[go: up one dir, main page]

RU2382117C1 - Испаритель для металлов и сплавов - Google Patents

Испаритель для металлов и сплавов Download PDF

Info

Publication number
RU2382117C1
RU2382117C1 RU2008143164/02A RU2008143164A RU2382117C1 RU 2382117 C1 RU2382117 C1 RU 2382117C1 RU 2008143164/02 A RU2008143164/02 A RU 2008143164/02A RU 2008143164 A RU2008143164 A RU 2008143164A RU 2382117 C1 RU2382117 C1 RU 2382117C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
evaporation
heaters
alloy
evaporated metal
tanks
Prior art date
Application number
RU2008143164/02A
Other languages
English (en)
Inventor
Михаил Борисович Ландау (RU)
Михаил Борисович Ландау
Михаил Владимирович Вахрушев (RU)
Михаил Владимирович Вахрушев
Original Assignee
Закрытое акционерное общество научно-производственное предприятие "Высокодисперсные металлические порошки" (ЗАО НПП ВМП)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Закрытое акционерное общество научно-производственное предприятие "Высокодисперсные металлические порошки" (ЗАО НПП ВМП) filed Critical Закрытое акционерное общество научно-производственное предприятие "Высокодисперсные металлические порошки" (ЗАО НПП ВМП)
Priority to RU2008143164/02A priority Critical patent/RU2382117C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2382117C1 publication Critical patent/RU2382117C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов. Испаритель содержит горизонтальную испарительную трубу (1) с торцевыми крышками (2.1 и 2.2), емкости для испарения (3.1 и 3.2), нагреватели (4), электрически управляемые независимо друг от друга, узел для отвода испаряемого металла или сплава, впускной канал для подачи испаряемого металла или сплава (7). Впускной канал (7) имеет U-образную форму для обеспечения гидрозатвора, расположен со стороны торцевой крышки (2.1) и соединен с емкостью для испарения (3.1). Емкости для испарения (3.1 и 3.2) расположены по всей длине испарительной трубы (1) и установлены параллельно друг другу в горизонтальной плоскости и связаны между собой переливными каналами (8). Нагреватели (4) установлены внутри трубы (1). Концы нагревателей (4) со стороны торцевой крышки (2.1) размещены вокруг впускного канала (7), электрически изолированы кольцами (9) от нее и соединены с токоподводами (10). Торцевая крышка (2.2) соединена с другими концами нагревателей (4) и токоподводом (11). Узел для отвода испаряемого металла выполнен в виде каналов (5), расположенных в нагревателях над емкостями для испарения (3.1 и 3.2), и содержит форсуночные головки (6). Испаритель обеспечивает повышение производительности и снижение энергопотребления и теплопотерь при сохранении качества получаемых высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Изобретение относится к области порошковой металлургии, в частности к технологии получения высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов газофазным методом.
Известен горизонтальный испаритель для вакуумных установок, содержащий нагреватель, источник питания и закрытый контейнер с отверстиями по образующей и торцевыми крышками. Нагреватель выполнен сплошным и укреплен одним концом на торцевой крышке внутри контейнера напротив отверстий, причем один полюс источника подключен к свободному концу нагревателя, а другой - к свободной крышке контейнера (см. авторское свидетельство СССР №476342, МПК (5) С23C 13/12, дата подачи заявки 11.05.1973, опубликовано 05.07.1975 «Испаритель для вакуумных установок»).
Недостатком известного испарителя является то, что отверстия разного сечения, через которые происходит истечение паров испаряемого металла или сплава, нагреваются неравномерно, так как их нагрев осуществляется опосредованно при прохождении паров испаряемого металла или сплава через эти отверстия, что ведет к преждевременной конденсации паров испаряемого металла или сплава и к выносу за пределы испарительной трубы крупных фрагментов (брызг) расплава испаряемого металла или сплава, а следовательно, к снижению качества готового продукта.
Известно горизонтальное устройство для испарения металлов, содержащее корпус, в котором размещен металлоприемник, снабженный отверстиями для подачи и вывода металла и сообщенный с нагревательным элементом, выполненным из токопроводящего материала и соединенным с токоподводом. Внутри корпуса на пути вывода расплавленного металла из металлоприемника дополнительно размещен канал для истечения металла и его паров, внешний контур которого образован двумя цилиндрическими элементами, расположенными коаксиально, при этом каждый из элементов выполнен из токопроводящего материала и соединен с токоподводом, а канал для истечения металла и его паров разделен на зону кипения металла и зону перегрева его паров. Канал для истечения металла и его паров герметично соединен с отверстием для вывода металла из металлоприемника и снабжен приспособлениями для регулирования направления потока пара и формы струи истечения пара из устройства, которые выполнены съемными (см. патент РФ №2113942, МПК (6) B22F 9/12, дата подачи заявки 27.05.1997, опубликовано 27.06.1998 «Способ испарения металла и устройство для его осуществления»).
В известном устройстве канал для истечения металла и его паров хоть и снабжен специальными приспособлениями для формирования направления потока паров металла и формы струи, однако содержит только одно отверстие для выхода паров испаряемого металла, что исключает влияние на процесс образования порошков металлов и сплавов и ведет к снижению качества готового продукта.
Кроме того, в известном устройстве, в котором теплопотери, хотя и снижены за счет выполнения внешнего контура из двух расположенных коаксиально цилиндрических элементов, где оба элемента соединены с токоподводом и являются токонесущими, не устранены трудности в регулировании электрических характеристик при колебаниях массы расплавленного металла или сплава, что ведет к повышенному энергопотреблению.
Наиболее близким к заявляемому изобретению является горизонтальное устройство для испарения материалов, содержащее кожух, расположенную в нем испарительную трубу, ограниченную торцевыми крышками, в которой установлен тигель (емкость для испарения) с испаряемым материалом, причем испарительная труба охватывает тигель и состоит из нескольких нагревательных контуров (нагревателей), расположенных с наружной стороны испарительной трубы на определенном расстоянии один за другим по периметру испарительной трубы по всей ее длине и электрически управляемых независимо друг от друга. Испарительная труба имеет верхний участок (узел для отвода испаряемого металла и сплава), содержащий собственный нагревательный контур. В верхней области верхнего участка (узла для отвода испаряемого металла или сплава) расположен стержень с соплом, над испарительной трубой расположено полотно, перемещающееся по роликам, а стержень расположен между полотном и отверстием в испарительной трубе (см. патент РФ №2283366, МПК (8) C23C 14/24, дата подачи заявки 20.01.2005, опубликовано 10.09.2006 «Устройство для испарения материалов»).
Недостатком известного устройства является высокое энергопотребление за счет большого объема испарительной трубы, требующего длительного нагревания для обеспечения процесса испарения материала, сложной конфигурации испарительной трубы и наличия у нее нескольких нагревательных контуров, а также высокие теплопотери за счет расположения нагревательных контуров с внешней стороны испарительной трубы.
Производительность известного устройства также невысока, так как процесс получения паров испаряемого металла или сплава является периодичным, так как новая порция испаряемого металла или сплава загружается в тигель только после полного испарения предыдущей порции испаряемого металла или сплава.
Технический результат заявляемого изобретения заключается в повышении производительности испарителя для металлов и сплавов и снижении энергопотребления и теплопотерь при сохранении качества получаемых высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов.
Заявляемый технический результат достигается тем, что в заявляемом испарителе для металлов и сплавов, включающем горизонтальную испарительную трубу, ограниченную торцевыми крышками, емкость для испарения, в которой размещен испаряемый металл или сплав, нагреватели, расположенные по периметру испарительной трубы по всей ее длине и электрически управляемые независимо друг от друга, при этом испарительная труба содержит узел для отвода испаряемого металла или сплава, отличающийся тем, что испаритель содержит впускной канал для подачи испаряемого металла или сплава U-образной формы, образующей гидрозатвор, установленный со стороны одной из торцевых крышек и соединенный с емкостью для испарения, расположенной по всей длине испарительной трубы в ее верхней части, а также, по меньшей мере, одну дополнительную емкость для испарения, расположенную под упомянутой емкостью для испарения по всей длине испарительной трубы, причем емкости для испарения установлены параллельно относительно друг друга в горизонтальной плоскости и связаны между собой переливными каналами, при этом нагреватели установлены внутри испарительной трубы, причем, с одной стороны, концы нагревателей герметично установлены в отверстиях одной из торцевых крышек, размещены вокруг впускного канала и соединены с токоподводами, а с другой стороны, соединены с другой торцевой крышкой и электрически замкнуты на нее, а узел для отвода испаряемого металла или сплава выполнен в виде каналов, расположенных в нагревателях над емкостями для испарения и содержащих форсуночные головки, установленные в отверстиях другой торцевой крышки, на которую электрически замкнуты нагреватели.
При этом емкости для испарения выполнены в виде лотков.
Наличие в испарителе для металлов и сплавов, расположенных по всей длине испарителя емкостей для испарения, выполненных, в частности, в виде лотков, в которых размещается испаряемый металл или сплав, установленных параллельно относительно друг друга в горизонтальной плоскости и связанных между собой переливными каналами, позволяет увеличить площадь поверхности испарения расплавленного металла или сплава, а следовательно, повысить производительность испарителя.
При этом впускной канал испарителя U-образной формы, образующей гидрозатвор, установленный со стороны одной из торцевых крышек и соединенный с расположенной в верхней части испарительной трубы емкостью для испарения, из которой через переливные каналы испаряемый металл или сплав попадает в аналогичные дополнительные емкости для испарения, расположенные под упомянутой емкостью для испарения, притом, что концы нагревателей герметично установлены в отверстиях одной из торцевых крышек и размещены вокруг впускного канала, позволяет обеспечить непрерывный процесс подачи расплавленного металла или сплава и их испарения, что также позволяет повысить производительность испарителя.
U-образная форма впускного канала, образующая гидрозатвор, исключает выброс паров из внутреннего объема испарителя.
Концы нагревателей, герметично установленные в отверстиях одной из торцевых крышек и размещенные вокруг впускного канала, обеспечивают разогрев стенок впускного канала до температуры, исключающей застывание металла или сплава при его подаче из плавильной камеры в испаритель.
Нагреватели заявляемого испарителя для металлов и сплавов, установленные внутри испарительной трубы, концы которых, с одной стороны, герметично установлены в отверстиях одной из торцевых крышек, размещены вокруг впускного канала и соединены с токоподводами, а с другой стороны, соединены с другой торцевой крышкой и электрически замкнуты на нее, при том, что они расположены по периметру испарительной трубы по всей ее длине и электрически управляемы независимо друг от друга, обеспечивают равномерный прогрев пространства испарительной трубы и позволяют создать внутри нее оптимальный температурный режим испарения, при котором энергия теплового излучения, либо непосредственно, либо отражаясь от внутренних стенок испарительной трубы, передается на поверхность испаряемого расплава металла или сплава, что сводит к минимуму эффект экранирования и способствует снижению как энергопотребления, так и теплопотерь.
Узел для отвода испаряемого металла или сплава, выполненный в виде каналов, расположенных в нагревателях над емкостями для испарения и содержащих форсуночные головки, установленные в отверстиях другой торцевой крышки, на которую электрически замкнуты нагреватели, препятствует выносу за пределы испарительной трубы крупных фрагментов (брызг) расплава испаряемого металла или сплава, образовавшихся при интенсивном процессе испарения, что обеспечивает сохранение качества получаемых высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов.
Крупные фрагменты (брызги) расплава испаряемого металла или сплава осаждаются на дно испарительной трубы, где происходит их дальнейшее испарение.
При этом внутри каналов, расположенных в нагревателях над емкостями для испарения, служащих для отвода испаряемого металла или сплава, происходит перегрев паров испаряемого металла или сплава за счет того, что температура внутри каналов, расположенных в нагревателях, превышает температуру кипения расплава испаряемого металла или сплава, что исключает засорение форсуночных головок крупными частицами испаряемого металла или сплава и конденсацию пара при прохождении через каналы, что позволяет стабилизировать процесс образования и получения высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов и обеспечить сохранение их качества.
Кроме того, выполнение узла для отвода испаряемого металла или сплава в виде каналов, расположенных в нагревателях над емкостями для испарения и содержащих форсуночные головки, установленные в отверстиях другой торцевой крышки, на которую электрически замкнуты нагреватели, позволяет увеличить сечение потока пара испаряемого металла или сплава и обеспечить его равномерное распределение в зоне отвода и конденсации, при этом увеличение сечения потока пара испаряемого металла или сплава за счет форсуночных головок, установленных в отверстиях другой торцевой крышки, дает не только возможность регулировать гранулометрический состав и получать высокодисперсные и ультрадисперсные порошки металлов и сплавов, сохраняя их высокое качество, но и повысить производительность испарителя для металлов и сплавов.
Технических решений, совпадающих с совокупностью существенных признаков заявляемого изобретения, не выявлено, что позволяет сделать вывод о соответствии такому условию патентоспособности, как «новизна».
Заявляемые существенные признаки изобретения, предопределяющие получение указанного технического результата, явным образом не следуют из уровня техники, что позволяет сделать вывод об их соответствии такому условию патентоспособности, как «изобретательский уровень».
Условие патентоспособности «промышленная применимость» подтверждают примеры конкретного выполнения испарителя для металлов и сплавов.
На фиг.1 представлен общий вид испарителя для металлов и сплавов в разрезе (разрез А-А).
На фиг.2 представлен вид испарителя для металлов и сплавов сбоку, совмещенный с разрезом (разрез Б-Б).
Испаритель для металлов и сплавов (см. фиг 1, 2) включает горизонтальную испарительную трубу 1, ограниченную торцевыми крышками 2.1 и 2.2, емкости для испарения 3.1 и 3.2, в которых размещается испаряемый металл или сплав, нагреватели 4 и узел для отвода испаряемого металла или сплава, выполненный в виде каналов 5, которые расположены в нагревателях 4 над емкостями для испарения 3.1 и 3.2, и форсуночных головок 6, установленных в отверстиях торцевой крышки 2.2, с которой соединены нагреватели 4 и электрически замкнуты на нее.
Нагреватели 4 расположены по периметру испарительной трубы 1 по всей ее длине и электрически управляемы независимо друг от друга.
Испаритель для металлов и сплавов содержит впускной канал 7 для подачи испаряемого металла или сплава U-образной формы, образующей гидрозатвор, причем впускной канал 7 установлен со стороны торцевой крышки 2.1 и соединен с емкостью для испарения 3.1, расположенной по всей длине испарительной трубы 1 в ее верхней части.
Емкости для испарения 3.1. и 3.2 установлены параллельно относительно друг друга в горизонтальной плоскости и связаны между собой переливными каналами 8. При этом емкости для испарения металла или сплава 3.1 и 3.2 выполнены в виде лотков.
Нагреватели 4 герметично установлены внутри испарительной трубы 1, причем концы нагревателей 4 со стороны торцевой крышки 2.1 размещены вокруг впускного канала 7, электрически изолированы кольцами 9 от торцевой крышки 2.1 и соединены с токоподводами 10, а торцевая крышка 2.2, с которой соединены другие концы нагревателей 4, соединена, в свою очередь, с токоподводом 11.
Испаритель для металлов и сплавов работает следующим образом.
Испаритель помещается в герметичную камеру (на чертежах не показана), из которой удален воздух и которая заполнена инертным газом.
Путем подачи тока на токоподводы 10 и 11, который поступает на торцевую крышку 2.2, с помощью соединенных с торцевой крышкой 2.2 нагревателей 4 доводят температуру внутри горизонтальной испарительной трубы 1 до необходимой для испарения металла или сплава, при этом благодаря тому, что нагреватели 4 со стороны торцевой крышки 2.1 размещены вокруг впускного канала 7, стенки последнего разогреваются до величины, исключающей застывание расплавленного металла или сплава. Далее из плавильного устройства (на чертежах не показано) через впускной канал 7 для подачи испаряемого металла или сплава подают расплав металла или сплава в емкость для испарения 3.1, из которой через переливные каналы 8 расплав металла или сплава поступает в емкость для испарения 3.2.
Открытая поверхность расплава металла или сплава, заполняющего емкости для испарения 3.1 и 3.2, представляет собой поверхность испарения.
При достижении в испарительной трубе 1 рабочей температуры происходит испарение металла или сплава.
Образующийся пар металла или сплава под действием разности давлений в испарителе и в конденсаторе (на чертежах на показан) проходит через каналы 5, расположенные в нагревателях 4, и через форсуночные головки 6 поступает в конденсатор (на чертежах не показан), где происходит конденсация паров металла или сплава в объеме инертного газа с получением порошка металла или сплава.
Режим испарения регулируется током в нагревателях 4, которые, будучи изолированы от торцевой крышки 2.1 с помощью колец 9, позволяют обеспечить их независимый нагрев и требуемое распределение температуры в испарительной трубе 1.
Заявляемый испаритель для металлов и сплавов обеспечивает повышение производительности испарителя для металлов и сплавов и снижение энергопотребления и теплопотерь при сохранении качества получаемых высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов.

Claims (2)

1. Испаритель для металлов и сплавов, включающий горизонтальную испарительную трубу, ограниченную торцевыми крышками, емкость для испарения, в которой размещен испаряемый металл или сплав, нагреватели, расположенные по периметру испарительной трубы по всей ее длине и электрически управляемые независимо друг от друга, при этом испарительная труба содержит узел для отвода испаряемого металла или сплава, отличающийся тем, что он содержит впускной канал для подачи испаряемого металла или сплава U-образной формы, образующей гидрозатвор, установленный со стороны одной из торцевых крышек и соединенный с емкостью для испарения, расположенной по всей длине испарительной трубы в ее верхней части, и, по меньшей мере, одну дополнительную емкость для испарения, расположенную под упомянутой емкостью для испарения по всей длине испарительной трубы, причем емкости для испарения установлены параллельно относительно друг друга в горизонтальной плоскости и связаны между собой переливными каналами, при этом нагреватели установлены внутри испарительной трубы, причем с одной стороны концы нагревателей герметично установлены в отверстиях одной из торцевых крышек, размещены вокруг впускного канала и соединены с токоподводами, а с другой стороны, соединены с другой торцевой крышкой и электрически замкнуты на нее, а узел для отвода испаряемого металла или сплава выполнен в виде каналов, расположенных в нагревателях над емкостями для испарения и форсуночных головок, установленных в отверстиях другой торцевой крышки, на которую электрически замкнуты нагреватели.
2. Испаритель для металлов и сплавов по п.1, отличающийся тем, что емкости для испарения выполнены в виде лотков.
RU2008143164/02A 2008-10-30 2008-10-30 Испаритель для металлов и сплавов RU2382117C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008143164/02A RU2382117C1 (ru) 2008-10-30 2008-10-30 Испаритель для металлов и сплавов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008143164/02A RU2382117C1 (ru) 2008-10-30 2008-10-30 Испаритель для металлов и сплавов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2382117C1 true RU2382117C1 (ru) 2010-02-20

Family

ID=42127051

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008143164/02A RU2382117C1 (ru) 2008-10-30 2008-10-30 Испаритель для металлов и сплавов

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2382117C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102703866A (zh) * 2012-01-13 2012-10-03 东莞宏威数码机械有限公司 线性蒸发源装置及具有该装置的蒸发速率精控式蒸发设备

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5433791A (en) * 1994-05-26 1995-07-18 Hughes Aircraft Company MBE apparatus with photo-cracker cell
WO1997021847A1 (de) * 1995-12-08 1997-06-19 Sintec Keramik Gmbh Verfahren und verdampferschiffchen zum verdampfen von metall
RU2113942C1 (ru) * 1997-05-27 1998-06-27 Фришберг Ирина Викторовна Способ испарения металла и устройство для его осуществления
EP1424404A2 (de) * 2002-11-30 2004-06-02 Applied Films GmbH & Co. KG Bedampfungsvorrichtung
RU2254963C1 (ru) * 2004-02-25 2005-06-27 Пастухов Валерий Павлович Испаритель для металлов и сплавов
RU2283366C1 (ru) * 2004-11-20 2006-09-10 Эплайд Филмз ГмбХ энд Ко. КГ Устройство для испарения материалов
RU2347849C2 (ru) * 2006-08-22 2009-02-27 Закрытое акционерное общество Научно-производственное предприятие "Высокодисперсные металлические порошки" Испаритель для металлов

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5433791A (en) * 1994-05-26 1995-07-18 Hughes Aircraft Company MBE apparatus with photo-cracker cell
WO1997021847A1 (de) * 1995-12-08 1997-06-19 Sintec Keramik Gmbh Verfahren und verdampferschiffchen zum verdampfen von metall
RU2113942C1 (ru) * 1997-05-27 1998-06-27 Фришберг Ирина Викторовна Способ испарения металла и устройство для его осуществления
EP1424404A2 (de) * 2002-11-30 2004-06-02 Applied Films GmbH & Co. KG Bedampfungsvorrichtung
RU2254963C1 (ru) * 2004-02-25 2005-06-27 Пастухов Валерий Павлович Испаритель для металлов и сплавов
RU2283366C1 (ru) * 2004-11-20 2006-09-10 Эплайд Филмз ГмбХ энд Ко. КГ Устройство для испарения материалов
RU2347849C2 (ru) * 2006-08-22 2009-02-27 Закрытое акционерное общество Научно-производственное предприятие "Высокодисперсные металлические порошки" Испаритель для металлов

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102703866A (zh) * 2012-01-13 2012-10-03 东莞宏威数码机械有限公司 线性蒸发源装置及具有该装置的蒸发速率精控式蒸发设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6590203B2 (ja) 微粒子製造装置及び微粒子製造方法
KR102010992B1 (ko) 나노 분말의 제조 장치 및 이 제조 장치를 이용한 제조 방법
RU2766489C2 (ru) Способ разделения золотосеребряных сплавов путем вакуумной дистилляции и устройство для его реализации
KR102035813B1 (ko) 증착 방법 및 장치
TWI297735B (en) Vapor-deposition device
JP5781710B2 (ja) 鋳造又は噴霧されて粉末になる処理材料を製造する方法
JP3063861B2 (ja) 溶解物の流れ形成方法及び装置
KR20120047940A (ko) 융해로를 위한 이온 플라스마 전자 방출기
JP2012214353A (ja) 揮発性に優れた高純度SiOxナノ粉末の製造方法及びその製造装置
US20050150759A1 (en) Powder and coating formation method and apparatus
CN112584950A (zh) 造粒方法及装置
RU2382117C1 (ru) Испаритель для металлов и сплавов
KR101114223B1 (ko) 유기물질의 승화정제 장치
US8794035B2 (en) Apparatus for manufacturing high purity polysilicon using electron-beam melting and method of manufacturing high purity polysilicon using the same
JP6586293B2 (ja) マグネシウムの精製方法及びマグネシウム精製装置
KR100767036B1 (ko) 노즐부를 구비한 증발원
RU2113942C1 (ru) Способ испарения металла и устройство для его осуществления
RU2116868C1 (ru) Устройство для получения ультрадисперсных металлических порошков
RU2389584C2 (ru) Способ получения мелкодисперсного очищенного порошка тугоплавких металлов и устройство для его осуществления
RU2238174C1 (ru) Способ получения ультрадисперсного порошка и устройство для его осуществления
KR20210005938A (ko) 증착 증발기 장치
RU2118398C1 (ru) Испаритель для металлов и сплавов
JPH10182130A (ja) シリコンの精製方法
RU2354745C1 (ru) Испаритель для металлов или сплавов
RU2219283C2 (ru) Испаритель для металлов и сплавов

Legal Events

Date Code Title Description
PD4A Correction of name of patent owner
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20181031

PD4A Correction of name of patent owner
NF4A Reinstatement of patent

Effective date: 20191108

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20201031