RU2619591C1 - Способ изготовления самонакаливаемого полого катода из нитрида титана для систем генерации плазмы - Google Patents
Способ изготовления самонакаливаемого полого катода из нитрида титана для систем генерации плазмы Download PDFInfo
- Publication number
- RU2619591C1 RU2619591C1 RU2015149740A RU2015149740A RU2619591C1 RU 2619591 C1 RU2619591 C1 RU 2619591C1 RU 2015149740 A RU2015149740 A RU 2015149740A RU 2015149740 A RU2015149740 A RU 2015149740A RU 2619591 C1 RU2619591 C1 RU 2619591C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- hollow cathode
- tubular article
- titanium nitride
- cathode
- discharge
- Prior art date
Links
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 20
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 13
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 8
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 claims abstract description 5
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 claims abstract description 4
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000007569 slipcasting Methods 0.000 claims abstract description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims abstract 2
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 claims abstract 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 6
- 229920005596 polymer binder Polymers 0.000 claims description 4
- 239000002491 polymer binding agent Substances 0.000 claims description 4
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 claims description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract description 5
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 abstract 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 6
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 6
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Substances [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000004663 powder metallurgy Methods 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000746 Structural steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 244000309464 bull Species 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000004146 energy storage Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000012766 organic filler Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000004597 plastic additive Substances 0.000 description 1
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001993 wax Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
Landscapes
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
Изобретение относится к плазменной технике и может быть использовано в газоразрядных устройствах с самонакаливаемым полым катодом. Способ изготовления самонакаливаемого полого катода из нитрида титана для систем генерации плазмы включает формирование трубчатого изделия из смеси порошков, содержащей нитрид титана, 10 вес.% титана, не более 2 вес.% пластификатора поливинилбутираля, импульсным или статическим прессованием, экструзией, шликерным литьем или альтернативным способом, отжиг трубчатого изделия в вакуумной печи в потоке азота при давлении 1 Па при температуре 500°С в течение 1 ч для термического разложения пластификатора и удаления продуктов разложения из объема трубчатого изделия, установку трубчатого изделия в качестве катодного электрода в электроразрядную систему, содержащую анодный электрод, постоянную прокачку азота через трубчатое изделие, приложение между анодом и трубчатым изделием напряжения и зажигание тлеющего разряда между трубчатым изделием и анодом, ток которого постепенно увеличивают по мере прекращения дугообразования, что обеспечивает удаление поверхностных загрязнений и рост температуры трубчатого изделия, переход разряда в термоэмиссионный дуговой режим и нагрев катода до температуры 2000°С. Выдержка сформованного трубчатого изделия в плазме собственного разряда в качестве катодного электрода при работе в термоэмиссионном дуговом режиме обеспечивает его твердофазное спекание и формирование самонакаливаемого полого катода из нитрида титана с высокой плотностью, термоэмиссионными свойствами и повышенным ресурсом. 3 ил.
Description
Изобретение относится к плазменной технике и может быть использовано в газоразрядных устройствах с самонакаливаемым полым катодом. Устройства такого типа обеспечивают устойчивое горение разряда с током 1-1000 А при давлениях газа до 100 Па и напряжениях до 200 В [1] за счет эффективной термоэлектронной эмиссии с поверхности катода.
В качестве материалов самонакаливаемых полых катодов используются металлы с высокой температурой плавления (ниобий, тантал, вольфрам, молибден и др.). Недостаток катодов из высокотемпературных металлов заключается в высокой стоимости и скорости эрозии, вызванной ионным распылением и образованием на поверхности катодов соединений с низкой температурой плавления при работе в среде химически активных газов.
Прототипом изобретения является способ формирования самонакаливаемого полого катода из нитрида титана, в котором через холодный полый катод, изготовленный из титана, пропускают поток азота, зажигают тлеющий разряд между полым катодом и анодом и сочетанием тока и напряжения горения разряда задают температуру полого катода, близкую, но меньшую температуры его плавления (~1600°С) [2]. В результате диффузионного насыщения титана азотом на поверхности катода формируется слой нитрида титана, обладающего высокой температурой плавления (2950°С) и низкой работой выхода электронов (2,92-3,75 эВ) [3]. Для использования катода при повышенных температурах (свыше 1600°С), обеспечивающих реализацию сильноточного низковольтного режима горения разряда, требуется тренировка, в процессе которой происходит увеличение толщины приповерхностного слоя нитрида титана. Время, необходимое для тренировки катода, подготовленного по способу [2], зависит от рабочей температуры катода и коэффициента диффузии азота и должно быть достаточным для формирования нитридного слоя, толщина которого обеспечивала бы требуемый перепад температур и предотвращала разогрев внутреннего слоя титана выше температуры плавления. Поскольку величина коэффициента диффузии азота резко снижается в условиях диффузии через приповерхностный слой нитрида титана [4], время тренировки самонакаливаемого полого катода из нитрида титана для работы при повышенных токах разряда (свыше 10 А) существенно возрастает и составляет несколько десятков часов. Необходимость проводить длительную тренировку самонакаливаемого полого катода, подготовленного по способу [2], ограничивает возможность повышения ресурса катода за счет увеличения толщины его стенки.
Технической задачей изобретения является изготовление самонакаливаемого полого катода из нитрида титана, отличающегося повышенным ресурсом работы и гомогенностью состава, для достижения которых не требуется длительной тренировки. Для решения задачи предлагается формировать полый катод с толщиной стенки более 2 мм методами порошковой металлургии: импульсным или статическим прессованием, экструзией, шликерным литьем и др. [5]; и провести обработку сформованного из порошка полого катода в плазме разряда, обеспечивающей его разогрев, очистку внутренней поверхности в результате ионной бомбардировки и твердофазное спекание.
Задача решается следующим образом. Готовят порошковую смесь, содержащую нитрид титана и пластичные добавки: титан (не более 10 вес. %) дисперсностью не более 10 мкм и органический наполнитель, массовая доля которого в смеси не превышает 2 вес. %, гомогенизируют и формуют в виде трубки с внутренним диаметром 5-10 мм, внешним диаметром 13-18 мм и длиной до 100 мм, например, методом холодного магнитно-импульсного прессования [6]. Пластичные компоненты включают в состав порошковой смеси в минимально возможном количестве, при котором обеспечивается сохранение формы трубчатого изделия непосредственно после прессования. Затем проводят нагрев трубки в вакууме (~1 Па) в потоке инертного газа или азота, с кратковременной (1 ч) выдержкой при температуре, обеспечивающей разложение органического пластификатора (более 100°С). Затем трубку помещают в газоразрядную систему, где она выполняет роль полого катода, создают постоянный поток рабочего газа - аргона, азота или их смеси через полый катод, прикладывают напряжение к разрядному промежутку и зажигают тлеющий разряд между холодным полым катодом и анодом, ток которого повышают по мере прекращения дугообразования, что обеспечивает удаление поверхностных загрязнений, разогрев катода до температуры ~2000°С и переход катода в режим термоэлектронной эмиссии. Выдержка катода в плазме собственного разряда при высокой температуре обеспечивает спекание порошка нитрида титана и формирование полого катода с высокими механическими и термоэмиссионными свойствами и повышенным ресурсом.
Отличие предложенного способа от его прототипа [2] заключается в том, что самонакаливаемый полый катод из нитрида титана изготавливается из порошкового материала в виде трубки, спекание которой осуществляется в плазме разряда, не требует длительной тренировки для синтеза фаз с высокой температурой плавления, обеспечивает гомогенность состава по всей толщине стенки, позволяет увеличить толщину стенки и повысить ресурс катода.
В экспериментах по реализации способа использовали порошковую смесь из нитрида титана (ТУ 6-09-112-75), 10 вес. % титана (ТУ 14-22-57-92) и 2-3 вес. % поливинилбутираля (ПВБ) в качестве полимерной связки. Смесь гомогенизировали в малоскоростном смесителе с использованием изопропилового спирта в качестве растворителя и стальных шаров. Высушенный и просеянный порошок (ячейка сита 40 мкм) засыпали в пресс-форму (поз. 2-5 на фиг. 1), состоящую из внешней медной трубы 2 и соосно расположенного внутри трубы стержня 4, изготовленного из конструкционной стали марок Х12МФ, Р6М5 или заменителей и имеющего конусность около 0,3-0,5°. Порошок 3 укладывали в зазор между внешней трубой и формообразующим стержнем засыпкой на вибростенде. Пресс-форму с порошком герметизировали торцевыми заглушками 5 с уплотнителями. Перед прессованием объем пресс-формы дегазировали до остаточного давления около 5 Па. Использовали стержень со средним диаметром около 11 мм и медную трубу с внутренним диаметром 19,5 мм с толщиной стенки трубы 1 мм. На поверхность стержня наносили антиадгезионное покрытие на основе графита, а на внутреннюю поверхность медной трубы наносили покрытие на основе воска (или парафина). Прессование порошковой засыпки производили магнитно-импульсным способом путем радиального сжатия медной трубы под действием давления импульсного магнитного поля соленоида, пропорционального квадрату магнитной индукции [6]. Пресс-форму размещали в канале однослойной спиральной катушки - индуктора (поз.1 на фиг. 1), подключенного к генератору импульсных токов на основе емкостного накопителя энергии. При включении емкостного накопителя на индуктор в цепи протекает осциллирующий ток в виде затухающей синусоиды. В экспериментах длительность полупериода колебаний тока (магнитного поля) составляла 100-120 мкс, амплитуда тока - 130-150 кА, амплитуда магнитного поля - 23-27 Тл. Величине индукции магнитного поля около 25 Тл соответствует давление магнитного поля 0,25 ГПа. При этом давление прессования за счет инерционных эффектов, присущих динамическим методам, составляло 0,6-0,8 ГПа. После прессования трубчатые заготовки катода извлекали механическим способом. Трубчатые заготовки катода имели длину 70-80 мм, внешний диаметр около 16 мм, толщину стенки около 2,5 мм и относительную плотность 0,55-0,60.
Перед установкой в газоразрядную систему трубчатую заготовку катода помещали в вакуумную печь, откачивали до давления (~1 Па), нагревали со скоростью 10 град/мин до температуры 500°С, обеспечивающей разложение полимерной связки и испарения летучих продуктов разложения, выдерживали в течение 1 ч в атмосфере азота и охлаждали до комнатной температуры. Для реализации способа использовали газоразрядную систему (фиг. 2), которая состояла из трубчатой заготовки катода с внутренним, внешним диаметром и высотой: 11, 16 и 70 мм, соответственно, выполнявшей роль полого катода 6; полого анода 7 диаметром 80 мм и высотой 100 мм и сетки 8 с размером ячеек 1,2×1,2 мм, установленной на торце полого анода. Полый катод размещали внутри корпуса 9, охлаждаемого потоком воды. В газоразрядную систему через полый катод напускали газ (аргон), величина потока которого составляла 30-60 мл/мин. Между катодом и анодом прикладывали напряжение и зажигали импульсно-периодический тлеющий разряд (длительность импульсов 10 мкс, частота 50 кГц). Амплитуду тока разряда повышали до 4 А по мере прекращения дугообразования, что приводило к разогреву полого катода до температуры около 2000°С и переходу катода в режим термоэлектронной эмиссии, сопровождающийся снижением напряжения горения разряда до значений менее 100 В. Выдержка самонакаливаемого полого катода в плазме собственного разряда при постоянном токе разряда 30 А, напряжении горения 40 В в течение 1 ч обеспечивает спекание порошка нитрида титана и формирование полого катода из нитрида титана с высокой плотностью (~5 г/см2). Самонакаливаемый полый катод, подготовленный по предложенному способу, обладает высокой механической прочностью, обеспечивает стабильную работу газоразрядной системы в непрерывном режиме с током разряда до 30 А и импульсно-периодическом режиме с амплитудой тока до 100 А, частоте генерации импульсов до 1 кГц и длительностью импульсов до 1000 мкс. На фиг. 3 показаны осциллограммы тока и напряжения горения разряда в газоразрядной системе с самонакаливаемым полым катодом, подготовленным по предложенному способу, масштаб осциллограмм: 50 мкс/дел, 10 - ток разряда 50 А/дел, 11 - напряжение горения разряда - 100 В/дел. Проведенные оценки показали, что скорость эрозии катода при работе с током разряда 30 А, потоках рабочих газов аргона и азота 30 мл/мин каждого составила ~2×10-7 г/Кл. Расчетная величина ресурса катода при толщине стенки 2,5 мм составляет не менее 1500 ч. При работе в импульсно-периодическом режиме с амплитудой тока 100 А длительностью 200 мкс и частотой 200 Гц оценочная скорость эрозии составила 2,5×10-6 г/Кл, что обеспечивает ресурс катода не менее 300 ч. По сравнению с прототипом [2] ресурс катода, изготовленного по предложенному способу, увеличивается на порядок величины.
Источники информации, принятые во внимание при составлении заявки на изобретение:
1. Delcroix, J.L. and Trindade, A.R., Adv. Electron. Electron Phys., 1974, vol. 37, p. 87.
2. H.B. Гаврилов, А.И. Меньшаков. Патент РФ №2513119. Заявл. 20.06.2012. Опубл. 27.12.2013. - Бюл. №36. Способ формирования самонакаливаемого полого катода из нитрида титана для системы генерации азотной плазмы.
3. G.V. Samsonov, Nitrides, Kiev, Naukova Dumka, 1969.
4. A. Gicouel, N. Laidani, P. Saillard, J. Amouroux. Pure&Appl. Chem., Vol. 62, No. 9, pp. 1743-1750, 1990.
5. Осокин E.H. Процессы порошковой металлургии. Версия 1.0 [Электронный ресурс] : курс лекций / Е.Н. Осокин, О.А. Артемьева. - Электрон, дан. (5 Мб). - Красноярск : ИПК СФУ, 2008. - 1 электрон, опт. диск (DVD).
6. Миронов В.А. Магнитно-импульсное прессование порошков / В.А. Миронов. - Рига: Зинатне, 1980. - 196 с.
Claims (1)
- Способ изготовления самонакаливаемого полого катода из нитрида титана для систем генерации плазмы, включающий установку полого катода в разрядную систему, содержащую анодный электрод, постоянную прокачку через полый катод азота, приложение между анодом и полым катодом напряжения и зажигание между ними тлеющего разряда, нагрев полого катода и его переход в режим термоэмиссии с последующим увеличением тока, отличающийся тем, что полый катод формируют в виде трубчатого изделия из смеси порошков, содержащей нитрид титана, до 10 вес.% титана, не более 2 вес.% поливинилбутираля в качестве полимерной связки, импульсным или статическим прессованием, экструзией, шликерным литьем или альтернативным способом, отжигают трубчатое изделие в вакуумной печи в потоке азота при давлении 1 Па и температуре 500°C в течение 1 ч для термического разложения полимерной связки и удаления продуктов разложения из объема трубчатого изделия и спекают трубчатое изделие в газовом разряде, где трубчатое изделие используется в качестве полого катода, ток разряда постепенно увеличивают по мере прекращения дугообразования, что обеспечивает удаление поверхностных загрязнений и рост температуры трубчатого изделия до 2000°C, обеспечивающей формирование полого катода из нитрида титана с высокими механическими и термоэмиссионными свойствами и повышенным ресурсом.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015149740A RU2619591C1 (ru) | 2015-11-19 | 2015-11-19 | Способ изготовления самонакаливаемого полого катода из нитрида титана для систем генерации плазмы |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015149740A RU2619591C1 (ru) | 2015-11-19 | 2015-11-19 | Способ изготовления самонакаливаемого полого катода из нитрида титана для систем генерации плазмы |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2619591C1 true RU2619591C1 (ru) | 2017-05-17 |
Family
ID=58716110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2015149740A RU2619591C1 (ru) | 2015-11-19 | 2015-11-19 | Способ изготовления самонакаливаемого полого катода из нитрида титана для систем генерации плазмы |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2619591C1 (ru) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2205893C2 (ru) * | 2001-04-23 | 2003-06-10 | ООО "Инженерно-физический центр" | Способ и устройство нанесения покрытий методом плазмохимического осаждения |
| US20060196762A1 (en) * | 2003-06-20 | 2006-09-07 | Masanobu Miki | Plasma generating electrode, plasma generation device, and exhaust gas purifying apparatus |
| US20090178915A1 (en) * | 2004-09-28 | 2009-07-16 | Nittetsu Mining Co., Ltd. | Gas-exciting apparatus having electrode containing insulating coating layer and gas-exciting process |
| RU2513119C2 (ru) * | 2012-06-20 | 2014-04-20 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт электрофизики Уральского отделения Российской академии наук (ИЭФ УрО РАН) | Способ формирования самонакаливаемого полого катода из нитрида титана для системы генерации азотной плазмы |
-
2015
- 2015-11-19 RU RU2015149740A patent/RU2619591C1/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2205893C2 (ru) * | 2001-04-23 | 2003-06-10 | ООО "Инженерно-физический центр" | Способ и устройство нанесения покрытий методом плазмохимического осаждения |
| US20060196762A1 (en) * | 2003-06-20 | 2006-09-07 | Masanobu Miki | Plasma generating electrode, plasma generation device, and exhaust gas purifying apparatus |
| US20090178915A1 (en) * | 2004-09-28 | 2009-07-16 | Nittetsu Mining Co., Ltd. | Gas-exciting apparatus having electrode containing insulating coating layer and gas-exciting process |
| RU2513119C2 (ru) * | 2012-06-20 | 2014-04-20 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт электрофизики Уральского отделения Российской академии наук (ИЭФ УрО РАН) | Способ формирования самонакаливаемого полого катода из нитрида титана для системы генерации азотной плазмы |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5502354A (en) | Direct current energized pulse generator utilizing autogenous cyclical pulsed abnormal glow discharges | |
| CN106941064B (zh) | X射线管及其制造方法 | |
| CN109803479B (zh) | 一种等离子体火炬点阴极结构及其制备方法 | |
| RU2619591C1 (ru) | Способ изготовления самонакаливаемого полого катода из нитрида титана для систем генерации плазмы | |
| RU161492U1 (ru) | Управляемый вакуумный разрядник | |
| Kimura et al. | Properties of diamond-like carbon films prepared by high power pulsed sputtering with two facing targets | |
| Wang et al. | Effect of Al2O3 particle size on vacuum breakdown behavior of Al2O3/Cu composite | |
| CN103469164A (zh) | 一种实现等离子体激活电子束物理气相沉积的装置和方法 | |
| Beukema | Effects of clumps and ion bombardment on electrical breakdown in vacuum | |
| US6562418B2 (en) | Microwave processing of pressed boron powders for use as cathodes in vacuum arc sources | |
| JP2015529932A (ja) | プラズマを生成してターゲットの方へ電子ビームを向けるための装置 | |
| CN103748655B (zh) | 碳火花蒸发 | |
| RU134728U1 (ru) | Форвакуумный источник импульсного электронного пучка | |
| CN105297010B (zh) | 一种利用电火花沉积工艺制备金属玻璃涂层的方法 | |
| US10627163B1 (en) | System and method for heating materials | |
| US20180066355A1 (en) | Cu-Ga ALLOY SPUTTERING TARGET AND METHOD OF MANUFACTURING Cu-Ga ALLOY SPUTTERING TARGET | |
| RU2513119C2 (ru) | Способ формирования самонакаливаемого полого катода из нитрида титана для системы генерации азотной плазмы | |
| Benford et al. | Lowered plasma velocity with cesium iodide/carbon fiber cathodes at high electric fields | |
| JP2006278103A (ja) | 電子管用コーティングゲッター膜の製造方法 | |
| RU2184160C1 (ru) | Электродуговая плавильная печь, электродный узел и способ электродуговой плавки | |
| US2896104A (en) | Lightning arrester | |
| US3049639A (en) | High power switch tube | |
| RU2801364C1 (ru) | Способ генерации потоков ионов твердого тела | |
| Baldanov | Peculiarities of the spark discharge formation at a limiting ballast resistor | |
| Takaki et al. | Characteristics of magnetically driven shunting arc plasma for amorphous carbon film deposition |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20201120 |