RU2686749C1 - Вакуумно-дуговой способ нанесения покрытия на рабочее колесо циркуляционного насоса - Google Patents
Вакуумно-дуговой способ нанесения покрытия на рабочее колесо циркуляционного насоса Download PDFInfo
- Publication number
- RU2686749C1 RU2686749C1 RU2018133945A RU2018133945A RU2686749C1 RU 2686749 C1 RU2686749 C1 RU 2686749C1 RU 2018133945 A RU2018133945 A RU 2018133945A RU 2018133945 A RU2018133945 A RU 2018133945A RU 2686749 C1 RU2686749 C1 RU 2686749C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- wheel
- coating
- chamber
- arc
- carried out
- Prior art date
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 49
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract description 13
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 10
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 9
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 claims description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 3
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract description 5
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract description 5
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 abstract description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 5
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 abstract description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 7
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010037 TiAlN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010060 TiBN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910009043 WC-Co Inorganic materials 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Изобретение относится к способу вакуумно-дугового нанесения покрытий на рабочие колеса насосного оборудования парогазовых установок и может быть использовано в энергетическом турбостроении для защиты насосного и компрессорного оборудования от солевой и газовой коррозии. Колесо обезжиривают, промывают, устанавливают в камеру, производят его ионную очистку. Производят вакуумирование камеры, ее нагрев, нанесение покрытия. Колесо устанавливают на вращающуюся карусель, а два дуговых испарителя размещают под углом 60° к плоскости карусели. Перед нанесением покрытия проводят дополнительную обработку поверхности колеса ионами металлов в атмосфере аргона, а последующее нанесение покрытия проводят при вращении колеса. Используют материал испарителя, который содержит алюминий, хром, молибден, бор и титан. Техническим результатом изобретения является повышение качества покрытий, повышение стойкости к газоабразивной и капельно-ударной эрозии, коррозионной стойкости, снижение размера зерен покрытия и коэффициента сухого трения. 4 з.п. ф-лы, 1 пр.
Description
Изобретение относится к нанесению покрытий вакуумным испарением и может быть использовано в энергетическом турбостроении для защиты насосного и компрессорного оборудования от солевой и газовой коррозии, кавитации, газоабразивной и капельно-ударной эрозии, в частности, для нанесения покрытия на рабочие колеса насосного оборудования парогазовых установок (ПТУ).
Известен способ нанесения покрытия системы Ti-Cr-Al на изделия, характеризующийся тем, что нанесение покрытия производится методом вакуумно-дугового испарения при следующем содержании компонентов покрытия, мас. %: титан 52-56, хром 26-28, алюминий 16-20.
(RU 2013144837, С223С 14/00, опубликовано 27.04.2015).
Недостатком известного способа является отсутствие сведений об условиях и режимах его осуществления, поскольку при формировании известного покрытия большой толщины образуется значительное количество капельной фазы, ухудшающей механические свойства покрываемых деталей, в частности, кавитационную стойкость покрытия.
Известен вакуумно-дуговой способ нанесения PVD-покрытия, включающий очистку изделия, сушку, нагрев изделия, нанесение множества покрытий, содержащих титан, кремний, алюминий, цирконий, хром и бор, и охлаждение, причем известными указаны покрытия толщиной до 20 мкм, содержащие сочетания следующих компонентов: TiAlN, TiAlCN, TiAlSiN, CrAlN, AlCrSiN, TiBN.
(CN 108103505, C23C 14/06, C23C1 6/32, опубликовано 01.06.2018).
Наиболее близким по технической сущности является способ получения многослойного PVD-покрытия, включающего в себя, по меньшей мере, один слой, содержащий Si, В, N и металл, выбранный из группы, включающей Al, Cr и Ti, а также, по меньшей мере, один слой, содержащий Si, В, N, О и, по меньшей мере, один металл, выбранный из группы, включающей Al, Cr и Ti. Толщина слоев составляет 5 нм-50000 нм. Покрытие наносят на изнашиваемую часть турбины, шестерню или поршень. Из описания известен слой, содержащий азот и, по меньшей мере, один элемент из группы: Al, Cr, Mo, Ti, В. Известная последовательность нанесения покрытия включает нагрев изделия до температуры 100-1000°С, ионную очистку, нанесение первого PVD-слоя, состава Al40Cr30 или TiAlSiN с использованием дуговых испарителей - катодов диаметром 100 мм при токах разряда 30-200 А и давлении 1-10 Па.
(ЕР 1783245, С23С 14/14, С23С 14/24, опубликовано 09.05.2007).
Недостатком известных способов, включающих нанесение многослойных покрытий, является сложность их осуществления, а также невозможность исключить образование капельной фазы в каждом из формируемых слоев, что неизбежно отражается на качестве последующего слоя покрытия и приводит к снижению качества конечного покрытия.
Задачей и техническим результатом изобретения является повышение качества покрытий получаемых вакуумно-дуговым способом, в частности, повышение стойкости к газоабразивной и капельно-ударной эрозии, коррозионной стойкости, снижение размера зерен покрытия и коэффициента сухого трения.
Технический результат достигают тем, что вакуумно-дуговой способ нанесения покрытия на рабочее колесо циркуляционного насоса, включает обезжиривание, промывки в холодной и горячей воде, установку колеса в камеру, установку дуговых испарителей, вакуумирование камеры, нагрев, ионную очистку, нанесение покрытия, охлаждение и выгрузку, отличающийся тем, что колесо устанавливают на вращающуюся карусель, устанавливают два дуговых испарителя диаметром 150 мм и толщиной 28 мм под углом 60° к плоскости карусели, перед нанесением покрытия проводят дополнительную обработку поверхности колеса ионами металлов в течение 5-8 мин при температуре 550±10°С в атмосфере аргона при давлении (5±1)⋅10-1 Па, напряжении смещения 900±10 В и токе дуговых испарителей менее 50 А, а последующее нанесение покрытия проводят при вращении колеса при напряжении смещения 200±10 В и токе дуговых испарителей 102±8 А в течение 55±0,1 мин, причем материал испарителя содержит алюминий, хром, молибден, бор и титан при следующем соотношением компонентов, мас. %: алюминий 14-19, хром 24-26, молибден 4-7, бор 3-5, титан – остальное.
Технический результат также достигают тем, что после вакуумирования камеры до давления (2000±5)⋅10-5 Па проводят нагрев элементов камеры и колесо до температуры 150-200°С; ионную очистку проводят в течение 20±0,5 мин в атмосфере аргона при давлении на уровне (5±1)⋅10-1 при напряжении электрического смещения на колесе 900±10 В и напряжение на ионном источнике 1500±10 В; нанесение покрытия проводят при вращении карусели с колесом со скорость 2-3 об/мин; охлаждение колеса с покрытием проводят напуском в камеру азота в течение 40 мин.
Изобретение можно проиллюстрировать следующим примером.
Покрытие наносят на рабочее колесо водяного циркуляционного насоса с лопатками из стали 10Х18Н12М3Л.
Процесс нанесения включает:
- обезжиривание в ультразвуковой ванне;
- промывки в холодной и горячей воде;
- монтаж колеса на карусель вакуумной камеры;
- установку испарителей-катодов, прогрев и откачку вакуумной камеры;
- ионную очистку поверхности колеса;
- дополнительную очистку;
- нанесение покрытия;
- охлаждение и выгрузку.
Обезжиривание поверхности колеса проводят в ультразвуковой ванне с использованием моющего средства, например, «ТОР-ХС» при температуре 55±4°С, в течение 20±1 мин.
Промывки проводят поочередно проточной горячей и холодной водой в ванне в течение 2±0,5 минут. Оптимальные температуры для горячей воды 45-55°С, для холодной воды – 20-35°С.
После сушки для нанесения покрытия колесо устанавливают в вакуумную камеру на вращающуюся карусель и два торцевых дуговых испарителя диаметром 150 мм и толщиной 28 мм под углом 60° к плоскости карусели. Затем камеру вакуумируют до давления (2000±5)⋅10-5 Па и проводят нагрев элементов камеры, колесо и испарители до температуры 150-200°С.
После этого поверхность колеса подвергают ионной очистке (травлению) в газовом разряде. Для этого устанавливали давление аргона в камере на уровне (5±1)⋅10-1. Задают напряжение электрического смещения на обрабатываемом колесе 900±10 В. Напряжение на ионном источнике устанавливают 1500±10 В и проводят обработку в течение 20±0,5 мин.
Затем устанавливают температуру в камере 550±10°С, проводят в атмосфере аргона при давлении (5±1)⋅10-1 дополнительную обработку (бомбардировку) поверхности колеса ионами металлов испарителя в течение 5-8 мин, напряжении смещения 900±10 В и токе дуговых испарителей менее 50 А.
Последующее нанесение покрытия проводят при вращении карусели с колесом со скоростью 2-3 об/мин при напряжении смещения 200±10 В и токе дуговых испарителей 102±8 А в течение 55±0,1 мин.
Для нанесения покрытия используют материал испарителя, содержащий алюминий, хром, молибден, бор и титан при следующем соотношением компонентов, мас. %: алюминий 14-19, хром 24-26, молибден 4-7, бор 3-5, титан – остальное. При этом наиболее оптимальным является использование торцевых испарителей-катодов с температурой поверхности 90-200°С при движении катодного пятна по их поверхности со скоростью более 15 м/с, которое устанавливают тангенциальным к поверхности испарителя магнитным полем более 13,7 мТл с помощью магнитных катушек.
После этого проводят охлаждение колеса с покрытием напуском в камеру азота в течение 40 мин и осуществляют выгрузку готового изделия.
Режимы предварительной обработки поверхности под наносимое покрытие и условия охлаждения изделия с покрытием являются оптимальными и обеспечивают высокое качество сцепления наносимого покрытия с подложкой.
Использование двух дуговых испарителей, их размеры и геометрия размещения, относительно изделия, а также условия и режимы нанесение покрытия, обеспечивают получение более равномерного бездефектного покрытия с более мелким размером зерен и снижают образование капельной фазы, что повышает стойкость покрытия к газоабразивной и капельно-ударной эрозии.
Состав материала испарителей, включающий алюминий, хром, молибден, бор и титан, обеспечивает максимальную адгезию покрытия к материалу подложки из стали, в частности, стали 10Х18Н12М3Л.
Покрытие, полученное способом по изобретению, обеспечивает, в сравнении с известными покрытиями системы Ti-Cr-Al, снижение капельной фазы в покрытии, получение размеров зерен в покрытии менее 50 нм, коэффициент сухого трения в паре с контртелом из WC-Co менее 0,9, увеличивает стойкость к газоабразивной и капельно-ударной эрозии в 1,2 раза и обеспечивает полную защиту изделия от межкристаллитной коррозии в условиях воздействия агрессивно среды.
Claims (5)
1. Способ вакуумно-дугового нанесения покрытия на рабочее колесо циркуляционного насоса, включающий обезжиривание поверхности колеса, промывку колеса в холодной и горячей воде, установку в камеру колеса и дуговых испарителей, вакуумирование камеры, нагрев камеры, колеса и испарителей, ионную очистку поверхности колеса, нанесение покрытия, охлаждение и выгрузку колеса, отличающийся тем, что колесо устанавливают на вращающуюся карусель, а два дуговых испарителя диаметром 150 мм и толщиной 28 мм устанавливают под углом 60° к плоскости карусели, при этом перед нанесением покрытия проводят дополнительную обработку поверхности колеса ионами металлов в течение 5-8 мин при температуре 550±10°С в атмосфере аргона при давлении (5±1)⋅10-1 Па, напряжении смещения 900±10 В и токе дуговых испарителей менее 50 А, а последующее нанесение покрытия проводят при вращении колеса при напряжении смещения 200±10 В и токе дуговых испарителей 102±8 А в течение 55±0,1 мин, причем используют материал испарителя, содержащий алюминий, хром, молибден, бор и титан при следующем соотношении компонентов, мас.%: алюминий 14-19, хром 24-26, молибден 4-7, бор 3-5, титан – остальное.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что после вакуумирования камеры до давления (2000±5)⋅10-5 Па проводят нагрев элементов камеры и колеса до температуры 150-200°С.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что ионную очистку проводят в течение 20±0,5 мин в атмосфере аргона при давлении (5±1)⋅10-1 Па при напряжении электрического смещения на колесе 900±10 В и напряжение на ионном источнике 1500±10 В.
4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что нанесение покрытия проводят при вращении карусели с колесом со скоростью 2-3 об/мин.
5. Способ по п. 1, отличающийся тем, что охлаждение колеса с покрытием производят напуском в камеру азота в течение 40 мин.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018133945A RU2686749C1 (ru) | 2018-09-26 | 2018-09-26 | Вакуумно-дуговой способ нанесения покрытия на рабочее колесо циркуляционного насоса |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018133945A RU2686749C1 (ru) | 2018-09-26 | 2018-09-26 | Вакуумно-дуговой способ нанесения покрытия на рабочее колесо циркуляционного насоса |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2686749C1 true RU2686749C1 (ru) | 2019-04-30 |
Family
ID=66430513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2018133945A RU2686749C1 (ru) | 2018-09-26 | 2018-09-26 | Вакуумно-дуговой способ нанесения покрытия на рабочее колесо циркуляционного насоса |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2686749C1 (ru) |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1783245A1 (de) * | 2005-11-04 | 2007-05-09 | METAPLAS IONON Oberflächenveredelungstechnik GmbH | Schichtsystem zur Bildung einer Oberflächenschicht auf einer Oberfläche eines Substrats, Beschichtungsverfahren und Substrat mit einem Schichtsystem |
| RU2392351C2 (ru) * | 2008-08-13 | 2010-06-20 | Государственное образовательное учреждение Высшего профессионального образования "Томский государственный университет" | Способ нанесения антифрикционного износостойкого покрытия на изделие из металла или сплава |
| RU2409703C1 (ru) * | 2009-08-03 | 2011-01-20 | Государственное образовательное учреждение Высшего профессионального образования "Томский государственный университет" | Способ нанесения покрытий в вакууме на изделия из электропроводных материалов и диэлектриков |
| US20120006785A1 (en) * | 2006-05-17 | 2012-01-12 | Vladimir Gorokhovsky | Wear Resistant Vapor Deposited Coating, Method of Coating Deposition and Applications Therefor |
| RU2494172C1 (ru) * | 2012-08-07 | 2013-09-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Казанский национальный исследовательский технологический университет" (ФГБОУ ВПО "КНИТУ") | Способ получения износостойкого покрытия |
| RU2013144837A (ru) * | 2013-10-07 | 2015-04-27 | Открытое акционерное общество "Научно-производственное объединение "Центральный научно-исследовательский институт технологии машиностроения (ОАО НПО ЦНИИТМАШ)" | СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ НА ИЗДЕЛИЯ ПОКРЫТИЯ СИСТЕМЫ Ti-Cr-Al |
| RU2662516C1 (ru) * | 2017-07-21 | 2018-07-26 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Способ получения износостойкого градиентного покрытия системы ti-al на стальной детали в вакууме |
-
2018
- 2018-09-26 RU RU2018133945A patent/RU2686749C1/ru active IP Right Revival
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1783245A1 (de) * | 2005-11-04 | 2007-05-09 | METAPLAS IONON Oberflächenveredelungstechnik GmbH | Schichtsystem zur Bildung einer Oberflächenschicht auf einer Oberfläche eines Substrats, Beschichtungsverfahren und Substrat mit einem Schichtsystem |
| US20120006785A1 (en) * | 2006-05-17 | 2012-01-12 | Vladimir Gorokhovsky | Wear Resistant Vapor Deposited Coating, Method of Coating Deposition and Applications Therefor |
| RU2392351C2 (ru) * | 2008-08-13 | 2010-06-20 | Государственное образовательное учреждение Высшего профессионального образования "Томский государственный университет" | Способ нанесения антифрикционного износостойкого покрытия на изделие из металла или сплава |
| RU2409703C1 (ru) * | 2009-08-03 | 2011-01-20 | Государственное образовательное учреждение Высшего профессионального образования "Томский государственный университет" | Способ нанесения покрытий в вакууме на изделия из электропроводных материалов и диэлектриков |
| RU2494172C1 (ru) * | 2012-08-07 | 2013-09-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Казанский национальный исследовательский технологический университет" (ФГБОУ ВПО "КНИТУ") | Способ получения износостойкого покрытия |
| RU2013144837A (ru) * | 2013-10-07 | 2015-04-27 | Открытое акционерное общество "Научно-производственное объединение "Центральный научно-исследовательский институт технологии машиностроения (ОАО НПО ЦНИИТМАШ)" | СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ НА ИЗДЕЛИЯ ПОКРЫТИЯ СИСТЕМЫ Ti-Cr-Al |
| RU2662516C1 (ru) * | 2017-07-21 | 2018-07-26 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Способ получения износостойкого градиентного покрытия системы ti-al на стальной детали в вакууме |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103805996A (zh) | 一种金属材料表面先镀膜再渗氮的复合处理方法 | |
| CN103572220B (zh) | 一种氮化钛铝铌氮梯度硬质反应膜的制备方法 | |
| CN108130533A (zh) | 一种具有高抗磨耐蚀硬密封球阀及制备方法 | |
| US12447535B2 (en) | Coated cutting tool and preparation method thereof | |
| CN101705471A (zh) | 一种氮化铬钛铝氮梯度硬质反应膜的制备方法 | |
| CN107338409B (zh) | 可调控磁场电弧离子镀制备氮基硬质涂层的工艺方法 | |
| GB2226334A (en) | Multilayer coatings | |
| JP6243796B2 (ja) | ダイヤモンドライクカーボン膜の成膜方法 | |
| CN108531874A (zh) | 一种CrAlN/TiAlN纳米多层硬质涂层的制备方法 | |
| KR101680864B1 (ko) | 내식성 금속 산화물층이 도입된 철계 기재의 세라믹 코팅방법 | |
| RU2686749C1 (ru) | Вакуумно-дуговой способ нанесения покрытия на рабочее колесо циркуляционного насоса | |
| CN110284099A (zh) | 一种在twip汽车用冷轧钢板表面镀铝的方法 | |
| TW201305356A (zh) | 鍍膜件及其製備方法 | |
| RU2689474C1 (ru) | Способ получения покрытия на основе интерметаллидов системы ti-al, синтезированного в среде азота | |
| CN106048539A (zh) | 一种金属钛铝氮化物复合硬质膜的制备方法 | |
| CN103556119B (zh) | 一种氮化钛锆铌氮梯度硬质反应膜的制备方法 | |
| RU2599073C1 (ru) | Способ ионно-плазменного нанесения многослойного покрытия на изделия из алюминиевых сплавов | |
| CN103057205B (zh) | 一种氮化钛纳米多层涂层叶轮及其制备方法 | |
| CN114990509B (zh) | 一种中熵合金涂层的强化方法 | |
| CN104328384A (zh) | 一种氮化钛铝锆铌氮梯度硬质反应膜的制备方法 | |
| KR20120129445A (ko) | 내산화성 내마모성의 복합 다층 코팅층 제조. | |
| KR20140057227A (ko) | 도금 강판 및 이의 제조방법 | |
| RU2515714C1 (ru) | Способ нанесения нанокомпозитного покрытия на поверхность стального изделия | |
| RU2677043C1 (ru) | Способ получения износостойкого покрытия на основе интерметаллида системы Ti-Al | |
| CN108441834B (zh) | 机床的传动元件表面进行金刚石涂层的方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20200927 |
|
| NF4A | Reinstatement of patent |
Effective date: 20211012 |