RU2432231C2 - Способ получения металлических наноразмерных порошков - Google Patents
Способ получения металлических наноразмерных порошков Download PDFInfo
- Publication number
- RU2432231C2 RU2432231C2 RU2009126321/02A RU2009126321A RU2432231C2 RU 2432231 C2 RU2432231 C2 RU 2432231C2 RU 2009126321/02 A RU2009126321/02 A RU 2009126321/02A RU 2009126321 A RU2009126321 A RU 2009126321A RU 2432231 C2 RU2432231 C2 RU 2432231C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- metal
- inert gas
- source metal
- powder
- series
- Prior art date
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 100
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 100
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims abstract description 55
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 title abstract description 11
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 51
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 15
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 15
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 10
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 claims description 10
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims description 10
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 9
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 8
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 7
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 7
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N rhenium atom Chemical compound [Re] WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 5
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 5
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims description 4
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 4
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 4
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 4
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000011575 calcium Substances 0.000 claims description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 3
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010955 niobium Substances 0.000 claims description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 claims description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 3
- ZSLUVFAKFWKJRC-IGMARMGPSA-N 232Th Chemical compound [232Th] ZSLUVFAKFWKJRC-IGMARMGPSA-N 0.000 claims description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052689 Holmium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052765 Lutetium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052773 Promethium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052776 Thorium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052775 Thulium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052770 Uranium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims description 2
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 claims description 2
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 claims description 2
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- KBQHZAAAGSGFKK-UHFFFAOYSA-N dysprosium atom Chemical compound [Dy] KBQHZAAAGSGFKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N erbium Chemical compound [Er] UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N europium atom Chemical compound [Eu] OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N gadolinium atom Chemical compound [Gd] UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- KJZYNXUDTRRSPN-UHFFFAOYSA-N holmium atom Chemical compound [Ho] KJZYNXUDTRRSPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 claims description 2
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- OHSVLFRHMCKCQY-UHFFFAOYSA-N lutetium atom Chemical compound [Lu] OHSVLFRHMCKCQY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N osmium atom Chemical compound [Os] SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052699 polonium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- HZEBHPIOVYHPMT-UHFFFAOYSA-N polonium atom Chemical compound [Po] HZEBHPIOVYHPMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N praseodymium atom Chemical compound [Pr] PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- VQMWBBYLQSCNPO-UHFFFAOYSA-N promethium atom Chemical compound [Pm] VQMWBBYLQSCNPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052705 radium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- HCWPIIXVSYCSAN-UHFFFAOYSA-N radium atom Chemical compound [Ra] HCWPIIXVSYCSAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- KZUNJOHGWZRPMI-UHFFFAOYSA-N samarium atom Chemical compound [Sm] KZUNJOHGWZRPMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 2
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052713 technetium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- GKLVYJBZJHMRIY-UHFFFAOYSA-N technetium atom Chemical compound [Tc] GKLVYJBZJHMRIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N terbium atom Chemical compound [Tb] GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- JFALSRSLKYAFGM-UHFFFAOYSA-N uranium(0) Chemical compound [U] JFALSRSLKYAFGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N ytterbium Chemical compound [Yb] NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims 1
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 4
- 239000011858 nanopowder Substances 0.000 abstract description 2
- 230000004927 fusion Effects 0.000 abstract 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 abstract 1
- 238000001883 metal evaporation Methods 0.000 abstract 1
- 238000010327 methods by industry Methods 0.000 abstract 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 37
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 37
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 9
- 229910000000 metal hydroxide Inorganic materials 0.000 description 7
- 150000004692 metal hydroxides Chemical class 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 3
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 3
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 3
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 3
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 238000011026 diafiltration Methods 0.000 description 2
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 2
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 2
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 2
- NWZSZGALRFJKBT-KNIFDHDWSA-N (2s)-2,6-diaminohexanoic acid;(2s)-2-hydroxybutanedioic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O.NCCCC[C@H](N)C(O)=O NWZSZGALRFJKBT-KNIFDHDWSA-N 0.000 description 1
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001080 W alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052768 actinide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001255 actinides Chemical class 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 239000012736 aqueous medium Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003889 chemical engineering Methods 0.000 description 1
- 238000009388 chemical precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 150000003841 chloride salts Chemical class 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- IKDUDTNKRLTJSI-UHFFFAOYSA-N hydrazine monohydrate Substances O.NN IKDUDTNKRLTJSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004678 hydrides Chemical class 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000002082 metal nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910000008 nickel(II) carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- ZULUUIKRFGGGTL-UHFFFAOYSA-L nickel(ii) carbonate Chemical compound [Ni+2].[O-]C([O-])=O ZULUUIKRFGGGTL-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 238000004663 powder metallurgy Methods 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 239000012266 salt solution Substances 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical compound [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 150000004763 sulfides Chemical class 0.000 description 1
- 150000003467 sulfuric acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FRNOGLGSGLTDKL-UHFFFAOYSA-N thulium atom Chemical compound [Tm] FRNOGLGSGLTDKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
Abstract
Изобретение относится к технологиям производства металлических порошков, имеющих размер фракции, выражаемый в наноединицах. Способ получения металлического наноразмерного порошка включает нагревание исходного металла в потоке инертного газа до температуры испарения исходного металла с образованием паров металла в потоке инертного газа и выделение из названного потока инертного газа металлического порошка при температуре ниже температуры плавления исходного металла. Нагревание исходного металла осуществляют пучком электронов, обладающим энергией 0,4-3 МэВ и мощностью не более 200 кВт, при давлении, близком к атмосферному, и расходе потока инертного газа 0,5-25000 л/мин. Обеспечивается получение металлических наноразмерных порошков в промышленных масштабах и высокая чистота получаемых металлических наноразмерных порошков. 11 з.п. ф-лы, 2 ил.
Description
Изобретение относится к технологиям производства металлических порошков, имеющих размер фракции, выражаемый в наноединицах, и может быть использовано для производства порошков чистых металлов: железа, меди, никеля, кобальта, вольфрама, молибдена и других элементов, а также металлических сплавов в химической промышленности, порошковой металлургии и других областях промышленности.
В настоящее время металлические наноразмерные порошки получают в основном двумя способами: химическим, включающим осаждение в водных растворах и восстановление порошка из оксидов и гидроксидов металлов, и физическим, включающим испарение металла и последующую его конденсацию.
Например, известен химический способ получения металлических наноразмерных порошков, основанный на реакции получения гидроксидов металлов с последующей их дегидратацией и восстановлением [Гаврилов О.С., Волкогон Г.М. и др. «Технологический процесс получения металлических нанопорошков химико-металлургическим способом» Первый Международный форум по нанотехнологиям, 2008 г, http://newrusnano.explosion.ru/]. В соответствии с этим способом соли металлов: хлориды, сульфаты, сульфиды, после просева и, при необходимости, дробления предварительно растворяют в воде и затем в раствор соли подают раствор реагента - гидрида Na, ровным тонким слоем с целью обеспечения оптимального течения реакции образования гидроксида соответствующего металла. Далее полученную суспензию фильтруют и подвергают дегидратации в сушильной установке. Заключительный этап - восстановление гидроксидов металлов до металлических наноразмерных частиц - осуществляют в электрической печи при температуре 1000°С. С целью пассивации полученный порошок помещают в азотную среду.
Известен способ получения порошка никеля путем восстановления основного карбоната никеля в водной среде при температуре 80-90°С, в соответствии с которым восстановление осуществляют водным раствором гидразин-гидрата с концентрацией гидразина не менее 4 моль/л при мольном отношении гидразина к никелю не менее 1,3 [Патент РФ №2102191].
Известен способ получения наноразмерных порошков железа, меди, никеля, кобальта, вольфрама, молибдена и металлических сплавов, который включает химическое осаждение, по меньшей мере, одного гидроксида металла раствором щелочи с образованием суспензии, диафильтрацию полученной суспензии с отделением раствора по меньшей мере одного гидроксида металла, его дегидратацию, предварительный нагрев по меньшей мере одного гидроксида металла и его восстановление с получением металлического порошка и последующую пассивацию указанного порошка, при этом одновременно с диафильтрацией осуществляют сорбционную очистку суспензии, а восстановление гидрооксида металла и пассивацию металлического порошка осуществляют при активном перемешивании материала [Патент РФ №2170647]. Способ позволяет получить наноразмерный металлический порошок со структурой частиц, обладающих низким уровнем искажений и отсутствием протяженных дефектов, а также высокочистый металлический порошок, состоящий из частиц монодисперсного состояния при сохранении узкого фракционного состава и заданной морфологии, и обеспечивает возможность регулирования дисперсности на всех стадиях технологического процесса.
Известен способ получения наноразмерного металлического порошка, включающий вызывание плазменного разряда в воде при высоком давлении между двумя электродами, один из которых выполнен из элементарного металла. Плазменный разряд осуществляют таким образом, чтобы вызвать испарение ионов металла и контактирование образовавшегося пара с водой, чтобы превратить ионы металла в металлический порошок [Патент США №7300491]. Таким способом получают порошки титана, циркония, германия, олова, золота, серебра или платины.
Известен способ получения наноструктурированного металлического порошка, в котором используют металлическую проволоку как источник металла, две проволоки как электроды; между которыми осуществляют электрический арочный разряд, чтобы расплавить концы металлической проволоки и получить расплав, который преобразуют в капли распыляющим устройством, причем температуру поддерживают между температурой плавления и температурой кипения, чтобы избежать испарения капель. Капли металла закаливают посредством охлаждения в циклонном устройстве таким образом, чтобы каждая капля немедленно отвердевала, образуя наноразмерную сферу [Патент США №7431750].
Известен способ получения металлического наноразмерного порошка, включающий плавление металла, имеющего форму проволоки, электрическим дуговым разрядом, формирование капель расплавленного металла в специальном устройстве и охлаждение, причем температуру дугового разряда поддерживают таким образом, чтобы избежать испарения металла, а охлаждение производят в устройстве таким образом, чтобы капли металла мгновенно отвердевали с образованием сферического порошка с размером частиц приблизительно 500 нм [Патент США №734157].
Известен способ получения наноразмерных металлических порошков, в соответствии с которым металл испаряют путем нагревания его в испарителе, имеющем форму трубчатой печи. При этом через испаритель пропускают поток инертного газа, который захватывает и выносит из испарителя пары металла. Далее инертный газ быстро охлаждают - закаливают, в водяном трубчатом теплообменнике, в результате чего пары металла превращаются в металлический порошок с наноразмерной фракцией [К.Wegner, В.Walker, S.Tsantilis, S.Pratsinis «Design of metal nanoparticle synthesis vapor flow condensation» Chemical Engineering Science №57, 2002]. Этот способ является ближайшим аналогом предлагаемого способа и принят за прототип изобретения.
Недостатком прототипа является его низкая производительность, что препятствует получению металлических наноразмерных порошков в промышленных масштабах. Кроме того, стенки печи при высоких температурах могут выделять ионы материалов, загрязняющих атмосферу и конечный продукт - порошок металла.
Изобретение решает задачу создания способа получения металлических наноразмерных порошков, позволяющего получать такие порошки в больших масштабах и обеспечивающего высокую чистоту получаемых металлических наноразмерных порошков.
Поставленная задача решается тем, что предлагается способ получения металлического наноразмерного порошка, включающий нагревание исходного металла в потоке инертного газа до температуры испарения исходного металла с образованием паров металла в потоке инертного газа и выделение из названного потока инертного газа металлического порошка при температуре ниже температуры плавления исходного металла, в котором нагревание исходного металла осуществляют пучком электронов, обладающим энергией 0,4-3 МэВ и мощностью не более 200 кВт, при давлении, близком к атмосферному, и расходе потока инертного газа 0,5-25000 л/мин.
Пучок электронов преимущественно генерируют ускорителем электронов.
В качестве инертного газа может использоваться любой из известных инертных газов, например аргон, гелий, неон, криптон, ксенон, углекислый газ или их смесь.
Расход потока инертного газа зависит от исходного металла, его температуры кипения, энергии и мощности пучка электронов.
В качестве металла могут использоваться металлы, относящиеся к I, II, III, IV, V, VI, VII, VIII группам Периодической таблицы, а именно:
I группа - медь (Cu), серебро (Ag), золото (Au);
II группа - бериллий (Be), магний (Mg), кальций (Са), цинк (Zn), стронций (Sr), кадмий (Cd), барий (Ва), радий (Ra);
III группа - алюминий (Al), скандий (Sc), галлий (Ga), иттрий (Y), индий (In), лантан (La), включая лантаноиды церий (Се), празеодим (Pr), неодим (Nd), прометий (Pm), самарий - (Sm), европий (Eu), гадолиний (Gd), тербий (Tb), диспрозий (Dy), гольмий (Но), эрбий (Er), тулий (Tm), иттербий (Yb), лютеций (Lu); включая из актиноидов торий (Th) и уран (U);
IV группа - кремний (Si), титан (Tl), германий (Ge), цирконий (Zr), олово (Sn), гафний (Hf), свинец (Pb);
V группа - ванадий (V), ниобий (Nb), сурьма (Sb), тантал (Та), висмут (Bi);
VI группа - хром (Cr), молибден (Мо), вольфрам (W), полоний (Ро);
VII группа - марганец (Mn), технеций (Тс), рений (Re);
VIII группа - железо (Fe), кобальт (Со), никель (Ni), рутений (Ru), родий (Rh), палладий (Pd), осмий (Os), иридий (Ir), платина (Pt).
Для получения порошка из металлического сплава в качестве исходного металла используют по меньшей мере два металла, которые нагревают совместно.
На фиг.1 показан внешний вид получаемого при реализации способа наноразмерного порошка серебра, а на фиг.2 показан внешний вид получаемого наноразмерного порошка вольфрама.
Предлагаемый способ осуществляют следующим образом.
Твердый исходный материал - металл в виде монолита или крупных кусков - помещают в испарительную камеру и направляют на его поверхность концентрированный пучок электронов с энергией 0,4-3 МэВ и мощностью не более 200 кВт, значения которых зависят от температуры кипения обрабатываемого металла. Концентрированный пучок электронов генерирует ускоритель электронов. В результате воздействия по меньшей мере часть металла обрабатываемой поверхности переходит в парообразное состояние. Одновременно с воздействием на поверхность металла электронным пучком в испарительную камеру подают инертный газ, поддерживая давление в испарительной камере, близкое к атмосферному давлению. Поток инертного газа имеет расход в пределах 0,5-25000 л/мин и зависит от температуры плавления металла и мощности электронного пучка. Поток инертного газа захватывает частицы паров металла - молекулы и ионы, находящегося в парогазовом состоянии, и уносит их из зоны испарения. Поскольку температура инертного газа ниже, чем температура в месте плавления исходного металла, уже в потоке инертного газа происходит выделение порошка металла и их быстрое отвердевание. Поэтому поток газа может быть направлен из испарительной камеры либо в камеру охлаждения, либо непосредственно в накопительный бункер.
Этот способ позволяет получать наноразмерные порошки в промышленных масштабах ввиду большой производительности электронного пучка и при этом порошки отличаются высокой чистотой, так как в атмосферу инертного газа не попадает никаких инородных включений.
Пример 1
Образец металла - серебра, относящегося к I группе Периодической таблицы, помещают в испарительную камеру. В испарительную камеру подают инертный газ аргон в форме потока, движущегося с расходом 0,5-50 литров в минуту. На поверхность металла воздействуют пучком электронов от ускорителя электронов мощностью 5-130 кВт. Под действием пучка электронов поверхность нагревается до температуры парообразования. Образуются пары серебра, которые захватываются потоком инертного газа и вместе с ним движутся к выходу из испарительной камеры. Поскольку температура инертного газа ниже точки плавления серебра, из паров серебра осаждается наноразмерный порошок серебра. Наноразмерный порошок потоком инертного газа уносится в накопительный бункер, где охлаждается естественным образом. В результате получаются порошки со средними размерами наночастиц от 5 до 200 нанометров (фиг.1) с производительностью до двух килограммов в час.
Пример 2
Образец металла - цинка, относящегося к II группе Периодической таблицы, помещают в испарительную камеру. В испарительную камеру подают инертный газ аргон в форме потока, движущегося с расходом 0,5-20 литров в минуту. На поверхность металла воздействуют пучком электронов от ускорителя электронов мощностью 5-50 кВт. Под действием пучка электронов поверхность нагревается до температуры парообразования. Образуются пары цинка, которые захватываются потоком инертного газа и вместе с ним движутся к выходу из испарительной камеры. Поскольку температура инертного газа ниже точки плавления цинка, из паров цинка осаждается наноразмерный порошок цинка. Наноразмерный порошок потоком инертного газа уносится в накопительный бункер, где охлаждается естественным образом. В результате получаются порошки со средними размерами наночастиц от 15 до 100 нанометров с производительностью до двадцати килограммов в час.
Пример 3
Образец металла - алюминия, относящегося к III группе Периодической таблицы, помещают в испарительную камеру. В испарительную камеру подают инертный газ аргон в форме потока, движущегося с расходом 1-30 литров в минуту. На поверхность металла воздействуют пучком электронов от ускорителя электронов мощностью 5-100 кВт. Под действием пучка электронов поверхность нагревается до температуры парообразования. Образуются пары алюминия, которые захватываются потоком инертного газа и вместе с ним движутся к выходу из испарительной камеры. Поскольку температура инертного газа ниже точки плавления алюминия, из паров алюминия осаждается наноразмерный порошок алюминия. Наноразмерный порошок потоком инертного газа уносится в накопительный бункер, где охлаждается естественным образом. В результате получаются порошки со средними размерами наночастиц от 10 до 250 нанометров с производительностью до восьми килограммов в час.
Пример 4
Образец металла - титана, относящегося к IV группе Периодической таблицы, помещают в испарительную камеру. В испарительную камеру подают инертный газ аргон в форме потока, движущегося с расходом 1-40 литров в минуту. На поверхность металла воздействуют пучком электронов от ускорителя электронов мощностью 5-150 кВт. Под действием пучка электронов поверхность нагревается до температуры парообразования. Образуются пары титана, которые захватываются потоком инертного газа и вместе с ним движутся к выходу из испарительной камеры. Поскольку температура инертного газа ниже точки плавления титана, из паров титана осаждается наноразмерный порошок титана. Наноразмерный порошок потоком инертного газа уносится в накопительный бункер, где охлаждается естественным образом. В результате получаются порошки со средними размерами наночастиц от 20 до 300 нанометров с производительностью до двух килограммов в час.
Пример 5
Образец металла - тантала, относящегося к V группе Периодической таблицы, помещают в испарительную камеру. В испарительную камеру подают инертный газ аргон в форме потока, движущегося с расходом 1-50 литров в минуту. На поверхность металла воздействуют пучком электронов от ускорителя электронов мощностью 20-200 кВт. Под действием пучка электронов поверхность нагревается до температуры парообразования. Образуются пары тантала, которые захватываются потоком инертного газа и вместе с ним движутся к выходу из испарительной камеры. Поскольку температура инертного газа ниже точки плавления тантала, из паров тантала осаждается наноразмерный порошок тантала. Наноразмерный порошок потоком инертного газа уносится в накопительный бункер, где охлаждается естественным образом. В результате получаются порошки со средними размерами наночастиц от 40 до 100 нанометров с производительностью до одного килограмма в час.
Пример 6
Образец металла - вольфрама, относящегося к VI группе Периодической таблицы, помещают в испарительную камеру. В испарительную камеру подают инертный газ гелий в форме потока, движущегося с расходом 0,5-50 литров в минуту. На поверхность металла воздействуют пучком электронов от ускорителя электронов мощностью 10-200 кВт. Под действием пучка электронов поверхность нагревается до температуры парообразования. Образуются пары вольфрама, которые захватываются потоком инертного газа и вместе с ним движутся к выходу из испарительной камеры. Поскольку температура инертного газа ниже точки плавления вольфрама, из паров вольфрама осаждается наноразмерный порошок вольфрама. Наноразмерный порошок потоком инертного газа уносится в накопительный бункер, где охлаждается естественным образом. В результате получаются порошки со средними размерами наночастиц от 5 до 300 нанометров (фиг.2).
Пример 7
Образец металла - рения, относящегося к VII группе Периодической таблицы, помещают в испарительную камеру. В испарительную камеру подают инертный газ аргон в форме потока, движущегося с расходом 1-40 литров в минуту. На поверхность металла воздействуют пучком электронов от ускорителя электронов мощностью 25-200 кВт. Под действием пучка электронов поверхность нагревается до температуры парообразования. Образуются пары рения, которые захватываются потоком инертного газа и вместе с ним движутся к выходу из испарительной камеры. Поскольку температура инертного газа ниже точки плавления рения, из паров рения осаждается наноразмерный порошок рения. Наноразмерный порошок потоком инертного газа уносится в накопительный бункер, где охлаждается естественным образом. В результате получаются порошки со средними размерами наночастиц от 30 до 200 нанометров с производительностью до одного килограмма в час.
Пример 8
Образец металла - никеля, относящегося к VIII группе Периодической таблицы, помещают в испарительную камеру. В испарительную камеру подают инертный газ аргон в форме потока, движущегося с расходом 0,5-50 литров в минуту. На поверхность металла воздействуют пучком электронов от ускорителя электронов мощностью 20-200 кВт. Под действием пучка электронов поверхность нагревается до температуры парообразования. Образуются пары никеля, которые захватываются потоком инертного газа и вместе с ним движутся к выходу из испарительной камеры. Поскольку температура инертного газа ниже точки плавления никеля, из паров никеля осаждается наноразмерный порошок никеля. Наноразмерный порошок потоком инертного газа уносится в накопительный бункер, где охлаждается естественным образом. В результате получаются порошки со средними размерами наночастиц от 20 до 200 нанометров с производительностью до двух килограммов в час.
Пример 9
Образец сплава - никелида титана помещают в испарительную камеру. В испарительную камеру подают инертный газ гелий в форме потока, движущегося с расходом 0,5-50 литров в минуту. На поверхность металла воздействуют пучком электронов от ускорителя электронов мощностью 20-200 кВт. Под действием пучка электронов поверхность нагревается до температуры парообразования. Образуются пары элементов, составляющих сплав, которые захватываются потоком инертного газа и вместе с ним движутся к выходу из испарительной камеры. Поскольку температура инертного газа ниже точки плавления титана и никеля, из паров осаждается наноразмерный порошок сплава - никелида титана. Наноразмерный порошок потоком инертного газа уносится в накопительный бункер, где охлаждается естественным образом. В результате получаются порошки со средними размерами наночастиц от 50 до 300 нанометров с производительностью до одного килограмма в час.
Claims (12)
1. Способ получения металлического наноразмерного порошка, включающий нагревание исходного металла в потоке инертного газа до температуры испарения исходного металла с образованием паров металла в потоке инертного газа и выделение из названного потока инертного газа металлического порошка при охлаждении паров металла до температуры ниже температуры плавления исходного металла, отличающийся тем, что нагревание исходного металла осуществляют пучком электронов, обладающим энергией 0,4-3 МэВ и мощностью не более 200 кВт, при давлении, близком к атмосферному, и расходе потока инертного газа 0,5-25000 л/мин.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что пучок электронов генерируют ускорителем электронов.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что инертным газом является аргон, или гелий, или неон, или криптон, или ксенон, или углекислый газ, или их смесь.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что исходный металл выбирают из ряда: медь, серебро, золото.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что исходный металл выбирают из ряда: бериллий, магний, кальций, цинк, стронций, кадмий, барий, радий.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что исходный металл выбирают из ряда: алюминий, скандий, галлий, иттрий, индий, лантан, церий, празеодим, неодим, прометий, самарий, европий, гадолиний, тербий, диспрозий, гольмий, эрбий, тулий, иттербий, лютеций, торий, уран.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что исходный металл выбирают из ряда: кремний, титан, германий, цирконий, олово, гафний, свинец.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что исходный металл выбирают из ряда: ванадий, ниобий, сурьма, тантал, висмут.
9. Способ по п.1, отличающийся тем, что исходный металл выбирают из ряда: хром, молибден, вольфрам, полоний.
10. Способ по п.1, отличающийся тем, что исходный металл выбирают из ряда: марганец, технеций, рений.
11. Способ по п.1, отличающийся тем, что исходный металл выбирают из ряда: железо, кобальт, никель, рутений, родий, палладий, осмий, иридий, платина.
12. Способ по п.1, отличающийся тем, что исходным металлом являются по меньшей мере два металла, которые нагревают совместно.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009126321/02A RU2432231C2 (ru) | 2009-07-08 | 2009-07-08 | Способ получения металлических наноразмерных порошков |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009126321/02A RU2432231C2 (ru) | 2009-07-08 | 2009-07-08 | Способ получения металлических наноразмерных порошков |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2009126321A RU2009126321A (ru) | 2011-01-27 |
| RU2432231C2 true RU2432231C2 (ru) | 2011-10-27 |
Family
ID=44998237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2009126321/02A RU2432231C2 (ru) | 2009-07-08 | 2009-07-08 | Способ получения металлических наноразмерных порошков |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2432231C2 (ru) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2489232C1 (ru) * | 2011-12-22 | 2013-08-10 | Общество с ограниченной ответственностью "НОРМИН" | Способ получения наноразмерного порошка металла |
| RU2616920C2 (ru) * | 2014-12-08 | 2017-04-18 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт энергетических проблем химической физики им. В.Л. Тальрозе Российской академии наук ИНЭПХФ РАН им. В.Л. Тальрозе | Способ получения нанопорошка гидрида титана |
| RU2751611C1 (ru) * | 2020-04-15 | 2021-07-15 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Новые Дисперсные Материалы" | Устройство для получения мелкодисперсного порошка |
| RU2764445C2 (ru) * | 2021-05-04 | 2022-01-17 | Виталий Евгеньевич Дьяков | Способ получения металлического скандия |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115870491B (zh) * | 2022-12-16 | 2025-07-29 | 中国科学技术大学 | 一种高熵金属纳米颗粒闪蒸制备装置、制备方法及应用 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2067077C1 (ru) * | 1994-01-26 | 1996-09-27 | Бардаханов Сергей Прокопьевич | Способ получения ультрадисперсной двуокиси кремния, устройство для его осуществления и ультрадисперсная двуокись кремния |
| US6090179A (en) * | 1998-07-30 | 2000-07-18 | Remptech Ltd. | Process for manufacturing of metallic power |
| RU2228239C2 (ru) * | 2002-02-04 | 2004-05-10 | Государственное научное учреждение "Научно-исследовательский институт высоких напряжений при Томском политехническом университете Министерства образования Росссийской Федерации" | Способ прямого восстановления галогенидов |
| RU2264888C2 (ru) * | 2003-12-24 | 2005-11-27 | Государственное научное учреждение "Научно-исследовательский институт высоких напряжений при Томском политехническом университете" | Способ получения нанодисперсных порошков оксидов |
| RU2353573C2 (ru) * | 2006-12-18 | 2009-04-27 | Институт электрофизики Уральского отделения РАН | Способ получения нанопорошков и устройство для его реализации |
-
2009
- 2009-07-08 RU RU2009126321/02A patent/RU2432231C2/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2067077C1 (ru) * | 1994-01-26 | 1996-09-27 | Бардаханов Сергей Прокопьевич | Способ получения ультрадисперсной двуокиси кремния, устройство для его осуществления и ультрадисперсная двуокись кремния |
| US6090179A (en) * | 1998-07-30 | 2000-07-18 | Remptech Ltd. | Process for manufacturing of metallic power |
| RU2228239C2 (ru) * | 2002-02-04 | 2004-05-10 | Государственное научное учреждение "Научно-исследовательский институт высоких напряжений при Томском политехническом университете Министерства образования Росссийской Федерации" | Способ прямого восстановления галогенидов |
| RU2264888C2 (ru) * | 2003-12-24 | 2005-11-27 | Государственное научное учреждение "Научно-исследовательский институт высоких напряжений при Томском политехническом университете" | Способ получения нанодисперсных порошков оксидов |
| RU2353573C2 (ru) * | 2006-12-18 | 2009-04-27 | Институт электрофизики Уральского отделения РАН | Способ получения нанопорошков и устройство для его реализации |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2489232C1 (ru) * | 2011-12-22 | 2013-08-10 | Общество с ограниченной ответственностью "НОРМИН" | Способ получения наноразмерного порошка металла |
| RU2616920C2 (ru) * | 2014-12-08 | 2017-04-18 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт энергетических проблем химической физики им. В.Л. Тальрозе Российской академии наук ИНЭПХФ РАН им. В.Л. Тальрозе | Способ получения нанопорошка гидрида титана |
| RU2751611C1 (ru) * | 2020-04-15 | 2021-07-15 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Новые Дисперсные Материалы" | Устройство для получения мелкодисперсного порошка |
| RU2764445C2 (ru) * | 2021-05-04 | 2022-01-17 | Виталий Евгеньевич Дьяков | Способ получения металлического скандия |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2009126321A (ru) | 2011-01-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2432231C2 (ru) | Способ получения металлических наноразмерных порошков | |
| JP2980987B2 (ja) | ナノ構造材料を製造するための方法及び装置 | |
| Luidold et al. | Hydrogen as a reducing agent: State-of-the-art science and technology | |
| US20030108459A1 (en) | Nano powder production system | |
| US20040065170A1 (en) | Method for producing nano-structured materials | |
| WO2011071225A1 (ko) | 열플라즈마를 이용한 고순도 구리분말의 제조방법 | |
| JP2021515105A (ja) | 球状タンタル粉末、それを含有する製品、及びその作製方法 | |
| JP7398689B2 (ja) | 複合タングステン酸化物粒子の製造方法 | |
| CN116056818B (zh) | 一种高纯粉体材料的制备方法及其应用及一种合金条带 | |
| RU2489232C1 (ru) | Способ получения наноразмерного порошка металла | |
| CN111590084B (zh) | 一种金属粉体材料的制备方法 | |
| KR101055991B1 (ko) | 이송식 아크 플라즈마 장치를 이용한 구리 나노분말 제조방법 | |
| Liang et al. | Synthesis, characterization, and phase stability of ultrafine TiO2 nanoparticles by pulsed laser ablation in liquid media | |
| JP6515419B2 (ja) | 金属酸化物ナノワイヤーの製造方法およびナノワイヤー | |
| CN103402920A (zh) | 贵金属-氧化物接合纳米粒子及其高纯度制造方法 | |
| US20030102207A1 (en) | Method for producing nano powder | |
| JP4978237B2 (ja) | ニッケル粉末の製造方法 | |
| JP2004091843A (ja) | 高純度高融点金属粉末の製造方法 | |
| CN108602128B (zh) | 通过使用热等离子体制备具有均匀氧钝化层的铜金属纳米粉末的方法及其制备设备 | |
| JP2004124257A (ja) | 金属銅微粒子及びその製造方法 | |
| RU2616920C2 (ru) | Способ получения нанопорошка гидрида титана | |
| JP7359376B2 (ja) | 複合タングステン酸化物粒子の製造方法 | |
| JP5123755B2 (ja) | 高結晶性金属又は金属酸化物粒子の製造方法。 | |
| Hesse et al. | High-energy ball milling of intermetallic Ti-Cu alloys for the preparation of oxide nanoparticles | |
| CN113118450A (zh) | 一种纳米级和亚微米级金属粉体的制备方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20150709 |