ, как указано в пунктах [0045] и [0046].

[0038] В еще одном аспекте чистое помещение соответствует британскому стандарту British Standard 5295, опубликованному в 1989 году. В следующем аспекте чистое помещение является чистым помещением класса 1 по BS 5295, содержащим газообразный РПВ в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.). В другом аспекте чистое помещение является чистым помещением класса 2 по BS 5295, содержащим газообразный РПВ в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.). В следующем аспекте чистое помещение является чистым помещением класса 3 по BS 5295, содержащим газообразный РПВ в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.). В следующем аспекте чистое помещение является чистым помещением класса 4 по BS 5295, содержащим газообразный РПВ в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.). Предлагаемые здесь чистые помещения, соответствующие британскому стандарту British Standard 5295, включают уровни газообразного РПВ, как указано в пунктах [0045] и [0046].

[0039] Настоящее изобретение также включает чистые помещения, содержащие газообразный разбавленный пероксид водорода (РПВ) в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.), которые соответствуют стандартам Евросоюза GMP. В одном из аспектов чистое помещение является чистым помещением класса А по стандарту EU GMP, содержащим газообразный РПВ. В другом аспекте чистое помещение является чистым помещением класса В по стандарту EU GMP, содержащим газообразный РПВ. В еще одном аспекте чистое помещение является чистым помещением класса С по стандарту EU GMP, содержащим газообразный РПВ. В следующем аспекте чистое помещение является чистым помещением класса D по стандарту EU GMP, содержащим газообразный РПВ в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.). Предлагаемые здесь чистые помещения, соответствующие стандартам ЕС GMP, включают уровни газообразного РПВ, как указано в пунктах [0045] и [0046].

[0040] Настоящее изобретение также обеспечивает и включает чистое помещение, содержащее газообразный разбавленный пероксид водорода (РПВ) в концентрации, по меньшей мере 0,05 частей на миллион (м.д.), которое соответствует стандарту ЕС GMP от 1 января 1997 года и предлагается в Изменениях к Приложению к Руководству ЕС по надлежащей производственной практике - Производство стерильных медицинских продуктов.

[0041] Чистые помещения по настоящему изобретению могут включать все здание целиком, одно или более помещений в здании или могут быть устроены как модульные системы в пределах большего по размеру помещения. В некоторых аспектах газообразный РПВ чистых помещений по настоящему изобретению может обеспечиваться системой отопления, вентиляции и кондиционирования воздуха, модифицированной одним или более устройствами генерации РПВ. В некоторых аспектах чистые помещения по настоящему изобретению могут включать специальную систему ОВКВ, способную подавать ОГПВ в среду чистого помещения.

[0042] Настоящее изобретение также предлагает модульные конструкции чистого помещения, имеющие отдельную систему вентиляции со специальным устройством для генерации газообразного РПВ. Такие чистые помещения забирают кондиционированный окружающий воздух и со второй системой ОВКВ обеспечивают источник газообразного РПВ. Такие автономные системы (например, чистое помещение в помещении) могут, кроме того, включать дополнительные функции фильтрации и увлажнения. В некоторых аспектах модульное чистое помещение может обеспечить изоляцию оборудования внутри объекта. Такие модульные чистые помещения могут поддерживать более качественные уровни наличия твердых частиц, чем стандартное чистое помещение (например, от ISO 1 до ISO 9) и могут использоваться для изоляции важных этапов производственного процесса. В некоторых аспектах модульное чистое помещение может быть частично открыто в закрытое помещение. При открытии в закрытое помещении модульное чистое помещение, как правило, подключается к скоростному потоку отфильтрованного воздуха, так что поток предотвращает поступление нежелательных частиц и материалов. Предлагаемое здесь модульное чистое помещение оборудовано одним или более устройствами генерации газообразного РПВ для поддержки уровня газообразного РПВ, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион. Модульные чистые помещения могут поддерживать уровень газообразного РПВ в диапазоне от 0,05 до 10 м.д. и, как указано в пунктах [0045] и [0046].

[0043] Модульные чистые помещения можно создать, используя способы, известные в этой области техники и снабжать их газообразным РПВ, чтобы обеспечить стерильные среды, среды с пониженным содержанием загрязняющих веществ, или их оба типа. Известны многочисленные производители модульных чистых помещений, включая, но не ограничиваясь ими, Starr Co. (MO), Precision Environments, Inc (OH), PortaFab Corporation (MO), Cambridge Cleanroom Corporation (MA), Modular Cleanrooms Inc. (CO), Terra Universal. Inc. (CA) и American Cleanroom Systems (CA).

[0044] Как минимум, модульные чистые помещения должны обеспечивать только закрытое пространство для накопления газообразного РПВ. Таким образом, модульное чистое помещение, пригодное для чистого помещения, содержащего газообразный РПВ, может быть пластиковой конструкцией палаточного типа. Модульные чистые помещения не ограничены размерами и могут быть оснащены несколькими устройствами генерации газообразного РПВ для достижения уровня газообразного РПВ в диапазоне от 0,5 до 10 м.д. Использование модульных чистых помещений, как жесткой конструкции, так и палаточного типа, означает, что чистые помещения, содержащие газообразный РПВ, могут быть разработаны для отдельных частей оборудования производственного процесса. Как показано в Примере 2 ниже, применение модульных конструкций чистых помещений, содержащих газообразный РПВ, для процесса разлива в тару безалкогольных напитков, может значительно сократить расходы за счет продления срока службы существующего оборудования. Это неожиданное улучшение позволяет предположить, что применение технологии РПВ для существующих систем несет в себе значительные преимущества.

[0045] Настоящее изобретение предлагает и включает чистые помещения, например, описанные выше, которые имеют значительно более высокие уровни РПВ. В определенных аспектах уровень газообразного РПВ может быть вплоть до 10 м.д. В определенных аспектах уровень газообразного РПВ находится в диапазоне между 0,05 и 10 м.д. В одном из аспектов концентрация газообразного РПВ в чистом помещении по настоящему изобретению составляет, по меньшей мере, 0,08 м.д. В другом аспекте концентрация газообразного РПВ составляет, по меньшей мере, 1,0 м.д. В еще одном аспекте концентрация газообразного РПВ составляет, по меньшей мере, 1,5 м.д. В одном аспекте концентрация газообразного РПВ в чистом помещении по настоящему изобретению составляет, по меньшей мере, 2,0 м.д. В следующем аспекте концентрация газообразного РПВ составляет, по меньшей мере, 3,0 м.д. В еще одном аспекте концентрация газообразного РПВ составляет, по меньшей мере, 4,0 м.д. В еще одном аспекте концентрация газообразного РПВ составляет, по меньшей мере, 5,0 м.д. В следующем аспекте концентрация газообразного РПВ в чистом помещении по настоящему изобретению составляет, по меньшей мере, 6,0 м.д. В еще одном аспекте концентрация газообразного РПВ меньше, чем 10 м.д. В еще одном аспекте концентрация газообразного РПВ меньше, чем 9,0 м.д. В следующем аспекте концентрация газообразного РПВ меньше, чем 8,0 м.д. В еще одном аспекте концентрация газообразного РПВ меньше, чем 7,0 м.д. В следующем аспекте концентрация газообразного РПВ находится в диапазоне между 0,05 м.д. и 10,0 м.д. В еще одном аспекте концентрация газообразного РПВ находится в диапазоне между 0,05 м.д. и 5,0 м.д. В следующем аспекте концентрация газообразного РПВ находится в диапазоне между 0,08 м.д. и 2,0 м.д. В еще одном аспекте концентрация газообразного РПВ находится в диапазоне между 1,0 м.д. и 3,0 м.д. В следующем аспекте концентрация газообразного РПВ в чистом помещении по настоящему изобретению находится в диапазоне между 1,0 м.д. и 8,0 м.д. или между 5,0 м.д. и 10,0 м.д. В других аспектах концентрация газообразного РПВ в чистом помещении периодически повторяется между более высокими и более низкими концентрациями РПВ. В качестве неограничивающего примера, отметим, что РПВ может поддерживаться в более высокой концентрации в течение ночных часов и более низкой концентрации в дневные часы.

[0046] В некоторых аспектах конечная концентрация РПВ зависит от того, присутствует ли человек в закрытой среде. Существующие безопасные пределы для непрерывного воздействия РПВ, установленные Управлением по охране труда и здоровья (OSHA), Национальным институтом охраны труда и здоровья (NIOSH), или Агентством по охране окружающей среды (EPA), не превышают 1,0 м.д. Соответственно, в определенных аспектах концентрация РПВ в чистом помещении, занимаемом человеком, не превышает 1,0 м.д. В другом аспекте концентрация РПВ в чистом помещении, занимаемом человеком, не превышает 0,6 м.д. В еще одном аспекте концентрация РПВ в чистом помещении, занимаемом человеком, не превышает 0,4 м.д. В следующем аспекте концентрация РПВ в чистом помещении, занимаемом человеком, не превышает 0,2 м.д. или не превышает 0,10 м.д. В еще одном аспекте концентрация РПВ в чистом помещении, занимаемом человеком, не превышает пределы, установленные Управлением по охране труда и здоровья (OSHA), Национальным институтом охраны труда и здоровья (NIOSH), или Агентством по охране окружающей среды (EPA).

[0047] Обнаружено, что легкие млекопитающего сами имеют уровни пероксида водорода, значительно превышающие стандарты OSHA и уровни газообразного РПВ, указанные в настоящем описании. В частности, влажные поверхности легких человека содержат до 60 000 молекул на кубический микрон (например, 1,8 м.д.), а пероксид водорода выдыхается при каждом выдохе. Напротив, газообразный РПВ при уровне 1 м.д. содержит только 25 молекул H₂O₂на кубический микрон воздуха. Соответственно, полагают, что уровни 10 м.д. или более являются безопасными для непрерывной человеческой деятельности. Настоящее изобретение предлагает и включает чистые помещения для использования и занятия людьми, которые имеют более высокие уровни газообразного РПВ, включая уровень газообразного РПВ вплоть до 10 м.д. В определенных аспектах, если необходимо, чтобы стандарты не изменялись, людям могут быть предоставлены фильтры или устройства для удаления выдыхаемого газообразного РПВ, либо может быть ограничен период времени, в течение которого они подвергаются воздействию более высоких уровней газообразного РПВ. Примечательно, что газообразный РПВ быстро рассеивается, если не восполняется. Обнаружено, что среда, содержащая 0,6 м.д. газообразного РПВ, возвращается к необнаруживаемым уровням в течение примерно 15 минут.

[0048] Настоящее изобретение также предлагает и включает чистое помещение, содержащее газообразный РПВ, обеспечиваемый системой отопления, вентиляции и кондиционирования воздуха (ОВКВ). В определенных аспектах система ОВКВ включает одно или более устройств генерации ОГПВ. Подходящие устройства генерации ОГПВ известны в этой области техники и описаны в патенте США № 8168122, выданном 1 мая 2012 года, и патенте США № 8685329, выданном 1 апреля 2014 года. Понятно, что количество и мощность устройств, генерирующих ОГПВ, необходимого для достижения концентрации РПВ, по меньшей мере, равной 0,05 м.д., зависят от размера чистого помещения. В некоторых аспектах весь производственный объект является чистым помещением, а количество устройств, генерирующих ОГПВ, может быть соответствующим образом скорректировано. На практике установлено, что одно устройство ОГПВ может непрерывно поддерживать пространство примерно 425 м³ (около 15 000 фут³) на уровне примерно 0,6 м.д. Меньшие пространства объемом примерно 4,5 м³ (150 фут³) можно легко поддерживать на уровне примерно выше 5,0 м.д. с помощью одного устройства ОГПВ.

[0049] Предлагаемые здесь подходящие устройства генерации ОГПВ могут включать корпус, механизм распределения воздуха, источник ультрафиолетового света и воздухопроницаемую структуру подложки с катализатором на ее поверхности, где поток воздуха проходит через воздухопроницаемую структуру подложки и выводит ОГПВ, генерируемый устройством, из корпуса во время работы устройства. Используемые в этом изобретении корпус и система распределения воздуха могут быть воздуховодом, вентиляторами, фильтрами и другими частями системы ОВКВ, подходящими для чистого помещения. В определенных аспектах устройство ОГПВ устанавливается после фильтрации воздуха, чтобы максимизировать производство ОГПВ и снизить потери ОГПВ по мере перемещения воздуха через систему. В других аспектах устройство генерации ОГПВ может быть автономным. В определенных аспектах устройство генерации ОГПВ способно производить ОГПВ со скоростью, достаточной для установления концентрации ОГПВ в устойчивом состоянии, равной, по меньшей мере, 0,005 м.д., в замкнутом объеме воздуха, равном 10 кубических метрам. В некоторых аспектах устройство, генерирующее ОГПВ, производит ОГПВ из воды, присутствующей в окружающем воздухе. Используемое здесь распределение воздуха обеспечивает воздушный поток со скоростью от примерно 5 нанометров в секунду (нм/с) до 10000 нм/с, измеряемой на поверхности воздухопроницаемой структуры подложки. Используемая здесь структура подложки является воздухопроницаемой структурой с катализатором на поверхности, сконфигурированную с возможностью получения негидратированного очищенного газообразного пероксида водорода при воздействии источника света и подачи воздушного потока. Используемая здесь воздухопроницаемая структура подложки с катализатором на ее поверхности имеет толщину в диапазоне между примерно 5 нанометрами (нм) и примерно 750 нм в общей толщине. Используемый здесь катализатор на поверхности воздухопроницаемой структуры подложки является металлом, оксидом металла или их смесью и может быть оксидом вольфрама или смесью оксида вольфрама с другим металлом или катализатором на основе оксида металла.

[0050] Используемые здесь устройства генерации ОГПВ, которые можно устанавливать в существующие системы ОВКВ (например, встраивать) или автономные узлы, производят ОГПВ, который, по сути, не содержит озон, частицы плазмы или органические частицы. Используемый в данном документе термин «по сути, не содержит озон» означает, что количество озона ниже примерно 0,015 м.д. озона. В одном из аспектов, термин «по сути, не содержит озон», означает, что количество озона, производимого устройством, ниже или примерно равно уровню обнаружения (УО) при использовании обычных средств обнаружения. Используемое в данном документе выражение, «по сути, не содержит продукты гидратации», означает, что, по меньшей мере, 99% газообразного пероксида водорода не содержит молекул воды, связанных с ним электростатическим притяжением и силами Лондона. Кроме того, используемый здесь ОГПВ по сути не содержит частиц плазмы, что означает, что, по меньшей мере, 99% газообразного пероксида водорода не содержит гидроксид-иона, гидроксид-радикала, гидроний-иона и радикала водорода. Используемый в контексте данного документа ОГПВ, по сути, не содержит органических веществ.

[0051] Настоящее изобретение предлагает и включает чистые помещения, имеющие подходящие системы ОВКВ, которые дополнительно включают одно или более устройств генерации ОГПВ, достаточных для поддержания чистого помещения с концентрацией газообразного РПВ, равной 0,05 м.д. (например, встроенных устройств генерации ОГПВ). В определенных аспектах одно или более устройств генерации ОГПВ размещают ниже по потоку от различных фильтров, которые включают в систему ОВКВ. В других аспектах устройство генерации ОГПВ может быть размещено выше по потоку от одного или более фильтров системы ОВКВ. В соответствии с настоящим изобретением система ОВКВ может быть системой рециркулирующего воздуха. Также включены системы ОВКВ, которые дополнительно включают системы подпиточного воздуха для восполнения отработанного воздуха и потерь воздуха из-за утечек. В некоторых аспектах система подпиточного воздуха включает одно или более устройств генерации ОГПВ. В некоторых аспектах система подпиточного воздуха включает один или более фильтров, выбранных из фильтра 30% ASHRAE, фильтра 60% ASHRAE или фильтра 95% ASHRAE. См. Стандарт 52.2-2007 ANSI/AHRAE Американского общества инженеров отопления, вентиляции и воздушного кондиционирования (ASHRAE), доступный в интернете, например, по адресу www.airfilterplus.com/wp-content/uploads/2014/05/Koch-ASHRAE-book.pdf.

[0052] В аспектах в соответствии с настоящим изобретением система ОВКВ включает одну или более систем фильтрации с высокоэффективными фильтрами очистки воздуха от частиц (HEPA) в соответствии с Федеральным стандартом 209. Также в настоящее описание включены системы ОВКВ, которые содержат по меньшей мере один фильтр с эффективностью, по меньшей мере, 99,97% на 0,3 микронных частицах в соответствии со стандартом Mil-F-51068 или рекомендуемой практикой IEST-RP-CC-001. Как уже отмечалось, системы фильтрации могут размещаться до или после встроенного устройства генерации ОГПВ.

[0053] Настоящее изобретение также предлагает и включает чистые помещения с газообразным РПВ, имеющие множество форм и различных подходов для удовлетворения определенным требованиям, например, ISO 14644. В некоторых аспектах чистые помещения могут содержать переносное или модульное чистое помещение и включать устройство генерации ОГПВ. В некоторых аспектах чистые помещения включают системы турбулентного потока ОВКВ для удаления частиц. В других аспектах чистые помещения обеспечивают ламинарный поток воздуха для удаления частиц. Для добавляемого газа в систему воздуха в чистом помещении можно создать как системы с ламинарным потоком, так и с турбулентным потоком, которые содержат газообразный РПВ с концентрацией, по меньшей мере, 0,05 м.д.

[0054] Настоящее изобретение предлагает и включает чистые помещения, подходящие для множества целей. В одном из аспектов чистое помещение является чистым помещением для фармацевтики. В другом аспекте чистое помещение является чистым помещением для биофармацевтики. В еще одном аспекте чистое помещение является чистым помещением для производства полупроводников. В других аспектах чистое помещение является модульным чистым помещением.

[0055] В определенных аспектах в соответствии с настоящим изобретением чистое помещение содержит пониженные уровни загрязнителей, переносимых по воздуху. Неограничивающие примеры органических загрязнителей, содержание которых уменьшается в соответствии с чистыми помещениями и способами по настоящему изобретению, приведены в Таблице 1 выше. Специалист в данной области понимает, что окислительное действие пероксида водорода не является специфическим. Соответственно, понятно, что лишь очень небольшое число органических соединений будет устойчиво к окислению и, в конечном счете, к разрушению. Окисление является процессом, посредством которого атом углерода образует связи с более электроотрицательными элементами, чаще всего кислородом. В другом аспекте реакциями окисления являются реакции, в которых центральный углерод функциональной группы переходит в свою более высокоокисленную форму. Специалист в данной области понимает, что газообразный РПВ окисляет формальдегид, сероуглерод, углеводы, фосфорорганические и азотные соединения, фенолы, пестициды БТЭК, пластификаторы, хелаты и практически любые другие органические вещества, требующие обработки. В одном аспекте углерод-углеродная двойная связь алкена подвержена окислению. В другом аспекте углерод-углеродная тройная связь алкина подвержена окислению.

[0056] В одном аспекте РПВ окисляет антропогенное соединение. В другом аспекте РПВ окисляет цианиды, NOx/SOx, нитриты, гидразин, карбонилсульфид или другие восстановленные соединения серы. В другом аспекте РПВ окисляет хлорфторуглероды или хлоруглероды. В еще одном аспекте РПВ окисляет метиленхлорид. В одном из аспектов РПВ окисляет перхлорэтилен. В другом аспекте РПВ окисляет стирол или лимонен.

[0057] Настоящее изобретение предлагает и включает чистые помещения с пониженными уровнями летучих органических соединений (ЛОС) и очень летучих органических соединений (ОЛОС), таких как формальдегид. Все летучие органические соединения, время удерживания которых в газовой хроматографии находится между C₆ (гексаном) и C₁₆ (гексадеканом), относятся к летучим органическим соединениям. Очень летучие органические соединения включают, кроме всего прочего, муравьиную кислоту и формальдегид. Используемое в данном документе понятие альдегиды включает не только летучие соединения, но также все другие альдегиды, в частности формальдегид, если не указано иное.

[0058] В одном из аспектов, применительно к органическим молекулам, окисление является процессом, посредством которого атом углерода образует связи с более электроотрицательными элементами, чаще всего с кислородом. В другом аспекте реакциями окисления являются реакции, в которых центральный углерод функциональной группы превращается в форму с более высокой степенью окисления. Специалист в данной области понимает, что газообразный РПВ окисляет формальдегид, сероуглерод, углеводы, фосфорорганические и азотные соединения, фенолы, пестициды БТЭК, пластификаторы, хелаты и практически любые другие органические вещества, требующие обработки. В одном из аспектов углерод-углеродная двойная связь алкена подвержена окислению. В другом аспекте углерод-углеродная тройная связь алкина подвержена окислению.

[0059] Настоящее изобретение также предлагает пониженные уровни загрязнителей, переносимых по воздуху, и органических загрязнителей, которые оседают на поверхностях. В некоторых аспектах чистые помещения обеспечивают пониженные уровни органических загрязнителей, оседающих на кремниевых пластинах, которые изготавливают в чистом помещении. Предлагаемое использование чистого помещения, содержащего газообразный РПВ, является непрерывным, обеспечивая, таким образом, снижение загрязнения производимых продуктов.

[0060] Настоящее изобретение предлагает и включает чистые помещения, имеющие внутренние поверхности, содержащие различные материалы. Примечательно, что газообразный РПВ совместим со строительными материалами, в целом, а также совместим с материалами, используемыми для сооружения чистых помещений. В частности, материалы чистых помещений обычно характеризуются своей устойчивостью к образованию частиц, которые могут переноситься по воздуху. Соответственно, настоящее изобретение предлагает чистые помещения, содержащие газообразный РПВ в количестве, по меньшей мере, 0,05 м.д., имеющие внутренние поверхности, выбранные из группы, состоящей из фенольного пластика, стеклопластика, стали, стали с покрытием, алюминия, бетонного блока с эпоксидным покрытием, гипсокартона и винила, гипсокартона с толстым покрытием и других материалов с толстым покрытием. В других аспектах внутренние поверхности чистого помещения готовят из материалов, указанных в Таблице 1. В одном из аспектов толстое покрытие включает полиуретаны, эпоксидную краску, эмаль горячей сушки или глянцевые краски. Подходящие материалы для сооружения чистых помещений известны в данной области техники. В отличие от существующих коммерческих чистых помещений, чистые помещения в соответствии с настоящим изобретением обеспечивают удаление нежелательных соединений, которые могут выделяться строительными материалами в целом, и некоторыми материалами, используемыми при сооружении чистых помещений, в частности.

[0061] Настоящее изобретение предлагает и включает чистые помещения, имеющие различную скорость воздухообмена. Как отмечено выше, введение газообразного РПВ в чистое помещение не ограничено тем, заменен ли воздух в чистом помещении путем использования ламинарного или турбулентного потока. Для чистых помещений с турбулентным потоком воздухообмен обычно измеряется кратностью воздухообмена в час (КВО, воздухообмен/час). Специалисту в данной области техники будет понятно, что повышенные скорости обмена воздуха относятся к чистым помещениям, имеющим более низкий класс (при условии отсутствия другого изменения в конфигурации системы фильтрации). Настоящее изобретение предлагает чистые помещения, содержащие газообразный РПВ на уровне, по меньшей мере, 0,05 м.д., с кратностью воздухообмена, по меньшей мере, равной 1 КВО. В одном аспекте кратность воздухообмена составляет, по меньшей мере, 5КВО. В другом аспекте кратность воздухообмена составляет, по меньшей мере, 60 КВО. В еще одном аспекте КВО составляет, по меньшей мере, 150. В еще других аспектах кратность воздухообмена составляет, по меньшей мере, 240 КВО. В некоторых аспектах воздухообмен составляет, по меньшей мере, 300 КВО. В некоторых аспектах воздухообмен составляет, по меньшей мере, 360 КВО. Следует понимать, что настоящее изобретение предлагает и включает даже более высокие кратности воздухообмена в час, достижимые путем включения дополнительных устройств генерации ОГПВ.

[0062] Настоящее изобретение обеспечивает кратности воздухообмена в чистых помещениях, содержащих газообразный РПВ, в диапазоне от 5 до 48 КВО. В других аспектах кратность воздухообмена чистых помещений согласно настоящему изобретению составляет от 60 до 90 КВО. В некоторых аспектах кратность воздухообмена находится в диапазоне от 150 до 240 КВО. В дополнительных аспектах кратность воздухообмена находится в диапазоне от 240 до 480 КВО. В еще одном аспекте кратность воздухообмена находится в диапазоне от 300 до 540 КВО. В еще одном аспекте кратность воздухообмена находится в диапазоне от 360 до 540 КВО.

[0063] Настоящее изобретение предлагает и включает чистые помещения, имеющие различные скорости ламинарного воздушного потока. В аспектах в соответствии с настоящим изобретением в чистом помещении с содержанием газообразного РПВ, по меньшей мере, 0,05 м.д., средняя скорость воздушного потока находится в диапазоне от 0,005 м/с до 0,508 м/с. В определенных аспектах средняя скорость воздушного потока может быть выше 0,508 м/с. В некоторых аспектах средняя скорость воздушного потока составляет, по меньшей мере, 0,005 м/с. В другом аспекте средняя скорость воздушного потока составляет, по меньшей мере, 0,051 м/с. В еще одном аспекте средняя скорость воздушного потока составляет, по меньшей мере, 0,127 м/с. В некоторых аспектах средняя скорость воздушного потока составляет, по меньшей мере, 0,203 м/с. В одном аспекте средняя скорость воздушного потока составляет, по меньшей мере 0,254 м/с. В дополнительном аспекте средняя скорость воздушного потока составляет по меньшей мере 0,305 м/с.

[0064] Настоящее изобретение предлагает и включает чистые помещения, содержащие, по меньшей мере 0,05 м.д. газообразного РПВ, и включает чистые помещения со скоростями воздушного потока в некотором диапазоне. В одном из аспектов скорость ламинарного воздушного потока находится в диапазоне между 0,005 и 0,041 м/с. В другом аспекте скорость ламинарного воздушного потока находится в диапазоне между 0,051 и 0,076 м/с. В следующем аспекте скорость ламинарного воздушного потока находится в диапазоне между 0,127 и 0,203 м/с. В еще одном аспекте скорость ламинарного воздушного потока находится в диапазоне между 0,203 и 0,406 м/с. В следующем аспекте скорость ламинарного воздушного потока находится в диапазоне между 0,254 и 0,457 м/с. В одном из аспектов скорость ламинарного воздушного потока находится в диапазоне между 0,305 и 0,457 м/с. В еще одном аспекте скорость ламинарного воздушного потока находится в диапазоне между 0,305 и 0,508 м/с. Понятно, что в соответствии с настоящим изобретением предполагаются и другие скорости потока и что в систему могут быть включены дополнительные источники ОГПВ для обеспечения подходящих уровней газообразного РПВ, вплоть до 10 м.д. и, как указано в пунктах [0045] и [0046].

[0065] Настоящее изобретение предлагает и включает чистые помещения, содержащие по меньшей мере 0,05 м.д. газообразного РПВ, которые имеют более высокое давление воздуха, чем прилегающие зоны помещений, не относящихся к чистым. Специалисту в данной области техники будет понятно, что более высокое давление может предотвратить попадание нежелательных частиц в чистое помещение. Не ограничиваясь теорией, считается, что, когда работники входят в чистое помещение, поток воздуха из чистого помещения из-за разницы в давлении действует так, что не происходит попадания пыли и частиц от входа. В других аспектах положительное давление может быть обеспечено для модульных чистых помещений, чтобы предотвратить попадание нежелательных частиц и микробов. Разница между чистым помещением и окружающими зонами должна быть достаточной лишь для обеспечения положительного потока воздуха из чистого помещения. В аспектах в соответствии с настоящим изобретением разница в давлении составляет по меньшей мере 5 Па. В одном из аспектов разница в давлении составляет, по меньшей мере, 12 Па. В еще одном аспекте разница в давлении составляет, по меньшей мере, 15 Па. В следующем аспекте разница в давлении составляет, по меньшей мере, 20 или 25 Па. В других аспектах разница в давлении составляет, по меньшей мере, 30 Па. Также предусмотрены разницы в давлении вплоть до 50 Па или даже выше. В общем, разница в давлении чистого помещения, содержащего, по меньшей мере 0,05 м.д. газообразного РПВ, и смежного помещения, не относящегося к чистому, находится в диапазоне между 5 и 50 Па.

[0066] Настоящее изобретение дополнительно включает и предлагает чистые помещения, дополнительно содержащие воздушный шлюз или тамбур. Следует понимать, что такие вспомогательные объекты часто включаются для сведения к минимуму попадания загрязняющих веществ. В определенных аспектах смежные объекты предусматривают шкафчики, раздевалки, воздушные шлюзы, тамбуры и несут другие функции. В определенных аспектах, вспомогательные объекты, такие как воздушный шлюз, сквозной воздушный шлюз, тамбур, раздевалка, блокировка или раздевалка со шкафами для одежды, дополнительно содержат газообразный РПВ с концентрацией, по меньшей мере, 0,05 м.д. Кроме того предусмотрены вспомогательные средства, которые имеют более высокий уровень газообразного РПВ, как это представлено, например, в пункте [0045].

[0067] Настоящее изобретение дополнительно включает и предлагает чистые помещения, которые имеют контролируемую среду. В определенных аспектах чистое помещение поддерживается при температуре от 20 до 22 °C. В других аспектах чистое помещение поддерживается при температуре 18,9 °C. Также предлагаются холодные чистые помещения с температурой между 1 и 6 °C.

[0068] Также в настоящее изобретение включены чистые помещения, содержащие, по меньшей мере, 0,05 м.д. газообразного РПВ, и имеющие относительную влажность от 1 до 99%. В определенных аспектах относительная влажность находится в диапазоне от 30 до 60%. В одном из аспектов влажность воздуха в чистом помещении предпочтительно выше примерно на 1% относительной влажности (ОВ). В других аспектах влажность воздуха чистого помещения равна или выше на 5% ОВ. В дополнительных аспектах влажность воздуха чистого помещения равна или выше на 10%. В некоторых аспектах относительная влажность находится в диапазоне от 35% до 40%. В других аспектах влажность может составлять от примерно 5% до примерно 99% ОВ. В других аспектах влажность воздуха чистого помещения может составлять от примерно 10% до примерно 99% ОВ. В определенных аспектах влажность воздуха чистого помещения составляет менее 80%. В одном из аспектов влажность находится в диапазоне от 10% до 80%. В дополнительных аспектах относительная влажность находится в диапазоне от 30% до 60%. В другом аспекте влажность находится в диапазоне между 35 и 40%. В некоторых аспектах влажность воздуха чистого помещения находится в диапазоне между 56% и 59%.

[0069] Используемые в контексте данного документа среды биоизоляции являются подклассом чистых помещений, которые предназначены для того, чтобы препятствовать выходу из помещения или объекта материалов, конкретно, живых организмов, таких как бактерии и вирусы. Соответственно, чистые помещения, предназначенные для использования в качестве сред биоизоляции, проектируют для работы в условиях отрицательного давления, когда вход или выход из зоны биоизоляции приводит к поступлению воздуха в чистое помещение. В результате, среды биоизоляции, несмотря на то, что они предназначены для удаления частиц и обеспечения качества воздуха, как типичные чистые помещения, часто не способны обеспечить некоторые из очень высоких уровней чистоты, соответствующих, например, чистому помещению класса 1 по ISO 14644. Тем не менее, как и для чистых помещений, регулирующие органы установили стандарты для сред биоизоляции. Центры по контролю и профилактике заболеваний определяют помещения и объекты (например, многокомнатные здания) как имеющие уровень биологической безопасности 1 (BSL-1), уровень биологической безопасности 2 (BSL-2), уровень биологической безопасности 3 (BSL-3), или уровень биологической безопасности 4 (BSL-4). Эти стандарты известны специалисту в данной области техники и могут быть найдены в интернете, например, по адресу www.cdc.gov/biosafety/publications/bmbl5/BMBL.pdf. Настоящее изобретение предлагает и включает чистые помещения, которые отвечают среде биоизоляции, определенной Центрами по контролю и профилактике заболеваний как имеющее уровень биологической безопасности 1 (BSL-1), уровень биологической безопасности 2 (BSL-2), уровень биологической безопасности 3 (BSL-3), или уровень биологической безопасности 4 (BSL-4) и содержащее, по меньшей мере, 0,05 м.д. газообразного РПВ. Кроме того, как предусмотрено в настоящем документе, среды биоизоляции могут содержать газообразный РПВ на уровнях вплоть до 10 м.д., как обсуждалось выше. Как будет понятно, добавление газообразного РПВ в среду биоизоляции обеспечивает дополнительный уровень безопасности путем уменьшения или удаления организмов, или агентов (бактерий, вирусов и токсинов) из содержащего их объекта.

[0070] В одном аспекте в соответствии с настоящим изобретением среда биоизоляции может быть средой BSL-1, содержащей, по меньшей мере, 0,05 м.д. газообразного РПВ. В другом аспекте среда биоизоляции может быть средой BSL-1, содержащей газообразный РПВ в диапазоне между 0,05 и 10 м.д. Дополнительные уровни газообразного РПВ, подходящие для сред BSL-1, предусмотрены в пункте [0045].

[0071] В одном аспекте в соответствии с настоящим изобретением среда биоизоляции может быть средой BSL-1, содержащей, по меньшей мере, 0,05 м.д. газообразного РПВ, подходящего для воздействия на, но не ограничиваясь ими, Orthomyxoviridae, Alcaligenes faecalis, Aspergillus niger, Bacillus cereus, Bacillus megaterium, Bacillus subtilis, Clostridium sporogenes, Enterobacter aerogenes, Enterobacter cloacae, Escherichia coli, Micrococcus roseus, Micrococcus luteus, Mycobacterium smegmatis, Neisseria sicca, Neisseria subflava, Penicillium notatum, Rhizopus stolonifer, Rhodospirillum rubrum, Serratia marcescens, Staphylococcus epidermidis, Streptococcus bovis, или Streptococcus (Lactococcus) lactis.

[0072] В одном из аспектов в соответствии с настоящим изобретением среда биоизоляции может быть средой BSL-2, содержащей, по меньшей мере, 0,05 м.д. газообразного РПВ. В другом аспекте среда биоизоляции может быть средой BSL-2, содержащей газообразный РПВ в диапазоне между 0,05 и 10 м.д. Дополнительные уровни газообразного РПВ, подходящие для сред BSL-2 предусмотрены в пункте [0045].

[0073] В одном из аспектов в соответствии с настоящим изобретением среда биоизоляции может быть средой BSL-2, содержащей, по меньшей мере, 0,05 м.д. газообразного РПВ, подходящего для воздействия на, но не ограничиваясь ими, C. difficile, Chlamydia, вирус гепатита, не оспенный orthopoxvirudae, инфлюэнцу, болезнь Лайма, Salmonella sp., паротит, корь, почесуху, метициллин-резистентный золотистый стафилококк (Staphylococcus aureus) (MRSA), или ванкомицин-резистентный Staphylococcus aureus (VRSA).

[0074] В одном из аспектов в соответствии с настоящим изобретением среда биоизоляции может быть средой BSL-3, содержащей, по меньшей мере, 0,05 м.д. газообразного РПВ. В другом аспекте среда биоизоляции может быть средой BSL-3, содержащей газообразный РПВ в диапазоне между 0,05 и 10 м.д. Дополнительные уровни газообразного РПВ, подходящие для сред BSL-3, предусмотрены в пункте [0045].

[0075] В одном из аспектов в соответствии с настоящим изобретением среда биоизоляции может быть средой BSL-3, содержащей, по меньшей мере, 0,05 м.д. газообразного РПВ, подходящего для воздействия на, но не ограничиваясь ими, Yersinia pestis, Francisella tularensis, Leishmania donovani, Mycobacterium tuberculosis, Chlamydia psittaci, вирус венесуэльского лошадиного энцефалита, вирус восточного лошадиного энцефалита, коронарный вирус атипичной пневмонии, Coxiella burnetii, вирус лихорадки долины Рифт, Rickettsia rickettsii, Brucella sp., вирус бешенства, chikungunya, вирус желтой лихорадки, и вирус лихорадки Западного Нила.

[0076] В одном из аспектов в соответствии с настоящим изобретением среда биоизоляции может быть средой BSL-4, содержащей, по меньшей мере, 0,05 м.д. газообразного РПВ. В другом аспекте среда биоизоляции может быть средой BSL-4, содержащей газообразный РПВ в диапазоне между 0,05 и 10 м.д. Дополнительные уровни газообразного РПВ, подходящие для сред BSL-4, предусмотрены в пункте [0045].

[0077] В одном из аспектов в соответствии с настоящим изобретением среда биоизоляции может быть средой BSL-4, содержащей, по меньшей мере, 0,05 м.д. газообразного РПВ, подходящего для воздействия на, но не ограничиваясь ими, Arenaviridae, Filoviridae, Bunhaviridae, Flaviviridae, или Rhabdoviridae.

[0078] Настоящее изобретение предлагает и включает способ предотвращения загрязнения чистого помещения микроорганизмами, включая обеспечение газообразным разбавленным пероксидом водорода (РПВ) с концентрацией, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.) указанного чистого помещения. Антимикробная активность пероксида водорода известна, и газообразный РПВ обеспечивает значительное улучшение по сравнению с предыдущими применениями. В отличие от предыдущих способов, газообразный РПВ нетоксичен и подходит для использования в период занятия чистого помещения, подлежащего обработке. Газообразный РПВ не оседает и, следовательно, не может загрязнять поверхности чистого помещения или продуктов производства, которые готовят в чистом помещении.

[0079] В аспектах в соответствии с настоящим изобретением способ предотвращения загрязнения чистого помещения микроорганизмами включает обеспечение газообразным РПВ на уровнях, указанных в пункте [0045] выше. В определенных аспектах способ включает обеспечение газообразным РПВ в количестве вплоть до 10 м.д. В определенных аспектах способ включает обеспечение газообразным РПВ, по меньшей мере, в диапазоне между 0,05 и 10 м.д. В одном из аспектов способ включает обеспечение газообразным РПВ, по меньшей мере, при 0,08 м.д. В другом аспекте способ включает обеспечение газообразным РПВ, по меньшей мере, при 1,0 м.д. В еще одном аспекте способ включает обеспечение газообразным РПВ, по меньшей мере, 1,5 м.д. В одном из аспектов способ включает обеспечение газообразным РПВ, по меньшей мере, при 2,0 м.д. В другом аспекте способ включает обеспечение газообразным РПВ, по меньшей мере, при 3,0 м.д. В одном из аспектов способ включает обеспечение газообразным РПВ, по меньшей мере, при 5,0 м.д. В другом аспекте способ включает обеспечение газообразным РПВ, по меньшей мере, при 6,0 м.д. В одном из аспектов концентрация подаваемого газообразного РПВ меньше, чем 10 м.д. В еще одном аспекте концентрация подаваемого газообразного РПВ меньше, чем 9,0 м.д. В другом аспекте концентрация подаваемого газообразного РПВ меньше, чем 8,0 м.д. В еще одном аспекте концентрация подаваемого газообразного РПВ меньше, чем 7,0 м.д. В другом аспекте концентрация подаваемого газообразного РПВ находится в диапазоне между 0,05 м.д. и 10,0 м.д. В еще одном аспекте концентрация подаваемого газообразного РПВ находится в диапазоне между 0,05 м.д. и 5,0 м.д. В одном из аспектов концентрация подаваемого газообразного РПВ находится в диапазоне между 0,08 м.д. и 2,0 м.д. В еще одном аспекте концентрация подаваемого газообразного РПВ находится в диапазоне между 1,0 м.д. и 3,0 м.д. В одном из аспектов концентрация газообразного РПВ, подаваемого в чистое помещение по настоящему изобретению, находится в диапазоне между 1,0 м.д. и 8,0 м.д. или между 5,0 м.д и 10,0 м.д. В других аспектах концентрация газообразного РПВ, подаваемого в чистое помещение, периодически повторяется между более высокими и более низкими концентрациями РПВ. В качестве неограничивающего примера, отметим, что РПВ может подаваться в более высокой концентрации в течение ночных часов и более низкой концентрации в дневные часы.

[0080] В аспектах в соответствии с настоящим изобретением способы предотвращения загрязнения чистого помещения микроорганизмами обеспечивают уменьшение количества или удаление микроорганизмов, выбранных из группы, состоящей из вируса, вироида, вирусоподобного организма, бактерии, простейшего, водоросли, оомицета, грибка и плесени.

[0081] Настоящее изобретение предлагает и включает способ снижения загрязнения чистого помещения микроорганизмами, включающий обеспечение указанного чистого помещения газообразным разбавленным пероксидом водорода (РПВ) в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.). В аспектах в соответствии с настоящим изобретением способ предотвращения загрязнения чистого помещения микроорганизмами включает подачу газообразного РПВ на уровнях, указанных в пунктах [0045] и [0079] выше.

[0082] В аспектах в соответствии с настоящим изобретением способы снижения загрязнения чистого помещения микроорганизмами предусматривают уменьшение количества или удаление микроорганизмов, выбранных из группы, состоящей из вируса, вироида, вирусоподобного организма, бактерии, простейшего, водоросли, оомицета, грибка и плесени.

[0083] Настоящее изобретение предлагает и включает способ устранения загрязнения чистого помещения микроорганизмами, включающий обеспечение указанного чистого помещения газообразным разбавленным пероксидом водорода (РПВ) в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.). В аспектах в соответствии с настоящим изобретением способ устранения загрязнения чистого помещения микроорганизмами включает подачу газообразного РПВ на уровнях, указанных в пунктах [0045] и [0079] выше.

[0084] В различных аспектах микроорганизмы могут быть выбраны из группы, состоящей из грибка, археи, протиста, простейшего, бактерии, бактериальной споры, бактериальной эндоспоры, вируса, вирусного вектора и их комбинаций. В других аспектах микроорганизм может быть выбранным из группы, состоящей из Naegleria fowleri, Coccidioides immitis, Bacillus anthracis, Haemophilus influenzae, Listeria monocytogenes, Neisseria meningitides, Staphylococcus aureus, Streptococcus pneumoniae, Streptococcus agalactiae, Pseudomonas aeruginosa, Yersinia pestis, Clostridium botulinum, Francisella tularensis, variola major, вируса Нипаха, хантавируса, вируса пичинде, вируса конго-крымской гемаррагической лихорадки, вируса Эбола, вируса марбургской лихорадки, вируса Ласса, вируса лихорадки Хунин, вируса иммунодефицита человека (ВИЧ), или коронарного вируса атипичной пневмонии (SARS-CoV).

[0085] Способы настоящего изобретения дополнительно обеспечивают снижение или удаление микроорганизмов, выбранных из группы, состоящей из S. Aureus, Alcaligenes Xylosoxidans, Candida Parapsilosis, Pseudomonos Aeruginosa, Enterobacter, Pseudomonas Putida, Flavobacterium Meningosepticum, Pseudomonas Picketti, Citrobacter, и Corynebacteria. Настоящее изобретение дополнительно включает способы снижения или удаления C. difficile, Chlamydia, вируса гепатита, не оспенного orthopoxvirudae, инфлюэнцы, болезни Лайма, Salmonella sp., вируса паротита, кори, почесухи, метициллин-резистентного Staphylococcus aureus (MRSA), или ванкомицин-резистентного Staphylococcus aureus (VRSA). В дополнительных аспектах настоящее изобретение обеспечивает снижение или удаление Yersinia pestis, Francisella tularensis, Leishmania donovani, Mycobacterium tuberculosis, Chlamydia psittaci, вируса венесуэльского лошадиного энцефалита, вируса восточного лошадиного энцефалита, коронарного вируса атипичной пневмонии, Coxiella burnetii, вируса лихорадки долины Рифт, Rickettsia rickettsii, Brucella sp., вируса бешенства, chikungunya, вируса желтой лихорадки, и вируса лихорадки Западного Нила.

[0086] Настоящее изобретение предлагает и включает способы снижения или удаления вирусов. Неизвестны вирусы какого-либо типа, которые устойчивы к H₂O₂, будь-то газ, жидкость или пар. Важно отметить, что обеспечение окружающей среды, содержащей газообразный РПВ в концентрации, по меньшей мере, 0,05 м.д., эффективно против всех классов вирусов, которые подвергаются воздействию воздуха. Способы настоящего изобретения являются эффективными против всех классов вирусов, включая вирусы Класса I, содержащие вирусы с двуцепочечной ДНК (дцДНК), включая, например, Аденовирусы, Герпесвирусы и Поксвирусы; вирусы Класса II, включающие вирусы с одноцепочечной ДНК (оцДНК), например, Парвовирусы; вирусы Класса III, включающие вирусы с двуцепочечной РНК (дцРНК), например, Реовирусы; вирусы Класса IV, включающие вирусы с одноцепочечной плюс РНК ((+)оцРНК), например, Пикорнавирусы и Тогавирусы; вирусы Класса V, включающие одноцепочечную минус РНК ((-)оцРНК), например, Ортомиксовирусы и Рабдовирусы, в том числе, Arenaviridae; вирусы Класса VI, включающие вирусы с одноцепочечной РНК, способные к обратной транскрипции (оцРНК-ОТ), которые имеют РНК-геном с ДНК-посредником в жизненном цикле (например, Ретровирусы); вирусы Класса VII, включающие вирусы с двуцепочечной ДНК, способные к обратной транскрипции (дцДНК-ОТ) (например, Гепаднавирусы, в том числе вирус гепатита). Ожидается, что газообразный H₂O₂ является эффективным при инактивации и уничтожении всех вирусов. Устойчивые вирусы неизвестны.

[0087] Настоящее изобретение предлагает способы и композиции, эффективные против всех вирусов Класса I, включая, но не ограничиваясь группой, выбранной из семейства вирусов герпеса (в том числе, герпесвирус, вирус ветряной оспы), семейства аденовирусов, семейства Asfarviridae (в том числе, вирус африканской лихорадки свиней), семейства полиомавирусов (включая вирус Simian 40, вирус JC, вирус BK), и семейства Поксивирусов (включая вирус коровьей оспы).

[0088] Настоящее изобретение предлагает способы и композиции, эффективные против всех вирусов Класса III, включая, но не ограничиваясь Picobirnaviridae и Reoviridae (включая Ротавирус).

[0089] Настоящее изобретение предлагает способы и композиции, эффективные против всех вирусов Класса IV, включая, но не ограничиваясь семействами, выбранными из группы, состоящей из семейства Коронавирусы (включая Коронавирус, SARS), семейства Пикорнавирусы (включая Полиовирус, Риновирус (вирус простуды), вирус Гепатита А), семейство Флавивирусы (включая вирус желтой лихорадки, вирус лихорадки западного Нила, вирус Гепатита С, вирус лихорадки Денге); семейство Калицивирусы (включая вирус Норуолк, также известный как норовирус) и семейство Тогавирусы (включая вирус краснухи, вирус реки Росс, вирус Синдбис, вирус Чикунгунья). Настоящее изобретение относится к способам и композициям, эффективным против норовируса.

[0090] Настоящее изобретение предлагает способы и композиции, эффективные против всех вирусов Класса V, который включает девять семейств вирусов, которые содержат некоторые из самых смертоносных известных вирусов. Способы настоящего изобретения эффективны для снижения или устранения вирусов семейств Arenaviridae, Bunyaviridae, Rhabdoviridae, Filoviridae, Paramyxoviridae.

[0091] Настоящее изобретение предлагает способы и композиции, эффективные против всех ретровирусов Класса VI, включая, но не ограничиваясь группой, выбранной из Alpharetrovirus, Betaretrovirus, Gammaretrovirus, Deltaretrovirus; Epsilonretrovirus, и Lentivirus.

[0092] Семейство Bornaviridae (включает вирус болезни Борна); Filoviridae (включает вирус Эбола, Марбургский вирус); Paramyxoviridae (включает вирус кори, вирус паротита, вирус Нипа, вирус Хендра, респираторно-синтициальный вирус (RSV) и вирус болезни Ньюкасла (NDV)); Rhabdoviridae (включает вирус бешенства); Nyamiviridae (включает Nyavirus); Arenaviridae (включает вирус Ласса); Bunyaviridae (включает хантавирус, вирус конго-крымской гемаррагической лихорадки); Ophioviridae (заражает растения); и Orthomyxoviridae (включает вирусы инфлюэнца).

[0093] Настоящее изобретение предлагает способы и композиции, эффективные против бактерий, включая грамоположительные и грамотрицательные бактерии. Способы и композиции эффективны против патогенных бактерий, включая, но не ограничиваясь ими, Acinetobacter, включая Acinetobacter baumannii, Bacillus, включая Bacillus anthracis и Bacillus cereusl Bartonella, включая Bartonella henselae, и Bartonella quintana; Bordetella, включая Bordetella pertussis; Borrelia, включая Borrelia burgdorferi, Borrelia garinii, Borrelia afzelii, Borrelia recurrentis, и Borrelia duttonii; Brucella, включая Brucella abortus, Brucella canis, Brucella melitensis, и Brucella suis; Campylobacter, включая Campylobacter jejuni; Chlamydia и Chlamydophila, включая Chlamydia pneumoniae, Chlamydia trachomatis, и Chlamydophila psittaci, Clostridium, включая Clostridium botulinum, Clostridium difficile, Clostridium perfringens, и Clostridium tetani, Corynebacterium, включая Corynebacterium diphtheriae; Enterococcus, включая Enterococcus faecalis и Enterococcus faecium; Escherichia, включая Escherichia coli; Francisella, включая Francisella tularensis; Haemophilus, включая Haemophilus influenzae; Helicobacter, включая Helicobacter pylori, Legionella, включая Legionella pneumophila; Leptospira, включая Leptospira interrogans, Leptospira santarosai, Leptospira weilii, и Leptospira noguchii; Listeria, включая Listeria monocytogenes; Moraxella, включая M. catarrhalis; Mycobacterium, включая Mycobacterium leprae, Mycobacterium tuberculosis, и Mycobacterium ulcerans; Mycoplasma, включая Mycoplasma pneumoniae; Neisseria, включая Neisseria gonorrhoeae, и Neisseria meningitidis; Pseudomonas, включая Pseudomonas aeruginosa; Rickettsia, включая Rickettsia rickettsii; Salmonella, включая Salmonella typhi, и Salmonella typhimurium; Shigella, включая Shigella sonnei; Staphylococcus, включая Staphylococcus aureus, Staphylococcus epidermidis, и Staphylococcus saprophyticus; Streptococcus, включая Streptococcus agalactiae, Streptococcus pneumoniae, и Streptococcus pyogenes; Treponema, включая Treponema pallidum; Vibrio, включая Vibrio cholerae; Yersinia, включая Yersinia pestis, Yersinia enterocolitica, и Yersinia pseudotuberculosis.

[0094] Настоящее изобретение предлагает способы и композиции, эффективные против бактерий, устойчивых к антибиотикам, включая, но не ограничиваясь ими, метициллин-резистентный Staphylococcus Aureus (MRSA), ванкомицин-резистентный Enterococcus Faecalis (VRE).

[0095] Настоящее изобретение предлагает способы и композиции, эффективные против грибковых и плесневых патогенов, включая, без ограничения, Aspergillus spp., Candida albicans, Sclerotinia или Pneumocystis spp. В другом аспекте, грибки относятся к роду Mucoraceae. В других аспектах настоящее изобретение предлагает способы и композиции, эффективные против грибка, выбранного из группы, состоящей из Histoplasma capsulatum, бластомицетов, Cryptococcus neoformans, Pneumocystis jiroveci, Coccidioides immitis, Blastomyces dermatitidis, Pneumocystis jirovecii, Sporothrix schenckii, Cryptococcus neoformans, Aspergillus fumigatus, и Candida albicans.

[0096] Настоящее изобретение предлагает и включает способ снижения органических соединений в чистом помещении, включающий обеспечение указанного чистого помещения газообразным разбавленным пероксидом водорода (РПВ) в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.). В аспектах в соответствии с настоящим изобретением способ снижения органических соединений включает обеспечение газообразным РПВ на уровнях, указанных в пунктах [0045] и [0079] выше.

[0097] Настоящее изобретение предлагает и включает способ снижения уровней летучих органических веществ в чистом помещении, включающий обеспечение указанного чистого помещения газообразным разбавленным пероксидом водорода (РПВ) в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.). В аспектах в соответствии с настоящим изобретением способ снижения органических соединений включает обеспечение газообразным РПВ на уровнях, указанных в пунктах [0045] и [0079] выше.

[0098] В определенных аспектах способ снижения уровней летучих органических веществ в чистом помещении включает снижения в одном или более из летучих органических веществ, выбранных из группы, состоящей из бис(2-этилгексил) бензол-1,2-дикарбоксилата (ДОФ), триэтилфосфата (ТЭФ), бутилированного гидрокситолуола (БГТ), тексанол-изобутирата (ТИБ), трибутилфосфата (ТБФ), дибутилфосфата (ДБФ).

[0099] Настоящее изобретение предлагает и включает способ обеспечения чистого помещения газообразным разбавленным пероксидом водорода (РПВ) в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.), включающий установку устройства генерации ОГПВ. В аспектах в соответствии с настоящим изобретением устройство генерации ОГПВ является устройством, предусмотренным выше, в пункте [0049]. В аспектах в соответствии с настоящим изобретением устройство генерации ОГПВ включает воздухопроницаемую структуру подложки, имеющую катализатор на своей поверхности и источник света; при этом воздух проходит через указанную воздухопроницаемую структуру подложки, а устройство вырабатывает ОГПВ и направляет его в сторону от указанной воздухопроницаемой структуры подложки. В одном из аспектов источник света устройства генерации ОГПВ является источником ультрафиолетового света. В определенных аспектах ультрафиолетовый источник света устройства генерации ОГПВ не включает света с длинами волн ниже 187 нм. В определенных аспектах устройство генерации ОГПВ включает вентилятор, чтобы подавать воздушный поток через воздухопроницаемую структуру подложки. В других аспектах система ОВКВ может обеспечивать воздушный поток.

[00100] Подходящие устройства генерации ОГПВ настоящего изобретения генерируют газообразный РПВ, который, по существу не содержит озона, частиц плазмы или органических веществ. Подходящие устройства генерации ОГПВ не производят газообразный РПВ из испаренного жидкого пероксида водорода. Соответственно, газообразный РПВ способа изобретения является не гидратированным. В одном из аспектов устройство генерации ОГПВ входит в состав системы отопления, вентиляции и кондиционирования воздуха (ОВКВ). В других аспектах устройство генерации ОГПВ может быть автономным устройством. В аспектах, соответствующих настоящему изобретению, устройство генерации ОГПВ способа генерирует газообразный РПВ из влажного окружающего воздуха.

[00101] Настоящее изобретение предлагает и включает способ снижения загрязнения, вызванного адсорбцией органических веществ во время производства кремниевой пластины, включающий обеспечение газообразным разбавленным пероксидом водорода (РПВ) в концентрации, по меньшей мере, 0,05 частей на миллион (м.д.) чистого помещения для производства кремниевых пластин. В аспектах в соответствии с настоящим изобретением, способ уменьшения загрязнения, вызванного адсорбцией органических веществ во время производства кремниевой пластины, включает обеспечение газообразным РПВ на уровнях, указанных в пунктах [0045] и [0079] выше.

[00102] Предлагаемый здесь способ снижения загрязнения, вызванного адсорбцией органических веществ во время производства кремниевой пластины, включает уменьшение органических веществ, выбранных из группы, состоящей из стеариновой кислоты, бутилированного гидрокситолуола, силоксана, 4-додецилбензолсульфоновой кислоты, н-пентадекана, бис(2-этилгексил) бензол-1,2-дикарбоксилата (ДОФ), 3,4-дибутилфталевой кислоты (ДБФ), диэтилфталата (ДЭФ), трис(2-хлорэтил) фосфата (TХЭФ), трифенилфосфата ( ТФФ), триэтилфосфата (ТЭФ), гександиоата (ДОА), 2,2-дибутилгександионовой кислоты (ДБК) и 2,6-ди-трет-бутил-4-метилфенола (БГТ). В одном из аспектов загрязнение, вызванное адсорбцией органических веществ, уменьшается, по меньшей мере, на 10%.

[00103] Хотя изобретение описано со ссылкой на конкретные варианты воплощения изобретения, специалистам в данной области техники понятно, что могут быть сделаны различные изменения, а элементы заменены их эквивалентами, без отхода от объема изобретения. Кроме того, может быть сделано множество модификаций для адаптации конкретной ситуации или материала к идеям изобретения без отхода от объема изобретения.

[00104] Следовательно, предполагается, что изобретение не ограничивается конкретными вариантами воплощения изобретения, раскрытыми в качестве наилучшего способа, предназначенного для осуществления настоящего изобретения, но будет включать все варианты воплощения изобретения, входящие в объем и идеи прилагаемой формулы изобретения.

ПРИМЕРЫ

ПРИМЕР 1: ЛАБОРАТОРНОЕ ИСПЫТАНИЕ РПВ ДЛЯ КОНТРОЛЯ СПОР Geobacillus subtillus

[00105] Воздействие газообразного РПВ на споры Geobacillus subtillus осуществляют для определения эффективности уничтожения спор, используя непрямое рассеивание газообразного РПВ в пространстве. В этих экспериментах показатели смертности в спорах G. subtillus анализируют путем использования фильтр-полоски, пропитанной спорами G. subtillus, которые подвергаются воздействию газообразного РПВ. Тест-полоски обеспечивают визуальное считывание после воздействия РПВ в течение определенного периода времени. Тест-полоски, пропитанные G. subtillus, вначале подвергают действию РПВ, а затем окунают в раствор триптического соевого бульона и помещают на баню сухого нагрева для 24-часового инкубационного периода. После инкубационного периода каждая тест-полоска анализируется на наличие каких-либо жизнеспособных бактерий. Изменение цвета или наличие мутности до истечения 24-часового инкубационного периода указывает на то, что жизнеспособные споры остаются после воздействия РПВ. И наоборот, отсутствие изменения цвета или мутности до истечения 24-часового инкубационного периода указывает на уничтожение спор G. subtillus. Результаты представлены в Таблице 2 ниже.

Таблица 2: Действие РПВ на споры Geobacillus subtillus в лабораторных испытаниях

Полоска спор	Воздействие РПВ (часы)	Биологическое изменение/Время изменения (часы)	Изменение цвета в пределах 24-часовой инкубации?
Log3	40	Сильная мутность	+ Светло оранжевый
Log3	42	x	+
Log3	45,5	x	+
Log3	47,75	Меньше мутности	+ Темно оранжевый
Log3	64,5	x	+
Log3	70	x	+
Log3	60,2	x	+
Log3	64,2	x	+
Log3	67,5	x	+
Log3	85,1	x	+
Log3	89	x	+
Log3	100	16	+
Log3	60,2	Сильная мутность	+
Log3	64,2	x	+
Log3	67,5	Почти нет мутности	+
Log3	85,1	x	+
Log3	89	x	+
Log3	100	22-24	+
Log4	121,4	Почти нет мутности 8-15	-
Log4	144	Почти нет мутности17	-
Log4	168		-
Log4	192	15	-
Log4	223,5	14	-
Log4	288	Нет мутности 17	Темнее оранжевого
Log4	121,4	Почти нет мутности 15	-
Log4	144	[00106] Почти нет мутности 17 ч	-
Log4	168		-
Log4	192	15	-
Log4	223,5	Нет мутности 22	Светло оранжевый
Log2	288	Нет мутности 17	Очень светло оранжевый
Log2	72	Мутность 15	Светло оранжевый
Log 2	144	22	Очень темно оранжевый почти светло пурпурный
Log 3	144	Нет мутности 16,5	Очень светло оранжевый
Log 4	144	Нет мутности 16,5	Очень светло оранжевый
Log 2	166,5		Возможно изменился до 24 часов, но все еще темный
Log 3	166,5		-
Log 4	166,5		-
Log 2	216	Нет мутности 22	Очень темно оранжевый
Log 3	216	Нет мутности 22	Очень темно оранжевый
Log 4	216	Нет мутности 22	Очень темно оранжевый

ПРИМЕР 2: ПРИМЕНЕНИЕ МОДУЛЬНЫХ ЧИСТЫХ ПОМЕЩЕНИЙ К УСТАНОВКАМ РАЗЛИВА В ТАРУ

[00107] Установки для разлива безалкогольных напитков (например, в жестяную тару) требуют высокой степени чистоты, чтобы предотвратить загрязнение продуктов во время производства. Для достижения этой цели оборудование для разлива оснащено системами фильтрации воздуха, которые поддерживают стерильную среду. На практике линия разлива, оборудованная фильтром, может бутилировать примерно 3×10⁶ жестяных емкостей до того, как фильтр потребует замены. Фильтры очень дорогие и вносят значительный вклад в общие издержки производства готового продукта. Фильтры меняют через регулярные интервалы времени, когда качество фильтрованного воздуха падает ниже установленных требований.

[00108] Чтобы увеличить срок службы фильтров, специально построенное модульное чистое помещение размером 7×4х4 фута (2,13×1,22×1,22 м) расположено вокруг разливочной машины на производственном объекте и оборудовано устройством генерации ОГПВ. Специально построенное модульное чистое помещение вмещает укупорочную машину, оставляя зазор в 3 дюйма (0,075 м) у основания. Таким образом, модульное чистое помещение, вмещающее укупорочную машину, работает при более высоком давлении воздуха, чем окружающая зона, как предусмотрено выше в пункте [0065]. Модульное чистое помещение оборудовано системой вентиляции, отдельно от системы ОВКВ, обеспечивая фильтрованный, влажный (~60%) воздух и, дополнительно оборудовано устройством генерации ОГПВ, описанном в Международной патентной публикации № WO 2015/171633. Используя устройство ОГПВ, модульное чистое помещение, вмещающее оборудование и фильтр для бутилирования, постоянно поддерживается на уровне 5,0 м.д. газообразного РПВ. При работе в присутствии ОГПВ фильтр продолжает поддерживать требуемые уровни фильтрации в течение, по меньшей мере, шести недель, обеспечивая производственную линию, эквивалентную 12×10⁶ банок продукта. Применение технологии РПВ приводит, по меньшей мере, к четырехкратному увеличению продолжительности срока службы фильтра, что ведет к значительной экономии затрат.

Claims

1. Чистое помещение, содержащее систему отопления, вентиляции и кондиционирования воздуха (ОВКВ), которая обеспечивает газообразный разбавленный пероксид водорода (РПВ) в концентрации по меньшей мере 0,05 частей на миллион (м.д.) и до 1,0 м.д., где указанный РПВ является негидратированным и не содержит частиц плазмы или органических веществ, и содержит менее 0,015 частей на миллион (м.д.) озона и указанное чистое помещение соответствует по меньшей мере требованиям к помещениям класса 8 по ISO 14644.

2. Чистое помещение по п. 1, отличающееся тем, что указанное чистое помещение является чистым помещением класса 1 по ISO 14644, чистым помещением класса 2 по ISO 14644, чистым помещением класса 3 по ISO 14644, чистым помещением класса 4 по ISO 14644, чистым помещением класса 5 по ISO 14644, чистым помещением класса 6 по ISO 14644 или чистым помещением класса 7 по ISO 14644.

3. Чистое помещение по п. 1, отличающееся тем, что указанное чистое помещение является чистым помещением класса 1 по BS 5295, чистым помещением класса 2 по BS 5295, чистым помещением класса 3 по BS 5295 или чистым помещением класса 4 по BS 5295.

4. Чистое помещение по п. 1, отличающееся тем, что указанное чистое помещение является чистым помещением класса А по EU GMP, чистым помещением класса В по EU GMP или чистым помещением класса С по EU GMP.

5. Чистое помещение по любому из пп. 1-4, отличающееся тем, что указанное чистое помещение является модульным чистым помещением.

6. Чистое помещение по п. 1, отличающееся тем, что указанный газообразный РПВ обеспечивается системой отопления, вентиляции и кондиционирования воздуха (ОВКВ).

7. Чистое помещение по п. 6, отличающееся тем, что указанная система ОВКВ включает систему рециркулирующего воздуха.

8. Чистое помещение по п. 7, отличающееся тем, что указанная система ОВКВ включает одно или более устройств генерации очищенного газообразного пероксида водорода (ОГПВ).

9. Чистое помещение по п. 6, отличающееся тем, что дополнительно включает систему высокоэффективной фильтрации воздуха от частиц (НЕРА) в соответствии с Федеральным стандартом 209.

10. Чистое помещение по п. 9, отличающееся тем, что указанная фильтрация НЕРА включает по меньшей мере один фильтр с эффективностью по меньшей мере 99,97% на 0,3 микронных частицах в соответствии со стандартом Mil-F-51068 или рекомендуемой практикой IEST-RP-CC-001.

11. Чистое помещение по п. 6, отличающееся тем, что указанная система ОВКВ дополнительно включает систему подпиточного воздуха, чтобы восполнять отработанный воздух и потери воздуха из-за утечки.

12. Чистое помещение по п. 11, отличающееся тем, что указанная система подпиточного воздуха обеспечивает газообразный РПВ, содержащий 0,015 частей на миллион (м.д.) озона или меньше, и указанный РПВ является негидратированным и не содержит частиц плазмы и органических веществ.

13. Чистое помещение по п. 11, отличающееся тем, что указанная система подпиточного воздуха включает одно или более устройств генерации ОГПВ.

14. Чистое помещение по п. 11, отличающееся тем, что указанная система подпиточного воздуха включает один или более фильтров, выбранных из фильтра 30% ASHRAE, фильтра 60% ASHRAE или фильтра 95% ASHRAE.

15. Чистое помещение по п. 1, отличающееся тем, что указанное чистое помещение является модульной установкой.

16. Чистое помещение по п. 1, отличающееся тем, что указанное чистое помещение является чистым помещением с турбулентным потоком.

17. Чистое помещение по п. 1, отличающееся тем, что указанное чистое помещение является чистым помещением с ламинарным потоком.

18. Чистое помещение по п. 1, отличающееся тем, что указанное чистое помещение, содержащее газообразный РПВ, является безопасным для продолжительного пребывания в нем человека в соответствии со стандартами Управления по охране труда и здоровья (OSHA), Национального института охраны труда и здоровья (NIOSH) или Американской ассоциации промышленных гигиенистов (ACGIH).

19. Чистое помещение по п. 1, отличающееся тем, что указанное чистое помещение является чистым помещением для фармацевтики.

20. Чистое помещение по п. 1, отличающееся тем, что указанное чистое помещение является чистым помещением для биофармацевтики.

21. Чистое помещение по п. 1, отличающееся тем, что указанное чистое помещение является чистым помещением для производства полупроводников.

22. Чистое помещение по п. 1, отличающееся тем, что указанное чистое помещение имеет пониженные уровни молекулярных загрязнителей в воздухе.

23. Чистое помещение по п. 1, отличающееся тем, что внутренние поверхности чистого помещения выбраны из группы, состоящей из фенольного пластика, стеклопластика, стали, стали с покрытием, алюминия, бетонного блока с эпоксидным покрытием, гипсокартона и винила, и гипсокартона с толстым покрытием.

24. Чистое помещение по п. 15, отличающееся тем, что кратность воздухообмена находится в диапазоне между 1 и 360 обменов воздуха в час (КВО).

25. Чистое помещение по п. 17, отличающееся тем, что средняя скорость воздуха находится в диапазоне между 0,005 м/с и 0,508 м/с.

26. Чистое помещение по п. 1, отличающееся тем, что указанное чистое помещение поддерживается при более высоком давлении, чем смежные зоны.

27. Чистое помещение по п. 26, отличающееся тем, что указанное чистое помещение имеет давление по меньшей мере на 5 Па выше, чем указанные смежные зоны, не относящиеся к чистым помещениям.

28. Чистое помещение по п. 27, отличающееся тем, что указанное чистое помещение имеет давление на 5-50 Па выше, чем указанные смежные зоны, не относящиеся к чистым помещениям.

29. Чистое помещение по п. 1, отличающееся тем, что дополнительно включает воздушный шлюз, сквозной воздушный шлюз или тамбур.

30. Чистое помещение по п. 29, отличающееся тем, что указанный воздушный шлюз или тамбур дополнительно включает блокировку.

31. Чистое помещение по п. 29, отличающееся тем, что указанный воздушный шлюз или тамбур содержит газообразный РПВ в концентрации по меньшей мере 0,05 частей на миллион (м.д.), и указанный РПВ является негидратированным и не содержит частиц плазмы и органических веществ.

32. Чистое помещение по п. 1, отличающееся тем, что указанное чистое помещение поддерживается при температуре в диапазоне 20-22°С или при 18,9°С.

33. Чистое помещение по п. 1, отличающееся тем, что относительная влажность указанного чистого помещения находится в диапазоне 1-99%.

34. Чистое помещение по п. 33, отличающееся тем, что относительная влажность находится в диапазоне 30-60% относительной влажности.

35. Чистое помещение по п. 1, отличающееся тем, что указанное чистое помещение содержит среду биоизоляции, определенную Центрами по контролю и профилактике заболеваний как имеющую уровень биологической безопасности 1 (BSL-1), уровень биологической безопасности 2 (BSL-2), уровень биологической безопасности 3 (BSL-3) или уровень биологической безопасности 4 (BSL-4).

36. Чистое помещение по п. 35, отличающееся тем, что указанная среда биоизоляции имеет отрицательное давление относительно смежной зоны помещения, не относящегося к чистому.

37. Чистое помещение по п. 35, отличающееся тем, что указанная среда BSL-1 подходит для воздействия на Orthomyxoviridae, Alcaligenes faecalis, Aspergillus niger, Bacillus cereus, Bacillus megaterium, Bacillus subtilis, Clostridium sporogenes, Enterobacter aerogenes, Enterobacter cloacae, Escherichia coli, Micrococcus roseus, Micrococcus luteus, Mycobacterium smegmatis, Neisseria sicca, Neisseria subflava, Penicillium notatum, Rhizopus stolonifer, Rhodospirilium rubrum, Serratia marcescens, Staphylococcus epidermidis, Streptococcus bovis или Streptococcus (Lactococcus) lactis.

38. Чистое помещение по п. 35, отличающееся тем, что указанная среда BSL-2 подходит для воздействия на С. difficile, Chlamydia, вирус гепатита, неоспенный orthopoxvirudae, инфлюэнцу, болезнь Лайма, Salmonella sp., паротит, корь, почесуху, метициллин-резистентный Staphylococcus aureus (MRSA) или ванкомицин-резистентный Staphylococcus aureus (VRSA).

39. Чистое помещение по п. 35, отличающееся тем, что указанная среда BSL-3 подходит для воздействия на Yersinia pestis, Francisella tularensis, Leishmania donovani, Mycobacterium tuberculosis, Chlamydia psittaci, вирус венесуэльского лошадиного энцефалита, вирус восточного лошадиного энцефалита, коронарный вирус атипичной пневмонии, Coxiella burnetii, вирус лихорадки долины Рифт, Rickettsia rickettsii, Brucella sp., вирус бешенства, chikungunya, вирус желтой лихорадки и вирус лихорадки Западного Нила.

40. Чистое помещение по п. 35, отличающееся тем, что указанная среда BSL-4 подходит для воздействия на Arenaviridae, Filoviridae, Bunhaviridae, Flaviviridae или Rhabdoviridae.

41. Способ предотвращения загрязнения чистого помещения микроорганизмами, включающий обеспечение указанного чистого помещения газообразным РПВ в концентрации по меньшей мере 0,05 частей на миллион (м.д.), причем указанный газообразный РПВ содержит менее 0,015 м.д. озона, и указанный газообразный РПВ является негидратированным и не содержит частиц плазмы и органических веществ.

42. Способ по п. 41, отличающийся тем, что указанный микроорганизм выбран из группы, состоящей из вируса, вироида, вирусоподобного организма, бактерии, простейшего, водоросли, оомицета, грибка и плесени.

43. Способ снижения загрязнения чистого помещения микроорганизмами, включающий обеспечение указанного чистого помещения газообразным РПВ и поддержание его в концентрации по меньшей мере 0,05 частей на миллион (м.д.), где указанный газообразный РПВ имеет концентрацию по меньшей мере 0,05 м.д. и содержит менее 0,015 м.д. озона, и указанный газообразный РПВ является негидратированным и не содержит частиц плазмы и органических веществ, и указанное чистое помещение соответствует по меньшей мере требованиям к помещениям класса по ISO 14644.

44. Способ устранения загрязнения чистого помещения микроорганизмами, включающий обеспечение указанного чистого помещения газообразным РПВ и поддержание его в концентрации по меньшей мере 0,05 частей на миллион, где указанный газообразный РПВ имеет концентрацию по меньшей мере 0,05 м.д. и содержит менее 0,015 м.д. озона, и указанный газообразный РПВ является негидратированным и не содержит частиц плазмы и органических веществ, и указанное чистое помещение соответствует по меньшей мере требованиям к помещениям класса по ISO 14644.

45. Способ уменьшения органических соединений в чистом помещении, включающий обеспечение чистого помещения газообразным РПВ и поддержание его в концентрации по меньшей мере 0,05 частей на миллион (м.д.), где указанный газообразный РПВ имеет концентрацию по меньшей мере 0,05 м.д. и содержит менее 0,015 м.д. озона, и указанный газообразный РПВ является негидратированным и не содержит частиц плазмы и органических веществ, и указанное чистое помещение соответствует по меньшей мере требованиям к помещениям класса по ISO 14644.

46. Способ снижения уровней летучих органических соединений в чистом помещении, включающий обеспечение чистого помещения газообразным РПВ и поддержание его в концентрации по меньшей мере 0,05 частей на миллион (м.д.), где указанный газообразный РПВ имеет концентрацию по меньшей мере 0,05 м.д. и содержит менее 0,015 м.д. озона, и указанный газообразный РПВ является негидратированным и не содержит частиц плазмы и органических веществ.

47. Способ по п. 46, отличающийся тем, что указанные органические соединения выбирают из группы, состоящей из бис(2-этилгексил) бензол-1,2-дикарбоксилата (ДОФ), триэтилфосфата (ТЭФ), бутилированного гидрокситолуола (БГТ), тексанол-изобутирата (ТИБ), трибутилфосфата (ТБФ), дибутилфосфата (ДБФ).

48. Способ обеспечения указанного чистого помещения газообразным РПВ в концентрации по меньшей мере 0,05 частей на миллион (м.д.), включающий установку системы отопления, вентиляции и кондиционирования воздуха (ОВКВ), которая включает устройство генерации ОГПВ, включающее воздухопроницаемую структуру подложки, имеющую катализатор на своей поверхности и источник света; при этом воздух проходит через воздухопроницаемую структуру подложки, а устройство вырабатывает ОГПВ и направляет его в сторону от указанной воздухопроницаемой структуры подложки, и в указанном чистом помещении создает концентрацию РПВ по меньшей мере 0,05 м.д. и указанный газообразный РПВ содержит менее 0,015 м.д. озона, и указанный газообразный РПВ является негидратированным и не содержит частиц плазмы и органических веществ.

49. Способ по п. 48, отличающийся тем, что указанная система отопления, вентиляции и кондиционирования воздуха (ОВКВ) обеспечивает газообразный РПВ, получаемый из влажного окружающего воздуха.

50. Способ по п. 49, отличающийся тем, что указанный газообразный РПВ не готовят из испаренного жидкого пероксида водорода.

51. Способ по п. 48, отличающийся тем, что указанным источником света является ультрафиолетовый свет.

52. Способ по п. 48, отличающийся тем, что указанным источником света является ультрафиолетовый свет и он не включает длины волн ниже 187 нм.

53. Способ по п. 48, отличающийся тем, что указанный катализатор имеет толщину в диапазоне между примерно 5 нм и примерно 750 нм.

54. Способ снижения загрязнения, вызванного адсорбцией органических веществ во время производства кремниевой пластины, включающий обеспечение газообразным РПВ и поддержание его в концентрации по меньшей мере 0,05 частей на миллион (м.д.) чистого помещения с установкой для производства кремниевых пластин, где указанный газообразный РПВ является негидратированным и не содержит частиц плазмы и органических веществ, и указанное чистое помещение содержит РПВ, имеющее концентрацию озона менее 0,015 м.д., и оно соответствует по меньшей мере требованиям к помещениям класса по ISO 14644.

55. Способ по п. 54, отличающийся тем, что указанные органические вещества выбраны из группы, состоящей из стеариновой кислоты, бутилированного гидрокситолуола, силоксана, 4-додецилбензолсульфоновой кислоты, n-пентадекана, бис(2-этилгексил) бензол-1,2-дикарбоксилата (ДОФ), 3,4-дибутилфталевой кислоты (ДБФ), диэтилфталата (ДЭФ), трис(2-хлорэтил) фосфата (ТХЭФ), трифенилфосфата (ТФФ), триэтилфосфата (ТЭФ), гександиоата (ДОА), 2,2-дибутилгександионовой кислоты (ДБК) и 2,6-ди-трет-бутил-4-метилфенола (БГТ).

56. Способ по п. 54, отличающийся тем, что указанное загрязнение, вызванное адсорбцией органических веществ, снижается по меньшей мере на 10%.