RU2455235C1 - Method of producing tin hypothiophosphate - Google Patents
Method of producing tin hypothiophosphate Download PDFInfo
- Publication number
- RU2455235C1 RU2455235C1 RU2010148976/05A RU2010148976A RU2455235C1 RU 2455235 C1 RU2455235 C1 RU 2455235C1 RU 2010148976/05 A RU2010148976/05 A RU 2010148976/05A RU 2010148976 A RU2010148976 A RU 2010148976A RU 2455235 C1 RU2455235 C1 RU 2455235C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- tin
- hypothiophosphate
- organic solvent
- solvent
- starting components
- Prior art date
Links
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 31
- 239000000047 product Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 15
- VKCLPVFDVVKEKU-UHFFFAOYSA-N S=[P] Chemical compound S=[P] VKCLPVFDVVKEKU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims abstract description 10
- GRVFOGOEDUUMBP-UHFFFAOYSA-N sodium sulfide (anhydrous) Chemical compound [Na+].[Na+].[S-2] GRVFOGOEDUUMBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J tin(iv) chloride Chemical compound Cl[Sn](Cl)(Cl)Cl HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J 0.000 claims abstract description 8
- 239000012047 saturated solution Substances 0.000 claims abstract description 6
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 34
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 16
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 claims description 11
- 229910052979 sodium sulfide Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims description 4
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims description 4
- IUTCEZPPWBHGIX-UHFFFAOYSA-N tin(2+) Chemical class [Sn+2] IUTCEZPPWBHGIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 claims description 3
- 238000000527 sonication Methods 0.000 claims description 2
- 150000003606 tin compounds Chemical class 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 5
- 238000009210 therapy by ultrasound Methods 0.000 abstract description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 abstract 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 16
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 12
- 239000010408 film Substances 0.000 description 9
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 6
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 5
- 239000003708 ampul Substances 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 4
- -1 chalcogen halides Chemical class 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 101100533230 Caenorhabditis elegans ser-2 gene Proteins 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 244000309464 bull Species 0.000 description 2
- 239000006071 cream Substances 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 102220559234 Voltage-dependent L-type calcium channel subunit alpha-1C_S30H_mutation Human genes 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 229910002056 binary alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052798 chalcogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004770 chalcogenides Chemical class 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- ZLHWNZLDGHOJJN-UHFFFAOYSA-N ethanol;propan-2-one;toluene Chemical compound CCO.CC(C)=O.CC1=CC=CC=C1 ZLHWNZLDGHOJJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 238000011005 laboratory method Methods 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 230000009965 odorless effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 150000003018 phosphorus compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 150000003464 sulfur compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- AFNRRBXCCXDRPS-UHFFFAOYSA-N tin(ii) sulfide Chemical compound [Sn]=S AFNRRBXCCXDRPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к пьезоэлектрическим материалам, в частности к способу получения порошков состава Me-P-S, предназначенных для производства пьезоэлектрических керамических пленок толщиной 2-10 мкм, получаемых термическим напылением в вакууме.The invention relates to piezoelectric materials, in particular to a method for producing powders of the composition Me-P-S, intended for the production of piezoelectric ceramic films with a thickness of 2-10 microns, obtained by thermal spraying in vacuum.
Сегнетоэлектрические пленки на основе гипотиофосфата олова Sn2P2S6 имеют высокие значения относительной диэлектрической проницаемости εT 33/ε0=400 и пьезочувствительности γ=5,5-5,7*10-7 В/Па на низких частотах при объемном возбуждении, что делает их перспективными для использования в электроакустических устройствах.Ferroelectric films based on tin hypothiophosphate Sn 2 P 2 S 6 have high values of relative permittivity ε T 33 / ε 0 = 400 and piezoelectric sensitivity γ = 5.5-5.7 * 10 -7 V / Pa at low frequencies with volume excitation , which makes them promising for use in electro-acoustic devices.
Электрофизические свойства материалов на основе гипотиофосфатных фаз систем Me-P-S, в частности на основе Sn2P2S6 и его аналогов, представлены в статьях: Берча Д.М., Ворошилов Ю.В., Сливка В.Ю., Туряница И.Д. Сложные халькогениды и халькогалогениды (получение и свойства). Киев: Вища школа, 1983. С.180 [1], Герзанич Е.И., Фридкин В.М. Сегнетоэлектрики типа AVBVICVII. M.: Наука, 1982. С.357 [2], Беляев Л.М., Греков А.А., Закс П.Л., Татаренко Л.Н. // Акустический журнал. 1977. Т.23. №5. С.810 [3], Мерц В.И., Нитше Р. // Изв. АН СССР. Сер. Физ. 1964. Т.28, №4. С.681 [4], Высочанский Ю.М., Сливка В.Ю. // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1987. Т.51. №12. С.2156 [5]. Материалы на основе гипотиофосфатов металлов не нашли практического применения в связи со сложностью и вредностью их получения. Гипотиофосфат олова (II) имеет рекордно высокие значения объемных пьезоэлектрических характеристик среди известных однофазных сегнетоэлектрических материалов, и пьезоэлектрические датчики, изготовленные на его основе, могут преобразовывать всестороннее сжатие в электрический сигнал с высокой эффективностью. В силу этого гипотиофосфаты щелочных металлов - Me4P2S6 (Me=Li, Na, K) - представляют особый интерес для использования в пьезотехнике. Они могут быть использованы для получения гипотиофосфатов двухвалентных металлов в качестве исходного реактива (прекурсора) при обменном взаимодействии (Jandali M.Z., Eulenberger G., Hahn H. // Z. anorg. allgem. Chem. 1980. В. 470. №11. S.39 [6]) в растворах с солями этих металлов по схематической реакции:The electrophysical properties of materials based on the hypothiophosphate phases of Me-PS systems, in particular, on the basis of Sn 2 P 2 S 6 and its analogues, are presented in the articles: Burcha D.M., Voroshilov Yu.V., Slivka V.Yu., Turyanitsa I .D. Complex chalcogenides and chalcogen halides (production and properties). Kiev: Vishcha school, 1983. P.180 [1], Gerzanich E.I., Fridkin V.M. Ferroelectrics type A V B VI C VII . M .: Nauka, 1982. P.357 [2], Belyaev L.M., Grekov A.A., Zaks P.L., Tatarenko L.N. // Acoustic journal. 1977.V.23. No. 5. P.810 [3], Merz V.I., Nietzsche R. // Izv. USSR Academy of Sciences. Ser. Fiz. 1964. V. 28, No. 4. P.681 [4], Vysochansky Yu.M., Cream V.Yu. // Izv. USSR Academy of Sciences. Ser. physical 1987.V. 51. No. 12. S.2156 [5]. Materials based on metal hypothiophosphates have not found practical application due to the complexity and harmfulness of their preparation. Tin (II) hypothiophosphate has record-high values of volumetric piezoelectric characteristics among known single-phase ferroelectric materials, and piezoelectric sensors made on its basis can convert comprehensive compression into an electrical signal with high efficiency. Due to this, alkali metal hypothiophosphates - Me 4 P 2 S 6 (Me = Li, Na, K) - are of particular interest for use in piezotechnics. They can be used to obtain hypothiophosphates of divalent metals as a starting reagent (precursor) in the exchange interaction (Jandali MZ, Eulenberger G., Hahn H. // Z. anorg. Allgem. Chem. 1980. V. 470. No. 11. S .39 [6]) in solutions with salts of these metals according to the schematic reaction:
Известные в настоящее время способы получения гипотиофосфатных фаз, в том числе и гипотиофосфатов щелочных металлов, имеют ряд недостатков. На практике наиболее часто применяется синтез этих фаз из простых веществ тройных систем Me-Р-S, бинарных соединений, образующихся в двойных системах Me-Р, Me-S и Р-S, а также из различных сочетаний этих простых веществ и бинарных соединений. Для предотвращения химического взаимодействия с парами воды и кислородом воздуха процесс ведут в запаянных ампулах. При этом синтезы осуществляются при температурах от 350°C для As2P2S7 (Wibbelmann С., Brockner W. // Z. Naturforsch. A. 1981. B.36. №8. S.836 [8]), до 950°C для GdPS4 (Rolland Le, Molinie P., Cdombet P. // C.r. Acad. Sci. Ser 2 1990. Vol.310. №9. P.1201 [9]), a длительность процессов составляет от двух суток для Sn2P2S6 (Carpentier C.D., Nitsche R. // Mater. Res. Bull. 1974. Vol.9. №4. P.401 [10]), до трех месяцев для Co2P2S6, Ni2P2S6, Mg2P2S2 (Klingen W., Ott R., Hahn H. // Z. anorg. allgem. Chem. 1973. B.396. №3. S.271 [11]).Currently known methods for producing hypothiophosphate phases, including alkali metal hypothiophosphates, have several disadvantages. In practice, the most commonly used synthesis of these phases is from simple substances of Me-P-S ternary systems, binary compounds formed in Me-P, Me-S and P-S binary systems, as well as from various combinations of these simple substances and binary compounds. To prevent chemical interaction with water vapor and oxygen, the process is carried out in sealed ampoules. The syntheses are carried out at temperatures from 350 ° C for As 2 P 2 S 7 (Wibbelmann C., Brockner W. // Z. Naturforsch. A. 1981. B.36. No. 8. S.836 [8]), up to 950 ° C for GdPS 4 (Rolland Le, Molinie P., Cdombet P. // Cr Acad. Sci. Ser 2 1990. Vol.310. No. 9. P.1201 [9]), and the duration of the processes is from two days for Sn 2 P 2 S 6 (Carpentier CD, Nitsche R. // Mater. Res. Bull. 1974. Vol.9. No. 4. P.401 [10]), up to three months for Co 2 P 2 S 6 , Ni 2 P 2 S 6 , Mg 2 P 2 S 2 (Klingen W., Ott R., Hahn H. // Z. anorg. Allgem. Chem. 1973. B.396. No. 3. S.271 [11 ]).
Однако использование низкоплавких, легколетучих и вредных компонентов (сера, фосфор, сульфиды фосфора) в замкнутом объеме вследствие увеличения давления в ампуле зачастую приводит к ее разрыву. Во избежание этого применяют чрезвычайно медленное повышение температуры и создание по длине ампулы градиента температур - политемпературный синтез, что, тем не менее, не устраняет полностью взрывоопасность. Недостатком известных способов является также ограниченный ампулой объем синтезируемых веществ, что снижает производительность.However, the use of low-melting, volatile and harmful components (sulfur, phosphorus, phosphorus sulfides) in a closed volume due to increased pressure in the ampoule often leads to its rupture. To avoid this, an extremely slow increase in temperature and the creation of a temperature gradient along the ampoule are used - polytemperature synthesis, which, however, does not completely eliminate the explosion hazard. A disadvantage of the known methods is also the volume of synthesized substances limited by the ampoule, which reduces productivity.
Наиболее близким по способу синтеза к заявляемому объекту является лабораторный способ высокотемпературного синтеза гипотиофосфата олова в не запаянных полузакрытых ампулах, имеющих капиллярное отверстие для частичного выхода паров (RU 2089491, 6 МПК C01B 25/00, опубл. 10.09.1997 [12]), принимаемый за прототип.The closest synthesis method to the claimed object is a laboratory method of high-temperature synthesis of tin hypothiophosphate in unsealed semi-closed ampoules having a capillary hole for partial vapor release (RU 2089491, 6 IPC C01B 25/00, publ. 09/10/1997 [12]), accepted for the prototype.
Целевой продукт получают путем взаимодействия стехиометрических количеств соединений металлов, фосфора и серы на воздухе в две стадии с выдержкой при температуре 350-450°C в случае InPS4 и 450-550°C в случае Sn2P2S6 по 20-30 мин на каждой стадии с промежуточным охлаждением до комнатной температуры и измельчением продукта. В качестве исходных соединений металлов используют оксиды SnO и In2O3, а в качестве соединений фосфора - его сульфид P4S10. Легкоплавкие сульфид фосфора и сера образуют жидкую фазу, которая взаимодействует с твердым оксидом олова, образуя гипотиофосфат. Выход продукта составлял, по мнению авторов, примерно 98% от теоретически возможного. Общее время взаимодействия исходных компонентов 40-60 минут. Приготовление исходной шихты, нагревание печи до необходимой температуры, перетирание полученной после нагревания спеченной массы занимают более одного часа. Процесс синтеза одной навески занимает в общей сложности более двух часов.The target product is obtained by reacting stoichiometric amounts of metal, phosphorus and sulfur compounds in air in two stages with exposure at a temperature of 350-450 ° C in the case of InPS 4 and 450-550 ° C in the case of Sn 2 P 2 S 6 for 20-30 min at each stage with intermediate cooling to room temperature and grinding the product. Oxides SnO and In 2 O 3 are used as initial metal compounds, and its sulfide P 4 S 10 is used as phosphorus compounds. The low-melting phosphorus sulfide and sulfur form a liquid phase, which interacts with solid tin oxide to form hypothiophosphate. The yield of the product, according to the authors, was approximately 98% of the theoretically possible. The total interaction time of the starting components is 40-60 minutes. Preparation of the initial charge, heating the furnace to the required temperature, grinding of the sintered mass obtained after heating take more than one hour. The synthesis process of one sample takes a total of more than two hours.
Недостатки способа-прототипа состоят в следующем:The disadvantages of the prototype method are as follows:
- из-за легкой окисляемости прекурсоров и продуктов синтеза сохраняется опасность загрязнения целевых продуктов кислородсодержащими соединениями на промежуточных стадиях процесса, что приводит к уменьшению выхода чистого продукта, а о чистоте целевого продукта отсутствует информация;- due to the easy oxidizability of the precursors and synthesis products, there remains the danger of contamination of the target products with oxygen-containing compounds at intermediate stages of the process, which leads to a decrease in the yield of the pure product, and there is no information about the purity of the target product;
- необходимость использования специальных тугоплавких ампул;- the need to use special refractory ampoules;
- длительность процесса приготовления гипотиофосфата олова в ограниченном объеме ампулы, которая составляет более 2 часов, что снижает производительность способа.- the duration of the process of preparation of tin hypothiophosphate in a limited volume of the ampoule, which is more than 2 hours, which reduces the productivity of the method.
В силу указанных недостатков известный способ не нашел промышленного применения.Due to these drawbacks, the known method has not found industrial application.
Задачей настоящего изобретения является разработка низкотемпературного, взрывобезопасного способа получения гипотиофосфата олова, исключающего перечисленные выше недостатки и осуществимого в условиях промышленного производства.The objective of the present invention is to develop a low-temperature, explosion-proof method for producing tin hypothiophosphate, eliminating the above disadvantages and feasible in industrial production.
Техническим результатом заявляемого изобретения является повышение чистоты целевого продукта за счет исключения окисления прекурсоров и продуктов синтеза, повышение производительности способа за счет сокращения времени синтеза большого объема гипотиофосфата олова до 2-5 минут, исключение взрывоопасности способа за счет исключения высокотемпературного синтеза.The technical result of the claimed invention is to increase the purity of the target product by eliminating the oxidation of precursors and synthesis products, increasing the productivity of the method by reducing the synthesis time of a large volume of tin hypothiophosphate to 2-5 minutes, eliminating the explosiveness of the method by eliminating high-temperature synthesis.
Указанный технический результат достигается тем, что способ получения гипотиофосфата олова заключается в синтезе целевого продукта из системы исходных компонентов, включающей соединения олова (II) и сульфиды фосфора, взятых в стехиометрических соотношениях, и измельчении синтезированного продукта.The specified technical result is achieved in that the method for producing tin hypothiophosphate consists in synthesizing the target product from a system of starting components, including tin (II) compounds and phosphorus sulfides taken in stoichiometric ratios, and grinding the synthesized product.
Согласно изобретению, в систему исходных компонентов введен сульфид натрия, а в качестве соединения олова (II) использован хлорид олова SnCl2. Каждый исходный компонент растворяют в органическом растворителе до получения насыщенного раствора с последующей обработкой ультразвуком, смешивают полученные растворы, отстаивают до появления коричневого осадка гипотиофосфата олова, удаляют растворитель, осадок промывают на фильтре органическим растворителем до отрицательной реакции на хлорид-ион и полученный целевой продукт высушивают.According to the invention, sodium sulfide is introduced into the system of starting components, and tin chloride SnCl 2 is used as the tin (II) compound. Each source component is dissolved in an organic solvent until a saturated solution is obtained, followed by sonication, the resulting solutions are mixed, sedimented until a brown precipitate of tin hypothiophosphate appears, the solvent is removed, the precipitate is washed on the filter with an organic solvent until a negative reaction to the chloride ion is obtained, and the obtained target product is dried.
В частных случаях выполнения способа:In special cases, the execution of the method:
- в качестве органического растворителя используют этанол;- ethanol is used as an organic solvent;
- в качестве органического растворителя используют ацетон;- acetone is used as an organic solvent;
- в качестве органического растворителя используют толуол;- toluene is used as an organic solvent;
- растворы исходных компонентов обрабатывают ультразвуком мощностью 60-240 Вт в течение 20 минут при температуре ниже температуры кипения растворителя.- solutions of the starting components are treated with ultrasound with a power of 60-240 W for 20 minutes at a temperature below the boiling point of the solvent.
Одновременное взаимодействие сульфида натрия, сульфида фосфора и хлорида олова в органическом растворителе вызывает химическую реакцию образования гипотиофосфата натрия: 4Na2S+P4S8→2Na4P2S6, представляющую промежуточную стадию процесса. При этом происходит обменный процесс катиона щелочного металла Na+ на двухвалентный катион олова Sn2+ по реакции 2Na4P2S6+4SnCl2→2Sn2P2S6+8NaCl и синтез гипотиофосфата олова происходит в момент появления активного состояния гипотиофосфата натрия, которое характеризуется отсутствием кристаллизации. Результаты исследований авторов подтверждают отсутствие взаимодействия SnCl2 с монокристаллами Na4P2S6 в растворе этанола. Обработка ультразвуком указанных растворов увеличивает скорость диффузии компонентов в органическом растворителе, что ускоряет образование целевого продукта.The simultaneous interaction of sodium sulfide, phosphorus sulfide and tin chloride in an organic solvent causes the chemical reaction of sodium hypothiophosphate formation: 4Na 2 S + P 4 S 8 → 2Na 4 P 2 S 6 , which represents an intermediate stage of the process. In this case, the alkaline metal cation Na + is exchanged for the divalent tin cation Sn 2+ by the reaction 2Na 4 P 2 S 6 + 4SnCl 2 → 2Sn 2 P 2 S 6 + 8NaCl and the synthesis of tin hypothiophosphate occurs at the moment of the appearance of the active state of sodium hypothiophosphate, which is characterized by the absence of crystallization. The results of the authors' studies confirm the absence of interaction of SnCl 2 with Na 4 P 2 S 6 single crystals in ethanol solution. Ultrasonic treatment of these solutions increases the diffusion rate of components in an organic solvent, which accelerates the formation of the target product.
В таблице 1 приведены сравнительные характеристики органических растворителей, используемых в заявляемом способе.Table 1 shows the comparative characteristics of the organic solvents used in the present method.
В таблице 2 приведены данные о растворимости Na2S, P4S8, SnCl2 в этаноле, ацетоне, толуоле.Table 2 shows the solubility data of Na 2 S, P 4 S 8 , SnCl 2 in ethanol, acetone, toluene.
В таблице 3 приведены сравнительные значения углов 2θ и интенсивностей Int-f, представленных базой данных ICSD (№039232), и углов 2θ и интенсивностей Int-f РФА гипотиофосфата олова Sn2P2S6, полученного обменным взаимодействием в этаноле с использованием фазы гипотиофосфата натрия Na4P2S6 в момент ее образования.Table 3 shows the comparative values of the 2θ angles and Int-f intensities presented by the ICSD database (No. 039232), and the 2θ angles and Int-f intensities of the X-ray diffraction analysis of tin hypothiophosphate Sn 2 P 2 S 6 obtained by the exchange interaction in ethanol using the hypothiophosphate phase sodium Na 4 P 2 S 6 at the time of its formation.
В таблице 4 приведены сравнительные электрофизические характеристики тонких h=2-10 мкм пленок гипотиофосфата олова, синтезированного по способу-прототипу и заявляемому способу.Table 4 shows the comparative electrophysical characteristics of thin h = 2-10 μm films of tin hypothiophosphate synthesized by the prototype method and the claimed method.
Способ получения гипотиофосфата олова осуществляется следующим образом. Готовят навески сульфида натрия Na2S марки ч.д.а, сульфида фосфора P4S8, представляющего смесь P4S7 и P4S9 и хлорида олова SnCl2 марки ч.д.а. в стехиометрическом соотношении, рассчитанном по уравнению реакции:A method of obtaining tin hypothiophosphate is as follows. Prepare a portion of sodium sulfide Na 2 S grade b.p., phosphorus sulfide P 4 S 8 , which is a mixture of P 4 S 7 and P 4 S 9 and tin chloride SnCl 2 grade b.a. in a stoichiometric ratio calculated by the reaction equation:
4Na2S+P4S8+4SnCl2→2Sn2P2S6+8NaCl,4Na 2 S + P 4 S 8 + 4SnCl 2 → 2Sn 2 P 2 S 6 + 8NaCl,
в количестве мас.%: Na2S - 21,2%, P4S8 - 26,1%, SnCl2 - 52,7%. Каждую навеску растворяют в этаноле до получения насыщенных растворов, их обрабатывают ультразвуком, сливают в один стакан, отстаивают до появления коричневого осадка гипотиофосфата олова, удаляют растворитель, осадок промывают на фильтре органическим растворителем до отрицательной реакции на хлорид-ион и полученный целевой продукт высушивают. Затем измельчают в шаровой мельнице до получения порошка дисперсностью 2-5 мкм.in the amount of wt.%: Na 2 S - 21.2%, P 4 S 8 - 26.1%, SnCl 2 - 52.7%. Each sample was dissolved in ethanol until saturated solutions were obtained, they were sonicated, poured into one glass, sedimented until a brown precipitate of tin hypothiophosphate appeared, the solvent was removed, the precipitate was washed on the filter with an organic solvent until a negative reaction to the chloride ion was obtained, and the obtained target product was dried. Then crushed in a ball mill to obtain a powder fineness of 2-5 microns.
Выбор органических растворителей обусловлен тем, что прекурсоры по-разному растворяются в растворителях (таблица 1), характеризующихся различными полярностями. Растворители с высокой полярностью лучше растворяют сульфид натрия, а с низкой - сульфид фосфора.The choice of organic solvents is due to the fact that precursors dissolve in different ways in solvents (table 1), characterized by different polarities. Solvents with a high polarity dissolve sodium sulfide better, and with a low - phosphorus sulfide.
Знание растворимости исходных компонентов в различных растворителях (табл.2) позволяет рассчитать соотношение исходных компонентов и растворителя в мол.% для получения насыщенного раствора. Выбор в качестве растворителя этанола обусловлен тем, что растворимость прекурсоров: сульфида натрия, сульфидов фосфора, хлорида олова, выше, чем у ацетона и толуола, это позволяет получить большее количество целевого продукта при меньшем количестве растворителя.Knowledge of the solubility of the starting components in various solvents (Table 2) allows us to calculate the ratio of the starting components and the solvent in mol% to obtain a saturated solution. The choice of ethanol as a solvent is due to the fact that the solubility of precursors: sodium sulfide, phosphorus sulfides, tin chloride, is higher than that of acetone and toluene, this allows to obtain a larger amount of the target product with a smaller amount of solvent.
ПримерExample
Растворяют 0,31 г порошка сульфида натрия (0,004 моль) в 119,2 мл этанола. В другой посуде к 47,5 мл этанола добавляют 0,38 г сульфида фосфора (0,001 моль). В третьем стакане растворяют 0,77 г (0,004 моль) хлорида олова в 14,9 мл этанола. Соотношение исходного компонента и растворителя обеспечивает получение насыщенных растворов, растворимость сульфида натрия в этаноле равна 0,003 г/мл, растворимость сульфида фосфора в этаноле - 0,008 г/мл, растворимость хлорида олова в этаноле - 0,052 г/мл. Затем стаканы с растворами помещали в ультразвуковую мойку марки Elmasonik S30H мощностью 60-240 Вт и обрабатывали ультразвуком в течение 20 минут при температуре 45°C, ниже температуры кипения растворителя. Обработанные растворы сливали в один стакан, отстаивали до появления коричневого осадка гипотиофосфата олова, удаляли растворитель, осадок промывали на фильтре минимальным объемом органического растворителя до отрицательной реакции на хлорид-ион и полученный целевой продукт высушивали. Получали 0,88 г (88%) гипотиофосфата олова в виде коричневого порошка.0.31 g of sodium sulfide powder (0.004 mol) is dissolved in 119.2 ml of ethanol. In another container, 0.38 g of phosphorus sulfide (0.001 mol) is added to 47.5 ml of ethanol. 0.77 g (0.004 mol) of tin chloride in 14.9 ml of ethanol are dissolved in a third beaker. The ratio of the starting component and the solvent provides saturated solutions, the solubility of sodium sulfide in ethanol is 0.003 g / ml, the solubility of phosphorus sulfide in ethanol is 0.008 g / ml, the solubility of tin chloride in ethanol is 0.052 g / ml. Then the glasses with the solutions were placed in an ultrasonic sink of the Elmasonik S30H brand with a power of 60-240 W and treated with ultrasound for 20 minutes at a temperature of 45 ° C, below the boiling point of the solvent. The treated solutions were poured into one glass, settled until a brown precipitate of tin hypothiophosphate appeared, the solvent was removed, the precipitate was washed on the filter with a minimum volume of organic solvent until a negative reaction to the chloride ion was obtained, and the obtained target product was dried. 0.88 g (88%) of tin hypothiophosphate was obtained as a brown powder.
В стакане, содержащем смесь исходных компонентов в этаноле, происходит химическая реакция вида:In a glass containing a mixture of the starting components in ethanol, a chemical reaction of the form occurs:
4Na2S+P4S8+4SnCl2→2Sn2P2S6+8NaCl.4Na 2 S + P 4 S 8 + 4SnCl 2 → 2Sn 2 P 2 S 6 + 8NaCl.
Для подтверждения образования фазы Sn2P2S6 были проведены рентгенофазовый и элементный анализы полученного соединения. Фазовый состав Sn2P2S6 устанавливали рентгенофазовым анализом (РФА) на дифрактометре ДРОН-2.0 с медным излучением (λ=1,54 Å). Как следует из табл.3, значения углов 2θ и интенсивностей Int-f рентгенограммы гипотиофосфата олова Sn2P2S6, полученного обменным взаимодействием в этаноле с использованием фазы гипотиофосфата натрия Na4P2S6 в момент ее образования, и значения углов 2θ и интенсивностей Int-f, представленных базой данных ICSD (№039232), практически совпадают. Это свидетельствует об идентификации фазы гипотиофосфата олова и наличии ничтожно малого количества примеси сульфида олова (2θ=22,7, Int-f=347).To confirm the formation of the Sn 2 P 2 S 6 phase, X-ray phase and elemental analyzes of the obtained compound were carried out. The phase composition of Sn 2 P 2 S 6 was determined by X-ray phase analysis (XRD) on a DRON-2.0 diffractometer with copper radiation (λ = 1.54 Å). As follows from Table 3, the values of the 2θ angles and the Int-f intensities of the tin hypothiophosphate Sn 2 P 2 S 6 obtained by the exchange interaction in ethanol using the phase of sodium hypothiophosphate Na 4 P 2 S 6 at the moment of its formation, and the 2θ angles and the Int-f intensities represented by the ICSD database (No. 039232) are practically the same. This indicates the identification of the tin hypothiophosphate phase and the presence of a negligible amount of tin sulfide impurity (2θ = 22.7, Int-f = 347).
Для обоснования практического значения использования гипотиофосфата олова, синтезированного заявляемым способом, на круглую алюминиевую подложку диаметром 30 мм термическим напылением в вакууме наносили тонкие пленки толщиной h~2-10 мкм. Поляризацию пленок проводили при комнатной температуре в импульсном режиме при напряжении 100-200 В на один мм толщины образца в течение 30 секунд. Измерение относительной диэлектрической проницаемости εT 33/ε0 проводили мостом переменного тока Е-84 на частоте 1000 Гц. Измерение пьезочувствительности γ образцов к звуковому давлению проводили на частоте 70 Гц на специальном стенде, включающем звуковую камеру, в которой создавалось соответствующее звуковое давление, а также с помощью задающего звукового генератора и высокочувствительного милливольтметра В7-40. Как следует из табл.4, относительная диэлектрическая проницаемость εт 33/ε0=350-400 и пьезочувствительность γ пьезоэлектрических пленок Sn2P2S6 на низких частотах при объемном возбуждении составляет 5,5-5,7*10-7 В/Па.To justify the practical importance of using tin hypothiophosphate synthesized by the claimed method, thin films with a thickness of h ~ 2-10 μm were applied to a round aluminum substrate with a diameter of 30 mm by thermal spraying in vacuum. The films were polarized at room temperature in a pulsed mode at a voltage of 100-200 V per mm of sample thickness for 30 seconds. The relative permittivity ε T 33 / ε 0 was measured using an E-84 alternating current bridge at a frequency of 1000 Hz. The piezosensitivity of the γ samples to sound pressure was measured at a frequency of 70 Hz on a special stand including a sound chamber in which the corresponding sound pressure was generated, as well as using a master sound generator and a highly sensitive V7-40 millivoltmeter. As follows from Table 4, the relative dielectric constant ε t 33 / ε 0 = 350-400 and the piezoelectric sensitivity γ of the piezoelectric Sn 2 P 2 S 6 films at low frequencies with volume excitation is 5.5-5.7 * 10 -7 V / Pa.
Полученные пьезоэлектрические характеристики свидетельствуют о возможности использования синтезированного продукта для напыления пленок, не уступающих по своим свойствам пленкам, полученным из Sn2P2S6, синтезированного в вакуумных ампулах из простых веществ (Рогач Е.Д., Проценко Н.П., Савченко Э.А., Санджиев Д.Н., Крыштоп В.Т. // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1987. Т.51. №12. С.2269 [13]).The obtained piezoelectric characteristics indicate the possibility of using the synthesized product for spraying films that are not inferior in properties to the films obtained from Sn 2 P 2 S 6 synthesized in vacuum ampoules from simple substances (Rogach E.D., Protsenko N.P., Savchenko E.A., Sandzhiev D.N., Kryshtop V.T. // Proceedings of the Academy of Sciences of the USSR, Ser.Phys.
Источники информацииInformation sources
1. Берча Д.М., Ворошилов Ю.В., Сливка В.Ю., Туряница И.Д. Сложные халькогениды и халькогалогениды (получение и свойства). Киев: Вища школа, 1983. С.180.1. Birch D.M., Voroshilov Yu.V., Cream V.Yu., Turyanitsa I.D. Complex chalcogenides and chalcogen halides (production and properties). Kiev: Vishcha school, 1983. P.180.
2. Герзанич Е.И., Фридкин В.М. Сегнетоэлектрики типа AVBVICVII. М.: Наука, 1982. С.357.2. Gerzanich E.I., Fridkin V.M. Ferroelectrics type A V B VI C VII . M .: Nauka, 1982. P.357.
3. Беляев Л.М., Греков А.А., Закс П.Л., Татаренко Л.Н. // Акустический журнал. 1977. Т.23. №5. С.810.3. Belyaev L. M., Grekov A. A., Sachs P. L., Tatarenko L. N. // Acoustic journal. 1977.V.23. No. 5. S.810.
4. Мерц В.И., Нитше Р. // Изв. АН СССР. Сер. Физ. 1964. Т.28, №4. С.681.4. Merz V.I., Nietzsche R. // Izv. USSR Academy of Sciences. Ser. Fiz. 1964. V. 28, No. 4. S.681.
5. Высочанский Ю.М., Сливка В.Ю. // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1987. Т.51. №12. С.2156.5. Vysochansky Yu.M., Cream V.Yu. // Izv. USSR Academy of Sciences. Ser. physical 1987.V. 51. No. 12. S.2156.
6. Jandali M.Z., Eulenberger G., Hahn H. // Z. anorg. allgem. Chem. 1980. В.470. №11. S.39.6. Jandali M.Z., Eulenberger G., Hahn H. // Z. anorg. allgem. Chem. 1980. B.470. No. 11. S.39.
7. Рыбина И.H. Автореф. дис … канд. техн. наук. Ростов-на-Дону, 1997. 25 с.7. Rybina I.H. Abstract. dis ... cand. tech. sciences. Rostov-on-Don, 1997.25 p.
8. Wibbelmann С., Brockner W. // Z. Naturforsch. A. 1981. B.36. №8. S.836.8. Wibbelmann C., Brockner W. // Z. Naturforsch. A. 1981. B.36. No. 8. S.836.
9. Rolland Le, Molinie P., Cdombet P. // C.r. Acad. Sci. Ser 2 1990. Vol.310. №9. P.1201.9. Rolland Le, Molinie P., Cdombet P. // C.r. Acad. Sci. Ser 2 1990. Vol. 310. No. 9. P.1201.
10. Carpentier C.D., Nitsche R. // Mater. Res. Bull. 1974. Vol.9. №4. P.401.10. Carpentier C. D., Nitsche R. // Mater. Res. Bull. 1974. Vol. 9. Number 4. P.401.
11. Klingen W., Ott R., Hahn H. // Z. anorg. allgem. Chem. 1973. B.396. №3. S.271.11. Klingen W., Ott R., Hahn H. // Z. anorg. allgem. Chem. 1973. B.396. Number 3. S.271.
12. RU 2089491, 6 МПК C01B 25/00, Способ получения гипотиофосфата олова. - прототип.12. RU 2089491, 6 IPC C01B 25/00, Method for the production of tin hypothiophosphate. - prototype.
13. Рогач Е.Д., Проценко Н.П., Савченко Э.А., Санджиев Д.Н., Крыштоп В.Т. // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1987. Т.51. №12. С.2269.13. Rogach E.D., Protsenko N.P., Savchenko E.A., Sandzhiev D.N., Kryshtop V.T. // Izv. USSR Academy of Sciences. Ser. physical 1987.V. 51. No. 12. S.2269.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2010148976/05A RU2455235C1 (en) | 2010-11-30 | 2010-11-30 | Method of producing tin hypothiophosphate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2010148976/05A RU2455235C1 (en) | 2010-11-30 | 2010-11-30 | Method of producing tin hypothiophosphate |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2455235C1 true RU2455235C1 (en) | 2012-07-10 |
Family
ID=46848495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2010148976/05A RU2455235C1 (en) | 2010-11-30 | 2010-11-30 | Method of producing tin hypothiophosphate |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2455235C1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113245034A (en) * | 2021-06-21 | 2021-08-13 | 辽阳瑞兴化工有限公司 | Production system of phosphorus pentasulfide product as surface agent |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4267157A (en) * | 1979-11-14 | 1981-05-12 | Exxon Research And Engineering Company | Process of preparing metal phosphorus trisulfides |
| RU2089491C1 (en) * | 1990-03-19 | 1997-09-10 | Ростовский государственный университет | Method of producing tin hypothiophosphate or indium ortho-thiophosphate |
| RU2089492C1 (en) * | 1990-03-19 | 1997-09-10 | Ростовский государственный университет | Method of synthesis of tin hypothiophosphate or indium ortho-thiophosphate |
| RU2090508C1 (en) * | 1994-12-02 | 1997-09-20 | Ростовский государственный университет | METHOD OF SYNTHESIS OF TIN (II) HYPOTHIODIPHOSPHATE Sn2P2S6, |
-
2010
- 2010-11-30 RU RU2010148976/05A patent/RU2455235C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4267157A (en) * | 1979-11-14 | 1981-05-12 | Exxon Research And Engineering Company | Process of preparing metal phosphorus trisulfides |
| RU2089491C1 (en) * | 1990-03-19 | 1997-09-10 | Ростовский государственный университет | Method of producing tin hypothiophosphate or indium ortho-thiophosphate |
| RU2089492C1 (en) * | 1990-03-19 | 1997-09-10 | Ростовский государственный университет | Method of synthesis of tin hypothiophosphate or indium ortho-thiophosphate |
| RU2090508C1 (en) * | 1994-12-02 | 1997-09-20 | Ростовский государственный университет | METHOD OF SYNTHESIS OF TIN (II) HYPOTHIODIPHOSPHATE Sn2P2S6, |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| CARPENTIER C.D., NITSCHE R., Vapour growth and crystal data of the thio(seleno)-hypodiphosphates Sn 2 P 2 S 6 , Sn 2 P 2 Se 6 , Pb 2 P 2 S 6 , * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113245034A (en) * | 2021-06-21 | 2021-08-13 | 辽阳瑞兴化工有限公司 | Production system of phosphorus pentasulfide product as surface agent |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Kajbafvala et al. | Nanostructure sword-like ZnO wires: rapid synthesis and characterization through a microwave-assisted route | |
| US9196482B2 (en) | Solution-based synthesis of CsSnI3 | |
| US8580989B2 (en) | Process for the preparation of indium chlordialkoxides | |
| Pinto et al. | Controlling Cu 2 ZnSnS 4 (CZTS) phase in microwave solvothermal synthesis | |
| Shutov et al. | Synthesis of zinc oxide powders in plasma–solution systems | |
| RU2455235C1 (en) | Method of producing tin hypothiophosphate | |
| Westin et al. | Synthesis and properties of erbium isopropoxides: Structural characterization of Er5O (OPri) 13 | |
| Denisenko et al. | Crystal and electronic structure, thermochemical and photophysical properties of europium-silver sulfate monohydrate AgEu (SO4) 2· H2O | |
| CN113186590B (en) | Preparation method of centimeter-level molybdenum trioxide single crystal | |
| Vakalopoulou et al. | Synthesis and characterization of zinc di (O-2, 2-dimethylpentan-3-yl dithiocarbonates) bearing pyridine or tetramethylethylenediamine coligands and investigation of their thermal conversion mechanisms towards nanocrystalline zinc sulfide | |
| Tang et al. | Assembly and spontaneous resolution of the chiral inorganic polyoxometalates-based frameworks via helical chains association | |
| Singh et al. | Synthesis, crystal growth and physicochemical studies on a novel organic inter-molecular compound; 3, 5-dinitrobenzoic acid and salicylamide system | |
| Nørby et al. | Expanding the structural versatility of thiostannate (iv) complexes | |
| Suresh Kumar et al. | Growth and characterization of pure and lithium doped strontium tartrate tetrahydrate crystals by solution-gel technique | |
| US20070179296A1 (en) | Process for manufacturing picolinate borinic esters | |
| Deng et al. | Synthesis of magnesium titanate nanocrystallites from a cheap and water-soluble single source precursor | |
| WO2017188442A1 (en) | Method for manufacturing graphene | |
| NicDaéid et al. | Influence of precursor solvent extraction on stable isotope signatures of methylamphetamine prepared from over-the-counter medicines using the Moscow and Hypophosphorous routes | |
| RU2656103C2 (en) | Process for preparing indium alkoxide compounds, indium alkoxide compounds prepared by process and use thereof | |
| WO2014152764A1 (en) | Ultrastable silver nanoparticles | |
| JP2015137214A (en) | Method for producing alkali metal iodide or alkaline earth metal iodide | |
| WO2019127994A1 (en) | Sacubitril sodium salt, eutectic of sacubitril free acid and acetic acid, crystal form thereof, method for preparing crystal form, and use thereof | |
| JP2018509466A (en) | Crystal form of AHU377, production method and use thereof | |
| Chistyakov et al. | Synthesis and structure of hexa-p-acetamidophenoxycyclotriphosphazene. | |
| JP4326005B2 (en) | Tertiary amylimide tris (dimethylamide) niobium, a method for producing the same, a raw material solution for ALD using the same, and a method for forming a niobium nitride film or a niobium oxide film using the same. |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20171201 |