RU2459309C1 - Способ измерения концентрации ионов и устройство для его реализации - Google Patents
Способ измерения концентрации ионов и устройство для его реализации Download PDFInfo
- Publication number
- RU2459309C1 RU2459309C1 RU2011124987/07A RU2011124987A RU2459309C1 RU 2459309 C1 RU2459309 C1 RU 2459309C1 RU 2011124987/07 A RU2011124987/07 A RU 2011124987/07A RU 2011124987 A RU2011124987 A RU 2011124987A RU 2459309 C1 RU2459309 C1 RU 2459309C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- input
- processing device
- output
- voltage
- pulse
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 51
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 abstract 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения концентрации ионов воздуха как в свободной атмосфере, так и в жилых, промышленных и других помещениях. Технический результат заключается в повышении точности измерения концентрации ионов путем уменьшения погрешности измерения, вызванной напряжением смещения и входным током устройства обработки. В способе измерения концентрации ионов, заключающемся в накоплении заряда на емкости аспирационной камеры при оседании ионов исследуемого газа на ее собирающий электрод за заданный промежуток времени и последующем его измерении путем регистрации импульса, возникающего на выходе входного устройства при разряде емкости аспирационной камеры на его входное сопротивление, по параметрам которого судят о концентрации ионов, в котором концентрацию ионов определяют по величине интеграла от этого импульса, новым является то, что концентрацию ионов определяют по величине интеграла от этого импульса в момент времени, когда величина модуля импульса удовлетворяет выражению
где n - измеряемая концентрация ионов, f(t) - функция, определяющая форму импульса на входе устройства обработки при концентрации ионов, равной единице, есм - напряжение смещения интегратора в устройстве обработки, Iвх - входной ток интегратора в устройстве обработки, R - сопротивление в постоянной времени интегратора в устройстве обработки, tи - момент времени регистрации интеграла от импульса, возникающего на выходе входного устройства при разряде емкости аспирационной камеры. В устройстве для измерения концентрации ионов, содержащем аспирационную камеру с высоковольтным источником питания, последовательно соединенные ключ, входное устройство, устройство обработки и устройство индикации, а также устройство управления, первый выход которого соединен с устройством обработки, а второй выход поступает на ключ, соединяющий собирающий электрод аспирационной камеры с входным устройством, новым является то, что оно дополнительно содержит компаратор напряжения, задний фронт выходного сигнала которого определяет момент времени измерения напряжения на выходе устройства обработки устройством индикации, первый вход компаратора соединен со входом устройства обработки, а второй вход - с источником опорного напряжения, знак выходного напряжения которого - Uоп совпадает со знаком напряжения, поступающего на вход устройства обработки, а его модуль определяется выражением
а выход компаратора соединен со вторым входом устройства индикации. 2 н.п. ф-лы, 7 ил.
Description
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения концентрации ионов воздуха как в свободной атмосфере, так и в жилых, промышленных и других помещениях.
Известен способ измерения концентрации ионов газа, в котором концентрацию ионов определяют по амплитуде импульса, пропорциональной измеряемой концентрации ионов, причем импульс возникает на выходе входного устройства, вход которого соединен с собирающим электродом аспирационной камеры через ключ, время разомкнутого состояния которого известно и задается устройством управления, а высоковольтный электрод камеры соединен с источником ее питания (авт.св. СССР №474827, Устройство для счета ионов, G06M 11/00, БИ №23, 1975 г.). Недостатком этого способа является невысокая точность измерения, обусловленная влиянием емкости аспирационной камеры на результат измерения, которая может изменяться при изменении влажности исследуемого газа, геометрических размеров аспирационной камеры.
Известен способ измерения концентрации ионов и устройство для его реализации (патент РФ на изобретение №2267186. Способ измерения концентрации ионов H01J 47/04, G01T 1/185, БИ №36, 2005 г.). Способ заключается в накоплении заряда на емкости аспирационной камеры при оседании ионов исследуемого газа на ее собирающий электрод за заданный промежуток времени и последующем его измерении путем регистрации импульса, возникающего на выходе входного устройства при разряде емкости аспирационной камеры, причем концентрацию ионов определяют по величине интеграла от этого импульса.
Устройство, реализующее этот способ, содержит аспирационную камеру с высоковольтным источником питания, последовательно соединенные ключ, входное устройство, устройство обработки (интегратор, построенный на операционном усилителе) и устройство индикации, а также устройство управления, первый выход которого соединен с устройством обработки, а второй выход поступает на ключ, соединяющий собирающий электрод аспирационной камеры с входным каскадом.
Недостатком известного изобретения, принятого за прототип, является невысокая точность измерения, обусловленная напряжением смещения и входным током устройства обработки (интегратора).
Технический результат, на достижение которого направлено заявляемое изобретение, заключается в повышении точности измерения концентрации ионов путем уменьшения погрешности измерения, вызванной напряжением смещения и входным током устройства обработки.
Технический результат достигается тем, что в способе измерения концентрации ионов, заключающемся в накоплении заряда на емкости аспирационной камеры при оседании ионов исследуемого газа на ее собирающий электрод за заданный промежуток времени и последующем его измерении путем регистрации импульса, возникающего на выходе входного устройства при разряде емкости аспирационной камеры на его входное сопротивление, в котором концентрацию ионов определяют по величине интеграла от этого импульса, новым является то, что концентрацию ионов определяют по величине интеграла от импульса в момент времени, когда величина модуля импульса удовлетворяет выражению
где n - измеряемая концентрация ионов, f(t) - функция, определяющая форму импульса на входе устройства обработки при концентрации ионов, раной единице, есм - напряжение смещения интегратора в устройстве обработки, Iвх - входной ток интегратора в устройстве обработки, R - сопротивление в постоянной времени интегратора в устройстве обработки, tи - момент времени регистрации интеграла от импульса, возникающего на выходе входного устройства при разряде емкости аспирационной камеры.
В устройстве для измерения концентрации ионов, содержащем аспирационную камеру с высоковольтным источником питания, последовательно соединенные ключ, входное устройство, устройство обработки и устройство индикации, а также устройство управления, первый выход которого соединен с устройством обработки, а второй выход поступает на ключ, соединяющий собирающий электрод аспирационной камеры с входным устройством, новым является то, что оно дополнительно содержит компаратор напряжения, задний фронт выходного сигнала которого определяет момент времени измерения напряжения на выходе устройства обработки устройством индикации, первый вход компаратора соединен со входом устройства обработки, а второй вход - с источником опорного напряжения, знак выходного напряжения которого - Uoп совпадает со знаком напряжения, поступающего на вход устройства обработки, а его модуль определяется выражением
а выход компаратора соединен со вторым входом устройства индикации, где Uоп - выходное напряжение источника опорного напряжения, есм - напряжение смещения интегратора в устройстве обработки, Iвх - входной ток интегратора в устройстве обработки, R - сопротивление в постоянной времени интегратора в устройстве обработки.
Сущность изобретения поясняется на фиг.1-7.
На фиг.1 показана структурная схема устройства для измерения концентрации ионов.
Здесь: 1 - высоковольтный источник питания аспирационной камеры; 2 - аспирационная камера; 3 - ключ, соединяющий собирающий электрод аспирационной камеры с входным каскадом; 4 - входное устройство; 5 - устройство обработки (интегратор, построенный на операционном усилителе DA1 и имеющий постоянную интегрирования τ=RC); 6 - устройство индикации; 7 - компаратор напряжения; 8 - устройство управления; Uоп - выходное напряжение источника опорного напряжения, N - результат измерения.
На фиг.2-7 показаны эпюры напряжений на выходах элементов устройства при двух значениях измеряемой концентрации ионов, причем измеряемая концентрация n1 (эпюры, обозначены буквой а) меньше измеряемой концентрации n2 (эпюры обозначены буквой б).
Фиг.2 - эпюры напряжений на входе устройства обработки (выходе входного устройства); фиг.3 - эпюры выходного напряжения компаратора; фиг.4 - эпюры выходного напряжения устройства обработки (интегратора); фиг.5 - погрешность измерения концентрации ионов, вызванная ограничением времени измерения напряжения на выходе устройства обработки (временем интегрирования); фиг.6 - погрешность измерения концентрации ионов, вызванная напряжением смещения и входным током устройства обработки; фиг.7 - суммарная погрешность измерения концентрации ионов, tи1 - момент времени измерения напряжения на выходе устройства обработки при концентрации ионов n1, tи2 - момент времени измерения напряжения на выходе устройства обработки при концентрации ионов n2.
Устройство для измерения концентрации ионов содержит аспирационную камеру 2 с высоковольтным источником питания 1, последовательно соединенные ключ 3, входное устройство 4, устройство обработки (интегратор, построенный на операционном усилителе) 5, устройство индикации 6, а также устройство управления 8, первый выход которого соединен с устройством обработки 5, а второй выход поступает на ключ 3, соединяющий собирающий электрод аспирационной камеры 2 с входным устройством 4, и компаратор напряжения 7, задний фронт выходного сигнала которого определяет момент времени измерения напряжения на выходе устройства обработки 5 устройством индикации 6. Первый вход компаратора 7 соединен со входом устройства обработки 5, а второй вход - с источником опорного напряжения, знак выходного напряжения которого - Uоп совпадает со знаком напряжения, поступающего на вход устройства обработки 5, а его модуль определяется выражением
Выход компаратора 7 соединен со вторым входом устройства индикации 6.
В этом выражении обозначено: - Uоп - выходное напряжение источника опорного напряжения, есм - напряжение смещения устройства обработки (интегратора), Iвх - входной ток устройства обработки (интегратора), R - сопротивление в постоянной времени устройства обработки (интегратора).
Устройство работает следующим образом.
При продувке исследуемого газа через аспирационную камеру 2 ионы из исследуемого газа оседают под действием электростатического поля, создаваемого высоковольтным источником питания камеры 1, на высоковольтный и собирающий ее электроды. После размыкания ключа 3 устройством управления 8 на собирающем электроде камеры 2, за счет оседания ионов, накапливается заряд, величина которого определятся выражением
где Q - величина заряда, Кл;
С - емкость собирающего электрода аспирационной камеры, Ф;
U - напряжение на емкости собирающего электрода аспирационной камеры, возникающее за счет оседания ионов, В;
V - объемный расход газа через аспирационную камеру, см3/сек;
Тн - время разомкнутого состояния ключа 3, сек;
е=1.6·10-19 Кл - заряд одного иона;
n - измеряемая концентрация ионов, 1/см3.
По окончании времени Тн, в момент времени t=0 по сигналу с устройства управления 8 обнуляются показания устройства индикации 6, ключ К устройства обработки 5 размыкается, а ключ 3 замыкается. При замыкании ключа 3 на выходе входного устройства 4 появляется импульс напряжения (фиг.2), форма которого определяется схемой входного устройства, но его амплитуда и площадь пропорциональны измеряемой концентрации ионов. Задний фронт этого импульса имеет бесконечную длительность, так как определяется разрядом емкости собирающего электрода аспирационной камеры через входное сопротивление входного каскада. Для этого импульса можно записать выражение
где f(t) - функция, определяющая импульс напряжения на выходе входного устройства (входе интегратора) при концентрации ионов, равной единице. Не нарушая общности рассуждений, можно считать, что эта величина положительна.
Этот импульс поступает на вход устройства обработки 5. Так как время интегрирования ограничено, а устройство обработки (операционный усилитель DA1) имеет входной ток и напряжение смещения, то для выходного сигнала устройства обработки получаем (Фолькенберри Л. Применение операционных усилителей в линейных ИС. Пер. с англ. М.: Мир, 1985, 572 с.) (фиг.4, а, б):
где eсм и Iвх - соответственно напряжение смещения и входной ток операционного усилителя DA1 (положительные величины), tи - момент времени регистрации интеграла от импульса, возникающего на выходе входного устройства 4 при разряде емкости аспирационной камеры 2 (время интегрирования).
Выражение (3) соответствует наихудшему случаю (наибольшей погрешности интегрирования). Объясняется это тем, что на практике целесообразно использовать одно устройство обработки при измерении концентрации как положительных, так и отрицательных ионов, а в справочной литературе знаки есм и Iвх не приводят.
Тогда абсолютное значение погрешности интегрирования, вызванное ограничением времени интегрирования, входными токами и напряжением смещения, определится выражением:
Из выражения (4) видно, что при увеличении времени интегрирования составляющая погрешности в круглых скобках уменьшается и стремится к нулю (фиг.5, а, б), а в квадратных - увеличивается (фиг.6, а, б). При уменьшении времени интегрирования - наоборот, составляющая погрешности в круглых скобках увеличивается, а в квадратных - уменьшается и стремится к нулю. То есть можно утверждать, что существует время интегрирования, при котором абсолютная погрешность интегрирования будет минимальна (фиг.7, а, б). Дифференцируя выражение (4) по tи, и приравнивая полученное уравнение к нулю, получаем, что абсолютное значение погрешности интегрирования будет минимально, если выполнится условие
То есть для получения минимальной погрешности интегрирования, а следовательно, и погрешности измерения концентрации ионов, измерение напряжения на выходе устройства обработки необходимо проводить в момент времени, когда напряжение на его входе достигнет значения, равного (фиг.3, а, б):
Для реализации этого в рассматриваемое устройство достаточно ввести компаратор напряжения, на один вход которого подать входной сигнал устройства обработки, а на второй - опорное напряжение, той же полярности, что и входной сигнал, и равное (фиг.3, а, б):
На выходе компаратора в этом случаи появится импульс напряжения, по заднему фронту которого и необходимо измерять напряжение на выходе устройства обработки.
Таким образом, при любом значении измеряемой концентрации ионов предлагаемое устройство позволяет измерить их концентрацию с наименьшей погрешностью.
Claims (2)
1. Способ измерения концентрации ионов, заключающийся в накоплении заряда на емкости аспирационной камеры при оседании ионов исследуемого газа на ее собирающий электрод за заданный промежуток времени и последующем его измерении путем регистрации импульса, возникающего на выходе входного устройства при разряде емкости аспирационной камеры на его входное сопротивление, в котором концентрацию ионов определяют по величине интеграла от этого импульса, отличающийся тем, что концентрацию ионов определяют по величине интеграла от импульса в момент времени, когда величина модуля импульса удовлетворяет выражению
где n - измеряемая концентрация ионов;
- функция, определяющая форму импульса на выходе входного устройства при концентрации ионов, равной единице; есм - напряжение смещения устройства обработки (интегратора); Iвх - входной ток устройства обработки; R - сопротивление в постоянной времени в устройстве обработки; tи - момент времени регистрации интеграла от импульса, возникающего на выходе входного устройства при разряде емкости аспирационной камеры.
где n - измеряемая концентрация ионов;
2. Устройство для измерения концентрации ионов, содержащее аспирационную камеру с высоковольтным источником питания, последовательно соединенные ключ, входное устройство, устройство обработки и устройство индикации, а также устройство управления, первый выход которого соединен с устройством обработки, а второй выход поступает на ключ, соединяющий собирающий электрод аспирационной камеры с входным устройством, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит компаратор напряжения, задний фронт выходного сигнала которого определяет момент времени измерения напряжения на выходе устройства обработки устройством индикации, первый вход компаратора соединен со входом устройства обработки, а второй вход - с источником опорного напряжения, знак выходного напряжения которого совпадает со знаком напряжения, поступающего на вход устройства обработки, а его модуль определяется выражением
а выход компаратора соединен со вторым входом устройства индикации, где Uоп - напряжение источника опорного напряжения; есм - напряжение смещения устройства обработки (интегратора); Iвх - входной ток устройства обработки; R - сопротивление в постоянной времени в устройстве обработки.
а выход компаратора соединен со вторым входом устройства индикации, где Uоп - напряжение источника опорного напряжения; есм - напряжение смещения устройства обработки (интегратора); Iвх - входной ток устройства обработки; R - сопротивление в постоянной времени в устройстве обработки.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2011124987/07A RU2459309C1 (ru) | 2011-06-17 | 2011-06-17 | Способ измерения концентрации ионов и устройство для его реализации |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2011124987/07A RU2459309C1 (ru) | 2011-06-17 | 2011-06-17 | Способ измерения концентрации ионов и устройство для его реализации |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2459309C1 true RU2459309C1 (ru) | 2012-08-20 |
Family
ID=46936819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2011124987/07A RU2459309C1 (ru) | 2011-06-17 | 2011-06-17 | Способ измерения концентрации ионов и устройство для его реализации |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2459309C1 (ru) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2603970C1 (ru) * | 2015-06-23 | 2016-12-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" (КНИТУ-КАИ) | Способ измерения концентрации ионов |
| RU2614157C2 (ru) * | 2015-06-23 | 2017-03-23 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" | Устройство для счета ионов |
| RU180594U1 (ru) * | 2018-03-07 | 2018-06-19 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" (КНИТУ-КАИ) | Устройство для счета ионов |
| RU2671833C1 (ru) * | 2017-08-15 | 2018-11-07 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" (КНИТУ-КАИ) | Устройство для счета ионов |
| RU2676943C1 (ru) * | 2017-12-22 | 2019-01-11 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" (КНИТУ-КАИ) | Способ измерения концентрации ионов и устройство для его реализации |
| RU2705194C1 (ru) * | 2019-03-13 | 2019-11-06 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" (КНИТУ-КАИ) | Устройство для измерения концентрации ионов |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2288873A (en) * | 1994-04-28 | 1995-11-01 | Univ Middlesex Serv Ltd | Multi-component gas analysis apparatus |
| DE4445033A1 (de) * | 1994-12-16 | 1996-06-27 | Heraeus Electro Nite Int | Verfahren zur Messung der Konzentration eines Gases in einem Gasgemisch sowie elektrochemischer Sensor zur Bestimmung der Gaskonzentration |
| RU2267186C1 (ru) * | 2004-03-22 | 2005-12-27 | Казанский государственный технический университет им. А.Н. Туполева | Способ измерения концентрации ионов |
| RU2383012C1 (ru) * | 2008-07-11 | 2010-02-27 | Александр Львович Чапкевич | Способ контроля газовой среды и устройство для его осуществления |
| RU2405226C1 (ru) * | 2009-12-15 | 2010-11-27 | Общество с ограниченной ответственностью "ВИНТЕЛ" | Источник ионизации на основе барьерного разряда |
-
2011
- 2011-06-17 RU RU2011124987/07A patent/RU2459309C1/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2288873A (en) * | 1994-04-28 | 1995-11-01 | Univ Middlesex Serv Ltd | Multi-component gas analysis apparatus |
| DE4445033A1 (de) * | 1994-12-16 | 1996-06-27 | Heraeus Electro Nite Int | Verfahren zur Messung der Konzentration eines Gases in einem Gasgemisch sowie elektrochemischer Sensor zur Bestimmung der Gaskonzentration |
| RU2267186C1 (ru) * | 2004-03-22 | 2005-12-27 | Казанский государственный технический университет им. А.Н. Туполева | Способ измерения концентрации ионов |
| RU2383012C1 (ru) * | 2008-07-11 | 2010-02-27 | Александр Львович Чапкевич | Способ контроля газовой среды и устройство для его осуществления |
| RU2405226C1 (ru) * | 2009-12-15 | 2010-11-27 | Общество с ограниченной ответственностью "ВИНТЕЛ" | Источник ионизации на основе барьерного разряда |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2603970C1 (ru) * | 2015-06-23 | 2016-12-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" (КНИТУ-КАИ) | Способ измерения концентрации ионов |
| RU2614157C2 (ru) * | 2015-06-23 | 2017-03-23 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" | Устройство для счета ионов |
| RU2671833C1 (ru) * | 2017-08-15 | 2018-11-07 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" (КНИТУ-КАИ) | Устройство для счета ионов |
| RU2676943C1 (ru) * | 2017-12-22 | 2019-01-11 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" (КНИТУ-КАИ) | Способ измерения концентрации ионов и устройство для его реализации |
| RU180594U1 (ru) * | 2018-03-07 | 2018-06-19 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" (КНИТУ-КАИ) | Устройство для счета ионов |
| RU2705194C1 (ru) * | 2019-03-13 | 2019-11-06 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" (КНИТУ-КАИ) | Устройство для измерения концентрации ионов |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2459309C1 (ru) | Способ измерения концентрации ионов и устройство для его реализации | |
| US9189940B2 (en) | Method and apparatus for detecting smoke in an ion chamber | |
| US10224192B2 (en) | High-speed low-noise ion current detection circuit and mass spectrometer using the same | |
| CN112213554B (zh) | 一种基于电流频率变换法的微弱电流测量电路及方法 | |
| CN112924745A (zh) | 纳米孔基因测序微电流检测装置 | |
| JP2003014694A (ja) | イオン測定器 | |
| CN104181084B (zh) | 一种气溶胶传感器 | |
| GB2210455A (en) | Measurement of airborne fibres | |
| CN106783504A (zh) | 离子迁移谱仪 | |
| CN103645391B (zh) | 一种微通道板增益的测量电路及方法 | |
| RU2614157C2 (ru) | Устройство для счета ионов | |
| CN104634703A (zh) | 空气离子迁移率谱分析方法及仪器 | |
| CN111983008B (zh) | 一种小型光离子化检测仪及其检测方法 | |
| GB2374671A (en) | Methods to improve electrostatic particle measurement | |
| CN205103922U (zh) | 检测被测物体厚度的设备 | |
| RU2267186C1 (ru) | Способ измерения концентрации ионов | |
| RU2598695C2 (ru) | Устройство для дистанционного обнаружения источников альфа-излучения | |
| JPH0668398U (ja) | 除電装置における放電監視装置 | |
| RU2603970C1 (ru) | Способ измерения концентрации ионов | |
| RU140027U1 (ru) | Аспирационная камера "с продуваемыми сетками" | |
| RU2676943C1 (ru) | Способ измерения концентрации ионов и устройство для его реализации | |
| JP3503627B2 (ja) | イオン測定器 | |
| RU84969U1 (ru) | Устройство для измерения расхода диэлектрических жидкостей | |
| RU153705U1 (ru) | Устройство для счета ионов | |
| RU39404U1 (ru) | Аспирационная камера с продуваемыми сетками |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20140618 |