RU2654494C1 - Vacuum spark discharger - Google Patents
Vacuum spark discharger Download PDFInfo
- Publication number
- RU2654494C1 RU2654494C1 RU2017108064A RU2017108064A RU2654494C1 RU 2654494 C1 RU2654494 C1 RU 2654494C1 RU 2017108064 A RU2017108064 A RU 2017108064A RU 2017108064 A RU2017108064 A RU 2017108064A RU 2654494 C1 RU2654494 C1 RU 2654494C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cathode
- anode
- gap
- coaxial
- cylindrical
- Prior art date
Links
- 238000004870 electrical engineering Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 11
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 8
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 239000010406 cathode material Substances 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 230000004807 localization Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
- 239000011364 vaporized material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01T—SPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
- H01T1/00—Details of spark gaps
- H01T1/20—Means for starting arc or facilitating ignition of spark gap
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к электротехнике и сильноточной электронике, в частности к средствам коммутации, и может использоваться для коммутации сильноточных высоковольтных электрических систем.The invention relates to electrical engineering and high-current electronics, in particular to switching means, and can be used for switching high-current high-voltage electrical systems.
Известен разрядник с лазерным поджигом, содержащий в корпусе с окном для ввода луча поджигающего лазера два противостоящих основных электрода, один из которых выполнен со сквозным отверстием, расположенным напротив окна в корпусе, и собирающую линзу, установленную между поджигающим лазером и указанным основным электродом с отверстием, фокус которой расположен в промежутке между основными электродами, при этом между основными электродами установлен дополнительно введенный электрод-мишень со сквозным отверстием, расположенным соосно со сквозным отверстием основного электрода, причем средняя точка на оси отверстия электрода-мишени расположена в фокусе указанной линзы. Авторское свидетельство SU 1101133, МПК Н01Т 14/00, 30.11.1985. В разряднике используется эффект лазерной искры для ионизации диэлектрической среды - газа - в межэлектродном промежутке, реализация которого требует достижения интенсивности излучения оптического диапазона в фокусе собирающей линзы примерно 1011 Вт/см2 и выше [1, 2], что требует применения импульсного лазера высокой мощности и является препятствием на пути создания компактного вакуумного электроразрядного коммутирующего устройства.A known spark gap with laser ignition, containing in the case with a window for inputting the beam of the ignition laser two opposing main electrodes, one of which is made with a through hole located opposite the window in the housing, and a collecting lens mounted between the ignition laser and the specified main electrode with the hole, the focus of which is located in the gap between the main electrodes, while an additionally inserted target electrode is installed between the main electrodes with a through hole located coaxially of the through hole of the main electrode, and the middle point on the axis of the target electrode hole is at the focus of said lens. Copyright certificate SU 1101133, IPC Н01Т 14/00, 11/30/1985. The spark gap uses the laser spark effect to ionize the dielectric medium — gas — in the interelectrode gap, the implementation of which requires achieving an optical radiation intensity in the focus of the collecting lens of about 10 11 W / cm 2 and higher [1, 2], which requires the use of a high-frequency pulsed laser power and is an obstacle to creating a compact vacuum electric-discharge switching device.
Известен управляемый вакуумный разрядник, содержащий коаксиальную электродную систему в герметичной диэлектрической оболочке: внутренние катод и поджигающий электрод, разделенные цилиндрической диэлектрической прокладкой, и внутренний анод, выполненный в виде полого стакана. Патент Российской Федерации №143137, МПК Н01Т 2/02, 20.07.2014. Катод, поджигающий электрод и плотно сжатая между ними прокладка из диэлектрика образуют поджигающую систему. Промежуток разрядника «катод - анод» обладает высокой электрической прочностью: его напряжение самопробоя в несколько раз превышает рабочее напряжение между катодом и анодом. При подаче на поджигающий электрод импульса положительной относительно катода полярности амплитудой в несколько киловольт у кромки катода возникают токи автоэлектронной эмиссии, приводящие к испарению материала катода и ионизации испаренного вещества. Ионизация паров вещества катода превращает их в проводящую среду - плазму. На границе «плазма - катод» формируется область электронной эмиссии - катодное пятно. Образующаяся у поверхности катода плазма - катодный факел - в силу большой подвижности электронов под действием электрического поля смещается в направлении поджигающего электрода. Происходит искровой пробой по поверхности диэлектрической прокладки с ионизацией молекул сорбированного на ее поверхности газа. В условиях продолжающегося поступления плазмы из катодного пятна и выравнивания потенциалов катода и поджигающего электрода происходит расширение катодного факела в направлении анода. С замыканием промежутка «катод - анод» плазмой факела между катодом и анодом начинает падать напряжение, и разряд в вакуумном промежутке за время порядка 10-7 с переходит в дуговую стадию. Происходит срабатывание коммутирующего устройства. Данное техническое решение принято в качестве прототипа.Known controlled vacuum spark gap containing a coaxial electrode system in a sealed dielectric sheath: the inner cathode and the ignition electrode, separated by a cylindrical dielectric gasket, and the inner anode, made in the form of a hollow glass. Patent of the Russian Federation No. 143137, IPC
Недостатком данного устройства является то, что основной источник эрозии - катодное пятно и испускаемый им плазменный факел - возникает и длительное время пребывает на стадии дугового разряда на границе катода и прокладки из диэлектрика и затем в непосредственной близости от указанной границы, вызывая значительное разрушение электрода и прокладки, что сказывается отрицательным образом на стабильности срабатывания разрядника, в частности на величине напряжения пробоя промежутка «катод- поджигающий электрод», времени задержки между моментом подачи импульса напряжения на поджигающий электрод и моментом перехода разряда в промежутке «анод-катод» в дуговую стадию.The disadvantage of this device is that the main source of erosion - the cathode spot and the plasma torch emitted by it - arises and stays for a long time at the stage of the arc discharge at the boundary of the cathode and the dielectric strip and then in the immediate vicinity of this boundary, causing significant destruction of the electrode and the strip , which negatively affects the stability of the spark gap operation, in particular, the breakdown voltage of the “cathode-ignition electrode” gap, the delay time between the entom voltage pulse supply to the igniter and the time of the discharge in the gap "anode-cathode" in the arc stage.
Задачей изобретения является создание компактного вакуумного электроразрядного коммутирующего устройства, конструкция которого обеспечивает минимальную эрозию элементов данного устройства, отвечающих за создание токопроводящей среды в основном межэлектродном промежутке разрядника за счет ионизации остаточного газа УФ излучением вспомогательного искрового разряда по поверхности диэлектрика.The objective of the invention is to provide a compact vacuum electric-discharge switching device, the design of which ensures minimal erosion of the elements of this device responsible for creating a conductive medium in the main interelectrode gap of the spark gap due to ionization of the residual gas by UV radiation of an auxiliary spark discharge over the surface of the dielectric.
Технический результат заключается в увеличении ресурса и стабильности функционирования вакуумного электроразрядного коммутирующего устройства.The technical result consists in increasing the resource and stability of the functioning of the vacuum electric discharge switching device.
Технический результат достигается тем, что в вакуумном искровом разряднике, включающем герметичную диэлектрическую оболочку, содержащую коаксиальную электродную систему, включающую катод и поджигающий электрод, разделенные цилиндрической диэлектрической шайбой, и анод, обращенные друг к другу поверхности катода и анода снабжены коаксиальными стержневыми выступами, выступы разделены промежутком, при этом катод снабжен коаксиальным цилиндрическим выступом, окружающим стержневой выступ. Поджигающий электрод имеет форму кольца с диаметром отверстия, равным внутреннему диаметру цилиндрического выступа катода, между цилиндрическим выступом катода и поджигающим электродом зафиксирована диэлектрическая шайба, причем расстояние между торцевыми поверхностями стержневых выступов катода и анода меньше расстояния между анодом и коаксиальным цилиндрическим выступом катода, давление внутри герметичной оболочки разрядника составляет 10-2-100 Па.The technical result is achieved in that in a vacuum spark gap comprising a sealed dielectric sheath containing a coaxial electrode system including a cathode and an ignition electrode separated by a cylindrical dielectric washer, and the anode facing the cathode and anode surfaces are provided with coaxial rod protrusions, the protrusions are separated gap, while the cathode is equipped with a coaxial cylindrical protrusion surrounding the rod protrusion. The ignition electrode has a ring shape with a hole diameter equal to the inner diameter of the cylindrical protrusion of the cathode, a dielectric washer is fixed between the cylindrical protrusion of the cathode and the ignition electrode, and the distance between the end surfaces of the rod protrusions of the cathode and the anode is less than the distance between the anode and the coaxial cylindrical protrusion of the cathode the shell of the arrester is 10 -2 -10 0 PA.
Предлагаемое техническое решение иллюстрируется чертежом.The proposed technical solution is illustrated in the drawing.
На чертеже представлен разрез вакуумного искрового разрядника, где 1 - герметичная диэлектрическая оболочка, 2 - катод, 3 - поджигающий электрод, 4 - диэлектрическая шайба, 5 - анод, 6 - стержневой выступ катода, 7 - стержневой выступ анода, 8 - вакуумный промежуток между катодом и анодом (межэлектродный промежуток), 9 - коаксиальный цилиндрический выступ катода, 10 - отверстия для откачки газа в процессе вакуумирования разрядника.The drawing shows a section of a vacuum spark gap, where 1 is a sealed dielectric sheath, 2 is the cathode, 3 is the ignition electrode, 4 is the dielectric washer, 5 is the anode, 6 is the rod protrusion of the cathode, 7 is the rod protrusion of the anode, 8 is the vacuum gap between cathode and anode (interelectrode gap), 9 — coaxial cylindrical protrusion of the cathode, 10 — openings for pumping gas during evacuation of the arrester.
Вакуумный искровой разрядник состоит из коаксиальной электродной системы, заключенной внутри откачанной до давления остаточных газов 10-4-10-2 Тор (10-2-100 Па) герметичной диэлектрической оболочки 1, что обеспечивает высокую электропрочность промежутка «катод - анод». Электродная система содержит три электрода: катод 2 и поджигающий электрод 3, разделенные диэлектрической шайбой 4, и анод 5. Центральные части обращенных друг к другу поверхностей катода и анода имеют вид коаксиальных стержней 6 и 7 с закругленными торцами и разделенных промежутком 8. Кроме того, катод снабжен коаксиальным цилиндрическим выступом 9, окружающим центральную часть 6 и необходимым для того, чтобы фиксировать диэлектрическую шайбу 4 между катодом 2 и поджигающим электродом 3. Отверстия 10 необходимы для откачки газа в процессе вакуумирования разрядника. Расстояние между торцевыми поверхностями стержневой части катода и анода d1 устанавливается при изготовлении меньше расстояния между анодом и коаксиальным цилиндрическим выступом катода d2, т.е. d1<d2.The vacuum spark gap consists of a coaxial electrode system enclosed inside a sealed
Разрядник работает следующим образом.The arrester operates as follows.
При подаче на поджигающий электрод импульса положительной относительно катода полярности амплитудой в несколько киловольт на границе раздела трех сред «вакуум - диэлектрик - металл» (вакуумированное пространство - диэлектрическая шайба - электрод катод), т.е. в области максимальной напряженности электрического поля возникают условия для образования катодного пятна и развивается искровой разряд по поверхности диэлектрической шайбы. Плотность тока в катодном пятне превышает величину 108 А/см2, падение потенциала в катодном слое составляет величину порядка потенциала ионизации материала катода, т.е. ~10 В. Таким образом, плотность потока энергии в пределах катодного пятна находится на уровне не менее 109 Вт/см2 при длительности искровой фазы 10-7 с [3]. Опытным путем было установлено, что при протяженности зазора между анодом и катодом порядка 1 мм и указанном выше давлении остаточных газов в межэлектродном зазоре рабочее напряжение разрядника, т.е. напряжение, при котором не происходит самопробой (пробой без поджига), достигает 10 кВ. Известно, что для создания на поверхности твердотельной мишени плазмы с целью конверсии энергии оптического излучения лазера в энергию ультрафиолетового (УФ) излучения плазмы, достаточно достигнуть в пятне фокусировки плотности потока энергии на уровне ~109 Вт/см2 [4]. Как показали эксперименты, при таком уровне плотности потока энергии и при длительности падающего на мишень излучения (2-3)⋅10-8 с образующаяся у поверхности мишени плазма является достаточно мощным источником УФ излучения, которое эффективно ионизирует остаточные газы в окружающем пространстве при давлении остаточных газов 10-4-10-3 Тор (102-10-1 Па) на расстоянии по крайней мере в несколько миллиметров [5]. С учетом того, что площадь пятна фокусировки лазера на мишени в описываемых экспериментах ~10-3 см2 и площадь катодного пятна [6] сравнимы по величине, ионизация остаточных газов в межэлектродном пространстве разрядника предлагаемой конструкции излучением катодного пятна при инициировании искрового разряда является эффективным механизмом создания в промежутке «анод-катод» проводящей среды с развитием в ней разряда.When a pulse with a polarity positive relative to the cathode is supplied with an amplitude of several kilovolts at the interface of three media “vacuum - dielectric - metal” (vacuum space - dielectric washer - electrode cathode), i.e. In the region of maximum electric field strength, conditions arise for the formation of a cathode spot and a spark discharge develops over the surface of the dielectric washer. The current density in the cathode spot exceeds 10 8 A / cm 2 , the potential drop in the cathode layer is of the order of the ionization potential of the cathode material, i.e. ~ 10 V. Thus, the energy flux density within the cathode spot is at least 10 9 W / cm 2 with a spark phase duration of 10 -7 s [3]. It was experimentally established that, with a gap between the anode and cathode of the order of 1 mm and the above-mentioned residual gas pressure in the interelectrode gap, the operating voltage of the arrester, i.e. the voltage at which self-breakdown does not occur (breakdown without ignition) reaches 10 kV. It is known that in order to create a plasma on the surface of a solid-state target in order to convert the energy of optical laser radiation into the energy of ultraviolet (UV) radiation from a plasma, it is sufficient to achieve an energy flux density focusing of ~ 10 9 W / cm 2 [4]. As experiments have shown, at such a level of energy flux density and with a duration of radiation (2-3) ⋅ 10 -8 s, the plasma formed at the target surface is a sufficiently powerful source of UV radiation, which effectively ionizes the residual gases in the surrounding space at a residual pressure gases 10 -4 -10 -3 Torr (10 2 -10 -1 Pa) at a distance of at least a few millimeters [5]. Considering that the area of the laser focusing spot on the target in the experiments described is ~ 10 -3 cm 2 and the area of the cathode spot [6] is comparable in magnitude, the ionization of the residual gases in the interelectrode space of the spark gap of the proposed design by the radiation of the cathode spot when initiating a spark discharge is an effective mechanism creating a conducting medium in the “anode-cathode” gap with the development of a discharge in it.
Расстояние между торцевыми поверхностями стержневой части катода и анода d1 меньше расстояния между анодом и коаксиальным цилиндрическим выступом катода d2, т.е. d1<d2. Это обеспечивает локализацию канала протекания тока в промежутке анод-катод на оси симметрии разрядника, т.к. в этом случае меньше длина канала протекания тока и меньше его омическое сопротивление при том, что указанные возможные каналы протекания тока длиной d1 и d2 включены в электрическую цепь параллельно. Протекание большей части тока в первом канале обеспечит более сильный разогрев проводящей среды - плазмы. С ростом температуры плазмы ее омическое сопротивление падает, что приведет к дальнейшему перераспределению тока между первым и вторым каналами, причем в пользу именно первого канала. Таким образом и произойдет локализация тока разряда в промежутке анод-катод на оси симметрии разрядника.The distance between the end surfaces of the core of the cathode and the anode d 1 is less than the distance between the anode and the coaxial cylindrical protrusion of the cathode d 2 , i.e. d 1 <d 2 . This ensures the localization of the current flow channel in the anode-cathode gap on the axis of symmetry of the spark gap, because in this case, the length of the current flow channel is smaller and its ohmic resistance is shorter, while the indicated possible current flow channels of length d 1 and d 2 are included in parallel in the electric circuit. The flow of most of the current in the first channel will provide a stronger heating of the conducting medium - plasma. With increasing plasma temperature, its ohmic resistance decreases, which will lead to a further redistribution of current between the first and second channels, and in favor of the first channel. Thus, localization of the discharge current in the gap of the anode-cathode on the axis of symmetry of the spark gap will occur.
Вакуум внутри герметичной оболочки разрядника устанавливается на уровне 10-4-10-2 Тор (10-2-100 Па), что позволяет одновременно обеспечить высокую электропрочность межэлектродного промежутка и высокую степень ионизации остаточного газа в пространстве между анодом и катодом УФ излучением плазмы искрового разряда по боковой поверхности диэлектрической шайбы в промежутке «катод - поджигающий электрод». Создание проводящей среды в промежутке «анод - катод» позволяет пространственно разделить канал протекания тока в промежутке «анод-катод» от промежутка «катод - поджигающий электрод» и тем самым уменьшить эрозию диэлектрической шайбы, разделяющей катод и поджигающий электрод, и прилегающие к ней поверхности указанных электродов, что повышает стабильность срабатывания системы поджига и увеличивает ресурс разрядника.The vacuum inside the sealed enclosure of the arrester is set at a level of 10 -4 -10 -2 Torr (10 -2 -10 0 Pa), which allows one to simultaneously provide high electric strength of the interelectrode gap and a high degree of ionization of the residual gas in the space between the anode and cathode by UV radiation of the spark plasma discharge along the side surface of the dielectric washer in the gap “cathode - ignition electrode”. The creation of a conducting medium in the anode – cathode gap makes it possible to spatially separate the current flow channel in the anode – cathode gap from the cathode – ignition electrode gap and thereby reduce the erosion of the dielectric washer separating the cathode and the ignition electrode and the adjacent surfaces these electrodes, which increases the stability of the ignition system and increases the resource of the spark gap.
Используемая литератураUsed Books
1. Островская Г.В., Зайдель А.Н. Лазерная искра в газах // УФН, 1973, Т. 111, с. 579.1. Ostrovskaya G.V., Seidel A.N. Laser spark in gases // UFN, 1973, T. 111, p. 579.
2. Райзер Ю.П. Оптические разряды // УФН, 1980, Т. 132, с. 549.2. Riser Yu.P. Optical discharges // UFN, 1980, T. 132, p. 549.
3. Juttner В. et al. Cathode spots // Handbook of Vacuum Arc Science and Technology. R.L. Boxman, P. Martin, D. Sanders (editors), Noyes Publications (Park Ridge, NJ), 1995, p. 281.3. Juttner B. et al. Cathode spots // Handbook of Vacuum Arc Science and Technology. R.L. Boxman, P. Martin, D. Sanders (editors), Noyes Publications (Park Ridge, NJ), 1995, p. 281.
4. Ананьин О.Б. и др. Лазерная плазма. Физика и применения: Монография. - М.: МИФИ, 2003. - С. 10, 186.4. Ananyin O.B. et al. Laser plasma. Physics and Applications: Monograph. - M .: MEPhI, 2003 .-- S. 10, 186.
5. Давыдов С.Г. и др. Процесс коммутации вакуумного разрядника с лазерным управлением // Успехи прикладной физики, 2014, Т. 2, №6, с. 613.5. Davydov S.G. and others. The process of switching a vacuum spark gap with laser control // Successes in Applied Physics, 2014, V. 2, No. 6, p. 613.
6. Месяц Г.А. Эктоны в вакуумном разряде: пробой, искра, дуга. - М.: Наука, 2000. - С. 279-282, 327-341.6. Month G.A. Ectons in a vacuum discharge: breakdown, spark, arc. - M .: Nauka, 2000 .-- S. 279-282, 327-341.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017108064A RU2654494C1 (en) | 2017-03-10 | 2017-03-10 | Vacuum spark discharger |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017108064A RU2654494C1 (en) | 2017-03-10 | 2017-03-10 | Vacuum spark discharger |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2654494C1 true RU2654494C1 (en) | 2018-05-21 |
Family
ID=62202296
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2017108064A RU2654494C1 (en) | 2017-03-10 | 2017-03-10 | Vacuum spark discharger |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2654494C1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU183129U1 (en) * | 2018-06-18 | 2018-09-12 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | CONTROLLED VACUUM DISCHARGE |
| RU196930U1 (en) * | 2019-12-09 | 2020-03-23 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | SMALL TWO-SECTION CONTROLLED VACUUM DISCHARGE |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1641161A1 (en) * | 1989-06-14 | 1994-04-15 | Научно-исследовательский институт высоких напряжения при Томском политехническом институте им.С.М.Кирова | Method of control of gas-discharge arrestor operation |
| RU2302053C1 (en) * | 2006-01-10 | 2007-06-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южно-Уральский государственный университет" | Controllable spark-gap |
| WO2013185824A1 (en) * | 2012-06-14 | 2013-12-19 | Siemens Aktiengesellschaft | Spark gap |
| RU143137U1 (en) * | 2014-03-04 | 2014-07-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | CONTROLLED VACUUM DISCHARGE |
-
2017
- 2017-03-10 RU RU2017108064A patent/RU2654494C1/en active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1641161A1 (en) * | 1989-06-14 | 1994-04-15 | Научно-исследовательский институт высоких напряжения при Томском политехническом институте им.С.М.Кирова | Method of control of gas-discharge arrestor operation |
| RU2302053C1 (en) * | 2006-01-10 | 2007-06-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южно-Уральский государственный университет" | Controllable spark-gap |
| WO2013185824A1 (en) * | 2012-06-14 | 2013-12-19 | Siemens Aktiengesellschaft | Spark gap |
| RU143137U1 (en) * | 2014-03-04 | 2014-07-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | CONTROLLED VACUUM DISCHARGE |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU183129U1 (en) * | 2018-06-18 | 2018-09-12 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | CONTROLLED VACUUM DISCHARGE |
| RU196930U1 (en) * | 2019-12-09 | 2020-03-23 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | SMALL TWO-SECTION CONTROLLED VACUUM DISCHARGE |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Oks et al. | Development of plasma cathode electron guns | |
| US7122949B2 (en) | Cylindrical electron beam generating/triggering device and method for generation of electrons | |
| JP2821789B2 (en) | Remote ion source plasma electron gun | |
| US3524101A (en) | Triggering device for spark-gap | |
| US4714860A (en) | Ion beam generating apparatus | |
| CN101156505B (en) | Apparatus and method for generating, accelerating and propagating electron and plasma beams | |
| US4122347A (en) | Ion source | |
| US3218431A (en) | Self-focusing electron beam apparatus | |
| Gushenets et al. | Electrostatic plasma lens focusing of an intense electron beam in an electron source with a vacuum arc plasma cathode | |
| JP5186599B2 (en) | Electron gun, vacuum processing equipment | |
| JP4594101B2 (en) | EUV radiation discharge lamp | |
| JP5154647B2 (en) | Cathode assembly for pulsed plasma generation | |
| RU2654494C1 (en) | Vacuum spark discharger | |
| US4760262A (en) | Ion source | |
| CN107507749B (en) | A kind of plasma cathode electron gun | |
| US3414702A (en) | Nonthermionic electron beam apparatus | |
| US20050205410A1 (en) | Capillary-in-ring electrode gas discharge generator for producing a weakly ionized gas and method for using the same | |
| RU2215383C1 (en) | Plasma electron source | |
| RU2297117C1 (en) | Device for producing impulse roentgen and neutron radiation | |
| RU107657U1 (en) | FORVACUMUM PLASMA ELECTRONIC SOURCE | |
| RU2306683C1 (en) | Plasma electron source | |
| RU2654493C1 (en) | Vacuum arrester | |
| CN111668080B (en) | Metal ion source emitter | |
| RU159300U1 (en) | ELECTRONIC SOURCE WITH PLASMA EMITTER | |
| RU210126U1 (en) | CONTROLLED VACUUM SPARGER WITH FILM ELECTRODES |