RU2513563C2 - Спеченный неиспаряющийся геттер - Google Patents
Спеченный неиспаряющийся геттер Download PDFInfo
- Publication number
- RU2513563C2 RU2513563C2 RU2012135191/02A RU2012135191A RU2513563C2 RU 2513563 C2 RU2513563 C2 RU 2513563C2 RU 2012135191/02 A RU2012135191/02 A RU 2012135191/02A RU 2012135191 A RU2012135191 A RU 2012135191A RU 2513563 C2 RU2513563 C2 RU 2513563C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- getter
- layers
- thickness
- layer
- evaporating
- Prior art date
Links
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 title abstract description 17
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 22
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 15
- GFNGCDBZVSLSFT-UHFFFAOYSA-N titanium vanadium Chemical compound [Ti].[V] GFNGCDBZVSLSFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims description 9
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 abstract description 18
- 229910000756 V alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 abstract description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N caesium atom Chemical compound [Cs] TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 7
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 7
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 7
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 6
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 6
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N Calcium oxide Chemical group [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 3
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 3
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N vanadium Chemical compound [V]#[V] GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 3
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 2
- 238000004663 powder metallurgy Methods 0.000 description 2
- IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N rubidium atom Chemical group [Rb] IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 2
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical class [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001721 carbon Chemical group 0.000 description 1
- 229910002090 carbon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
Abstract
Изобретение относится к газопоглощающим материалам, в частности к спеченным неиспаряющимся геттерам, и может быть использовано в вакуумной технике и микроэлектронике, в частности в разрядных приборах. Спеченный неиспаряющийся геттер содержит три слоя, при этом первый и третий слои выполнены из порошка сплава титан - ванадий при их соотношении, вес.%, 70:30, второй слой - из смеси упомянутого порошка сплава и интеркалированного углерода при их соотношении, вес.%, (80:20)-(99:1), толщина первого и третьего слоя составляет 20-200 среднего размера порошка сплава, толщина второго слоя составляет 1-6 толщины первого или третьего слоя, активная площадь слоев эквивалентна геометрической площади геттера не менее 500-кратного значения, при этом пористостью спеченного геттера составляет 30-60%. Техническим результатом изобретения является расширение функциональных возможностей, повышение сорбционных свойств и механической прочности. 6 пр., 1 табл., 1 ил.
Description
Изобретение относится к различным технологическим процессам, а именно к геттерам из неиспаряющихся геттерных материалов.
На способности неиспаряющихся геттерных материалов обратимо поглощать (сорбировать) водород и необратимо поглощать такие газы, как кислород, водяной пар, оксиды углерода и, в некоторых случаях, азот основано широкое их применение в вакуумной технике и микроэлектронной промышленности, в том числе разрядных приборах.
Основные геттеры - газопоглотители (далее геттеры), неиспаряющиеся геттерные материалы которых представляют собой некоторые активные (переходные) металлы из группы Zr, Ti, Nb, Та, V, либо их сплавы (двойные, тройные) или соединения с одним или большим количеством элементов из групп Cr, Mn, Fe, Со, Ni, Al, Y, La и редкоземельных элементов.
Геттер может быть выполнен в виде дискретных компонентов, например спеченных гранул или порошков неиспаряющегося геттерного материала внутри соответствующего контейнера, либо в виде тонкого слоя неиспаряющегося геттерного материала, имеющего толщину в десятки или сотни микрон (мкм), расположенного на внутренней поверхности устройства применения, либо на тонкой подложке, как правило, металлической, осуществляющей контакт с поверхностью устройства применения.
Известно использование геттера для получения сверхглубокого вакуума в камере устройства для молекулярного откачивания. Геттер выполнен в виде тонкого покрытия из неиспаряющегося геттерного материала - титана, и/или циркония, и/или гафния, и/или ванадия, и/или скандия, и/или их сплава на определяющую поверхность металлической стенки камеры устройства методом катодного осаждения (ионного распыления) [1].
Поскольку вся микроэлектронная промышленность основана на использовании тонкопленочной технологии и с точки зрения интеграции производства эта технология оказывается предпочтительной и при изготовлении в этих устройствах покрытий из неиспаряющегося геттерного материала.
Однако по различным причинам неиспаряющиеся геттерные покрытия, выполненные до настоящего времени ионным распылением, не могут полностью удовлетворять предъявляемым к ним требованиям.
Известно применение геттеров, выполненных на основе неиспаряющихся геттерных материалов - титана, и/или циркония, и/или гафния, и/или ванадия, и/или скандия, и/или их сплава в атомно-лучевой трубке на пучках атомов цезия или рубидия, содержащей в вакуумном корпусе источник пучка атомов цезия или рубидия, первый и второй селекторы атомных состояний, СВЧ-резонатор, магниторазрядный насос, индикаторное устройство и геттеры, расположенные вдоль траектории прохождения пучка.
В индикаторном устройстве, с целью обеспечения более высокого вакуума в процессе работы или хранения приборов и увеличения срока службы, дополнительно установлен, по меньшей мере, один пористый геттер из активных металлов или их смесей, причем пористая поверхность геттера покрыта графитовой пленкой микронной или субмикронной толщины [2].
Упомянутая графитовая пленка микронной или субмикронной толщины с одной стороны обеспечивает поглощение атомов цезия.
Однако с другой стороны значительно снижает поглощение водорода, кислорода и азота, поскольку графитовая пленка препятствует поглощению указанных газов.
Известен геттер, выполненный в виде многослойного покрытия из неиспаряющихся геттерных материалов, содержащий, по меньшей мере, два слоя, выполненных из неиспаряющегося геттерного материала на подложке, в котором, с целью повышения сорбирующих свойств, а именно повышения скорости поглощения при комнатной температуре, либо температуре активации, несовместимые с некоторыми вариантами применения, в частности миниатюрных устройствах, первый слой, нанесенный непосредственно на подложку, состоит из неиспаряющегося геттерного материала, имеющего площадь поверхности, эквивалентную, по меньшей мере, 20-кратному значению его геометрической площади, а расположенный на первом слое, по меньшей мере, второй слой толщиной не более 1 мкм состоит из неиспаряющегося геттерного сплава с низкой температурой активации, при этом нанесенные слои получены катодным осаждением [3].
Геттерный неиспаряющийся материал первого слоя выбран из группы, содержащей цирконий, титан, ниобий, тантал, ванадий, гафний и сплав Zr-Co-A, где А обозначает иттрий, лантан, редкоземельные элементы или их смеси ( мас.%) и выполнен толщиной 0,2-50 мкм.
Геттерный неиспаряющийся материал сплава второго слоя содержит Zr, V и один или более элементов, выбранных из Fe, Ni, Мn и А либо Zr 80 - Со 15 - А 5, где А обозначает иттрий, лантан, редкоземельные элементы или их смеси (мас.%) и выполнен толщиной 0,05-0,5 мкм.
Многослойное покрытие, работает не как простая сумма слоев двух (или более) компонентов, а как один единый монокомпонентный слой, свойства которого являются объединением лучших свойств имеющихся слоев.
Однако данный геттер отличается низкой пористостью и соответственно не большой активной поверхностью и соответственно низкими сорбционными свойствами, обусловленными использованием метода катодного осаждения неиспаряющегося геттерного материала.
Известен геттер, выполненный из порошкового сплава неиспаряющихся материалов, в котором для повышения механических и сорбирующих свойств, первый компонент содержит, по меньшей мере один элемент из группы Ti, Zr, второй компонент содержит, по меньшей мере один элемент группы V, Cr, Mn, Fe, Ni, третий компонент - оксид кальция (CaO), при соотношении по массе между первым и вторым компонентами геттера от 10:1 до 1:5 и содержании CaO не более 1 мас.%. При этом концентрации указанный элементов в локальных зонах геттера различны [4] - прототип.
Наличие оксида кальция в геттере с одной стороны увеличивает пористость геттера и соответственно сорбирующие (поглощающие) свойства, величина которых выражается как сорбционная емкость. Однако с другой стороны приводит к снижению механической прочности.
Более того, данный геттер не обеспечивает поглощение цезия, что особенно важно в случае применения в атомно-лучевых трубках.
Техническим результатом изобретения является расширение функциональных возможностей, повышение сорбционных свойств и механической прочности.
Указанный технический результат достигается заявленным спеченным неиспаряющимся геттером, содержащим несколько слоев, выполненных каждый из заданного неиспаряющегося геттерного материала, заданной толщины, при этом активная площадь упомянутых слоев эквивалентна геометрической площади неиспаряющегося геттера.
При этом геттер выполнен в виде трех слоев, причем первый и третий слои выполнены из порошка сплава титан- ванадий при их соотношении, в вес.%, 70:30 с толщиной каждого слоя, равной 20 - 200 среднего размера порошка сплава, а второй слой выполнен из смеси порошка упомянутого сплава и интеркалированного углерода при их соотношении в смеси, в вес.% (80:20) - (99:1), с толщиной, равной 1-6 толщины первого или третьего слоя, при этом геттер имеет пористость 30-60% и активную площадь слоев эквивалентную геометрической площади геттера не менее 500 кратного значения.
Раскрытие сущности изобретения
Совокупность существенных признаков заявленного геттера, а именно:
Выполнение геттера в виде трех слоев, причем, когда первый и третий слои выполнены из порошка сплава титан- ванадий при их соотношении, в вес.%, 70:30 с толщиной каждого слоя, равной 20 - 200 среднего размера порошка сплава, обеспечит геттеру оптимальное соотношение между высокими сорбционными свойствами и высокой механический прочностью, благодаря
во-первых, максимально возможной открытой пористости их поверхности,
во-вторых, высокой спекаемости порошка металлов титан-ванадий.
А выполнение второго слоя из смеси порошка упомянутого сплава и интеркалированного углерода при их соотношении в смеси, в вес.%, (80:20) - (99:1), с толщиной, равной 1-6 толщины первого или третьего слоя и расположение его между первым и третьим слоями, обеспечит:
во-первых, благодаря высокой удельной поверхности интеркалированного углерода (более 20 м /г) значительное увеличение активной - эффективной площади второго слоя и как следствие повышение сорбционных свойств геттера в целом, и особенно высокую поглощаемость паров атомов цезия,
во-вторых, благодаря высокой механической прочности первого и третьего слоев - высокую механическую прочность геттера в целом,
в-третьих, как указано выше, высокая поглощаемость паров атомов цезия обеспечит расширение функциональных возможностей.
Следует отметить, что углерод самый доступный геттерный материал хорошо сорбирующий - поглощающий пары атомов цезия из трех наиболее известных (золото, сурьма). Известно, что один атом углерода связывает до трех атомов цезия.
Выполнение первого и третьего слоя указанной толщины обеспечит значительное увеличение точек соприкосновения гранул порошка сплава металлов титан-ванадий и тем самым их спекание в этих точках максимально возможное и, как следствие - повышение механической прочности геттера (экспериментально доказано).
Выполнение геттера с пористостью 30-60% обеспечит расширение функциональных возможностей, благодаря снижению температуры активации заявленных неиспаряющихся геттерных материалов титан- ванадий (порядка 430°С), которая является оптимальной температурой для обезгаживания вакуумных приборов и тем самым не требуется дополнительного нагрева геттера с целью его активации.
Выполнение геттера с активной площадью слоев эквивалентной геометрической площади геттера не менее 500-кратного значения обеспечит максимальную сорбционную емкость по газам и в том числе по цезию и, как следствие - повышение сорбционных свойств геттера в целом.
Экспериментально установлено:
Выполнение первого и третьего слоев:
а) из порошка сплава титан-ванадий при их соотношении, в вес.%, 70:30, является оптимальным для обеспечения низкой температуры активации,
б) толщиной 20-200 среднего размера гранул порошка сплава титан - ванадий обеспечивает максимальную сорбционную емкость по газам (водород, кислород, азот и др.) и оптимальную механическую прочность с учетом конструкционных размеров прибора.
Выполнение второго слоя:
а) из смеси упомянутого сплава титан-ванадий и интернированного углерода при их соотношении, вес.% (80:20) - (99:1 является оптимальным для обеспечения высокой сорбционной емкости по цезию,
б) толщиной равной 1-6 толщины первого или третьего слоя является оптимальной для обеспечения максимальной сорбционной емкости по цезию и механической прочности геттера.
Выполнение спеченного неиспаряющегося геттера с пористостью 30-60% является оптимальным для обеспечения высокой сорбционной емкости и механической прочности геттера.
Итак, заявленный спеченный неиспаряющийся геттер в полной мере обеспечит технический результат, а именно расширение функциональных возможностей, повышение сорбционных свойств и механической прочности.
Изобретение поясняется чертежами.
На фиг.1 дан общий вид заявленного геттера, содержащего одну прямую последовательность слоев из неиспаряющегося геттера, где
первый и третий слой - 1 и 3 соответственно, выполнены из порошка сплава активных металлов титан-ванадий,
второй слой - 2 выполнен из смеси упомянутого порошка сплава активных металлов титан-ванадий и интеркалированного углерода.
Заявленный спеченный неиспаряющийся геттер работает следующим образом.
В результате активации неиспаряющегося геттерного материала в вакууме при температуре активации примерно 450°С в течение 30 мин геттер приобретает способность сорбировать газы (водород, кислород, азот и пары атомов цезия).
Примеры конкретного выполнения заявленного спеченного неиспаряющегося геттера.
Пример 1.
Задают размеры геттера под устройство применения, например, атомно-лучевой трубки:
Диаметр геттера - 40 мм, толщина - 35 мм.
Изготавливают прямую последовательность из трех слоев неиспаряющегося геттерного материала посредством порошковой металлургии.
Изготавливают порошок сплава первого и третьего слоев из неиспаряющегося геттерного материала.
Для чего берут порошок сплава титан - ванадий (ПТФ ТУ 14-1-4699-2003), который соответствует их соотношению 70:30, вес.%.
Среднеарифметический размер гранул, которого составляет 60 мкм.
Изготавливают порошок сплава второго слоя из неиспаряющегося геттерного материала.
Для чего берут смесь указанного выше порошка титан-ванадий и
интеркалированного углерода при соотношении в смеси, в вес.%, 90:10, соответственно.
Приготовленные порошки засыпают в прямой последовательности
в оснастку из нержавеющей стали марки 18Х10Т12Н, прессуют при давлении не менее 100 кг/см2 и спекают в вакуумной печи марка Е4-255 при температуре (970-990)°С в течение 40 мин. Затем охлаждают до комнатной температуры и вынимают образец геттера из вакуумной печи.
Примеры 2-5. Аналогично примеру 1 изготовлены образцы геттеров, но при других конструкционных параметрах, указанных в формуле изобретения (примеры 2-3) и за ее пределами (примеры 4-5).
Пример 6 соответствует данным прототипа.
На изготовленных образцах геттера проведены испытания на предмет: сорбционной емкости по водороду (Н2) и механической прочности.
Данные приведены в таблице.
Как видно из таблицы:
Сорбционная емкость:
по водороду (Н2) составила примерно 1000 Па×м3 /кг,
по парам атомов цезия - примерно 2000 Па×м3/кг,
Механическая прочность - (30-90)×105 Н/м2 в зависимости от толщины второго слоя (смеси порошка титан-ванадий и интеркалированного углерода), что соответствует эксплуатационной механической прочности.
Таким образом, заявленный геттер обеспечит по сравнению с прототипом расширение функциональных возможностей, повышение сорбционных свойств (сорбционной емкости по водороду (Н2) в 10 раз, сорбционной емкости по парам атомов цезия примерно в 100 раз и повышение механической прочности.
Источники информации
1. Патент РФ №2193254, МПК H01J 41/12, 1/18, приоритет 18.06.97 г., опубликовано 27.12.2000 г.
2. Патент РФ №2371822, МПК H01S 1/06, приоритет 05.06.08, опубликовано 27.10.09.
3. Патент РФ №2277609, МПК С23С 14/14, H01J 7/18, приоритет 10.06.04, опубликовано 10.06.06.
4. Патент РФ №2118231, МПК B22F 3/11, С22С 1/08, приоритет 28.03.97, опубликовано 27.08.98 - прототип.
5. Порошковая металлургия. Сборник докладов 8-й Всесоюзной конференции по прогрессивным методам производства деталей из порошков // Издательство «Высшая школа», Минск, 1966 г., с.165-169.
Claims (1)
- Спеченный неиспаряющийся геттер, содержащий несколько слоев, выполненных каждый из заданного неиспаряющегося геттерного материала, заданной толщины, при этом активная площадь упомянутых слоев эквивалентна геометрической площади геттера, отличающийся тем, что геттер выполнен в виде трех слоев, причем первый и третий слои выполнены из порошка сплава титан-ванадий при их соотношении, в вес.%, 70:30 с толщиной каждого слоя, равной 20-200 среднего размера порошка сплава, а второй слой выполнен из смеси порошка упомянутого сплава и интеркалированного углерода при их соотношении в смеси, в вес.%, (80:20)-(99:1), с толщиной, равной 1-6 толщины первого или третьего слоя, при этом геттер имеет пористость 30-60% и активную площадь слоев, эквивалентную геометрической площади геттера не менее 500-кратного значения.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012135191/02A RU2513563C2 (ru) | 2012-08-17 | 2012-08-17 | Спеченный неиспаряющийся геттер |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012135191/02A RU2513563C2 (ru) | 2012-08-17 | 2012-08-17 | Спеченный неиспаряющийся геттер |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012135191A RU2012135191A (ru) | 2014-02-27 |
| RU2513563C2 true RU2513563C2 (ru) | 2014-04-20 |
Family
ID=50151479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012135191/02A RU2513563C2 (ru) | 2012-08-17 | 2012-08-17 | Спеченный неиспаряющийся геттер |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2513563C2 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2620234C2 (ru) * | 2015-10-12 | 2017-05-23 | Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Исток" имени А.И. Шокина" (АО "НПП "Исток" им. Шокина") | Способ изготовления неиспаряемого геттера |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2118231C1 (ru) * | 1997-03-28 | 1998-08-27 | Товарищество с ограниченной ответственностью "ТЕХНОВАК+" | Способ получения неиспаряемого геттера и геттер, полученный этим способом |
| US6468043B1 (en) * | 1996-06-19 | 2002-10-22 | European Organization For Nuclear Research | Pumping device by non-vaporisable getter and method for using this getter |
| RU2253695C2 (ru) * | 2000-09-27 | 2005-06-10 | Саес Геттерс С.П.А. | Пористые газопоглотительные устройства со сниженной потерей частиц и способ их изготовления |
| RU2277609C2 (ru) * | 2003-06-11 | 2006-06-10 | Саес Геттерс С.П.А. | Многослойные покрытия из неиспаряющегося геттера, получаемые катодным осаждением, и способ их изготовления |
| RU2321650C2 (ru) * | 2002-09-13 | 2008-04-10 | Саес Геттерс С.П.А. | Геттерные композиции, регенерируемые при низкой температуре после воздействия реакционных газов при более высокой температуре |
-
2012
- 2012-08-17 RU RU2012135191/02A patent/RU2513563C2/ru active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6468043B1 (en) * | 1996-06-19 | 2002-10-22 | European Organization For Nuclear Research | Pumping device by non-vaporisable getter and method for using this getter |
| RU2118231C1 (ru) * | 1997-03-28 | 1998-08-27 | Товарищество с ограниченной ответственностью "ТЕХНОВАК+" | Способ получения неиспаряемого геттера и геттер, полученный этим способом |
| RU2253695C2 (ru) * | 2000-09-27 | 2005-06-10 | Саес Геттерс С.П.А. | Пористые газопоглотительные устройства со сниженной потерей частиц и способ их изготовления |
| RU2321650C2 (ru) * | 2002-09-13 | 2008-04-10 | Саес Геттерс С.П.А. | Геттерные композиции, регенерируемые при низкой температуре после воздействия реакционных газов при более высокой температуре |
| RU2277609C2 (ru) * | 2003-06-11 | 2006-06-10 | Саес Геттерс С.П.А. | Многослойные покрытия из неиспаряющегося геттера, получаемые катодным осаждением, и способ их изготовления |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2620234C2 (ru) * | 2015-10-12 | 2017-05-23 | Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Исток" имени А.И. Шокина" (АО "НПП "Исток" им. Шокина") | Способ изготовления неиспаряемого геттера |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2012135191A (ru) | 2014-02-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2277609C2 (ru) | Многослойные покрытия из неиспаряющегося геттера, получаемые катодным осаждением, и способ их изготовления | |
| CN1123036C (zh) | 用于吸气材料激活的低温触发的材料组合物以及含有这种材料组合物的吸气装置 | |
| JP5306535B2 (ja) | 非−蒸発性イットリウムベースのゲッター合金を用いた水素感受性デバイスからの水素除去方法 | |
| RU2253695C2 (ru) | Пористые газопоглотительные устройства со сниженной потерей частиц и способ их изготовления | |
| US10109446B2 (en) | Air-stable alkali or alkaline-earth metal dispensers | |
| CN101523532B (zh) | 金属吸气剂体系 | |
| CN101437972B (zh) | 用于氢气吸收的基于钇的非蒸发性吸气合金 | |
| JP4700062B2 (ja) | 水素収着用非蒸発性ゲッター合金 | |
| KR102419940B1 (ko) | 소결된 비다공성 캐소드 및 그를 함유하는 스퍼터 이온 진공 펌프 | |
| RU2513563C2 (ru) | Спеченный неиспаряющийся геттер | |
| Yigit et al. | Investigation on activation characterization, secondary electron yield, and surface resistance of novel quinary alloy Ti–Zr–V–Hf–Cu non-evaporable getters | |
| Manini et al. | NEG pumps: Sorption mechanisms and applications | |
| CN116121706A (zh) | 一种提升含碳气体吸气容量的吸气薄膜 | |
| RU2620234C2 (ru) | Способ изготовления неиспаряемого геттера | |
| Chuntonov et al. | New lithium gas sorbent: III. Experimental data on evaporation | |
| Jousten | Sorption pumps | |
| RU128394U1 (ru) | Газопоглощающая структура | |
| JPH06226077A (ja) | 真空装置及びその構造部材 | |
| HK1113500A (en) | Non-evaporable getter alloys for hydrogen sorption |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PC43 | Official registration of the transfer of the exclusive right without contract for inventions |
Effective date: 20160225 |