[go: up one dir, main page]

RU2319556C2 - Method of formation of the microrelief on the polymeric films surfaces - Google Patents

Method of formation of the microrelief on the polymeric films surfaces Download PDF

Info

Publication number
RU2319556C2
RU2319556C2 RU2006110811/12A RU2006110811A RU2319556C2 RU 2319556 C2 RU2319556 C2 RU 2319556C2 RU 2006110811/12 A RU2006110811/12 A RU 2006110811/12A RU 2006110811 A RU2006110811 A RU 2006110811A RU 2319556 C2 RU2319556 C2 RU 2319556C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
film
microrelief
formation
coating
polymeric films
Prior art date
Application number
RU2006110811/12A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Александр Львович Волынский (RU)
Александр Львович Волынский
Николай Филиппович Бакеев (RU)
Николай Филиппович Бакеев
Лариса Михайловна Ярышева (RU)
Лариса Михайловна Ярышева
Тать на Евгеньевна Гроховска (RU)
Татьяна Евгеньевна Гроховская
кина Алефтина Игоревна Кулеб (RU)
Алефтина Игоревна Кулебякина
Анастаси Владимировна Большакова (RU)
Анастасия Владимировна Большакова
Александр Владимирович Оленин (RU)
Александр Владимирович Оленин
Original Assignee
МГУ им. М.В. Ломоносова, Химический факультет
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by МГУ им. М.В. Ломоносова, Химический факультет filed Critical МГУ им. М.В. Ломоносова, Химический факультет
Priority to RU2006110811/12A priority Critical patent/RU2319556C2/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2319556C2 publication Critical patent/RU2319556C2/en

Links

Images

Landscapes

  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)

Abstract

FIELD: chemical industry; other industries; methods of formation of the microrelief pattern on surfaces of the polymeric films.
SUBSTANCE: invention is pertaining to the field of formation of the microrelief pattern on surfaces of the polymeric films, which may be used in the capacity of the reflecting components, the components of the optoelectronic devices and the information display systems. The technical problem of the invention consists in simplification of the method of formation of the microrelief on the polymeric films surfaces. The indicated result is attained by that at formation of the microrelief on the polymeric films surfaces deposit at least on one of the sides of the polymeric film the coating out of the material, which is more rigid, than the polymer of the film with the subsequent effect on the film. In the capacity of the film use the biaxially oriented film, and the effect on it includes the serial fixation of the film dimension at least in one arbitrary selected direction and the annealing of the fixed film in the temperature interval from the temperature of the biaxial orientation of the film up to the melting point of the film polymer. At that they after the annealing conduct removal of the coating from the film surface.
EFFECT: invention ensures simplification of the method of formation of the microrelief on the polymeric films surfaces.
2 dwg, 2 ex

Description

Изобретение относится к области получения полимерных пленок (Пл) с микрорельефом на поверхности, которые могут быть использованы, например, в качестве элементов оптоэлектронных приборов и систем отображения информации, например дисплеев.The invention relates to the field of production of polymer films (Pl) with a microrelief on the surface, which can be used, for example, as elements of optoelectronic devices and information display systems, such as displays.

Известен способ создания микрорельефа на поверхности полимерных Пл путем натирания поверхности полимерной Пл шероховатой твердой поверхностью [В.В.Беляев. Применение подложек с различными микрорельефами поверхности в оптоэлектронике и устройствах отображения информации. Оптический журнал. 2005. Т.72. №9. с.79-85].A known method of creating a microrelief on the surface of a polymer Pl by rubbing the surface of a polymer Pl with a rough solid surface [V.V. Belyaev. The use of substrates with various surface microreliefs in optoelectronics and information display devices. Optical Magazine. 2005.V. 72. No. 9. p. 79-85].

Недостатком указанного способа является нерегулярность получаемого микрорельефа, отсутствие у него нужной периодичности и глубины, а также недостаточная воспроизводимость получаемого микрорельефа.The disadvantage of this method is the irregularity of the obtained microrelief, the lack of the desired periodicity and depth, as well as the lack of reproducibility of the obtained microrelief.

Известен способ создания микрорельефа на поверхности полимерных Пл с помощью металлического шаблона, полученного с использованием специальных станков с программным управлением, которые с помощью тончайшего алмазного резца наносят на поверхность шаблона миллионы сканов [Yamada F., Hellermark С., Taira Y. A development of diamond cutting and 2P replication process for direct view LCDs. Proc. 1st Int. Display Manufacturing Conf. IDMC 2000. Seoul. 2000. P.261-264].A known method of creating a microrelief on the surface of polymer Pl using a metal template obtained using special machines with programmed control, which with the help of the finest diamond cutter are applied to the surface of the template millions of scans [Yamada F., Hellermark C., Taira Y. A development of diamond cutting and 2P replication process for direct view LCDs. Proc. 1 st Int. Display Manufacturing Conf. IDMC 2000. Seoul. 2000. P.261-264].

Недостатком данного способа является его высокая трудоемкость и, как результат, высокая стоимость работ по изготовлению как шаблона с микрорельефом, так и самой Пл.The disadvantage of this method is its high complexity and, as a result, the high cost of manufacturing both a template with a microrelief and the Pl.

Наиболее близким к заявляемому является известный способ создания микрорельефа на поверхности полимерных Пл путем нанесения по крайней мере на одну из сторон Пл покрытия из вещества, более жесткого, чем полимер Пл, с последующим воздействием на Пл, заключающимся в одноосном растяжении Пл на величину от 1 до 800% [А.Л.Волынский, С.Л.Баженов, Н.Ф.Бакеев. Структурно-механические аспекты деформации систем "твердое покрытие на податливом основании" Рос. Хим. ж. (Журн. Рос. Хим. о-ва им. Д.И.Менделеева) т.42, №3, с.57-68, 1998] - прототип.Closest to the claimed is a known method of creating a microrelief on the surface of polymer Pl by applying at least one of the sides of the Pl coating of a substance harder than the polymer Pl, with subsequent exposure to Pl, which consists in uniaxial stretching of Pl by 1 to 800% [A.L. Volynsky, S.L. Bazhenov, N.F. Bakeev. Structural and mechanical aspects of the deformation of systems "hard coating on a flexible base" Ros. Chem. g. (Zh. Ross. Chem. Islands named after D.I. Mendeleev) v. 42, No. 3, pp. 57-68, 1998] - prototype.

Недостатком данного способа является его трудоемкость, обусловленная необходимостью использования оборудования для растяжения Пл после нанесения на нее покрытия.The disadvantage of this method is its complexity, due to the need to use equipment for stretching Pl after coating it.

Техническая задача изобретения заключается в упрощении способа создания микрорельефа на поверхности полимерных Пл.The technical task of the invention is to simplify the method of creating a microrelief on the surface of polymer Pl.

Указанный технический результат достигается тем, что в известном способе создания микрорельефа на поверхности полимерных Пл путем нанесения по крайней мере на одну из сторон Пл покрытия из вещества, более жесткого, чем полимер Пл, с последующим воздействием на Пл, в качестве Пл используют двухосно ориентированную Пл, а воздействие включает последовательную фиксацию размера Пл по крайней мере в одном произвольно выбранном направлении и отжиг зафиксированной Пл в температурном интервале от температуры двухосной ориентации Пл до температуры плавления полимера Пл, причем после отжига проводят удаление покрытия с поверхности пленки.The specified technical result is achieved by the fact that in the known method of creating a microrelief on the surface of polymer Pl by applying at least one of the sides of Pl a coating of a substance harder than the polymer Pl, with subsequent exposure to Pl, biaxially oriented Pl is used as Pl , and the action involves sequentially fixing the size of Pl in at least one arbitrarily chosen direction and annealing the fixed Pl in the temperature range from the temperature of the biaxial orientation of Pl to the temperature urs Pl melting polymer, wherein the annealing is carried out after removal of the coating from the film surface.

В качестве полимерной Пл в предложенном способе могут быть использованы любые двухосно ориентированные Пл из различных полимеров, например из полипропилена (ПЭТФ), полиэтилентерефталата (ПЭТФ) и т.д. При этом средневесовую молекулярную массу Mw полимера можно варьировать в широких пределах, например от 10000 до нескольких миллионов.As the polymer Pl in the proposed method, any biaxially oriented Pl from various polymers, for example, polypropylene (PET), polyethylene terephthalate (PET), etc. can be used. In this case, the weight average molecular weight Mw of the polymer can be varied over a wide range, for example, from 10,000 to several million.

Необходимость использования двухосно ориентированных Пл связана с тем, что как для неориентированных Пл, так и для Пл, подвергнутых одноосной ориентации, после нанесения на них покрытия, более жесткого, чем полимер Пл, фиксации размера Пл по крайней мере в одном произвольно выбранном направлении и отжига зафиксированной Пл в температурном интервале от температуры двухосной ориентации Пл до температуры плавления полимера Пл создать микрорельеф на поверхности Пл не удается.The necessity of using biaxially oriented Pl is related to the fact that both for non-oriented Pl and Pl subjected to uniaxial orientation, after coating them with a coating that is more rigid than polymer Pl, fixing the Pl size in at least one arbitrarily chosen direction and annealing fixed Pl in the temperature range from the temperature of the biaxial orientation of Pl to the melting temperature of the polymer Pl to create a microrelief on the surface of Pl is not possible.

Двухосно ориентированные Пл, а также двухосно ориентированные Пл с нанесенным по крайней мере на одну из сторон покрытием из вещества, более жесткого, чем полимер Пл (в частности из металла), в больших количествах выпускаются в промышленности и используются, например, для упаковки цветов, пищевых продуктов, в полиграфии и т.д. Толщина исходной Пл, а также геометрические размеры исходной Пл могут быть любыми. В качестве вещества для нанесения покрытия, более жесткого, чем полимер Пл, можно использовать, например, металлы, оксиды, соли и т.д. При нанесении по крайней мере на одну из сторон Пл покрытия с жесткостью меньшей или равной жесткости полимера Пл получить микрорельеф на поверхности Пл не удается.Biaxially oriented Pl, as well as biaxially oriented Pl with a coating of at least one side of a substance that is harder than polymer Pl (in particular metal), are produced in large quantities in industry and are used, for example, for packing flowers, food, printing, etc. The thickness of the original Pl, as well as the geometric dimensions of the original Pl can be any. As a substance for coating, more rigid than the polymer Pl, you can use, for example, metals, oxides, salts, etc. When applying at least one of the sides of the Pl coating with a hardness of less than or equal to the hardness of the polymer Pl, it is not possible to obtain a microrelief on the surface of Pl.

Создавать покрытие из вещества более жесткого, чем полимер Пл, можно известными способами, например термическим или ионно-плазменным напылением, а также химической модификацией поверхности Пл. При этом толщину наносимого покрытия можно варьировать в широких пределах от 1 до 100 нанометров (нм). Наносить покрытие можно как на одну, так и на обе стороны Пл.To create a coating of a substance harder than the polymer Pl, it is possible by known methods, for example, by thermal or ion-plasma spraying, as well as by chemical modification of the surface of Pl. Moreover, the thickness of the applied coating can vary over a wide range from 1 to 100 nanometers (nm). It is possible to apply coating both on one and on both sides of the Pl.

Параметры микрорельефа на поверхности получаемой Пл (период и амплитуду складок) можно варьировать в широких пределах, изменяя толщину покрытия, а также температуру и продолжительность отжига.The parameters of the microrelief on the surface of the obtained Pl (the period and amplitude of the folds) can be varied within wide limits, changing the thickness of the coating, as well as the temperature and duration of annealing.

Проведение перед отжигом Пл фиксации размеров Пл по крайней мере в одном произвольно выбранном направлении является обязательным, т.к. без выполнения этого требования создать ориентированный на поверхности Пл микрорельеф не удается.Fixation of the dimensions of the Pl in at least one randomly selected direction before annealing Pl is mandatory, since without fulfilling this requirement, it is not possible to create a microrelief oriented on the surface of Pl.

Необходимость проведения отжига зафиксированной Пл при любой температуре, находящейся в температурном интервале от температуры двухосной ориентации Пл до температуры плавления полимера Пл, обусловлена тем, что только в этих условиях в процессе отжига удается создать микрорельеф на поверхности Пл. При проведении отжига Пл при температуре ниже температуры двухосной ориентации Пл микрорельеф на поверхности Пл не образуется. Продолжительность отжига можно варьировать в широких пределах, например от нескольких секунд до нескольких часов в зависимости от температуры отжига.The necessity of annealing the fixed Pl at any temperature in the temperature range from the biaxial orientation temperature Pl to the melting temperature of the Pl polymer is due to the fact that only under these conditions it is possible to create a microrelief on the Pl surface during annealing. When annealing Pl at a temperature below the biaxial orientation temperature Pl, the microrelief on the surface Pl is not formed. The duration of annealing can vary widely, for example, from a few seconds to several hours, depending on the temperature of the annealing.

Пл с предварительно нанесенным по крайней мере на одну из сторон покрытием и микрорельефом на поверхности могут быть использованы, например, в качестве отражательных элементов в оптоэлектронике. Кроме того, покрытие с поверхности Пл можно затем удалить. После удаления покрытия с поверхности Пл созданный на ней микрорельеф полностью сохраняется.Pl with a coating previously applied on at least one of the sides and a microrelief on the surface can be used, for example, as reflective elements in optoelectronics. In addition, the coating from the surface of Pl can then be removed. After removing the coating from the surface of Pl, the microrelief created on it is completely preserved.

Удалять покрытие с поверхности Пл можно различными известными способами. Например, если покрытие из металла, то Пл можно обработать водным раствором кислоты. Если покрытие из оксида, например, из SiO3, можно обработать Пл водным раствором щелочи при нагревании. Покрытие из солей можно растворить в воде. Удалять нанесенное покрытие с поверхности Пл можно как для Пл, находящихся с фиксированными размерами по крайней мере по одному произвольно выбранному направлению, так и для Пл, находящихся в свободном состоянии.You can remove the coating from the surface of the Pl by various known methods. For example, if the coating is metal, then Pl can be treated with an aqueous acid solution. If the coating is from an oxide, for example, from SiO 3 , it is possible to treat Pl with an aqueous alkali solution with heating. The salt coating can be dissolved in water. It is possible to remove the applied coating from the surface of Pl both for Pl, which are with fixed dimensions in at least one arbitrarily chosen direction, and for Pl, which are in a free state.

Преимущества предлагаемого способа поясняют следующие примеры.The advantages of the proposed method are illustrated by the following examples.

Пример 1.Example 1

На двухосно ориентированную Пл из ПЭТФ с MW=23000 толщиной 25 мкм, в процессе ее изготовления подвергнутую двухосной ориентации при 150°С, наносят на обе стороны покрытие из цинка толщиной 20 нм путем напыления в вакууме, затем размер Пл фиксируют в одном произвольно выбранном направлении путем закрепления концов Пл в зажимах. Зафиксированную Пл подвергают отжигу при 200°С в течение 20 мин, что на 50°С выше температуры ее двухосной ориентации, затем полученную Пл извлекают из зажимов и в свободном состоянии помещают на 15 мин в 10%-ный раствор соляной кислоты, что приводит к полному удалению покрытия из цинка с поверхности Пл. Полученную Пл промывают водой и сушат на воздухе в течение 30 мин. Получают прозрачную Пл с микрорельефом на каждой из сторон Пл. Сканирующая электронная микрофотография такой Пл представлена на фиг.1 (увеличение 1500 раз). Более светлый тон на фото соответствует гребням волн микрорельефа на поверхности Пл.A biaxially oriented PET plastic plate with M W = 23000 25 μm thick, subjected to biaxial orientation at 150 ° C during its manufacturing, is coated on both sides with a 20 nm thick zinc coating by spraying in vacuum, then the size of the PL is fixed in one randomly selected direction by securing the ends of Pl in the clamps. The fixed Pl is subjected to annealing at 200 ° С for 20 min, which is 50 ° С higher than the temperature of its biaxial orientation, then the obtained Pl is removed from the clamps and placed in a free state for 15 min in a 10% hydrochloric acid solution, which leads to complete removal of the coating from zinc from the surface of Pl. The obtained Pl is washed with water and dried in air for 30 minutes. Get a transparent Pl with a microrelief on each side of Pl. A scanning electron micrograph of such a PL is shown in FIG. 1 (magnification of 1500 times). The lighter tone in the photo corresponds to the crests of the microrelief waves on the surface of Pl.

Пример 2.Example 2

На одну из сторон двухосно ориентированной Пл из ПП с МW=200000 толщиной 30 мкм, в процессе ее изготовления подвергнутую двухосной ориентации при 130°С, наносят покрытие из SiO2 путем напыления SiO2 в вакууме, затем размер Пл фиксируют в одном произвольно выбранном направлении путем закрепления концов Пл в зажимах. Зафиксированную Пл подвергают отжигу при 150°С в течение 20 мин, что на 20°С выше температуры ее двухосной ориентации, затем полученную Пл извлекают из зажимов и в свободном состоянии помещают на 10 мин в нагретый до 40°С 10%-ный раствор едкого натра, что приводит к полному удалению нанесенного на поверхность Пл покрытия из SiO2, после чего Пл промывают водой, извлекают из зажимов и сушат в течение 30 мин на воздухе. Получают прозрачную Пл с нанесенным микрорельефом на каждой из сторон Пл. Сканирующая электронная микрофотография такой Пл показана на фиг.2 (увеличение 200 раз).On one side of a biaxially oriented PP plane with M W = 200000 30 μm thick, subjected to biaxial orientation at 130 ° C during its manufacture, a SiO 2 coating is deposited by spraying SiO 2 in vacuum, then the size of the Pl is fixed in one randomly selected direction by securing the ends of Pl in the clamps. The fixed Pl is annealed at 150 ° C for 20 min, which is 20 ° C higher than its biaxial orientation temperature, then the obtained Pl is removed from the clamps and placed in a free state for 10 min in a 10% caustic solution heated to 40 ° C sodium, which leads to the complete removal of the SiO 2 coating deposited on the surface of the Pl, after which the Pl is washed with water, removed from the clamps and dried for 30 minutes in air. Get a transparent Pl with a microrelief on each side of the Pl. A scanning electron micrograph of such a PL is shown in FIG. 2 (magnification 200 times).

Claims (1)

Способ создания микрорельефа на поверхности полимерных пленок путем нанесения по крайней мере на одну из сторон пленки покрытия из вещества, более жесткого, чем полимер пленки, с последующим воздействием на пленку, отличающийся тем, что в качестве пленки используют двухосно-ориентированную пленку, а воздействие включает последовательную фиксацию размера пленки по крайней мере в одном произвольно выбранном направлении и отжиг зафиксированной пленки в температурном интервале от температуры двухосной ориентации пленки до температуры плавления полимера пленки, причем после отжига проводят удаление покрытия с поверхности пленки.A method of creating a microrelief on the surface of polymer films by applying at least one side of a coating film of a substance that is harder than the polymer film, followed by exposure to the film, characterized in that a biaxially oriented film is used as the film, and the exposure includes sequential fixation of the film size in at least one arbitrarily chosen direction and annealing of the fixed film in the temperature range from the temperature of the biaxial orientation of the film to the temperature The pressure of the polymer film, wherein the annealing is carried out after removal of the coating from the film surface.
RU2006110811/12A 2006-04-04 2006-04-04 Method of formation of the microrelief on the polymeric films surfaces RU2319556C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006110811/12A RU2319556C2 (en) 2006-04-04 2006-04-04 Method of formation of the microrelief on the polymeric films surfaces

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006110811/12A RU2319556C2 (en) 2006-04-04 2006-04-04 Method of formation of the microrelief on the polymeric films surfaces

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2319556C2 true RU2319556C2 (en) 2008-03-20

Family

ID=39279945

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006110811/12A RU2319556C2 (en) 2006-04-04 2006-04-04 Method of formation of the microrelief on the polymeric films surfaces

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2319556C2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2411258C2 (en) * 2009-01-19 2011-02-10 Александр Львович Волынский Method of forming microrelief on surface of polymer articles (versions)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2037426C1 (en) * 1987-10-15 1995-06-19 Карнауд Металбокс ПЛС Method for production of multilayered material
US5538674A (en) * 1993-11-19 1996-07-23 Donnelly Corporation Method for reproducing holograms, kinoforms, diffractive optical elements and microstructures
RU2142165C1 (en) * 1995-03-02 1999-11-27 Де Ля Рю Интернэшнл Лимитед Protection seal which displays manipulations
KR20010045151A (en) * 1999-11-03 2001-06-05 구광시 Dry-film photoresist
RU2205757C2 (en) * 1997-09-15 2003-06-10 Кимберли-Кларк Ворлдвайд, Инк Breathing liquidproof composite material

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2037426C1 (en) * 1987-10-15 1995-06-19 Карнауд Металбокс ПЛС Method for production of multilayered material
US5538674A (en) * 1993-11-19 1996-07-23 Donnelly Corporation Method for reproducing holograms, kinoforms, diffractive optical elements and microstructures
RU2142165C1 (en) * 1995-03-02 1999-11-27 Де Ля Рю Интернэшнл Лимитед Protection seal which displays manipulations
RU2205757C2 (en) * 1997-09-15 2003-06-10 Кимберли-Кларк Ворлдвайд, Инк Breathing liquidproof composite material
KR20010045151A (en) * 1999-11-03 2001-06-05 구광시 Dry-film photoresist

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ВОЛЫНСКИЙ А.Л. и др. Структурно-механические аспекты деформации систем «твердое покрытие на податливом основании» РХЖ, т.42, №3, с.57-68, 1998. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2411258C2 (en) * 2009-01-19 2011-02-10 Александр Львович Волынский Method of forming microrelief on surface of polymer articles (versions)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8460785B2 (en) Wrinkle-free nanomechanical film
US20070065636A1 (en) Article having a birefringent surface and microstructured features having a variable pitch or angles and process for making the article
JPS6147237A (en) Method aand device for continuously embossing precision optical pattern
JP4275691B2 (en) Manufacturing method of wire grid polarizing plate
AU604537B2 (en) Process for the surface modification of semicrystalline polymers
Ferrarese Lupi et al. High aspect ratio PS-b-PMMA block copolymer masks for lithographic applications
ATE354608T1 (en) METHOD FOR PRODUCING A MATERIAL FOR EYECULAR LENSES WITH A HYDROPHILE SURFACE
TW201636645A (en) Antifogging and antifouling laminate, method for producing the laminate, product, method for producing the product, and antifouling method
TWI649199B (en) Transparent laminate
JP5205186B2 (en) Laminate storage method
RU2005121988A (en) METHOD FOR MANUFACTURING THE LATTICE OF OPTICAL ELEMENTS (OPTIONS) CONTAINING ITS PRODUCT AND METHOD FOR ITS MANUFACTURE
KR20030022713A (en) Film
ATE498141T1 (en) METHOD AND TOOL FOR PRODUCING TRANSPARENT OPTICAL ELEMENTS FROM POLYMERIC MATERIALS
RU2319556C2 (en) Method of formation of the microrelief on the polymeric films surfaces
DE60226069D1 (en) METHOD FOR MODIFYING A POLYMER SURFACE
ATE348853T1 (en) IMPROVED METHOD FOR MODIFYING A POLYMER SURFACE
RU2319557C2 (en) Method of formation of micropattern on polymeric films surfaces (versions)
JPH04183873A (en) Electroless plating method to high-polymer molding by using ultraviolet laser
CA2978364C (en) Method and apparatus for producing a high aspect ratio nanostructured foil by extrusion coating or extrusion casting
González-Henríquez et al. Strategies for the fabrication of wrinkled polymer surfaces
CN107923994B (en) Functional Film Laminates
EP0287216A1 (en) Surface modification of semicrystalline polymers
KR102217103B1 (en) Method for preparing hierarchical surface and method for fabricating elastic polymer film having hierarchical surface patterns by using the same
EP0233708A3 (en) Coated substrates
CN101087683A (en) Method of making a structured surface article

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20080405