[go: up one dir, main page]

RU2582488C1 - Two-wire differential magnetoimpedance sensor - Google Patents

Two-wire differential magnetoimpedance sensor Download PDF

Info

Publication number
RU2582488C1
RU2582488C1 RU2015107590/28A RU2015107590A RU2582488C1 RU 2582488 C1 RU2582488 C1 RU 2582488C1 RU 2015107590/28 A RU2015107590/28 A RU 2015107590/28A RU 2015107590 A RU2015107590 A RU 2015107590A RU 2582488 C1 RU2582488 C1 RU 2582488C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
sensor
detectors
magnetoimpedance
conductor
output signal
Prior art date
Application number
RU2015107590/28A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Николай Анатольевич Юданов
Лариса Владимировна Панина
Александр Тимофеевич Морченко
Владимир Григорьевич Костишин
Original Assignee
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" filed Critical Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
Priority to RU2015107590/28A priority Critical patent/RU2582488C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2582488C1 publication Critical patent/RU2582488C1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)

Abstract

FIELD: measuring equipment.
SUBSTANCE: invention relates to a measuring technique and provides a two-wire differential magnetoimpedance sensor. Detector comprises two magnetoimpedance sensors manufactured by frameless winding technology, that is, detecting coils of detectors are wound directly on magnetoimpedance conductors themselves with a layer of protective masks each. Detecting coils of detectors are connected oppositely, wherein magnetoimpedance conductor of one of detectors is not excited, and is closed on itself.
EFFECT: high output signal amplitude of sensor, reduced temperature dependence of output signal, high accuracy of measurements and wider range measuring scale.
1 cl, 5 dwg

Description

Изобретение относится к области построения высокочувствительных магнитных сенсоров, основанных на магнитоимпедансном (МИ) эффекте.The invention relates to the field of construction of highly sensitive magnetic sensors based on the magneto-impedance (MI) effect.

Эффект магнитного импеданса хорошо известен уже довольно давно, однако наиболее сильный интерес к нему возник сравнительно недавно, что объясняется ростом общего уровня развития сенсорных технологий в промышленности. МИ эффект выражается в зависимости поверхностного импеданса от магнитной структуры проводника. Поверхностный импеданс является коэффициентом пропорциональности в векторном соотношении между тангенциальными составляющими электрического и магнитного полей на поверхности проводника и определяет обобщенное напряжение, снимаемое непосредственно с проводника или с катушки, намотанной на проводник. Принцип работы датчика основан на измерении зависимости этого напряжения от внешних факторов, например, от внешнего магнитного поля. При этом датчики, не снабженные операционным усилителем, имеют чрезвычайно малую амплитуду выходного сигнала, а применение операционного усилителя с большим коэффициентом усиления приводит к усилению не только полезного сигнала, но и шумов, что сильно снижает точность измерения.The effect of magnetic impedance has been well known for quite some time, but the strongest interest in it has arisen relatively recently, due to an increase in the general level of development of sensor technologies in industry. The MI effect is expressed in the dependence of the surface impedance on the magnetic structure of the conductor. The surface impedance is a proportionality coefficient in the vector ratio between the tangential components of the electric and magnetic fields on the surface of the conductor and determines the generalized voltage taken directly from the conductor or from a coil wound on the conductor. The principle of operation of the sensor is based on measuring the dependence of this voltage on external factors, for example, on an external magnetic field. At the same time, sensors that are not equipped with an operational amplifier have an extremely small amplitude of the output signal, and the use of an operational amplifier with a large gain leads to amplification of not only the useful signal, but also noise, which greatly reduces the measurement accuracy.

Конструкция датчика, наиболее похожего на разрабатываемое устройство, описана в аналоге (Патент US 8587300 B2, опубл. 19.11.2013 г., Магнитоимпедансный элемент и его производство). В указанном патенте рассматриваются однопроводной и многопроводной варианты конструкции сенсора с различными способами расположения магнитоимпедансных проводников. Основными недостатками которого являются невысокая чувствительность, сложность конструкции и температурная нестабильность работы.The design of the sensor, most similar to the device under development, is described in the analogue (Patent US 8587300 B2, publ. November 19, 2013, Magneto-impedance element and its production). This patent discusses single-wire and multi-wire sensor designs with various ways of arranging magneto-impedance conductors. The main disadvantages of which are low sensitivity, design complexity and temperature instability.

Наиболее близким аналогом (прототипом) является многопроводная конструкция, описанная в патенте (US 8587300 B2, опубл. 19.11.2013 г., Магнитоимпедансный элемент и его производство), работает следующим образом: через МИ проводники пропускают высокочастотный импульсный ток (возбуждающий сигнал); внешнее магнитное поле, воздействующее на МИ проводник и вызывающее разворот статической намагниченности, изменяет его поверхностный импеданс, вследствие чего на детектирующей катушке возникает наведенный сигнал. Поскольку амплитуда сигнала очень мала, ее необходимо усилить при помощи операционного усилителя.The closest analogue (prototype) is the multi-wire design described in the patent (US 8587300 B2, publ. 11/19/2013, Magneto-impedance element and its manufacture), works as follows: through the MI conductors pass a high-frequency pulse current (exciting signal); an external magnetic field acting on the MI conductor and causing a reversal of static magnetization changes its surface impedance, as a result of which an induced signal arises on the detection coil. Since the signal amplitude is very small, it must be amplified with an operational amplifier.

Конструкция вышеописанного датчика собрана на подложке с предварительно нанесенными токопроводящими проводниками и площадками. На подложку эпоксидной смолой приклеиваются МИ проводники, после чего производится напыление проводников, образующих вторую половину детектирующих катушек. Катушки и МИ проводники коммутируются при помощи проводников и контактных площадок подложки согласно приведенной в патенте Фиг. 1.The design of the above sensor is assembled on a substrate with previously applied conductive conductors and pads. MI conductors are glued onto the substrate with epoxy resin, after which the conductors are sprayed, forming the second half of the detection coils. Coils and MI conductors are switched by means of conductors and contact pads of the substrate according to FIG. one.

Недостатком описанной разработки является высокая температурная нестабильность. В результате выходной сигнал датчика сильно зависит от изменений температуры окружающей среды.The disadvantage of this development is the high temperature instability. As a result, the sensor output is highly dependent on changes in ambient temperature.

Настоящее техническое решение направлено на увеличение амплитуды выходного сигнала датчика путем изменения конструкции самого чувствительного элемента датчика.This technical solution is aimed at increasing the amplitude of the output signal of the sensor by changing the design of the most sensitive element of the sensor.

Технический результат изобретения состоит в следующем: повышение амплитуды выходного сигнала сенсора, улучшение соотношения сигнал/шум, улучшение температурной стабильности, упрощение технологии сборки в условиях промышленного производства.The technical result of the invention is as follows: increasing the amplitude of the output signal of the sensor, improving the signal-to-noise ratio, improving temperature stability, simplifying assembly technology in an industrial environment.

Технический результат достигается следующим образом. Двухпроводной магнитоимпедансный датчик, содержит два магнитоимпедансных детектора. Детекторы изготовлены по бескаркасной намоточной технологии и включенных встречно. Особенность конструкции состоит в том, что детектирующая катушка намотана непосредственно на сам магнитоимпедансный проводник со слоем защитной маски, а катушки магнитоимпедансных детекторов включены встречно, и МИ проводник одного из детекторов не возбуждается, а замкнут сам на себя.The technical result is achieved as follows. Two-wire magneto-impedance sensor, contains two magneto-impedance detectors. The detectors are made using frameless winding technology and included in the opposite direction. The design feature is that the detecting coil is wound directly on the magneto-impedance conductor itself with a layer of a protective mask, and the coils of the magneto-impedance detectors are turned on in the opposite direction, and the MI conductor of one of the detectors is not excited, but closed to itself.

Изобретение поясняется чертежами, где на Фиг. 1 показана конструкция магнитоимпедансного детектора на которой изображены: 1 - стеклянная оболочка, 2 - МИ проводник, 3 - защитная маска, 4 - детектирующая катушка. На Фиг. 2 показана блок схема двухпроводного дифференциального магнитоимпедансного элемента, на которой изображены: 5 - постоянный ток для подмагничивания, 6 - сигнал возбуждения, 7 - МИ проводник в стеклянной изоляции и маске, 8 - подмагничивающая катушка, 9 - первая детектирующая катушка, выполняет роль детектирования сигнала, далее в тексте «детектирующая катушка», 10 - вторая детектирующая катушка, выполняет роль компенсации шумов в сигнале, далее в тексте «компенсационная катушка». 11 - вывод выходного сигнала. На Фиг. 3 показана конструкция двухпроводного дифференциального магнитоимпедансного элемента, на которой изображены: 7 - МИ проводник в стеклянной изоляции и маске, 8 - подмагничивающая катушка, 9 - детектирующая катушка, 10 - компенсационная катушка». На Фиг. 4 показана зависимость амплитуды выходного сигнала от величины магнитного поля, на которой изображены две кривые: 12 - до проведения термической обработки, 13 - после проведения термической обработки. На Фиг. 5 показана зависимость амплитуды выходного сигнала в относительных единицах от температуры, на которой изображены две кривые: 14 - до проведения термической обработки, 15 - после проведения термической обработки.The invention is illustrated by drawings, where in FIG. 1 shows the design of a magneto-impedance detector which shows: 1 - a glass shell, 2 - a MI conductor, 3 - a protective mask, 4 - a detecting coil. In FIG. 2 shows a block diagram of a two-wire differential magneto-impedance element, which shows: 5 - direct current for magnetization, 6 - excitation signal, 7 - MI conductor in glass insulation and mask, 8 - magnetizing coil, 9 - first detecting coil, acts as a signal detection , further in the text “detection coil”, 10 - the second detection coil, performs the role of noise compensation in the signal, further in the text “compensation coil”. 11 - output signal output. In FIG. 3 shows the design of a two-wire differential magnetic impedance element, which shows: 7 - MI conductor in glass insulation and mask, 8 - magnetizing coil, 9 - detecting coil, 10 - compensation coil. " In FIG. Figure 4 shows the dependence of the amplitude of the output signal on the magnitude of the magnetic field, which shows two curves: 12 - before the heat treatment, 13 - after the heat treatment. In FIG. Figure 5 shows the dependence of the amplitude of the output signal in relative units on the temperature, on which two curves are shown: 14 - before the heat treatment, 15 - after the heat treatment.

Техническое решение изобретения осуществляется следующим образом. Предложена конструкция бескаркасного МИ детектора (Фиг. 1). В данной конструкции детектирующая катушка наматывается непосредственно на сам МИ проводник на намоточном станке. В качестве МИ проводника был выбран аморфный провод в стеклянной изоляции, провод обмотки - медный в лаковой изоляции. Было замечено, что намотка детектирующей катушки вызывает повреждение стеклянной оболочки МИ микропровода даже при минимальном натяжении медного проводника. Повреждения возникают при физическом соприкосновении и трении проводников. Для предупреждения повреждений оболочки МИ проводника перед намоткой катушки на его поверхность наносится тонкий слой (≈5 мкм) защитной маски, которая исключает возникновение трения между проводниками. Защитная маска выполнена на полиуретановой основе, обладает высокой эластичностью, не обладает магнитными свойствами и электропроводностью. Сушка маски проводится под ИК нагревателем при температуре +40…+60°C в течение 10 минут. Детектор может быть дополнен дополнительной подмагничивающей катушкой, которая наматывается сверху на детектирующую катушку. Эта катушка создает постоянное магнитное поле и предназначена для расширения пределов измерительной шкалы датчика и для осуществления обратной связи.The technical solution of the invention is as follows. A design of a frameless MI detector is proposed (Fig. 1). In this design, the detection coil is wound directly on the MI conductor itself on a winding machine. An amorphous wire in glass insulation was chosen as the MI conductor, the winding wire was copper in varnish insulation. It was observed that the winding of the detection coil causes damage to the glass shell of the MI microwire even with minimal tension on the copper conductor. Damage occurs due to physical contact and friction of the conductors. To prevent damage to the shell of the MI conductor before winding the coil, a thin layer (≈5 μm) of the protective mask is applied to its surface, which eliminates the occurrence of friction between the conductors. The protective mask is made on a polyurethane basis, has high elasticity, does not have magnetic properties and electrical conductivity. The mask is dried under an IR heater at a temperature of + 40 ... + 60 ° C for 10 minutes. The detector can be supplemented with an additional magnetizing coil, which is wound on top of the detection coil. This coil creates a constant magnetic field and is designed to expand the limits of the measuring scale of the sensor and to provide feedback.

Полученные таким образом МИ детекторы устанавливаются на подложку датчика, по два в один датчик. Детектирующая катушка помимо регистрации полезного сигнала, также детектирует внешние помехи и радиошумы. Для компенсации наведенных помех была разработана конструкция датчика с двумя МИ детекторами, показанная на Фиг. 2.The MI detectors thus obtained are mounted on the sensor substrate, two in one sensor. The detection coil, in addition to detecting the useful signal, also detects external noise and radio noise. To compensate for the induced interference, a sensor design with two MI detectors was developed, shown in FIG. 2.

В данной конструкции обмотки МИ детекторов включены встречно и расположены параллельно друг другу, а ток возбуждения пропускается только лишь через один МИ детектор. Именно он регистрирует магнитное поле, а второй МИ детектор выполняет роль компенсатора внешних помех, в котором выводы МИ проводника замыкаются между собой токопроводящим проводником подложки. Поскольку в схеме используются две абсолютно идентичные обмотки, то внешние помехи, наводящиеся в них, компенсируют друг друга максимально точно, что позволяет существенно снизить уровень помех. Расположение и подключение МИ детекторов в датчике показано на Фиг. 3.In this design, the windings of the MI detectors are turned on and opposed parallel to each other, and the excitation current is passed through only one MI detector. It is he who registers the magnetic field, and the second MI detector acts as a compensator for external interference, in which the conclusions of the MI conductor are closed to each other by the conducting conductor of the substrate. Since the circuit uses two completely identical windings, the external noise induced in them compensates each other as accurately as possible, which can significantly reduce the level of interference. The arrangement and connection of MI detectors in the sensor is shown in FIG. 3.

Для увеличения чувствительности магнитного датчика была предложена его температурная обработка, в результате которой происходит релаксация механических напряжений в МИ проводнике, полученных в процессе сборки МИ детектора и датчика в целом. Обработке подвергается уже полностью собранный датчик. Температура обработки составляет 200°C, время обработки 5 минут. Кривые зависимости выходного сигнала датчика от магнитного поля до (кривая 1) и после температурной обработки (кривая 2) показаны на Фиг. 4.To increase the sensitivity of the magnetic sensor, its temperature treatment was proposed, which results in the relaxation of mechanical stresses in the MI conductor obtained during the assembly of the MI detector and the sensor as a whole. A fully assembled sensor is subjected to processing. Processing temperature is 200 ° C, processing time 5 minutes. The curves of the dependence of the sensor output signal on the magnetic field before (curve 1) and after heat treatment (curve 2) are shown in FIG. four.

Релаксация механических напряжений в МИ проводнике, проведенная посредством отжига всей конструкции датчика, также значительно уменьшает температурную нестабильность работы датчика. При соответствующем подборе режима отжига возможно многократное уменьшение уровня температурной нестабильности. Кривые зависимости изменения выходного сигнала (в процентах) от температуры для одного и того же датчика до (кривая 3) и после температурной обработки (кривая 4) показаны на Фиг. 5.The relaxation of mechanical stresses in the MI conductor, carried out by annealing the entire design of the sensor, also significantly reduces the temperature instability of the sensor. With the appropriate selection of the annealing regime, a multiple decrease in the level of temperature instability is possible. The curves of the change in the output signal (in percent) versus temperature for the same sensor before (curve 3) and after heat treatment (curve 4) are shown in FIG. 5.

Подтверждение воспроизводимости результатов эксперимента по температурной обработке было проведено на 5 образцах, разброс параметров не превысил 10%.The reproducibility of the results of the experiment on thermal processing was confirmed on 5 samples; the spread of parameters did not exceed 10%.

Таким образом, можно отметить следующие отличительные признаки предложенной конструкции датчика и способа его изготовления:Thus, we can note the following distinctive features of the proposed sensor design and method of its manufacture:

- увеличение выходного сигнала и чувствительности к магнитному полю;- increase in the output signal and sensitivity to the magnetic field;

- улучшенная температурная стабильность работы;- improved temperature stability;

- повышение уровня (или степени) компенсации помех.- increase the level (or degree) of interference compensation.

Использование указанных отличительных признаков для выполнения поставленной цели ранее авторам неизвестно.The use of these distinctive features to achieve the goal previously unknown to the authors.

Пример 1Example 1

Конструкция МИ детектора, собранная на МИ аморфном проводнике в стеклянной изоляции сечением 40 мкм, с нанесенной защитной маской толщиной 5 мкм и детектирующей катушкой из медного провода в лаковой изоляции с сечением металлической жилы 40 мкм и числом витков, равным 60. В конструкции двупроводного датчика используются два элемента со встречно включенными катушками. При этом сигналом возбуждения заводится на один из детекторов, тогда как второй детектор замкнут на себя. Для улучшения характеристик датчика вся конструкция после сборки проходит термообработку. Основными техническими характеристиками конструкции являются: рабочая частота сигнала возбуждения 20 МГц, чувствительность МИ элемента 500 мВ/Э, максимальная амплитуда выходного сигнала 770 мВ, предел измерительной шкалы 1,5 Э.The design of the MI detector, assembled on an MI amorphous conductor in glass insulation with a cross section of 40 μm, with a protective mask of 5 μm thick and a detection coil of copper wire in varnish insulation with a cross section of a metal core of 40 μm and a number of turns equal to 60. The two-wire sensor is used in the design two elements with counter-activated coils. In this case, the excitation signal is turned on to one of the detectors, while the second detector is closed to itself. To improve the characteristics of the sensor, the entire structure is heat treated after assembly. The main technical characteristics of the design are: the operating frequency of the excitation signal is 20 MHz, the MI sensitivity of the element is 500 mV / O, the maximum amplitude of the output signal is 770 mV, the limit of the measuring scale is 1.5 E.

На Фиг. 4 приведена зависимость амплитуды выходного сигнала (в относительных единицах) от величины внешнего поля (кривая 1 - до термообработки, кривая 2 - после термообработки).In FIG. Figure 4 shows the dependence of the amplitude of the output signal (in relative units) on the magnitude of the external field (curve 1 — before heat treatment, curve 2 — after heat treatment).

Пример 2Example 2

Конструкция МИ детектора, собранная на МИ аморфном проводнике в стеклянной изоляции сечением 40 мкм, с нанесенной защитной маской толщиной 5 мкм и детектирующей катушкой из медного провода в лаковой изоляции с сечением металлической жилы 7 мкм и числом витков, равным 80. В конструкции двупроводного датчика используются два элемента со встречно включенными катушками. При этом сигнал возбуждения заводится на один из детекторов, тогда как второй детектор замкнут на себя. Для улучшения характеристик датчика вся конструкция после сборки проходит термообработку. Основными техническими характеристиками конструкции являются: рабочая частота сигнала возбуждения 20 МГц, чувствительность МИ элемента 700 мВ/Э, максимальная амплитуда выходного сигнала 900 мВ, предел измерительной шкалы 1,3 Э.The design of the MI detector, assembled on an MI amorphous conductor in glass insulation with a cross section of 40 μm, with a protective mask of 5 μm thick and a detection coil of copper wire in varnish insulation with a cross section of a metal core of 7 μm and a number of turns equal to 80. The two-wire sensor is used in the design of a two-wire sensor two elements with counter-activated coils. In this case, the excitation signal is turned on to one of the detectors, while the second detector is closed to itself. To improve the characteristics of the sensor, the entire structure is heat treated after assembly. The main technical characteristics of the design are: the operating frequency of the excitation signal is 20 MHz, the MI sensitivity of the element is 700 mV / O, the maximum amplitude of the output signal is 900 mV, the limit of the measuring scale is 1.3 E.

Пример 3Example 3

Конструкция МИ детектора, собранная на МИ аморфном проводнике в стеклянной изоляции сечением 40 мкм, с нанесенной защитной маской толщиной 5 мкм и детектирующей катушкой из медного провода в лаковой изоляции с сечением металлической жилы 40 мкм и числом витков, равным 60. Поверх детектирующей катушки тем же проводом, что и детектирующая катушка, в 2 слоя намотана подмагничивающая катушка, содержащая 120 витков. В конструкции двупроводного датчика используются два элемента со встречно включенными катушками. При этом сигнал возбуждения заводится на один из детекторов, тогда как второй детектор замкнут на себя. Для улучшения характеристик датчика вся конструкция после сборки проходит термообработку. Основными техническими характеристиками конструкции являются: рабочая частота сигнала возбуждения 20 МГц, максимальная чувствительность МИ элемента 500 мВ/Э, максимальная амплитуда выходного сигнала 770 мВ, предел измерительной шкалы 5 Э.The design of the MI detector, assembled on the MI amorphous conductor in glass insulation with a cross section of 40 μm, with a protective mask of 5 μm thick and a detection coil of copper wire in varnish insulation with a cross section of a metal core of 40 μm and a number of turns equal to 60. On top of the detection coil is the same with a wire, as the detecting coil, a magnetizing coil containing 120 turns is wound in 2 layers. The design of a two-wire sensor uses two elements with counter-activated coils. In this case, the excitation signal is turned on to one of the detectors, while the second detector is closed to itself. To improve the characteristics of the sensor, the entire structure is heat treated after assembly. The main technical characteristics of the design are: the operating frequency of the excitation signal is 20 MHz, the maximum MI sensitivity of the element is 500 mV / O, the maximum amplitude of the output signal is 770 mV, the limit of the measuring scale is 5 E.

Claims (1)

Двухпроводной магнитоимпедансный датчик, содержащий два магнитоимпедансных детектора, выполненных по бескаркасной намоточной технологии и включенных встречно, отличающийся тем, что детектирующая катушка намотана непосредственно на сам магнитоимпедансный проводник со слоем защитной маски, а катушки магнитоимпедансных детекторов включены встречно и один из детекторов не возбуждается, а замкнут сам на себя. A two-wire magneto-impedance sensor containing two magneto-impedance detectors made according to a frameless winding technology and turned on in the opposite, characterized in that the detection coil is wound directly on the magneto-impedance conductor with a layer of a protective mask, and the coils of the magnetic impedance detectors are turned on and one of the detectors is not excited, but on himself.
RU2015107590/28A 2015-03-05 2015-03-05 Two-wire differential magnetoimpedance sensor RU2582488C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015107590/28A RU2582488C1 (en) 2015-03-05 2015-03-05 Two-wire differential magnetoimpedance sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015107590/28A RU2582488C1 (en) 2015-03-05 2015-03-05 Two-wire differential magnetoimpedance sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2582488C1 true RU2582488C1 (en) 2016-04-27

Family

ID=55794487

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015107590/28A RU2582488C1 (en) 2015-03-05 2015-03-05 Two-wire differential magnetoimpedance sensor

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2582488C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2746978C1 (en) * 2017-06-16 2021-04-22 Асахи Интекк Ко., Лтд. Super high sensitivity magnetic microsensor

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8461834B2 (en) * 2009-02-27 2013-06-11 Aichi Steel Corporation Magneto-impedance sensor element and method for manufacturing the same
US8587300B2 (en) * 2010-10-01 2013-11-19 Aichi Steel Corporation Magneto-impedance sensor element and method for producing the same

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8461834B2 (en) * 2009-02-27 2013-06-11 Aichi Steel Corporation Magneto-impedance sensor element and method for manufacturing the same
US8587300B2 (en) * 2010-10-01 2013-11-19 Aichi Steel Corporation Magneto-impedance sensor element and method for producing the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2746978C1 (en) * 2017-06-16 2021-04-22 Асахи Интекк Ко., Лтд. Super high sensitivity magnetic microsensor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8350565B2 (en) Ultra-sensitive magnetoimpedance sensor
CN205139229U (en) Huge magnetoresistive effect current sensor
WO2009119081A1 (en) Magneto-sensitive wire, magneto-impedance element and magneto-impedance sensor
JPH0980133A (en) Magneto-impedance element and method of manufacturing the same
JP6885538B2 (en) Magnetic field sensor
CN205210163U (en) Huge magnetoresistive effect current sensor
US10545177B2 (en) Non-contact sensor based Rogowski coil
CN109444513A (en) A kind of bimag Low Drift Temperature Hall current sensor
JP2025524258A (en) AC/DC multi-air-gap magnetoresistive current sensor and current measurement method
Lei et al. Improved performance of integrated solenoid fluxgate sensor chip using a bilayer Co-based ribbon core
US20170059622A1 (en) Compensated rogowski coil
Zhao et al. Feedback-type giant magneto-impedance sensor based on longitudinal excitation
RU2582488C1 (en) Two-wire differential magnetoimpedance sensor
Butta et al. Fluxgate effect in twisted magnetic wire
CN109932670B (en) Closed-loop TMR Magnetic Field Measurement Device Based on Power-on Setting
Stupakov et al. Correlation between hysteresis and Barkhausen noise parameters of electrical steels
Yu et al. Intrinsic noise in magnetic film/planar coil sensors
JPH02167478A (en) Current sensor
JP7286932B2 (en) magnetic sensor
Stupakov et al. Measurement of electrical steels with direct field determination
WO2015088372A1 (en) Mechanical stress sensor
Zidi et al. RMS-to-DC converter for GMI magnetic sensor
CN106324105A (en) Magnetostrictive guided wave testing device capable of self-sensing operating point
Butta et al. Orthogonal fluxgate gradiometer with multiple coil pairs
JP2001305163A (en) Current sensor

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20210306