RU2315710C2 - Method of the pyrolytic sealing of the bands made out of the graphitic metal paper - Google Patents
Method of the pyrolytic sealing of the bands made out of the graphitic metal paper Download PDFInfo
- Publication number
- RU2315710C2 RU2315710C2 RU2006106195/15A RU2006106195A RU2315710C2 RU 2315710 C2 RU2315710 C2 RU 2315710C2 RU 2006106195/15 A RU2006106195/15 A RU 2006106195/15A RU 2006106195 A RU2006106195 A RU 2006106195A RU 2315710 C2 RU2315710 C2 RU 2315710C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- graphitic
- tape
- sealing
- made out
- metal paper
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims abstract description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 title abstract 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 25
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims abstract description 22
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 claims abstract description 10
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 26
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 claims description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 7
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 claims description 5
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 claims description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 125000001183 hydrocarbyl group Chemical group 0.000 abstract 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical group C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 5
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 3
- 239000002932 luster Substances 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 3
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 229910021384 soft carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области получения пироуглеродных покрытий, предотвращающих пропитку графитовой фольги расплавом кремния при выращивании на ней поликристалллических слоев кремния, и может быть использовано для изготовления непроницаемых для расплава кремния графитовых лент, используемых в электротехнической промышленности в качестве подложек, на которых выращивают из расплава листовой кремний, применяемый для изготовления элементов солнечных батарей.The invention relates to the field of producing pyrocarbon coatings that prevent the impregnation of graphite foil with a silicon melt when growing polycrystalline silicon layers on it, and can be used to make graphite tapes impermeable to silicon melt, used in the electrical industry as substrates on which silicon sheet is grown from a melt used for the manufacture of solar cells.
Известен способ получения слоев пирографита на поверхности углеродных изделий, включающий схему нагрева внешним нагревателем покрываемых изделий в среде углеводородов (Фиалков А.С., Бавер А.И., Сидоров Н.М., Чайкун М.И. Пирографит. «Успехи химии», 1965, т.34, №1, с.132-153).A known method of producing layers of pyrographite on the surface of carbon products, including a scheme for heating an external heater of coated products in a hydrocarbon medium (Fialkov A.S., Baver A.I., Sidorov N.M., Chaykun M.I. Pyrographite. "Successes in chemistry" , 1965, t. 34, No. 1, pp. 132-153).
К недостаткам известного способа можно отнести преимущественное осаждение пирографита на внешнем нагревателе и подвод к поверхности обрабатываемого изделия реакционных продуктов разложения исходного углеводорода, что снижает качество получаемых покрытий.The disadvantages of this method include the predominant deposition of pyrographite on an external heater and the supply to the surface of the workpiece reaction products of decomposition of the original hydrocarbon, which reduces the quality of the resulting coatings.
Другим недостатком является повышенный расход электроэнергии, связанный с необходимостью значительного перегрева внешнего нагревателя относительно обрабатываемых изделий.Another disadvantage is the increased energy consumption associated with the need for significant overheating of the external heater relative to the processed products.
Еще одним недостатком известного способа является необходимость частой замены нагревателей из-за их растрескивания после пропитки пироуглеродом.Another disadvantage of this method is the need for frequent replacement of heaters due to their cracking after impregnation with pyrocarbon.
Известен способ получения слоев пирографита на поверхности гибкой графитовой фольги, включающий нагрев исходной ленты и термическое разложение метана на ее поверхности при температуре 2200°С (Belouet С. Growth of silicon ribbons by the RAD process. «J.Crystal Growth», 1987, v.82, №1/2, p.110-116).A known method of producing layers of pyrographite on the surface of a flexible graphite foil, including heating the original tape and thermal decomposition of methane on its surface at a temperature of 2200 ° C (Belouet C. Growth of silicon ribbons by the RAD process. "J. Crystal Growth", 1987, v .82, No. 1/2, p. 110-116).
Недостатком данного способа является то, что осаждение пироуглерода на смотанную в рулон ленту фольги приводит к дополнительному расходу электроэнергии. После пироуплотнения лента фольги становится жесткой и плохо сматывается, с трудом поддается натяжению, обеспечивающему хорошую плоскостность в процессе выращивания слоев кремния.The disadvantage of this method is that the deposition of pyrocarbon on a foil tape wound into a roll leads to additional energy consumption. After pyro-sealing, the foil tape becomes stiff and poorly wound, it is difficult to tension, providing good flatness in the process of growing silicon layers.
Другим недостатком способа-прототипа является значительный расход электроэнергии, связанный с использованием схемы нагрева внешним нагревателем.Another disadvantage of the prototype method is the significant energy consumption associated with the use of an external heater heating circuit.
Вышеприведенный способ пиролитического уплотнения лент из графитовой фольги наиболее близок по технической сущности к заявляемому способу, поэтому выбран в качестве прототипа.The above method of pyrolytic sealing of ribbons of graphite foil is the closest in technical essence to the claimed method, therefore, is selected as a prototype.
Технический результат, получаемый при осуществлении настоящего способа, выражается в повышении качества пиролитического уплотнения лент из графитовой фольги за счет эффективного перекрытия пор на ее поверхности и одновременном снижении удельного расхода электроэнергии.The technical result obtained by the implementation of this method is expressed in improving the quality of the pyrolytic sealing of graphite foil tapes due to the effective overlapping of pores on its surface and at the same time reducing the specific energy consumption.
Для достижения названного технического результата в предлагаемом способе, включающем нагрев ленты из графитовой фольги и термическое разложение углеводородного реагента на поверхности ленты, нагрев осуществляется пропусканием электрического тока через участок ленты, проходящий между двумя графитовыми электродами и прижимными элементами, причем температуру нагретого участка поддерживают в пределах 1800-2000°С, а давление углеводородного реагента - от 8 до 50 мм рт.ст.To achieve the named technical result in the proposed method, which includes heating a graphite foil tape and thermal decomposition of a hydrocarbon reagent on the surface of the tape, heating is carried out by passing an electric current through a section of tape passing between two graphite electrodes and pressure elements, the temperature of the heated section being kept within 1800 -2000 ° C, and the pressure of the hydrocarbon reagent is from 8 to 50 mm Hg
В предлагаемом способе лента графитовой фольги перематывается с одной электроизолированной бобины на другую, в промежутке между бобинами перематываемая лента контактирует с горизонтально размещенными графитовыми электродами. Для улучшения электрического контакта между электродами и лентой используется прижимные элементы - щетки, состоящие из графитового каркаса и слоя мягкого углеродного войлока.In the proposed method, the graphite foil tape is rewound from one electrically insulated bobbin to another, in the interval between the bobbins the rewound tape is in contact with horizontally placed graphite electrodes. To improve the electrical contact between the electrodes and the tape, clamping elements are used - brushes, consisting of a graphite frame and a layer of soft carbon felt.
Схема практического осуществления заявляемого способа иллюстрируется чертежами, представленными на фиг.1 и 2.The practical implementation of the proposed method is illustrated by the drawings, presented in figures 1 and 2.
В вакуумноплотной водоохлаждаемой камере 1 размещены две электрически изолированные от корпуса камеры бобины: пассивная 2, на которой намотана фольга, и активная 3, на которую наматывается уплотненная пирографитом фольга. Бобина 3 снабжена механизмом ее вращения (на чертеже не показан). В промежутке между бобинами 2 и 3 размещены два графитовых электрода 4 и 5, между которыми подается постоянное либо переменное напряжение U. Для улучшения электрического контакта между фольгой и электродами используются прижимные щетки 6 и 7, состоящие из графитового каркаса и слоя мягкого углеродного войлока 8. В камеру 1 непрерывно подается метан CH4 через штуцер 9. После пиролиза метана на поверхности нагретой до 1800-2000°С фольги реакционные продукты выводятся вакуумным насосом 10 и дожигаются на горелке 11.In the vacuum-tight water-cooled chamber 1 there are two bobbins that are electrically isolated from the chamber body: passive 2, on which the foil is wound, and active 3, on which the foil sealed with pyrographite is wound. The reel 3 is equipped with a mechanism for its rotation (not shown in the drawing). Two
Пример 1. Уплотняют пироуглеродом ленту из графитовой фольги средней плотностью 1, 2 г/см3, толщиной 0,2 мм, шириной 12 см и длиной 800 см. Намотанную на пассивную бобину 2 ленту пропускают через пару графитовых электродов 4 и 5 диаметром 45 мм каждый и направляют на активную бобину 3. Герметично закрыв вакуумноплотную водоохлаждаемую камеру 1, откачивают ее вакуумным насосом 10 до давления 0,1 мм рт.ст. Через штуцер 9 подают метан, а на горелке 11 выходной магистрали вакуумного насоса 10 зажигают факел. Затем с помощью регулируемого вентиля устанавливают давление метана 15 мм рт.ст. Включают электропривод вращения активной бобины 3, установив линейную скорость перемещения ленты 10 см/мин. На графитовые электроды 4 и 5 подают напряжение от источника тока, измеряя температуру нагреваемого участка ленты с помощью радиационного пирометра. При токе 370 А и напряжении 17 В температура ленты составляет 1800°С, в дальнейшем ее не изменяют.Example 1. Seal pyrocarbon tape of graphite foil with an average density of 1, 2 g / cm 3 , a thickness of 0.2 mm, a width of 12 cm and a length of 800 cm. A tape wound on a passive bobbin 2 is passed through a pair of
Через 1, 2 ч после выработки выключают электропривод вращения активной бобины 3 и источник напряжения, а также перекрывают подачу газа. После вскрытия камеры 1 извлекают покрытую на длине 720 см пироуглеродом ленту. Визуально осадок имеет металлический блеск, гидростатическое взвешивание показывает, что содержание пироуглерода в материале ленты составляет 12%. Толщина слоя пироуглерода достигает 7 мкм. Наблюдается выравнивание поверхности ленты по сравнению с исходной. Расход силовой электроэнергии составил 7, 6 кВт·ч или 0,00088 кВт·ч на 1 см2 ленты фольги.After 1, 2 hours after generation, the electric drive of rotation of the active reel 3 and the voltage source are turned off, and the gas supply is also shut off. After opening the chamber 1, a tape coated with a length of 720 cm is removed with pyrocarbon. Visually, the precipitate has a metallic luster, hydrostatic weighing shows that the content of pyrocarbon in the tape material is 12%. The pyrocarbon layer thickness reaches 7 microns. The alignment of the surface of the tape compared with the original. The consumption of power electricity amounted to 7.6 kWh or 0.00088 kWh per 1 cm 2 of foil tape.
Пример 2. То же, что и в примере 1, но давление метана в реакционной камере поддерживали на уровне 7,5 мм рт.ст. После извлечения ленты фольги осадок пироуглерода визуально не наблюдался. Гидростатическое взвешивание образца фольги в пределах точности измерения привеса не показало.Example 2. The same as in example 1, but the methane pressure in the reaction chamber was maintained at 7.5 mm RT.article. After removing the foil tape, a pyrocarbon precipitate was not visually observed. Hydrostatic weighing of the foil sample within the accuracy of the measurement of the gain did not show.
Пример 3. То же, что и в примере 1, но давление метана в реакционной камере поддерживали на уровне 55 мм рт.ст. Поверхность фольги не имеет металлического блеска и покрыта плотным слоем сажи. Привес составил 15,5%.Example 3. The same as in example 1, but the methane pressure in the reaction chamber was maintained at 55 mm RT.article. The surface of the foil has no metallic luster and is covered with a dense layer of soot. The gain amounted to 15.5%.
Пример 4. Уплотняют пироуглеродом ленту из графитовой фольги средней плотностью 1,2 г/см3, толщиной 0,2 мм, шириной 12 см и длиной 850 см. Намотанную на пассивную бобину 2 ленту пропускают через пару графитовых электродов 4 и 5 диаметром 45 мм каждый и направляют на активную бобину 3. Герметично закрыв вакуумноплотную водоохлаждаемую камеру 1, откачивают ее вакуумным насосом 10 до давления 0,1 мм рт.ст. Через штуцер 9 подают метан, а на горелке 11 выходной магистрали вакуумного насоса 10 зажигают факел. Затем с помощью регулируемого вентиля устанавливают давление метана 21 мм рт.ст. Включают электропривод вращения активной бобины 3, установив линейную скорость перемещения ленты 10 см/мин. На графитовые электроды 4 и 5 подают напряжение от источника тока, измеряя температуру нагреваемого участка ленты с помощью радиационного пирометра. При токе 420 А температура ленты составляет 2000°С, в дальнейшем ее не изменяют.Example 4. Seal with pyrocarbon tape of graphite foil with an average density of 1.2 g / cm 3 , a thickness of 0.2 mm, a width of 12 cm and a length of 850 cm. A tape wound on a passive bobbin 2 is passed through a pair of
Через 1, 3 ч после выработки выключают электропривод вращения активной бобины 3 и источник напряжения, а также перекрывают подачу газа. После вскрытия камеры 1 извлекают покрытую на длине 740 см пироуглеродом ленту. Визуально осадок имеет металлический блеск, гидростатическое взвешивание показывает, что содержание пироуглерода в материале ленты составляет 15%. В этом случае толщина слоя пироуглерода составляет 9 мкм. Наблюдается выравнивание поверхности ленты по сравнению с исходной. Расход силовой электроэнергии составил 9,3 кВт·ч или 0,001 кВт·ч на 1 см2 ленты фольги.After 1, 3 hours after development, the electric drive of rotation of the active reel 3 and the voltage source are turned off, and the gas supply is also shut off. After opening the chamber 1, the tape coated at a length of 740 cm is removed with pyrocarbon. Visually, the precipitate has a metallic luster, hydrostatic weighing shows that the content of pyrocarbon in the tape material is 15%. In this case, the pyrocarbon layer thickness is 9 μm. The alignment of the surface of the tape compared with the original. The consumption of power electricity was 9.3 kWh or 0.001 kWh per 1 cm 2 of foil tape.
Пример 5.Example 5
Лента углеродной фольги плотностью 1,2 г/см3, толщиной 0,2 мм и длиной 12 м, смотанная в рулон, была размещена внутри цилиндрического графитового нагревателя диаметром 120 мм. После выхода на температуру 2100°С в течение 3,5 часов в реакционный объем подавался метан. Толщина слоя пироуглерода в среднем достигла 6 мкм, но лента фольги приняла форму спирали и использовать ее в кристаллизационном процессе стало практически невозможно. Расход электроэнергии составил 122,5 кВт·ч или 0,0085 кВт·ч на 1 см2 ленты фольги, что примерно в 10 раз больше, чем в примере 1.A carbon foil tape with a density of 1.2 g / cm 3 , a thickness of 0.2 mm and a length of 12 m, wound into a roll, was placed inside a cylindrical graphite heater with a diameter of 120 mm. After reaching a temperature of 2100 ° C for 3.5 hours, methane was fed into the reaction volume. The thickness of the pyrocarbon layer reached an average of 6 μm, but the foil tape took the form of a spiral and it was practically impossible to use it in the crystallization process. The power consumption was 122.5 kW · h or 0.0085 kW · h per 1 cm 2 of foil tape, which is about 10 times more than in example 1.
Если парциальное давление углеводородов ниже 8 мм рт.ст., то концентрации углерода в атмосфере камеры недостаточно для получения плотного слоя пироуглерода.If the partial pressure of hydrocarbons is below 8 mm Hg, then the carbon concentration in the atmosphere of the chamber is insufficient to obtain a dense layer of pyrocarbon.
Если поднять парциальное давление углеводородов на более чем 50 мм рт.ст., то на поверхности ленты фольги высаживается сажа, что в дальнейшем приводит к образованию микровключений карбида кремния и снижению эффективности солнечных элементов.If the partial pressure of hydrocarbons is increased by more than 50 mm Hg, soot is deposited on the surface of the foil tape, which subsequently leads to the formation of microinclusions of silicon carbide and a decrease in the efficiency of solar cells.
Если температура прогреваемого участка ленты фольги будет ниже 1800°С, то в указанном диапазоне давлений углеводородного реагента заметного осадка пироуглерода не возникнет.If the temperature of the heated portion of the foil tape is below 1800 ° C, then in the indicated pressure range of the hydrocarbon reagent no noticeable precipitate of pyrocarbon will occur.
При превышении температуры свыше 2000°С плотность осадка становится настолько высокой, что в дальнейшем поверхность ленты фольги перестает смачиваться расплавленным кремнием. Кроме того, лента становится крайне хрупкой. Увеличивается удельный расход электроэнергии.When the temperature exceeds 2000 ° C, the density of the precipitate becomes so high that in the future the surface of the foil tape is no longer wetted by molten silicon. In addition, the tape becomes extremely fragile. Specific energy consumption is increasing.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2006106195/15A RU2315710C2 (en) | 2006-03-01 | 2006-03-01 | Method of the pyrolytic sealing of the bands made out of the graphitic metal paper |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2006106195/15A RU2315710C2 (en) | 2006-03-01 | 2006-03-01 | Method of the pyrolytic sealing of the bands made out of the graphitic metal paper |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2006106195A RU2006106195A (en) | 2007-09-10 |
| RU2315710C2 true RU2315710C2 (en) | 2008-01-27 |
Family
ID=38597933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2006106195/15A RU2315710C2 (en) | 2006-03-01 | 2006-03-01 | Method of the pyrolytic sealing of the bands made out of the graphitic metal paper |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2315710C2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2366606C1 (en) * | 2008-06-07 | 2009-09-10 | Закрытое акционерное общество "Институт новых углеродных материалов и технологий" (ЗАО "ИНУМиТ") | Continuous pyrolytic saturation method of porous elongated material and device for realisation thereof |
| RU2373145C1 (en) * | 2008-08-13 | 2009-11-20 | Закрытое акционерное общество "Институт новых углеродных материалов и технологий" (ЗАО "ИНУМиТ") | Method of continuous pyrolytic saturation of porous elongated material |
| RU2429315C1 (en) * | 2010-03-12 | 2011-09-20 | Учреждение Российской академии наук ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ТВЕРДОГО ТЕЛА РАН (ИФТТ РАН) | Procedure for pyrolytic growth of nano-crystal layers of graphite |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3713865A (en) * | 1968-07-05 | 1973-01-30 | Ducommun Inc | Composite product and method of making same |
| US4901338A (en) * | 1987-08-03 | 1990-02-13 | Schwarzkopf Development Corporation | Rotary anode for X-ray tubes and method of manufacture |
| US5454990A (en) * | 1987-06-18 | 1995-10-03 | Aerospatiale Societe Nationale Industrielle | Process for the production of a part, particularly a carbon-carbon brake disk and to the part obtained |
-
2006
- 2006-03-01 RU RU2006106195/15A patent/RU2315710C2/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3713865A (en) * | 1968-07-05 | 1973-01-30 | Ducommun Inc | Composite product and method of making same |
| US5454990A (en) * | 1987-06-18 | 1995-10-03 | Aerospatiale Societe Nationale Industrielle | Process for the production of a part, particularly a carbon-carbon brake disk and to the part obtained |
| US4901338A (en) * | 1987-08-03 | 1990-02-13 | Schwarzkopf Development Corporation | Rotary anode for X-ray tubes and method of manufacture |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| BELOUET С., Growth of silicon ribbons by the RAD process, J. Cryst. Growth, 1987, v.82, №1/2, р.р.110-116. * |
| БУШУЕВ Ю.Г. и др., Углерод-углеродные композиционные материалы, Справочник, Москва, Металлургия, 1994, с.с.91-97. ФИАЛКОВ А.С., Углерод, межслоевые соединения и композиты на его основе, Москва, Аспект Пресс, 1997, с.с.361, 362, 458-460. * |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2366606C1 (en) * | 2008-06-07 | 2009-09-10 | Закрытое акционерное общество "Институт новых углеродных материалов и технологий" (ЗАО "ИНУМиТ") | Continuous pyrolytic saturation method of porous elongated material and device for realisation thereof |
| RU2373145C1 (en) * | 2008-08-13 | 2009-11-20 | Закрытое акционерное общество "Институт новых углеродных материалов и технологий" (ЗАО "ИНУМиТ") | Method of continuous pyrolytic saturation of porous elongated material |
| RU2429315C1 (en) * | 2010-03-12 | 2011-09-20 | Учреждение Российской академии наук ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ТВЕРДОГО ТЕЛА РАН (ИФТТ РАН) | Procedure for pyrolytic growth of nano-crystal layers of graphite |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2006106195A (en) | 2007-09-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2055673A1 (en) | Graphene sheet and method of preparing the same | |
| US4995341A (en) | Microwave plasma CVD apparatus for the formation of a large-area functional deposited film | |
| WO2016100115A1 (en) | Apparatus and method of manufacturing free standing cvd polycrystalline diamond films | |
| JP2004204299A (en) | Diamond film-deposition silicon and electrode | |
| US4410504A (en) | Method of producing high density carbon | |
| RU2315710C2 (en) | Method of the pyrolytic sealing of the bands made out of the graphitic metal paper | |
| JP6091336B2 (en) | Method for producing carbon nanotube | |
| Yarbrough et al. | Diamond deposition at low substrate temperatures | |
| CN119082695A (en) | Chemical Vapor Deposition Method | |
| RU71978U1 (en) | DEVICE FOR PYROLYTIC SEALING OF GRAPHITE FOIL TAPE | |
| JP2008056955A (en) | Carbon film forming method | |
| JPH02263789A (en) | Silicon substrate having diamond single crystalline film and its production | |
| RU2429315C1 (en) | Procedure for pyrolytic growth of nano-crystal layers of graphite | |
| US20220376130A1 (en) | Methods and apparatus for reducing as-depositedand metastable defects in amorphous silicon | |
| JP7688342B2 (en) | Plasma CVD apparatus and method for producing carbon nanomaterials | |
| JPH06224140A (en) | Manufacture of silicon laminate | |
| JP4165855B2 (en) | Thin film manufacturing method | |
| Andoh et al. | Characterization of high-quality a-SiC: H films prepared by hydrogen-radical CVD method | |
| CN222948468U (en) | Chemical Vapor Deposition Equipment | |
| JP2951798B2 (en) | Vapor phase growth equipment | |
| Nishio et al. | Reduction of the Defect Density in a-Si: H Deposited at≤ 250° C | |
| CN214244668U (en) | A kind of elastic air seal and large-scale preparation equipment of CVD deposition graphene | |
| JP2582765B2 (en) | Diamond production equipment | |
| JP2951769B2 (en) | Vapor phase growth equipment | |
| JPS58143589A (en) | silicon-based semiconductor |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20130302 |