[go: up one dir, main page]

RU2577915C1 - Method of making multilayer film contact sensor - Google Patents

Method of making multilayer film contact sensor Download PDF

Info

Publication number
RU2577915C1
RU2577915C1 RU2014137890/28A RU2014137890A RU2577915C1 RU 2577915 C1 RU2577915 C1 RU 2577915C1 RU 2014137890/28 A RU2014137890/28 A RU 2014137890/28A RU 2014137890 A RU2014137890 A RU 2014137890A RU 2577915 C1 RU2577915 C1 RU 2577915C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
sensor
film
thermoplastic polymer
layers
thermosetting polymer
Prior art date
Application number
RU2014137890/28A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Сергей Федорович Неупокоев
Виктор Викторович Бучинский
Екатерина Сергеевна Сергеева
Светлана Владимировна Конищева
Original Assignee
Федеральное Государственное унитарное предприятие "Уральский электромеханический завод"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное Государственное унитарное предприятие "Уральский электромеханический завод" filed Critical Федеральное Государственное унитарное предприятие "Уральский электромеханический завод"
Priority to RU2014137890/28A priority Critical patent/RU2577915C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2577915C1 publication Critical patent/RU2577915C1/en

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

FIELD: manufacturing technology.
SUBSTANCE: proposed method relates to production of multilayered film contact threshold pressure sensors and can be used in making multilayer contact threshold pressure sensors fixed on the surface of measured objects. Method of making multilayer film contact sensor involves making of at least two layers, one of which is made from flexible dielectric material sensitive to pressure, on which a second layer made of current-conducting element is formed by photochemical etching with the use of photomasks, subsequent assembly of sensor element obtain a package from alternating dielectric and conductive layers, connecting elements in the package under conditions of thermocompression welding. Assembly is compressed by means of two auxiliary flexible elements, which after pressure release are removed and a sensor circuit is formed. One of the auxiliary elastic elements is used in the form of metal mesh laid on both sides with film from thermosetting polymer. Besides, on the side opposite to the package, before film from thermosetting polymer the film from thermoplastic polymer is placed. For isolation of contacts on the current-conducting layers of different sensor levels thermoplastic polymer is used which is laid between thermosetting films laminated with thermoplastic polymer before thermocompression welding and removed before final formation of the sensor contour.
EFFECT: proposed method consists in avoiding effects such as twisting, warpage and displacement of the conductive pattern on different layers of the sensor relative to each other.
8 cl, 1 dwg

Description

Изобретение относится к области приборостроения, а именно к технологии изготовления многослойных пленочных контактных датчиков порогового давления, и может быть использовано при изготовлении пленочных контактных датчиков, закрепляемых на поверхности измеряемых объектов.The invention relates to the field of instrumentation, and in particular to the manufacturing technology of multilayer film contact sensors of threshold pressure, and can be used in the manufacture of film contact sensors fixed on the surface of the measured objects.

Известен способ изготовления контактного датчика, включающий выполнение по меньшей мере двух слоев, каждый из которых содержит первый слой, выполненный из гибкого диэлектрического материала, чувствительного к давлению, на котором формируют второй слой токопроводящего элемента заданного контура, последующую сборку элемента датчика с получением пакета из чередующихся первого и второго слоев, формирование двух диэлектрических слоев в качестве стенок корпуса датчика, ламинированных только с одной стороны, прилегающей к пакету, с использованием двух вспомогательных упругих элементов, по крайней мере один из которых выполнен из из металлорезины (патент RU №2166740, МПК G01L 7/08 от 10.05.2001 г.).A known method of manufacturing a contact sensor, including the implementation of at least two layers, each of which contains a first layer made of flexible dielectric material, pressure-sensitive, on which a second layer of a conductive element of a given circuit is formed, the subsequent assembly of the sensor element with obtaining a packet of alternating the first and second layers, the formation of two dielectric layers as the walls of the sensor housing, laminated on only one side adjacent to the package, using two two auxiliary elastic elements, at least one of which is made of metal rubber (patent RU No. 2166740, IPC G01L 7/08 of 05/10/2001).

Недостатком технического решения является невысокая стойкость датчика к ударным и вибрационным воздействиям при его эксплуатации в связи с тем, что датчик со стороны установки на измеряемый объект имеет рифленую поверхность за счет применения для обжатия сборки слоя из металлорезины, и, следовательно, прочность связи датчика с измеряемой поверхностью не является высокой.The disadvantage of the technical solution is the low resistance of the sensor to shock and vibration during its operation due to the fact that the sensor on the installation side of the measured object has a corrugated surface due to the use of a layer of metal rubber for crimping the assembly, and, therefore, the bond strength of the sensor with the measured surface is not high.

Наиболее близким аналогом к заявляемому техническому решению является способ изготовления многослойного контактного датчика в виде слоистой пленки (патент RU №2411473, MПK G01L 7/08 от 10.02.2011 г.), включающий выполнение, по крайней мере, двух слоев, один из которых изготовлен из гибкого диэлектрического материала, чувствительного к давлению и представляющего собой термореактивный полимер, ламинированный с двух сторон термопластичным полимером, на котором формируют второй слой из токопроводящего элемента, последующую сборку элемента датчика с получением пакета из чередующихся диэлектрических и токопроводящих слоев, соединение элементов в пакет в условиях термокомпрессионной сварки с предварительным помещением пакета между двумя диэлектрическими слоями из термореактивного полимера - полиимидной пленки, проложенной со стороны пакета термопластичным полимером - полиэтиленом.The closest analogue to the claimed technical solution is a method of manufacturing a multilayer contact sensor in the form of a layered film (patent RU No. 2411473, MPK G01L 7/08 of 02/10/2011), comprising the implementation of at least two layers, one of which is made from a flexible dielectric material that is sensitive to pressure and is a thermosetting polymer laminated on both sides with a thermoplastic polymer on which a second layer of a conductive element is formed, followed by assembly of the sensor element with the floor the study of a package of alternating dielectric and conductive layers, the connection of elements in a package under thermocompression welding with the preliminary placement of the package between two dielectric layers of a thermosetting polymer - a polyimide film, laid on the side of the package with a thermoplastic polymer - polyethylene.

Недостатком прототипа является невозможность обжатия токопроводящего рисунка, ламинированного термореактивной пленкой с одной стороны, и обеспечение гладкой поверхности обратной стороны датчика, а также смещение токопроводящего рисунка на разных слоях датчика относительно друг друга.The disadvantage of the prototype is the impossibility of crimping the conductive pattern laminated with a thermosetting film on one side, and ensuring a smooth surface on the back of the sensor, as well as the offset of the conductive pattern on different layers of the sensor relative to each other.

Задачей, на решение которой направлено заявляемое техническое решение, является создание такого устройства, которое бы обеспечило обжатие токопроводящего рисунка, ламинированного термореактивным полимером в процессе термокомпрессионной сварки с одной стороны, формирование гладкой поверхности с другой стороны, а также позволило бы избежать таких нежелательных эффектов, как скручивание, коробление и смещение токопроводящего рисунка на разных слоях датчика относительно друг друга.The problem to which the claimed technical solution is directed is to create such a device that would provide compression of the conductive pattern laminated with a thermosetting polymer during thermocompression welding on the one hand, the formation of a smooth surface on the other hand, and would also avoid undesirable effects such as twisting, warping and shifting the conductive pattern on different layers of the sensor relative to each other.

Решение поставленной задачи заключается в том, что способ изготовления многослойного контактного датчика, включающий выполнение, по крайней мере, двух слоев, один из которых изготовлен из гибкого диэлектрического материала, чувствительного к давлению и представляющего собой термореактивный полимер, ламинированный с двух сторон термопластичным полимером, на котором формируют второй слой из токопроводящего элемента методом фотохимического травления с использованием комплекта фотошаблонов, последующую сборку элемента датчика с получением пакета из чередующихся диэлектрических и токопроводящих слоев, соединение элементов в пакет в условиях термокомпрессионной сварки с предварительным помещением пакета между двумя диэлектрическими слоями из термореактивного полимера, используемыми в качестве стенок корпуса, ламинированными термопластичным полимером только со стороны, прилегающей к пакету, при этом для обжатия сборки используют два вспомогательных упругих элемента, которые после снятия давления удаляют и окончательно формируют контур датчика, соответствующий конфигурации измеряемого объекта, причем в качестве одного из вспомогательных упругих элементов используют металлическую сетку, проложенную с двух сторон пленкой из термореактивного полимера, причем со стороны, обратной пакету, перед пленкой из термореактивного полимера располагают пленку из термопластичного полимера, кроме того, для изоляции контактов на токопроводящих слоях разных уровней датчика используют термопластичный полимер, который прокладывается между термореактивными пленками, ламинированными термопластичным полимером, перед термокомпрессионной сваркой и удаляется перед окончательным формированием контура датчика.The solution to this problem lies in the fact that the method of manufacturing a multilayer contact sensor, comprising performing at least two layers, one of which is made of a flexible dielectric material that is pressure sensitive and is a thermosetting polymer laminated on both sides with a thermoplastic polymer, which form the second layer of the conductive element by photochemical etching using a set of photomasks, the subsequent assembly of the sensor element with the package of alternating dielectric and conductive layers, the connection of elements in a package under conditions of thermocompression welding with the preliminary placement of the package between two dielectric layers of thermosetting polymer used as the walls of the housing, laminated with a thermoplastic polymer only from the side adjacent to the package, while for compression the assemblies use two auxiliary elastic elements, which, after relieving the pressure, remove and finally form the sensor circuit corresponding to the configuration of the measured object, moreover, as one of the auxiliary elastic elements, a metal mesh is used, laid on both sides with a film of a thermosetting polymer, and on the side opposite the package, a film of a thermoplastic polymer is placed in front of the film of a thermosetting polymer, in addition, to isolate the contacts on conductive layers of different levels of the sensor use a thermoplastic polymer that is laid between thermoset films laminated with thermoplastic polymer m, before thermocompression welding and is removed before the final formation of the sensor circuit.

Кроме того, металлическая сетка имеет размеры ячеек 0,2-0,4 мм, а толщину нити - 0,1-0,2 мм.In addition, the metal mesh has a mesh size of 0.2-0.4 mm and a thread thickness of 0.1-0.2 mm.

Кроме того, в качестве термореактивного полимера, окружающего металлическую сетку, используется термостатированный полиимид.In addition, thermostated polyimide is used as the thermosetting polymer surrounding the metal mesh.

Кроме того, в качестве термопластичного полимера, расположенного перед пленкой из термореактивного полимера, используется полиэтилен.In addition, polyethylene is used as the thermoplastic polymer located in front of the thermosetting polymer film.

Кроме того, количество слоев термореактивного полимера, окружающего металлическую сетку со стороны пакета, находится в пределах от 1 до N, где N - целые числа.In addition, the number of layers of the thermosetting polymer surrounding the metal mesh on the side of the bag is in the range from 1 to N, where N is an integer.

Кроме того, все пленки из термореактивного полимера, используемые при изготовлении датчика, подвергают термостатированию при 150°С в течение 30 мин.In addition, all films of thermosetting polymer used in the manufacture of the sensor are subjected to temperature control at 150 ° C for 30 minutes

Кроме того, в качестве термопластичного полимера, изолирующего контакты токопроводящих слоев разных уровней датчика перед термокомпрессионной сваркой, используется фторопласт.In addition, fluoroplastic is used as a thermoplastic polymer that insulates the contacts of the conductive layers of different levels of the sensor before thermocompression welding.

Кроме того, в качестве термореактивного полимера, ламинированного термопластичным полимером, используется полиимид.In addition, a polyimide is used as a thermosetting polymer laminated with a thermoplastic polymer.

В процессе изготовления многослойного пленочного контактного датчика два токопроводящих слоя 1 через термореактивную пленку 2 из полиимида, ламинированную с двух сторон термопластичной пленкой из фторопласта, подвергают термокомпрессионной сварке, которую проводят в вакуумном прессе (не показано) под действием температуры и давления (фиг. 1). После этого, на токопроводящих слоях формируют рисунок элементов датчика методом фотохимического травления с использованием комплекта фотошаблонов. После получения рисунка заготовку повторно подвергают термокомпрессионной сварке между термореактивными пленками 3 из полиимида, ламинированными термопластичной пленкой из фторопласта только со стороны, прилегающей к заготовке датчика, также в вакуумном прессе под действием температуры и давления. После термокомпрессионной сварки датчик обрезают по необходимым размерам при помощи лазерной установки.In the process of manufacturing a multilayer film contact sensor, two conductive layers 1 through a thermosetting film 2 of polyimide, laminated on both sides with a thermoplastic film of fluoroplastic, are subjected to thermo-compression welding, which is carried out in a vacuum press (not shown) under the influence of temperature and pressure (Fig. 1) . After that, a pattern of sensor elements is formed on the conductive layers by photochemical etching using a set of photomasks. After obtaining the picture, the workpiece is re-subjected to thermocompression welding between thermosetting films 3 of polyimide laminated with a thermoplastic film of fluoroplastic only from the side adjacent to the workpiece of the sensor, also in a vacuum press under the influence of temperature and pressure. After thermocompression welding, the sensor is cut to the required dimensions using a laser system.

В отличие от прототипа, в процессе повторной термокомпрессионной сварки используется устройство прессовых подушек для обжатия токопроводящих слоев пленочных контактных датчиков, включающее в себя:Unlike the prototype, in the process of repeated thermocompression welding, a press pad device is used to compress the conductive layers of film contact sensors, including:

- термопластичную пленку 4 из полиэтилена, которая служит средой для передачи давления и в процессе термокомпрессионной сварки пленочного датчика переходит в термопластичное состояние, что способствует обжатию токопроводящего рисунка;- thermoplastic film 4 of polyethylene, which serves as a medium for pressure transmission and in the process of thermocompression welding of the film sensor goes into a thermoplastic state, which contributes to the compression of the conductive pattern;

- металлическую сетку 5 с размером ячеек сетки - 0,2-0,4 мм и толщиной нити - 0,1-0,2 мм, которая обеспечивает равномерное распределение давления по поверхности датчика и препятствует растяжению диэлектрического слоя из термореактивной пленки 2, что позволяет избежать скручивания готового датчика, кроме того, металлическая сетка 5 препятствует смещению токопроводящего рисунка на разных слоях относительно друг друга;- a metal mesh 5 with a mesh size of 0.2-0.4 mm and a filament thickness of 0.1-0.2 mm, which provides a uniform distribution of pressure on the surface of the sensor and prevents stretching of the dielectric layer from the thermosetting film 2, which allows avoid twisting the finished sensor, in addition, the metal mesh 5 prevents the displacement of the conductive pattern on different layers relative to each other;

- термореактивную пленку 6 из полиимида, проложенную с двух сторон металлической сетки 5, которая выдерживает высокие температуры термокомпрессионной сварки и препятствует вытеканию и прилипанию термопластичной пленки 6 из полиэтилена, находящейся в процессе сварки в расплавленном состоянии.- thermosetting film 6 of polyimide, laid on both sides of the metal mesh 5, which withstands high temperatures of thermocompression welding and prevents leakage and adhesion of thermoplastic film 6 of polyethylene, which is in the process of welding in the molten state.

Размеры ячеек сетки выбраны экспериментально, как максимально обеспечивающие решение поставленной задачи, а в качестве материала сетки выбрана нержавеющая сталь, как материал, не изменяющий свои физические свойства при термокомпрессионной сваркеThe dimensions of the mesh cells were chosen experimentally, as maximally ensuring the solution of the problem, and stainless steel was chosen as the mesh material, as the material that does not change its physical properties during thermocompression welding

Полиэтиленовая пленка выбрана в качестве материала, передающего давление на проводящие слои пленочных датчиков, из-за своей низкой температуры размягчения (80-120°С), что обеспечивает в условиях термокомпрессии равномерное распределение давления по всей поверхности пленочных датчиков.The polyethylene film is selected as the material that transfers pressure to the conductive layers of the film sensors, due to its low softening temperature (80-120 ° C), which ensures uniform pressure distribution over the entire surface of the film sensors under thermal compression conditions.

Термостатированный полиимид выбран в качестве материала, окружающего металлическую сетку, так как обработанный при температуре 150°С в течение 30 минут полиимид обладает низкой усадкой.Thermostated polyimide is selected as the material surrounding the metal mesh, since the polyimide treated at a temperature of 150 ° C for 30 minutes has low shrinkage.

Также экспериментально установлено, что количество слоев пленки 8 из термореактивного полимера - полиимида, окружающей металлическую сетку 7 со стороны пакета пленочных датчиков, зависит от размеров ячейки сетки, так для сетки с размером ячейки - 0,2 мм оптимальным является один слой пленки, а для сетки с размером ячейки - 0,4 мм оптимальными являются три слоя пленки; при увеличении количества слоев пленки эффект обжатия сеткой 7 токопроводящих слоев 1 снижается, а при уменьшении количества слоев пленки возможно появление вмятин от сетки 7 на токопроводящих слоях 1, что недопустимо конструкторской документацией на пленочные датчики.It was also experimentally established that the number of layers of a film 8 of a thermosetting polymer - polyimide surrounding the metal grid 7 on the side of the film sensor pack depends on the size of the mesh cell, so for a mesh with a cell size of 0.2 mm, one film layer is optimal, and for mesh with a mesh size of 0.4 mm, three layers of film are optimal; with an increase in the number of film layers, the effect of compression of the conductive layers 1 by the grid 7 decreases, and with a decrease in the number of film layers, dents from the grid 7 may appear on the conductive layers 1, which is unacceptable by the design documentation for the film sensors.

При данном способе изготовления устройство прессовых подушек используется только со стороны, на которой токопроводящий рисунок датчика, ламинированный термореактивным полимером, должен быть обжат, при этом вторая сторона датчика, также ламинированная термореактивным полимером, формируется в виде гладкой поверхности, результатом использования устройства прессовых подушек является отсутствие скручивания при окончательном формировании контура датчика.With this manufacturing method, the device of the press pillows is used only on the side on which the conductive pattern of the sensor laminated with a thermosetting polymer must be crimped, while the second side of the sensor, also laminated with a thermosetting polymer, is formed as a smooth surface, the result of using the device of press pillows is the absence twisting during the final formation of the sensor circuit.

Металлическая сетка при этом может быть использована многократно, так как не утрачивает свои первоначальные свойства.The metal mesh can be used repeatedly, as it does not lose its original properties.

Таким образом, техническим результатом предлагаемого способа изготовления многослойного пленочного контактного датчика с использованием устройства прессовых подушек, содержащего металлическую сетку, является обжатие токопроводящего рисунка, ламинированного термореактивным полимером, в процессе термокомпрессионной сварки с одной стороны и обеспечение гладкой поверхности с другой, что позволяет избежать таких нежелательных эффектов, как скручивание, коробление и смещение токопроводящего рисунка на разных слоях датчика относительно друг друга.Thus, the technical result of the proposed method for manufacturing a multilayer film contact sensor using a press pad device containing a metal mesh is the compression of a conductive pattern laminated with a thermosetting polymer during thermocompression welding on the one hand and providing a smooth surface on the other, which avoids such undesirable effects like twisting, warping, and shifting the conductive pattern on different layers of the sensor but each other.

Предлагаемый способ изготовления многослойного контактного пленочного датчика внедрен в серийном производстве.The proposed method of manufacturing a multilayer contact film sensor is introduced in mass production.

Claims (8)

1. Способ изготовления многослойного пленочного контактного датчика, включающий выполнение, по крайней мере, двух слоев, один из которых изготовлен из гибкого диэлектрического материала, чувствительного к давлению и представляющего собой термореактивный полимер, ламинированный с двух сторон термопластичным полимером, на котором формируют второй слой из токопроводящего элемента методом фотохимического травления с использованием комплекта фотошаблонов, последующую сборку элемента датчика с получением пакета из чередующихся диэлектрических, и токопроводящих слоев, соединение элементов в пакет в условиях термокомпрессионной сварки с предварительным помещением пакета между двумя диэлектрическими слоями из термореактивного полимера, используемыми в качестве стенок корпуса, ламинированными термопластичным полимером только со стороны, прилегающей к пакету, при этом для обжатия сборки используют два вспомогательных упругих элемента, которые после снятия давления удаляют и окончательно формируют контур датчика, соответствующий конфигурации измеряемого объекта, отличающийся тем, что в качестве одного из вспомогательных упругих элементов используют металлическую сетку, проложенную с двух сторон пленкой из термореактивного полимера, причем со стороны, обратной пакету, перед пленкой из термореактивного полимера располагают пленку из термопластичного полимера; кроме того, для изоляции контактов на токопроводящих слоях разных уровней датчика используют термопластичный полимер, который прокладывается между термореактивными пленками, ламинированными термопластичным полимером, перед термокомпрессионной сваркой и удаляется перед окончательным формированием контура датчика.1. A method of manufacturing a multilayer film contact sensor, comprising the implementation of at least two layers, one of which is made of a flexible dielectric material that is pressure sensitive and is a thermosetting polymer laminated on both sides with a thermoplastic polymer on which a second layer of conductive element by photochemical etching using a set of photomasks, the subsequent assembly of the sensor element to obtain a packet of alternating dielectric conductive layers, the connection of elements in a package under thermocompression welding with preliminary placement of the package between two dielectric layers of thermosetting polymer used as housing walls, laminated with thermoplastic polymer only from the side adjacent to the package, while using two to compress the assembly auxiliary elastic elements, which, after depressurization, remove and finally form the sensor circuit corresponding to the configuration of the measured object, exl characterized in that, as one of the auxiliary elastic elements, a metal mesh is used, laid on both sides with a film of a thermosetting polymer, and on the side opposite to the bag, a film of a thermoplastic polymer is placed in front of the film of a thermosetting polymer; in addition, to isolate the contacts on the conductive layers of different levels of the sensor, a thermoplastic polymer is used, which is laid between thermoset films laminated with a thermoplastic polymer before thermocompression welding and is removed before the final formation of the sensor circuit. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что металлическая сетка имеет размеры ячеек 0,2-0,4 мм, а толщину нити - 0,1-0,2 мм.2. The method according to p. 1, characterized in that the metal mesh has a mesh size of 0.2-0.4 mm, and the thickness of the thread is 0.1-0.2 mm 3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве термореактивного полимера, окружающего металлическую сетку, используется полиимид.3. The method according to p. 1, characterized in that as the thermosetting polymer surrounding the metal mesh, polyimide is used. 4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве термопластичного полимера, расположенного перед пленкой из термореактивного полимера, используется полиэтилен.4. The method according to p. 1, characterized in that as a thermoplastic polymer located in front of the film of thermosetting polymer, polyethylene is used. 5. Способ по п. 3, отличающийся тем, что количество слоев термореактивного полимера, прилегающего к металлической сетке со стороны пакета, варьируется в пределах от 1 до N, где N - целые числа.5. The method according to p. 3, characterized in that the number of layers of a thermosetting polymer adjacent to the metal mesh from the side of the packet varies from 1 to N, where N is an integer. 6. Способ по п. 1, отличающийся тем, что все пленки из термореактивного полимера, используемые при изготовлении датчика, подвергают термостатированию при 150°C в течение 30 мин.6. The method according to p. 1, characterized in that all films of a thermosetting polymer used in the manufacture of the sensor are subjected to temperature control at 150 ° C for 30 minutes 7. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве термопластичного полимера, изолирующего контакты токопроводящих слоев разных уровней датчика перед термокомпрессионной сваркой, используется фторопласт.7. The method according to p. 1, characterized in that as a thermoplastic polymer, insulating the contacts of the conductive layers of different levels of the sensor before thermocompression welding, fluoroplastic is used. 8. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве термореактивного полимера, ламинированного термопластичным полимером, используется полиимид. 8. The method according to p. 1, characterized in that as the thermosetting polymer laminated with a thermoplastic polymer, a polyimide is used.
RU2014137890/28A 2014-09-18 2014-09-18 Method of making multilayer film contact sensor RU2577915C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014137890/28A RU2577915C1 (en) 2014-09-18 2014-09-18 Method of making multilayer film contact sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014137890/28A RU2577915C1 (en) 2014-09-18 2014-09-18 Method of making multilayer film contact sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2577915C1 true RU2577915C1 (en) 2016-03-20

Family

ID=55648076

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014137890/28A RU2577915C1 (en) 2014-09-18 2014-09-18 Method of making multilayer film contact sensor

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2577915C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109553061A (en) * 2018-11-09 2019-04-02 西北工业大学 Novel " sandwich " the structural flexibility hotting mask microsensor of one kind and production method

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2166740C2 (en) * 1998-12-17 2001-05-10 Российский Федеральный Ядерный Центр - Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Экспериментальной Физики Process of manufacture of contact transducer in the form of stratified film
RU2411473C1 (en) * 2009-06-22 2011-02-10 Федеральное Государственное унитарное предприятие "Уральский электромеханический завод" Method of making multilayer contact sensor in form of laminated film
RU2489693C1 (en) * 2012-02-27 2013-08-10 Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" Manufacturing method of thin-film pressure sensor
US8646335B2 (en) * 2004-11-17 2014-02-11 Lawrence Livermore National Security, Llc Contact stress sensor

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2166740C2 (en) * 1998-12-17 2001-05-10 Российский Федеральный Ядерный Центр - Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Экспериментальной Физики Process of manufacture of contact transducer in the form of stratified film
US8646335B2 (en) * 2004-11-17 2014-02-11 Lawrence Livermore National Security, Llc Contact stress sensor
RU2411473C1 (en) * 2009-06-22 2011-02-10 Федеральное Государственное унитарное предприятие "Уральский электромеханический завод" Method of making multilayer contact sensor in form of laminated film
RU2489693C1 (en) * 2012-02-27 2013-08-10 Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" Manufacturing method of thin-film pressure sensor

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109553061A (en) * 2018-11-09 2019-04-02 西北工业大学 Novel " sandwich " the structural flexibility hotting mask microsensor of one kind and production method
CN109553061B (en) * 2018-11-09 2020-10-27 西北工业大学 Novel sandwich-structured flexible hot film micro-sensor and manufacturing method thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10228231B2 (en) Laminated devices of elastic material suitable for dielectric elastomer sensing
US8723320B2 (en) Power module and manufacturing method thereof
KR101337275B1 (en) Multilayer ceramic capacitor
CN105264702B (en) Manufacturing method for reinforced electrolyte membrane and manufacturing equipment for manufacturing reinforced electrolyte membrane
JP2013529884A5 (en)
JP2016012716A5 (en) Method for manufacturing thermoelectric conversion element sheet, method for manufacturing thermoelectric conversion device
JP2012093332A5 (en) Method for manufacturing grid for radiographic imaging
US9967973B2 (en) Electrode arrangement with 3D structure and fabrication method thereof
TWI595719B (en) Electrical connection device having porous insulating sheet with through hole and method for manufacturing the same
JP2010287874A5 (en)
KR101628483B1 (en) Manufacture method of MEA
TWI570414B (en) Method of manufacturing inspection sheet and inspection sheet
WO2010094511A3 (en) Component arrangement and method for production thereof
JP2018092924A5 (en)
RU2577915C1 (en) Method of making multilayer film contact sensor
KR101462968B1 (en) Semiconductor test socket
TWI570825B (en) Semiconductor test pad using adhesive and stacked thin sheets of metal and manufacturing method thereof
JP2017517837A5 (en)
KR20200077165A (en) Test socket
GB2532698A (en) Fuel cells, electrodes, and method of manufacture
RU145760U1 (en) DEVICE FOR COMPRESSING CURRENT LAYERS OF CONTACT FILM SENSORS
RU98122985A (en) METHOD FOR PRODUCING A CONTACT SENSOR AS A LAYERED FILM
RU2411473C1 (en) Method of making multilayer contact sensor in form of laminated film
GB2451356A (en) A method for fabricating a sheet-shaped electrode and a sheet-shaped electrode for an electrostatic coalescing device
CN106413293B (en) Method for using adhesive sheet