RU2614714C1 - Способ получения наноразмерных порошков элементов и их неорганических соединений и устройство для его осуществления - Google Patents
Способ получения наноразмерных порошков элементов и их неорганических соединений и устройство для его осуществления Download PDFInfo
- Publication number
- RU2614714C1 RU2614714C1 RU2016103172A RU2016103172A RU2614714C1 RU 2614714 C1 RU2614714 C1 RU 2614714C1 RU 2016103172 A RU2016103172 A RU 2016103172A RU 2016103172 A RU2016103172 A RU 2016103172A RU 2614714 C1 RU2614714 C1 RU 2614714C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- evaporation
- radiation
- nanosized
- gas
- stream
- Prior art date
Links
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims abstract description 38
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 title claims abstract description 8
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 30
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 27
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 26
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims abstract description 26
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims abstract description 15
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 6
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 33
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 13
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 claims description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 239000011858 nanopowder Substances 0.000 description 5
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 5
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 5
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 4
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 210000003625 skull Anatomy 0.000 description 3
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 2
- 241001455273 Tetrapoda Species 0.000 description 1
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 1
- OLBVUFHMDRJKTK-UHFFFAOYSA-N [N].[O] Chemical compound [N].[O] OLBVUFHMDRJKTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 238000003889 chemical engineering Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000001700 effect on tissue Effects 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 231100000167 toxic agent Toxicity 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 239000011882 ultra-fine particle Substances 0.000 description 1
- NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N ytterbium Chemical compound [Yb] NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
Изобретение может быть использовано для получения наноразмерных порошков элементов и их неорганических соединений методом «испарения - конденсации» в потоке газа. Перерабатываемый материал подают в виде грубодисперсного порошка с размером частиц не менее 1 мм. Для его испарения используют поток энергии СВЧ электромагнитного излучения с частотой в диапазоне 20-1200 ГГц, сфокусированный до размера длины волны используемого излучения. Газодисперсный поток с образовавшимися в результате конденсации паров перерабатываемого материала наноразмерными частицами охлаждают в теплообменнике и фильтруют для выделения частиц. Устройство для получения наноразмерных порошков элементов и их неорганических соединений содержит источник высококонцентрированного потока энергии, узел испарения - конденсации, теплообменник для охлаждения газодисперсного потока и фильтр для выделения наноразмерного порошка. Устройство включает гиротрон как источник энергии и квазиоптическое устройство фокусирования СВЧ-излучения. Изобретение позволяет повысить производительность процесса получения наноразмерных порошков, исключив радиационную опасность. 2 н.п. ф-лы, 1 ил., 4 пр.
Description
Изобретение относится к области нанотехнологий, в частности к технологиям получения наноразмерных порошков оксидов элементов.
Наноразмерные порошки элементов и их неорганических соединений с размером частиц менее 100 нм находят широкое применение в различных приложениях - создании наноструктурных материалов и покрытий с особыми свойствами, в биологии и медицине для селективного воздействия на клетки тканей и направленного транспорта лекарственных средств, для защиты окружающей среды от токсичных соединений и др.
В настоящее время известно порядка сотни методов и их модификаций для получения наночастиц элементов, их соединений и композиций со свойствами, которые могут варьироваться за счет изменения параметров процесса и его аппаратурного оформления. Одно из ведущих мест в получении наночастиц занимают процессы «испарения - конденсации», в которых формирование наночастиц происходит при конденсации пересыщенного пара целевого продукта, предварительно образовавшегося в результате испарения исходного сырья и последующего охлаждения пара. К наиболее универсальному варианту проведения процесса «испарения - конденсации» может быть отнесено испарение объема материала под воздействием концентрированного потока энергии (электрическая дуга, излучение лазера, поток электронов) с последующей конденсацией в потоке инертного или химически активного газа.
Подвод энергии к испаряемому материалу осуществляется с использованием:
- электрической дуги (Takayuki Watanabe, Manabu Tanaka. Thermal plasma processing for functional nanoparticle synthesis. 16 ASEAN Regional Symp. on Chemical Engineering. Dec. 1-2, 2009. Manila Hotel, Philippines. Technical keynote, p. 47-50. http://www.chem-eng.kyushu-u.ac.jp/lab5/Media/PDF-conf/RSCE09.pdf.);
- излучения лазера (Иванов М.Г., Котов Ю.А., Комаров В., Саматов О.М., Сухов А.В. Синтез нанопорошков мощным излучением волоконно-иттербиевого лазера. Фотоника, 2009, №3, с. 18-20);
- потока ускоренных электронов (Бардаханов С.П., Кончагин А.И., Куксанов А.И. Получение нанопорошков испарением исходных веществ на ускорителе электронов при атмосферном давлении, Доклады Академии наук, 2006, т. 409, №3, с. 320-323).
Электродуговой процесс может быть реализован при мощности до сотен киловатт, что обеспечивает максимальные значения производительности и энергетического кпд в рассматриваемой группе процессов. Однако недостатком данного способа является наличие эрозии электродов, что не позволяет получать высокочистый целевой продукт.
Лазерное испарение характеризуется низкой производительностью и очень высокими затратами электроэнергии.
Известные к настоящему времени способы получения нанопорошков элементов и их неорганических соединений методом «испарения - конденсации» характеризуются серьезными недостатками, к числу которых прежде всего относятся низкие производительность и энергоэффективность. Для создания высокопроизводительного, ресурсо- и энергоэффективного процесса получения нанопорошков необходим поиск принципиального новых подходов к решению данной проблемы.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к предлагаемому изобретению является способ и устройство получения ультрадисперсных порошков диоксида кремния (патент РФ №2067077, 1996 г.). Способ предусматривает нагрев исходного минерала - диоксида кремния релятивистским пучком электронов при атмосферном давлении, обеспечивающем образование паров диоксида кремния и их последующую конденсацию с образованием ультрадисперсных частиц при смешении с вводимым потоком воздуха. Далее газодисперсный поток охлаждается и осуществляется выделение из него ультрадисперсного порошка диоксида кремния.
Устройство для получения порошка содержит ускоритель электронов высокой удельной мощности, установленный соосно над испарительной камерой, выполненной в виде огнеупорного тигля, связанного с питателем для подачи диоксида кремния и содержащей набор щелевых отверстий в верхней части боковой стенки для создания направленного газодисперсного потока, содержащего испаренный диоксид кремния. Испарительная камера посредством осевого канала соединена с расширительной камерой, теплообменником и вихревым пылеуловителем.
Использование потока электронов предопределяет существенные недостатки рассматриваемого способа и устройства - сложность конструкции, использующей ускоритель электронов, высокие энергозатраты и ограниченную производительность процесса, кроме того, электронные пучки обладают радиационной опасностью.
Техническая задача, решаемая предлагаемым изобретением, предусматривает использование генераторов сверхвысокочастотного (СВЧ) электромагнитного поля миллиметрового диапазона длин волн - гиротронов - для нагрева и испарения исходного материала в процессах получения наноразмерных порошков методом «испарения - конденсации».
В настоящее время созданы и эксплуатируются СВЧ-генераторы миллиметрового диапазона длин волн - гиротроны, работающие на частотах в диапазоне 24-1000 ГГц мощностью 5-1000 кВт и коэффициенте полезного действия до 60% (Запевалов В.Е. Эволюция гиротронов. Изв. ВУЗов, Радиофизика, 2011, т. 54, №8-9, с. 559-572. Генерация и усиление сигналов терагерцового диапазона. Под ред. А.Е. Храмова, А.Г. Баланова, В.Д. и др. Саратов, СГТУ, 2016, 460 с. Гиротронные комплексы - разработка и применение. Непрерывные гиротроны. ЗАО НПП "Гиком". http://www.gycom.ru/products/pr7.html). Увеличение частоты электромагнитного поля при переходе в миллиметровый диапазон длин волн обеспечивает повышение эффективности нагрева материала в процессах их получения и обработки вследствие возрастания коэффициента поглощения СВЧ-энергии. Кроме того, увеличение частоты и, соответственно, уменьшение длины волны излучения обеспечивает возможность его фокусировки до пятна с характерным размером порядка миллиметров и достижения высоких плотностей потока энергии, воздействующего на материал. С использованием сфокусированных потоков СВЧ-излучения с высокой плотностью мощности может быть осуществлен локальный нагрев материала до температур испарения и, соответственно, реализованы процессы получения нанопорошков методом «испарения - конденсации».
Использование гиротронов, непрерывная мощность которых, как указано выше, достигает 1000 кВт при коэффициенте полезного действия до 60%, обеспечит возможность создания высокопроизводительных и энергоэффективных процессов получения наноразмерных порошков оксидов элементов.
Технический результат достигается тем, что получение наноразмерных порошков элементов и их неорганических соединений методом «испарения - конденсации» в потоке газа под воздействием потока энергии на перерабатываемый материал осуществляется при подаче материал в виде грубодисперсного порошка с размером частиц не менее 1 мм и для его испарения используется поток энергии СВЧ электромагнитного излучения с частотой в диапазоне 20-1200 ГГц, сфокусированный до размера длины волны используемого излучения, и газодисперсный поток с образовавшимися в результате конденсации паров перерабатываемого материала наноразмерными частицами охлаждают в теплообменнике и фильтруют для выделения частиц.
Устройство для получения наноразмерных порошков элементов и их неорганических соединений содержит источник высококонцентрированного потока энергии, узел испарения - конденсации, теплообменник для охлаждения газодисперсного потока и фильтр для выделения наноразмерного порошка, при этом в устройстве используется гиротрон как источник энергии и квазиоптическое устройство фокусирования СВЧ-излучения, которое обеспечивает формирование пятна с размером длины волны, т.е. 15-0.25 мм.
Указанный диапазон частот соответствует используемому в существующих конструкциях гиротронов, при этом следует учитывать, что с повышением частоты уменьшается размер пятна сфокусированного СВЧ-излучения и при постоянной мощности возрастает плотность потока энергии и, соответственно, температура в зоне пятна. Поэтому для испарения материалов с высокой температурой кипения следует использовать более высокие частоты СВЧ-излучения.
Существующие гиротронные комплексы мощностью 5-1000 кВт, оснащенные фокусирующим устройством, в непрерывном режиме работы обеспечивают плотность потока энергии к обрабатываему материалу от 3 до порядка 105 кВт/см2 в указанном выше диапазоне частот, при этом кпд гиротрона достигает 60%. Достигаемые плотности потока СВЧ-энергии позволяют обеспечить испарение любых материалов, быстрое охлаждение паров которых, например, при смешении с холодным газом будет приводить к образованию наноразмерных частиц.
Схема установки для получения наноразмерных порошков оксидов элементов методом «испарение - конденсация», использующей испарение исходного сырья при воздействии сфокусированного СВЧ-излучения миллиметрового диапазона длины волны, представлена на рис. 1.
В гиротронном комплексе (1), являющемся источником высококонцентрированного потока энергии, генерируется электромагнитное излучение миллиметрового диапазона длин волн, которое по волноводному тракту (2) направляется в технологический блок. Волноводный тракт включает фильтр мод, преобразователь мод, СВЧ-окно, преобразователь моды в гауссов пучок. Фильтр мод предназначен для исключения попадания отраженной мощности в гиротрон, что может привести к его повреждению. Преобразователь мод обеспечивает дальнейшее преобразование излучения в гауссов пучок. После преобразователя мод в подводящем тракте СВЧ-излучения установлено охлаждаемое СВЧ-окно. Окно необходимо для отсечения технологического блока от волноводного тракта и предотвращения попадания в него порошков.
В технологическом блоке (3) размещено фокусирующее зеркало (4), которое фокусирует СВЧ-излучение на поверхности перерабатываемого материала, находящегося в вертикально расположенном гарниссажном тигле (4). Использование тигля с гарниссажем из перерабатываемого материала исключает загрязнение получаемого продукта соединениями, присутствующими в материале тигля. Подача перерабатываемого материала в тигель осуществляется питателем (5). Над тиглем расположено кварцевое окно, через которое проходит СВЧ-излучение к поверхности перерабатываемого материала. Непосредственно под окном расположены каналы ввода холодного газа (6) к поверхности испарения, при смешении которого с парами перерабатываемого материала происходит формирование наноразмерных частиц. Тигель вместе с кварцевым окном и каналами ввода холодного газа образуют узел испарения - конденсации. Теплообменник (7) обеспечивает охлаждение газодисперсного потока, содержащего наноразмерные частицы. Для выделения частиц из потока используется фильтр (8).
Предлагаемый способ получения наноразмерных порошков реализуется следующим образом.
Перерабатываемый материал, которым могут быть индивидуальные или сложные оксиды элементов, а также их смеси в виде грубодисперсного порошка с размером частиц не менее 1 мм, подается в гарниссажный тигель дозирующим устройством. Использование порошка с указанным размером частиц предотвращает их вынос газовым потоком и попадание в получаемый наноразмерный порошок. На горизонтально расположенную поверхность материала по нормали направляется сфокусированный поток СВЧ-излучения.
В области фокального пятна происходит нагрев, плавление и испарение перерабатываемого материала. Поверхность материала обдувается потоком газа кислородсодержащего газа (воздух или другие кислородно-азотные смеси) при смешении с которым происходит конденсация паров с образованием наноразмерных частиц. Изменение расхода газа и скорости его течения может использоваться для управления размером формирующихся наночастиц. Далее газодисперсный поток охлаждается в теплообменнике и поступает на фильтр, где происходит выделение наноразмерных частиц.
Пример 1
На уплотненный слой порошка оксида вольфрама WO3 с размером частиц 1-4 мм воздействует сфокусированный поток СВЧ-излучения, генерируемого в гиротроне. Выходная мощность гиротрона, работающего в непрерывном режиме, составляет 1 кВт, рабочая частота - 263 ГГц. Диаметр сфокусированного пятна СВЧ-излучения на поверхности материала 1.2 мм. Поверхность оксида вольфрама обдувается по нормали потоком воздуха с расходом 12 м3/ч. Процесс осуществляется при давлении, близком к атмосферному.
Полученный порошок является оксидом вольфрама WO3 состоит из частиц, размеры которых находятся в диапазоне от 20 нм до 1 мкм, удельная поверхность порошка - 4.1 м2/г. Частицы имеют различную форму - близкую к сферической, а также форму октаэдров.
Производительность процесса составила 0.4 кг/ч, затраты электроэнергии - 2.5 кВтч/кг WO3.
Пример 2
На уплотненный слой порошка оксида олова SnO2 воздействует сфокусированный поток СВЧ-излучения, генерируемого в гиротроне. Выходная мощность гиротрона, работающего в непрерывном режиме, составляет 5.3-6,5 кВт, рабочая частота - 24 ГГц. Диаметр сфокусированного пятна СВЧ-излучения на поверхности материала 12 мм. Поверхность оксида вольфрама обдувается по нормали потоком воздуха с расходом 10 м3/ч. Процесс осуществляется при давлении, близком к атмосферному.
Полученный порошок оксида олова состоит из частиц с размерами 20-200 нм, преимущественно с равноосной формой и имеющих огранку, удельная поверхность порошка составляет 10.4 м2/г, что соответствует среднему размеру d32=85 нм.
Производительность процесса составила 0.09 кг/ч, затраты электроэнергии - 65 кВтч/кг SnO2.
Пример 3
На уплотненный слой порошка оксида цинка ZnO со средним размером частиц 1 мм воздействует сфокусированный поток СВЧ-излучения, генерируемого в гиротроне, работающем в непрерывном режиме на частоте 263 ГГц. Выходная мощность гиротрона составляет 1 кВт. Диаметр сфокусированного пятна СВЧ-излучения на поверхности материала 1.2 мм. Поверхность слоя порошка обдувается по нормали потоком аргона с расходом 6 м3/ч. Процесс осуществляется при давлении, близком к атмосферному.
Полученный порошок является оксидом цинка ZnO, имеет сложную морфологию и состоит в основном из двух видов частиц - ограненных стержней длиной до 200-300 нм и поперечным размером около 60 нм, а также нановискеров (нанонитей) приблизительно такой же длины, но с поперечным размером не более 20 нм, при этом в порошке присутствуют нановискеры, исходящие из общего ядра, - тетраподы. Производительность процесса составила 0.03 кг/ч, затраты электроэнергии - 33 кВтч/кг.
Пример 4
На порошок оксида олова SnO2 со средним размером частиц 2 мм воздействует сфокусированный поток СВЧ-излучения, генерируемого в гиротроне, работающем в непрерывном режиме на частоте 0.95 ГГц. Выходная мощность гиротрона составляет 0.9 кВт. Диаметр сфокусированного пятна СВЧ-излучения на поверхности материала 0.32 мм. Поверхность слоя порошка обдувается по нормали потоком воздуха с расходом 5 м3/ч. Процесс осуществляется при давлении, близком к атмосферному.
Полученный порошок является оксида олова SnO2 и состоит из частиц с размерами в диапазоне 20-150 нм, преимущественно с равноосной формой, удельная поверхность порошка составляет 13 м2/г, что соответствует среднему размеру d32=67 нм.
Производительность процесса составила 0.04 кг/ч, затраты электроэнергии - 22.5 кВтч/кг SnO2.
Claims (2)
1. Способ получения наноразмерных порошков элементов и их неорганических соединений методом «испарения - конденсации» в потоке газа под воздействием потока энергии на перерабатываемый материал, отличающийся тем, что материал подается в виде грубодисперсного порошка с размером частиц не менее 1 мм и для его испарения используется поток энергии СВЧ электромагнитного излучения с частотой в диапазоне 20-1200 ГГц, сфокусированный до размера длины волны используемого излучения, газодисперсный поток с образовавшимися в результате конденсации паров перерабатываемого материала наноразмерными частицами охлаждают в теплообменнике и фильтруют для выделения частиц.
2. Устройство для получения наноразмерных порошков элементов и их неорганических соединений, содержащее источник высококонцентрированного потока энергии, узел испарения - конденсации, осуществляемых в потоке газа, теплообменник для охлаждения газодисперсного потока и фильтр для выделения наноразмерного порошка, отличающееся тем, что устройство включает гиротрон как источник энергии и квазиоптическое устройство фокусирования СВЧ-излучения.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2016103172A RU2614714C1 (ru) | 2016-02-02 | 2016-02-02 | Способ получения наноразмерных порошков элементов и их неорганических соединений и устройство для его осуществления |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2016103172A RU2614714C1 (ru) | 2016-02-02 | 2016-02-02 | Способ получения наноразмерных порошков элементов и их неорганических соединений и устройство для его осуществления |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2614714C1 true RU2614714C1 (ru) | 2017-03-28 |
Family
ID=58505664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2016103172A RU2614714C1 (ru) | 2016-02-02 | 2016-02-02 | Способ получения наноразмерных порошков элементов и их неорганических соединений и устройство для его осуществления |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2614714C1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2727958C1 (ru) * | 2019-07-10 | 2020-07-28 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Федеральный исследовательский центр "Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук" | Способ получения облака заряженных частиц |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2067077C1 (ru) * | 1994-01-26 | 1996-09-27 | Бардаханов Сергей Прокопьевич | Способ получения ультрадисперсной двуокиси кремния, устройство для его осуществления и ультрадисперсная двуокись кремния |
| US6746510B2 (en) * | 2001-04-02 | 2004-06-08 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Processing of nanocrystalline metallic powders and coatings using the polyol process |
| WO2004070067A2 (en) * | 2003-01-31 | 2004-08-19 | Bruce Ralph W | Microwave assisted continuous synthesis of manocrystalline powders and coatings using the polyol process |
| RU2252817C1 (ru) * | 2003-12-23 | 2005-05-27 | Институт проблем химической физики Российской Академии наук | Установка и способ получения нанодисперсных порошков в плазме свч разряда |
| RU2455061C2 (ru) * | 2010-10-06 | 2012-07-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" | Способ получения нанодисперсных порошков в плазме свч-разряда и устройство для его осуществления |
| RU2532749C9 (ru) * | 2013-07-01 | 2015-01-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физического материаловедения Сибирского отделения Российской академии наук | Способ получения наноразмерных слоев углерода со свойствами алмаза |
-
2016
- 2016-02-02 RU RU2016103172A patent/RU2614714C1/ru active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2067077C1 (ru) * | 1994-01-26 | 1996-09-27 | Бардаханов Сергей Прокопьевич | Способ получения ультрадисперсной двуокиси кремния, устройство для его осуществления и ультрадисперсная двуокись кремния |
| US6746510B2 (en) * | 2001-04-02 | 2004-06-08 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Processing of nanocrystalline metallic powders and coatings using the polyol process |
| WO2004070067A2 (en) * | 2003-01-31 | 2004-08-19 | Bruce Ralph W | Microwave assisted continuous synthesis of manocrystalline powders and coatings using the polyol process |
| RU2252817C1 (ru) * | 2003-12-23 | 2005-05-27 | Институт проблем химической физики Российской Академии наук | Установка и способ получения нанодисперсных порошков в плазме свч разряда |
| RU2455061C2 (ru) * | 2010-10-06 | 2012-07-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" | Способ получения нанодисперсных порошков в плазме свч-разряда и устройство для его осуществления |
| RU2532749C9 (ru) * | 2013-07-01 | 2015-01-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физического материаловедения Сибирского отделения Российской академии наук | Способ получения наноразмерных слоев углерода со свойствами алмаза |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2727958C1 (ru) * | 2019-07-10 | 2020-07-28 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Федеральный исследовательский центр "Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук" | Способ получения облака заряженных частиц |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102314170B1 (ko) | 듀얼 소스 사이클론 플라스마 반응기를 사용하여 유리 뱃치를 처리하는 방법 및 장치 | |
| US11638958B2 (en) | Process and apparatus for producing powder particles by atomization of a feed material in the form of an elongated member | |
| JP6590203B2 (ja) | 微粒子製造装置及び微粒子製造方法 | |
| JP5589168B2 (ja) | 金ナノ粒子およびその分散液、金ナノ粒子の製造方法、ナノ粒子製造システム | |
| JP5362614B2 (ja) | 一酸化珪素微粒子の製造方法および一酸化珪素微粒子 | |
| RU2614714C1 (ru) | Способ получения наноразмерных порошков элементов и их неорганических соединений и устройство для его осуществления | |
| Zeng et al. | Effect of central gas velocity and plasma power on the spheroidizing copper powders of radio frequency plasma | |
| Vodop’yanov et al. | Production of nanopowders by the evaporation–condensation method using a focused microwave radiation | |
| TWI471266B (zh) | 碳化物微粒子之製造方法 | |
| Samokhin et al. | Production of WO3 tungsten oxide nanopowders by evaporation-condensation process using focused 24-GHz microwave radiation | |
| Ivashchenko et al. | Laser-Induced-Electro-Explosion Synthesis of Powder Materials (LIEES) | |
| Chen et al. | Low–power plasma torch method for the production of crystalline spherical ceramic particles | |
| KR101724359B1 (ko) | 실리콘 나노 분말의 제조방법 및 실리콘 나노 분말을 제조하기 위한 rf 열플라즈마 장치 | |
| Kharkova et al. | Laser synthesis of a weakly agglomerated aluminium oxide nanopowder doped with terbium and ytterbium | |
| WO2014154430A1 (de) | Herstellung von silicium enthaltenden nano- und mikrometerskaligen partikeln | |
| Chang et al. | Fabrication and process analysis of anatase type TiO2 nanofluid by an arc spray nanofluid synthesis system | |
| CN217018606U (zh) | 一种磁旋转弧等离子体球化装置 | |
| JP6912553B2 (ja) | レーザアブレーションによる金属ナノコロイド生成方法 | |
| RU2362652C1 (ru) | Способ получения ультрадисперсных порошков | |
| JP6551851B2 (ja) | 微粒子製造装置及び微粒子製造方法 | |
| Seo et al. | Direct synthesis of nano-sized glass powders with spherical shape by RF (radio frequency) thermal plasma | |
| Samokhin et al. | Processing of Tungsten Nanopowder into a Micropowder Consisting of Spherical Particles | |
| RU2643287C2 (ru) | Способ получения нанопорошка соединений и смесевых составов и устройство для его реализации | |
| Chivel | High Efficient Industrial Laser Methods for Producing Powders | |
| RU2782748C1 (ru) | Способ сфероидизации металлических микропорошков СВЧ излучением |