RU2684335C2 - Консольное устройство для горизонтальной бесконтактной загрузки полупроводниковых пластин в диффузионную печь - Google Patents
Консольное устройство для горизонтальной бесконтактной загрузки полупроводниковых пластин в диффузионную печь Download PDFInfo
- Publication number
- RU2684335C2 RU2684335C2 RU2017131177A RU2017131177A RU2684335C2 RU 2684335 C2 RU2684335 C2 RU 2684335C2 RU 2017131177 A RU2017131177 A RU 2017131177A RU 2017131177 A RU2017131177 A RU 2017131177A RU 2684335 C2 RU2684335 C2 RU 2684335C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cantilever
- console
- horizontal
- loading
- fixed
- Prior art date
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 29
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 21
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 13
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101000651298 Homo sapiens TRAF-interacting protein with FHA domain-containing protein A Proteins 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 102100027651 TRAF-interacting protein with FHA domain-containing protein A Human genes 0.000 description 1
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D3/00—Charging; Discharging; Manipulation of charge
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Изобретение относится к консольному устройству для горизонтальной бесконтактной загрузки полупроводниковых пластин в диффузионную печь. Устройство содержит трубчатую консоль для загрузки кассет с полупроводниковыми пластинами и подвижный в горизонтальном направлении механизм перемещения консоли, закрепленной с одной его стороны, при этом механизм перемещения консоли выполнен в виде платформы, закрепленной с возможностью перемещения по горизонтальным направляющим, выполненным в виде цилиндрических труб, которые закреплены траверсой с одной стороны к вертикальным стойкам, а с другой стороны - к основанию диффузионной печи, и снабжен шаговым двигателем, толкателем с отдельной направляющей для его перемещения и крючком для зацепления с консолью через выполненное в ней отверстие, при этом консоль закреплена в подвешенном состоянии с возможностью управления положением консоли в вертикальной плоскости посредством неподвижной опоры с одной стороны, подвижной опоры с другой стороны, ручки и расположенных на заданном расстоянии друг от друга составных колец, которыми укомплектованы упомянутые опоры, и в трубчатой консоли со стороны загрузки выполнен горизонтальный вырез на 1/4-1/3 диаметра трубы консоли, размер которого соответствует длине кассеты с полупроводниковыми пластинами. Обеспечивается повышение надежности бесконтактной загрузки полупроводниковых пластин в горизонтальную печь для термической обработки пластин и выравнивание давлении потока газов вдоль рабочей зоны за счет съемной заглушки и отверстий в нерабочей части консоли. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.
Description
Консольное устройство для горизонтальной бесконтактной загрузки полупроводниковых пластин в диффузионную печь
Область технологии, к которой относится изобретение
Изобретение «Консольное устройство для горизонтальной безконтактной загрузки полупроводниковых пластин в диффузионную печь» относится к области технологии изготовления полупроводниковых микросхем, в частности групповым операциям термических обработок в горизонтальных термических печах.
Раскрытие сущности изобретения
Современный технологический цикл изготовления микросхем включает несколько групповых операций, связанных с доставкой пакета кремниевых пластин в высокотемпературную термическую Т=500-1200°С. Это и операции диффузионного легирования, термического окисления кремния или поликремния, осаждения диэлектрических и металлизированных слоев из газовой фазы. Промышленный вариант доставки с полупроводниковыми пластинами в диффузионную печь - горизонтальный: путем постепенного заталкивания кассеты из зоны загрузки в высокотемпературную зону.
Перемещение пакета пластин происходит в два этапа. На предварительном первом этапе подача пластин производится автоматически металлическим толкателем с крючком, попадающим в паз кассеты-подложкодержателя в рабочей зоне оператора при комнатной температуре по специальной плоской подставке. Когда кассета с пластинами вдвинется в кварцевую рабочую трубу, происходит автоматическое отклонение металлического толкателя и опускание кварцевого толкателя в управляющий паз кассеты с пластинами. После этого происходит горизонтальное вдвижение пакета кремниевых пластин на подложкодержателе по нижней поверхности кварцевого реактора в высокотемпературную рабочую зону. Подача реактивных газов в рабочую зону (кислорода, аргона, паров воды, азота) кварцевого или кремниевого реактора происходит из блока распределения в горизонтальном направлении, в т.ч. с добавками хлорсодержащих очищающих компонентов.
Недостатком типового загрузчика является появление механических загрязнений, возникающих по причине трения кварцевой кассеты с пластинами о поверхность рабочей кварцевой трубы.
Известны промышленные горизонтальные диффузионные печи для групповой термической обработки пластин кантилеверного (балочного) типа производственного цикла изготовления полупроводниковых приборов и солнечных элементов компаний SVCS (Чехия) [1].
Размер пластин: 50 мм, 75 мм, 100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм.
Загрузка пластин 100 и более.
Отклонение конца балки кантилевера (балочной структуры) (консоли) δ в зависимости от свойств материала, его геометрических размеров и нагрузки а определяет формула Стони [2]:
где ν - коэффициент Пуассона, Е - модуль Юнга, L - длина балки, t - толщина балки кантилевера.
Соотношение относится к случаю закрепления кантилевера по одной из крайних плоскостей.
Детальные разработки кантилеверных, или точнее консольных, горизонтальных загрузчиков полупроводниковых пластин учитывают, прежде всего, выбор материала (кварц, кремний, карбид кремния) и не затрагивают способы крепления его в перемещающем блоке.
Одним из стандартных вариантов консольного автозагрузчика полупроводниковых пластин является загрузчик в составе модульной V-CVD диффузионной печи для осаждения пленок диэлектриков (окисла и нитрида кремния) и поликремния и представляет собой продольную балочную структуру (на Фиг. 1 [3] под №48), на которую размещаются кремниевые пластины. Пластины после размещения их в пазах балочной структуры на первоначальном этапе загружаются в рабочую зону при отсутствии ее контакта с поверхностью реактора. Крепление консоли происходит по фиксированной плоскости со стороны ее нерабочего края, а перемещение консоли обеспечивается движением автопогрузчика (на Фиг. 1 [3] под №46).
Техническое решение относится к горизонтальной V-CVD системе в целом и ее недостатком можно считать возникающие критические механические напряжения на излом в месте крепления консоли, что может нарушить ее механическую целостность. Другим недостатком загрузчика является то, что он ориентирован только на V-CVD реактор с вертикальной подачей газовых реагентов в зоне реакции. В диффузионной печи с горизонтальной подачей газовых реагентов подобное размещение пластин не обеспечивает управление газовой динамикой вдоль рабочей зоны.
Система консольного диффузионного погрузчика с направляющей прорезью для загрузки кассет с пластинами предложена J.S. Whang, A.F. Wollman в [4].
Патентуется консольный погрузчик в диффузионную печь с механизмом переноса в него кассет с полупроводниковыми пластинами в виде кварцевой трубы с удлиненным пазом в нижней части от открытого конца трубки консольного до заданной области, в которой расположены лодочки, примыкающие друг к другу, и герметичной крышкой до удлиненного паза. Механизм, поддерживающий кассету в системе переноса, перемещает ее к удлиненному пазу в открытой части консольной трубы. Кассета вдвигается механизмом в консольную трубу и опускает ее на нижнюю внутреннюю поверхность консоли со стороны удлиненного паза. Процедура повторяется для последующих кассет, каждая из которых упирается в предыдущую в консольной трубке. Акцент в решении делается на размещении кассеты в консоль бесконтактного загрузчика. Однако из описания и рисунка видно, что также как в предыдущем случае крепление консоли происходит по фиксированной плоскости со стороны нерабочего края (на Фиг. 1 [4] под №24), а горизонтальное перемещение консоли с пластинами происходит за счет автоматического движения держателя (на Фиг. 1 [4] под №6).
Преимуществом системы является удобный механизм в движения кассеты с пластинами в трубчатую консоль. Недостатком системы бесконтактной загрузки пластин является, также как в предыдущем случае значительные напряжения в месте крепления консоли в механизме его передвижения в диффузионную трубу.
Наиболее близким техническим решением к настоящему изобретению является устройство для горизонтальной загрузки полупроводниковых пластин в диффузионную печь, предложенное A.F. Wollmann [5], которое включает в себя кварцевую консольную трубку (на Фиг. 2А, В [5] под №2), закрепленную с одной стороны в механизме переноса (на Фиг. 2А, В [5] под №6), подвижном в горизонтальном направлении механизме. Кассета (на Фиг. 2А, В [5] под №12) с полупроводниковыми пластинами (на Фиг. 2А, В [5] под №11) загружается в консольную трубку 6 через окно. Затем механизм переноса передвигает консольную трубку и пластины в диффузионную камеру (на Фиг. 2А, В [5] под №16). Газ-реагент подается в консольный загрузчик между нагретыми пластинами и выходит за ее пределы. Устройство коаксиально выровнено с рабочей кварцевой трубой диффузионной печи (на Фиг. 2А, В [5] под №17). Опорный конец консольной трубки герметизирован кварцевой пластиной, через которую проходит газовая трубка для подачи реагентов. Механизм переноса вдвигает консольный загрузчик с пластинами в диффузионную трубу. Затем в консольной трубке между полупроводниковыми пластинами пропускают газ для продувки. После этого консольная трубка выводится из диффузионной печи при пропускании потока продувочного газа таким образом, чтобы избежать чрезмерного термического удара и попадания загрязнений из воздуха.
Задачу по бесконтактной загрузке кассет с полупроводниковыми пластинами в консольном загрузчике в диффузионную печь, поставленную перед собой, автор выполнил. Однако основным недостатком общего конструктивного решения консольного загрузчика является то, что кварцевая (кремниевая, карбид кремниевая) практически цельная консоль крепится в фиксированной плоскости механизма перемещения с нерабочей стороны. В результате возникают значительные механические нагрузки на излом в месте крепления.
Формула Стони позволяет выполнить сравнительную оценку прототипа и предлагаемого изобретения при одинаковых геометрических размерах и материале консоли (кварц, кремний, карбид кремния).
Основной параметр в соотношении Стони, который может относиться к геометрическим характеристикам места закрепления - механическое нагрузка о на консоль. Увеличение площади крепления консоли на платформе на порядок позволяет снизить нагрузку на консоль более чем на порядок.
Краткое описание чертежей
Фиг. 1. Консольное устройство для горизонтальной бесконтактной загрузки полупроводниковых пластин в диффузионную печь с передвижной платформой, удерживающей консоль и позволяющей увеличить горизонтальную плоскость ее крепления (посадки) и механические нагрузки на излом в 5-10 раз.
Фиг. 2. Конфигурация консоли с вырезом на 1/4-1/3 диаметра со стороны загрузки кассет с полупроводниковыми пластинами, с горизонтальным размером близким к длине кассеты.
Пример осуществления предлагаемого изобретения
Принцип действия устройства иллюстрирует Фиг. 1.
Консольное устройство для горизонтальной бесконтактной загрузки включает в себя механизм перемещения 2, 3 с консолью 1 на горизонтальных направляющих в виде цилиндрических труб 8, которые крепятся траверсой 6 с одной стороны к вертикальным стойкам 5, а с другой стороны к основанию диффузионной печи 7. Стойки 5 в свою очередь крепятся вертикально к полу, потолку или стенам помещения. Платформа 2 механизма перемещения, закрепляющая и перемещающая консоль 1, фиксируется и движется по горизонтальным направляющим 8. К платформе консоль крепится с одной стороны неподвижной 3, с другой стороны подвижной 4 опорами для управления ее положением в вертикальной плоскости с помощью ручки 10. Опоры комплектуются составными кольцами 9 для крепления консоли в подвешенном состоянии таким образом, чтобы нагрузки на излом в местах крепления консоли в месте крепления были минимальными.
Загрузка кассет с пластинами происходит вручную или автоматически в вырезанной части консоли.
Горизонтальное перемещение механизма с платформой и консолью производится толкателем13, двигающегося по отдельной направляющей 12 с крючком 14, попадающим в отверстие консоли 15 и управляющим блоком электрического двигателя 11.
1. Консольное устройство для горизонтальной бесконтактной загрузки полупроводниковых пластин в диффузионную печь, включающее в себя механизм перемещения для крепления консоли, отличающееся тем, что с целью снижения механических нагрузок в месте крепления консоли, платформа расширена, а консоль крепится двумя кольцами, находящимися на определенном расстоянии друг от друга, платформа с консолью перемещается по горизонтальным направляющим с использованием шагового двигателя внешним толкателем в виде крючка, вертикально вводимого в отверстие консоли в момент загрузки и расположенного на расчетном расстоянии с использованием шагового двигателя, обеспечивающего горизонтальное перемещение конструкции.
2. Консольное устройство для горизонтальной бесконтактной загрузки полупроводниковых пластин в диффузионную печь по п. 1, отличающаяся тем, что с целью обеспечения удобства загрузки пластин и уменьшения массы, ее конфигурацию изменяют со стороны загрузки и делают в трубе консоли горизонтальный вырез на 1/4-1/3 диаметра с горизонтальным размером близким к длине кассеты с полупроводниковыми пластинами.
Краткое описание чертежей
Фиг. 1. Консольное устройство для горизонтальной бесконтактной загрузки полупроводниковых пластин в диффузионную печь с передвижной платформой, удерживающей консоль и позволяющей увеличить горизонтальную плоскость ее крепления (посадки) и механические нагрузки на излом в 5-10 раз.
Фиг. 2. Конфигурация консоли с вырезом на 1/4-1/3 диаметра со стороны загрузки кассет с полупроводниковыми пластинами, с горизонтальным размером близким к длине кассеты.
Литература:
[1] Безконтактная полностью автоматическая система загрузки полупроводниковых пластин кантилеверного типа в составе SVCS диффузионной печи. Материалы 5 международной выставки оборудования. материалов и технологии для полупроводниковой промышленности «Semicon Russia-2014» Каталог.
[2] С.П. Тимошенко. Устойчивость стержней, пластин и оболочек. М.: Наука, 1971. - С. 670-730
[3] Патент ЕР 0148697 A. Sarkozy, Robert R. Modular V-CVD diffusion furnace. Приоритет 16.11.84. Int C1. C23C 16/44).
[4] J.S. Whang, A.F. Wollmann. Patent US 4.543.059. Slotted cantilever diffusion tube system and method and apparatus for loading. Int. C1.4 F27D 3/00; F27B 9/14; F27B 5/02; F27D 5/00. Приоритет 24.09.1985.
[5] A.F. Wollmann. Patent US 4.526.534. Cantilever diffusion tube apparatus and method. Int. C1.3 F27D 3/00; F27D 7/00; F27B 9/04; F27B 3/22. Приоритет 02.07.1985.
Claims (2)
1. Консольное устройство для горизонтальной бесконтактной загрузки полупроводниковых пластин в диффузионную печь, содержащее трубчатую консоль для загрузки кассет с полупроводниковыми пластинами и подвижный в горизонтальном направлении механизм перемещения консоли, закрепленной с одной его стороны, отличающееся тем, что механизм перемещения консоли выполнен в виде платформы, закрепленной с возможностью перемещения по горизонтальным направляющим, выполненным в виде цилиндрических труб, которые закреплены траверсой с одной стороны к вертикальным стойкам, а с другой стороны - к основанию диффузионной печи, и снабжен шаговым двигателем, толкателем с отдельной направляющей для его перемещения и крючком для зацепления с консолью через выполненное в ней отверстие, при этом консоль закреплена в подвешенном состоянии с возможностью управления положением консоли в вертикальной плоскости посредством неподвижной опоры с одной стороны, подвижной опоры с другой стороны, ручки и расположенных на заданном расстоянии друг от друга составных колец, которыми укомплектованы упомянутые опоры.
2. Консольное устройство по п. 1, отличающееся тем, что в трубчатой консоли со стороны загрузки выполнен горизонтальный вырез на 1/4-1/3 диаметра трубы консоли, размер которого соответствует длине кассеты с полупроводниковыми пластинами.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017131177A RU2684335C2 (ru) | 2017-09-04 | 2017-09-04 | Консольное устройство для горизонтальной бесконтактной загрузки полупроводниковых пластин в диффузионную печь |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017131177A RU2684335C2 (ru) | 2017-09-04 | 2017-09-04 | Консольное устройство для горизонтальной бесконтактной загрузки полупроводниковых пластин в диффузионную печь |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2017131177A RU2017131177A (ru) | 2019-03-04 |
| RU2017131177A3 RU2017131177A3 (ru) | 2019-03-04 |
| RU2684335C2 true RU2684335C2 (ru) | 2019-04-08 |
Family
ID=65632508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2017131177A RU2684335C2 (ru) | 2017-09-04 | 2017-09-04 | Консольное устройство для горизонтальной бесконтактной загрузки полупроводниковых пластин в диффузионную печь |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2684335C2 (ru) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU744211A1 (ru) * | 1977-06-08 | 1980-06-30 | Предприятие П/Я А-7124 | Устройство дл перемещени |
| US4526534A (en) * | 1983-06-01 | 1985-07-02 | Quartz Engineering & Materials, Inc. | Cantilever diffusion tube apparatus and method |
| US4876225A (en) * | 1987-05-18 | 1989-10-24 | Berkeley Quartz Lab, Inc. | Cantilevered diffusion chamber atmospheric loading system and method |
| US4976612A (en) * | 1989-06-20 | 1990-12-11 | Automated Wafer Systems | Purge tube with floating end cap for loading silicon wafers into a furnace |
| US5409539A (en) * | 1993-05-14 | 1995-04-25 | Micron Technology, Inc. | Slotted cantilever diffusion tube system with a temperature insulating baffle system and a distributed gas injector system |
| US5530222A (en) * | 1992-06-15 | 1996-06-25 | Thermtec, Inc. | Apparatus for positioning a furnace module in a horizontal diffusion furnace |
-
2017
- 2017-09-04 RU RU2017131177A patent/RU2684335C2/ru active IP Right Revival
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU744211A1 (ru) * | 1977-06-08 | 1980-06-30 | Предприятие П/Я А-7124 | Устройство дл перемещени |
| US4526534A (en) * | 1983-06-01 | 1985-07-02 | Quartz Engineering & Materials, Inc. | Cantilever diffusion tube apparatus and method |
| US4876225A (en) * | 1987-05-18 | 1989-10-24 | Berkeley Quartz Lab, Inc. | Cantilevered diffusion chamber atmospheric loading system and method |
| US4976612A (en) * | 1989-06-20 | 1990-12-11 | Automated Wafer Systems | Purge tube with floating end cap for loading silicon wafers into a furnace |
| US5530222A (en) * | 1992-06-15 | 1996-06-25 | Thermtec, Inc. | Apparatus for positioning a furnace module in a horizontal diffusion furnace |
| US5409539A (en) * | 1993-05-14 | 1995-04-25 | Micron Technology, Inc. | Slotted cantilever diffusion tube system with a temperature insulating baffle system and a distributed gas injector system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2017131177A (ru) | 2019-03-04 |
| RU2017131177A3 (ru) | 2019-03-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9269638B2 (en) | Temperature detecting apparatus, substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device | |
| KR100817644B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
| US5775889A (en) | Heat treatment process for preventing slips in semiconductor wafers | |
| JP6208588B2 (ja) | 支持機構及び基板処理装置 | |
| KR101177967B1 (ko) | 피처리체의 이동 적재 기구, 피처리체의 이동 적재 방법, 피처리체의 처리 시스템 및 컴퓨터로 판독 가능한 프로그램을 기억한 기억 매체 | |
| KR20140039987A (ko) | 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 온도 검출 방법 | |
| KR20110128149A (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
| WO2014168331A1 (ko) | 기판처리장치 | |
| KR20100029043A (ko) | 종형 열처리 장치 및 기판 지지구 | |
| US10443122B2 (en) | Vacuum processing device | |
| KR20080090299A (ko) | 기판 처리 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 | |
| EP0164892B1 (en) | Horizontal furnace apparatus | |
| RU2684335C2 (ru) | Консольное устройство для горизонтальной бесконтактной загрузки полупроводниковых пластин в диффузионную печь | |
| US5688116A (en) | Heat treatment process | |
| WO2007040062A1 (ja) | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 | |
| US4888994A (en) | Method of carrying objects into and from a furnace, and apparatus for carrying objects into and from a furnace | |
| KR102712553B1 (ko) | 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 프로그램 | |
| JP2010016080A (ja) | 基板保持具装着治具及び半導体製造装置 | |
| KR100350612B1 (ko) | 이중수직형열처리로(爐) | |
| KR101082604B1 (ko) | 웨이퍼 이송용 로봇암 | |
| JP2015008202A (ja) | 熱処理炉 | |
| JPH10150029A (ja) | 半導体製造装置 | |
| JP4670863B2 (ja) | 熱処理装置及び熱処理方法並びに記憶媒体 | |
| JP2012195375A (ja) | 基板処理装置 | |
| JP2008117810A (ja) | 熱処理装置および熱処理装置における加熱条件取得方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20190905 |
|
| NF4A | Reinstatement of patent |
Effective date: 20210414 |