RU2400667C1 - Осветительная система - Google Patents
Осветительная система Download PDFInfo
- Publication number
- RU2400667C1 RU2400667C1 RU2009124892/28A RU2009124892A RU2400667C1 RU 2400667 C1 RU2400667 C1 RU 2400667C1 RU 2009124892/28 A RU2009124892/28 A RU 2009124892/28A RU 2009124892 A RU2009124892 A RU 2009124892A RU 2400667 C1 RU2400667 C1 RU 2400667C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- plane
- rays
- glass plate
- parallel glass
- beams
- Prior art date
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 title abstract description 14
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 36
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 29
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 33
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 31
- 101100345589 Mus musculus Mical1 gene Proteins 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000000265 homogenisation Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N ytterbium Chemical compound [Yb] NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
Изобретение относится к оптическому приборостроению. Осветительная система содержит оптически связанные лазер, устройство для расщепления лазерного луча, фокусирующий компонент. Устройство для расщепления лазерного луча выполнено в виде установленной под углом к оси лазерного излучения первой плоскопараллельной стеклянной пластинки, на выходной грани которой нанесено светоделительное покрытие для разделения падающего луча на не менее чем два луча, а на входной грани нанесено зеркальное покрытие в зонах падения на нее отраженных от светоделительного покрытия лучей. Светоделительное покрытие нанесено в зонах падения исходного и отраженных от зеркального покрытия лучей, за исключением последнего выходящего из пластинки луча, при этом угол наклона первой плоскопараллельной стеклянной пластинки выполнен таким, чтобы обеспечивалось пространственное разделение выходящих из нее лучей, а ее толщина выбрана такой, чтобы оптическая разность хода между любыми выходящими из нее лучами превышала длину когерентности излучения лазера. Технический результат - повышение равномерности освещения по сечению пучка путем устранения дифракционных и интерференционных явлений на оптических неоднородностях, а также уменьшение габаритов осветительной системы. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.
Description
Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частности к лазерным осветительным устройствам, которые применяются в различных оптоэлектронных системах, например в аппаратуре для формирования лазерного поля управления подвижными объектами по лазерному лучу.
Для обеспечения надежного управления объектом важно обеспечить как можно более высокую равномерность освещения по сечению пучка.
Возникновение неравномерности освещения по сечению пучка обуславливается тем, что когерентное лазерное излучение, распространяясь по оптическим элементам устройства, претерпевает дифракцию на неоднородностях и дефектах реальной оптики (свили, мелкие пузыри, царапины и т.д.), и, интерферируя с прямо прошедшим излучением, образует паразитную интерференционную картинку, снижающую равномерность освещения.
Наиболее близким по технической сущности к заявляемому является устройство [1] для гомогенизации распределения пространственной интенсивности пучка когерентного излучения, содержащее оптически связанные лазерный излучатель, дифракционную решетку, расположенную на пути распространения этого пучка, а также средства для расщепления пучка и фокусирующий компонент, в результате чего снижается длина когерентности дифрагированного излучения, что приводит к повышению равномерности освещения по сечению пучка, т.е. его гомогенизации.
Однако в данном устройстве расщепление пучка производится лишь в одном направлении, перпендикулярном направлению распространения исходного пучка, относительно его ширины, что не в полной мере обеспечивает повышение равномерности освещения.
Кроме того, для того чтобы обеспечить сбор всех необходимых для работы устройства пучков, выходящих из дифракционной решетки, требуется применить фокусирующий компонент с большой апертурой, что приводит к увеличению габаритов осветительной системы.
Задачей изобретения является повышение равномерности освещения по сечению пучка путем устранения дифракционных и интерференционных явлений на оптических неоднородностях, а также уменьшение габаритов осветительной системы.
Поставленная задача достигается тем, что в осветительной системе, содержащей оптически связанные лазер, устройство для расщепления лазерного луча, фокусирующий компонент, в отличие от прототипа, устройство для расщепления лазерного луча выполнено в виде установленной под углом к оси лазерного излучения первой плоскопараллельной стеклянной пластинки, на выходной грани которой нанесено светоделительное покрытие для разделения падающего луча на не менее чем два луча, а на входной грани нанесено зеркальное покрытие в зонах падения на нее отраженных от светоделительного покрытия лучей, причем светоделительное покрытие нанесено в зонах падения исходного и отраженных от зеркального покрытия лучей, за исключением последнего выходящего из пластинки луча, при этом угол наклона первой плоскопараллельной стеклянной пластинки выполнен таким, чтобы обеспечивалось пространственное разделение выходящих из нее лучей, а ее толщина выбрана такой, чтобы оптическая разность хода между любыми выходящими из нее лучами превышала длину когерентности излучения лазера.
Также устройство для расщепления лазерного луча может быть дополнено второй плоскопараллельной стеклянной пластинкой, установленной по ходу выходящих из первой плоскопараллельной стеклянной пластинки лучей под углом к их осям, причем угол лежит в плоскости, перпендикулярной плоскости угла наклона первой плоскопараллельной стеклянной пластинки, на выходной грани второй плоскопараллельной стеклянной пластинки нанесено светоделительное покрытие для разделения каждого из падающих лучей на не менее чем два луча, а на входной грани нанесено зеркальное покрытие в зонах падения на нее отраженных от светоделительного покрытия лучей, причем светоделительное покрытие нанесено в зонах падения исходных и отраженных от зеркального покрытия лучей, за исключением последних выходящих из пластинки лучей, при этом угол наклона второй плоскопараллельной стеклянной пластинки выполнен таким, чтобы обеспечивалось пространственное разделение выходящих из нее лучей, а толщина второй плоскопараллельной стеклянной пластинки выбрана такой, чтобы оптическая разность хода между любыми выходящими из нее лучами превышала длину когерентности излучения лазера.
Выполнение устройства для расщепления лазерного луча в виде установленной под углом к оси лазерного излучения первой плоскопараллельной стеклянной пластинки, на выходной грани которой нанесено светоделительное покрытие для разделения падающего луча на не менее чем два пучка, на входной грани которой нанесено зеркальное покрытие в зонах падения на нее отраженных от светоделительного покрытия лучей, причем светоделительное покрытие нанесено в зонах падения исходного и отраженных от зеркального покрытия лучей, за исключением последнего выходящего из пластинки луча, обеспечивает расщепление исходного пучка на несколько лучей с различными длинами оптических путей в них, что приводит к снижению уровня интерференционных шумов за счет некогерентного сложения интенсивностей излучения пучков в плоскости освещаемой поверхности, и улучшает равномерность освещения.
Количество пучков, на которые разделяется лазерное излучение, согласно предлагаемому изобретению должно быть не менее двух. С увеличением их количества растет степень улучшения равномерности освещения. Если охарактеризовать степень улучшения равномерности значением контраста подсветки КП, то его величина
(Imax, Imin - значения максимальной и минимальной плотности мощности освещения) будет зависеть от количества пучков N следующим образом:
где: Iκ max и Iκ min - максимальное и минимальное значения плотности мощности κ-го пучка, в котором имеют место интерференционные шумы;
Ii - плотность мощности других пучков, в которых полагается, что интерференционных шумов не имеется.
Формула 2 выведена в предположении, что все разделенные пучки имеют равную интенсивность.
Как следует из формулы (2), при увеличении количества пучков N контраст подсветки уменьшается, что приводит к улучшению равномерности освещения по сечению пучка в плоскости освещаемой поверхности.
Добавление второй плоскопараллельной стеклянной пластинки, установленной по ходу выходящих из первой плоскопараллельной стеклянной пластинки лучей под углом к их осям, причем угол лежит в плоскости, перпендикулярной плоскости угла наклона первой плоскопараллельной стеклянной пластинки, с покрытиями, аналогичными покрытиям первой пластинки, дает увеличение количества расщепленных пучков N, а также обеспечивает расщепление пучков в плоскости, перпендикулярной плоскости расщепления пучков первой пластинки, что вместе с увеличением N улучшает равномерность освещения.
Осветительная система имеет малые габариты вследствие того, что на выходе устройства для расщепления лазерного луча формируются параллельные пучки, для которых применяется фокусирующий компонент с небольшой апертурой.
На фиг.1 приведена схема заявляемой осветительной системы, включающей первую плоскопараллельную стеклянную пластинку. На фиг.2 приведена схема осветительной системы, включающей две плоскопараллельные стеклянные пластинки. На фиг.3 изображена схема нанесения покрытий на первую и вторую пластинки, выполненные аналогично.
Осветительное устройство (см. фиг.1) состоит из оптически связанных лазера 1, устройства для расщепления лазерного луча 2, выполненного виде первой плоскопараллельной стеклянной пластинки 3, и фокусирующего компонента 4, фокальная плоскость которого совпадает с освещаемой поверхностью.
Первая плоскопараллельная стеклянная пластинка 3 (см. фиг.1) установлена под углом φ1 к оси А лазерного излучения. Буквы В и С обозначают лучи, выходящие из первой плоскопараллельной стеклянной пластинки 3. Угол наклона φ1 первой плоскопараллельной стеклянной пластинки выбирается таким, чтобы обеспечивалось пространственное разделение выходящих из нее лучей. Его значение зависит от поперечного сечения лазерного луча и показателя преломления пластинки и рассчитывается по формулам геометрической оптики. Толщина плоскопараллельной стеклянной пластинки выбирается такой, чтобы оптическая разность хода между любыми выходящими из нее лучами превышала длину когерентности излучения, которая, в свою очередь, определяется шириной спектра излучения использованного лазера.
На входной грани плоскопараллельной стеклянной пластинки 3 (см. фиг.3) нанесено зеркальное покрытие 6 в зоне падения на нее отраженных от светоделительного покрытия 7 лучей. Светоделительное покрытие 7 нанесено на выходной грани плоскопараллельной стеклянной пластинки 3, причем оно нанесено в зоне выхода последнего выходящего из пластинки луча С. Количество лучей, на которые расщепляется лазерный луч, должно быть не менее двух (см. фиг.1-3). Параметры светоделительного покрытия 7 определяются исходя из требуемого количества расщепленных лучей и длины волны лазерного излучения.
Устройство для расщепления лазерного луча 2 может быть дополнено второй плоскопараллельной стеклянной пластинкой 5 (см. фиг.2), причем вторая пластинка 5 установлена между первой пластинкой 3 и фокусирующим компонентом 4.
Вторая плоскопараллельная стеклянная пластинка 5 наклонена на угол φ2 (см. фиг.2), лежащий в плоскости, повернутой на 90° вокруг оси А относительно плоскости наклона первой плоскопараллельной стеклянной пластинки 3. Значение угла φ2 выбирается аналогично значению угла φ1. Схема нанесения покрытий на пластинке 5 аналогична схеме фиг.3. Входными лучами для нее являются В и С, а выходными D, Е, F, G.
Устройство работает следующим образом. Лазерное излучение поступает на первую плоскопараллельную стеклянную пластинку 3 устройства для расщепления лазерного излучения 2 (фиг.1) и, пройдя ее, разделяется на 2 параллельных пучка В, С (фиг.1) примерно равной интенсивности, которые собираются фокусирующим компонентом 4 в плоскости освещаемой поверхности. Вследствие того, что оптическая разность хода между выходящими из пластинки лучами В и С превышает длину когерентности излучения, в данной плоскости происходит некогерентное сложение их интенсивностей, интерференционные шумы, возникающие по пути распространения лучей А, В и С, будут снижаться, и возрастет равномерность освещения.
Добавление второй плоскопараллельной пластинки 5 (см. фиг.2) увеличивает в 2 раза количество лучей, которые фокусируются в плоскости освещаемой поверхности, что приводит к еще большему возрастанию равномерности освещения.
Заявляемая осветительная система была изготовлена и испытана. В качестве лазера был использован иттербиевый волоконный лазер непрерывного действия, имеющий следующие параметры:
длина волны излучения - 1064 нм;
расходимость излучения по уровню 0,5 мощности - 2';
длина когерентности излучения - 5 мм;
мощность излучения - 10 Вт.
В системе были установлены плоскопараллельные пластинки из стекла К-108Л с диэлектрическими покрытиями, выполненными по схеме фиг.3 с толщинами 3 мм и 6 мм для первой и второй пластинок и углами наклона φ1=10° и φ2=15° соответственно.
Выбранная система покрытий и углы наклона пластинок обеспечивали на выходе из второй пластинки формирование четырех параллельных пучков примерно равной интенсивности, а толщины пластинок создавали разности хода между любыми из пучков, превышающие длину когерентности излучения лазера.
В фокальной плоскости фокусирующего компонента, в качестве которого использовалась линза с фокусным расстоянием 50 мм, формировалось гауссовое распределение плотности мощности излучения по сечению пучка.
В экспериментальном исследовании изготовленной осветительной системы, согласно изобретению, было установлено практически полное подавление интерференционных шумов в фокальной плоскости освещаемого объекта.
Таким образом, заявляемое устройство обеспечивает улучшение качества пучка подсветки за счет повышения равномерности распределения плотности мощности излучения, что позволит обеспечить более надежное управление подвижных объектов по лазерному лучу.
Источники информации
1. Патент WO 3023833 А1, опубл. 20.03.2003. Способы гомогенизации пространственно когерентного пучка излучения, формирования рисунка на поверхности образца и его проверки - прототип.
Claims (2)
1. Осветительная система, содержащая оптически связанные лазер, устройство для расщепления лазерного луча, фокусирующий компонент, отличающаяся тем, что устройство для расщепления лазерного луча выполнено в виде установленной под углом к оси лазерного излучения первой плоскопараллельной стеклянной пластинки, на выходной грани которой нанесено светоделительное покрытие для разделения падающего луча на не менее, чем два луча, а на входной грани нанесено зеркальное покрытие в зонах падения на нее отраженных от светоделительного покрытия лучей, причем светоделительное покрытие нанесено в зонах падения исходного и отраженных от зеркального покрытия лучей, за исключением последнего выходящего из пластинки луча, при этом угол наклона первой плоскопараллельной стеклянной пластинки выполнен таким, чтобы обеспечивалось пространственное разделение выходящих из нее лучей, а ее толщина выбрана такой, чтобы оптическая разность хода между любыми выходящими из нее лучами превышала длину когерентности излучения лазера.
2. Осветительная система по п.1, отличающаяся тем, что устройство для расщепления лазерного луча дополнено второй плоскопараллельной стеклянной пластинкой, установленной по ходу выходящих из первой плоскопараллельной стеклянной пластинки лучей под углом к их осям, причем угол лежит в плоскости, перпендикулярной плоскости угла наклона первой плоскопараллельной стеклянной пластинки, на выходной грани второй плоскопараллельной стеклянной пластинки нанесено светоделительное покрытие для разделения каждого из падающих лучей на не менее, чем два луча, а на входной грани нанесено зеркальное покрытие в зонах падения на нее отраженных от светоделительного покрытия лучей, причем светоделительное покрытие нанесено в зонах падения исходных и отраженных от зеркального покрытия лучей, за исключением последних выходящих из пластинки лучей, при этом угол наклона второй плоскопараллельной стеклянной пластинки выполнен таким, чтобы обеспечивалось пространственное разделение выходящих из нее лучей, а толщина второй плоскопараллельной стеклянной пластинки выбрана такой, чтобы оптическая разность хода между любыми выходящими из нее лучами превышала длину когерентности излучения лазера.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| BYA20081044 | 2008-08-05 | ||
| BY20081044 | 2008-08-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2400667C1 true RU2400667C1 (ru) | 2010-09-27 |
Family
ID=42940421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2009124892/28A RU2400667C1 (ru) | 2008-08-05 | 2009-06-29 | Осветительная система |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2400667C1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2624453C2 (ru) * | 2011-10-18 | 2017-07-04 | Филипс Лайтинг Холдинг Б.В. | Светильник с расщепленным пучком и осветительная система |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1441194A1 (ru) * | 1987-05-18 | 1988-11-30 | Специальное Конструкторское Бюро Физико-Технического Института Им.А.Ф.Иоффе | Устройство дл контрол состо ни поверхности |
| DE19537339A1 (de) * | 1995-10-06 | 1997-04-10 | Markus Lechner | Bilderzeugungsvorrichtung |
| EP0965789A2 (en) * | 1998-06-15 | 1999-12-22 | Brian Edward Richardson | Beam divergence and shape controlling module for projected light |
| WO2003023833A1 (en) * | 2001-09-10 | 2003-03-20 | Micronic Laser Systems Ab | Homogenization of a spatially coherent radiation beam and printing and inspection, respectively, of a pattern on a workpiece |
-
2009
- 2009-06-29 RU RU2009124892/28A patent/RU2400667C1/ru active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1441194A1 (ru) * | 1987-05-18 | 1988-11-30 | Специальное Конструкторское Бюро Физико-Технического Института Им.А.Ф.Иоффе | Устройство дл контрол состо ни поверхности |
| DE19537339A1 (de) * | 1995-10-06 | 1997-04-10 | Markus Lechner | Bilderzeugungsvorrichtung |
| EP0965789A2 (en) * | 1998-06-15 | 1999-12-22 | Brian Edward Richardson | Beam divergence and shape controlling module for projected light |
| WO2003023833A1 (en) * | 2001-09-10 | 2003-03-20 | Micronic Laser Systems Ab | Homogenization of a spatially coherent radiation beam and printing and inspection, respectively, of a pattern on a workpiece |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2624453C2 (ru) * | 2011-10-18 | 2017-07-04 | Филипс Лайтинг Холдинг Б.В. | Светильник с расщепленным пучком и осветительная система |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6934879B2 (ja) | ハイパースペクトルイメージング計量システム及び方法 | |
| US7889263B2 (en) | System and method for high numeric aperture imaging systems | |
| JP6261627B2 (ja) | 照射サブシステム | |
| US20050270524A1 (en) | Broadband wavelength selective filter | |
| WO2010037106A2 (en) | Illumination subsystems of a metrology system, metrology systems, and methods for illuminating a specimen for metrology measurements | |
| KR102102020B1 (ko) | 향상된 검출 감도를 위한 멀티 스팟 조명 | |
| CN102087481B (zh) | 一种凹面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法 | |
| AU2019242031A1 (en) | Illumination for fluorescence imaging using objective lens | |
| JPH05210006A (ja) | 多重波長干渉計の多重光ビームを発生する方法および装置 | |
| WO2019148925A1 (zh) | 一种四直角反射镜增光程系统 | |
| TWI719540B (zh) | 一種分光裝置 | |
| RU2400667C1 (ru) | Осветительная система | |
| JP7344952B2 (ja) | 空間選択的波長フィルタにより修正された光源を用いて試料を撮像するためのシステム及び方法並びに紫外線光源 | |
| CN106575030A (zh) | 具有分束器组件的显微镜 | |
| US10616987B2 (en) | System and method for imaging a sample with an illumination source modified by a spatial selective wavelength filter | |
| TWI485431B (zh) | 用於均質同調輻射的設備 | |
| JP7679605B2 (ja) | パルス分光装置及びマルチファイバ用照射ユニット | |
| RU2608012C2 (ru) | Двухканальный дифракционный фазовый микроскоп | |
| US6990272B2 (en) | Apparatus for generating an optical interference pattern | |
| KR102466580B1 (ko) | 비스듬한 입사각에서의 샘플 표면 상에서의 검사 빔 성형 | |
| JPWO2021069921A5 (ru) | ||
| RU2302612C1 (ru) | Способ наблюдения многолучевой интерференционной картины в отраженном свете при помощи интерферометра фабри-перо (ифп) | |
| JP7762411B2 (ja) | 光干渉光学系および光干渉測定システム | |
| CN113267470B (zh) | 显微成像装置 | |
| KR100719893B1 (ko) | 회절현상에 의해 발생되는 노이즈를 제거하는 공초점현미경 |