[go: up one dir, main page]

RU2369835C1 - Laser profilometre - Google Patents

Laser profilometre Download PDF

Info

Publication number
RU2369835C1
RU2369835C1 RU2008107966/28A RU2008107966A RU2369835C1 RU 2369835 C1 RU2369835 C1 RU 2369835C1 RU 2008107966/28 A RU2008107966/28 A RU 2008107966/28A RU 2008107966 A RU2008107966 A RU 2008107966A RU 2369835 C1 RU2369835 C1 RU 2369835C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
blade
axis
lens
camera
collimator lens
Prior art date
Application number
RU2008107966/28A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Виктор Яковлевич Маклашевский (RU)
Виктор Яковлевич Маклашевский
Андрей Анатольевич Кеткович (RU)
Андрей Анатольевич Кеткович
Original Assignee
Виктор Яковлевич Маклашевский
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Виктор Яковлевич Маклашевский filed Critical Виктор Яковлевич Маклашевский
Priority to RU2008107966/28A priority Critical patent/RU2369835C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2369835C1 publication Critical patent/RU2369835C1/en

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

FIELD: measurement equipment.
SUBSTANCE: application: for contact-free control of complex-shaped item profiles. Laser profilometre comprises mechanisms for fixation and longitudinal displacement of blade, laser sources of blade slot illumination installed symmetrically relative to blade on its opposite sides and forming flat light beams in plane, which is perpendicular to longitudinal axis of blade, TV camera and computer for calculation of controlled section parametres, moreover, it additionally comprises collimator lens, axis of which corresponds to longitudinal axis of blade and is parallel to optical axis of TV camera lens, and its front focus matches point of blade longitudinal axis crossing with plane of blade slot illumination laser sources distribution, between collimator lens and lens of TV camera there is a periscopical system, which consists of mirror and beam divider, reflecting surfaces of which are parallel to each other and are installed in planes, which are perpendicular to plane created by optical axis of collimator lens and axes of leaser sources of blade slot illumination and are installed at the angle of 45° to axis of collimator lens symmetrically relative to this axis, centres of mirror and beam divider are installed on axis, which is perpendicular to axis of TV camera lens, parallel to axes of laser sources of slot illumination and passing through point of TV camera lens axis crossing with centre of beam divider.
EFFECT: improved metrological characteristics.
3 dwg

Description

Изобретение относится к неразрушающему контролю и может быть использовано для бесконтактного контроля профиля изделий сложной формы, например лопаток для газотурбинных двигателей, винтов, проката и т.п.The invention relates to non-destructive testing and can be used for non-contact control of the profile of products of complex shape, for example, blades for gas turbine engines, screws, rolled products, etc.

Известно устройство для контроля профиля лопаток методом светового сечения, содержащее механизм крепления лопатки, оптическая ось объектива которого совпадает с продольной осью контролируемой лопатки, источники щелевой подсветки лопатки в плоскости, перпендикулярной ее продольной оси и формирующие из ее поверхности в заданном сечении тонкий световой поясок, очерчивающий контур этого сечения, который проектируется на экран, а также механизм перемещения лопатки вдоль ее продольной оси [1].A device for controlling the profile of the blades by the light section method, comprising a blade attachment mechanism, the optical axis of the lens of which coincides with the longitudinal axis of the controlled blade, sources of slot illumination of the blade in a plane perpendicular to its longitudinal axis and forming a thin light belt from its surface in a given section, outlining the contour of this section, which is projected onto the screen, as well as the mechanism for moving the blade along its longitudinal axis [1].

Недостаток устройства - невозможность получения контура лопаток сложной формы, например, с двойной кривизной и/или с устройством крепления их в роторе из-за эффекта экранирования контура этими элементами.The disadvantage of this device is the inability to obtain the contour of the blades of complex shape, for example, with double curvature and / or with a device for mounting them in the rotor due to the effect of screening the contour with these elements.

Известен лазерный профилометр, содержащий лазерные источники щелевой подсветки изделия в плоскости, перпендикулярной продольной оси объекта, телевизионную камеру и симметричные оптические системы, расположенные с различных сторон изделия для формирования изображений отдельных участков контура сечения, соединенных в одно изображение оптическим способом в плоскости ПЗС-матрицы камеры [2].A known laser profilometer containing laser sources of slit illumination of the product in a plane perpendicular to the longitudinal axis of the object, a television camera and symmetric optical systems located on different sides of the product to form images of individual sections of the cross-section of the section, connected optically to a single image in the plane of the CCD camera matrix [2].

Недостаток устройства - сложность конструкции, высокая I стоимость, невысокие метрологические характеристики из-за неидентичности оптических характеристик каналов.The disadvantage of this device is the complexity of the design, high I cost, low metrological characteristics due to the non-identical optical characteristics of the channels.

Цель изобретения - устранение недостатков.The purpose of the invention is the elimination of disadvantages.

Для этого в устройство, содержащее механизм крепления лопатки и ее перемещения вдоль ее продольной оси, лазерные источники щелевой подсветки лопатки в плоскости, перпендикулярной продольной оси лопатки, телевизионную камеру с объективом и оптическую систему сведения изображений сечений элементов контура, дополнительно введен коллиматорный объектив диаметром Dk и с фокусным расстоянием fk, оптическая ось которого совпадает с продольной осью лопатки и параллельна оптической оси объектива телекамеры, а передний его фокус совпадает с точкой пересечения продольной оси лопатки с плоскостью распространения лазерных источников щелевой подсветки, диаметр объектива определяется выражением Dk≥fk·tgα, где

Figure 00000001
- угол между оптической осью объектива и направлением визирования контролируемого сечения, при котором отсутствует его экранирование элементами лопатки высотой t′, расположенными на расстоянии Δ от контролируемого сечения, между коллиматорным объективом и объективом телекамеры расположена перископическая система, состоящая из зеркала и светоделителя, отражающие поверхности которых параллельны друг другу и расположены в плоскостях, перпендикулярных плоскости, образованной оптической осью коллиматорного объектива и осями лазерных источников щелевой подсветки лопатки, и установлены под углом 45° к оси коллиматорного объектива симметрично относительно этой оси, центры зеркала и светоделителя расположены на оси, перпендикулярной оси объектива телекамеры, параллельной осям лазерных источников щелевой подсветки и проходящей через точку пересечения оси объектива телекамеры с центром светоделителя, расстояние L между центрами зеркала и светоделителя выбирается из соотношения L<Dk, фокурное расстояние коллиматорного объектива выбирают из соотношения
Figure 00000002
максимальная высота контролируемого сечения, f0 - фокусное расстояние объектива телекамеры, d - размер ПЗС-матрицы телекамеры, k=(0,8÷0,9) - коэффициент запаса, размер S стороны светоделительного кубика выбирается из соотношения S≥D0, где D0 - диаметр объектива телекамеры, а размеры зеркала А×В выбираются из соотношений A≥D0 и
Figure 00000003
For this, a device containing a mechanism for fixing the blade and its movement along its longitudinal axis, laser sources of slot illumination of the blade in the plane perpendicular to the longitudinal axis of the blade, a television camera with a lens and an optical information system for images of sections of contour elements, an additional collimator lens with a diameter D k and with a focal length f k, whose optical axis coincides with the longitudinal axis of the blade and parallel to the optical axis of the camera lens, and its front focus coincides with the Coy intersection of the longitudinal axis of the blade with the plane of propagation of laser sources slit illumination lens diameter defined by the expression D k ≥f k · tgα, wherein
Figure 00000001
- the angle between the optical axis of the lens and the direction of sight of the controlled section, at which it is not shielded by blade elements of height t ′ located at a distance Δ from the controlled section, between the collimator lens and the camera lens there is a periscope system consisting of a mirror and a beam splitter, the reflecting surfaces of which parallel to each other and located in planes perpendicular to the plane formed by the optical axis of the collimator lens and the axes of the laser the sources of the slit illumination of the scapula, and are installed at an angle of 45 ° to the axis of the collimator lens symmetrically with respect to this axis, the centers of the mirror and the beam splitter are located on an axis perpendicular to the axis of the camera’s lens, parallel to the axes of the laser sources of the slit illumination and passing through the intersection of the axis of the camera’s lens with the center of the beam splitter , the distance L between the centers of the mirror and the beam splitter is selected from the relation L <D k , the focal distance of the collimator lens is selected from the relation
Figure 00000002
the maximum height of the monitored section, f 0 is the focal length of the camera lens, d is the size of the CCD matrix of the camera, k = (0.8 ÷ 0.9) is the safety factor, the size S of the side of the beam splitter is selected from the relation S≥D 0 , where D 0 - the diameter of the camera lens, and the dimensions of the mirror A × B are selected from the relations A≥D 0 and
Figure 00000003

Схема устройства показана на фиг.1-3.The device diagram is shown in figures 1-3.

Профилометр состоит из углов крепления 2 и продольного перемещения 3 лопатки 1 вдоль ее продольной оси, двух симметрично расположенных по обе стороны лопатки лазерных щелевых осветителей, состоящих из лазеров 4 и 4′ и цилиндрических линз 5 и 5′, формирующих на боковых поверхностях лопатки узкие световые полоски, визуализирующие профиль лопатки в заданном сечении. Плоские световые лучи, формируемые лазерными осветителями, лежат в одной плоскости, перпендикулярной продольной оси лопатки. Оптические оси лазеров 4 и 4′ лежат на одной прямой, проходящей через точку пересечения продольной оси лопатки с плоскостью распространения плоских лазерных лучей.The profilometer consists of mounting angles 2 and longitudinal movement 3 of the blade 1 along its longitudinal axis, two symmetrical laser slit illuminators on both sides of the blade, consisting of lasers 4 and 4 ′ and cylindrical lenses 5 and 5 ′, forming narrow light on the side surfaces of the blade strips visualizing the profile of the scapula in a given section. Flat light rays formed by laser illuminators lie in the same plane perpendicular to the longitudinal axis of the scapula. The optical axes of the lasers 4 and 4 ′ lie on one straight line passing through the point of intersection of the longitudinal axis of the blade with the plane of propagation of plane laser beams.

В плоскости, образованной продольной осью лопатки и осями лазеров, расположена совпадающая с продольной осью лопатки оптическая ось коллиматорного объектива 6 диаметром Dk и фокусным расстоянием fk. Фокусы объективов 6 совмещены с точкой пересечения осей лазеров с продольной осью лопаток.In the plane formed by the longitudinal axis of the blade and the axes of the lasers, the optical axis of the collimator lens 6 of diameter D k and focal length f k coincides with the longitudinal axis of the blade. The foci of the lenses 6 are aligned with the intersection point of the laser axes with the longitudinal axis of the blades.

Перед коллиматорным объективом 6 на его оптической оси последовательно установлены светоделитель 8 и телекамера, содержащая объектив 9 с фокусным расстоянием f0 и диаметром D0 и ПЗС-матрицу размером d×d, установленную в фокальной плоскости объектива 9. Изображение профиля лопатки наблюдают на видеомониторе 11.In front of the collimator lens 6, a beam splitter 8 and a television camera are mounted sequentially on its optical axis, comprising a lens 9 with a focal length f 0 and a diameter D 0 and a CCD matrix of size d × d installed in the focal plane of the lens 9. A profile image of the blade is observed on a video monitor 11 .

Светоделитель 8 выполнен в виде призмы-куба со сторонами S, полупрозрачная отражающая поверхность которого совпадает с диагональной плоскостью призмы-куба, ориентированной под углом 45° к оси объектива 9 и перпендикулярной плоскости расположения оптических осей лазеров и коллиматорного объектива 6.The beam splitter 8 is made in the form of a prism-cube with sides S, the translucent reflecting surface of which coincides with the diagonal plane of the prism-cube, oriented at an angle of 45 ° to the axis of the lens 9 and perpendicular to the plane of the optical axes of the laser and collimator lens 6.

Расстояние t между объективами 6 и 9 выбирается из соотношения t≥S·p, где р=(1,2÷1,3) - конструктивный допуск на установочный размер призмы-куба 8.The distance t between the lenses 6 and 9 is selected from the relation t≥S · p, where p = (1.2 ÷ 1.3) is the design tolerance for the installation size of the prism-cube 8.

Центр зеркала 7 перископа, размером А×В, установлен на расстоянии L от центра светоделителя на оси, проходящей через точку его пересечения с осью объектива 9 перпендикулярно к ней, в плоскости, образованной осью объектива 9 и осями лазеров. The center of the periscope mirror 7, size A × B, is installed at a distance L from the center of the beam splitter on an axis passing through the point of intersection with the axis of the lens 9 perpendicular to it, in a plane formed by the axis of the lens 9 and the laser axes.

Устройство работает следующим образом.The device operates as follows.

При продольном перемещении лопатки вдоль ее оси у двух лазерных щелевых осветителей формируются изображения тонких световых полосок, точно отображающих профиль поперечного сечения лопатки в заданной плоскости.With the longitudinal movement of the blade along its axis, two laser slit illuminators form images of thin light strips that accurately display the cross-sectional profile of the blade in a given plane.

Коллиматорный объектив 6 формирует параллельные пучки лучей, которые пространственно совмещаются отражателем 7, и светоделителем 8, и объективом 9 и фокусируются на поверхности ПЗС-матрицы 10, образуя изображения профиля лопатки, состоящие из двух оптически совмещенных частей (фиг.3). При настройке оптической системы профилометра точное совмещение этих раздельных изображений производится котировочными разворотами отражателя 7 с помощью соответствующих механизмов, не показанных на схеме в силу общеизвестности [3].The collimator lens 6 forms parallel beams of rays that are spatially aligned by the reflector 7, and the beam splitter 8, and the lens 9 and are focused on the surface of the CCD matrix 10, forming the profile profile of the blade, consisting of two optically aligned parts (figure 3). When setting up the optical system of the profilometer, the exact combination of these separate images is made by quotation turns of the reflector 7 using the appropriate mechanisms not shown in the diagram due to common knowledge [3].

Необходимость наблюдения различных сторон лопатки с помощью двух объективов, расположенных под углом к продольной оси лопатки, обусловлена наличием на передних кромках современных лопаток крепления для установки в корпусах турбин и/или двойной кривизны лопатки, что приводит к экранированию сечений, расположенных в непосредственной близости от этих элементов (фиг.2). Выбор угла α производится из очевидного соотношения α>arctg(t/Δ), где t' - высота экранирующего элемента, Δ - расстояние от него до контролируемого сечения.The need to observe the different sides of the blade with two lenses, located at an angle to the longitudinal axis of the blade, is due to the presence on the front edges of modern blade mounts for installation in turbine casings and / or double curvature of the blade, which leads to screening of sections located in close proximity to these elements (figure 2). The choice of angle α is made from the obvious relation α> arctan (t / Δ), where t 'is the height of the shielding element, Δ is the distance from it to the controlled section.

Поскольку фокальная плоскость коллиматорного объектива 6 совпадает с плоскостью объекта, на его выходе формируются параллельные пучки, которые затем фокусируются объективом 9, формируя в плоскости изображения ПЗС-матрицы 10 изображение светового контура лопатки в выбранном сечении.Since the focal plane of the collimator lens 6 coincides with the plane of the object, parallel beams are formed at its output, which are then focused by the lens 9, forming in the image plane of the CCD matrix 10 the image of the light contour of the scapula in the selected section.

При этом, по свойству телескопических систем с параллельным ходом лучей между компонентами [3], различие оптических лучей между объективами 6 и объективом 9 не приводит к изменению масштабов изображений, формируемых этими элементами оптической системы.In this case, by the property of telescopic systems with parallel ray paths between components [3], the difference in optical beams between lenses 6 and lens 9 does not change the scale of the images formed by these elements of the optical system.

Масштаб изображения сечения в плоскости ПЗС-матрицы для оптической системы с параллельным ходом лучей между I компонентами, как известно, равен m=f0/fk [3].The image scale of the cross section in the plane of the CCD matrix for an optical system with a parallel path of rays between the I components, as is known, is m = f 0 / f k [3].

При этом изображение Н сечения лопатки максимального размера не должно выходить за пределы приемной площадки ПЗС-матрицы размером d с учетом допуска на возможные смещения этого изображения за счет вариации размеров лопаток и различных технологических факторов (фиг.2). Т.к.

Figure 00000004
, то условие выбора фокусного расстояния дополнительных объективов можно записать в виде
Figure 00000005
, где k=(0,6÷0,9) - конструктивный коэффициент запаса, учитывающий случайные смещения изображения.In this case, the image H of the cross section of the blade of the maximum size should not go beyond the receiving area of the CCD matrix of size d, taking into account the tolerance for possible displacements of this image due to variation in the size of the blades and various technological factors (Fig. 2). Because
Figure 00000004
, then the condition for choosing the focal length of additional lenses can be written as
Figure 00000005
where k = (0.6 ÷ 0.9) is the structural safety factor taking into account random image displacements.

Для точного измерения размеров сечений производится предварительная калибровка профилометра по тест-образцам известного размера. Калибровка производится для двух взаимно перпендикулярных направлений с целью исключения влияния на результаты измерения ракурсных искажений, обусловленных тем, что размер сечения в направлении, перпендикулярном оси объективов (Нα), связан с истинной его величиной Н очевидным соотношением Нα=Н cos α.For accurate measurement of cross-sectional dimensions, the profilometer is pre-calibrated using test samples of known size. Calibration is performed for two mutually perpendicular directions in order to exclude the influence of angle distortion on the measurement results due to the fact that the cross-sectional dimension in the direction perpendicular to the axis of the lenses (H α ) is related to its true value H by the obvious relation H α = H cos α.

Соответствующие поправки автоматически учитываются компьютером, входящим в состав профилометра.Corresponding corrections are automatically taken into account by the computer included in the profilometer.

Существенно, что изображения сечений противоположных сторон лопатки деформируются одним и тем же объективом. Это обеспечивает высокие метрологические характеристики оптической системы профилометра. Перископ может быть выполнен в виде компактного моноблока из двух склеенных призм (при этом вместо зеркала 7 используется прямоугольная призма полного внутреннего отражения). Учитывая высокую точность оптической технологии (допуск на углы призм составляет 1″÷2″ угл. сек) это позволит дополнительно повысить точность и стабильность работы профилометра.It is significant that images of sections of opposite sides of the scapula are deformed by the same lens. This provides high metrological characteristics of the optical system of the profilometer. The periscope can be made in the form of a compact monoblock of two glued prisms (in this case, instead of mirror 7, a rectangular prism of total internal reflection is used). Given the high accuracy of optical technology (the tolerance on the angles of prisms is 1 ″ ÷ 2 ″ ang. Sec) this will further improve the accuracy and stability of the profilometer.

ЛИТЕРАТУРАLITERATURE

1. Рабинович А.Н. Приборы и системы автоматического контроля размеров деталей машин. Киев. Техника, 1970, 206 с.1. Rabinovich A.N. Devices and systems for automatic control of the dimensions of machine parts. Kiev. Technique, 1970, 206 p.

2. Патент RU 2 285 234 С2. Лазерный профилометр.2. Patent RU 2 285 234 C2. Laser profilometer.

3. Справочник конструктора оптико-механических приборов. / Под ред. Кругера М.Я. М.: Машиностроение, 1980, 742 с.3. Reference designer of optical-mechanical devices. / Ed. Kruger M.Ya. M .: Engineering, 1980, 742 p.

Claims (1)

Лазерный профилометр для контроля профиля сложной формы типа лопаток газотурбинных двигателей методом светового сечения, содержащий механизмы крепления и продольного перемещения лопатки, лазерные источники щелевой подсветки лопатки, расположенные симметрично относительно лопатки с ее противоположных сторон и формирующие плоские световые пучки в плоскости, перпендикулярной продольной оси лопатки, телекамеру и компьютер для вычисления параметров контролируемого сечения, отличающийся тем, что он дополнительно содержит коллиматорный объектив с фокусным расстоянием fk, ось которого совпадает с продольной осью лопатки и параллельна оптической оси объектива телекамеры, а передний его фокус совпадает с точкой пересечения продольной оси лопатки с плоскостью распространения лазерных источников щелевой подсветки лопатки, диаметр коллиматорного объектива определяется выражением Dk≥2fk·tgα, где
Figure 00000006
- угол между оптической осью коллиматорного объектива и направлением визирования контролируемого сечения, при котором отсутствует его экранирование элементами лопатки высотой t′, расположенными на расстоянии Δ от контролируемого сечения, между коллиматорным объективом и объективом телекамеры расположена перископическая система, состоящая из зеркала и светоделителя, отражающие поверхности которых параллельны друг другу и расположены в плоскостях, перпендикулярных плоскости, образованной оптической осью коллиматорного объектива и осями лазерных источников щелевой подсветки лопатки и установлены под углом 45° к оси коллиматорного объектива симметрично относительно этой оси, центры зеркала и светоделителя расположены на оси, перпендикулярной оси объектива телекамеры, параллельно осям лазерных источников щелевой подсветки и проходящей через точку пересечения оси объектива телекамеры с центром светоделителя, расстояние L между центрами зеркала и светоделителя выбирается из соотношения L≤Dk, фокусное расстояние коллиматорного объектива выбирают из соотношения
Figure 00000007
где Н - максимальная высота контролируемого сечения, f0 - фокусное расстояние объектива телекамеры, d -размер ПЗС- матрицы телекамеры, k=(0,8÷0,9) - коэффициент запаса, размер S стороны светоделительного кубика выбирается из соотношения S≥D0, где D0 - диаметр объектива телекамеры, а размеры зеркала А×В выбираются из соотношений A≥D0 и
Figure 00000008
A laser profilometer for controlling a profile of a complex shape such as blades of gas turbine engines by the light section method, containing mechanisms for fastening and longitudinal movement of the blade, laser sources of slot illumination of the blade located symmetrically relative to the blade from its opposite sides and forming flat light beams in a plane perpendicular to the longitudinal axis of the blade, a television camera and a computer for calculating the parameters of the controlled section, characterized in that it additionally contains collimator nth lens with a focal length f k , whose axis coincides with the longitudinal axis of the blade and parallel to the optical axis of the camera’s lens, and its front focus coincides with the point of intersection of the longitudinal axis of the blade with the propagation plane of the laser sources of slot illumination of the blade, the diameter of the collimator lens is determined by the expression D k ≥ 2f k · tgα, where
Figure 00000006
- the angle between the optical axis of the collimator lens and the direction of sight of the controlled section, at which it is not shielded by blade elements of height t ′ located at a distance Δ from the controlled section, between the collimator lens and the camera lens there is a periscope system consisting of a mirror and a beam splitter, reflecting surfaces which are parallel to each other and are located in planes perpendicular to the plane formed by the optical axis of the collimator lens and the axes of the laser sources of slit illumination of the blade and are mounted at an angle of 45 ° to the axis of the collimator lens symmetrically with respect to this axis, the centers of the mirror and the beam splitter are located on the axis perpendicular to the axis of the lens of the camera, parallel to the axes of the laser sources of slit illumination and passing through the center of the axis of the camera lens with the center the beam splitter, the distance L between the centers of the mirror and the beam splitter is selected from the ratio L≤D k , the focal length of the collimator lens is selected from the ratio
Figure 00000007
where H is the maximum height of the monitored section, f 0 is the focal length of the camera lens, d is the size of the CCD matrix of the camera, k = (0.8 ÷ 0.9) is the safety factor, the size S of the beam splitting cube side is selected from the relation S≥D 0 , where D 0 is the diameter of the camera lens, and the dimensions of the mirror A × B are selected from the relations A≥D 0 and
Figure 00000008
RU2008107966/28A 2008-03-04 2008-03-04 Laser profilometre RU2369835C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008107966/28A RU2369835C1 (en) 2008-03-04 2008-03-04 Laser profilometre

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008107966/28A RU2369835C1 (en) 2008-03-04 2008-03-04 Laser profilometre

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2369835C1 true RU2369835C1 (en) 2009-10-10

Family

ID=41261007

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008107966/28A RU2369835C1 (en) 2008-03-04 2008-03-04 Laser profilometre

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2369835C1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2542633C1 (en) * 2013-09-10 2015-02-20 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина" Laser caliper and method of its calibration
RU2807464C1 (en) * 2022-12-01 2023-11-15 Федеральное государственное казенное военное образовательное учреждение высшего образования "ВОЕННАЯ АКАДЕМИЯ МАТЕРИАЛЬНО-ТЕХНИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ имени генерала армии А.В. Хрулева" Laser device for forming 3d images

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2190487A (en) * 1986-05-12 1987-11-18 Gen Electric Plc Optical profilometer
SU1548669A1 (en) * 1988-05-20 1990-03-07 Московский Институт Электронного Машиностроения Optical roughness indicator
US5020904A (en) * 1989-09-06 1991-06-04 Mcmahan Jr Robert K Dynamic laser speckle profilometer and method
RU2085843C1 (en) * 1994-09-30 1997-07-27 Нижегородский центр инкубации наукоемких технологий Optical roughness indicator
RU2285234C2 (en) * 2004-10-28 2006-10-10 Войсковая часть 75360 Laser roughness indicator

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2190487A (en) * 1986-05-12 1987-11-18 Gen Electric Plc Optical profilometer
SU1548669A1 (en) * 1988-05-20 1990-03-07 Московский Институт Электронного Машиностроения Optical roughness indicator
US5020904A (en) * 1989-09-06 1991-06-04 Mcmahan Jr Robert K Dynamic laser speckle profilometer and method
RU2085843C1 (en) * 1994-09-30 1997-07-27 Нижегородский центр инкубации наукоемких технологий Optical roughness indicator
RU2285234C2 (en) * 2004-10-28 2006-10-10 Войсковая часть 75360 Laser roughness indicator

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2542633C1 (en) * 2013-09-10 2015-02-20 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина" Laser caliper and method of its calibration
RU2807464C1 (en) * 2022-12-01 2023-11-15 Федеральное государственное казенное военное образовательное учреждение высшего образования "ВОЕННАЯ АКАДЕМИЯ МАТЕРИАЛЬНО-ТЕХНИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ имени генерала армии А.В. Хрулева" Laser device for forming 3d images

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105424322B (en) Self calibration plain shaft parallelism detector and detection method
US20140340691A1 (en) Enhancements to integrated optical assembly
US3652167A (en) Optical image splitting systems
US7859649B2 (en) Laser range sensor system optics adapter and method
CN109358435B (en) Device and method for adjusting perpendicularity of double telecentric lenses
CN108168468B (en) Focusing photoelectric auto-collimator with laser sighting device inside and sighting method
CN109387163A (en) A kind of portable plain shaft parallelism calibration method of heavy caliber
CN109407335B (en) Adjusting device and adjusting method for adjusting lens group
CN100451540C (en) Device for detecting three-axle parallel of large photoelectric monitoring equipment using thermal target technology
RU2612918C1 (en) Device for determining positions of defects on aspherical surface of optical part (versions)
CN105674913B (en) A kind of long-range Optical Surface detecting system
RU2697436C1 (en) Method for angular reflector angular parameters measurement and device for its implementation
CN111426449B (en) Method for calibrating parallelism of optical axes of multiple autocollimators
RU2369835C1 (en) Laser profilometre
US6219146B1 (en) Laser reflector alignment
RU2285234C2 (en) Laser roughness indicator
CN105092212A (en) Array corner reflector pointing accuracy measurement system and method
CN102589462A (en) Heavy-caliber paraboloid measurement system
US20180080754A1 (en) Interferometer for measuring qualities of large size objects
RU2478185C1 (en) Apparatus for determining spatial orientation of objects
RU67249U1 (en) DEVICE FOR CONTROL OF THE PERPENDICULARITY OF THE VISIOR AXIS OF THE OPTICAL INSTRUMENTAL PLANE OPTICAL INSTRUMENTS
RU2851989C1 (en) Method for aligning parallelism of channels of multispectral optoelectronic instrument
RU2563322C2 (en) Optical system of bench for measurement of horizontal angle
RU2362118C2 (en) Laser profile metre
CN205505989U (en) Long -range optical surface shape of face detecting system

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20110305