RU2526552C1 - Способ получения наноразмерных оксидов металлов из металлоорганических прекурсоров - Google Patents
Способ получения наноразмерных оксидов металлов из металлоорганических прекурсоров Download PDFInfo
- Publication number
- RU2526552C1 RU2526552C1 RU2012154442/05A RU2012154442A RU2526552C1 RU 2526552 C1 RU2526552 C1 RU 2526552C1 RU 2012154442/05 A RU2012154442/05 A RU 2012154442/05A RU 2012154442 A RU2012154442 A RU 2012154442A RU 2526552 C1 RU2526552 C1 RU 2526552C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- energy
- reactor
- metal oxides
- nanosized
- electron beam
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 36
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 10
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 title claims abstract description 10
- 239000002243 precursor Substances 0.000 title claims description 16
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 title claims description 15
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 11
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 9
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 5
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 abstract 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 16
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 16
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 12
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 9
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 7
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 5
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 4
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical class [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 3
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 3
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 3
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- WGQKYBSKWIADBV-UHFFFAOYSA-N benzylamine Chemical compound NCC1=CC=CC=C1 WGQKYBSKWIADBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J titanium tetrachloride Chemical compound Cl[Ti](Cl)(Cl)Cl XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 2
- 230000005461 Bremsstrahlung Effects 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 Tetraethoxysilane ions Chemical class 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000001311 chemical methods and process Methods 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- XGZNHFPFJRZBBT-UHFFFAOYSA-N ethanol;titanium Chemical compound [Ti].CCO.CCO.CCO.CCO XGZNHFPFJRZBBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001301 ethoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000005272 metallurgy Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 1
- 238000001338 self-assembly Methods 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 230000002311 subsequent effect Effects 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Abstract
Изобретение может быть использовано в химической промышленности. Наноразмерные оксиды металлов получают химической реакцией окисления металлоорганического соединения при инициировании процессов энергетическим воздействием, в качестве которого используют импульсный электронный пучок энергией электронов 100÷500 кэВ, длительностью 10÷100 нс и с полным током пучка 1-10 кА. Предложенное изобретение позволяет увеличить производительность и расширить номенклатуру получаемых наноразмерных оксидов на одном и том же оборудовании без изменения режима синтеза. 2 табл., 1 ил.
Description
Изобретение относится к химической и технической физике, металлургии и предназначено для получения наноразмерных порошков оксидов.
Известен способ [Патент RU №2153016, МПК7 C22B 34/00, C01B 33/00, H05B 7/00, опубл. 20.07.2000] получения редких тугоплавких металлов, кремния и их соединений. Способ заключается в восстановлении (или разложении) газообразных соединений металлов и кремния в присутствии реагентов в зоне низкотемпературной термонеравновесной плазмы. В способе используют дополнительное введение в зону реакции горючей смеси (водорода и кислорода) и активировании газообразных реагентов ультрафиолетовым излучением.
Известен способ [Патент RU №2264888, МПК7 B22F 9/28, опубл. 20.07.2005] получения нанодисперсных порошков оксидов. Способ заключается в подаче в реактор галогенида металла и восстановителя в газообразных состояниях. В реактор до обработки смеси газов подают кислород и инициируют цепной химический процесс импульсным энергетическим воздействием с длительностью не более 10-5 секунды.
Известен способ [Патент RU №2230033, МПК7 C01G 23/07, опубл. 10.06.2004] получения диоксида титана. Способ включает генерацию плазмы кислорода (или кислородосодержащего газа) с температурой 1300-3600°C в электродуговом генераторе плазмы. Далее в плазменный поток вводят тетрахлорид титана в жидком состоянии. Проводят окисление тетрахлорида титана при понижении температуры продуктов реакции до 1000-1600°C, охлаждение образовавшихся продуктов реакции и отделение целевого продукта.
Недостатками данных способов является необходимость дополнительного введения в зону реакции горючей смеси (водорода и кислорода); неудобство использования в качестве исходных реагентов галогенидов металлов, реагирующих при нормальных условиях с парами воды, содержащимися в воздухе, с образованием паров хлороводорода.
Известен способ [Hendrik K. Kammler Sotiris E. Pratsinis Scaling-up the Production of Nanosized SiO2-particles in a Double Diffusion Flame Aerosol Reactor // Journal of Nanoparticle Research. - 1999. - vol.1, №4. - pp.467-477] получения наноразмерного диоксида кремния при окислении гексаметилдисилоксана в проточном реакторе. Способ позволяет получать наноразмерный диоксид кремния средним размером частиц от 15 до 170 нм. Производительность установки - 130 г/час. Однако способ является достаточно сложным в аппаратурном оформлении.
Известен способ [Thomas Delclos, Carole Aimé, Emilie Pouget, Aurélie Brizard, Ivan Huc, Marie-Hélène Delville and Reiko Oda. Individualized Silica Nanohelices and Nanotubes: Tuning Inorganic Nanostructures Using Lipidic Self-Assemblies // Nano Lett. - 2008. - N.8. - P.1929-1935] получения наноразмерного диоксида кремния золь-гель методом. Тетраэтоксисилан подвергался гидролизу на поверхности «шаблонного» органического геля. Затем органика удалялась путем отжига при температуре 450°C. В качестве исходных прекурсоров использовали (C2H4-1,2-((CH3)2N+C16H33)2) и тетраэтоксисилан в смеси с бензиламином в качестве катализатора. Недостатками данного способа являются большие энергозатраты, связанные с процессами гидролиза и отжига на отдельных этапах получения конечного продукта в виде наноразмерного порошка диоксида кремния.
Наиболее близким к предлагаемому способу является способ, выбранный нами за прототип [Motoaki Adachi, Shigeki Tsukui, Kikuo Okuyama Nanoparticle Formation Mechanism in CVD Reactor with Ionization of Source Vapor // Journal of Nanoparticle Research. - 2003. - v.5 (1-2). - pp.31-37]. Он заключается в химическом осаждении из газовой фазы металлоорганического прекурсора (тетраэтоксисилана и кислорода) для получения наночастиц диоксида кремния. Для уменьшения агломеративности частиц используют энергетическое воздействие путем обработки в коронном разряде молекул металлоорганического прекурсора в дополнительной камере. Вследствие этого происходит уменьшение Ван-дер-ваальсовых сил при смешивании в основной камере молекул тетраэтоксислана и кислорода, имеющих однополярный заряд. Способ включает подачу тетраэтоксисилана в предварительную камеру, где его молекулы обрабатываются коронным разрядом (при различном потенциале высоковольтного электрода ионизатора от -10 до +6 кВ) при высоком давлении 0,1-0,3 МПа и перемещаются в реактор. Ионы тетраэтоксисилана реагируют с молекулами кислорода, образовывая частицы диоксида кремния. Поскольку частицы, содержащие тетроэтоксисилан, имеют большое количество этоксигрупп, авторы предлагают поддерживать в реакторе температуру 723-873 К. Если температура реактора меньше данного диапазона, то синтезируются частицы крупного размера. Также на размер частиц в данном методе влияет время сбора конечных продуктов (чем меньше время, тем меньше размер частиц). Исходная концентрации тетраэтоксисилана 3,4×10-5 и 8,60×10-6 моль/л, объем реактора 100 и 200 см3.
Недостатком способа прототипа является сложность аппаратурного обеспечения (дополнительная камера для ионизации молекул металлоорганического соединения), высокая энергоемкость процесса из-за необходимости постоянного обогрева реактора до температуры 723-873 К, низкая производительность процесса вследствие использования малой концентрации тетраэтоксисилана и малого объема реактора, зависимость размера получаемых оксидов от времени сбора конечного продукта и потенциала ионизатора.
Задачей предложенного решения является разработка энергосберегающего способа получения наноразмерных оксидов металлов из металлоорганического прекурсора.
Технический результат заключается в увеличении производительности, расширении номенклатуры получаемых наноразмерных оксидов на одном и том же оборудовании без изменения режима синтеза.
Техническая задача достигается тем, что в способе получения наноразмерных оксидов металлов из металлоорганических прекурсоров путем проведения химической реакции окисления металлоорганического соединения при инициировании процессов энергетическим воздействием, в отличие от прототипа, на смесь воздействуют импульсным электронным пучком с энергией электронов 100÷500 кэВ, длительностью 10÷100 нс и с полным током пучка 1-10 кА.
Способ получения наноразмерных оксидов металлов из металлоорганических прекурсоров основан на объемном возбуждении реакционного газа импульсным электронным пучком и организации процесса протекания реакции во всей области возбуждения. Энергетические затраты пучка значительно ниже энергии выделяемой в химических эндотермических реакциях и при формировании частиц оксидов.
Целесообразно в качестве энергетического воздействия использовать импульсный электронный пучок, энергия электронов которого составляет 100÷500 кэВ. Использование импульсного электронного пучка такой энергии позволяет увеличить объем реакционной камеры до 8 л. Использовать пучок электронов энергией меньше 100 кэВ нецелесообразно вследствие того, что вывод электронного пучка в реакционную камеру со смесью газов осуществляется через выводное окно, представляющее собой алюминиевую фольгу (толщиной 140 мкм), поэтому электроны с более низкой энергией будут задерживаться в выводном окне. Использование пучка электронов с энергией более 500 кэВ возможно, тем самым можно увеличить производительность установки, однако такие установки требуют дополнительной защиты от тормозного рентгеновского излучения и обязательной регистрации их в СЭС.
Целесообразно использовать ток пучка 1-10 кА. В случае когда ток пучка меньше 1 кА - меньше количество и первичных электронов, значит, происходит меньшее количество актов ионизации, в результате чего уменьшается количество зародышей реакции процесса синтеза. Использование пучка электронов с током больше указанного диапазона возможно, однако это увеличивает экономические затраты на создание подобной установки.
Целесообразно использовать электронный пучок длительностью 10÷100 нс. Использование пучка длительностью больше 100 нс нецелесообразно, так как в этом случае время жизни активных частиц будет меньше, чем время энергетического воздействия на исходные вещества. Использования пучка электронов длительностью менее 10 нс требует более сложного аппаратурного оформления, что экономически нецелесообразно.
На фигуре приведена схема установки для получения наноразмерных оксидов металлов из металлоорганических прекурсоров.
Установка состоит из реактора 2 с патрубком 1 для подачи металлоорганического соединения, патрубком 3 для подачи кислорода, окном 4 для осуществления импульсного энергетического воздействия, окном 5 для сбора порошка, патрубком 6 для вывода побочных продуктов и 7 источника импульсного энергетического воздействия - импульсного электронного ускорителя.
Способ осуществляют следующим образом, металлоорганическое соединение через патрубок 1 подают в объем реактора 2, где нагревают его до температуры кипения (от 350 до 450 К), либо плавления (от 400 до 500 К) при использовании твердого металлоорганического прекурсора. Через патрубок 3 в объем реактора 2 подают кислород. Через окно 4 на смесь газов в реакторе 2 производят энергетическое воздействие импульсным электронным пучком от источника 7. Продукты реакции в виде наноразмерного порошка собираются на дне реактора 2 и удаляются через окно 5. Побочные продукты реакции в газообразном состоянии (CO2, H2O) удаляются через патрубок 6.
Заявляемый способ позволяет совместить камеру для ионизации металлоорганического прекурсора и реакционную камеру, что позволяет повысить эффективность передаваемой энергии реактивам.
Пример 1. Реактор 2, изготовленный из кварцевого стекла, диаметром 140 мм, объемом 6 л, оснащен манометром, вакуумметром, малоинерционным датчиком давления для регистрации быстропротекающих процессов, запорно-регулирующей арматурой для напуска исходной реагентной смеси и откачки газа. Реактор 2 перед напуском смеси газов откачивали до давления ~7 торр, далее нагревают до температуры кипения (442 К) Si(C2H5O)4. После в реактор 2 вводят тетраэтоксисилан, а затем кислород. Концентрация исходных реагентов: 2,2 ммоль металлоорганического соединения Si(C2H5O)4 и 26,87 моль кислорода. При воздействии импульсного сильноточного электронного пучка с параметрами: энергия электронов 450-500 кэВ, ток пучка 1-10 кА, длительность импульса 60 нс, на смесь металлоорганического соединения Si(C2H5O)4 и кислорода протекают реакции окисления металлоорганического соединения Si(C2H5O)4 инициированные электронным ударом:
Полная конверсия Si(C2H5O)4 происходила за один импульс электронного пучка. После инжекции электронного пучка в смесь в реакторе образовывался наноразмерный порошок.
В таблице 1 приведены Примеры 2 и 3 получения наноразмерных порошков оксидов титана и меди при одинаковых условиях синтеза и при однократном воздействии импульсного электронного пучка на смесь исходных реагентов.
В таблице 2 показано влияние последующих воздействий электронного пучка на синтезированные частицы оксидов металлов при концентрации исходных реагентов, указанной в таблице 1.
Процесс получения порошков оксидов можно осуществлять как в цикличном режиме (напуск газа→облучение→откачка побочных продуктов реакции в газообразном состоянии), так и в непрерывном (проточном режиме).
Полученные наноразмерные частицы из металлоорганического прекурсора имеют средний размер 40-100 нм.
Предложенный способ применим для получения наноразмерных порошков оксидов различных металлов из металлоорганических прекурсоров. Способ позволяет повысить производительность процесса получения оксидов за счет увеличения объема плазмохимического реактора и концентрации исходных реагентов. В предложенном способе нагрев реакционной камеры производится только до температуры кипения металлоорганического прекурсора, что позволяет не только снизить энергозатраты, но и повысить чистоту конечного продукта, за счет исключения технологических загрязнений, вызванных нагревом реактора до температур, требуемых для протекания химических реакций.
| Таблица 1 | ||||
| Полученный оксид металла | Исходные реагенты (металлоорганический прекурсор + газ) | Основные физико-химические свойства металлоорганического прекурсора | Концентрация исходных компонентов | Средний размер, получаемых оксидов |
| SiO2 | Тетраэтоксисилан | Si(C2H5O)4 | Si(C2H5O)4=2,2 ммоль | 40-80 нм |
| Кислород | Tкип=442 К | O2=26,87 моль | ||
| TiO2 | Тетраэтоксититан | Ti(C2H5O)4 | Ti(C2H5O)4=2,2 ммоль | 50-100 нм |
| Кислород | Tкип=423 К | O2=26,87 моль | ||
| CuO | Салицилальимин меди | C14H12O2N2Cu | C14H12O2N2Cu=2,2 ммоль | 60-80 нм |
| Кислород | Tплавления=490 К | O2=26,87 моль | ||
| Таблица 2 | ||||
| Полученный оксид металла | Концентрация исходных компонентов | 1 импульс | 5 импульсов | 10 импульсов |
| Средний размер получаемых оксидов | ||||
| SiO2 | Si(C2H5O)4=2,2 ммоль | 40-80 нм | 60-100 нм | 120-180 нм |
| O2=26,87 моль | ||||
| TiO2 | Ti(C2H5O)4=2,2 ммоль | 50-100 нм | 70-120 нм | 150-200 нм |
| O2=26,87 моль | ||||
| CuO | C14H12O2N2Cu=2,2 ммоль | 60-80 нм | 80-100 нм | 150-180 нм |
| O2=26,87 моль | ||||
Claims (1)
- Способ получения наноразмерных оксидов металлов из металлоорганических прекурсоров путем проведения химической реакции окисления металлоорганического соединения при инициировании процессов энергетическим воздействием, отличающийся тем, что на смесь воздействуют импульсным электронным пучком с энергией электронов 100÷500 кэВ, длительностью 10÷100 нс и с полным током пучка 1-10 кА.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012154442/05A RU2526552C1 (ru) | 2012-12-17 | 2012-12-17 | Способ получения наноразмерных оксидов металлов из металлоорганических прекурсоров |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012154442/05A RU2526552C1 (ru) | 2012-12-17 | 2012-12-17 | Способ получения наноразмерных оксидов металлов из металлоорганических прекурсоров |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012154442A RU2012154442A (ru) | 2014-08-10 |
| RU2526552C1 true RU2526552C1 (ru) | 2014-08-27 |
Family
ID=51354740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012154442/05A RU2526552C1 (ru) | 2012-12-17 | 2012-12-17 | Способ получения наноразмерных оксидов металлов из металлоорганических прекурсоров |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2526552C1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2770539C2 (ru) * | 2017-07-19 | 2022-04-18 | Карма | Гибкая барьерная мембрана и способ получения гибкой барьерной мембраны |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2353573C2 (ru) * | 2006-12-18 | 2009-04-27 | Институт электрофизики Уральского отделения РАН | Способ получения нанопорошков и устройство для его реализации |
| WO2011008778A2 (en) * | 2009-07-14 | 2011-01-20 | University Of Massachusetts | Metal and metal oxide structures and preparation thereof |
| US20110149473A1 (en) * | 2009-12-21 | 2011-06-23 | Eilertsen Thor E | Energy storage in edlcs by utilizing a dielectric layer |
-
2012
- 2012-12-17 RU RU2012154442/05A patent/RU2526552C1/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2353573C2 (ru) * | 2006-12-18 | 2009-04-27 | Институт электрофизики Уральского отделения РАН | Способ получения нанопорошков и устройство для его реализации |
| WO2011008778A2 (en) * | 2009-07-14 | 2011-01-20 | University Of Massachusetts | Metal and metal oxide structures and preparation thereof |
| US20110149473A1 (en) * | 2009-12-21 | 2011-06-23 | Eilertsen Thor E | Energy storage in edlcs by utilizing a dielectric layer |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| MOTOAKI ADACHI, et. al, Nanoparticle formation mechanism in CVD reactor with ionization of source vapor, Journal of Nanoperticle Research 2003, v. 5 (1-2), p.p. 31-37 * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2770539C2 (ru) * | 2017-07-19 | 2022-04-18 | Карма | Гибкая барьерная мембрана и способ получения гибкой барьерной мембраны |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2012154442A (ru) | 2014-08-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Lin et al. | Microplasma: a new generation of technology for functional nanomaterial synthesis | |
| Lin et al. | Synthesis of yttrium oxide nanoparticles via a facile microplasma-assisted process | |
| US6669823B1 (en) | Process for preparing nanostructured materials of controlled surface chemistry | |
| Lee et al. | Preparation of nonaggregated silver nanoparticles by the liquid phase plasma reduction method | |
| Zhu et al. | Preparation, characterization and photocatalytic properties of ZnO-coated multi-walled carbon nanotubes | |
| Wang et al. | Enhanced hydrogen production from water on Pt/g-C3N4 by room temperature electron reduction | |
| Lin et al. | Plasma-electrochemical synthesis of europium doped cerium oxide nanoparticles | |
| Burakov et al. | Synthesis and modification of molecular nanoparticles in electrical discharge plasma in liquids | |
| Sun et al. | Surface modification of titania-coated cobalt ferrite magnetic photocatalyst by cold plasma | |
| Senthilkumar et al. | Synthesis of zinc oxide nanoparticles by dc arc dusty plasma | |
| Lin et al. | Plasma-assisted nitrogen fixation in nanomaterials: fabrication, characterization, and application | |
| Wang et al. | Synthesis of ultrafine silicon carbide nanoparticles using nonthermal arc plasma at atmospheric pressure | |
| Khanna et al. | Synthesis of indium phosphide nanoparticles via catalytic cleavage of phosphorus carbon bond in n-trioctylphosphine by indium | |
| Lu et al. | Synthesis of spindle-like CuO nanoparticles by using cathode glow discharge electrolysis plasma | |
| Kumar et al. | Synthesis of silver metal nanoparticles through electric arc discharge method: a review | |
| RU2526552C1 (ru) | Способ получения наноразмерных оксидов металлов из металлоорганических прекурсоров | |
| Tsumaki et al. | Size-controlled sub-micrometer spheroidized ZnO particles synthesis via plasma-induced processing in microdroplets | |
| Drazin et al. | Reducing the size of nanocrystals below the thermodynamic size limit | |
| RU2264888C2 (ru) | Способ получения нанодисперсных порошков оксидов | |
| KR101460755B1 (ko) | 액상 플라즈마 반응을 이용한 은 나노유체의 제조방법 | |
| Ntozakhe et al. | Pyrolysis of Carbon-Doped ZnO Nanoparticles for Solar Cell | |
| JP6182264B2 (ja) | ナノスケールカーボンのコロイド溶液を製造する方法 | |
| KR101500703B1 (ko) | 액상 플라즈마 반응을 이용한 철 나노유체의 제조방법 | |
| Maoshui et al. | The gas nucleation process study of anatase TiO 2 in atmospheric non-thermal plasma enhanced chemical vapor deposition | |
| Kholodnaya et al. | Obtaining Silicon Oxide Nanoparticles Doped with Fluorine and Gold Particles by the Pulsed Plasma‐Chemical Method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20171218 |