RU2442179C2 - Method of non-contact measurement of the dielectric constant - Google Patents
Method of non-contact measurement of the dielectric constant Download PDFInfo
- Publication number
- RU2442179C2 RU2442179C2 RU2009115261/28A RU2009115261A RU2442179C2 RU 2442179 C2 RU2442179 C2 RU 2442179C2 RU 2009115261/28 A RU2009115261/28 A RU 2009115261/28A RU 2009115261 A RU2009115261 A RU 2009115261A RU 2442179 C2 RU2442179 C2 RU 2442179C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- dielectric constant
- sample
- piezoelectric
- piezoelectric plate
- sensor
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 abstract description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract description 3
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 abstract 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 33
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 2
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000002114 nanocomposite Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000012925 reference material Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к электротехническим измерениям, а именно к способам измерения относительной диэлектрической проницаемости твердых диэлектрических материалов.The invention relates to electrical measurements, and in particular to methods for measuring the relative permittivity of solid dielectric materials.
Диэлектрическая проницаемость является одной из основных характеристик диэлектриков и существует большое количество способов ее измерения. Большинство из этих способов основано на изменении электрической емкости или реактивного сопротивления плоского воздушного конденсатора после помещения в его зазор исследуемого диэлектрика.Dielectric constant is one of the main characteristics of dielectrics and there are a large number of ways to measure it. Most of these methods are based on a change in the electrical capacitance or reactance of a flat air condenser after placing the investigated dielectric in its gap.
Известен способ измерения относительной диэлектрической проницаемости. В этом способе, изменяя величину зазора плоского измерительного конденсатора, к обкладкам которого приложено переменное напряжение, добиваются равенства токов конденсатора для случаев, когда исследуемый образец помещен в зазор конденсатора и в его отсутствие (Казарновский Д.М., Тареев Б.М. Испытания электронных материалов. - М.-Л.: Госэнергоиздат, 1963).A known method of measuring the relative dielectric constant. In this method, by changing the gap value of a flat measuring capacitor, to the plates of which an alternating voltage is applied, equality of the capacitor currents is achieved for cases when the test sample is placed in the capacitor gap and in its absence (Kazarnovsky D.M., Tareev B.M. materials. - M.-L.: Gosenergoizdat, 1963).
Недостаток этого способа заключается в том, что для измерения диэлектрической проницаемости необходимы дополнительные операции измерений толщины образца и величины межэлектродного зазора измерительного конденсатора. Недостатком является также низкая точность измерения за счет краевых эффектов, которая ухудшается с ростом диэлектрической проницаемости исследуемого материала. Кроме того, недостатком этого способа является то, что он не подходит для целого ряда материалов, обладающих пьезоэлектрическими свойствами, поскольку кроме емкостной составляющей тока будет присутствовать составляющая тока с соответствующими пиками резонанса и антирезонанса, связанная с возбуждением акустических волн в измеряемой пластине. При этом погрешность измерения увеличивается с ростом пьезоконстанты материала.The disadvantage of this method is that to measure the dielectric constant, additional operations are required to measure the thickness of the sample and the interelectrode gap of the measuring capacitor. The disadvantage is the low accuracy of the measurement due to edge effects, which deteriorates with increasing dielectric constant of the investigated material. In addition, the disadvantage of this method is that it is not suitable for a number of materials with piezoelectric properties, since in addition to the capacitive component of the current, there will be a current component with corresponding resonance and antiresonance peaks associated with the excitation of acoustic waves in the measured plate. In this case, the measurement error increases with the growth of the piezoelectric constant of the material.
Известен способ определения диэлектрической проницаемости жидких и плоских твердых диэлектриков, в котором применяют динамический конденсатор, образуемый неподвижным электродом и вращающимся металлическим диском, на котором закреплен поляризованный плоский электрет (Патент RU №2234075, МПК G01N 22/00).A known method for determining the dielectric constant of liquid and flat solid dielectrics, which use a dynamic capacitor formed by a fixed electrode and a rotating metal disk on which a polarized flat electret is mounted (Patent RU No. 2234075, IPC G01N 22/00).
Этот способ имеет целый ряд недостатков. Применение эффекта появления индуцированного напряжения на конденсаторе вследствие вращения электрета делает этот способ малотехнологичным и ограничивает частотный диапазон измерения диэлектрической проницаемости. Этот способ усложняется еще необходимостью точных измерений толщины образца, расстояния между электродами и величины зазора между вращающимся электретом и исследуемым образцом, а также необходимостью проведения достаточно сложных математических вычислений. При этом, даже если удастся обеспечить строгую параллельность электрета и образца, а также постоянство степени заряженности электрета во времени, точность измерений остается крайне низкой. Это связано с влиянием краевых эффектов, а также с неоднородностью распределения заряда по поверхности электрета.This method has a number of disadvantages. The application of the effect of the appearance of the induced voltage on the capacitor due to the rotation of the electret makes this method low-tech and limits the frequency range of measuring the dielectric constant. This method is further complicated by the need for accurate measurements of the thickness of the sample, the distance between the electrodes and the gap between the rotating electret and the test sample, as well as the need for fairly complex mathematical calculations. Moreover, even if it is possible to ensure strict parallelism of the electret and the sample, as well as the constancy of the degree of charge of the electret in time, the measurement accuracy remains extremely low. This is due to the influence of edge effects, as well as to the heterogeneity of the charge distribution over the surface of the electret.
Известен также способ определения диэлектрической проницаемости материала, при котором возбуждают электромагнитные колебания в микрополосковой линии с известным значением комплексной диэлектрической проницаемости. Измеряют входной импеданс в режимах холостого хода и короткого замыкания при размещении микрополосковой линии на поверхности исследуемого образца материала и при отсутствии исследуемого образца. Затем по специальным расчетным формулам вычисляют диэлектрическую проницаемость исследуемого материала (Патент РФ №2103673 на изобретение, приоритет 21.11.1995 г.).There is also a method of determining the dielectric constant of a material, in which electromagnetic oscillations are excited in a microstrip line with a known value of the complex dielectric constant. The input impedance is measured in idle and short circuit modes when a microstrip line is placed on the surface of the material sample under study and in the absence of the sample under study. Then, according to special calculation formulas, the dielectric constant of the test material is calculated (RF Patent No. 2103673 for the invention, priority November 21, 1995).
Недостатком этого способа является ограниченность частотного диапазона областью СВЧ и невозможностью измерения в ВЧ области. Кроме того, этот способ имеет большую погрешность, связанную с трудностями согласования приборных узлов при практической реализации способа.The disadvantage of this method is the limited frequency range of the microwave region and the inability to measure in the RF region. In addition, this method has a large error associated with the difficulties of matching instrument nodes in the practical implementation of the method.
Наиболее близким к заявляемому является способ измерения относительной диэлектрической проницаемости жидких и плоских твердых диэлектрических образцов, который основан на измерении изменения реактивного сопротивления плоского воздушного конденсатора в результате заполнения его зазора исследуемым диэлектриком. К электродам плоского воздушного конденсатора с регулируемым зазором, равным толщине образца, прикладывают переменное электрическое напряжение. Преобразуют ток конденсатора в напряжение, например, с помощью операционного усилителя, регулируют это напряжение, добиваясь его значения, численно равного или кратного диэлектрической проницаемости воздуха. Помещают образец вплотную между электродами конденсатора и определяют значение относительной диэлектрической проницаемости по показаниям регистрирующего прибора, например вольтметра (Патент РФ №2303787 на изобретение, приоритет 27.03.2006 г.).Closest to the claimed is a method of measuring the relative permittivity of liquid and flat solid dielectric samples, which is based on measuring changes in the reactance of a flat air capacitor as a result of filling its gap with the investigated dielectric. An alternating electrical voltage is applied to the electrodes of a flat air capacitor with an adjustable gap equal to the thickness of the sample. Convert the current of the capacitor to a voltage, for example, using an operational amplifier, regulate this voltage, achieving its value numerically equal to or a multiple of the dielectric constant of air. The sample is placed close between the electrodes of the capacitor and the relative permittivity is determined from the readings of a recording device, for example, a voltmeter (RF Patent No. 2303787 for the invention, priority 03/27/2006).
Недостатком этого способа является то, что он не подходит для материалов, обладающих пьезоэлектрическими свойствами, поскольку, как уже отмечалось, кроме емкостной составляющей тока будет присутствовать составляющая тока с соответствующими пиками резонанса и антирезонанса, связанная с возбуждением акустических волн в измеряемой пластине. Кроме того, для материалов с большими значениями диэлектрической проницаемости (ε>8) существенно возрастет влияние краевой емкости, несмотря на присутствие экранированного внешнего электрода. Оба указанных факта приводят к большой погрешности измерения.The disadvantage of this method is that it is not suitable for materials with piezoelectric properties, because, as already noted, in addition to the capacitive component of the current, there will be a current component with corresponding resonance and antiresonance peaks associated with the excitation of acoustic waves in the measured plate. In addition, for materials with large values of dielectric constant (ε> 8), the influence of the edge capacitance will substantially increase, despite the presence of a shielded external electrode. Both of these facts lead to a large measurement error.
Цель изобретения - упрощение способа и повышение точности измерения для пьезоэлектрических материалов и материалов с относительной диэлектрической проницаемостью выше 8.The purpose of the invention is to simplify the method and improve the measurement accuracy for piezoelectric materials and materials with a relative permittivity above 8.
Поставленная цель достигается тем, что в известном способе, включающем помещение исследуемого образца из неизвестного диэлектрического материала в измерительный датчик и подачу на вход этого датчика высокочастотного сигнала, выходной сигнал подают на измеритель разности фаз, а искомую величину диэлектрической проницаемости определяют по изменению фазы в присутствии исследуемого образца в измерительном датчике по заранее построенной градуировочной кривой для эталонных материалов.This goal is achieved by the fact that in the known method, comprising placing the test sample from an unknown dielectric material in the measuring sensor and supplying a high-frequency signal to the input of this sensor, the output signal is fed to the phase difference meter, and the desired dielectric constant is determined by the phase change in the presence of the studied sample in the measuring sensor according to a pre-built calibration curve for reference materials.
На основании исследования патентной и научной литературы можно сделать вывод, что по ряду признаков предлагаемый способ является новым.Based on the study of patent and scientific literature, we can conclude that for a number of signs the proposed method is new.
Сущность предлагаемого способа поясняется чертежами, где на фиг.1 представлена схема устройства для осуществления способа, на фиг.2 показана градуировочная кривая зависимости фазы выходного сигнала от диэлектрической проницаемости эталонных образцов для измерительного датчика, изображенного на фиг.1. На фиг.3 приведены данные для эталонных образцов, на основании которых построена градуировочная кривая, представленная на фиг.2. На фиг.4 представлена расчетная зависимость фазовой скорости волны с частотой 5 МГц в структуре «Y-X ниобат лития - воздушный зазор - полубезграничный исследуемый материал» от диэлектрической проницаемости пластины для двух значений толщины пьезоэлектрической пластины (100 мкм, а) и (200 мкм, б). Величина воздушного зазора для указанных зависимостей является параметром. На фиг.5 представлена зависимость фазовой скорости волны на частоте 5 МГц от толщины диэлектрической пластины для трех значений ее диэлектрической проницаемости.The essence of the proposed method is illustrated by drawings, where Fig. 1 shows a diagram of a device for implementing the method, Fig. 2 shows a calibration curve of the phase of the output signal from the dielectric constant of the reference samples for the measuring sensor shown in Fig. 1. Figure 3 shows the data for the reference samples, on the basis of which the calibration curve is presented, presented in figure 2. Figure 4 shows the calculated dependence of the phase velocity of the wave with a frequency of 5 MHz in the structure "YX lithium niobate - air gap - semi-infinite test material" on the dielectric constant of the plate for two values of the thickness of the piezoelectric plate (100 μm, a) and (200 μm, b ) The amount of air gap for these dependencies is a parameter. Figure 5 shows the dependence of the phase velocity of the wave at a frequency of 5 MHz on the thickness of the dielectric plate for three values of its dielectric constant.
Пример реализации способа состоит в следующем. С выхода ВЧ генератора 1 подают высокочастотный электромагнитный сигнал на измерительный датчик, включающий входной встречно-штыревой преобразователь (ВШП) 2, расположенный на пьезоэлектрической пластине 3, и выходной (ВШП) 4 (Фиг.1). Электромагнитный сигнал с выхода измерительного датчика следует в измеритель разности фаз 5. Исследуемый образец 6 располагают на некотором расстоянии над поверхностью пьезоэлектрической пластины 3 измерительного датчика между (ВШП) 2 и 4. Электрическое поле распространяющейся акустической волны проникает в исследуемый образец, и скорость этой волны, а следовательно, и фаза выходного сигнала становятся зависящими от диэлектрической проницаемости материала исследуемого образца. Искомую диэлектрическую проницаемость оценивают по изменению фазы в присутствии исследуемого образца над поверхностью пьезоэлектрической пластины измерительного датчика по градуировочной кривой.An example implementation of the method is as follows. From the output of the RF generator 1, a high-frequency electromagnetic signal is supplied to the measuring sensor, including an input interdigital transducer (IDT) 2 located on the piezoelectric plate 3, and an output (IDT) 4 (Figure 1). The electromagnetic signal from the output of the measuring sensor follows the phase difference meter 5. The
Технический результат достигается тем, что для измерения диэлектрической проницаемости материала исследуемого образца используют измерительный датчик с известной зависимостью фазы выходного сигнала от диэлектрической проницаемости материала образца. Для калибровки измерительного датчика используют набор эталонных образцов с известными значениями диэлектрической проницаемости. Для измерения диэлектрической проницаемости материала исследуемого образца достаточно измерить изменение фазы выходного сигнала при размещении исследуемого образца над поверхностью пьезоэлектрической пластины измерительного датчика.The technical result is achieved by the fact that for measuring the dielectric constant of the material of the test sample, a measuring sensor is used with a known dependence of the phase of the output signal on the dielectric constant of the sample material. To calibrate the measuring sensor, a set of reference samples with known permittivity values is used. To measure the dielectric constant of the material of the test sample, it is sufficient to measure the phase change of the output signal when placing the test sample above the surface of the piezoelectric plate of the measuring sensor.
Преимущество заявляемого способа выражается в существенном упрощении процесса измерения диэлектрической проницаемости материала при сохранении достаточно высокой точности результата измерений искомой величины.The advantage of the proposed method is expressed in a significant simplification of the process of measuring the dielectric constant of the material while maintaining a sufficiently high accuracy of the measurement result of the desired value.
На фиг.1 приведена схема устройства для реализации заявляемого способа.Figure 1 shows a diagram of a device for implementing the proposed method.
Измерительный датчик содержит пьезоэлектрическую пластину 3 с расположенными на ней входным 2 и выходным 4 ВШП, первую 7 и вторую 8 диэлектрические полоски требуемой толщины, исследуемый образец 6 из измеряемого материала, расположенный над пьезоэлектрической пластиной 3 между входным 2 и выходным 4 ВШП и имеющий длину, перекрывающую поперечный размер ВШП, толщина пьезоэлектрической пластины h выбрана из условия распространения акустической волны с поперечной горизонтальной поляризацией нулевого порядка типа SH0 с наибольшим значением коэффициента электромеханической связи h=(0.1-0.2)λ, где λ - длина акустической волны.The measuring sensor contains a piezoelectric plate 3 with an input 2 and an
В одном из вариантов выполнения диэлектрические полоски выполняются из фторопласта или слюды, которые приклеиваются к поверхности подложки за пределами акустического канала, определенного шириной области перекрытия штырей ВШП.In one embodiment, the dielectric strips are made of fluoroplastic or mica, which are glued to the surface of the substrate outside the acoustic channel defined by the width of the overlapping region of the IDT pins.
Решение поясняется фиг.1, на которой приведен вариант измерителя для реализации заявляемого способа. ЗдесьThe solution is illustrated in figure 1, which shows a variant of the meter for the implementation of the proposed method. Here
1 - ВЧ генератор;1 - RF generator;
2 - входной встречно-штыревой преобразователь (ВШП);2 - input interdigital transducer (IDT);
3 - пьезоэлектрическая пластина;3 - a piezoelectric plate;
4 - выходной ВШП;4 - output IDT;
5 - измеритель разности фаз;5 - phase difference meter;
6 - исследуемый образец;6 - test sample;
7 - первая диэлектрическая полоска;7 - the first dielectric strip;
8 - вторая диэлектрическая полоска;8 - the second dielectric strip;
9 - фиксаторы;9 - clamps;
10 - канал для создания опорного сигнала.10 - channel for creating a reference signal.
Измерительный датчик содержит пьезоэлектрическую пластину 3, например, из ниобата лития. С одного края пьезоэлектрической пластины 3 размещен входной ВШП 2. Напротив него с другого края расположен выходной ВШП 4. Вблизи входного ВШП 2 на верхней стороне пьезоэлектрической пластины 3 размещена первая диэлектрическая полоска 7. Вблизи выходного ВШП 4 на верхней стороне пьезоэлектрической пластины 3 размещена вторая диэлектрическая полоска 8.The measuring sensor contains a piezoelectric plate 3, for example, of lithium niobate. An input IDT 2 is located on one edge of the piezoelectric plate 3. An output IDT 4 is located opposite it on the other edge. Near the input IDT 2, a first dielectric strip 7 is placed on the upper side of the piezoelectric plate 3. A second dielectric is placed near the
Над поверхностью пьезоэлектрической пластины 3 на диэлектрических полосках 7 и 8 размещен исследуемый образец 6. Длина образца в направлении, перпендикулярном акустическому каналу, выбрана таким образом, чтобы она превосходила размер апертуры ВШП. Для фиксации исследуемого образца используются фиксаторы 9, расположенные за пределами акустического канала. Эти фиксаторы определяют размер исследуемого образца вдоль акустического канала. К входному ВШП 2 присоединен ВЧ генератор 1, а к выходному ВШП 4 - измеритель разности фаз 5. Часть ВЧ мощности непосредственно поступает на измеритель разности фаз 5 по каналу 10 для формирования опорного сигнала. Рабочий частотный диапазон выбирается таким, чтобы в пластине возбуждалась SH0 волна с поперечно-горизонтальной поляризацией нулевого порядка и фазо-частотная характеристика содержала линейный участок, на котором выбирается рабочая точка (на фиг.2, f=5.58 МГц.).The investigated
Устройство работает следующим образом.The device operates as follows.
ВЧ генератор 1 подает непрерывный электромагнитный сигнал на входной ВШП 2, который возбуждает в пьезоэлектрической пластине 3 SH0 акустическую волну, которая распространяется по направлению к выходному ВШП 4. Далее выходной ВШП 4 преобразует акустический сигнал в электромагнитный, который принимаются измерителем разности фаз 5. При помещении исследуемого образца на диэлектрические полоски 7 и 8 часть энергии электрического поля над пьезоэлектрической пластиной 3 проникает в исследуемый образец и это меняет электрические граничные условия. Вследствие этого скорость акустической волны в пьезоэлектрической пластине 3 под исследуемым образцом 6 меняется, что приводит к изменению фазы выходного электромагнитного сигнала.The RF generator 1 supplies a continuous electromagnetic signal to the input IDT 2, which excites an acoustic wave in the piezoelectric plate 3 SH 0 , which propagates towards the
Таким образом, измеряя фазу выходного электромагнитного сигнала по специальной градуировочной кривой можно определить искомую диэлектрическую проницаемость исследуемого образца. Фиг.4 позволяет выбрать соответствующие значение толщины исследуемого образца, величину воздушного зазора и рабочую частоту акустической волны.Thus, by measuring the phase of the output electromagnetic signal from a special calibration curve, it is possible to determine the desired dielectric constant of the test sample. Figure 4 allows you to select the appropriate value of the thickness of the test sample, the amount of air gap and the operating frequency of the acoustic wave.
Калибровка измерительного датчика включает в себя измерение зависимости фазы выходного сигнала от диэлектрической проницаемости эталонного набора пластин с известными диэлектрическими постоянными, для чего берутся образцы с одинаковыми поперечными геометрическими размерами. Что касается толщины исследуемого образца, то она должна быть больше h/2, причем на верхнюю поверхность не накладывается каких либо условий (она может быть неровной, непараллельной нижней поверхности, неплоской и т.д.). Это подтверждается фиг.5. Для выбранного измерительного датчика строится градуировочная кривая. Определение диэлектрической проницаемости исследуемого образца производится при помещении его на специально изготовленные диэлектрические полоски, расположенные на пьезоэлектрической пластине, после чего измеряется изменение фазы в выбранном частотном диапазоне. Указанные полоски изготавливаются из материала с низкой диэлектрической проницаемостью (фторопласт, слюда, папиросная бумага) и имеют толщину порядка 10-40 мкм. Диэлектрическую проницаемость определяют по измеренной разности фаз выходного сигнала измерительного датчика и сигнала в присутствии измерительного образца по градуировочной кривой.Calibration of the measuring sensor includes measuring the dependence of the phase of the output signal on the dielectric constant of a reference set of plates with known dielectric constants, for which samples with the same transverse geometrical dimensions are taken. As for the thickness of the test sample, it should be greater than h / 2, and no conditions are imposed on the upper surface (it can be uneven, non-parallel to the lower surface, non-flat, etc.). This is confirmed by figure 5. For the selected measuring sensor, a calibration curve is constructed. The dielectric constant of the test sample is determined by placing it on specially made dielectric strips located on a piezoelectric plate, after which the phase change in the selected frequency range is measured. These strips are made of a material with a low dielectric constant (fluoroplastic, mica, tissue paper) and have a thickness of about 10-40 microns. The dielectric constant is determined by the measured phase difference of the output signal of the measuring sensor and the signal in the presence of the measuring sample from the calibration curve.
Для обоснования работоспособности заявляемого способа и достижения поставленной цели были проведены его испытания (акт прилагается).To justify the operability of the proposed method and achieve the goal, tests were carried out (an act is attached).
Предлагаемый способ является более простым и доступным для проведения даже в лабораторных условиях и принципиально подходит для твердых веществ. Предлагаемый способ может найти применение при определении диэлектрической проницаемости новых, например нанокомпозитных, материалов, а также для определения кристаллографической ориентации пластин.The proposed method is simpler and more affordable to carry out even in laboratory conditions and is fundamentally suitable for solids. The proposed method can find application in determining the dielectric constant of new, for example nanocomposite, materials, as well as for determining the crystallographic orientation of the plates.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009115261/28A RU2442179C2 (en) | 2009-04-21 | 2009-04-21 | Method of non-contact measurement of the dielectric constant |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009115261/28A RU2442179C2 (en) | 2009-04-21 | 2009-04-21 | Method of non-contact measurement of the dielectric constant |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2009115261A RU2009115261A (en) | 2010-10-27 |
| RU2442179C2 true RU2442179C2 (en) | 2012-02-10 |
Family
ID=44041968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2009115261/28A RU2442179C2 (en) | 2009-04-21 | 2009-04-21 | Method of non-contact measurement of the dielectric constant |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2442179C2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2610878C1 (en) * | 2015-11-05 | 2017-02-17 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королева (национальный исследовательский университет)" (СГАУ) | Method of materials electromagnetic parameters non-contact measurement |
| RU2687504C1 (en) * | 2018-05-24 | 2019-05-14 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Балтийский федеральный университет имени Иммануила Канта" (БФУ им. И. Канта) | Method and device for non-contact determination of specific electrical resistance of metals in high temperatures |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1746282A1 (en) * | 1990-06-27 | 1992-07-07 | Рижский политехнический институт им.А.Я.Пельше | Method of determination of permittivity of dielectric materials |
| RU2202804C2 (en) * | 2001-12-13 | 2003-04-20 | ЗАО "Тантал - Наука" | Method for microwave measurements of relative dielectric constant of liquid media |
| DE10219510A1 (en) * | 2002-04-30 | 2003-11-13 | Imko Intelligente Micromodule | Moisture content determination for a cement or calcium sulfate containing subsoil or screed layer, whereby a capacitive method is used to determine the dielectric constant with the same calibration data used for either material |
| RU2303787C1 (en) * | 2006-03-27 | 2007-07-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный университет" | Method for measuring of dielectric penetrability of liquid and flat solid dielectrics |
-
2009
- 2009-04-21 RU RU2009115261/28A patent/RU2442179C2/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1746282A1 (en) * | 1990-06-27 | 1992-07-07 | Рижский политехнический институт им.А.Я.Пельше | Method of determination of permittivity of dielectric materials |
| RU2202804C2 (en) * | 2001-12-13 | 2003-04-20 | ЗАО "Тантал - Наука" | Method for microwave measurements of relative dielectric constant of liquid media |
| DE10219510A1 (en) * | 2002-04-30 | 2003-11-13 | Imko Intelligente Micromodule | Moisture content determination for a cement or calcium sulfate containing subsoil or screed layer, whereby a capacitive method is used to determine the dielectric constant with the same calibration data used for either material |
| RU2303787C1 (en) * | 2006-03-27 | 2007-07-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный университет" | Method for measuring of dielectric penetrability of liquid and flat solid dielectrics |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2610878C1 (en) * | 2015-11-05 | 2017-02-17 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королева (национальный исследовательский университет)" (СГАУ) | Method of materials electromagnetic parameters non-contact measurement |
| RU2687504C1 (en) * | 2018-05-24 | 2019-05-14 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Балтийский федеральный университет имени Иммануила Канта" (БФУ им. И. Канта) | Method and device for non-contact determination of specific electrical resistance of metals in high temperatures |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2009115261A (en) | 2010-10-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Yamada et al. | 1P2-5 Variation in Resonance Characteristics of a Backward-Wave-Type Trapped-Energy Resonator Caused by Dipping in Liquids | |
| Li et al. | Characterization of full set material constants of piezoelectric materials based on ultrasonic method and inverse impedance spectroscopy using only one sample | |
| Borodina et al. | Influence of the conductivity of a liquid contacting with a lateral electric field excited resonator based on PZT ceramics on its characteristics | |
| Zaitsev et al. | Compact liquid analyzer based on a resonator with a lateral excitation electric field | |
| CN117664040A (en) | A method for non-destructive detection of film thickness based on S11 parameters of surface acoustic wave resonator | |
| RU2442179C2 (en) | Method of non-contact measurement of the dielectric constant | |
| Zaitsev et al. | The effect of the conductivity of a film located near a piezoelectric resonator with a lateral electric field based on the PZT ceramics on its characteristics | |
| Zaitsev et al. | The sensor for measuring the micro-displacements based on the piezoelectric resonator with lateral electric field | |
| Qin et al. | Mass sensitivity of thin film bulk acoustic resonator sensors based on polar c-axis tilted zinc oxide and aluminum nitride thin film | |
| Munir et al. | Effects of compensating the temperature coefficient of frequency with the acoustic reflector layers on the overall performance of solidly mounted resonators | |
| Matsiev et al. | Application of low frequency mechanical resonators to liquid property measurements | |
| CN110057911B (en) | A surface acoustic wave nondestructive testing system | |
| JP5123046B2 (en) | Relative permittivity / conductivity measuring apparatus and measuring method thereof | |
| Zhang et al. | Pseudo-LFE sensors with different electrode configurations on X-cut LiNbO 3 | |
| Hempel et al. | Lateral field excited quartz crystal resonator sensors for determination of acoustic and electrical properties of liquids | |
| RU2477493C2 (en) | Measuring method of attenuation factor of acoustic waves in resonance structure and its quality | |
| Verardi et al. | Acoustoelectric probe for d 33 measurement on piezoelectric thin films | |
| RU2421743C1 (en) | Method of measuring electromechanical coupling constants of piezoelectric material | |
| RU73488U1 (en) | SENSOR OF MECHANICAL AND ELECTRIC LIQUID PARAMETERS | |
| CN110057910B (en) | Method for Measuring Film Adhesion Using Movable Two-Probe Piezoelectric Sensors | |
| RU2349925C1 (en) | Measurement method for electromechanical coupling constant of piezoelectric material | |
| Wang et al. | Impedance analysis for lateral field excited acoustic wave sensors | |
| Wang et al. | Pseudo-LFE study in AT-cut quartz for sensing applications | |
| Kvashnin et al. | Peculiarities of microwave Lamb wave excitation in composite SAW resonator based on diamond substrate | |
| Anisimkin et al. | Characteristic features of excitation and propagation of acoustic modes in piezoelectric plates |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20120422 |