RU2666900C2 - Устройство для перемотки ленточного сверхпроводника - Google Patents
Устройство для перемотки ленточного сверхпроводника Download PDFInfo
- Publication number
- RU2666900C2 RU2666900C2 RU2016152789A RU2016152789A RU2666900C2 RU 2666900 C2 RU2666900 C2 RU 2666900C2 RU 2016152789 A RU2016152789 A RU 2016152789A RU 2016152789 A RU2016152789 A RU 2016152789A RU 2666900 C2 RU2666900 C2 RU 2666900C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- tape
- pipe
- winding
- housing
- supports
- Prior art date
Links
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 title claims abstract description 14
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims abstract description 26
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims abstract description 19
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 6
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract description 3
- 238000004870 electrical engineering Methods 0.000 abstract 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 8
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000007735 ion beam assisted deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B12/00—Superconductive or hyperconductive conductors, cables, or transmission lines
- H01B12/02—Superconductive or hyperconductive conductors, cables, or transmission lines characterised by their form
- H01B12/06—Films or wires on bases or cores
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E40/00—Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
- Y02E40/60—Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
Landscapes
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
- Superconductive Dynamoelectric Machines (AREA)
Abstract
Изобретение относится к устройствам, специально предназначенным для изготовления сверхпроводников или обработки приборов с использованием сверхпроводимости. Устройство для перемотки ленточного сверхпроводника содержит корпус, внутри которого установлена труба для намотки ленты, катушку для подачи ленты и катушку для сматывания ленты, две опоры, которые выполнены в форме цилиндрических втулок, сопряженных с внутренней стенкой корпуса через подшипники качения. Опоры снабжены подпружиненными относительно трубы прижимными элементами, в качестве которых использованы подшипники качения. Опоры и катушки для подачи и намотки ленты расположены с обеих сторон камеры напыления. Для предотвращения провисания ленты труба снабжена равномерно распределенными по поверхности трубы термокомпенсаторами, выполненными в форме полос из биметалла, закрепленными вдоль оси грубы, например, точечной сваркой, которые в условиях термических нагрузок обеспечивают равномерное натяжение ленты. Достигается возможность непрерывного нанесения равномерных сверхпроводящих покрытий высокого качества с большой производительностью на длинномерные ленточные подложки. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.
Description
Область техники
Изобретение относится к устройствам, специально предназначенным для изготовления проводов с использованием сверхпроводимости. Изобретение также относится к устройствам, специально предназначенным для непрерывного процесса покрытия и может быть использовано при производстве длинномерных ленточных сверхпроводников.
Уровень техники
Известно устройство для непрерывного нанесения буферного слоя на ленточную подложку для получения сверхпроводника (Патент US 7758699, U.S.CI. 118/718, «Apparatus for and method of continuous HTS tape buffer layer deposition using large scale ion beam assisted deposition», filed: Jan. 26, 2003, published: Jul. 20, 2010). В известном устройстве подложка в форме ленты пропускается через камеру для осаждения покрытия на подложку с помощью механизма подачи, предусматривающего перемотку ленты с одной катушки на другую.
Недостатком известного устройства является его низкая производительность. Кроме того, известное устройство предназначено для нанесения буферных слоев на ленточные подложки для получения сверхпроводника и не позволяет обеспечить требуемые характеристики сверхпроводящего покрытия, поскольку не позволяет регулировать соотношение параметров в процессе нанесения покрытия.
Наиболее близким к предлагаемому изобретению по совокупности известных признаков является устройство для нанесения изоляционного ленточного покрытия на трубопровод. (Патент RU 2157946, МПК: FI6L 58/10, «Устройство для нанесения изоляционного ленточного покрытия на трубопровод», заявл. 30.04.1999, опубл. 20.10.2000).
Известное устройство включает трубу для намотки ленты, по крайней мере, одну катушку с лентой, и корпус с установленными на нем опорами, снабженными прижимными элементами, контактирующими с трубой, выполненными в форме тел качения.
Известное устройство обеспечивает только плотное прилегание наматываемой ленты в зоне склеивания, которое обусловлено усилием натяжения ленты, регулируемым дополнительным механизмом натяжения. В известном устройстве не предусмотрена перемотка ленты на вторую катушку после выполнения технологического цикла. Размещение известного устройства в вакуумной камере нецелесообразно, т.к. в этом случае устройство в целом будет иметь очень большие габариты. Кроме того, известное устройство не позволяет регулировать соотношение скорости вращения трубы, скорости вращения катушек для подачи и намотки ленты и скорости осевого перемещения трубы с целью регулирования соотношения параметров процесса, что не позволяет использовать его в составе оборудования для получения сверхпроводящего покрытия высокого качества с требуемыми характеристиками.
Раскрытие изобретения
Устройство для перемотки ленточного сверхпроводника, включающее, трубу для намотки ленты, по крайней мере, одну катушку с лентой и корпус с установленными на нем опорами, снабженными прижимными элементами, контактирующими с грубой, выполненными в форме тел качения. Труба для намотки ленты установлена внутри корпуса с возможностью вращения и перемещения вдоль оси и снабжена равномерно распределенными по наружной поверхности трубы термокомпенсаторами, выполненными в форме полос из биметалла, закрепленными на поверхности трубы вдоль ее оси, катушки для подачи ленты на трубу и намотки (сматывания с трубы) ленты установлены с внешней стороны трубы коаксиально с трубой с возможностью вращения относительно трубы, устройство также содержит две опоры для трубы, выполненные в форме цилиндрических втулок каждая из которых сопряжена с внутренней стенкой корпуса через подшипник качения, при этом корпус, труба, опоры и подшипники качения соосны, и каждая из опор снабжена, по крайней мере, тремя прижимными элементами, установленными на равных расстояниях по окружности и подпружиненных относительно трубы для намотки ленты. В качестве прижимных элементов использованы подшипники качения, оси, вращения которых перпендикулярны относительно оси трубы. Термокомпенсаторы закреплены вдоль оси трубы точечной сваркой.
Краткое описание чертежей
Изобретение поясняется чертежами, где:
Фиг. 1 - общий вид устройства для перемотки ленточного сверхпроводника;
Фиг. 2 - камера напыления с опорами и катушками для подачи ленты и намотки ленты;
Фиг. 3 - опора с прижимными элементами.
Осуществление изобретения
Задачей изобретения является создание высокопроизводительного устройства перемотки ленточного высокотемпературного сверхпроводника для промышленного применения, предназначенного для обеспечения непрерывного нанесения равномерных сверхпроводящих покрытий высокого качества на длинномерные ленточные подложки.
Поставленная задача решается за счет того, что в устройстве для перемотки ленточного сверхпроводника, включающем, трубу для намотки ленты, по крайней мере, одну катушку с лентой и корпус с установленными на нем опорами, снабженными прижимными элементами, контактирующими с трубой, выполненными в форме тел качения. Труба для намотки ленты установлена внутри корпуса на опорах с возможностью вращения и перемещения вдоль оси и снабжена равномерно распределенными по наружной поверхности трубы термокомпенсаторами, выполненными в форме полос из биметалла, закрепленными вдоль ее оси, катушки для подачи ленты и сматывания ленты с трубы установлены с внешней стороны трубы коаксиально с трубой с возможностью вращения относительно трубы. Опоры, выполненные в форме цилиндрических втулок каждая из которых сопряжена с внутренней стенкой корпуса через подшипник качения, при этом корпус, труба, опоры и подшипники качения соосны, и каждая из опор снабжена, по крайней мере, тремя прижимными элементами, установленными на равных расстояниях по окружности и подпружиненных относительно трубы для намотки ленты.
В качестве прижимных элементов могут быть использованы подшипники качения, оси вращения которых перпендикулярны относительно оси трубы.
Целесообразно, чтобы термокомпенсаторы были закреплены вдоль оси трубы точечной сваркой.
В предлагаемом устройстве труба для намотки ленты и катушки с лентой установлена внутри корпуса. Такая компоновка устройства выбрана исходя из необходимости проведения технологического процесса в условиях вакуума. Катушки для подачи ленты и намотки ленты установлены с внешней стороны трубы коаксиально с трубой с возможностью вращения относительно трубы. Такое выполнение элементов устройства позволяет обеспечить независимое друг от друга регулирование скорости вращения трубы, скорости вращения катушек и скорости осевого перемещения трубы. За счет того, что предусмотрена возможность вращения трубы и перемещения трубы вдоль оси, лента наматывается спирально и равномерно на поверхность трубы с заданным шагом. Участок трубы с намотанной лентой, вращаясь с заданной постоянной линейной скоростью, перемещается вдоль оси через зону напыления, где обеспечивается синхронизация частоты вращения трубы, скорости подачи ленты в зону напыления и частоты следования лазерных импульсов на испаряемую мишень. Таким образом, непрерывно и равномерно наносится сверхпроводящее покрытие высокого качества. После прохождения участка трубы с намотанной лентой через зону напыления лента сматывается с трубы на катушку для намотки ленты. Таким образом, происходит процесс перемотки ленты с катушки на катушку через вращающуюся трубу при напылении сверхпроводникового слоя методом лазерного напыления в вакууме.
Для получения сверхпроводящего покрытия высокого качества участок труба с намотанной на него лентой должны быть нагреты. Лента для нанесения сверхпроводящего покрытия наматывается на трубу под углом по спирали, а поскольку труба и лента имеют различные коэффициенты термического расширения, в условиях термических нагрузок лента может провисать и смещаться. В этом случае требуемое равномерное распределение ленты по поверхности трубы будет нарушено. Для предотвращения смещения ленты труба снабжена равномерно распределенными по поверхности трубы термокомпенсаторами, выполненными в форме полос из биметалла, закрепленными вдоль оси трубы, например, точечной сваркой, которые в условиях термических нагрузок обеспечивают равномерное натяжение ленты.
Поскольку при производстве длинномерных сверхпроводников требуется использовать трубу большой длины, для исключения се прогиба, центровки и компенсации погрешностей изготовления, нарушающих четкость работы механизма в целом, в устройстве предусмотрены опоры. Так как в процессе работы труба должна вращаться и перемещаться вдоль оси при одновременном исключении возможности повреждения термокомпенсаторов, опоры снабжены подпружиненными элементами.
Все элементы устройства имеют общую ось, что позволяет обеспечить четкость и точность взаимодействия всех его элементов.
Использование в качестве прижимных элементов подпружиненных подшипников качения позволяет дополнительно ориентировать трубу при осевом перемещении, однако возможны и другие конструктивные решения, например подпружиненные шариковые опоры.
Устройство для перемотки содержит корпус 1, внутри которого установлена труба для намотки ленты 2, катушка для подачи ленты 3 и катушка для намотки ленты 4, две опоры 5 и 6, которые выполнены в форме цилиндрических втулок 7, сопряженных с внутренней стенкой корпуса через подшипники качения 8. Опоры снабжены подпружиненными относительно трубы прижимными элементами, в качестве которых использованы подшипники качения 9. Опоры и катушки для подачи и намотки ленты расположены с обеих сторон камеры напыления 10.
В процессе работы устройства трубу 2 и катушки 3 и 4 вращают с заданными скоростями. Скорости вращения трубы 2 и катушек 3 и 4 различны. Кроме того труба 2 перемещается в осевом направлении с заданной скоростью величина которой не связана с ее скоростью вращения. При этом происходит намотка на трубу ленты по спирали с заданным шагом. Намотанная на трубу лента вместе с трубой поступает в камеру напыления 10, в которой в процессе непрерывного вращения и перемещения вдоль оси осуществляется нанесение на ленту сверхпроводящего покрытия. После операции напыления лента вместе с участком трубы продвигается в направлении катушки для намотки ленты 4, на которую наматывается лента с нанесенным на нее сверхпроводящим слоем.
Предлагаемое устройство было изготовлено и опробовано при изготовлении ленточного сверхпроводника длиной 1000 м. Труба 2 была изготовлена из нержавеющей стали. Наружный диаметр трубы составлял 204 мм. Лента для нанесения сверхпроводящего слоя была изготовлена из нержавеющей стали с нанесенным на нее слоем иттрия стабилизированного цирконием и буферным слоем CeO2. Для нанесения сверхпроводящего слоя была использована установка на базе импульсно-периодического эксимерного лазера со средней световой мощностью 200 Вт, с помощью которого распыляли мишени изготовленные из YBaCuO. Частота лазера составляла 300 Гц. Температура ленты в зоне напыления составляла от 750 до 850°С.
В процессе работы устройства труба 2 перемещалась вдоль оси и вращалась со скоростью 50÷100 об/мин. Скорость осевого перемещения трубы регулировались в зависимости от заданного шага спиральной намотки ленты, скоростей вращения трубы и подачи ленты на трубу. В частном случае ширина ленты составляла 4 мм. Лента наматывалась на трубу 2 по спирали с шагом 4 мм, при этом натяжение ленты намотанной на трубу в условиях переменных термических нагрузок обеспечивалось равномерно распределенными по поверхности трубы термокомпенсаторами, выполненными в форме полос из биметалла, которые были изготовлены из стали толщиной 0,2 и никеля толщиной 0,01 и закреплены вдоль оси трубы точечной сваркой. Катушки 3 и 4 также вращались со скоростями определяемой требуемой скоростью подачи ленты на трубу, скоростью вращения и линейного перемещения трубы. В процессе вращения и осевого перемещения труба 2 фиксировалась в осевом направлении опорами 5 и 6. Подпружиненные относительно трубы опорные элементы в совокупности с подшипниками качения, с помощью которых втулки 7 опор 5 и 6 сопряжены с корпусом 1 позволяют осуществлять осевое перемещение трубы, исключая деформацию термокомпенсаторов, поскольку при возникновении контакта с термокомпенсаторами опоры проворачиваются одновременно в двух направлениях и подпружиненные опорные элементы 5 и 6 вращаются вместе с биметаллическими пластинами.
Толщина полученного сверхпроводящего покрытия составляла 1÷2 мкм. Анализ полученного покрытия с помощью рентгеновского дифрактометра показал отсутствие посторонних примесей. Толщина покрытия контролировалась эллипсометрическим методом. Разброс толщины по длине ленты составил ±5%.
Таким образом, предлагаемое устройство может быть использовано для промышленного производства длинномерных ленточных сверхпроводников.
Claims (3)
1. Устройство для перемотки ленточного сверхпроводника, включающее трубу для намотки ленты, по крайней мере одну катушку с лентой и корпус с установленными на нем опорами, снабженными прижимными элементами, контактирующими с трубой, выполненными в форме тел качения, отличающееся тем, что труба для намотки ленты установлена внутри корпуса с возможностью вращения и перемещения вдоль оси и снабжена равномерно распределенными по наружной поверхности трубы термокомпенсаторами, выполненными в форме полос из биметалла, закрепленными на поверхности трубы вдоль ее оси, катушки для подачи ленты и намотки ленты установлены внутри камеры с внешней стороны трубы коаксиально с трубой с возможностью независимого вращения относительно трубы, устройство также содержит две опоры, выполненные в форме цилиндрических втулок, каждая из которых сопряжена с внутренней стенкой корпуса через подшипник качения, при этом корпус, труба, катушки и опоры с подшипниками качения соосны, и каждая из опор снабжена по крайней мере тремя прижимными элементами, установленными на равных расстояниях по окружности и подпружиненными относительно трубы для намотки ленты.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что в качестве прижимных элементов использованы подшипники качения, оси вращения которых перпендикулярны относительно оси трубы.
3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что термокомпенсаторы закреплены вдоль оси трубы точечной сваркой.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2016152789A RU2666900C2 (ru) | 2016-12-30 | 2016-12-30 | Устройство для перемотки ленточного сверхпроводника |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2016152789A RU2666900C2 (ru) | 2016-12-30 | 2016-12-30 | Устройство для перемотки ленточного сверхпроводника |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2016152789A3 RU2016152789A3 (ru) | 2018-07-02 |
| RU2016152789A RU2016152789A (ru) | 2018-07-02 |
| RU2666900C2 true RU2666900C2 (ru) | 2018-09-13 |
Family
ID=62813953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2016152789A RU2666900C2 (ru) | 2016-12-30 | 2016-12-30 | Устройство для перемотки ленточного сверхпроводника |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2666900C2 (ru) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2157946C1 (ru) * | 1999-04-30 | 2000-10-20 | Закрытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Комплекс" | Устройство для нанесения изоляционного ленточного покрытия на трубопровод |
| RU2386732C1 (ru) * | 2008-12-18 | 2010-04-20 | Закрытое акционерное общество "СуперОкс" | Способ получения двухстороннего сверхпроводника второго поколения |
| US7816303B2 (en) * | 2004-10-01 | 2010-10-19 | American Superconductor Corporation | Architecture for high temperature superconductor wire |
| RU2584340C1 (ru) * | 2014-12-05 | 2016-05-20 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Способ контроля качества слоев многослойного ленточного сверхпроводника |
-
2016
- 2016-12-30 RU RU2016152789A patent/RU2666900C2/ru active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2157946C1 (ru) * | 1999-04-30 | 2000-10-20 | Закрытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Комплекс" | Устройство для нанесения изоляционного ленточного покрытия на трубопровод |
| US7816303B2 (en) * | 2004-10-01 | 2010-10-19 | American Superconductor Corporation | Architecture for high temperature superconductor wire |
| RU2386732C1 (ru) * | 2008-12-18 | 2010-04-20 | Закрытое акционерное общество "СуперОкс" | Способ получения двухстороннего сверхпроводника второго поколения |
| RU2584340C1 (ru) * | 2014-12-05 | 2016-05-20 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Способ контроля качества слоев многослойного ленточного сверхпроводника |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2016152789A3 (ru) | 2018-07-02 |
| RU2016152789A (ru) | 2018-07-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7501145B2 (en) | High throughput continuous pulsed laser deposition process | |
| US20190331872A1 (en) | Method of winding optical fiber, method of manufacturing bobbin-wound optical fiber, optical fiber winder, and method of manufacturing optical fiber strand | |
| RU2666900C2 (ru) | Устройство для перемотки ленточного сверхпроводника | |
| EP2055802B1 (en) | Deposition apparatus with guide roller for long superconducting tape | |
| CN103436852A (zh) | 一种柔性衬底箔卷到卷的运送装置和运送方法 | |
| TWI864317B (zh) | 在卷對卷沉積系統中塗覆彈性基板的方法及氣相沉積系統 | |
| WO2022235421A1 (en) | Roller for transporting a flexible substrate, vacuum processing apparatus, and methods therefor | |
| US5379019A (en) | Apparatus for embossing superconducting tape for use in a superconducting magnet | |
| CN107290815A (zh) | 线栅结构及其制造装置 | |
| US20210062324A1 (en) | Electron beam pvd endpoint detection and closed-loop process control systems | |
| US20110003072A1 (en) | Bending fixture for homogenous and smooth operation of an evaporation source | |
| CN102668112A (zh) | 光电转换元件制造装置 | |
| CN110314941A (zh) | 一种铝合金热轧梯度张力控制的生产方法 | |
| CN114686838B (zh) | 一种cigs共蒸设备的高稳定传动系统 | |
| US6534134B1 (en) | Apparatus and method for pulsed laser deposition of materials on wires and pipes | |
| KR101034889B1 (ko) | 장선 테이프 증착 장치 | |
| CN119040840B (zh) | 应用于复合集流体设备的温控装置以及复合集流体设备 | |
| CN115287444B (zh) | 一种Bi-2212超导线材热处理方法 | |
| DE102024111443B4 (de) | Lagersystem und Vakuumanordnung | |
| DE102024111445B4 (de) | Lagersystem und Vakuumanordnung | |
| CN118621268A (zh) | 蒸发源裂解管、蒸发源装置以及沉积装置 | |
| US12060634B2 (en) | Roller for transporting a flexible substrate, vacuum processing apparatus, and method of cooling a roller | |
| KR101335684B1 (ko) | 초전도 테이프 선재의 증착 장치 | |
| JPH10226877A (ja) | 薄膜の作製方法及びその装置 | |
| DE102016112865A1 (de) | Transportanordnung und Prozessieranordnung |