[go: up one dir, main page]

RU2640703C2 - Method of local processing steel articles under ionic nitrogen in magnetic field - Google Patents

Method of local processing steel articles under ionic nitrogen in magnetic field Download PDF

Info

Publication number
RU2640703C2
RU2640703C2 RU2016110289A RU2016110289A RU2640703C2 RU 2640703 C2 RU2640703 C2 RU 2640703C2 RU 2016110289 A RU2016110289 A RU 2016110289A RU 2016110289 A RU2016110289 A RU 2016110289A RU 2640703 C2 RU2640703 C2 RU 2640703C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
magnetic field
nitriding
zone
magnetic
steel product
Prior art date
Application number
RU2016110289A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2016110289A (en
Inventor
Владимир Васильевич Будилов
Камиль Нуруллаевич Рамазанов
Юлдаш Гамирович Хусаинов
Роман Сергеевич Есипов
Илья Владимирович Золотов
Рашид Денисламович Агзамов
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет"
Priority to RU2016110289A priority Critical patent/RU2640703C2/en
Publication of RU2016110289A publication Critical patent/RU2016110289A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2640703C2 publication Critical patent/RU2640703C2/en

Links

Images

Landscapes

  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)

Abstract

FIELD: chemistry.SUBSTANCE: method of local ionic nitriding of the steel product includes performing vacuum heating of the steel product in a nitrogen plasma of increased density, the nitrogen plasma of increased density being formed in the toroidal region of the oscillating electrons moving along the cycloidal closed trajectories formed by the crossed electric and magnetic fields by means of a magnetic system made with liquid cooling and containing stationary magnets. The steel article is positioned to ensure the location of the area to be nitrided in a magnetic field in the high-density nitrogen plasma zone to intensify the diffusion saturation of this region and to form the nitriding zone in a magnetic field. The transition zone of nitriding is provided at a portion of the steel product remote from the magnetic system and located between a portion of the said article with a nitriding zone in a magnetic field, in which the effective thickness of the nitrided layer is 80 mcm and a portion of the said article with a nitriding zone outside the magnetic field, on which the effective thickness of the nitrided layer is 40 mcm.EFFECT: increasing the contact durability and wear resistance of the product surface due to its local processing.3 dwg, 1 ex

Description

Изобретение относится к области химико-термической обработки, а именно вакуумному ионно-плазменному азотированию, и может быть использовано в машиностроении и других областях промышленности для локального поверхностного упрочнения широкого ассортимента деталей машин и инструмента.The invention relates to the field of chemical-thermal treatment, namely vacuum ion-plasma nitriding, and can be used in mechanical engineering and other industries for local surface hardening of a wide range of machine parts and tools.

Известен способ (патент РФ №2534906, кл. С23С 8/36, H01J 37/00, 10.12.2014) локальной обработки изделий, включающий создание макронеоднородной структуры материала посредством азотирования с перфорированным экраном, плотно прилегающего к обрабатываемой детали. В ячейке экрана формируется плазма с повышенной концентрацией частиц (возникает эффект полого катода), таким образом осуществляется возможность получения на поверхности чередующихся, азотированных в тлеющем разряде с эффектом полого катода участков с неазотированными участками.A known method (RF patent No. 2534906, class C23C 8/36, H01J 37/00, 12/10/2014) for local processing of products, including creating a macro-inhomogeneous structure of the material by nitriding with a perforated screen that is tightly adjacent to the workpiece. A plasma with an increased concentration of particles is formed in the cell of the screen (the hollow cathode effect appears), so that it is possible to obtain on the surface alternating sections, nitrided in a glow discharge with the hollow cathode effect, with non-nitrided sections.

Недостатком аналога является сложность изготовления перфорированного экрана для деталей со сложной конфигурацией формы.The disadvantage of the analogue is the complexity of manufacturing a perforated screen for parts with a complex shape configuration.

Известен способ (патент РФ №2402632, кл. С23С 8/36, 29.12.2008) локального азотирования деталей в плазме тлеющего разряда, включающий размещение детали в вакуумной камере и присоединение детали к высоковольтному источнику питания, герметизацию вакуумной камеры и создание в ней высокого вакуума с последующей заменой на атмосферу чистого азота, получение стабильной плазмы тлеющего разряда в атмосфере чистого азота с помощью высоковольтного источника питания и потока электронов от вольфрамовой нити накала, установленной параллельно оси вакуумной камеры, который создают нагревом нити накала до температуры 2000-2500°С, при этом поток электронов сжимают электромагнитным полем с образованием плазмы тлеющего разряда в виде диска.A known method (RF patent No. 2402632, class C23C 8/36, 12/29/2008) of local nitriding of parts in a glow discharge plasma, including placing the part in a vacuum chamber and attaching the part to a high-voltage power source, sealing the vacuum chamber and creating a high vacuum in it followed by replacing pure nitrogen with an atmosphere, obtaining a stable glow discharge plasma in a pure nitrogen atmosphere using a high-voltage power source and an electron stream from a tungsten filament installed parallel to the axis of the vacuum measures that provide heating the filament to a temperature of 2000-2500 ° C, wherein the electron stream is compressed electromagnetic field to form a plasma glow discharge in the form of a disc.

Недостатком аналога является сложность одновременной обработки нескольких деталей.The disadvantage of the analogue is the complexity of the simultaneous processing of several parts.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к заявляемому является способ вакуумного ионно-плазменного азотирования изделий из стали (патент РФ №2418095, кл. С23С 8/36, С23С 14/06, 10.05.2011), включающий проведение вакуумного нагрева изделий в плазме азота с повышенной концентрацией частиц, которую создают в тороидальной области движения электронов, образованной скрещенными электрическими и магнитными полями, при этом под действием магнитного поля, создаваемого двумя цилиндрическими магнитами, один из которых полый, электроны движутся по циклоидальным замкнутым траекториям.The closest in technical essence and the achieved result to the claimed is a method of vacuum ion-plasma nitriding of steel products (RF patent No. 2418095, class C23C 8/36, C23C 14/06, 05/10/2011), which includes conducting vacuum heating of products in plasma nitrogen with an increased concentration of particles, which is created in the toroidal region of electron motion formed by crossed electric and magnetic fields, while under the influence of a magnetic field created by two cylindrical magnets, one of which is hollow, an electron move on cycloidal closed trajectories.

Недостатком ближайшего аналога является отсутствие возможности локальной обработки материала.The disadvantage of the closest analogue is the lack of local processing of the material.

Задачей, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является повышение прочностных и трибологических характеристик стальных изделий.The problem to which the invention is directed, is to increase the strength and tribological characteristics of steel products.

Технический результат - повышение контактной долговечности и износостойкости за счет локальной обработки деталей.EFFECT: increased contact durability and wear resistance due to local processing of parts.

Задача решается, а технический результат достигается тем, что в способе локальной обработки изделия при ионном азотировании, включающем проведение вакуумного нагрева изделия в плазме азота повышенной плотности, которую создают в тороидальной области осциллирующих электронов, движущихся по циклоидальным замкнутым траекториям, образованной в скрещенных электрических и магнитных полях, при этом изделие располагают так, чтобы участок, подлежащий обработке, находился в зоне плазмы азота повышенной плотности, с возможностью интенсификации процесса диффузионного насыщения этого участка, причем плавный переход от азотированного слоя в магнитном поле к азотированному слою вне магнитного поля осуществляют по мере отдаления от магнитной системы.The problem is solved, and the technical result is achieved by the fact that in the method of local processing of the product with ion nitriding, which involves vacuum heating the product in a high-density nitrogen plasma, which is created in the toroidal region of oscillating electrons moving along cycloidal closed paths formed in crossed electric and magnetic fields, while the product is positioned so that the area to be processed is in the zone of high-density nitrogen plasma, with the possibility of intensification and the process of diffusion saturation of this section, moreover, a smooth transition from the nitrided layer in the magnetic field to the nitrided layer outside the magnetic field is carried out as the distance from the magnetic system.

Характерной особенностью изнашивания штамповочного инструмента является интенсивный износ в локальных зонах. Это предопределяет необходимость выполнения упрочняющей обработки таким образом, чтобы достигнуть максимальной износостойкости именно в этих зонах. При реализации азотирования в тлеющем разряде с наложением электрических и магнитных полей имеет место неоднородность распределения характеристик плазмы в газоразрядном промежутке, а именно ее плотности. Вследствие осцилляции электронов в магнитной ловушке вблизи магнитной системы у поверхности катода формируется плазма повышенной плотности по сравнению с тлеющим разрядом вне магнитного поля. При внесении изделия в прикатодную область на ее локальном участке повышается скорость катодного распыления-конденсации, интенсифицируется процесс диффузионного насыщения этого участка. Так реализуется локальное (азотирование в магнитном поле) воздействие на изделие. По мере удаления от магнитной системы осуществляется снижение диффузионного насыщения, в результате чего на различных участках изделия фазовые и структурные превращения протекают не одновременно, а в разной последовательности и степени. Общая обработка обеспечивает требуемые свойства исходного материала. Местная же (локальная) обработка служит для получения в зоне интенсивного износа изделия участка с максимальной износостойкостью и контактной долговечностью. При этом между участками с различной характеристикой существует переходная область, в которой свойства изменяется постепенно.A characteristic feature of the wear of the stamping tool is intense wear in local areas. This makes it necessary to perform hardening treatment in such a way as to achieve maximum wear resistance in these areas. When nitriding is realized in a glow discharge with the application of electric and magnetic fields, the distribution of the characteristics of the plasma in the gas-discharge gap is inhomogeneous, namely, its density. Due to the oscillation of electrons in a magnetic trap near the magnetic system, a plasma of increased density is formed near the cathode surface as compared to a glow discharge outside a magnetic field. When a product is introduced into the cathode region at its local area, the speed of cathode sputtering-condensation increases, and the process of diffusion saturation of this area is intensified. Thus, local (nitriding in a magnetic field) effect on the product is realized. As you move away from the magnetic system, diffusion saturation decreases, as a result of which phase and structural transformations occur in different parts of the product not simultaneously, but in a different sequence and degree. General processing provides the required properties of the starting material. Local (local) processing is used to obtain in the area of intensive wear of the product area with maximum wear resistance and contact durability. In this case, between regions with different characteristics there is a transition region in which the properties change gradually.

Использование магнитного поля при ионном азотировании в тлеющем разряде способствует повышению тока разряда в 1,5 раза, вследствие чего возрастает число активных ионов, участвующих в процессе катодного распыления-конденсации на поверхности металла. При давлении в вакуумной камере 120 Па наложение магнитного поля способствует уменьшению длительности обработки в 2 раза [Вафин Р.К. Влияние ионного азотирования в тлеющем разряде с магнитным полем на структуру и фазовый состав инструментальных сталей Р6М5 и Х12: дис.канд. техн. наук. - Уфа: УГАТУ, 2013. - 127 с.].The use of a magnetic field during ion nitriding in a glow discharge helps to increase the discharge current by a factor of 1.5, as a result of which the number of active ions participating in the process of cathodic sputtering-condensation on the metal surface increases. When the pressure in the vacuum chamber is 120 Pa, the application of a magnetic field helps to reduce the processing time by 2 times [R. Wafin The effect of ion nitriding in a glow discharge with a magnetic field on the structure and phase composition of tool steels P6M5 and X12: diss. tech. sciences. - Ufa: USATU, 2013. - 127 p.].

Существо изобретения поясняется чертежами.The invention is illustrated by drawings.

На фиг.1 изображена схема локальной обработки в тлеющем разряде в скрещенных электрических и магнитных полях, где 1 - стенка вакуумной камеры, 2 - стационарный магнит, 3 - обрабатываемое изделие (паунсон), 4 -силовые линии магнитного поля, 5 - область интенсивного свечения газа. На фиг.2 схематично показан характер распределения толщины азотированного слоя, в котором выделяется три зоны: 6 - зона азотирования в магнитном поле, 7 - участок переходной зоны, 8 - зона азотирования вне магнитного поля; h1, h2 - толщина азотированного слоя, причем h2<h1. На фиг.3 изображен характер распределения микротвердости в поперечном сечении изделия на различных участках азотирования.Figure 1 shows a diagram of local processing in a glow discharge in crossed electric and magnetic fields, where 1 is the wall of the vacuum chamber, 2 is a stationary magnet, 3 is the workpiece (punchon), 4 are the power lines of the magnetic field, 5 is the region of intense luminescence gas. Figure 2 schematically shows the nature of the distribution of the thickness of the nitrided layer, in which there are three zones: 6 - zone of nitriding in a magnetic field, 7 - section of the transition zone, 8 - zone of nitriding outside the magnetic field; h 1 , h 2 - the thickness of the nitrided layer, and h 2 <h 1 . Figure 3 shows the nature of the distribution of microhardness in the cross section of the product at different sites of nitriding.

Пример конкретной реализации способаAn example of a specific implementation of the method

Реализация способа показана на примере локальной обработки инструмента - пуансона (фиг. 1), изготовленного из стали Х12 (ГОСТ 5950-2000). Перед ионным азотированием паунсон проходил предварительную термическую обработку - улучшение, состоящую из закалки (1150°С) и отпуска (550°С). Способ осуществляется следующим образом: в вакуумной камере 1 устанавливают герметичную систему, включающую стационарный магнит 2, в которой предусмотрено жидкостное охлаждение, и обрабатываемое изделие 3. Изделие располагают так, чтобы его обрабатываемый участок во время обработки находился в плазме азота повышенной плотности 5, при этом силовые линии магнитного поля 4 покрывают прилегающие участки локальной обработки. Далее магнитную систему и изделие подключают к отрицательному электроду, герметизируют камеру и откачивают воздух до давления 10 Па. Затем после эвакуации воздуха камеру продувают рабочим газом 5-15 минут при давлении 1000-1330 Па, затем откачивают рабочий газ до давления 40 Па, подают на электроды напряжение и возбуждают тлеющий разряд. При напряжении 800-1000 В осуществляют катодное распыление. После 10-15-минутной обработки по режиму катодного распыления напряжение понижают до рабочего, а давление повышают до 120 Па, необходимое для эффективной обработки. В качестве рабочего газа использовали газовую смесь азота, аргона и ацетилена (N2 25%+Ar 70%+С2Н2 5%). Азотирование в тлеющем разряде с магнитным полем производят при р=120 Па, I=0,3 А, U=600 В в течение 4 ч. Все процессы проходят за один технологический цикл, в одной камере и в одной атмосфере. После обработки изделие охлаждают вместе с вакуумной камерой под вакуумом.The implementation of the method is shown by the example of local processing of a tool - a punch (Fig. 1) made of steel X12 (GOST 5950-2000). Before ion nitriding, Punson underwent preliminary heat treatment - an improvement consisting of quenching (1150 ° С) and tempering (550 ° С). The method is as follows: in a vacuum chamber 1, an airtight system is installed, including a stationary magnet 2, in which liquid cooling is provided, and the workpiece 3. The product is placed so that its treated section is in a high-density nitrogen plasma 5 during treatment, while magnetic field lines 4 cover adjacent areas of local processing. Next, the magnetic system and the product are connected to the negative electrode, the chamber is sealed, and air is pumped out to a pressure of 10 Pa. Then, after evacuating the air, the chamber is purged with working gas for 5-15 minutes at a pressure of 1000-1330 Pa, then the working gas is pumped out to a pressure of 40 Pa, voltage is applied to the electrodes and a glow discharge is excited. At a voltage of 800-1000 V carry out cathodic sputtering. After 10-15 minutes of cathodic sputtering treatment, the voltage is reduced to the working one, and the pressure is increased to 120 Pa, which is necessary for effective processing. As the working gas, a gas mixture of nitrogen, argon and acetylene (N 2 25% + Ar 70% + C 2 H 2 5%) was used. Nitriding in a glow discharge with a magnetic field is carried out at p = 120 Pa, I = 0.3 A, U = 600 V for 4 hours. All processes take place in one technological cycle, in one chamber and in one atmosphere. After processing, the product is cooled together with a vacuum chamber under vacuum.

На обработанном изделии выделяют три зоны (фиг. 2): зона азотирования в магнитном поле 6, переходная зона 7 и зона азотирования вне магнитного поля 8. В зоне азотирования в магнитном поле в результате интенсификации диффузионного насыщения, толщина азотированного слоя h1 в 2 раза выше, чем слоя h2 сформированном в зоне азотирования вне магнитного поля. В переходной зоне, вследствие снижения диффузионного насыщения имеет место уменьшение толщины азотированного слоя по мере удаления от зоны азотирования в магнитном поле.Three zones are distinguished on the processed product (Fig. 2): the nitriding zone in the magnetic field 6, the transition zone 7 and the nitriding zone outside the magnetic field 8. In the nitriding zone in the magnetic field as a result of intensification of diffusion saturation, the nitrided layer thickness h 1 is 2 times higher than the h 2 layer formed in the nitriding zone outside the magnetic field. In the transition zone, due to a decrease in diffusion saturation, a decrease in the thickness of the nitrided layer takes place with distance from the nitriding zone in a magnetic field.

Распределение микротвердости в поперечном сечении изделия на различных участках показано на фиг. 3. На участке азотирования в магнитном поле эффективная толщина азотированного слоя составляет 80 мкм, в то время как на участке азотирования вне магнитного поля 40 мкм. При этом поверхностная микротвердость участка азотирования в магнитном поле составляет HV50=1600 МПа, в то время как на участке азотирования вне магнитного поля HV50=1570 МПа.The distribution of microhardness in the cross section of the product at various sites is shown in FIG. 3. In the nitriding section in a magnetic field, the effective thickness of the nitrided layer is 80 μm, while in the nitriding section outside the magnetic field is 40 μm. The surface microhardness of the nitriding section in a magnetic field is HV 50 = 1600 MPa, while in the nitriding section outside the magnetic field, HV 50 = 1570 MPa.

Заявляемый способ позволяет повысить прочностные и трибологические характеристики стальных изделий в результате создания в зоне их интенсивного износа участка с повышенной контактной долговечностью и износостойкостью.The inventive method allows to increase the strength and tribological characteristics of steel products as a result of creating in the zone of intensive wear of the site with increased contact durability and wear resistance.

Claims (1)

Способ локального ионного азотирования стального изделия, включающий проведение вакуумного нагрева стального изделия в плазме азота повышенной плотности, отличающийся тем, что плазму азота повышенной плотности формируют в тороидальной области осциллирующих электронов, движущихся по циклоидальным замкнутым траекториям, образованной скрещенными электрическими и магнитными полями, посредством магнитной системы, выполненной с жидкостным охлаждением и содержащей стационарные магниты, при этом стальное изделие располагают с обеспечением расположения участка, подлежащего азотированию в магнитном поле, в зоне плазмы азота повышенной плотности для интенсификации диффузионного насыщения этого участка и формирования зоны азотирования в магнитном поле, при этом переходную зону азотирования обеспечивают на участке стального изделия, удаленном от магнитной системы и расположенном между участком упомянутого изделия с зоной азотирования в магнитном поле, на котором эффективная толщина азотированного слоя составляет 80 мкм, и участком упомянутого изделия с зоной азотирования вне магнитного поля, на котором эффективная толщина азотированного слоя составляет 40 мкм.A method of local ion nitriding of a steel product, comprising conducting vacuum heating of a steel product in a high-density nitrogen plasma, characterized in that a high-density nitrogen plasma is formed in the toroidal region of oscillating electrons moving along cycloidal closed paths formed by crossed electric and magnetic fields by means of a magnetic system made with liquid cooling and containing stationary magnets, while the steel product is disposed with the location of the site to be nitrided in a magnetic field in a zone of high density nitrogen plasma to intensify the diffusion saturation of this site and the formation of a nitriding zone in a magnetic field, while the transition zone of nitriding is provided on the site of the steel product, remote from the magnetic system and located between the site of the aforementioned products with a nitriding zone in a magnetic field, on which the effective thickness of the nitrided layer is 80 μm, and a portion of the said product with a nitriding zone out of a magnetic field at which the effective thickness of the nitrided layer is 40 μm.
RU2016110289A 2016-03-21 2016-03-21 Method of local processing steel articles under ionic nitrogen in magnetic field RU2640703C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016110289A RU2640703C2 (en) 2016-03-21 2016-03-21 Method of local processing steel articles under ionic nitrogen in magnetic field

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016110289A RU2640703C2 (en) 2016-03-21 2016-03-21 Method of local processing steel articles under ionic nitrogen in magnetic field

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2016110289A RU2016110289A (en) 2017-09-27
RU2640703C2 true RU2640703C2 (en) 2018-01-11

Family

ID=59930899

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016110289A RU2640703C2 (en) 2016-03-21 2016-03-21 Method of local processing steel articles under ionic nitrogen in magnetic field

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2640703C2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2711064C1 (en) * 2019-02-05 2020-01-15 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Method of increasing wear resistance of a gear-type part
RU2766388C1 (en) * 2021-04-02 2022-03-15 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Method for surface treatment on steel parts

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61272361A (en) * 1985-05-29 1986-12-02 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Local nitriding method
JP2000017420A (en) * 1998-07-02 2000-01-18 Pascal Kk Glow discharge treatment of type to make combination use of high-voltage peak pulse impression and glow discharge treatment apparatus
US20090032143A1 (en) * 2004-06-22 2009-02-05 Scott G Walton Electron beam enhanced nitriding system
RU2402632C2 (en) * 2008-12-29 2010-10-27 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кубанский государственный технологический университет" (ГОУВПО "КубГТУ") Procedure for metal part local nitriding in plasma of glow discharge

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61272361A (en) * 1985-05-29 1986-12-02 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Local nitriding method
JP2000017420A (en) * 1998-07-02 2000-01-18 Pascal Kk Glow discharge treatment of type to make combination use of high-voltage peak pulse impression and glow discharge treatment apparatus
US20090032143A1 (en) * 2004-06-22 2009-02-05 Scott G Walton Electron beam enhanced nitriding system
RU2402632C2 (en) * 2008-12-29 2010-10-27 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кубанский государственный технологический университет" (ГОУВПО "КубГТУ") Procedure for metal part local nitriding in plasma of glow discharge

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2711064C1 (en) * 2019-02-05 2020-01-15 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Method of increasing wear resistance of a gear-type part
RU2766388C1 (en) * 2021-04-02 2022-03-15 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Method for surface treatment on steel parts

Also Published As

Publication number Publication date
RU2016110289A (en) 2017-09-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5503725A (en) Method and device for treatment of products in gas-discharge plasma
EP0797838B1 (en) Method and apparatus for plasma processing
US5015493A (en) Process and apparatus for coating conducting pieces using a pulsed glow discharge
TWI428953B (en) Method and device for treating the surface of at least one part by using elementary plasma sources by electron cyclotron resonance
CN101158022A (en) Austenitic stainless steel electron beam assisted plasma surface modification method and equipment
RU2640703C2 (en) Method of local processing steel articles under ionic nitrogen in magnetic field
CN1030777C (en) Metal plasma source ion implantation method and device
Grusdev et al. Universal plasma electron source
RU2413033C2 (en) Procedure for plasma nitriding item out of steel or non-ferrous alloy
RU2418095C2 (en) Procedure for vacuum ion-plasma nitriding items out of steel
RU2625864C1 (en) Method of low-temperature ion nitriding steel products in magnetic field
RU2654161C1 (en) Method or local ionic nitriding of steel articles in glow discharge with magnetic field
RU2664106C2 (en) Method of low-temperature ionic nitration of steel parts
JP2002194527A (en) Nitriding equipment using electron beam excited plasma
CN108411246B (en) Auxiliary equipment and method for improving ion nitriding efficiency of surface of low-alloy structural steel
US3616383A (en) Method of ionitriding objects made of high-alloyed particularly stainless iron and steel
Kwon et al. Geometric effect of ion nitriding on the nitride growth behavior in hollow tube
RU2450083C2 (en) Plant for vacuum ion-plasma treatment of long components
RU2633867C1 (en) Method for low-temperature ion nitriding of titanium alloys
RU2611003C1 (en) Method of ion nitration of titanium alloys
WO2012150877A2 (en) Method for modifying the surface properties of materials and articles
RU2711067C1 (en) Method of ion nitriding in crossed electric and magnetic fields
Smirnov et al. Microstructure and wear resistance of modified surfaces obtained by ion-plasma nitriding of 40ХН2МА steel
RU2625518C2 (en) Method of nitridation of titanic alloys in glow discharge
RU2687616C1 (en) Method for low-temerature ion nitriding of titanium alloys with constant pumping of a gas mixture

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20210322