RU2395369C2 - Способ получения мелкодисперсных порошков - Google Patents
Способ получения мелкодисперсных порошков Download PDFInfo
- Publication number
- RU2395369C2 RU2395369C2 RU2008138362/02A RU2008138362A RU2395369C2 RU 2395369 C2 RU2395369 C2 RU 2395369C2 RU 2008138362/02 A RU2008138362/02 A RU 2008138362/02A RU 2008138362 A RU2008138362 A RU 2008138362A RU 2395369 C2 RU2395369 C2 RU 2395369C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cathode
- metal
- arc discharge
- vacuum
- spot
- Prior art date
Links
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims abstract description 54
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 20
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 35
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 35
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 10
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 7
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 4
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 4
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 238000005272 metallurgy Methods 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 14
- 239000010406 cathode material Substances 0.000 description 11
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 10
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 8
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 7
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- 238000013461 design Methods 0.000 description 5
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 4
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 3
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 3
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 2
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000011133 lead Substances 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 2
- 238000011197 physicochemical method Methods 0.000 description 2
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 1
- -1 ferrous metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 238000005469 granulation Methods 0.000 description 1
- 230000003179 granulation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004663 powder metallurgy Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- 238000000844 transformation Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области получения порошков и может быть использовано для получения мелкодисперснных порошков заданных размеров. В предложенном способе создают вакуумно-дуговой разряд с использованием катода из металла получаемого порошка. Расплавляют металл катода в катодном пятне вакуумно-дугового разряда. Испаряют металл из катодного пятна и конденсируют испаренный металл на массивную охлаждаемую подложку. При этом испарение металла осуществляют при температуре катода, соответствующей границе перехода вакуумно-дугового разряда с интегрально-холодным катодом в дуговой разряд с горячим катодом. А температуру катодного пятна обеспечивают путем модуляции тока разряда импульсным источником питания, подключенным к катоду, имеющим индуктивную развязку с основным источником питания дуги. Обеспечивается получение качественного без наличия оксидной пленки порошка заданного размера. 1 ил.
Description
Изобретение относится к области получения порошков и может быть использовано для получения мелкодисперсных порошков заданных размеров.
На мировом рынке, включая такие страны как США, Китай, Республика Корея, Франция, Германия и ряд других, имеется устойчивый спрос на мелкодисперсные порошки и установки, их производящие. Данный спрос связан с широким распространением порошковой металлургии.
Условно все методы получения порошков делятся на механические и физико-химические. Механические методы обеспечивают превращение исходного материала в порошок без заметного изменения его химического состава. Для этого, чаще всего, используют измельчение твердых материалов в мельницах различных конструкций и диспергирования расплавов. К физико-химическим методам относят технологические процессы производства порошков, связанные с физико-химическими превращениями исходного сырья, в результате чего получаемый порошок по химическому составу существенно отличается от исходного материала.
К механическим методам получения порошков относят дробление и размол твердых материалов. В этом случае измельчение стружки, обрезков и компактных материалов проводят в шаровых, вихревых, молотковых и других мельницах, таким образом, получают порошки железа, меди, марганца, латуни, бронзы, хрома, алюминия, различных сталей и т.д. Измельчение материала может быть осуществлено дроблением, размолом или истиранием. Наиболее целесообразно применять механическое измельчение при производстве порошков хрупких металлов и сплавов, таких как кремний, бериллий, хром, сплавы алюминия с магния и др. Размол вязких пластичных металлов (цинк, алюминий, медь) затруднен, так как они в основном расплющиваются, а не разрушаются [Технология неорганических порошковых материалов и покрытий функционального назначения. Удалов Ю.П., Германский A.M., Жабреев В.А. и др. СПб., 2001, 428 с.]. Этим способом особенно сложно получать мелкодисперсные порошки (размером менее 50 мкм).
Грануляция расплава. Порошок образуется при сливании расплавленного металла в жидкость (например, в воду). Получают крупные порошки железа, меди, свинца, олова, цинка.
Обработка твердых (компактных) металлов резанием. При станочной обработке литых металлов или сплавов подбирают такой режим резания, который обеспечивает образование частиц, а не стружки. Таким образом, получают порошки стали, латуни, бронзы, магния, дисперсностью порядка 100 мкм.
К физико-химическим способам получения порошков можно отнести следующие: а - восстановление из оксидов или иных твердых соединений металлов; б - химическое восстановление различных соединений металлов из водных растворов; в - химическое восстановление газообразных соединений металлов [Низкотемпературная плазма. Т.12. Плазмохимический синтез ультрадисперсных порошков и их применение. Новосибирск: Наука, 1995, 344 с.].
Диспергирование расплава. В этом случае струю расплавленного металла диспергируют механическим способом (воздействием центробежных сил и др.) или действуя на нее потоком энергоносителя (газа или жидкости). Процесс характеризуется достаточно высокой производительностью, технологичностью, степенью автоматизации и сравнительно малыми (по отношению к методам размола) энергозатратами, экологически чистый. Промышленное производство порошков в нашей стране составляет в соотношении (4…5):1 в пользу распыленных порошков.
В настоящее время метод распыления широко используют для получения не только порошков железа, сталей и других сплавов на основе железа, но и порошков алюминия, меди, свинца, цинка, тугоплавких металлов (титана, вольфрама и др.), а также сплавов на основе этих цветных металлов.
В качестве примера реализации способа диспергирования из расплава для получения порошков может быть приведено устройство для получения металлических порошков [Заявка №2000123252 RU, МПК7 B22F 9/08, опубл. 2002.12.27].
Это устройство содержит металлоприемник, форсунку с кольцевой полостью подвода энергоносителя и двумя рабочими соплами, камеру распыления с охлаждающей жидкостью, отличающееся тем, что, с целью повышения эффективности диспергирования струи расплава и увеличения выхода мелкодисперсной фракции порошка, оно снабжено дополнительной форсункой цилиндрической формы с резьбовым концом у одного основания и внешним конусом у другого, которая соосно установлена в корпус и диафрагму рабочей форсунки с возможностью осевого перемещения, содержащая камеру распыления конической формы, критическое сечение и камеру параболической формы с радиальными отверстиями ввода энергоносителя, а металлоприемник в виде полого усеченного конуса размещен в параболической камере также с возможностью осевой регулировки и образует с критическим сечением кольцевое сопло, при этом форсунка герметично соединена с металлоприемником трубопроводом подвода расплава и закреплена к корпусу рабочей форсунки.
К основным недостаткам данного метода можно отнести то, что процесс протекает в средах, приводящих к образованию оксидной пленки на поверхности порошка.
Для преодоления данного недостатка в способе получения монодисперсных сферических гранул [Патент №2032498 RU, МПК 6 B22F 9/06, опубл. 1998.07.20] для охлаждения капель материала было предложено использовать очищенные от кислорода инертные газы. Использование этих газов позволит получить не окисленную поверхность частиц, но из-за малой теплоемкости газов резко уменьшится скорость охлаждения, что приведет к существенному росту размеров получаемых порошков.
Все способы получения путем диспергирования из расплава позволяют получить частицы порошка с линейным размером не ниже 50 мкм. Современные технологии требуют использования более мелких порошков (3…10 мкм).
В способе [Патент №1499818 RU, МПК 6 B22F 9/10, опубл. 1999.07.20] для получения металлического порошка используется нагрев исходного металлического материала лазерным излучением до плавления, диспергирование и охлаждение капель расплава, при этом, с целью повышения дисперсности получаемого порошка за счет взрывного испарения металла, исходный материал берут в виде фольги или сыпучего продукта, а нагрев осуществляют при плотности излучения, вызывающей ионизацию атомов металла.
Недостатками данного способа являются высокие затраты энергии на единицу массы получаемого порошка, складывающиеся из низкого кпд лазера и последующего преобразования лазерного излучения в выделяющееся тепло.
Наиболее близким к заявляемому способу по совокупности признаков является способ получения металлического порошка, описанного в [Патент RU №2167743 C2, B22F 9/12, опубл. 2001.05.27].
В этом способе для получения ультрадисперсных порошков используется вакуумное устройство, содержащее вакуумную камеру, испаритель металла, выполненный в виде расходуемого катода, с поджигающим электродом, коаксиального анода и охлаждаемой поверхности конденсации.
Недостатком данного способа является использование режимов работы технологического устройства, не учитывающее теплового режима работы катода.
Задачей заявляемого изобретения является разработка высокоэффективного ресурсосберегающего способа получения мелкодисперсного порошка с заданными свойствами и повышенной производительности с учетом теплового режима работы катода.
Поставленная задача решается за счет того, что в способе получения мелкодисперсных порошков, включающем создание вакуумно-дугового разряда с использованием катода из металла получаемого порошка, расплавление металла катода в катодном пятне вакуумно-дугового разряда, испарение металла из катодного пятна и конденсацию испаренного металла на массивную охлаждаемую подложку, испарение металла осуществляют при температуре катода, соответствующей границе перехода вакуумно-дугового разряда с интегрально-холодным катодом в дуговой разряд с горячим катодом, при этом температуру катодного пятна регулируют путем модуляции тока разряда импульсным источником питания, подключенным к катоду, имеющим индуктивную развязку с основным источником питания дуги.
Тепловой режим работы испарителя на границе перехода вакуумно-дугового разряда с интегрально-холодным катодом в вакуумно-дуговой разряд с горячим катодом обеспечивает максимально допустимый размер катодных пятен на рабочей поверхности катода, что способствует наиболее эффективному испарению атомов металла и генерации капельных образований в плазменный поток. Кратковременное увеличение температуры катодного пятна путем модуляции тока разряда импульсным источником питания, подключенного к катоду и имеющего индуктивную развязку с основным источником питания дуги, способствует более эффективному испарению материала катода.
Техническая задача предлагаемого решения направлена на расширение способов, используемых для получения мелкодисперсного порошка.
Предложенный вакуумный метод получения порошка из потока металлической плазмы вакуумно-дугового разряда, работающего в режиме с интегрально-холодным катодом, позволяет получать качественный, без наличия окисной пленки, мелкодисперсный порошок заданного размера с регулируемой производительностью всех материалов, распыляемых катодным пятном. Кроме этого метод перспективен при получении порошков сложного состава, обеспечивающий объемную равномерность химического состава, оптимальное строение и тонкую структуру каждой образующейся частицы. Таким образом, удается получить частицы размером от единиц микрон и менее.
Изложенная сущность изобретения поясняется чертежом, на котором представлена конструкция вакуумно-дугового устройства для получения мелкодисперсных порошков.
Вакуумно-дуговое устройство, представленное на чертеже, состоит из цилиндрического анода 1 с развитой поверхностью. Центрально торцевой катод 2 выполнен из материала, образующего металлическую плазму. В боковую поверхность катода упирается поджигающий электрод 3. Экран 4 служит для предотвращения ухода катодных пятен на нерабочую поверхность катода. Магнитная система расположена с внешней стороны анода и состоит из стабилизирующего соленоида 5 и фокусирующего соленоида 6. Анод плотно соединен с рабочим объемом 7, в котором на оси системы располагается массивная охлаждаемая подложка 8. Получаемый порошок ссыпается в поддон 9. Вращение подложки 8 обеспечивается электродвигателем 10. Все элементы конструкции источника плазмы выполнены из немагнитного материала. На подложку 8 предусмотрена подача отрицательного напряжения от источника смещения 11. В цепь питания дуги 12 подключен модулирующий источник питания 13.
Для получения порошка вакуумно-дуговой источник плазмы коаксиальной конструкции работает в стационарном режиме. Вакуумно-дуговой разряд - это самостоятельный разряд, развивающийся в парах материала катода 2. Эмиссионным центром разряда является катодное пятно, характеризующееся малыми размерами 10-4…10-6 м, в котором температура значительно превышает температуру кипения, что и обусловливает интенсивное распыление (разрушение) материала катода. В области катодного пятна наблюдается высокая концентрация паров металла, в связи с чем, над светящимся пятном, у катода наблюдается сплошной спектр, характерный для дуг высокого давления.
Из условий существования вакуумно-дугового разряда с интегрально-холодным катодом процессы эмиссии носят преимущественно авто- и термоавтоэлектронный характер, зависящие от температуры в катодном пятне и напряженности электрического поля. Горение разряда невозможно ниже некоторой критической температуры в катодном пятне, определяемой теплофизическими свойствами материала катода, и электрическими параметрами схемы. Уровень мощности, выделяющейся в катодном пятне, определяется катодным падением напряжения, близким по значению к потенциалу ионизации металла, и величиной разрядного тока.
Катодное пятно состоит из нескольких активно эмитирующих участков с размерами, много меньшими, чем размеры самого пятна. Для того чтобы катод оставался в заданном тепловом режиме, катодные пятна перемещаются по его поверхности с достаточно высокой скоростью. Само движение обуславливается самопроизвольным отмиранием одних ячеек и образованием других.
Следует также отметить, что вакуумно-дуговой разряд с интегрально-холодным катодом существует на рабочей поверхности катода лишь до тех пор, пока его температуры недостаточно для протекания тока за счет термоэлектронной эмиссии. При выполнении этих условий данный тип разряда переходит в дуговой разряд с диффузной привязкой на катоде, характеризующейся низким уровнем шумов, как тока, так и напряжения, хорошей однородностью ионного потока на анод при высокой плотности тока. Следует при этом отметить, что источники плазмы с данным типом разряда весьма сложны в техническом исполнении и требуют соблюдения, как специальных требований при их создании, так и с точки зрения техники безопасности, кроме этого существенно ограничен круг используемых материалов.
Формируемый плазменный поток из катодных пятен вакуумно-дугового разряда имеет сложный фазовый состав, включающий капельную, нейтральную и ионизированную компоненту. Соотношение между этими компонентами зависит от материала катода, величины тока разряда и температуры катода.
Характерная тепловая энергия нейтральных атомов приблизительно соответствует температуре кипения материала катода. Расход массы катода на единицу переносимого заряда является величиной постоянной для данного материала, в то время как эрозия в капельной фазе зависит от условий эксперимента и увеличивается с ростом величины заряда, переносимого через единицу площади катода. Для многих материалов скорость эрозии и разрядный ток связаны линейным приближением. Эта скорость зависит от материала катода и тока разряда и в первом приближении данная взаимосвязь для относительно небольших токов может быть выражена простым соотношением:
где m - масса материала, уносимая с поверхности катода в единицу времени; µ - коэффициент электрического переноса; Iраз - ток разряда.
Коэффициент электропереноса увеличивается с ростом величины переносимого заряда и уменьшением диаметра катода, что объясняется увеличением подвода энергии на единицу поверхности катода, вызывающей повышение его локальной температуры, определяющей скорость испарения нейтральных атомов и генерацию капельных образований из расплавленных участков поверхности катода.
Генерация капельных образований происходит под действием давления плазмы р:
где F - действующая на катод сила реакции плазменной струи, приведенная к единице тока дуги; j - плотность тока; ξe - заряд;
приводящая к деформации слоя жидкого металла и движению жидкости в виде капель, двигающихся под малыми углами к рабочей поверхности катода, со скоростью 10…102 м/с.
Изучение с помощью электронного микроскопа продуктов эрозии материала катода, сконденсированных на поверхности коллекторов, показало, что частицы размером несколько микрометров и менее имеют полусферическую форму. Более крупные частицы имеют почти плоскую среднюю область, окруженную более высоким кольцом. Данное обстоятельство свидетельствует о том, что до удара о поверхность конденсации частицы находятся в жидком состоянии.
Процентное содержание капельной фракции в генерируемом плазменном потоке зависит от температуры плавления материала катода. Так для тугоплавких металлов, таких как молибден и вольфрам, эти величины находятся на уровне единиц процентов, в то время как для меди эта величина составляет примерно 50%.
Интенсивность генерации капельных образований растет с увеличением тока разряда, т.к. движение катодных пятен по ограниченной рабочей поверхности катода приводит к повышению его температуры, соответственно увеличивается скорость распыления материала катода за счет увеличения в плазменном потоке материала катода в капельной и осколочной фракциях.
Исходя из вышеизложенного материала для получения мелкодисперсионного порошка используется вакуумно-дуговой источник плазмы коаксиальной конструкции с диаметром титанового катода 2-60 мм. Источник плазмы работает в стационарном режиме. Для увеличения рабочей температуры катода длина катода выбирается максимально возможной (порядка 50 мм), обеспечивающей, при использовании внешней магнитной системы стабилизации, выход катодного пятна на рабочую поверхность катода. Величина разрядного тока ограничивается температурным режимом работы катода на границе перехода из режима работы с интегрально-холодным катодом в режим работы с распределенным разрядом.
При этом температуру катода и катодного пятна регулируют путем модуляции тока разряда импульсным источником питания 13, подключенным к катоду 2, имеющим индуктивную развязку с основным источником питания дуги.
Увеличение энерговклада на катоде позволяет обеспечить кратковременное увеличение температуры и интенсифицировать процессы распыления из катодного пятна и более эффективной генерации капельных образований в плазменный поток. Регулировка мощности энерговклада осуществляется путем изменения длительности импульсов, позволяя получить управляемый размер частиц, а частота следования воздействия - обеспечить производительность получаемого порошка.
Формируемый плазменный поток выводится в рабочий объем 7 и осаждается на крупногабаритную, водоохлаждаемую, вращающуюся подложку 8. При указанных условиях распыляемый из катодных пятен расплавленный материал катода в виде капельных образований и нейтральных частиц, попадая на охлажденную подложку, отдает тепло в подложку, охлаждается, имея низкое сцепление. В этом случае металл в виде порошка осыпается в специальный поддон 9. При условии сцепления с подложкой материал счищается с помощью специального устройства.
Таким образом, с помощью вакуумно-дугового источника плазмы удается осуществить получение мелкодисперсного порошка высокого качества и заданного размера всех материалов, распыляемых катодным пятном.
Claims (1)
- Способ получения мелкодисперсных порошков, включающий создание вакуумно-дугового разряда с использованием катода из металла получаемого порошка, расплавление металла катода в катодном пятне вакуумно-дугового разряда, испарение металла из катодного пятна и конденсацию испаренного металла на массивную охлаждаемую подложку, отличающийся тем, что испарение металла осуществляют при температуре катода, соответствующей границе перехода вакуумно-дугового разряда с интегрально-холодным катодом в дуговой разряд с горячим катодом, при этом температуру катодного пятна обеспечивают путем модуляции тока разряда импульсным источником питания, подключенным к катоду, имеющим индуктивную развязку с основным источником питания дуги.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008138362/02A RU2395369C2 (ru) | 2008-09-18 | 2008-09-18 | Способ получения мелкодисперсных порошков |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008138362/02A RU2395369C2 (ru) | 2008-09-18 | 2008-09-18 | Способ получения мелкодисперсных порошков |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2008138362A RU2008138362A (ru) | 2010-03-27 |
| RU2395369C2 true RU2395369C2 (ru) | 2010-07-27 |
Family
ID=42138158
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2008138362/02A RU2395369C2 (ru) | 2008-09-18 | 2008-09-18 | Способ получения мелкодисперсных порошков |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2395369C2 (ru) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2468989C1 (ru) * | 2011-11-25 | 2012-12-10 | Федеральное Государственное Автономное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Сибирский Федеральный Университет" (Сфу) | Способ получения наночастиц |
| RU2506143C2 (ru) * | 2011-03-14 | 2014-02-10 | Микаил Гаджимагомедович Вердиев | Способ получения монодисперсных наноразмерных порошков веществ |
| RU2795306C1 (ru) * | 2023-02-20 | 2023-05-02 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Юго-Западный государственный университет"(ЮЗГУ) | Способ получения свинцово-латунных порошков из отходов сплава ЛС58-3 в дистиллированной воде |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2167743C2 (ru) * | 1999-07-05 | 2001-05-27 | Красноярский государственный технический университет | Устройство для получения ультрадисперсных порошков |
| WO2002043905A2 (en) * | 2000-12-01 | 2002-06-06 | M.P.I. Metal Powders Industries Ltd. | A method and apparatus for the production of metal powder granules by electric discharge |
| RU2238174C1 (ru) * | 2003-09-30 | 2004-10-20 | Военная академия Ракетных войск стратегического назначения им. Петра Великого | Способ получения ультрадисперсного порошка и устройство для его осуществления |
-
2008
- 2008-09-18 RU RU2008138362/02A patent/RU2395369C2/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2167743C2 (ru) * | 1999-07-05 | 2001-05-27 | Красноярский государственный технический университет | Устройство для получения ультрадисперсных порошков |
| WO2002043905A2 (en) * | 2000-12-01 | 2002-06-06 | M.P.I. Metal Powders Industries Ltd. | A method and apparatus for the production of metal powder granules by electric discharge |
| RU2238174C1 (ru) * | 2003-09-30 | 2004-10-20 | Военная академия Ракетных войск стратегического назначения им. Петра Великого | Способ получения ультрадисперсного порошка и устройство для его осуществления |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| ХОРОШИХ В.М. Эрозия катода и расход массы катодного материала в стационарной дуге низкого давления. ФИЛ, 2005, т.2, № 4, с.184-199. * |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2506143C2 (ru) * | 2011-03-14 | 2014-02-10 | Микаил Гаджимагомедович Вердиев | Способ получения монодисперсных наноразмерных порошков веществ |
| RU2468989C1 (ru) * | 2011-11-25 | 2012-12-10 | Федеральное Государственное Автономное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Сибирский Федеральный Университет" (Сфу) | Способ получения наночастиц |
| RU2795306C1 (ru) * | 2023-02-20 | 2023-05-02 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Юго-Западный государственный университет"(ЮЗГУ) | Способ получения свинцово-латунных порошков из отходов сплава ЛС58-3 в дистиллированной воде |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2008138362A (ru) | 2010-03-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20240399459A1 (en) | Method and apparatus for producing fine spherical powders from coarse and angular powder feed material | |
| Sun et al. | Review of the methods for production of spherical Ti and Ti alloy powder | |
| KR102639133B1 (ko) | 공급원료 물질로부터 구상화 분말을 생산하는 공정 | |
| US8747956B2 (en) | Processes, systems, and apparatus for forming products from atomized metals and alloys | |
| US6653591B1 (en) | Method and apparatus for direct electrothermal-physical conversion of ceramic into nanopowder | |
| US7691177B2 (en) | Method and an apparatus of plasma processing of tantalum particles | |
| US4474604A (en) | Method of producing high-grade metal or alloy powder | |
| EP1497061B1 (en) | Powder formation method | |
| Karpov et al. | Method for producing nanomaterials in the plasma of a low-pressure pulsed arc discharge | |
| JP2015221942A (ja) | 清浄で急速凝固された合金を製造するための装置及び方法 | |
| RU2708200C1 (ru) | Плазменно-дуговой реактор с расходуемым катодом для получения порошков металлов, сплавов и их химических соединений | |
| US5124091A (en) | Process for producing fine powders by hot substrate microatomization | |
| RU2588931C1 (ru) | Способ получения ультрадисперсных порошков металла или металлических сплавов | |
| RU2395369C2 (ru) | Способ получения мелкодисперсных порошков | |
| Shen et al. | Effect of processing parameters on microstructure and properties of spherical WC-Co powder by plasma spheroidization | |
| JP2004091843A (ja) | 高純度高融点金属粉末の製造方法 | |
| US4502885A (en) | Method for making metal powder | |
| WO2002043905A2 (en) | A method and apparatus for the production of metal powder granules by electric discharge | |
| RU2446915C2 (ru) | Способ получения порошка тугоплавкого материала и устройство для его осуществления | |
| US4885028A (en) | Process for producing prealloyed tungsten alloy powders | |
| EP0392293B1 (en) | Process for producing fine powders by hot substrate microatomization | |
| JP2005154834A (ja) | ルテニウム超微粉末およびその製造方法 | |
| RU2167743C2 (ru) | Устройство для получения ультрадисперсных порошков | |
| Ananthapadmanabhan et al. | Particle morphology and size distribution of plasma processed aluminium powder | |
| RU2844594C1 (ru) | Способ получения сферических частиц на установке с жидким анодом |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RH4A | Copy of patent granted that was duplicated for the russian federation |
Effective date: 20130614 |
|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20120919 |