RU2567283C2 - Способ и устройство для получения углеродных нанотрубок - Google Patents
Способ и устройство для получения углеродных нанотрубок Download PDFInfo
- Publication number
- RU2567283C2 RU2567283C2 RU2013151101/05A RU2013151101A RU2567283C2 RU 2567283 C2 RU2567283 C2 RU 2567283C2 RU 2013151101/05 A RU2013151101/05 A RU 2013151101/05A RU 2013151101 A RU2013151101 A RU 2013151101A RU 2567283 C2 RU2567283 C2 RU 2567283C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- laser radiation
- substrate
- chamber
- nanotubes
- catalytic layer
- Prior art date
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 30
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 title claims abstract description 24
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 33
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 33
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 claims abstract description 28
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 claims abstract description 25
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 6
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims description 6
- 239000013077 target material Substances 0.000 claims description 4
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims description 3
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims description 3
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 6
- 238000005086 pumping Methods 0.000 abstract description 3
- 239000003814 drug Substances 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 239000000047 product Substances 0.000 description 5
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000007833 carbon precursor Substances 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 2
- 229910003472 fullerene Inorganic materials 0.000 description 2
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N Ethane Chemical compound CC OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002679 ablation Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001721 carbon Chemical class 0.000 description 1
- 238000007233 catalytic pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- -1 ethylene, propylene, acetylene Chemical group 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 239000002082 metal nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- JTXAHXNXKFGXIT-UHFFFAOYSA-N propane;prop-1-ene Chemical group CCC.CC=C JTXAHXNXKFGXIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002109 single walled nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- 150000003738 xylenes Chemical class 0.000 description 1
- NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N ytterbium Chemical compound [Yb] NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
Изобретение относится к нанотехнологии и может быть использовано в технике, медицине и энергетике. Устройство для получения углеродных нанотрубок содержит реакционную камеру 12, в которой размещены подложкодержатель 1, нагреватель 2, подложка 3, входное окно 6, держатель 9 мишени 8, патрубок 11 ввода газов системы подачи реакционной газовой смеси и патрубок 10 системы вакуумирования. После вакуумирования камеры 12 на мишень 8, выполненную из материала катализатора, воздействуют импульсным лазерным излучением дополнительного источника, в результате чего осаждают на подложке 3 каталитический слой в виде отдельных капель 4. Через патрубок 11 вводят газовую смесь. Затем на полученном каталитическом слое фокусируют лазерное излучение 13 основного источника и сканируют его сканатором по заданной траектории для выращивания нанотрубок 7 по заданному рисунку. Используют лазерное излучение с длиной волны 0,248-10,6 мкм. Изобретения обеспечивают высокую производительность, уменьшение количества необходимого технологического оборудования и затрат. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 3 ил., 2 пр.
Description
Изобретение относится к нанотехнологии и наноструктурам, в частности к способу и устройству для получения углеродных нанотрубок, и может быть использовано для техники, медицины и энергетики.
Известно большое количество способов выращивания углеродных нанотрубок (УНТ) методом каталитического пиролиза углеводородов. В частности «Способ получения коаксиальных углеродных нанотрубок» (Заявка: 96104506/25, 06.03.1996), «Способ получения углеродных нанотрубок» (Заявка: 2010119606/05, 18.05.2010), «Способ получения углеродных нанотрубок и реактор (Заявка: 2011115430/05, 19.04.2011), «Способ получения углеродных нанотрубок и устройство для его осуществления» (Заявка: 2011139610/28, 29.09.2011) и «Способ получения одностенных углеродных нанотрубок (Заявка: 2010146417/05, 15.11.2010).
Принцип получения углеродных нанотрубок приведенными выше способами следующий. В реакторную камеру устанавливается подложка, на которой в дальнейшем будет рост УНТ. На поверхности подложки создается массив из наноразмерных капель катализатора. Подложку вместе с катализатором нагревают таким образом, что катализатор находится в жидком состоянии. В реактор подается углеродсодержащий газ. В качестве прекурсора углерода используют углеродсодержащие соединения, выбранные из группы: метан, этан, пропан, бензол, толуол, ксилолы, метанол, этанол, пропанол, изопропанол, этилен, пропилен, ацетилен или их смеси. Углерод, образующийся при термическом разложении углеводорода, растворяется в наночастице металла. При достижении высокой концентрации углерода в частице на одной из граней частицы-катализатора происходит энергетически выгодное «выделение» избыточного углерода в виде искаженной полуфулереновой шапочки, являющейся зародышем нанотрубки. Разложившийся углерод продолжает поступать в частицу катализатора, и для сброса избытка его концентрации в расплаве нужно постоянно избавляться от него. Поднимающаяся полусфера (полуфуллерен) с поверхности расплава увлекает за собой растворенный избыточный углерод, атомы которого вне расплава образуют связь С-С, представляющую собой цилиндрический каркас-нанотрубку. Недостатками известных способов являются дороговизна конечного устройства ввиду технологически сложных и дорогих процессов переноса нанотрубок на рабочую поверхность конечного устройства.
Известен также способ получения углеродных нанотрубок, включающий размещение подложки на держателе, расположенном в реакционной камере, вакуумирование камеры, подачу в камеру реакционного газа, конденсацию и рост наночастиц под воздействием лазерного излучения, которое подают на поверхность подложки (RU 2305065 C2, В82В 3/00, 27.08.2007)/прототип/. В этом источнике представлено также устройство для получения углеродных нанотрубок, содержащее реакционную камеру, размещенный в ней держатель подложки, основной источник лазерного излучения для выращивания нанотрубок, систему подачи реакционной газовой смеси в камеру и систему вакуумирования камеры.
К достоинствам данного способа и устройства относятся высокая вертикальная ориентированность и качество углеродных нанотрубок, локальность нанесения нанотрубок, отсутствие необходимости сепарации и переноса углеродных нанотрубок на поверхность конечного изделия.
К недостаткам - необходимость использования большого количества технологического оборудования с целью предварительного шаблонного нанесения каталитического слоя на поверхность подложки, а также последующей термической обработки нанотрубок для придания им высокой вертикальной ориентированности для повышения электрофизических свойств, приводящие к высокой стоимости конечного изделия.
Задачей создания изобретения является повышение надежности изделий, содержащих углеродные нанотрубки, обеспечение получения технологического рисунка углеродных нанотрубок на поверхности изделия без использования масок или шаблонов, непосредственно во время роста нанотрубок.
Для этого в способе получения углеродных нанотрубок, включающем размещение подложки на держателе, расположенном в реакционной камере, вакуумирование камеры, подачу в камеру реакционного газа, конденсацию и рост наночастиц под воздействием лазерного излучения основного источника, которое подают на поверхность подложки, предварительно на подложке создают каталитический слой в виде капель каталитических частиц для чего в камере размещают мишень из каталитического материала и воздействуют на нее импульсным лазерным излучением дополнительного источника лазерного излучения и осаждают на подложке каталитический слой в виде отдельных капель, затем фокусируют лазерное излучение основного источника на полученном каталитическом слое и сканируют его по заданной траектории, воздействуя на участки роста нанотрубок.
Кроме того для выращивания нанотрубок используют лазерное излучение с длиной волны 0,248-10,6 мкм, а для создания каталитического слоя используют дополнительный источник лазерного излучения, при этом используют импульсный источник лазерного излучения.
Для реализации поставленной задачи устройство для получения углеродных нанотрубок содержит реакционную камеру, размещенный в ней держатель подложки, основной источник лазерного излучения для выращивания нанотрубок, систему подачи реакционной газовой смеси в камеру и систему вакуумирования камеры, при этом оно снабжено держателем мишени из материала катализатора, дополнительным источником лазерного излучения для создания на подложке каталитического слоя в виде капель из материала мишени и сканатором для перемещения луча основного источника лазерного излучения для выращивания нанотрубок по заданному рисунку.
Кроме того, дополнительный источник лазерного излучения выполнен импульсным.
На фиг. 1 представлена схема процесса получения каталитического слоя, на фиг. 2 - схема лазерного выращивания нанотрубок, на фиг. 3 - подложка с выращенными на ней лазерным излучением нанотрубками, при этом 1 - подложкодержатель, 2 - нагреватель, 3 - подложка (рабочая поверхность), 4 - осажденные капли катализатора, 5 - лазерный луч дополнительного источника лазерного излучения для создания каталитического слоя, 6 -входное окно, 7 - углеродные нанотрубки, 8 - мишень, 9 - держатель мишени, 10 - откачная вакуумная система ректора, 11 - патрубок ввода газов системы подачи реакционной газовой смеси в камеру в виде прекурсора углерода, 12 - реакционная камера, 13 - лазерный луч основного источника лазерного излучения для выращивания нанотрубок, 14 - продукты разлета испаряемого материала мишени,
Технологический процесс состоит из двух этапов. Этап нанесения катализатора на рабочую поверхность подложки 3. Каталитический слой создают импульсным лазерным излучением 5 дополнительного источника перед процессом выращивания нанотрубок. Для этого в камеру 12 посредством держателя 9 устанавливают мишень 8 из материала требуемого катализатора. Также на подложкодержатель 1 устанавливают подложку 3, на поверхности которой будет создаваться каталитический слой и выращиваться нанотрубки. Реакционная камера 12 откачивается посредством системы вакуумирования 10 и создают вакуум не хуже 10-2 торр. Производят лазерную абляцию материала мишени 8 и осаждение испаренного слоя в виде капель 4 каталитических частиц на поверхности подложки 3.
Далее этап выращивания нанотрубок. Лазерное излучение 13 основного источника фокусируют на поверхности подложки 3 с нанесенным слоем капель 4 катализатора. Область материала под воздействием лазерного излучения 13 нагревается, приводя к расплавлению капель катализатора, термическому разложению прекурсора углерода и поглощению углерода жидкой фазой катализатора с дальнейшим образованием пересыщенного раствора углерода в капле катализатора и ростом углеродной нанотрубки 7. Лазерный луч 13 отклоняют с помощью специального устройства - сканатора (на фигурах не показан) по требуемой траектории. Лазерным лучом 13 воздействуют только на те участки поверхности подложки 3, на которых требуется рост углеродных нанотрубок 7. При воздействии на участки роста нанотрубок 7 лазерным излучением 13 основного источника лазерного излучения одновременно происходит термическая обработка, приводящая к вертикальной ориентации нанотрубок 7.
В результате получают углеродные нанотрубки высокого качества за счет высокой вертикальной ориентированности.
Достоинством предлагаемого способа и устройства является отсутствие необходимости использования масок, сепарации и переноса нанотрубок, т.к. их формирование происходит непосредственно на поверхности изделия.
Техническим результатом способа и устройства является высокая производительность, т.к. подготовка каталитического слоя происходит в реакционной камере непосредственно перед этапом выращивания нанотрубок, а также универсальность лазерной технологии, позволяющая проводить различные этапы, такие как: абляция материала катализатора и формирование каталитического слоя на поверхности подложки, локальное выращивание нанотрубок, термообработка, приводящая к уменьшению количества необходимого технологического оборудования и затрат.
Пример 1
На очищенную поверхность монокристаллической кремниевой пластины р-типа толщиной 525 мкм в реакционной камере с давлением 10-6 торр, температурой нагревателя подложки 150 градусов, с помощью эксимерного KrF-лазера длиной волны 248 нм, длительностью импульса 30 нс, энергией 1.5 Дж/см в течение 11 минут наносится каталитический слой 2,5% Fe/Al2O3 из капель катализатора характерным размером 6 нм и отклонением от данного размера не более 10%. Далее давление в камере увеличивается до 10-2 торр и в камеру подается 15% газовая смесь ацитилена и аргона. Требуемый технологический рисунок перерабатывается в программный код устройства отклонения луча (сканатора). С помощью СО2 лазера мощностью излучателя 100 Вт длиной волны 10.6 мкм лазерного излучения энергией 2.8*106 Вт/см2 поверхность изделия обрабатывается по заданной геометрии отклонения луча в течение 55 минут. Средний диаметр выращенных нанотрубок составляет 5 нм с погрешностью 7% высота 50 нм с отклонением не хуже 15% и высокой вертикальной ориентированностью.
Пример 2
Монокристаллическая кремниевая пластина р-типа толщиной 525 мкм с очищенной рабочей поверхностью устанавливается в реакционную камеру с давлением 10-6 торр, температурой нагревателя подложки 250 градусов. С помощью иттербиевого волоконного лазера мощностью 500 Вт длиной волны 1.36 мкм, с использованием модулятора добротности в импульсном режиме генерации частотой 200 Гц энергией лазерного излучения 108 Вт/см2 в течение 40 секунд наносится каталитический слой из никельсодержащего катализатора с характерным размером капель 15-20 мкм. Далее давление в камере увеличивается до 10-1 торр и в камеру подается пропан-пропиленовая фракция, предварительно очищенная от сернистых загрязнений и воды. Требуемый технологический рисунок перерабатывается в программный код устройства отклонения луча (сканатора). Волоконным лазером в режиме непрерывной генерации с использованием сканатора для обработки поверхности по заданной траектории плотность мощности на поверхности удерживается на уровне 106 Вт/см2 в течение 2 часов. Температура катализатора составляла 500-700°C. Углеродные нанотрубки в данном эксперименте имели диаметр 13 мкм с погрешностью 30% и длину 70-100 мкм.
Claims (4)
1. Способ получения углеродных нанотрубок, включающий размещение подложки на держателе, расположенном в реакционной камере, вакуумирование камеры, подачу в камеру реакционного газа, конденсацию и рост наночастиц под воздействием лазерного излучения основного источника лазерного излучения, которое подают на поверхность подложки, отличающийся тем, что предварительно на подложке создают каталитический слой в виде капель каталитических частиц, для чего в камере размещают мишень из каталитического материала и воздействуют на нее импульсным лазерным излучением дополнительного источника лазерного излучения и осаждают на подложке каталитический слой в виде отдельных капель, затем фокусируют лазерное излучение основного источника на полученном каталитическом слое и сканируют его по заданной траектории, воздействуя на участки роста нанотрубок.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что для выращивания нанотрубок используют лазерное излучение с длиной волны 0,248-10,6 мкм.
3. Устройство для получения углеродных нанотрубок, содержащее реакционную камеру, размещенный в ней держатель подложки, основной источник лазерного излучения для выращивания нанотрубок, систему подачи реакционной газовой смеси в камеру и систему вакуумирования камеры, отличающееся тем, что оно снабжено держателем мишени из материала катализатора, дополнительным источником лазерного излучения для создания на подложке каталитического слоя в виде капель из материала мишени и сканатором для перемещения луча основного источника лазерного излучения для выращивания нанотрубок по заданному рисунку.
4. Устройство по п. 3, отличающееся тем, что дополнительный источник лазерного излучения выполнен импульсным.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013151101/05A RU2567283C2 (ru) | 2013-11-18 | 2013-11-18 | Способ и устройство для получения углеродных нанотрубок |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013151101/05A RU2567283C2 (ru) | 2013-11-18 | 2013-11-18 | Способ и устройство для получения углеродных нанотрубок |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2013151101A RU2013151101A (ru) | 2015-05-27 |
| RU2567283C2 true RU2567283C2 (ru) | 2015-11-10 |
Family
ID=53284732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2013151101/05A RU2567283C2 (ru) | 2013-11-18 | 2013-11-18 | Способ и устройство для получения углеродных нанотрубок |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2567283C2 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2761200C1 (ru) * | 2020-12-28 | 2021-12-06 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Владимирский Государственный Университет имени Александра Григорьевича и Николая Григорьевича Столетовых" (ВлГУ) | Способ упорядоченного осаждения наноструктурированных углеродных тонких пленок в постоянном электрическом поле |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2108966C1 (ru) * | 1996-03-06 | 1998-04-20 | Уфимский государственный нефтяной технический университет | Способ получения коаксиальных углеродных нанотрубок |
| RU2302371C1 (ru) * | 2005-10-05 | 2007-07-10 | Институт химической физики им. Н.Н. Семенова РАН (ИХФ РАН) | Способ получения одностенных углеродных нанотрубок, установка для его осуществления и способ изготовления композитных углеродных мишеней |
| RU2305065C2 (ru) * | 2005-07-07 | 2007-08-27 | Институт теплофизики экстремальных состояний объединенного института высоких температур Российской Академии наук (ИТЭС ОИВТ РАН) | Способ получения углеродных, металлических и металлоуглеродных наночастиц |
| RU2365674C2 (ru) * | 2007-08-15 | 2009-08-27 | Владимир Кириллович Неволин | Устройство роста углеродных нанотрубок методом пиролиза этанола |
| RU2431600C1 (ru) * | 2010-05-18 | 2011-10-20 | Учреждение Российской Академии Наук Институт Общей И Неорганической Химии Им. Н.С. Курнакова Ран (Ионх Ран) | Способ получения углеродных нанотрубок |
| RU2448832C2 (ru) * | 2006-09-05 | 2012-04-27 | Эйрбас Оперейшнз Лимитед | Способ изготовления композиционного материала |
| RU2010146417A (ru) * | 2010-11-15 | 2012-05-20 | Общество с ограниченной ответственностью "Объединенный центр исследований и разработок" (RU) | Способ получения одностенных углеродных нанотрубок |
| RU2011115430A (ru) * | 2011-01-30 | 2012-10-27 | МСД Текнолоджис частная компания с ограниченной ответственностью (LU) | Способ получения углеродных нанотрубок и реактор (варианты) |
| RU2011139610A (ru) * | 2011-09-29 | 2013-04-10 | Учреждение Российской академии наук Институт прикладной механики (ИПРИМ РАН) | Способ получения углеродных нанотрубок и устройство для его осуществления |
-
2013
- 2013-11-18 RU RU2013151101/05A patent/RU2567283C2/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2108966C1 (ru) * | 1996-03-06 | 1998-04-20 | Уфимский государственный нефтяной технический университет | Способ получения коаксиальных углеродных нанотрубок |
| RU2305065C2 (ru) * | 2005-07-07 | 2007-08-27 | Институт теплофизики экстремальных состояний объединенного института высоких температур Российской Академии наук (ИТЭС ОИВТ РАН) | Способ получения углеродных, металлических и металлоуглеродных наночастиц |
| RU2302371C1 (ru) * | 2005-10-05 | 2007-07-10 | Институт химической физики им. Н.Н. Семенова РАН (ИХФ РАН) | Способ получения одностенных углеродных нанотрубок, установка для его осуществления и способ изготовления композитных углеродных мишеней |
| RU2448832C2 (ru) * | 2006-09-05 | 2012-04-27 | Эйрбас Оперейшнз Лимитед | Способ изготовления композиционного материала |
| RU2365674C2 (ru) * | 2007-08-15 | 2009-08-27 | Владимир Кириллович Неволин | Устройство роста углеродных нанотрубок методом пиролиза этанола |
| RU2431600C1 (ru) * | 2010-05-18 | 2011-10-20 | Учреждение Российской Академии Наук Институт Общей И Неорганической Химии Им. Н.С. Курнакова Ран (Ионх Ран) | Способ получения углеродных нанотрубок |
| RU2010146417A (ru) * | 2010-11-15 | 2012-05-20 | Общество с ограниченной ответственностью "Объединенный центр исследований и разработок" (RU) | Способ получения одностенных углеродных нанотрубок |
| RU2011115430A (ru) * | 2011-01-30 | 2012-10-27 | МСД Текнолоджис частная компания с ограниченной ответственностью (LU) | Способ получения углеродных нанотрубок и реактор (варианты) |
| RU2011139610A (ru) * | 2011-09-29 | 2013-04-10 | Учреждение Российской академии наук Институт прикладной механики (ИПРИМ РАН) | Способ получения углеродных нанотрубок и устройство для его осуществления |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2761200C1 (ru) * | 2020-12-28 | 2021-12-06 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Владимирский Государственный Университет имени Александра Григорьевича и Николая Григорьевича Столетовых" (ВлГУ) | Способ упорядоченного осаждения наноструктурированных углеродных тонких пленок в постоянном электрическом поле |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2013151101A (ru) | 2015-05-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6752782B2 (ja) | グラフェンを含む黒鉛生成物のプラズマ合成のための装置および方法 | |
| Baranov et al. | From nanometre to millimetre: a range of capabilities for plasma-enabled surface functionalization and nanostructuring | |
| US20120315467A1 (en) | Receptor-catalyst growth process for carbon nanotubes | |
| JP2003012312A (ja) | 有機液体による高配向整列カーボンナノチューブの合成方法及びその合成装置 | |
| KR102406714B1 (ko) | 그래핀 양자점의 합성을 위한 시스템 및 방법 | |
| JP2021147309A (ja) | 窒化ホウ素ナノチューブの製造方法および製造装置 | |
| US9278863B2 (en) | Method for manufacturing graphene quantum dot using thermal plasma | |
| US20240199425A1 (en) | Method for mass synthesis of carbon nanotubes and carbon nanotubes synthesized thereby | |
| KR101252333B1 (ko) | 열플라즈마 화학기상증착법을 이용한 제어 가능한 그래핀 시트 제조방법 | |
| RU2567283C2 (ru) | Способ и устройство для получения углеродных нанотрубок | |
| CN107001044B (zh) | 从籽晶结构体分离碳结构体的方法 | |
| CN101205059B (zh) | 碳纳米管阵列的制备方法 | |
| JP5399772B2 (ja) | グラファイト薄膜の製造方法および製造装置 | |
| KR100676496B1 (ko) | 열플라즈마 화학기상증착법을 이용한 고결정 탄소나노튜브제조방법 | |
| CN101205060B (zh) | 碳纳米管阵列的制备方法 | |
| JP2009161399A (ja) | カーボンナノチューブの製造装置及び製造方法 | |
| Taqy et al. | Radiation-induced synthesis of carbon nanostructures | |
| RU141978U1 (ru) | Устройство для получения углеродных нанотрубок | |
| JP2005097015A (ja) | カーボンナノチューブの製造方法 | |
| RU2561616C2 (ru) | Способ получения массивов ориентированных углеродных нанотрубок на поверхности подложки | |
| RU2447019C2 (ru) | Способ получения углеродсодержащих нанотрубок | |
| Yin et al. | Direct synthesis of nitrogen-containing carbon nanotubes on carbon paper for fuel cell electrode | |
| Dichiara | In situ diagnostics for the study of carbon nanotube growth mechanism by oating catalyst chemical vapor deposition for advanced composite applications | |
| Rahmanian et al. | Carbon nanotubes grown by CO2 laser-induced chemical vapor deposition on quartz | |
| JPWO2019026275A1 (ja) | カーボンナノホーン集合体の製造装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20151128 |