RU2439454C2 - Thermal treatment furnace - Google Patents
Thermal treatment furnace Download PDFInfo
- Publication number
- RU2439454C2 RU2439454C2 RU2010101034/02A RU2010101034A RU2439454C2 RU 2439454 C2 RU2439454 C2 RU 2439454C2 RU 2010101034/02 A RU2010101034/02 A RU 2010101034/02A RU 2010101034 A RU2010101034 A RU 2010101034A RU 2439454 C2 RU2439454 C2 RU 2439454C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cartridge
- furnace according
- furnace
- metal
- cassettes
- Prior art date
Links
Landscapes
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
- Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области термообработки изделий и материалов, в частности к конструкциям устройств для обжига керамики и синтеза материалов.The invention relates to the field of heat treatment of products and materials, in particular to the designs of devices for firing ceramics and synthesis of materials.
Известны многочисленные печи, в т.ч. и для обжига керамики, включающие термоизолированный объем, средства нагрева и средства стабилизации и/или изменения температуры по заданной программе. Для термообработки материала по заданной программе общеизвестны [например, патент US №1517271] многозонные печи, в которых термообрабатываемый объект перемещают из зоны в зону [патент US №4389562, 5855477] или регулируют температуру в различных частях (или ячейках) печи [патент US №4552530]. Их недостатком является громоздкость, связанная с протяженностью зон, или инерционность, а также невозможность управления составом среды, в которой находится объект.Numerous furnaces are known, including and for firing ceramics, including a thermally insulated volume, heating means and means for stabilizing and / or changing the temperature according to a predetermined program. For heat treatment of a material according to a given program, it is well known [for example, US patent No. 1517271] multi-zone furnaces in which a heat-treating object is moved from zone to zone [US patent No. 4389562, 5855477] or temperature is controlled in different parts (or cells) of the furnace [US patent No. 4552530]. Their disadvantage is the bulkiness associated with the length of the zones, or inertia, as well as the inability to control the composition of the environment in which the object is located.
Известны вакуумные печи и печи для термообработки объектов в заданной среде [например, патент US №4032290] с герметичным рабочим объемом. Они дороги, не допускают одновременной обработки разных изделий в разных условиях, у них велики потери времени на межоперационную очистку между обработками разных материалов.Known vacuum furnaces and furnaces for heat treatment of objects in a given environment [for example, US patent No. 4032290] with a sealed working volume. They are expensive, they do not allow the simultaneous processing of different products in different conditions, they have great losses of time for inter-operational cleaning between treatments of different materials.
Ближайшим аналогом является печь для термообработки (заявка WO 9326137, F27B 5/00, 1993), содержащая в одной печи несколько изолированных друг от друга горячих зон для раздельной обработки материалов и изделий. Недостатком ее является невозможность извлечения обрабатываемого объекта из горячей зоны с сохранением, например, инертной атмосферы вокруг объекта до достаточного его охлаждения. Другим недостатком ее является необходимость размещения печи в помещении, достаточно чистом для незащищенного объекта обработки, что существенно, например, при производстве микросхем. Недостатком ее является также необходимость специального переоснащения печи при существенном изменении технологических задач, предусматривающих тепловую обработку (отличающиеся по конструкции источники материалов, задание нужного давления газа, откачка выделений и т.п.). Серьезным ее недостатком является подверженность ее загрязнению веществами, выделяемыми обрабатываемым объектом, что часто делает ее непригодной для последующего использования с другими целями ни при каких очистках.The closest analogue is a furnace for heat treatment (application WO 9326137, F27B 5/00, 1993), containing in one furnace several isolated from each other hot zones for separate processing of materials and products. Its disadvantage is the impossibility of extracting the processed object from the hot zone while maintaining, for example, an inert atmosphere around the object until it is sufficiently cooled. Another disadvantage of it is the need to place the furnace in a room clean enough for an unprotected processing object, which is essential, for example, in the manufacture of microcircuits. Its disadvantage is the need for special re-equipment of the furnace with a significant change in technological tasks involving heat treatment (sources of materials differing in design, setting the desired gas pressure, pumping out emissions, etc.). A serious drawback is its susceptibility to contamination with substances released by the processed object, which often makes it unsuitable for subsequent use with other purposes for any cleaning.
Задачей предлагаемого изобретения является создание возможности термической обработки материалов и изделий в заданной среде и при изменении среды (по компонентам и содержанию) и температуры по заданной программе, исключения влияния материалов внутренних стенок печи, атмосферы в ней, предыстории пользования печью и взаимного влияния одновременно обрабатываемых объектов, а также повышение удобства работы и снижение стоимости термической обработки.The objective of the invention is to create the possibility of heat treatment of materials and products in a given environment and when the environment changes (in components and contents) and temperature according to a given program, eliminating the influence of materials on the internal walls of the furnace, the atmosphere in it, the history of the use of the furnace and the mutual influence of simultaneously processed objects , as well as improving the convenience of work and reducing the cost of heat treatment.
Технический результат достигается тем, что печь для термообработки, включающая термоизолированный объем, средства нагрева и средства поддержания и/или ведения температуры, содержит одну или несколько съемных помещаемых в высокотемпературную зону герметичных кассет для обрабатываемого материала или изделия. Каждая кассета снабжена средствами для соединения ее объема с рабочим объемом одного или с рабочими объемами нескольких внешних устройств, находящихся за пределами высокотемпературной зоны печи. Каждая кассета может иметь разный набор внешних устройств.The technical result is achieved in that the heat treatment furnace, including a thermally insulated volume, heating means and means for maintaining and / or maintaining the temperature, contains one or more removable sealed cassettes placed in the high temperature zone for the material or product to be processed. Each cartridge is equipped with means for connecting its volume to the working volume of one or to the working volumes of several external devices outside the high-temperature zone of the furnace. Each cassette can have a different set of external devices.
Внешним устройством может быть источник паров материала. Например, для получения керамики оксида цинка высокой плотности ее обжиг проводят при температуре порядка 1200°С, избыточном давлении паров цинка [заявка РФ №2008131000], но цинк возгоняется при гораздо более низких температурах, а его температура кипения равна 906°С, поэтому для создания заданной (например, меньшей, чем при 906°С) концентрации паров цинка его источник должен иметь регулируемую температуру, в т.ч. и значительно меньшую, чем температура обжига керамики, и находиться поэтому вне зоны обжига. Такой источник паров материала (в приведенном выше пример - паров цинка), твердого или жидкого при нормальных условиях, может быть выполнен в виде герметичного соединяемого с кассетой объема для испаряемого материала с возможностью задания его температуры или изменения ее по заданной программе, как в области значений ниже, чем температура в кассете, так и выше нее. Трубопровод от этого источника до кассеты содержит средства для нагрева стенок - для исключения конденсации на них пара металла.The external device may be a source of material vapor. For example, to obtain a high-density zinc oxide ceramic, it is fired at a temperature of about 1200 ° C, an excess vapor pressure of zinc [RF application No. 2008131000], but zinc sublimates at much lower temperatures, and its boiling point is 906 ° C, therefore, for creating a predetermined (for example, lower than at 906 ° C) concentration of zinc vapors, its source should have a controlled temperature, incl. and significantly lower than the firing temperature of ceramics, and therefore located outside the firing zone. Such a source of material vapor (zinc vapor in the above example), solid or liquid under normal conditions, can be made in the form of a sealed volume for the vaporized material connected to the cartridge with the possibility of setting its temperature or changing it according to a given program, as in the range of values lower than the temperature in the cartridge, and above it. The pipeline from this source to the cartridge contains means for heating the walls - to prevent condensation of metal vapor on them.
Если же необходимо отводить какое-либо вещество из зоны термообработки объекта (а не вводить), внешним устройством может служить герметичный соединяемый с кассетой объем с сорбентом этого вещества. Продолжая пример, приведенный выше, можно увеличить долю паров цинка, удаляя пары кислорода (над оксидом цинка присутствуют и те и другие) путем поглощения их сорбентом. После насыщения сорбент заменяют или восстанавливают, и внешнее устройство может быть снабжено любым известным средством для замены или восстановления.If it is necessary to remove any substance from the heat treatment zone of the object (and not to enter it), the sealed volume connected to the cartridge with the sorbent of this substance can serve as an external device. Continuing the example given above, it is possible to increase the fraction of zinc vapors by removing oxygen vapors (both are present above zinc oxide) by absorbing them with a sorbent. After saturation, the sorbent is replaced or restored, and the external device can be equipped with any known means for replacement or restoration.
Предлагаемое устройство позволяет производить вакуумную термообработку (или чередовать ее с обработкой в заданной среде), если хотя бы одним из внешних устройств является система откачки. При этом система откачки может содержать ловушку для паров металлов и/или других конденсирующихся при нормальных условиях веществ. Ловушка предохраняет клапаны, вакуум-проводы, насосы и окружающую среду от загрязнения веществами, выделяющимися при термообработке. Ловушка может содержать охлаждаемый адсорбент (охлаждение увеличивает эффективность адсорбции, а также компенсирует нагрев, происходящий при прохождении и адсорбции частиц из высокотемпературной зоны). Адсорбент может быть выполнен из материала более тугоплавкого, чем улавливаемый, в этом случае его можно после некоторой эксплуатации использовать в качестве источника адсорбированного материала, поместив в источник паров материала, или из того же материала (если он твердый при нормальных условиях), что и улавливаемый, в этом случае адсорбат вместе с адсорбентом можно впоследствии поместить в источник материала в качестве последнего. Продолжая тот же пример с обжигом оксида цинка, но уже в вакууме, можно в качестве ловушки для цинка использовать охлаждаемые элементы из нержавеющей стали, очищаемые от адсорбата нагревом до высокой температуры.The proposed device allows for vacuum heat treatment (or alternate it with processing in a given environment), if at least one of the external devices is a pumping system. In this case, the pumping system may contain a trap for metal vapors and / or other substances condensing under normal conditions. The trap protects valves, vacuum wires, pumps and the environment from contamination by substances released during heat treatment. The trap may contain a cooled adsorbent (cooling increases the efficiency of adsorption, and also compensates for the heat that occurs during the passage and adsorption of particles from the high-temperature zone). The adsorbent can be made of a material that is more refractory than the trap, in this case, after some use, it can be used as a source of adsorbed material, placed in a source of vapor of the material, or from the same material (if it is solid under normal conditions) as the trapped , in this case, the adsorbate together with the adsorbent can subsequently be placed in the source of the material as the latter. Continuing the same example with the burning of zinc oxide, but already in vacuum, it is possible to use cooled stainless steel elements as traps for zinc, which are purified from the adsorbate by heating to high temperature.
Внешним устройством может являться устройство для дозированной подачи газов в кассету. Устройства для дозированной подачи газов в кассету могут иметь разную конструкцию в зависимости от цели подачи газа: если газ подается для охлаждения или для регулирования теплообмена, то это регулятор больших потоков, если же газ подается для легирования, например, полупроводникового материала, то это может быть пьезонатекатель и т.п.Подобное внешнее устройство может обеспечивать и проведение термообработки в заданной атмосфере.The external device may be a device for the metered supply of gases into the cartridge. Devices for the metered supply of gases to the cartridge may have a different design depending on the purpose of the gas supply: if the gas is supplied for cooling or to regulate heat transfer, then this is a regulator of large flows, if the gas is supplied for alloying, for example, a semiconductor material, it can be piezo flow meter, etc. A similar external device can also provide heat treatment in a given atmosphere.
Другим типом внешних устройств являются измерительные и/или исследовательские приборы. Они могут быть приборами для контроля параметров материала, среды внутри кассеты, а также состояния самой кассеты (например, электронные и ионные пушки и соответствующие датчики, вакуумметры, масс-анализаторы и хроматографы для контроля среды в кассете и т.д.).Another type of external device is measuring and / or research instruments. They can be instruments for monitoring the parameters of the material, the medium inside the cartridge, as well as the state of the cartridge itself (for example, electronic and ion guns and corresponding sensors, vacuum gauges, mass analyzers and chromatographs for monitoring the medium in the cartridge, etc.).
Для загрузки и выгрузки объекта кассета имеет герметично закрываемый проем. Уплотнение известными способами может производиться с использованием металлических или эластичных прокладок (многоразовые), а также клеев, замазок и припоев (одноразовые). В случае использования низкотемпературного уплотнителя контур разъемного уплотнения выносят конструктивно за пределы высокотемпературной зоны печи и охлаждают.For loading and unloading the object, the cartridge has a hermetically sealed opening. Sealing by known methods can be performed using metal or elastic gaskets (reusable), as well as adhesives, putties and solders (disposable). In the case of using a low-temperature seal, the detachable seal circuit is structurally taken outside the high-temperature zone of the furnace and cooled.
Корпус кассеты может быть выполнен, например, из листового жаростойкого металла (сплава) с ребрами жесткости или из трубы из такого же материала.The cassette body can be made, for example, of heat-resistant sheet metal (alloy) with stiffeners or of a pipe made of the same material.
Для управления температурой внутри кассеты она выполнена с каналами для прокачки хладагента в ее стенках и/или в других элементах ее конструкции (опорах, узлах герметизации, оснастке для крепления объекта и т.п.) в виде собственно каналов или, например, наваренного змеевика. Хладагентом может быть газ или жидкость. Например, когда кассета находится в высокотемпературной области печи, она может охлаждаться газом, а после извлечения из высокотемпературной зоны - газом или жидкостью. Каналы могут быть использованы и для подачи горячих газов или жидкостей в разных стадиях процесса, если этого требует выбранный режим обработки объекта (например, для предварительного нагрева, медленного отпуска и т.д.).To control the temperature inside the cassette, it is made with channels for pumping refrigerant in its walls and / or in other elements of its design (supports, sealing units, equipment for attaching an object, etc.) in the form of channels or, for example, a welded coil. The refrigerant may be gas or liquid. For example, when the cassette is in the high-temperature region of the furnace, it can be cooled by gas, and after extraction from the high-temperature zone, by gas or liquid. Channels can also be used to supply hot gases or liquids at different stages of the process, if the selected processing mode of the object requires it (for example, for preheating, slow tempering, etc.).
Предлагаемая печь может иметь высокотемпературную зону, рассчитанную на одну, несколько или много кассет, и снабжена средствами для независимой загрузки-выгрузки кассет и для работы с неполной загрузкой кассетами.The proposed furnace can have a high-temperature zone, designed for one, several or many cassettes, and is equipped with means for independent loading and unloading of cassettes and for working with incomplete loading of cassettes.
Печь может иметь или не иметь термостойкие перегородки, разделяющие ее высокотемпературную зону на ячейки для кассет, а также отдельные системы нагрева для этих ячеек. Ячейка может быть рассчитана на одну или более кассет. Термостойкие перегородки упрощают создание в кассетах индивидуальных режимов термообработки и уменьшают влияние на температурный режим процедур загрузки-выгрузки отдельных кассет.The furnace may or may not have heat-resistant partitions dividing its high-temperature zone into cassette cells, as well as separate heating systems for these cells. A cell may be designed for one or more cassettes. Heat-resistant partitions simplify the creation of individual heat treatment modes in cassettes and reduce the influence on the temperature regime of loading and unloading of individual cassettes.
На чертеже приведен схематический (без многих необходимых для работоспособности, но хорошо известных деталей и узлов: несущих конструкций, приводов и узлов загрузки-выгрузки, уплотнителей и т.п.) чертеж (разрез) одного из возможных вариантов исполнения предлагаемого изобретения: с тремя кассетами в одной печи, каждая из которых соединена и с одним внешним устройством. Цифрами обозначены: 1 - кожух печи, 2 - теплоизоляция, 3 - нагреватели, 4 - горячая зона, 5 - кассеты, 6 - крышки кассет, 7 - гибкие трубопроводы, 8 - внешние устройства.The drawing shows a schematic (without many necessary for operability, but well-known parts and components: load-bearing structures, drives and loading and unloading units, seals, etc.) drawing (section) of one of the possible embodiments of the invention: with three cassettes in one furnace, each of which is connected to one external device. The numbers denote: 1 - the casing of the furnace, 2 - thermal insulation, 3 - heaters, 4 - the hot zone, 5 - cassettes, 6 - cassette covers, 7 - flexible pipelines, 8 - external devices.
Примером конкретного исполнения может служить печь для обжига плоских керамических мишеней на основе оксида цинка размерами 1000×500×30 мм, включающая термоизолированный (кожух, шамотная кладка) объем размерами 3000×1200×700 мм (длина по фронту × глубина × высота) и систему нагрева, обеспечивающую регулируемый нагрев до 1300°С. Объем разделен по длине термостойкими перегородками на десять ячеек, каждая из которых рассчитана на одну кассету, устанавливаемую вертикально. Для закрытия проема ячейки в отсутствие кассеты каждый проем снабжен термостойкой дверцей. Кассеты из жаростойкой стали ХН45Ю-ВИ с толщиной стенок 3 мм и с расположенными через каждые 10 см ребрами жесткости высотой 20 мм и шириной 5 мм имеют внутренние размеры 1500×600×100 мм и при установке в ячейку выступают из печи примерно на 30 см так, чтобы контур герметизации кассеты, остающийся снаружи нагреваемого объема, мог охлаждаться, а крышки кассет имеют вид вложенных в кассету с малыми зазорами между ее стенками ванночек, теплоизолирующее дно которых находится на границе высокотемпературной части печи. Для обеспечения загрузки и выгрузки печь имеет внешние направляющие для кассет, а кассеты имеют соответствующие этим направляющим кронштейны, выступающие из высокотемпературной зоны. Крышки снабжены штуцерами:An example of a specific design is a kiln for firing flat ceramic targets based on zinc oxide with dimensions of 1000 × 500 × 30 mm, including a thermally insulated (casing, fireclay masonry) volume of 3000 × 1200 × 700 mm (front length × depth × height) and a system heating, providing controlled heating to 1300 ° C. The volume is divided along the length of the heat-resistant partitions into ten cells, each of which is designed for one cartridge, mounted vertically. To close the cell opening in the absence of a cartridge, each opening is equipped with a heat-resistant door. Cassettes made of heat-resistant steel KhN45YU-VI with a wall thickness of 3 mm and with stiffening ribs 20 mm high and 5 mm wide every 10 cm have internal dimensions of 1500 × 600 × 100 mm and, when installed in a cell, protrude approximately 30 cm from the furnace so so that the cassette sealing circuit remaining outside the heated volume can be cooled, and the cassette covers look like nested in the cassette with small gaps between its walls of the bathtubs, the insulating bottom of which is located on the border of the high-temperature part of the furnace. To ensure loading and unloading, the furnace has external guides for cassettes, and the cassettes have brackets corresponding to these guides protruding from the high-temperature zone. Covers are equipped with fittings:
- для присоединения источника паров цинка, представляющего из себя стакан из нержавеющей стали со съемной герметичной крышкой, с программируемым нагревателем и термоизолирующим кожухом;- for connecting a source of zinc vapor, which is a stainless steel glass with a removable sealed lid, with a programmable heater and a thermally insulating casing;
- для откачки через сильфон, соединенный с вакуум-проводом, и присоединения измерительных приборов (вакуумметр, времяпролетный масс-спектрометр):- for pumping through a bellows connected to a vacuum wire, and connecting measuring instruments (vacuum gauge, time-of-flight mass spectrometer):
- для подачи воды для охлаждения узла герметизации.- to supply water for cooling the sealing unit.
Предлагаемая печь позволяет за счет использования кассет:The proposed oven allows through the use of cassettes:
- подвергать термообработке в одной печи материалы или изделия, поступившие в разное время и требующие разных или сдвинутых по времени программ обработки;- subjected to heat treatment in the same furnace materials or products received at different times and requiring different or time-shifted processing programs;
- компенсировать различия условий в разных частях высокотемпературной зоны печи;- compensate for differences in conditions in different parts of the high-temperature zone of the furnace;
- задавать нужную атмосферу вокруг обрабатываемого объекта, в т.ч. из паров металлов, и менять ее по заданной программе;- set the desired atmosphere around the processed object, incl. from metal vapors, and change it according to a given program;
- манипулировать объектами обработки на всех операциях (как предшествующих обжигу, так и последующих: сушка, предварительный обжиг, предварительный нагрев и охлаждение по программе в заданной атмосфере и т.п.) без опасности их повреждения и без необходимости охлаждать печь (для плавного, например, охлаждения объекта);- to manipulate the processing objects in all operations (both preceding firing and subsequent ones: drying, pre-firing, pre-heating and cooling according to the program in a given atmosphere, etc.) without the risk of damage and without the need to cool the furnace (for smooth, for example cooling facility);
- переносить объекты обработки с предварительного нагрева на высокотемпературную обработку и на последующее постепенное охлаждение без тепловых ударов;- transfer processing objects from pre-heating to high-temperature processing and to subsequent gradual cooling without thermal shock;
- исключить влияние окружающей среды на обрабатываемый объект;- eliminate the influence of the environment on the processed object;
- исключить влияние выделений объекта при его обработке на окружающую среду;- exclude the impact of object emissions during its processing on the environment;
- исключить загрязнение печи материалами, выделяющимися при обработке объекта;- eliminate the pollution of the furnace by materials released during the processing of the facility;
- обрабатывать в одной печи одновременно или последовательно объекты, чувствительные к выделениям других объектов обработки;- process in a single furnace simultaneously or sequentially objects that are sensitive to the secretions of other processing objects;
- уменьшить размеры печи;- reduce the size of the furnace;
- уменьшить энергозатраты на термообработку;- reduce energy consumption for heat treatment;
- сократить потери времени, т.к. пока одна кассета подвергается нагреву, может происходить загрузка и подключение к внешним устройствам следующих кассет, которые должны сменить ее высокотемпературной части.- reduce time loss, because while one cassette is undergoing heating, the following cassettes can be loaded and connected to external devices, which should replace its high-temperature part.
Предлагаемое изобретение позволяет также уменьшить количество приобретаемых дорогостоящих печей и уменьшить необходимую для работы площадь.The present invention also allows to reduce the number of purchased expensive furnaces and to reduce the necessary area for work.
Claims (12)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2010101034/02A RU2439454C2 (en) | 2010-01-15 | 2010-01-15 | Thermal treatment furnace |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2010101034/02A RU2439454C2 (en) | 2010-01-15 | 2010-01-15 | Thermal treatment furnace |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2010101034A RU2010101034A (en) | 2010-04-10 |
| RU2439454C2 true RU2439454C2 (en) | 2012-01-10 |
Family
ID=42670968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2010101034/02A RU2439454C2 (en) | 2010-01-15 | 2010-01-15 | Thermal treatment furnace |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2439454C2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114694943A (en) * | 2020-12-31 | 2022-07-01 | 赣州市东磁稀土有限公司 | Grain boundary diffusion tool |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DD213424A1 (en) * | 1983-02-07 | 1984-09-12 | Hermsdorf Keramik Veb | METHOD FOR SINTERING DOTED CERAMIC MATERIALS |
| WO1993026137A1 (en) * | 1992-06-15 | 1993-12-23 | Thermtec, Inc. | High performance horizontal diffusion furnace system |
| RU2310249C1 (en) * | 2006-04-10 | 2007-11-10 | Борис Леонидович Жуйков | Method and device for preparing cyclotron targets and radioactive radiation sources |
-
2010
- 2010-01-15 RU RU2010101034/02A patent/RU2439454C2/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DD213424A1 (en) * | 1983-02-07 | 1984-09-12 | Hermsdorf Keramik Veb | METHOD FOR SINTERING DOTED CERAMIC MATERIALS |
| WO1993026137A1 (en) * | 1992-06-15 | 1993-12-23 | Thermtec, Inc. | High performance horizontal diffusion furnace system |
| RU2310249C1 (en) * | 2006-04-10 | 2007-11-10 | Борис Леонидович Жуйков | Method and device for preparing cyclotron targets and radioactive radiation sources |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2010101034A (en) | 2010-04-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103323305A (en) | Sample preparation device and method for preparing rare gases in rocks | |
| US11131019B2 (en) | Apparatus for coating substrates | |
| CN112063829B (en) | A fully automatic continuous annealing furnace for single-piece specimens of amorphous alloy strips | |
| RU2439454C2 (en) | Thermal treatment furnace | |
| JP6796929B2 (en) | Fluxless brazing method for aluminum materials and brazing processing equipment | |
| CN104374667A (en) | Device for testing volatizing property of material at ultrahigh vacuum thermal environment | |
| CN107741423B (en) | Device for observing oxidation resistance of metal in high-temperature atmosphere in situ | |
| TW469338B (en) | Substrate heating method and the continuous heat treatment furnace thereof | |
| CN103785340B (en) | Multifunction microwave heating, vacuum stove | |
| WO2014078337A2 (en) | Thermal isolation walls in a rotary furnace application | |
| JPH0261067A (en) | Heat-treating device | |
| JP3519436B2 (en) | Heat treatment apparatus and temperature control method thereof | |
| CN203240896U (en) | Internal-circulating energy-saving high temperature vertical type heat treatment test furnace for strip materials | |
| KR101632489B1 (en) | Heating appratus for reducing thermal shock | |
| CN102095310B (en) | Dual-chamber dual-temperature pipe type atmosphere comprehensive resistance furnace and using method thereof | |
| Fabian | Vacuum Technology: practical heat treating and brazing | |
| CN204063941U (en) | Tube type high-temperature furnace and temperature control absorption stove combined apparatus | |
| CN103353464A (en) | Thermal shock experimental device for carbon material | |
| CN205027122U (en) | Thermistor pottery porcelain core piece fritting furnace | |
| RU2521187C2 (en) | Device for diffusion metallisation in medium of fusible liquid-metal solutions | |
| CN222504941U (en) | A miniature visual electric heating furnace | |
| JPH04110034A (en) | Method and device for heat treatment | |
| CN104180657B (en) | Tube type high-temperature furnace and temperature control absorption stove combined apparatus | |
| CN203144485U (en) | Water-mist-preventing high-temperature vertical strip material heat treatment test furnace | |
| Bojkovski et al. | New approach in filling of fixed-point cells: Case study of the melting point of gallium |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20120116 |
|
| NF4A | Reinstatement of patent |
Effective date: 20130720 |
|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20160116 |
|
| NF4A | Reinstatement of patent |
Effective date: 20170313 |
|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20190116 |