RU2666818C1 - Method for manufacture by diffusion welding of tubular adapters titanium - stainless steel - Google Patents
Method for manufacture by diffusion welding of tubular adapters titanium - stainless steel Download PDFInfo
- Publication number
- RU2666818C1 RU2666818C1 RU2017132744A RU2017132744A RU2666818C1 RU 2666818 C1 RU2666818 C1 RU 2666818C1 RU 2017132744 A RU2017132744 A RU 2017132744A RU 2017132744 A RU2017132744 A RU 2017132744A RU 2666818 C1 RU2666818 C1 RU 2666818C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- titanium
- stainless steel
- welding
- temperature
- adapter
- Prior art date
Links
- 238000003466 welding Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 title claims abstract description 21
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 21
- 239000010936 titanium Substances 0.000 title claims abstract description 17
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 16
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 9
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 claims abstract description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 102220504526 Dolichyl-diphosphooligosaccharide-protein glycosyltransferase subunit 4_V23K_mutation Human genes 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N Butyraldehyde Chemical compound CCCC=O ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000002262 irrigation Effects 0.000 description 1
- 238000003973 irrigation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010399 physical interaction Effects 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K20/00—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
- B23K20/16—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating with interposition of special material to facilitate connection of the parts, e.g. material for absorbing or producing gas
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K20/00—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
- B23K20/22—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating taking account of the properties of the materials to be welded
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области сварки, а более конкретно к технологии изготовления диффузионной сваркой в вакууме трубчатых переходников титан - нержавеющая сталь.The invention relates to the field of welding, and more specifically to a manufacturing technology of diffusion welding in a vacuum tube-to-tube adapters titanium-stainless steel.
Наиболее близким по совокупности существенных признаков к изобретению является способ диффузионной сварки трубчатых переходников титан-нержавеющая сталь, заключающийся в том, что телескопически соединяют, нагревают, деформируют и выдерживают при температуре диффузионной сварки трубчатую деталь переходника из титана и расположенную снаружи нее трубчатую деталь переходника из нержавеющей стали, на внутренней поверхности которой выполнены кольцевые канавки с глубиной не более 0,5 мм, которые перед сваркой заполняют суспензией из поливинилбутираля и ультрадисперсного порошка никеля, с содержанием ультрадисперсного порошка никеля от 61% до 80% (Патент РФ №2617807, МПК В23К 20/16, В23К 20/22, В23К 101/06, опубл. 26.04.2017).The closest set of essential features to the invention is the method of diffusion welding of tube adapters titanium-stainless steel, which consists in telescoping, heating, deforming and maintaining at a temperature of diffusion welding the tube part of the adapter made of titanium and the tubular part of the adapter stainless steel located outside it steel, on the inner surface of which annular grooves are made with a depth of not more than 0.5 mm, which are filled with a suspension of irrigation before welding of nyl butyral and ultrafine nickel powder, with the content of ultrafine nickel powder from 61% to 80% (RF Patent No. 2617807, IPC V23K 20/16, V23K 20/22, V23K 101/06, publ. 04/26/2017).
Недостатком вышеуказанного способа является то, что в процессе сварки металл трубчатой детали переходника из титана сохраняет высокую твердость и происходит разрушение профиля кольцевых канавок на внутренней поверхности трубчатой детали переходника из нержавеющей стали в процессе сварочной деформации. В результате не происходит удовлетворительного механического сцепления свариваемых трубчатых деталей переходника, снижается их конструкционная прочность.The disadvantage of the above method is that during the welding process, the metal of the tubular part of the adapter made of titanium retains high hardness and the destruction of the profile of the annular grooves on the inner surface of the tubular part of the adapter made of stainless steel during welding deformation. As a result, satisfactory mechanical adhesion of the welded tubular parts of the adapter does not occur, their structural strength decreases.
Помимо этого недостатка при применении известного способа распределение суспензии из поливинилбутираля и ультрадисперсного порошка никеля происходит неравномерно по поверхностям свариваемых деталей и, как следствие, размер диффузионной зоны и механические свойства дифференциальны на различных участках сварного соединения.In addition to this drawback, when applying the known method, the distribution of the suspension of polyvinyl butyral and ultrafine nickel powder occurs unevenly on the surfaces of the parts to be welded and, as a result, the size of the diffusion zone and the mechanical properties are differential in different parts of the welded joint.
Задачей настоящего изобретения является повышение надежности и качества сварного соединения трубчатых переходников титан -нержавеющая сталь.The objective of the present invention is to improve the reliability and quality of the welded joints of tubular adapters titanium-stainless steel.
Технический результат, который достигается при использовании настоящего изобретения, заключается в повышении качества механического сцепления свариваемых деталей трубчатого переходника титан-нержавеющая сталь.The technical result, which is achieved by using the present invention, is to improve the quality of mechanical adhesion of the welded parts of a titanium-stainless steel tube adapter.
Указанный технический результат достигается благодаря использованию способа изготовления диффузионной сваркой трубчатых переходников титан-нержавеющая сталь, заключающегося в том, что телескопически соединяют, нагревают, деформируют и выдерживают при температуре диффузионной сварки трубчатую деталь переходника из титана и расположенную снаружи нее трубчатую деталь переходника из нержавеющей стали, на внутренней поверхности которой выполнены кольцевые канавки с глубиной не более 0,5 мм, которые перед сваркой заполняют суспензией из поливинилбутираля и ультрадисперсного порошка никеля, с содержанием ультрадисперсного порошка никеля от 61% до 80%, диффузионную сварку проводят в два этапа, на первом этапе диффузионную сварку проводят при температуре 950-975°С, а на заключительном - при температуре 765-815°С, при этом интервал между этапами выбирают равными от 300 до 600 секунд, а время выдержки на заключительном этапе -в диапазоне 61-158 секунд.The specified technical result is achieved through the use of a method for manufacturing diffusion welding of titanium-stainless steel tube adapters, which consists in telescopically connecting, heating, deforming and maintaining at a temperature of diffusion welding a titanium adapter tube part and a stainless steel tube adapter located outside it, on the inner surface of which annular grooves are made with a depth of not more than 0.5 mm, which are filled with a suspension before welding and polyvinyl butyral and ultrafine nickel powder, with the content of ultrafine nickel powder from 61% to 80%, diffusion welding is carried out in two stages, at the first stage diffusion welding is carried out at a temperature of 950-975 ° C, and at the final stage at a temperature of 765-815 ° C while the interval between the steps is chosen equal to from 300 to 600 seconds, and the exposure time at the final stage is in the range of 61-158 seconds.
Экспериментальным путем было установлено, что для снижения твердости трубчатой детали переходника из титана необходимо диффузионную сварку необходимо проводить в два этапа. Каждый этап подразумевает пластическую деформацию свариваемых деталей переходника путем приложения сварочного давления. Сварка в два этапа необходима для устранения технологических зазоров между свариваемыми деталями переходника и деталями оснастки, а также для заполнения профиля кольцевых канавок металлом трубчатой детали переходника из титана.It was established experimentally that in order to reduce the hardness of the tubular part of the titanium adapter, diffusion welding must be carried out in two stages. Each stage involves the plastic deformation of the welded parts of the adapter by applying welding pressure. Two-stage welding is necessary to eliminate technological gaps between the welded parts of the adapter and accessories, as well as to fill the profile of the annular grooves with metal of the tubular part of the adapter made of titanium.
На первом этапе следует поднять температуру сварки до 950°С, но при этом следует учесть, что для того, чтобы избежать образование эвтектики между нержавеющей сталью и титановым сплавом при длительном контакте в местах соприкосновения плоских площадок профиля кольцевых канавок и внутренней детали переходника из титана температура сварки не должна превышать 975°С, т.е. диффузионную сварку на первом этапе следует проводить в интервале температур 950-975°С.At the first stage, the welding temperature should be raised to 950 ° C, but it should be noted that in order to avoid the formation of a eutectic between stainless steel and a titanium alloy during prolonged contact at the points of contact of flat areas of the profile of the annular grooves and the inner part of the titanium adapter, the temperature welding should not exceed 975 ° C, i.e. diffusion welding in the first stage should be carried out in the temperature range 950-975 ° C.
На заключительном этапе диффузионную сварку надо проводить в интервале температур от 765 до 815°С, при которых происходит сближение атомов соединяемых материалов на расстояние образования межатомных связей и возникает физическое взаимодействие. Что касается граничных значений температур указанного диапазона, то они обусловлены тем, что при температуре выше 815°С будет образовываться эвтектика между титаном и никелем, а для сохранения высокой пластичности внутренней детали переходника из титана температура диффузионной сварки не должна опускаться ниже 765°С.At the final stage, diffusion welding should be carried out in the temperature range from 765 to 815 ° С, at which the atoms of the materials to be joined come closer to the distance of the formation of interatomic bonds and physical interaction occurs. As for the boundary temperatures of the specified range, they are due to the fact that at a temperature above 815 ° C a eutectic will form between titanium and nickel, and to maintain high ductility of the inner part of the titanium adapter, the temperature of diffusion welding should not fall below 765 ° C.
Интервалы времени от 300 до 600 секунд между этапами установлены экспериментальным путем.The time intervals from 300 to 600 seconds between stages are established experimentally.
Для получения качественного надежного сварного соединения трубчатого переходника титан-нержавеющая сталь время выдержки на заключительном этапе должно составлять 61-158 секунд, т.к., как это было установлено экспериментальным путем, за это время обеспечивается полнота протекания диффузионных процессов и не происходит образования равновесной интерметаллидной фазы Ti2Ni, охрупчивающей соединение. Пример осуществления способа.To obtain a high-quality reliable welded joint of a titanium-stainless steel tube adapter, the exposure time at the final stage should be 61-158 seconds, since, as was established experimentally, during this time the completeness of the diffusion processes is ensured and the formation of equilibrium intermetallic Ti 2 Ni phase embrittling the compound. An example implementation of the method.
Для выполнения диффузионной сварки трубчатой детали переходника, например, из сплава титана ПТ-ЗВ, и трубчатой детали переходника из нержавеющей стали, например, из аустенитной стали 08Х18Н10Т, предварительно перед сборкой трубчатых деталей переходника на внутренней поверхности трубчатой детали переходника из нержавеющей стали нарезают кольцевые канавки с глубиной 0,3 мм, которые затем заполняют суспензией, состоящей из поливинилбутираля и ультрадисперсного порошка никеля, масса которого в суспензии равна 75%. Далее осуществляют сборку деталей, состоящую из трубчатой детали переходника из нержавеющей стали, которую располагают снаружи трубчатой детали переходника из титана с образованием телескопического соединения. Диффузионную сварку проводят в 2 этапа. На первом этапе осуществляют индукционный нагрев сборки под сварку в сварочной камере в вакууме до температуры 965°С, в процессе которого поливинилбутираль полностью испаряется с последующей его откачкой вакуумной системой. В кольцевых канавках остается только ультрадисперсный порошок никеля. В процессе сварки трубчатую деталь переходника из титана раздают за счет запрессовки конусного дорна в сборку на заданную глубину. При раздаче трубчатой детали переходника из титана происходит деформация свариваемых поверхностей и уплотнение ультрадисперсного порошка никеля с полным сплошным заполнением им кольцевых канавок. Затем с интервалом 400 секунд температуру сварки снижают до 790°С и проводят второй - заключительный этап сварки - путем окончательной запрессовки дорна. В результате происходит объемное взаимодействие металлов с образованием металлической связи между деталями и между деталями и промежуточным слоем. Переходная диффузионная зона образуется по контактной поверхности, которая окончательно формируется в процессе выдержки на заключительном этапе при температуре 790°С в течение 120 секунд. После охлаждения трубчатого переходника титан-нержавеющая сталь конусный дорн выбивают.To perform diffusion welding of the tubular adapter part, for example, from PT-ЗВ titanium alloy, and the stainless steel tube adapter part, for example, 08Kh18N10T austenitic steel, annular grooves are cut before the tubular adapter parts are assembled on the inner surface of the tubular stainless steel adapter part with a depth of 0.3 mm, which is then filled with a suspension consisting of polyvinyl butyral and ultrafine nickel powder, the mass of which in suspension is 75%. Next, parts are assembled, consisting of a tubular stainless steel adapter part, which is placed outside the titanium adapter tubular part to form a telescopic joint. Diffusion welding is carried out in 2 stages. At the first stage, induction heating of the assembly for welding in the welding chamber in vacuum to a temperature of 965 ° C is carried out, during which the polyvinyl butyral is completely evaporated and then evacuated by a vacuum system. In the annular grooves, only ultrafine nickel powder remains. During welding, the tubular part of the adapter made of titanium is distributed by pressing the conical mandrel into the assembly to a predetermined depth. When distributing the tubular part of the titanium adapter, the surfaces to be welded are deformed and the ultrafine nickel powder is compacted with complete annular grooves filling it completely. Then, with an interval of 400 seconds, the welding temperature is reduced to 790 ° C and the second, final stage of welding is carried out by final pressing of the mandrel. As a result, the volume interaction of metals occurs with the formation of a metal bond between the parts and between the parts and the intermediate layer. The transitional diffusion zone is formed along the contact surface, which is finally formed during exposure at the final stage at a temperature of 790 ° C for 120 seconds. After cooling the tubular adapter, the titanium-stainless steel conical mandrel is knocked out.
Сваренные по данному способу переходники прошли радиографический, ультразвуковой контроль и испытания на герметичность с положительным результатом. Кроме того, металлографический контроль переходников показал, что помимо сварки произошло и механическое сцепление деталей по всей соединяемой поверхности.The adapters welded by this method passed radiographic, ultrasonic testing and leak tests with a positive result. In addition, metallographic inspection of the adapters showed that in addition to welding, mechanical adhesion of parts along the entire connected surface occurred.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017132744A RU2666818C1 (en) | 2017-09-20 | 2017-09-20 | Method for manufacture by diffusion welding of tubular adapters titanium - stainless steel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017132744A RU2666818C1 (en) | 2017-09-20 | 2017-09-20 | Method for manufacture by diffusion welding of tubular adapters titanium - stainless steel |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2666818C1 true RU2666818C1 (en) | 2018-09-12 |
Family
ID=63580505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2017132744A RU2666818C1 (en) | 2017-09-20 | 2017-09-20 | Method for manufacture by diffusion welding of tubular adapters titanium - stainless steel |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2666818C1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2720267C1 (en) * | 2018-12-04 | 2020-04-28 | АО "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" | Diffusion welding method |
| RU2802246C1 (en) * | 2023-01-26 | 2023-08-23 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Воронежский государственный университет инженерных технологий" (ФГБОУ ВО "ВГУИТ") | Method for manufacturing titanium-stainless steel tube adapters by diffusion welding |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62156088A (en) * | 1985-12-27 | 1987-07-11 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Dissimilar metal joint |
| SU1761411A1 (en) * | 1989-11-04 | 1992-09-15 | Самарский авиационный институт им.акад.С.П.Королева | Method for joining titanium with steel |
| RU2205732C1 (en) * | 2002-06-24 | 2003-06-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский и конструкторский институт энерготехники им. Н.А. Доллежаля" | Method for diffusion wedling of tubular titanium-stainless steel adaptors |
| RU2612332C1 (en) * | 2015-10-15 | 2017-03-07 | Публичное Акционерное Общество "Корпорация Всмпо-Ависма" | Method of preparation of charge for smelting titanium slag in ore furnace |
| RU2617807C1 (en) * | 2016-01-22 | 2017-04-26 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Method of diffusion welding of tube titan-stainless steel adaptors |
-
2017
- 2017-09-20 RU RU2017132744A patent/RU2666818C1/en active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62156088A (en) * | 1985-12-27 | 1987-07-11 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Dissimilar metal joint |
| SU1761411A1 (en) * | 1989-11-04 | 1992-09-15 | Самарский авиационный институт им.акад.С.П.Королева | Method for joining titanium with steel |
| RU2205732C1 (en) * | 2002-06-24 | 2003-06-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский и конструкторский институт энерготехники им. Н.А. Доллежаля" | Method for diffusion wedling of tubular titanium-stainless steel adaptors |
| RU2612332C1 (en) * | 2015-10-15 | 2017-03-07 | Публичное Акционерное Общество "Корпорация Всмпо-Ависма" | Method of preparation of charge for smelting titanium slag in ore furnace |
| RU2617807C1 (en) * | 2016-01-22 | 2017-04-26 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Method of diffusion welding of tube titan-stainless steel adaptors |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2720267C1 (en) * | 2018-12-04 | 2020-04-28 | АО "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" | Diffusion welding method |
| RU2802246C1 (en) * | 2023-01-26 | 2023-08-23 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Воронежский государственный университет инженерных технологий" (ФГБОУ ВО "ВГУИТ") | Method for manufacturing titanium-stainless steel tube adapters by diffusion welding |
| RU2832989C1 (en) * | 2024-06-14 | 2025-01-13 | Акционерное общество "Ордена Ленина Научно-исследовательский и конструкторский институт энерготехники имени Н.А. Доллежаля" (АО "НИКИЭТ") | Method for diffusion welding of titanium-stainless steel tubular adapters |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3025596A (en) | Braze bonding of concentric tubes and shells and the like | |
| CN108326317B (en) | TiAl alloy and Ti2Method for preparing annular part from AlNb powder | |
| CN108555305B (en) | Method for preparing ring parts from Ti2AlNb alloy and TiAl powder | |
| JP6861035B2 (en) | Manufacturing method of cylindrical sputtering target | |
| RU2666818C1 (en) | Method for manufacture by diffusion welding of tubular adapters titanium - stainless steel | |
| CN110337507A (en) | Cylinder type sputtering target and its manufacturing method | |
| JPS6045991B2 (en) | Manufacturing method of tubular joint parts | |
| CN107825046A (en) | The welding tooling and welding method of thin-wall corrugated tube thin slice | |
| CN102962453A (en) | Method of manufacturing a weld-free apparatus for connection of dissimilar metals using functionally graded compositionally control powder metallurgy and hot isostatic processing methods | |
| US9352412B2 (en) | Method of forming a bonded assembly | |
| RU1799316C (en) | Method of connection of metal parts | |
| RU2617807C1 (en) | Method of diffusion welding of tube titan-stainless steel adaptors | |
| US3766633A (en) | Method of joining metals of different melting points | |
| CN107398625A (en) | Inner support heat abstractor and its application method for the welding of thin-walled one side of something pipe | |
| RU2438842C1 (en) | Method of producing bimetal tube | |
| RU2612331C2 (en) | Titan steel adapter production method | |
| RU2301732C1 (en) | Method for diffusion welding of tubes of different-property materials | |
| RU2555735C1 (en) | Method of diffusion welding of glass ceramic with metals | |
| JP2819370B2 (en) | Manufacturing method of corrosion resistant clad pipe | |
| US20150190891A1 (en) | Repair of Casting Defects | |
| RU2795078C1 (en) | Method for bonding glass with molybdenum alloy | |
| US10053244B2 (en) | Pipe, apparatus and method | |
| CN109396634B (en) | Ultrasonic-assisted welding method of magnesium alloy with pure Pb as intermediate reaction material layer | |
| RU99585U1 (en) | DEVICE FOR CONNECTING PIPES OF HETEROGENEOUS METALS | |
| JP6774702B2 (en) | Manufacturing method of cylindrical sputtering target |