RU2626024C1 - Precision movements device - Google Patents
Precision movements device Download PDFInfo
- Publication number
- RU2626024C1 RU2626024C1 RU2016109597A RU2016109597A RU2626024C1 RU 2626024 C1 RU2626024 C1 RU 2626024C1 RU 2016109597 A RU2016109597 A RU 2016109597A RU 2016109597 A RU2016109597 A RU 2016109597A RU 2626024 C1 RU2626024 C1 RU 2626024C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- elements
- piezoelectric material
- electrodes
- base
- control voltage
- Prior art date
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000013598 vector Substances 0.000 claims abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 17
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 230000001502 supplementing effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области точного приборостроения и может быть использовано в качестве эталона для определения перемещений и линейных размеров объектов в нанометровом диапазоне и для калибровки конфокальных микроскопов и оптических интерферометров.The invention relates to the field of precision instrumentation and can be used as a reference for determining the displacements and linear dimensions of objects in the nanometer range and for calibrating confocal microscopes and optical interferometers.
Известно устройство для прецизионных перемещений, позволяющее обеспечивать линейное смещение в нанометровом диапазоне (US 4787148 /1/). Известное устройство по своей сущности является усовершенствованием известного микрометра, снабженного двухступенчатым механическим редуктором с соответствующим передаточным числом.A device for precision movements is known, which allows for linear displacement in the nanometer range (US 4787148/1 /). The known device in essence is an improvement of the known micrometer equipped with a two-stage mechanical gearbox with an appropriate gear ratio.
Недостатком известного устройства является относительно невысокая точность задаваемого смещения и невысокая воспроизводимость результатов, что присуще любому механизму, имеющему подвижные узлы и детали.A disadvantage of the known device is the relatively low accuracy of the specified bias and low reproducibility of the results, which is inherent in any mechanism that has moving parts and components.
Известно эталонное устройство, которое используется для тестирования профилометров и сканирующих зондовых микроскопов. Устройство представляет собой монокристаллическую пластину, в которой методами микроэлектронных технологий выполнены ступенчатые углубления с одинаковой фиксированной высотой каждой из ступеней (US 6028008 /2/).A reference device is known which is used for testing profilometers and scanning probe microscopes. The device is a single-crystal plate in which stepped recesses with the same fixed height of each of the steps are made by the methods of microelectronic technologies (US 6028008/2 /).
Передача линейного размера с помощью такого устройства может производиться только при проведении многократных измерений в различных областях поверхности и с последующей математической обработкой результатов измерений.Linear size transmission using such a device can only be carried out when conducting multiple measurements in various areas of the surface and followed by mathematical processing of the measurement results.
Этому устройству присущи определенные недостатки. С помощью него можно измерять линейные смещения только в одном направлении - в глубину. Кроме того, поскольку для изготовления используется метод травления, то точность изготовления высоты ступени может составить несколько атомных слоев, а учитывая, что параметр кристаллической решетки для кремния равен 5,43
Известно фотоэлектрическое устройство для определения смещения (GB 1063060 /3/). Устройство содержит источник коллимированного светового пучка, фотоприемник и расположенные между источником и фотоприемником две дифракционные решетки с различными периодами и коэффициентами заполнения. При смещении одной решетки относительно другой происходит периодическое перекрытие (или открытие) поперечного сечения светового пучка, что фиксируется фотоприемником.Known photovoltaic device for determining the displacement (GB 1063060/3 /). The device comprises a collimated light beam source, a photodetector, and two diffraction gratings located between the source and the photodetector with different periods and fill factors. When one lattice is shifted relative to another, periodic cross-section (or opening) of the cross section of the light beam occurs, which is detected by the photodetector.
Недостатком известного устройства является то, что измеряется смещение одного объекта относительно другого и каждый из них должен быть снабжен дифракционной решеткой, изготовление которой всегда осуществляется с некоторой погрешностью.A disadvantage of the known device is that the displacement of one object relative to another is measured and each of them must be equipped with a diffraction grating, the manufacture of which is always carried out with some error.
Известно устройство для прецизионного измерения расстояний, которое включает два секционированных электрода, размещенных оппозитно один другому с возможностью перемещения в направлении изменения площади их взаимного перекрытия при сохранении постоянства зазора между взаимообращенными поверхностями секций упомянутых электродов. Секции в первом и втором секционированных электродах выполнены одинаковой длины, при этом секции первого из электродов электрически связаны между собой и соединены с первым выходом генератора переменного напряжения. Второй секционированный электрод выполнен с электрически изолированными одна от другой секциями, каждая из которых соединена с соответствующим ей входом системы определения момента перехода разности токов через ноль в цепях двух смежных секций этого секционированного электрода. Еще один вход упомянутой системы соединен со вторым выходом генератора переменного напряжения, а длина любой из секций первого секционированного электрода выполнена отличной от длины любой из секций второго секционированного электрода на величину, равную заданной разрешающей способности устройства. Технический результат - повышение разрешающей способности устройства до нанометрового диапазона при технологически допустимых ограничениях на выполнение секций электродов по длине (RU 2221217 /4/).A device for precision measurement of distances is known, which includes two sectioned electrodes placed opposite each other with the possibility of moving in the direction of changing the area of their mutual overlap while maintaining a constant gap between the reciprocal surfaces of the sections of the said electrodes. The sections in the first and second sectioned electrodes are made of the same length, while the sections of the first of the electrodes are electrically connected to each other and connected to the first output of the alternating voltage generator. The second sectioned electrode is made with sections electrically isolated from one another, each of which is connected to the corresponding input of the system for determining the moment of difference in currents passing through zero in the circuits of two adjacent sections of this sectioned electrode. Another input of the said system is connected to the second output of the alternating voltage generator, and the length of any of the sections of the first sectioned electrode is different from the length of any of the sections of the second sectioned electrode by an amount equal to the specified resolution of the device. The technical result is an increase in the resolution of the device to the nanometer range with technologically permissible restrictions on the execution of the sections of the electrodes along the length (RU 2221217/4 /).
Недостатком известного устройства является сложность конструкции и технологии изготовления, поскольку требуется высокая точность (до одного нанометра) изготовления электродов. Кроме того, из-за необходимости определения момента перехода разности токов через ноль в цепях двух смежных секций секционированного электрода возрастают требования к регистрирующей аппаратуре, которая будет вносить недопустимые погрешности в измерениях.A disadvantage of the known device is the complexity of the design and manufacturing technology, because it requires high accuracy (up to one nanometer) of the manufacture of electrodes. In addition, due to the need to determine the moment of the difference between the currents going through zero in the circuits of two adjacent sections of the sectioned electrode, the requirements for recording equipment increase, which will introduce unacceptable errors in the measurements.
Наиболее близким к заявляемому является устройство для прецизионных перемещений, которое может быть использовано в качестве эталона для определения перемещений и линейных размеров объектов в нанометровом диапазоне и включает пластину из пьезоэлектрического материала с нанесенными на две ее противоположные стороны электродами, подключенными к источнику напряжения (RU 2284464 [5]). Устройство позволяет управляемо перемещать отсчетную поверхность с пространственной разрешающей способностью в доли нанометров.Closest to the claimed is a device for precision displacements, which can be used as a reference for determining the displacements and linear dimensions of objects in the nanometer range and includes a plate of piezoelectric material with electrodes deposited on its two opposite sides connected to a voltage source (RU 2284464 [ 5]). The device allows you to controllably move the reference surface with a spatial resolution of fractions of nanometers.
Однако для существующих промышленно выпускаемых конфокальных и интерференционных микроскопов данные устройства неприменимы поскольку аппаратно-программное обеспечение современных промышленно выпускаемых конфокальных и интерферометрических микроскопов не позволяет измерить величину перемещения отсчетной поверхности монокристалла, осуществляемого в различные моменты времени. В результате данной особенности программного обеспечения, если на поверхности ничего не происходит (например, она целиком без изменений только перемещается перпендикулярно основанию), то программное обеспечение покажет, что форма поверхности какой была, такой и осталась (а перемещение в измерительном приборе не отображается). Поэтому измерение величины перемещения отсчетной поверхности одиночного кристалла не производится.However, for existing industrially produced confocal and interference microscopes, these devices are not applicable since the hardware and software of modern industrially produced confocal and interferometric microscopes does not allow measuring the magnitude of the movement of the reading surface of the single crystal carried out at different points in time. As a result of this feature of the software, if nothing happens on the surface (for example, it moves only perpendicular to the base without changes), then the software will show that the shape of the surface was the same (and the movement in the measuring device is not displayed). Therefore, the measurement of the displacement of the reference surface of a single crystal is not performed.
Заявляемое устройство направлено на обеспечение калибровки современных используемых в промышленности конфокальных микроскопов и оптических интерферометров.The inventive device is aimed at providing calibration of modern confocal microscopes and optical interferometers used in industry.
Указанный результат достигается тем, что устройство для прецизионных перемещений, содержит элемент из пьезоэлектрического материала с обратным пьезоэффектом с нанесенными на две ее противоположные стороны электродами, подключенными к источнику напряжения. При этом оно дополнено вторым элементом из пьезоэлектрического материала с нанесенными на две ее противоположные стороны электродами, подключенными к источнику, при этом элементы установлены на общем основании с общим для обоих элементов электродом и выполнены так, что при одинаковой полярности управляющего напряжения векторы направления их деформации коллинеарны и противоположно направлены.This result is achieved in that the device for precision movements contains an element of a piezoelectric material with a reverse piezoelectric effect with electrodes deposited on its two opposite sides connected to a voltage source. Moreover, it is supplemented by a second element of piezoelectric material with electrodes deposited on two opposite sides connected to the source, while the elements are mounted on a common base with an electrode common to both elements and are designed so that, for the same polarity of the control voltage, the direction vectors of their deformation are collinear and oppositely directed.
При этом элементы могут быть выполнены как монокристаллическими, так и из поляризованной пьезокерамики.In this case, the elements can be made as single-crystal, or from polarized piezoceramics.
Отличительными признаками предлагаемого устройства являются:Distinctive features of the proposed device are:
- дополнение устройства вторым элементом из пьезоэлектрического материала с нанесенными на две ее противоположные стороны электродами, подключенными к источнику;- supplementing the device with a second element of a piezoelectric material with electrodes deposited on its two opposite sides connected to a source;
- элементы установлены на общем основании с общим для обоих элементов электродом;- the elements are installed on a common basis with a common electrode for both elements;
- элементы выполнены так, что при одинаковой полярности управляющего напряжения векторы направления их деформации коллинеарны и противоположно направлены.- the elements are made so that with the same polarity of the control voltage, the vectors of the direction of their deformation are collinear and oppositely directed.
Если поставить два элемента из пьезоэлектрического материала рядом, чтобы они были видны в один объектив, то измерение разницы перемещений их отсчетных поверхностей становится возможным, если их поверхности будут перемещаться относительно друг друга. Разница перемещений отсчетных поверхностей составляет единицы и десятки нанометров, поэтому для повышения точности перемещения расстояния между отсчетными поверхностями должны быть соизмеримы с единицами и десятками микрон. При увеличении данного расстояния точность измерения перемещения уменьшается. В принципе можно установить рядом два элемента из пьезоэлектрического материала и подавать управляющее электрическое напряжение противоположного направления для обеспечения перемещения видимых в объектив поверхностей относительно друг друга. Однако максимально допустимое напряжение ограничивается величиной электрического пробоя между элементами. Ограничение максимально подаваемого напряжения приводит к уменьшению величины относительного перемещения отсчетных поверхностей. Например, при расстоянии между отсчетными поверхностями в 0,1 мм максимальное напряжение ограниченное пробоем в воздухе составляет 0,3 кВ. Следовательно, для надежной работы разрешено будет подавать напряжение не более 0,1 кВ. Данная величина в 20 раз меньше, чем максимальная величина напряжения, подаваемого на одиночный элемент. В результате ограничения максимально допустимого напряжения диапазон перемещения элемента из монокристалла ниобата лития составит всего несколько нанометров, что в десятки раз меньше требуемой величины в 100 нанометров, являющейся верхней границей нанометрового диапазона.If you put two elements of piezoelectric material side by side so that they are visible in one lens, then the measurement of the difference in the movements of their reference surfaces becomes possible if their surfaces will move relative to each other. The difference in the movement of the reference surfaces is units and tens of nanometers, therefore, to increase the accuracy of the movement of the distance between the reference surfaces, they must be commensurate with units and tens of microns. As this distance increases, the accuracy of the displacement measurement decreases. In principle, two elements of piezoelectric material can be installed side by side and a control voltage of the opposite direction can be applied to ensure that the surfaces visible in the lens move relative to each other. However, the maximum allowable voltage is limited by the amount of electrical breakdown between the elements. The limitation of the maximum applied voltage leads to a decrease in the relative displacement of the reference surfaces. For example, with a distance between the reference surfaces of 0.1 mm, the maximum voltage limited by the breakdown in air is 0.3 kV. Therefore, for reliable operation, it will be allowed to supply a voltage of not more than 0.1 kV. This value is 20 times less than the maximum voltage applied to a single element. As a result of limiting the maximum allowable voltage, the range of movement of an element from a single crystal of lithium niobate is only a few nanometers, which is ten times less than the required value of 100 nanometers, which is the upper limit of the nanometer range.
В предлагаемом устройстве мера перемещения состоит из двух элементов из пьезоэлектрического материала с противоположной ориентацией кристаллографических осей (если использовать монокристаллический материал), или различным направлением поляризации (если использовать пьезоэлектрические элементы из поляризованной пьезокерамики), расположенных на общем основании. Электроды элементов на основании и на верхних поверхностях элементов подсоединены к источнику напряжения. При подаче управляющего напряжения на элементы их отсчетные поверхности перемещаются в противоположных направлениях. Несмотря на близость расположения элементов, между рядом расположенными боковыми поверхностями элементов нет разницы напряжений. В то же время в результате применения пар элементов с взаимно противоположным направлением кристаллографических осей или направлением поляризации перемещение их отсчетных поверхностей равно (при идентичности элементов) и противоположно направлено.In the proposed device, the measure of displacement consists of two elements of a piezoelectric material with the opposite orientation of the crystallographic axes (if using a single crystal material), or a different direction of polarization (if using piezoelectric elements from polarized piezoceramics) located on a common base. The electrodes of the elements on the base and on the upper surfaces of the elements are connected to a voltage source. When a control voltage is applied to the elements, their reference surfaces move in opposite directions. Despite the proximity of the elements, there is no voltage difference between the adjacent side surfaces of the elements. At the same time, as a result of using pairs of elements with a mutually opposite direction of the crystallographic axes or a direction of polarization, the movement of their reference surfaces is equal (if the elements are identical) and oppositely directed.
В результате возможно максимально близкое расположение элементов, подача на них максимально допустимого управляющего напряжения для достижения максимальных перемещений элементов.As a result, the closest possible location of the elements, the supply of the maximum permissible control voltage to achieve maximum movements of the elements.
Сущность предлагаемого устройства поясняется примером реализации и чертежом, на котором представлена его принципиальная схема.The essence of the proposed device is illustrated by an example implementation and a drawing, which shows its circuit diagram.
Устройство содержит общее основание 1 для обоих элементов из пьезоэлектрического материала 2 и 3 (т.е. первой и второй меры перемещения), общего электрода 4, расположенного на поверхности общего основания и соединенного проводом 5 с регулируемым источником напряжения (на чертеже не показан и может быть выбран из числа известных).The device contains a
На верхних торцах обеих элементов из пьезоэлектрического материала нанесены индивидуальные электроды 6 и 7, подсоединенные общим проводом 8 к источнику напряжения. Поверх электродов 6 и 7 закреплены пластинки 9 и 10 с отсчетными поверхностями.On the upper ends of both elements of piezoelectric material deposited
Работа устройства производится следующим образом. От источника напряжения электрические сигналы поступают на общий электрод 4 и на электрически соединенные электроды 5 и 7. Под воздействием управляющего напряжения происходит изменение размеров элементов из пьезоэлектрического материала 2 и 3 и перемещение отсчетных поверхностей пластинок 9 и 10. В зависимости от ориентации кристаллографических осей монокристаллов или поляризации пьезокерамики, меры перемещения и электрического поля в межэлектродном пространстве происходит перемещение отсчетных поверхностей мер в соответствующих направлениях:The operation of the device is as follows. From the voltage source, electrical signals are fed to the
- Перпендикулярно от основания.- Perpendicular from the base.
- Перпендикулярно к основанию.- Perpendicular to the base.
- Параллельно основанию влево (относительно плоскости рисунка).- Parallel to the base to the left (relative to the plane of the picture).
- Параллельно основанию вправо (относительно плоскости рисунка).- Parallel to the base to the right (relative to the plane of the picture).
- Параллельно основанию и перпендикулярно к плоскости рисунка (к зрителю).- Parallel to the base and perpendicular to the plane of the picture (to the viewer).
- Параллельно основанию и перпендикулярно от плоскости рисунка (от зрителя).- Parallel to the base and perpendicular to the plane of the picture (from the viewer).
При ориентации Ζ кристалла ниобата лития, противоположном расположении кристаллографических осей двух мер перемещения, под воздействием электрического напряжения деформация кристалла приведет к перемещению отсчетных поверхностей перпендикулярно основанию. От основания в одной мере (элементе) и к основанию в другой мере (элементе).When the Ζ orientation of the lithium niobate crystal is opposite to the arrangement of the crystallographic axes of the two measures of displacement, under the influence of electric stress, deformation of the crystal will lead to the movement of the reading surfaces perpendicular to the base. From the base in one measure (element) and to the base in another measure (element).
Величина изменения разновысотности отсчетных поверхностей будет прямо пропорциональная величине управляющего напряжения. Вследствие эквипотенциальности боковых близлежащих сторон кристаллов мер перемещения между ними нет напряженности электрического поля, что позволяет прикладывать максимально возможные электрические поля в монокристаллах для обеспечения максимально возможного перемещения. Результат перемещения рядом расположенных отсчетных поверхностей регистрируется измерительным прибором типа конфокального или интерференционного микроскопа в виде статического смещения интерференционных полос, которое обрабатывается существующим программным обеспечением.The magnitude of the change in the different heights of the reference surfaces will be directly proportional to the magnitude of the control voltage. Due to the equipotentiality of the adjacent lateral sides of the crystals, the measures of displacement between them do not have an electric field strength, which makes it possible to apply the maximum possible electric fields in single crystals to ensure the maximum possible displacement. The result of moving adjacent reference surfaces is recorded by a measuring device such as a confocal or interference microscope in the form of a static displacement of interference fringes, which is processed by existing software.
Таким образом, осуществляя калиброванные перемещения близко расположенных участков поверхности и измеряя их конфокальным или интерференционными микроскопами, осуществляют их калибровку.Thus, performing calibrated movements of closely spaced sections of the surface and measuring them with confocal or interference microscopes, they are calibrated.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2016109597A RU2626024C1 (en) | 2016-03-17 | 2016-03-17 | Precision movements device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2016109597A RU2626024C1 (en) | 2016-03-17 | 2016-03-17 | Precision movements device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2626024C1 true RU2626024C1 (en) | 2017-07-21 |
Family
ID=59495667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2016109597A RU2626024C1 (en) | 2016-03-17 | 2016-03-17 | Precision movements device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2626024C1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113884977A (en) * | 2021-08-17 | 2022-01-04 | 中国电子科技集团公司第二十九研究所 | Correction method for one-dimensional interferometer direction finding cone effect |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU418896A1 (en) * | 1972-01-04 | 1974-03-05 | ||
| SU700266A1 (en) * | 1977-02-07 | 1979-11-30 | Предприятие П/Я Г-4937 | Manipulator |
| RU2284464C2 (en) * | 2004-12-28 | 2006-09-27 | Алексей Леонидович Максимов | Precision displacement device |
| US7405508B2 (en) * | 2002-06-13 | 2008-07-29 | Serhiy Feclorovich Petrenko | Micromanipulator |
| RU2359364C1 (en) * | 2008-03-03 | 2009-06-20 | Институт прикладной механики УрО РАН | Device for micromotions of object |
-
2016
- 2016-03-17 RU RU2016109597A patent/RU2626024C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU418896A1 (en) * | 1972-01-04 | 1974-03-05 | ||
| SU700266A1 (en) * | 1977-02-07 | 1979-11-30 | Предприятие П/Я Г-4937 | Manipulator |
| US7405508B2 (en) * | 2002-06-13 | 2008-07-29 | Serhiy Feclorovich Petrenko | Micromanipulator |
| RU2284464C2 (en) * | 2004-12-28 | 2006-09-27 | Алексей Леонидович Максимов | Precision displacement device |
| RU2359364C1 (en) * | 2008-03-03 | 2009-06-20 | Институт прикладной механики УрО РАН | Device for micromotions of object |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113884977A (en) * | 2021-08-17 | 2022-01-04 | 中国电子科技集团公司第二十九研究所 | Correction method for one-dimensional interferometer direction finding cone effect |
| CN113884977B (en) * | 2021-08-17 | 2023-09-08 | 中国电子科技集团公司第二十九研究所 | Correction method for one-dimensional interferometer direction-finding conical effect |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Liu et al. | A new capacitive displacement sensor with nanometer accuracy and long range | |
| US8461833B2 (en) | Method for determining the sensitivity of an acceleration sensor or magnetic field sensor | |
| US10655954B2 (en) | Three-dimensional shape, displacement, and strain measurement device and method using periodic pattern, and program therefor | |
| CN104654997B (en) | A kind of multiple degrees of freedom differential capacitance calibration device for displacement sensor | |
| EP2257821B1 (en) | Capacitive sensor having cyclic and absolute electrode sets | |
| Chen et al. | A time-grating sensor for displacement measurement with long range and nanometer accuracy | |
| CN108917895B (en) | Cantilever Liang Motai frequency-based mass weighing device and method | |
| CN108680093B (en) | Focusing distance measuring device and measuring method in optical focusing mechanism | |
| Sydenham | Microdisplacement transducers | |
| RU2626024C1 (en) | Precision movements device | |
| US9829347B2 (en) | Capacitance sensation unit of plane position measurement device | |
| JP5754830B2 (en) | Precision motion equipment | |
| RU2233736C2 (en) | Nanometer-range positioning device | |
| RU163173U1 (en) | DEVICE FOR CALIBRATION OF OPTICAL INSTRUMENTS | |
| JP2013164416A (en) | Structure having plural scanning detection units in position measuring instrument | |
| US20110175629A1 (en) | Capacitance displacement and rotation sensor | |
| Moilanen et al. | Laser interferometric measurement of displacement-field characteristics of piezoelectric actuators and actuator materials | |
| RU2626194C1 (en) | Standard for calibrating optical devices | |
| RU2284464C2 (en) | Precision displacement device | |
| RU164856U1 (en) | STANDARD OF PRECISION MOVEMENTS | |
| TWI610062B (en) | Flatness measurement device | |
| TWI557396B (en) | Capacitance sensation unit of plane position measurement device | |
| US20140297222A1 (en) | Actuator Position Calculation Device, Actuator Position Calculation Method, and Actuator Position Calculation Program | |
| CN105572184B (en) | A kind of measuring device and method obtaining inverse flexoelectric coefficient based on capacitance variations | |
| KR20210019543A (en) | Sensor probe assembly |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20190318 |