RU2487084C1 - Method of making planar waveguide of zinc oxide in lithium niobate - Google Patents
Method of making planar waveguide of zinc oxide in lithium niobate Download PDFInfo
- Publication number
- RU2487084C1 RU2487084C1 RU2012118121/05A RU2012118121A RU2487084C1 RU 2487084 C1 RU2487084 C1 RU 2487084C1 RU 2012118121/05 A RU2012118121/05 A RU 2012118121/05A RU 2012118121 A RU2012118121 A RU 2012118121A RU 2487084 C1 RU2487084 C1 RU 2487084C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- lithium niobate
- solution
- film
- forming solution
- temperature
- Prior art date
Links
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 33
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 28
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 title claims abstract description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 6
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 25
- YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-N salicylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1O YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 15
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 claims abstract description 12
- ONDPHDOFVYQSGI-UHFFFAOYSA-N zinc nitrate Chemical compound [Zn+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O ONDPHDOFVYQSGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims abstract description 10
- FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N papa-hydroxy-benzoic acid Natural products OC(=O)C1=CC=C(O)C=C1 FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 229960004889 salicylic acid Drugs 0.000 claims abstract description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 6
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 11
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 10
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 10
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 7
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 3
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000002076 thermal analysis method Methods 0.000 description 2
- 238000001757 thermogravimetry curve Methods 0.000 description 2
- FOSPKRPCLFRZTR-UHFFFAOYSA-N zinc;dinitrate;hydrate Chemical compound O.[Zn+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O FOSPKRPCLFRZTR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PTFCDOFLOPIGGS-UHFFFAOYSA-N Zinc dication Chemical class [Zn+2] PTFCDOFLOPIGGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 description 1
- FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N lithium oxide Chemical compound [Li+].[Li+].[O-2] FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001947 lithium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 125000000896 monocarboxylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-M salicylate Chemical compound OC1=CC=CC=C1C([O-])=O YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к способу получения оптических планарных волноводов в ниобате лития для интегральной и нелинейной оптики. Повышение стойкости к оптическому излучению достигается за счет диффузии оксида цинка в ниобат лития. Полученные волноводные структуры используются для создания периодических доменных структур, позволяющих существенно расширить диапазон трансформации ими спектра лазерного излучения, и используются в режиме квазисинхронизма как для эффективной генерации второй оптической гармоники, так и для параметрического преобразования частоты в различные спектральные диапазоны.The invention relates to a method for producing optical planar waveguides in lithium niobate for integrated and nonlinear optics. An increase in resistance to optical radiation is achieved due to the diffusion of zinc oxide in lithium niobate. The obtained waveguide structures are used to create periodic domain structures, which can significantly expand the range of transformation of the laser radiation spectrum by them, and are used in the quasi-phase matching mode both for efficient generation of the second optical harmonic and for parametric frequency conversion into different spectral ranges.
Известен способ получения оптических титандиффузионных волноводов на основе монокристалла ниобата лития (Suchosky Paul G. IEEE J. Quantum Electron, 1987, Vol. 23, № 10, p.1673-1679). Диффузию титана проводят путем осаждения на поверхность ниобата лития металлической полоски титана толщиной 800 Å и температурной обработкой при температуре 1025°С в течение 6 часов. Недостатком данного способа является создание наряду с оптическим планарным волноводом для необыкновенной волны оптического канального титандиффузионного волновода.A known method for producing optical titan diffusion waveguides based on a single crystal of lithium niobate (Suchosky Paul G. IEEE J. Quantum Electron, 1987, Vol. 23, No. 10, p. 1673-1679). The diffusion of titanium is carried out by deposition on the surface of lithium niobate a metal strip of titanium with a thickness of 800 Å and heat treatment at a temperature of 1025 ° C for 6 hours. The disadvantage of this method is the creation along with the optical planar waveguide for an unusual wave of an optical channel titanium diffusion waveguide.
Известен способ создания оптических канальных волноводов, включающий в себя термодиффузию пленки титана в подложку, из монокристалла ниобата лития (заявка РФ №94037128, дата опубл. 27.07.1996, G02B 6/12).A known method of creating optical channel waveguides, including thermal diffusion of a titanium film into a substrate, from a lithium niobate single crystal (RF application No. 94037128, published on 07.27.1996, G02B 6/12).
В данном способе полированные подложки из монокристалла ниобата лития подвергают предварительному температурному воздействию не менее 20 ч при температуре 900-1100°С.In this method, polished substrates of a single crystal of lithium niobate are subjected to preliminary temperature exposure for at least 20 hours at a temperature of 900-1100 ° C.
Недостатком известного способа является возможность получения только канального волновода, а также длительная предварительная термическая обработка монокристалла ниобата лития.The disadvantage of this method is the possibility of obtaining only a channel waveguide, as well as lengthy preliminary heat treatment of a single crystal of lithium niobate.
Недостатком данного способа является то, что в процессе высокотемпературного отжига необходимо подавлять диффузию оксида лития с поверхности ниобата лития путем помещения на поверхность титанового покрытия высокотемпературной керамики.The disadvantage of this method is that during high-temperature annealing, it is necessary to suppress the diffusion of lithium oxide from the surface of lithium niobate by placing high-temperature ceramics on the surface of the titanium coating.
Наиболее близким по технической сущности к заявляемому способу получения волновода является способ получения планарных, оптических волноводов Zn:LiNbO3 для интегральной и нелинейной оптики (Анисимов Д.О., Бородин М.В., Печенкин А.Ю., Смычков С.А., Халикулова С.Ф., Щербинина В.В. Планарные оптические волноводы Zn:LiNbO3 для интегральной и линейной оптики // Доклады ТУСУРа, №2 («»), часть 2, 2010, С.58-61).The closest in technical essence to the claimed method for producing a waveguide is a method for producing planar, optical Zn: LiNbO 3 waveguides for integrated and nonlinear optics (Anisimov D.O., Borodin M.V., Pechenkin A.Yu., Smychkov S.A. , Halikulova SF, Scherbinina VV Planar optical waveguides Zn: LiNbO 3 for integrated and linear optics // Doklady TUSUR, No. 2 (“”), part 2, 2010, P. 58-61).
Пленки оксида цинка толщиной 89 нм получают путем высокотемпературного отжига покрытия из пленкообразующих растворов нитрата цинка с салициловой кислотой на ниобате лития. К недостаткам данного способа относится первичная высокотемпературная деструкция (870-1050°С) нанесенного на поверхность ниобата лития пленкообразующего раствора нитрата цинка с салициловой кислотой. Такая обработка приводит к образованию более дефектной структуры оксида цинка и, как следствие, к снижению максимального приращения показателя преломления и количества волноводных ТЕ-мод, а также стойкости к оптическому излучению волноводов Zn:LiNbO3.89 nm thick zinc oxide films are obtained by high-temperature annealing of a coating from film-forming solutions of zinc nitrate with salicylic acid on lithium niobate. The disadvantages of this method include primary high-temperature destruction (870-1050 ° C) deposited on the surface of lithium niobate film-forming solution of zinc nitrate with salicylic acid. Such treatment leads to the formation of a more defective structure of zinc oxide and, as a result, to a decrease in the maximum increment in the refractive index and the number of waveguide TE modes, as well as in the resistance to optical radiation of Zn: LiNbO 3 waveguides.
Задачей настоящего изобретения является разработка стойкого к излучению в зеленой области спектра планарного волновода Zn:LiNbO3 со значениями максимального приращения показателя преломления 0,003-0,005 в ниобате лития диффузией из пленок оксида цинка для использования в устройствах нелинейной оптики. Способ создания планарного волновода оксида цинка на ниобате лития, включающий в себя приготовление пленкообразующего раствора с последующим выдерживанием его в течение 1 суток при комнатной температуре, нанесение его на полированный ниобат лития, сушку, отжиг, постепенное охлаждение в условиях естественного остывания муфельной печи, но в отличие от прототипа ниобат лития предварительно очищали 96%-ным раствором этилового спирта, сушку ниобата лития с нанесенным пленкообразующим раствором осуществляли при температуре 60°С в течение 1 часа, с последующим отжигом при 400°С в атмосфере воздуха со скоростью нагрева 14°С/мин 1 час и при температуре 870-1050°С со скоростью нагрева 35°С/мин от 2 до 5 часов, при следующем соотношении компонентов пленкообразующего раствора, мас.%:The objective of the present invention is to develop a radiation-resistant in the green region of the spectrum of a planar waveguide Zn: LiNbO 3 with values of the maximum increment of the refractive index of 0.003-0.005 in lithium niobate by diffusion from zinc oxide films for use in nonlinear optical devices. The method of creating a planar waveguide of zinc oxide on lithium niobate, which includes preparing a film-forming solution followed by keeping it for 1 day at room temperature, applying it to polished lithium niobate, drying, annealing, gradual cooling under conditions of natural cooling of the muffle furnace, but in unlike the prototype, lithium niobate was preliminarily purified with a 96% solution of ethyl alcohol, and lithium niobate with a coated film-forming solution was dried at a temperature of 60 ° C for 1 h ca, followed by annealing at 400 ° C in an atmosphere of air with a heating rate of 14 ° C / min for 1 hour and at a temperature of 870-1050 ° C with a heating rate of 35 ° C / min from 2 to 5 hours, with the following ratio of the components of the film-forming solution , wt.%:
кристаллогидрат нитрата цинка - от 5,2 до 9,9%;crystalline zinc nitrate hydrate - from 5.2 to 9.9%;
салициловая кислота - от 4,6 до 4,8%;salicylic acid - from 4.6 to 4.8%;
96%-ный раствор этилового спирта - остальное.96% ethanol solution - the rest.
Конечный продукт представляет собой прозрачный материал с периодами периодически доменной структурой 6,7-6,9 мкм и числом ТЕ-мод при длинах волн 526,5; 632,8; 1053 нм 2-5. Свойства полученных образцов Zn:LiNbO3 приведены в таблице 1.The final product is a transparent material with periods of periodically a domain structure of 6.7-6.9 microns and the number of TE modes at wavelengths of 526.5; 632.8; 1053 nm 2-5. The properties of the obtained samples of Zn: LiNbO 3 are shown in table 1.
Пример 1. Пленкообразующий раствор готовят путем растворения 0,4461 г кристаллогидрата нитрата цинка и 0,4144 г салициловой кислоты в 10 мл 96%-ного раствора этилового спирта. Раствор выдерживают сутки и наносят на поверхность обработанного спиртом ниобата лития. Скорость вытягивания пленки из пленкообразующего раствора составляет 100 мм/мин. Полученную пленку раствора на ниобате лития сушат 1 час при температуре 60°С и отжигают в муфельной печи 1 час при температуре 400°С в атмосфере воздуха со скоростью нагрева 14°С/мин. В данных условиях получают на ниобате лития оксид цинка, после чего образец отжигают 3 часа при температуре 880°С со скоростью нагрева 35°С/мин. В данных условиях получается волновод с максимальным приращением показателя преломления 0,003, характеризующийся тремя ТЕ-модами при длинах волн 526,5 и 632,8 нм.Example 1. A film-forming solution is prepared by dissolving 0.4461 g of zinc nitrate crystalline hydrate and 0.4144 g of salicylic acid in 10 ml of a 96% ethanol solution. The solution is kept for 24 hours and applied to the surface of lithium-treated niobate alcohol. The film draw speed from the film-forming solution is 100 mm / min. The resulting film of the solution on lithium niobate is dried for 1 hour at a temperature of 60 ° C and annealed in a muffle furnace for 1 hour at a temperature of 400 ° C in an atmosphere of air with a heating rate of 14 ° C / min. Under these conditions, zinc oxide is obtained on lithium niobate, after which the sample is annealed for 3 hours at a temperature of 880 ° C with a heating rate of 35 ° C / min. Under these conditions, a waveguide with a maximum increase in the refractive index of 0.003 is obtained, characterized by three TE modes at wavelengths of 526.5 and 632.8 nm.
Пример 2. Пленкообразующий раствор готовят путем растворения 0,4461 г кристаллогидрата нитрата цинка и 0,4144 г салициловой кислоты в 10 мл 96%-ного раствора этилового спирта. Раствор выдерживают сутки и наносят на поверхность обработанного спиртом ниобата лития. Скорость вытягивания пленки из пленкообразующего раствора составляет 100 мм/мин. Полученную пленку раствора на ниобате лития сушат 1 час при температуре 60°С и отжигают в муфельной печи 1 час при температуре 400°С в атмосфере воздуха со скоростью нагрева 14°С/мин. В данных условиях получают на ниобате лития оксид цинка, после чего образец отжигают 3 часа при температуре 900°С со скоростью нагрева муфельной печи 35°С/мин. В данных условиях получается волновод с максимальным приращением показателя преломления 0,005, характеризующийся двумя ТЕ-модами при длинах волн 526,5 и 632,8 нм.Example 2. A film-forming solution is prepared by dissolving 0.4461 g of crystalline hydrate of zinc nitrate and 0.4144 g of salicylic acid in 10 ml of a 96% solution of ethyl alcohol. The solution is kept for 24 hours and applied to the surface of lithium-treated niobate alcohol. The film draw speed from the film-forming solution is 100 mm / min. The resulting film of the solution on lithium niobate is dried for 1 hour at a temperature of 60 ° C and annealed in a muffle furnace for 1 hour at a temperature of 400 ° C in an atmosphere of air with a heating rate of 14 ° C / min. Under these conditions, zinc oxide is obtained on lithium niobate, after which the sample is annealed for 3 hours at a temperature of 900 ° C with a heating rate of the muffle furnace of 35 ° C / min. Under these conditions, a waveguide with a maximum increase in the refractive index of 0.005 is obtained, characterized by two TE modes at wavelengths of 526.5 and 632.8 nm.
Пример 3. Пленкообразующий раствор готовят путем растворения 0,8922 г кристаллогидрата нитрата цинка и 0,4144 г салициловой кислоты в 10 мл 96%-ного раствора этилового спирта. Раствор выдерживают сутки и наносят на поверхность обработанного спиртом ниобата лития. Скорость вытягивания пленки из пленкообразующего раствора составляет 100 мм/мин. Полученную пленку раствора на ниобате лития сушат 1 час при температуре 60°С и отжигают в муфельной печи 1 час при температуре 400°С в атмосфере воздуха со скоростью нагрева муфельной печи 14°С/мин. В данных условиях получают на ниобате лития оксид цинка, после чего образец отжигают 2 часа при температуре 870°С со скоростью нагрева муфельной печи 35°С/мин. В данных условиях получается волновод с максимальным приращением показателя преломления 0,004, характеризующийся двумя ТЕ-модами при длине волны 526,5 и тремя ТЕ-модами при длине волны 632,8 нм.Example 3. A film-forming solution is prepared by dissolving 0.8922 g of crystalline zinc nitrate hydrate and 0.4144 g of salicylic acid in 10 ml of a 96% ethanol solution. The solution is kept for 24 hours and applied to the surface of lithium-treated niobate alcohol. The film draw speed from the film-forming solution is 100 mm / min. The resulting film of the solution on lithium niobate is dried for 1 hour at a temperature of 60 ° C and annealed in a muffle furnace for 1 hour at a temperature of 400 ° C in an atmosphere of air with a heating rate of the muffle furnace of 14 ° C / min. Under these conditions, zinc oxide is obtained on lithium niobate, after which the sample is annealed for 2 hours at a temperature of 870 ° C with a heating rate of the muffle furnace of 35 ° C / min. Under these conditions, a waveguide with a maximum increase in the refractive index of 0.004 is obtained, characterized by two TE modes at a wavelength of 526.5 and three TE modes at a wavelength of 632.8 nm.
В таблице 1 приведены условия диффузии и характеристики образцов полученных волноводов. Количество ТЕ-мод зависит от термической обработки образцов.Table 1 shows the diffusion conditions and characteristics of the samples of the obtained waveguides. The number of TE modes depends on the heat treatment of the samples.
На рисунке 1 представлена термограмма разложения высушенного пленкообразующего раствора, указывающая на обоснованность выбора температурного режима отжига пленок на ниобате лития при температуре 400°С. Из термограммы видно, что при температуре 380°С начинает окисляться салицилат ион (экзотермический эффект горения органических остатков) и при 550°С заканчивает формироваться оксид цинка. Результаты количественного термического анализа представлены в таблице 2. Из таблицы видно, что конечным продуктом отжига пленкообразующего раствора является оксид цинка.Figure 1 shows the thermogram of decomposition of the dried film-forming solution, indicating the validity of the choice of the temperature regime of annealing of films on lithium niobate at a temperature of 400 ° C. It can be seen from the thermogram that at a temperature of 380 ° C, salicylate ion begins to oxidize (the exothermic effect of the combustion of organic residues), and at 550 ° C zinc oxide ends up forming. The results of the quantitative thermal analysis are presented in Table 2. It can be seen from the table that zinc oxide is the final product of annealing of the film-forming solution.
Преимуществом заявленного изобретения является возможность получения волноводов Zn:LiNbO3 из пленкообразующих растворов на основе солей цинка(II). Способ позволяет снизить трудоемкость и энергоемкость процесса получения пленок оксида цинка на ниобате лития и получать стойкий к излучению в зеленой области спектра планарный волновод Zn:LiNbO3 со значениями максимального приращения показателя преломления 0,003-0,005.An advantage of the claimed invention is the ability to obtain Zn: LiNbO 3 waveguides from film-forming solutions based on zinc (II) salts. The method allows to reduce the complexity and energy consumption of the process of producing zinc oxide films on lithium niobate and to obtain a planar waveguide Zn: LiNbO 3 with a maximum increment of the refractive index of 0.003-0.005 that is resistant to radiation in the green spectral region.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012118121/05A RU2487084C1 (en) | 2012-05-03 | 2012-05-03 | Method of making planar waveguide of zinc oxide in lithium niobate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012118121/05A RU2487084C1 (en) | 2012-05-03 | 2012-05-03 | Method of making planar waveguide of zinc oxide in lithium niobate |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2487084C1 true RU2487084C1 (en) | 2013-07-10 |
Family
ID=48788197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012118121/05A RU2487084C1 (en) | 2012-05-03 | 2012-05-03 | Method of making planar waveguide of zinc oxide in lithium niobate |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2487084C1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2795387C1 (en) * | 2023-01-24 | 2023-05-03 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" | Method for forming an optical waveguide in a lithium niobate crystal |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2089928C1 (en) * | 1994-09-28 | 1997-09-10 | Кубанский государственный университет | Process of formation of optical channel waveguides in lithium niobate |
| US6411765B1 (en) * | 1999-05-11 | 2002-06-25 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Optical waveguide element and method for manufacturing optical waveguide element |
| RU2006104847A (en) * | 2003-10-27 | 2007-09-10 | Эр Пи Оу ПТИ ЛИМИТЕД (AU) | PLANAR WAVEGUIDE WITH A STRUCTURED SHELL AND METHOD FOR ITS MANUFACTURE |
-
2012
- 2012-05-03 RU RU2012118121/05A patent/RU2487084C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2089928C1 (en) * | 1994-09-28 | 1997-09-10 | Кубанский государственный университет | Process of formation of optical channel waveguides in lithium niobate |
| US6411765B1 (en) * | 1999-05-11 | 2002-06-25 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Optical waveguide element and method for manufacturing optical waveguide element |
| RU2006104847A (en) * | 2003-10-27 | 2007-09-10 | Эр Пи Оу ПТИ ЛИМИТЕД (AU) | PLANAR WAVEGUIDE WITH A STRUCTURED SHELL AND METHOD FOR ITS MANUFACTURE |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| АНИСИМОВ Д.О. и др. Планарные оптические волноводы Zn:LiNbO 3 для интегральной и линейной оптики: Доклады ТУСУРа, 2010, №2(22), ч.2, с.58-61. * |
| АНИСИМОВ Д.О. и др. Планарные оптические волноводы Zn:LiNbOдля интегральной и линейной оптики: Доклады ТУСУРа, 2010, No.2(22), ч.2, с.58-61. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2795387C1 (en) * | 2023-01-24 | 2023-05-03 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" | Method for forming an optical waveguide in a lithium niobate crystal |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Fakhri et al. | Optical investigations of photonics lithium niobate | |
| Long et al. | Third-order optical nonlinearities in anatase and rutile TiO2 thin films | |
| Masai et al. | Structure and non-linear optical properties of BaO–TiO2–SiO2 glass containing Ba2TiSi2O8 crystal | |
| JP6188711B2 (en) | Photonic element on flat and curved substrate and method of manufacturing the same | |
| Irimpan et al. | Effect of self assembly on the nonlinear optical characteristics of ZnO thin films | |
| CN107010843A (en) | A kind of electrochromism WO3The sol-gel process for preparing of film | |
| Brusatin et al. | Materials for photonic applications from sol-gel | |
| RU2487084C1 (en) | Method of making planar waveguide of zinc oxide in lithium niobate | |
| Bensouyad et al. | Structural, thermal and optical characterization of TiO2: ZrO2 thin films prepared by sol–gel method | |
| CN103572218B (en) | A kind of photic preparation method stablizing non-linear Chalcogenide films | |
| Gurushantha et al. | Third-order optical nonlinear features of Er3+ and Pr3+ activated multicomponent borate glasses in nanosecond pulse regime: A comparative study | |
| Perales et al. | Improvement of MgF2 thin coating films for laser applications | |
| CN102976626A (en) | A kind of method using sol-gel method to prepare MgF2 anti-reflection film | |
| CN109704592B (en) | Fluorine-doped titanium dioxide nano-array electrochromic film and preparation method thereof | |
| Sedrati et al. | Structural, optical and waveguiding properties improvement of SiO2/TiO2 Bragg reflectors processed by the sol–gel method under the effect of Ni-doped TiO2 and annealing duration | |
| CN107069412B (en) | Mid-infrared saturable absorber mirror based on all-dielectric high-reflection film and preparation method thereof | |
| RU2464106C1 (en) | Method of producing metal high-porosity nano-sized coating | |
| CN104034073B (en) | Coffee-like solar spectral selective absorbing coating and its preparation method and application | |
| CN108574197A (en) | A controllable doped nanocrystalline saturable absorber and its preparation method | |
| Hewak | Non-toxic sulfide glasses and thin films for optical applications | |
| JP3898585B2 (en) | Method for manufacturing member with optical waveguide | |
| Berneschi et al. | Highly photorefractive Eu3+ activated sol-gel SiO2-SnO2 thin film waveguides | |
| CN120300588A (en) | An optical parametric oscillator based on MgO:PPLN and its performance adjustment method | |
| Cattaruzza et al. | Chromium doping of silicate glasses by field-assisted solid-state ion exchange | |
| CN116892021B (en) | Titanium dioxide thin film optical waveguide layer and preparation method thereof |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20190504 |