[go: up one dir, main page]

RU2352685C2 - Простая система химического осаждения из паров и способы нанесения многометаллических алюминидных покрытий - Google Patents

Простая система химического осаждения из паров и способы нанесения многометаллических алюминидных покрытий Download PDF

Info

Publication number
RU2352685C2
RU2352685C2 RU2005141760/02A RU2005141760A RU2352685C2 RU 2352685 C2 RU2352685 C2 RU 2352685C2 RU 2005141760/02 A RU2005141760/02 A RU 2005141760/02A RU 2005141760 A RU2005141760 A RU 2005141760A RU 2352685 C2 RU2352685 C2 RU 2352685C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
reaction chamber
container
vapor
main reaction
phase reagent
Prior art date
Application number
RU2005141760/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2005141760A (ru
Inventor
Дэвид К. ФЭЙРБОУРН (US)
Дэвид К. ФЭЙРБОУРН
Original Assignee
Аэромет Текнолоджиз, Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Аэромет Текнолоджиз, Инк. filed Critical Аэромет Текнолоджиз, Инк.
Publication of RU2005141760A publication Critical patent/RU2005141760A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2352685C2 publication Critical patent/RU2352685C2/ru

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/02—Pretreatment of the material to be coated
    • C23C16/0272—Deposition of sub-layers, e.g. to promote the adhesion of the main coating
    • C23C16/029—Graded interfaces
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/06—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material
    • C23C16/08—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material from metal halides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/448—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/448—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials
    • C23C16/4485—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials by evaporation without using carrier gas in contact with the source material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/448—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials
    • C23C16/4488—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials by in situ generation of reactive gas by chemical or electrochemical reaction
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
    • C23C28/32—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer
    • C23C28/321—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer with at least one metal alloy layer
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
    • C23C28/32—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer
    • C23C28/321—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer with at least one metal alloy layer
    • C23C28/3215—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer with at least one metal alloy layer at least one MCrAlX layer
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
    • Y02T50/00—Aeronautics or air transport
    • Y02T50/60—Efficient propulsion technologies, e.g. for aircraft

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

Изобретение относится системе и способу химического осаждения из паров (ХОП) для нанесения на деталь реактивного двигателя алюминидного покрытия и может найти применение при изготовлении и ремонте реактивных двигателей. Выполняют покрытие, состоящее из двух или большего числа примесных металлических компонентов. Алюминидное покрытие способно образовывать защитный сложный оксид при последующем нагреве в окислительной среде. По меньшей мере, один из примесных металлов в алюминидном покрытии доставляют в виде отдельного парофазного реагента из контейнера, соединенного закрытым ходом с реакционной камерой системы ХОП и свободного от газа-носителя. Алюминидное покрытие образуют посредством химического объединения парофазного реагента с другим парофазным реагентом, образованным либо на месте в реакционной камере, либо поданным газом-носителем к реакционной камере от источника исходного вещества. В результате получают качественное покрытие.2 н. и 35 з.п. ф-лы, 3 ил.

Description

Перекрестная ссылка на родственные заявки
Эта заявка относится к заявке с порядковым №09/439210, поданной 12 ноября 1999 г.
Область применения изобретения
Изобретение относится к простой системе химического осаждения из паров и, в частности, к простой системе химического осаждения из паров, оснащенной для создания защитного слоя на деталях реактивного двигателя.
Предпосылки к созданию изобретения
Детали реактивного двигателя, изготовленные из сверхпрочного сплава, подвергаются воздействию экстремальных рабочих условий, которые могут оказать вредное влияние на их поверхность. Для защиты поверхности на нее наносят жертвенный интерметаллический слой для образования защитного оксидного слоя, в то время как деталь реактивного двигателя находится в эксплуатации. После того как жертвенный интерметаллический слой изнашивается и становится тонким во время использования, удаляют этот слой и наносят новый жертвенный интерметаллический слой. Этот процесс повторяют максимально возможное количество раз, чтобы продлить срок службы детали реактивного двигателя.
Интерметаллический слой обычно образуют простым способом химического осаждения из паров (ХОП), при котором очищенную деталь реактивного двигателя подвергают воздействию обедненной кислородом среды в реакционной камере. Внутри реакционной камеры обычно находятся материал-активатор и материал-донор, содержащий, по меньшей мере, один металл, вводимый в интерметаллический слой. Реакционную камеру продувают атмосферными газами и вакуумируют. Материал-активатор и материал-донор нагревают для образования парофазных реагентов, которые вызывают перенос металла из материала-донора к детали реактивного двигателя. Интерметаллический слой, образованный на детали реактивного двигателя, может содержать собственный металл, диффундированный наружу из сплава, образующего деталь реактивного двигателя. Однако интерметаллический слой может также содержать, по меньшей мере, один примесный металл из материала-донора.
Наиболее распространенным примесным металлом, используемым в интерметаллическом слое, является алюминий. С этой целью типичные материалы-доноры содержат алюминий, так что алюминий образует большую часть интерметаллического слоя. Однако желательно, чтобы в интерметаллическом слое в значительной концентрации присутствовал также второй примесный металл. Современные способы введения второго примесного металла в интерметаллический слой являются дорогостоящими и громоздкими и часто приводят к менее желательным интерметаллическим слоям.
Например, обычный материал-донор может представлять собой порошок или мелкие куски хромоалюминиевого сплава, в котором хром присутствует для повышения температуры плавления материала. Как полагают, во время процесса ХОП хром фактически или почти не будет переноситься от материала-донора к детали реактивного двигателя, и даже если хром достигает детали реактивного двигателя, он может неоднородным образом встраиваться в интерметаллический слой. Действительно, так как алюминий является более химически активным, чем хром, то хром из материала-донора не может в значительной концентрации быть введен в интерметаллический слой, пока не исчерпается алюминий из материала-донора. Результатом могут быть интерметаллические слои, отличающиеся плохими свойствами и/или чрезмерно длительной продолжительностью производственного цикла. В определенных случаях применения невозможность выделения хрома из материала-донора может препятствовать достижению полезных результатов, обусловленных присутствием хрома в покрытии, образующемся на детали реактивного двигателя.
Другие подходы к введению двух примесных металлов в интерметаллический слой страдают сопоставимыми недостатками. Например, предлагалось вначале покрывать деталь реактивного двигателя хромом или платиной, например, нанесением электролитического покрытия до помещения ее в реакционную камеру простой системы ХОП и образования интерметаллического слоя. Хотя результатом этого могут быть интерметаллические слои, содержащие хром или платину и алюминий, происходящий из материала-донора, этот способ длителен и является дорогостоящим, а также требует использования значительно больше хрома или платины, чем это необходимо. Кроме того, электролитические покрытия страдают неоднородностью вследствие естественных тенденций электролитических покрытий иметь большую толщину у острых краев и вблизи их.
Таким образом, существует потребность в усовершенствованных устройствах и способе для нанесения алюминидного слоя, имеющего два примесных металла, на детали реактивного двигателя, изготовленные из сверхпрочного сплава, и на другие виды деталей из сверхпрочного сплава.
Сущность изобретения
Согласно настоящему изобретению предлагаются устройство и способ ХОП для образования алюминидного слоя, содержащего два или большее число примесных металлов, на открытой поверхности детали реактивного двигателя, изготовленной из сверхпрочного сплава, при отсутствии недостатков способов и систем, известных из предшествующего уровня техники и направленных на достижение той же самой цели. В соответствии с сущностью настоящего изобретения, второй примесный металл подается из отдельного контейнера, расположенного снаружи реакционной камеры. Наружный контейнер имеет относительно небольшой объем и выполнен с возможностью содержать в себе твердый материал, содержащий второй примесный металл. Контейнер выполнен обогреваемым и герметизированным, за исключением закрытого хода, который допускает пассивное перемещение парофазного реагента от твердого материала, содержащего второй примесный металл, к главной реакционной камере ХОП.
Первый примесный металл может быть доставлен обычным образом, например, от мелких кусков в простой реакционной камере ХОП или от доноронесущего газа, вводимого в динамическую реакционную камеру ХОП. Однако в отличие от динамических систем ХОП сам отдельный контейнер пассивно соединен с главной реакционной камерой закрытым ходом, что тем самым исключает какую-либо опору на находящийся под давлением поток коррозионного или инертного газа-носителя в наружный контейнер или через него. Контейнер нагревают до температуры, эффективной для превращения твердого материала, содержащего второй примесный металл, в парофазный реагент, который затем по закрытому ходу мигрирует или диффундирует в главную реакционную камеру. Таким образом, второй примесный металл вводят в главную реакционную камеру уже в паровой фазе, но отдельно от другого примесного металла и без помощи находящегося под давлением потока коррозионного или инертного газа-носителя. Примесные металлы в паровых фазах затем могут химически соединяться у поверхности детали реактивного двигателя для образования интерметаллического слоя с многочисленными металлами, но без больших затрат, производственных потерь и других недостатков, известных из уровня техники для систем и способов, которые направлены на введение многочисленных примесных металлов в интерметаллический слой.
Хотя точно не известен механизм успешного обеспечения двумя или большим количеством примесных металлов у детали реактивного двигателя для образования интерметаллического слоя и к тому же отсутствует желание быть ограниченным каким-либо конкретным механизмом или теорией, тем не менее полагают, что диффузия парофазного реагента из контейнера в главную реакционную камеру будет вызываться перепадом давления между ними. Конкретно, ограничение парофазного реагента, содержащего второй примесный металл, внутри сравнительно небольшого по объему контейнера увеличивает местное давление и вызывает диффузию парофазного реагента по закрытому ходу к большему объему внутри главной реакционной камеры. При стандартных температуре и давлении каждый моль материала-донора для второго примесного металла превращается в 22,4 литра газа. Парофазный реагент в контейнере течет от области высокого давления (концентрации) в контейнере к области низкого давления (концентрации) в главной реакционной камере. Следовательно, не требуется помощи потока находящегося под давлением инертного или коррозионного газа-носителя для переноса парофазного реагента, содержащего второй примесный металл, к главной реакционной камере, как в динамической системе ХОП, что упрощает процесс осаждения и исключает необходимость в обращении с потенциально опасными газами. Кроме того, контейнер не нужно выполнять с впускным отверстием для газа-носителя, что упрощает конструкцию и эксплуатацию системы и уменьшает эксплуатационные расходы.
Согласно одному аспекту настоящего изобретения контейнер может быть расположен непосредственно над верхом главной реакционной камеры и, что еще удобнее, посажен на нее. Контейнер может быть непосредственно соединен с реакционной камерой короткой жесткой трубой или трубопроводом, так чтобы контейнер поддерживался крышкой реакционной камеры и мог быть передвинут с ней. Согласно другому аспекту настоящего изобретения трубу (трубы) также обогревают для поддержания второго примесного металла в паровой фазе таким образом, чтобы он не конденсировался в жидкость или не выпадал в виде твердого вещества при его миграции от контейнера к главной реакционной камере.
Полезно применять короткий трубопровод, который имеет только два нормально открытых отверстия, из которых одно отверстие соединено с отверстием контейнера, а другое отверстие находится в гидравлическом сообщении с главной реакционной камерой, как, например, через прямую трубу, колено или тройник с закрытым концом. Следовательно, не имеется никакого пути для прохождения в контейнер или через него потока газа-носителя, как, например, коррозионных газов, обычно используемых в динамических системах ХОП. Для предоставления еще одного источника примесного металла, как, например, третьего такого металла, может быть подсоединен дополнительный контейнер, находящийся в гидравлическом сообщении через короткий трубопровод.
Согласно вышеизложенному, предлагаются усовершенствованные система и способ ХОП, посредством которых на деталях реактивного двигателя, изготовленных из сверхпрочного металла, могут быть образованы алюминидные слои, содержащие, по меньшей мере, два примесных металла, которые при нагреве в окислительной атмосфере окисляются с образованием наружного слоя или пленки, состоящей из сложного оксида.
Эти и другие цели и преимущества настоящего изобретения станут очевидными из сопровождающих чертежей и его описания.
Краткое описание чертежей
Сопровождающие чертежи, которые включены в это описание изобретения и составляют его часть, иллюстрируют вариант осуществления изобретения и вместе с вышеприведенным общим описанием изобретения и нижеприведенным подробным описанием варианта осуществления изобретения служат для объяснения сущности изобретения.
Фиг.1 - схематический вид устройства ХОП согласно сущности изобретения,
фиг.2 - схематический вид альтернативного варианта выполнения простого устройства ХОП согласно изобретению и
фиг.3 - схематический вид альтернативного варианта выполнения простого устройства ХОП согласно изобретению.
Подробное описание предпочтительных вариантов осуществления изобретения
Как показано на фиг.1, устройство ХОП 10 согласно сущности изобретения содержит реакционную камеру 12, состоящую из крышки 14 и сосуда 16. Крышка 14 имеет герметичное соединение с сосудом 16, что при герметичном соединении обычно препятствует поступлению кислорода в реакционную камеру 12. Внутреннее пространство 15 определяет среду для осаждения, когда крышка 14 герметично соединена с сосудом 16, продутым атмосферными газами и вакуумированным. Крышка 14 может быть отсоединена от сосуда 16 для предоставления доступа к внутреннему пространству 15. Реакционная камера 12 изготовлена из металла, стойкого к коррозионному действию реагентов ХОП, как, например, из Inconel 601 или RA 353 MA.
Инертный газ, как, например, аргон от источника подачи 18 этого газа, подают в реакционную камеру 12 через впускное отверстие 20. Выпускное отверстие 22 реакционной камеры 12 соединено с вакуум-насосом 24, способным вакуумировать реакционную камеру 12 до вакуумметрического давления. Деталь 26 реактивного двигателя вставляют в реакционную камеру 12 и размещают вдали от источника примесного металла, как это объясняется ниже. Реакционную камеру 12 продувают химически активными атмосферными газами, как, например, кислородом, вакуумируя вакуум-насосом 24 внутреннее пространство 15 реакционной камеры 12 до вакуумметрического давления и подавая во внутреннее пространство 15 реакционной камеры 12 инертный газ от источника подачи 18 инертного газа. Реакционную камеру 12 неоднократно вакуумируют и вновь наполняют, пока остаточные концентрации химически активных атмосферных газов не будут достаточно низкими, чтобы не препятствовать последующему осаждению интерметаллического слоя.
Внутри реакционной камеры 12 расположены контейнер или сосуд 27, содержащий в себе массу или навеску твердого материала-донора 28, контейнер или сосуд 29, содержащий в себе массу или навеску материала-активатора 30, и деталь 26 реактивного двигателя. Контейнер 29 расположен на подставке 31, поддерживаемой сосудом 16. Деталь 26 реактивного двигателя может быть изготовлена из любого сверхпрочного сплава. В число подходящих материалов-активаторов 30, пригодных для использования при этом изобретении, входят, но не ограничиваются ими, фторид алюминия, хлорид алюминия, фторид аммония, бифторид аммония и хлорид аммония. В число подходящих твердых материалов-доноров 28 входят сплавы хрома и алюминия, сплавы кобальта и алюминия и сплавы ванадия и алюминия. Чтобы снабдить первым примесным металлом алюминидное или интерметаллическое покрытие 34, образуемое на детали 26, материал-донор 28 может быть использован в виде мелких кусков или порошка, отделенного от детали 26 реактивного двигателя и не зависящего от нее.
Как также показано на фиг.1, нагревательный элемент 32 при тепловом контакте соединен с реакционной камерой 12 для обеспечения достаточной теплопередачи к материалу-активатору 30. Нагревательный элемент 32 действует для повышения температуры твердого материала-донора 28 и материала-активатора 30 до температуры приблизительно 2200°F, ниже которой испаряется материал-активатор 30. Пар, происходящий из материала-активатора 30, способствует выделению парофазного реагента из твердого материала-донора 28, который ограничен во внутреннем пространстве реакционной камеры 12, содержит примесный металл - обычно алюминий - и действует как источник примесного металла. Согласно изобретению, предполагается, что для увеличения скорости осаждения покрытия через контейнер 29 может быть приложен электрический потенциал постоянного тока при непосредственной связи по постоянному току с деталью 26 реактивного двигателя.
Снаружи реакционной камеры 12 расположен сравнительно небольшой контейнер 36, в котором находится твердый материал-донор 38. Твердый материал-донор 38, предоставляемый либо в виде сухого твердого вещества, как, например, в гидратированной кристаллической форме, либо в виде жидкости, служит источником второго примесного металла, отдельного и отличимого от детали 26 реактивного двигателя. Второй примесный металл объединяется с первым примесным металлом, подаваемым от материала-донора 28, для образования на детали 26 реактивного двигателя алюминидного покрытия 34, которое на фиг.1 для ясности показано с увеличенной толщиной. Состав твердого материала-донора 38 отличается от состава твердого материала-донора 28, присутствующего в реакционной камере 12.
Контейнер 36 выполнен с такими размерами, чтобы вмещать в себя твердый материал-донор 38. Реакционная камера 12 выполнена с такими размерами, чтобы вмещать в себя деталь 26 реактивного двигателя. Следовательно, размеры реакционной камеры 12 значительно больше, чем размеры контейнера 36. Так как контейнер 36 и главная камера 12 разделяют среду для осаждения, то остаточные атмосферы в них являются общими. Любой остаточный инертный газ, оставшийся внутри реакционной камеры 12 и контейнера 36 после процесса продувки с вакуумированием и наполнением, представляет собой часть среды для осаждения. Парофазный реагент, содержащий второй примесный металл, перемещается из контейнера 36 в реакционную камеру 12 без помощи находящегося под давлением газа-носителя. Как понятно специалисту в данной области техники, остаточный инертный газ не представляет собой газ-носитель, поскольку не имеется никакого находящегося под давлением потока идентифицируемого газа-носителя, который способен переносить парофазный реагент, содержащий второй примесный металл, из контейнера 36 в реакционную камеру 12. В общем, объем реакционной камеры 12, по меньшей мере, в десять раз больше, чем объем контейнера 36 и трубопровода 40. В примерном варианте осуществления изобретения контейнер 36 имеет объем около 50 см3, реакционная камера 12 имеет объем около 27000 см3, и трубопровод 40 имеет объем около 10 см3.
Как также показано на фиг.1, внутреннее пространство 39 контейнера 36 соединено при гидравлическом сообщении с внутренним пространством 15 реакционной камеры 12 трубопроводом 40, который может иметь форму тройника, определяющего канал 42 для пара. С этой целью трубопровод 40 имеет два нормально открытых отверстия 41, 43. Отверстие 41 герметично соединено с отверстием 45 контейнера 36, а отверстие 43 соединено при гидравлическом сообщении с реакционной камерой 12, так что реакционная камера 12 и контейнер 36 совместно используют общую и замкнутую среду или атмосферу, которая допускает перенос испарившегося материала-донора 38 в реакционную камеру 12. Канал 42 для пара с пользой свободен от клапанной системы, так что атмосфера внутри контейнера 36 не может быть изолирована от атмосферы внутри реакционной камеры 12. Контейнер 36 изготовлен из материала, способного поддерживать вакуумметрическое давление до 100 Торр. Трубопровод 40 может быть образован трубой с номинальным диаметром 0,5 дюйма и может быть либо сортамента 40, либо сортамента 80 в зависимости от давления в трубопроводе. Контейнер 36 может быть подвешен над крышкой 14 посредством трубопровода 40, может поддерживаться от крышки 14 посредством опорной конструкции (не показана) или может поддерживаться отдельно посредством независимой опорной конструкции (не показана).
Контейнер 36 можно открывать для пополнения при необходимости навеской из второго твердого материала-донора 38 для смены вида твердого материала-донора 38 с целью подачи другого металла в реакционную камеру 12 или для чистки. Контейнер 36 газонепроницаемым образом герметично и с возможностью съема соединен с трубопроводом 40. С этой целью контейнер 36 содержит кольцевой фланец 48, который может быть газонепроницаемым образом соединен с кольцевым фланцем 50, окружающим отверстие 52 трубопровода 40. Контейнер 36 может быть выложен керамической футеровкой (не показана), как, например, глиноземной футеровкой для предотвращения возникновения коррозии, вызываемой вторым материалом-донором 38. Контейнер 36 может быть выполнен с возможностью получения продувочного потока инертного газа, как, например, аргона через, например, впускное отверстие 54, которое обычно закрыто колпаком. Продувочный поток был бы полезен во время загрузки контейнера 36 массой или навеской второго материала-донора 38 и, кроме того, до или после нанесения покрытия, происходящего в реакционной камере 12. Контейнер 36 может быть сформирован из высокопрочного сплава на основе никеля, как, например, Inco 600, Haynes 120, Inco 601 или Hastelloy C276, который стоек к коррозии хлорид-ионами.
Как также показано на фиг.1, контейнер 36 и трубопровод 40, ведущий к реакционной камере 12, нагревают соответствующими нагревателями 44, 46. Нагреватель 46 способен нагревать трубопровод 40 до температуры, по меньшей мере, около 1000°F. Действие нагревателя 46 предотвращает осаждение металлического парофазного реагента, перемещаемого из контейнера 36 в реакционную камеру 12, в виде жидкости и/или твердого вещества на внутренних поверхностях трубопровода 40. Нагреватель 44 должен быть способен нагревать контейнер 36 и второй материал-донор 38 до температуры, по меньшей мере, 2000°F за 20 минут. Любой из нагревателей 44, 46 может состоять, например, из многочисленных нагревательных элементов, заделанных в керамический элемент. Подходящие нагревательные элементы имеются на рынке от Kanthal Globar (Ниагара-Фолз, шт.Нью-Йорк, США).
Обращенная наружу поверхность нагревателей 44, 46 теплоизолирована, так чтобы операторы не могли обжечься, когда контейнер 36 горячий. Контейнер 36 может быть оснащен устройством для измерения температуры (не показано), как, например, термопарой или, точнее, термопарой типа К и устройством индикации температуры (не показано), электрически соединенным с устройством для измерения температуры. Температуру контейнера 36 регулируют так, чтобы она не превышала температуру испарения второго материала-донора 38 больше, чем на около 15°F. Нагреватели 44, 46 могут выборочно включаться оператором или могут работать в автоматическом режиме под управлением управляющего устройства реакционной камеры 12.
Как также показано на фиг.1, твердым материалом-донором 38, помещенным в контейнер 36, может быть любая твердая металло-галогеновая кислота Льюиса, имеющая состав, содержащий металлический элемент, выбранный для взаимодействия с металлическим элементом в парофазном реагенте, происходящем из твердого материала-донора 38, для образования алюминидного покрытия на открытой поверхности детали 26 реактивного двигателя. Металло-галогеновая кислота Льюиса обычно поставляется в виде твердого материала в гидратной или безводной форме, как, например, в виде мелких кусков или порошка, хотя изобретение не ограничено этим, и предпочтительно является свободной от алюминия. Такие металло-галогеновые кислоты Льюиса отличаются металлическим элементом, как, например, хромом, цирконием, иттрием, гафнием, платиной, палладием, родием, иридием, титаном, ниобием, кремнием и кобальтом, химически связанным с галогеном, как, например, фтор-, хлор-, бром- и иод-ионом. В число подходящих кислот Льюиса входят, но не ограничиваются ими, AlCl3, CoCl4, CrCl3, CrF3, FeCl3, HfCl3, IrCl3, PtCl4, RhCl3, RuCl3, TiCl4, YCl3, ZrCl4 и ZrF4. Металло-галогеновые кислоты Льюиса могут быть химическими веществами с чистотой по стандарту Американского химического общества или с высокой чистотой реагента и по существу свободны от загрязнений, как, например, серы. При нагревании такие металло-галогеновые кислоты Льюиса преобразуются из формы сухого твердого вещества в форму жидкости, а при увеличении температуры преобразуются из формы жидкости в пар для предоставления парофазного реагента, содержащего примесный металл. Тщательно регулируя температуру контейнера 36, можно использовать регулирование превращения в парофазный реагент для того, чтобы регулировать ввод парофазного реагента в реакционную камеру 12.
При нагреве до достаточной температуры в контейнере 36 твердый материал-донор 38 образует парофазный реагент, перемещаемый или переносимый по трубопроводу 40 к реакционной камере 12. Реакционная камера 12 и контейнер 36 с пользой совместно используют общую среду или атмосферу, потому что одно нормально открытое отверстие 43 трубопровода 40 соединено при гидравлическом сообщении с внутренним пространством 15 реакционной камеры 12, а другое нормально открытое отверстие 45 герметично соединено с отверстием контейнера 36. Этот подход контрастирует с динамическими системами ХОП, которые вместо этого основываются на пропуске коррозионного газа, как, например, хлористого водорода или газа-носителя, через материал-источник, содержащийся во внешней камере с исходным веществом. Подход согласно изобретению исключает необходимость в источнике газа и в перемещении газа-носителя или коррозионного газа от источника газа к контейнеру 36, требующихся при динамической системе ХОП. Масса или навеска твердого материала-донора 39, введенного в контейнер 36, регулирует состав алюминидного покрытия, образующегося на детали 26 реактивного двигателя. Например, масса твердого материала-донора 39 может быть изменена так, чтобы покрытие 34 содержало менее 10 вес.% металлического элемента из твердого материала-донора 38.
Согласно изобретению предполагается, что реакционная камера 12 может содержать опорную плиту, на которой расположены деталь 26 реактивного двигателя, контейнер 27, контейнер 29 и колпак, который изготовлен из металла и может быть отсоединен от опорной плиты для доступа. В этом альтернативном варианте осуществления изобретения трубопровод 40 от контейнера 36 был бы соединен с внутренним пространством 15 через колпак. Кроме того, согласно изобретению предполагается, что в альтернативном варианте осуществления изобретения материал-донор 38 в контейнере 36 может быть твердым материалом-активатором, который при нагревании до достаточной температуры способен предоставлять дополнительный материал-активатор в реакционную камеру 12.
Как также показано на фиг.1, при использовании устройства в реакционную камеру 12 помещают деталь 26 реактивного двигателя, навеску первого материала-донора 28 и навеску материала-активатора 30, а в контейнер 36 - навеску второго материала-донора. Продувают атмосферными газами внутреннее пространство 39 контейнера 36 и внутреннее пространство 15 реакционной камеры 12, неоднократно впуская инертный газ от источника подачи 18 инертного газа через впускное отверстие 20 и вакуумируя вакуум-насосом 24 через выпускное отверстие 22. После последнего цикла продувки вакуумируют до вакуумметрического давления около 100 Торр. Первый металлический компонент, вводимый в алюминидное покрытие 34, выделяется из первого материала-донора 28 в виде первого парофазного реагента при посредничестве паров нагретого материала-активатора 30, которые образуются при нагреве, как это схематически показано с обозначением позицией 33. Диффузия первого парофазного реагента к детали 26 реактивного двигателя схематически показана с обозначением позицией 35.
Контейнер 36 нагревают нагревателями 44 до температуры, эффективной для образования второго парофазного реагента из твердого материала-донора 38, который доставляется к реакционной камере 12 по нагретому трубопроводу 40, как это схематически показано с обозначением позицией 37. Таким образом, второй примесный металл вводится в главную реакционную камеру 12 уже в паровой фазе, но отдельно от другого примесного металла. Примесные металлы, присутствующие в отдельных парофазных реагентах, объединяются у открытой поверхности детали 26 реактивного двигателя и образуют на детали 26 реактивного двигателя алюминидное покрытие 34, содержащее разные примесные металлы. Как понятно специалистам в данной области техники, в процесс нанесения покрытия могут быть включены дополнительные стадии, как, например, циклы выдержки и очистки. Извлекают деталь 26 реактивного двигателя из реакционной камеры 12. В нагретой окислительной среде, как, например, в той, в которой деталь 26 реактивного двигателя функционирует на самолете, окисление открытой поверхности алюминидного покрытия 34 приводит к образованию сложного оксида, который защищает нижележащий высокопрочный сплав от повреждения.
Что касается этого конкретного случая применения, алюминидное покрытие 34 на детали 26 реактивного двигателя имеет ограниченный срок службы и постепенно разрушается. Деталь 26 реактивного двигателя нужно периодически проверять и, возможно, снимать с эксплуатации для повторного нанесения алюминидного покрытия 34. С другой стороны, можно с регулярными интервалами снимать деталь 26 двигателя внутреннего сгорания для повторного нанесения алюминидного покрытия 34. После снятия детали 26 с эксплуатации удаляют любой существующий слой сложного оксида и остаточное алюминидное покрытие 34 на детали 26 реактивного двигателя, например, снятием кислотой и/или дробеструйной очисткой для обнажения свежей поверхности детали 26. Деталь 26 реактивного двигателя снова покрывают другим алюминидным покрытием 34 в соответствии с сущностью изобретения и вновь возвращают на эксплуатацию.
Как показано на фиг.2, на которой одинаковыми позициями обозначены одинаковые детали, контейнер 36 может быть расположен наверху крышки 14 и в контакте с этой крышкой, служащей конструктивной опорой. При этом расположении благодаря сокращению длины трубопровода 40 уменьшается путь перемещения в реакционную камеру 12 парофазного реагента, происходящего из второго материала-донора 38 в контейнере 36. Такое расположение можно осуществить, изменяя размеры трубопровода 40.
В альтернативном варианте осуществления изобретения, показанном на фиг.2, второй контейнер 36а может быть пассивно соединен при закрытом гидравлическом сообщении с реакционной камерой 12. Контейнер 36а по существу одинаков с контейнером 36, за исключением того, что он вмещает материал-донор 56, который содержит третий примесный металл, отличающийся по составу от примесных металлов в материалах-донорах 28, 38. Контейнер 36а соединен закрытым ходом с реакционной камерой 12, так что парофазный реагент, происходящий из материала-донора 56, можно перемещать к реакционной камере 12, не прибегая к потоку газа-носителя. Таким образом, примесный металл из контейнера 36а вводят в главную реакционную камеру уже в паровой фазе, но отдельно от других примесных металлов. Три примесных металла в их соответствующих паровых фазах объединяются у поверхности детали 26 реактивного двигателя для образования интерметаллического слоя, содержащего многочисленные примесные металлы.
Согласно сущности изобретения простая система ХОП согласно изобретению с добавленным контейнером 36а может быть также использована, например, для нанесения второго покрытия на открытую поверхность ранее нанесенного алюминидного покрытия. Например, покрытие из иттрия, закрывающее алюминидное покрытие, было бы связано с серой, которая в противном случае могла бы оказывать вредные воздействия на характеристики алюминида, когда деталь 26 реактивного двигателя находилась бы в эксплуатации. Технологический процесс нанесения второго покрытия включал бы в себя понижение температуры контейнера 36 после образования на детали 26 реактивного двигателя первого покрытия из примесных металлов от материалов-доноров 28, 38, так чтобы материал-донор 38 больше не испарялся, и нагревание контейнера 36а, так чтобы материал-донор 56 испарялся для перемещения в реакционную камеру 12.
Согласно еще одному альтернативному варианту осуществления изобретения, также показанному на фиг.2, с впускным отверстием 54а второго контейнера 36 соединен третий контейнер 36b. Контейнер 36b по существу одинаков с контейнерами 36, 36а, за исключением того, что он содержит в себе материал-донор 58, отличающийся по составу от примесных металлов, происходящих от материалов-доноров 28, 38 и 56. В частности, контейнер 36b соединен закрытым ходом с контейнером 36а и реакционной камерой 12, так что парофазный реагент, происходящий от материала-донора 58, и парофазный реагент, происходящий от материала-донора 56 и содержащий четвертый примесный металл, можно перемещать в реакционную камеру 12 в отсутствие потока газа-носителя. В соответствии с сущностью изобретения простая система ХОП согласно изобретению с дополнительным контейнером 36b может быть использована для того, чтобы подавать четвертый примесный металл в реакционную камеру 12 для нанесения на открытую поверхность детали 26 реактивного двигателя сложных покрытий, содержащих вплоть до четырех отдельных примесных металлов. Например, могут быть нанесены два покрытия во взаимодействии с дополнительными примесными металлами, происходящими из контейнеров 36, 36а, 36b, как, например, переходное покрытие, переходящее по составу от алюминида к цирконию и, в частности, стабилизированному иттрием цирконию. Определенные примесные металлы, подаваемые к детали 26 реактивного двигателя и объединяемые у нее, выбирали бы, регулируя температуры контейнеров 36, 36а, 36b. Такое ступенчатое покрытие становилось бы эффективной подложкой для стабилизированного иттрием циркония, осажденного при последующем процессе физического осаждения из паров (ФОП).
Согласно еще одному альтернативному варианту осуществления изобретения, показанному на фиг.3, источник 60 исходного вещества соединен с реакционной камерой 12 транспортным трубопроводом 62. Источник 60 исходного вещества загружен некоторым количеством подходящего исходного вещества, содержащего примесный металл, и нагрет до температуры, при которой исходное вещество создает соответствующее давление пара для возможности его переноса газом-носителем в реакционную камеру 12. С этой целью по подающей трубе 66 обеспечивается регулируемый поток газа-носителя от источника 64 подачи газа-носителя к источнику 60 исходного вещества. Газ-носитель течет через источник 60 исходного вещества и тем самым уносит пары исходного вещества, смешиваясь с ними для образования газовой смеси, содержащей примесный металл, который по транспортному трубопроводу 62 переносится к реакционной камере 12. Источник 60 исходного вещества замещает и заменяет контейнеры 27, 29 (фиг.1), так как первый примесный металл доставляется от источника 60 исходного вещества, а не от твердого материала-донора 28. Примесный металл, происходящий от источника 60 исходного вещества, таким образом, вводится в главную реакционную камеру отдельно от другого примесного металла, перемещающегося из контейнера 36. Примесные металлы в их паровых фазах затем могут химически объединяться у поверхности детали 26 реактивного двигателя для образования интерметаллического слоя, содержащего многочисленные примесные металлы.
Согласно еще одному альтернативному варианту осуществления изобретения, также показанному на фиг.3, внутреннее пространство 71 контейнера 36 с прямым отрезком нагретого трубопровода 70 соединено закрытым ходом с реакционной камерой 12. Как и в контейнерах 36, 36а, 36b, в контейнере 36 с образуется парофазный реагент от подходящего материала-донора 72 для пассивного перемещения через трубопровод 70 в реакционную камеру 12 без помощи потока газа-носителя. Вход в трубопровод 70 расположен в верхней части внутреннего пространства 71 над навеской из материала-донора 72, так что парофазный реагент может входить в трубопровод 70 для перемещения в реакционную камеру 12. Внутреннее пространство 71 контейнера 36 с доступно благодаря съемной крышке 74 и нагревается нагревателем 76.
Хотя настоящее изобретение было пояснено описанием варианта его осуществления и конкретными примерами, и хотя этот вариант осуществления изобретения описан со значительными подробностями, он, как предполагают, не ограничивает или никоим образом не лимитирует такими подробностями пределы прилагаемой формулы изобретения. Для специалистов в данной области техники будут легко понятны дополнительные преимущества и модификации. Например, трубопровод 40 может быть выполнен в форме колена, а не тройника. Следовательно, изобретение в его более широких аспектах не ограничивается конкретными подробностями, характерным устройством и способами и показанными и описанными иллюстративными примерами. Таким образом, могут быть сделаны отклонения от таких подробностей, не выходя при этом за пределы общей изобретательской идеи заявителя или не отклоняясь от ее сущности.

Claims (37)

1. Система химического осаждения из паров для образования покрытия (34), содержащая главную реакционную камеру (12), выполненную с возможностью содержать в себе деталь (26) и при нагревании образовывать среду для осаждения для способствования образованию покрытия на детали (26), в которой первый парофазный реагент (35) и второй парофазный реагент (37), по меньшей мере, один из которых содержит первый примесный металл, взаимодействуют для образования на детали (26) покрытия (34), содержащего первый примесный металл, и первый контейнер (36) снаружи главной реакционной камеры (12), выполненный с возможностью содержать в себе источник (38) второго парофазного реагента (37), при этом первый контейнер (36) сообщается со средой для осаждения главной реакционной камеры (12) по первому ходу (42) так, чтобы совместно использовать среду для осаждения главной реакционной камеры (12) и допускать пассивное перемещение второго парофазного реагента (37) из первого контейнера (36) к главной реакционной камере (12), отличающаяся тем, что главная реакционная камера (12) выполнена с возможностью содержать в себе деталь (26) реактивного двигателя, на которой должно быть образовано покрытие (34), первый контейнер (36) герметизирован, за исключением первого хода (42), в котором расположен первый нагреватель (44) для нагрева первого контейнера (36), и в котором второй парофазный реагент (37) является перемещаемым из первого контейнера (36) к главной реакционной камере (12) без помощи потока газа-носителя.
2. Система по п.1, содержащая средство для подачи первого парофазного реагента (35) к главной реакционной камере (12).
3. Система по п.2, в которой средство подачи является транспортным трубопроводом (62), отдельным от первого хода (42).
4. Система по п.2, в которой средство подачи содержит средство для содержания в себе твердого материала-донора (28), содержащего первый примесный металл, и средство для содержания в себе материала-активатора (30), который, будучи испарившимся, химически реагирует с твердым материалом-донором (28) для обеспечения первым парофазным реагентом (35).
5. Система по п.4, в которой указанное средство для содержания в себе твердого материала-донора (28) является контейнером (27), и в которой указанное средство для содержания в себе материала-активатора (30) является контейнером (29).
6. Система по п.1, в которой второй парофазный реагент (37) является пассивно перемещаемым из первого контейнера (36) к главной реакционной камере (12) без помощи потока коррозионного газа.
7. Система по п.1, в которой первый ход (42) определен трубопроводом (40), имеющим первое отверстие (41), соединенное при гидравлическом сообщении с первым контейнером (36), и второе отверстие (43), соединенное при гидравлическом сообщении с главной реакционной камерой (12).
8. Система по п.7, в которой первый контейнер (36) имеет единственное отверстие (45) контейнера, соединенное при закрытом гидравлическом сообщении с первым отверстием (41) трубопровода (40).
9. Система по п.7, в которой трубопровод (40) является трубой, гидравлически соединяющей среду для осаждения главной реакционной камеры (12) с первым контейнером (36).
10. Система по любому из пп.7-9, в которой трубопровод (40) является тройником, гидравлически соединяющим среду для осаждения главной реакционной камеры (12) с первым контейнером (36).
11. Система по п.1, содержащая второй нагреватель (32), расположенный для нагрева главной реакционной камеры (12).
12. Система по п.11, в которой, по меньшей мере, один из первого нагревателя (44) и второго нагревателя (32) расположен для нагрева первого хода (42).
13. Система по п.1, содержащая второй контейнер (36b) снаружи главной реакционной камеры (12), выполненный с возможностью содержать в себе источник (58) третьего парофазного реагента, при этом второй контейнер (36b) сообщается со средой для осаждения главной реакционной камеры (12) по первому ходу (42) так, чтобы совместно использовать среду для осаждения главной реакционной камеры (12) и допускать пассивное перемещение третьего парофазного реагента из второго контейнера (36b) к главной реакционной камере (12).
14. Система по п.13, содержащая третий контейнер (36а, 36с) снаружи главной реакционной камеры (12), выполненный с возможностью содержать в себе источник (56, 72) четвертого парофазного реагента, при этом третий контейнер (36а, 36с) сообщается со средой для осаждения главной реакционной камеры (12) по третьему ходу, отдельному от первого хода (42), так, чтобы совместно использовать среду для осаждения главной реакционной камеры (12) и допускать пассивное перемещение четвертого парофазного реагента из третьего контейнера (36а, 36с) к главной реакционной камере (12), и третий контейнер (36а, 36с) герметизирован, за исключением второго хода.
15. Система по п.1, содержащая второй контейнер (36а, 36с) снаружи главной реакционной камеры (12), выполненный с возможностью содержать в себе источник (56, 72) третьего парофазного реагента, при этом второй контейнер (36а, 36с) сообщается со средой для осаждения главной реакционной камеры (12) по второму ходу, отдельному от первого хода (42), так, чтобы совместно использовать среду для осаждения главной реакционной камеры (12) и допускать пассивное перемещение третьего парофазного реагента из второго контейнера (36а, 36 с) к главной реакционной камере (12), и второй контейнер (36а, 36 с) герметизирован, за исключением второго хода.
16. Система по п.1, в которой первый контейнер (36) механически поддерживается реакционной камерой (12).
17. Система по п.1, в которой реакционная камера (12) содержит сосуд (16) и крышку (14), съемную с сосуда (16), и первый контейнер (36) механически поддерживается крышкой (14).
18. Система по п.1, в которой главная реакционная камера (12) имеет первый объем, имеющий размеры для приема детали (26) реактивного двигателя, а первый контейнер (36) имеет второй объем значительно меньше, чем первый объем главной реакционной камеры (12).
19. Система по п.18, в которой первый объем главной реакционной камеры (12), по меньшей мере, в десять раз больше, чем второй объем первого контейнера (36).
20. Система по п.1, в которой главная реакционная камера (12) содержит впускное отверстие (20), выполненное для приема инертного газа по второму ходу, отдельному от первого хода (42), и выпускное отверстие (22), выполненное для вакуумирования реакционной камеры (12), которые совместно обеспечивают выдувание химически активных газов из реакционной камеры (12).
21. Система по п.1, в которой второй парофазный реагент (37) содержит первый примесный металл, первый парофазный реагент (35) содержит второй примесный металл, отличающийся по составу от первого примесного металла, и покрытие (34) содержит первый и второй примесные металлы.
22. Способ осаждения для образования покрытия (34) на детали (26) реактивного двигателя, содержащий этапы: помещают деталь (26) в среду для осаждения в главной реакционной камере (12), доставляют первый парофазный реагент (35), содержащий первый примесный металл, независимый от указанной детали (26), в среду для осаждения внутри главной реакционной камеры (12), нагревают указанную деталь (26), перемещают второй парофазный реагент (37) из первого контейнера (36) снаружи главной реакционной камеры (12) к среде для осаждения внутри главной реакционной камеры (12), в то время как нагретая деталь (26) находится в главной реакционной камере (12), и образуют покрытие (34), содержащее первый примесный металл, на указанной детали (26) посредством взаимодействия между первым парофазным реагентом (35) и вторым парофазным реагентом (37), отличающийся тем, что главную реакционную камеру (12) выполняют с возможностью содержать в себе деталь (26) реактивного двигателя, на которой должно быть образовано покрытие (34), и что второй парофазный реагент (37), свободный от потока газа-носителя, перемещают в первый контейнер (36).
23. Способ осаждения по п.22, при котором доставка первого парофазного реагента (35) представляет собой перемещение пара, содержащего источник первого примесного металла, к реакционной камере (12) в потоке газа-носителя.
24. Способ осаждения по п.22, при котором доставка первого парофазного реагента (35), кроме того, содержит помещение материала-активатора (30) и материала-донора (28), содержащего первый примесный металл, в реакционную камеру (12) и реагирование материала-активатора (30) с материалом-донором (28) для обеспечения первым парофазным реагентом (35).
25. Способ осаждения по п.24, при котором реагирование материала-активатора (30), кроме того, содержит достаточный нагрев материала-активатора (30) для того, чтобы вызвать миграцию материала-активатора (30) к материалу-донору (28) и тем самым вызвать химическую реакцию с выделением первого парофазного реагента (35).
26. Способ осаждения по п.24, при котором доставка второго парофазного реагента (37), кроме того, содержит пассивную доставку дополнительного испарившегося материала-активатора из первого контейнера (36) для реагирования с материалом-донором (28).
27. Способ осаждения по п.24, при котором второй парофазный реагент (37) включает в себя второй примесный металл, отличающийся по составу от первого примесного металла.
28. Способ осаждения по п.27, при котором образование покрытия (34), кроме того, содержит этап, на котором осуществляют контакт первого и второго парофазных реагентов (35, 37) с нагретой деталью (26) реактивного двигателя в течение времени, эффективного для образования на указанной детали (26) реактивного двигателя покрытия (34), содержащего первый и второй примесные металлы.
29. Способ осаждения по п.28, при котором покрытие (34) образуют в виде алюминидного слоя, способного образовывать сложный оксид при нагреве в окислительной среде.
30. Способ осаждения по п.30, при котором второй примесный металл составляет меньше, чем 10 вес.% алюминидного слоя.
31. Способ осаждения по любому из пп.27-30, при котором первый примесный металл происходит из металлогалогенной кислоты Льюиса.
32. Способ осаждения по п.1 4, при котором металлогалогенную кислоту Льюиса используют в виде гидратированного или безводного твердого соединения.
33. Способ осаждения по п.31, при котором металлогалогенную кислоту Льюиса выбирают из группы, состоящей из AlCl3, CoCl4, CrCl3, CrF3, FeCl3, HfCl3, IrCl3, PtCl4, RhCl3, RuCl3, TiCL4 YCl3, ZrCl4 и ZrF4.
34. Способ осаждения по п.27, при котором в качестве второго примесного металла используют алюминий, а первый примесный металл выбирают из группы, состоящей из хрома, кобальта, гафния, иридия, ниобия, палладия, платины, родия, кремния, титана, иттрия и циркония.
35. Способ осаждения по п.22, кроме того, содержащий этап, на котором соединяют единственное отверстие первого контейнера (36) при гидравлическом сообщении с главной реакционной камерой (12), а первый контейнер (36) герметизируют, за исключением первого хода (42).
36. Способ осаждения по п.22, кроме того, содержащий этап, на котором механически поддерживают первый контейнер (36) посредством реакционной камеры (12).
37. Способ осаждения по п.22, при котором указанную деталь (26) реактивного двигателя изготавливают из сверхпрочного сплава.
RU2005141760/02A 2003-07-03 2004-07-01 Простая система химического осаждения из паров и способы нанесения многометаллических алюминидных покрытий RU2352685C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/613,620 US7390535B2 (en) 2003-07-03 2003-07-03 Simple chemical vapor deposition system and methods for depositing multiple-metal aluminide coatings
US10/613,620 2003-07-03

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2005141760A RU2005141760A (ru) 2006-06-27
RU2352685C2 true RU2352685C2 (ru) 2009-04-20

Family

ID=33552733

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2005141760/02A RU2352685C2 (ru) 2003-07-03 2004-07-01 Простая система химического осаждения из паров и способы нанесения многометаллических алюминидных покрытий

Country Status (6)

Country Link
US (2) US7390535B2 (ru)
EP (1) EP1651793B1 (ru)
AT (1) ATE422562T1 (ru)
DE (1) DE602004019423D1 (ru)
RU (1) RU2352685C2 (ru)
WO (1) WO2005060383A2 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2619419C2 (ru) * 2011-10-19 2017-05-15 Дженерал Электрик Компани Способ нанесения алюминида титана и изделие с поверхностью из алюминида титана
RU2727634C1 (ru) * 2017-02-08 2020-07-22 Пикосан Ой Устройство для осаждения или очистки с подвижной конструкцией и способ его эксплуатации

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6451692B1 (en) * 2000-08-18 2002-09-17 Micron Technology, Inc. Preheating of chemical vapor deposition precursors
JP4217870B2 (ja) * 2002-07-15 2009-02-04 日本電気株式会社 有機シロキサン共重合体膜、その製造方法、成長装置、ならびに該共重合体膜を用いた半導体装置
US7390535B2 (en) * 2003-07-03 2008-06-24 Aeromet Technologies, Inc. Simple chemical vapor deposition system and methods for depositing multiple-metal aluminide coatings
US20060057418A1 (en) * 2004-09-16 2006-03-16 Aeromet Technologies, Inc. Alluminide coatings containing silicon and yttrium for superalloys and method of forming such coatings
US9133718B2 (en) * 2004-12-13 2015-09-15 Mt Coatings, Llc Turbine engine components with non-aluminide silicon-containing and chromium-containing protective coatings and methods of forming such non-aluminide protective coatings
WO2008085816A1 (en) * 2007-01-03 2008-07-17 The Penn State Research Foundation Coatings to inhibit formation of deposits from elevated temperature contact with hydrocarbons
DE102008026974A1 (de) * 2008-06-03 2009-12-10 Aixtron Ag Verfahren und Vorrichtung zum Abscheiden dünner Schichten aus polymeren Para-Xylylene oder substituiertem Para-Xylylene
US20090317547A1 (en) * 2008-06-18 2009-12-24 Honeywell International Inc. Chemical vapor deposition systems and methods for coating a substrate
RU2388770C2 (ru) * 2008-07-24 2010-05-10 Химический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова Способ получения тонких пленок химических соединений и установка для его осуществления
CA2759031C (en) * 2009-05-08 2016-06-28 Mt Coatings, Llc Apparatus and methods for forming modified metal coatings
US20110008972A1 (en) * 2009-07-13 2011-01-13 Daniel Damjanovic Methods for forming an ald sio2 film
WO2011146547A1 (en) * 2010-05-17 2011-11-24 Aeromet Technologies, Inc. Chemical vapor deposition of metal layers for improved brazing
US20120073568A1 (en) * 2010-09-23 2012-03-29 Applied Nanstructured Solutions, Llc. Methods for in situ deposition of coatings and articles produced using same
CN104762600B (zh) * 2015-04-20 2017-05-10 京东方科技集团股份有限公司 蒸镀坩埚和蒸镀装置
US11393703B2 (en) 2018-06-18 2022-07-19 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for controlling a flow process material to a deposition chamber
FI129734B (en) * 2019-04-25 2022-08-15 Beneq Oy Feeding chamber for preform
US20210381107A1 (en) * 2020-06-03 2021-12-09 Micron Technology, Inc. Material deposition systems, and related methods and microelectronic devices
KR20220097268A (ko) * 2020-12-31 2022-07-07 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 전구체 물질의 효율적인 기화를 위한 용기 및 이를 사용하는 방법
EP4215649A1 (en) 2022-01-24 2023-07-26 Ivan Timokhin Preparation of shaped crystalline layers by use of the inner shape/surface of the ampule as a shape forming surface
CN114607941B (zh) * 2022-03-07 2025-06-24 盛吉盛半导体科技(北京)有限公司 一种前驱体的输运装置以及半导体设备

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5407704A (en) * 1991-12-04 1995-04-18 Howmet Corporation CVD apparatus and method
US5407705A (en) * 1993-03-01 1995-04-18 General Electric Company Method and apparatus for producing aluminide regions on superalloy substrates, and articles produced thereby

Family Cites Families (115)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2598957A (en) 1949-02-07 1952-06-03 Dayton Pump & Mfg Co Panel arrangement for dispensing pumps
US2816048A (en) 1949-08-05 1957-12-10 Onera (Off Nat Aerospatiale) Process of forming superficial alloys of chromium on metal bodies
US3329601A (en) 1964-09-15 1967-07-04 Donald M Mattox Apparatus for coating a cathodically biased substrate from plasma of ionized coatingmaterial
FR1433497A (fr) 1965-02-16 1966-04-01 Snecma Procédé de dépôt d'une couche protectrice sur une pièce métallique par une méthode en phase vapeur
US3556744A (en) 1965-08-16 1971-01-19 United Aircraft Corp Composite metal article having nickel alloy having coats containing chromium and aluminum
US3507248A (en) 1967-06-15 1970-04-21 Ibm Vacuum evaporation coating apparatus including means for precleaning substrates by ion bombardment
US3801357A (en) 1969-06-30 1974-04-02 Alloy Surfaces Co Inc Diffusion coating
US3979534A (en) 1974-07-26 1976-09-07 General Electric Company Protective coatings for dispersion strengthened nickel-chromium/alloys
US4084025A (en) 1974-08-02 1978-04-11 General Electric Company Process of applying protective aluminum coatings for non-super-strength nickel-chromium alloys
US3973270A (en) 1974-10-30 1976-08-03 Westinghouse Electric Corporation Charge storage target and method of manufacture
GB1545584A (en) * 1975-03-07 1979-05-10 Onera (Off Nat Aerospatiale) Processes and systems for the formation of surface diffusion alloys on perforate metal workpieces
US4076380A (en) 1976-10-28 1978-02-28 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Graded index optical fiber
JPS53110973A (en) * 1977-03-10 1978-09-28 Futaba Denshi Kogyo Kk Method and apparatus for manufacturing compounds
US4101714A (en) 1977-03-31 1978-07-18 General Electric Company High temperature oxidation resistant dispersion strengthened nickel-chromium alloys
US4264682A (en) 1978-10-27 1981-04-28 Hitachi Metals, Ltd. Surface hafnium-titanium compound coated hard alloy material and method of producing the same
JPS5558365A (en) 1978-10-27 1980-05-01 Hitachi Metals Ltd Coating method for titanium compound
US4694036A (en) 1983-06-23 1987-09-15 Alloy Surfaces Company, Inc. Metal diffusion and use
US4220460A (en) 1979-02-05 1980-09-02 Western Electric Company, Inc. Vapor delivery system and method
US4327134A (en) 1979-11-29 1982-04-27 Alloy Surfaces Company, Inc. Stripping of diffusion treated metals
US4262035A (en) 1980-03-07 1981-04-14 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Modified chemical vapor deposition of an optical fiber using an rf plasma
US4442589A (en) 1981-03-05 1984-04-17 International Business Machines Corporation Method for manufacturing field effect transistors
FR2508063A1 (fr) 1981-06-18 1982-12-24 Snecma Procede, en phase vapeur, pour le depot d'un revetement protecteur sur une piece metallique, dispositif pour sa mise en oeuvre et pieces obtenues selon ledit procede
US4396213A (en) 1981-09-02 1983-08-02 John J. Kirlin Method of joining pipe ends and joint formed thereby
JPS591671A (ja) 1982-05-28 1984-01-07 Fujitsu Ltd プラズマｃｖｄ装置
US4476178A (en) 1982-06-24 1984-10-09 United Technologies Corporation Composite silicon carbide coatings for carbon-carbon materials
US4472476A (en) 1982-06-24 1984-09-18 United Technologies Corporation Composite silicon carbide/silicon nitride coatings for carbon-carbon materials
JPS6097622A (ja) 1983-11-01 1985-05-31 Toshiba Mach Co Ltd エピタキシヤル装置
US4699084A (en) 1982-12-23 1987-10-13 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Apparatus for producing high quality epitaxially grown semiconductors
US5514482A (en) * 1984-04-25 1996-05-07 Alliedsignal Inc. Thermal barrier coating system for superalloy components
GB2167773A (en) 1984-11-29 1986-06-04 Secr Defence Improvements in or relating to coating processes
US4698244A (en) * 1985-10-31 1987-10-06 Air Products And Chemicals, Inc. Deposition of titanium aluminides
US4816291A (en) 1987-08-19 1989-03-28 The Regents Of The University Of California Process for making diamond, doped diamond, diamond-cubic boron nitride composite films
DE3742944C1 (de) 1987-12-18 1988-10-27 Mtu Muenchen Gmbh Oxidationsschutzschicht
US4963395A (en) 1988-06-24 1990-10-16 Combustion Engineering, Inc. Method of chromizing large size articles
US5149376A (en) * 1988-06-30 1992-09-22 Societe Nationale D'etude Et De Construction De Moteurs D'aviation "S.N.E.C.M.A." Process and apparatus for the simultaneous deposition of a protective coating on internal and external surfaces of heat-resistant alloy parts
US5087531A (en) * 1988-11-30 1992-02-11 Sharp Kabushiki Kaisha Electroluminescent device
US4915744A (en) 1989-02-03 1990-04-10 Applied Solar Energy Corporation High efficiency solar cell
US4961958A (en) 1989-06-30 1990-10-09 The Regents Of The Univ. Of Calif. Process for making diamond, and doped diamond films at low temperature
US5132755A (en) 1989-07-11 1992-07-21 Oki Electric Industry Co. Ltd. Field effect transistor
US5114559A (en) 1989-09-26 1992-05-19 Ricoh Company, Ltd. Thin film deposition system
US5139824A (en) * 1990-08-28 1992-08-18 Liburdi Engineering Limited Method of coating complex substrates
US5071678A (en) 1990-10-09 1991-12-10 United Technologies Corporation Process for applying gas phase diffusion aluminide coatings
DE4035789C1 (ru) 1990-11-10 1991-06-13 Mtu Muenchen Gmbh
JP3106172B2 (ja) 1991-02-26 2000-11-06 東京エレクトロン株式会社 熱処理装置の封止構造
DE4119967C1 (ru) 1991-06-18 1992-09-17 Mtu Muenchen Gmbh
US5211731A (en) 1991-06-27 1993-05-18 The United States Of Americas As Represented By The Secretary Of The Navy Plasma chemical vapor deposition of halide glasses
US5264245A (en) * 1991-12-04 1993-11-23 Howmet Corporation CVD method for forming uniform coatings
US5286520A (en) 1991-12-13 1994-02-15 Ford Motor Company Preparation of fluorine-doped tungstic oxide
TW222345B (en) 1992-02-25 1994-04-11 Semicondustor Energy Res Co Ltd Semiconductor and its manufacturing method
US6709907B1 (en) 1992-02-25 2004-03-23 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method of fabricating a thin film transistor
US5300313A (en) 1992-12-16 1994-04-05 General Electric Company Method for determining thickness of chemical vapor deposited layers
US5466494A (en) * 1993-01-29 1995-11-14 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Method for producing thin film
US5902638A (en) * 1993-03-01 1999-05-11 General Electric Company Method for producing spallation-resistant protective layer on high performance alloys
KR100323216B1 (ko) 1993-03-24 2002-07-03 조오지아테크리서어치코오포레이션 필름및코우팅의연소화학적증기증착을위한방법
US5858465A (en) 1993-03-24 1999-01-12 Georgia Tech Research Corporation Combustion chemical vapor deposition of phosphate films and coatings
US5377429A (en) 1993-04-19 1995-01-03 Micron Semiconductor, Inc. Method and appartus for subliming precursors
US5484484A (en) 1993-07-03 1996-01-16 Tokyo Electron Kabushiki Thermal processing method and apparatus therefor
JP2999346B2 (ja) * 1993-07-12 2000-01-17 オリエンタルエンヂニアリング株式会社 基体表面被覆方法及び被覆部材
GB9315771D0 (en) 1993-07-30 1993-09-15 Epichem Ltd Method of depositing thin metal films
US6689422B1 (en) 1994-02-16 2004-02-10 Howmet Research Corporation CVD codeposition of A1 and one or more reactive (gettering) elements to form protective aluminide coating
US5451258A (en) 1994-05-11 1995-09-19 Materials Research Corporation Apparatus and method for improved delivery of vaporized reactant gases to a reaction chamber
US5658614A (en) 1994-10-28 1997-08-19 Howmet Research Corporation Platinum aluminide CVD coating method
US5562998A (en) * 1994-11-18 1996-10-08 Alliedsignal Inc. Durable thermal barrier coating
GB9426257D0 (en) * 1994-12-24 1995-03-01 Rolls Royce Plc Thermal barrier coating for a superalloy article and method of application
JP3022229B2 (ja) 1994-12-26 2000-03-15 東洋製罐株式会社 プラスチックス材料からなる立体形状の容器に均一の膜厚の珪素酸化物被膜を形成する方法
JP3982844B2 (ja) 1995-01-12 2007-09-26 株式会社日立国際電気 半導体製造装置及び半導体の製造方法
US5512382A (en) * 1995-05-08 1996-04-30 Alliedsignal Inc. Porous thermal barrier coating
US5823416A (en) 1995-07-28 1998-10-20 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Apparatus and method for surface treatment, and apparatus and method for wire bonding using the surface treatment apparatus
US5820641A (en) 1996-02-09 1998-10-13 Mks Instruments, Inc. Fluid cooled trap
TW506620U (en) 1996-03-15 2002-10-11 Asahi Glass Co Ltd Low pressure CVD apparatus
US5851293A (en) 1996-03-29 1998-12-22 Atmi Ecosys Corporation Flow-stabilized wet scrubber system for treatment of process gases from semiconductor manufacturing operations
US6162488A (en) 1996-05-14 2000-12-19 Boston University Method for closed loop control of chemical vapor deposition process
US5849360A (en) 1996-06-20 1998-12-15 National Science Council Tube chemical gas deposition method of preparing titanium nitride coated titanium carbide for titanium carbide/silicon nitride composites
US5989733A (en) * 1996-07-23 1999-11-23 Howmet Research Corporation Active element modified platinum aluminide diffusion coating and CVD coating method
US6089184A (en) 1997-06-11 2000-07-18 Tokyo Electron Limited CVD apparatus and CVD method
US6083321A (en) 1997-07-11 2000-07-04 Applied Materials, Inc. Fluid delivery system and method
DE19730007C1 (de) 1997-07-12 1999-03-25 Mtu Muenchen Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Gasphasendiffusionsbeschichtung von Werkstücken aus warmfestem Material mit einem Beschichtungsmaterial
US6168874B1 (en) * 1998-02-02 2001-01-02 General Electric Company Diffusion aluminide bond coat for a thermal barrier coating system and method therefor
GB9811456D0 (en) * 1998-05-29 1998-07-29 Rolls Royce Plc A metallic article having a thermal barrier coating and a method of application thereof
US6143361A (en) 1998-10-19 2000-11-07 Howmet Research Corporation Method of reacting excess CVD gas reactant
US6258461B1 (en) 1999-03-12 2001-07-10 Alloy Surfaces Co., Inc. Activated nickel screens and foils
US6332926B1 (en) 1999-08-11 2001-12-25 General Electric Company Apparatus and method for selectively coating internal and external surfaces of an airfoil
US6451692B1 (en) 2000-08-18 2002-09-17 Micron Technology, Inc. Preheating of chemical vapor deposition precursors
US6692324B2 (en) 2000-08-29 2004-02-17 Ut-Battelle, Llc Single self-aligned carbon containing tips
KR100344103B1 (ko) 2000-09-04 2002-07-24 에피밸리 주식회사 질화갈륨계 결정 보호막을 형성한 반도체 소자 및 그 제조방법
US6602356B1 (en) * 2000-09-20 2003-08-05 General Electric Company CVD aluminiding process for producing a modified platinum aluminide bond coat for improved high temperature performance
US6488986B2 (en) * 2001-01-29 2002-12-03 General Electric Company Combined coat, heat treat, quench method for gas turbine engine components
US6649431B2 (en) 2001-02-27 2003-11-18 Ut. Battelle, Llc Carbon tips with expanded bases grown with simultaneous application of carbon source and etchant gases
US20020166508A1 (en) * 2001-03-21 2002-11-14 Ryuji Biro Vacuum deposition system and thin-film deposition process
US6605161B2 (en) 2001-06-05 2003-08-12 Aeromet Technologies, Inc. Inoculants for intermetallic layer
JP4098556B2 (ja) * 2001-07-31 2008-06-11 ローム株式会社 端子板、この端子板を備えた回路基板、およびこの端子板の接続方法
US6576067B2 (en) * 2001-08-31 2003-06-10 General Electric Co. Fabrication of an article having a protective coating with a polished, pre-oxidized protective-coating surface
US6793966B2 (en) 2001-09-10 2004-09-21 Howmet Research Corporation Chemical vapor deposition apparatus and method
US20030111014A1 (en) * 2001-12-18 2003-06-19 Donatucci Matthew B. Vaporizer/delivery vessel for volatile/thermally sensitive solid and liquid compounds
US6646328B2 (en) 2002-01-11 2003-11-11 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. Ltd. Chip antenna with a shielding layer
JP2003289072A (ja) 2002-03-28 2003-10-10 Sharp Corp 平坦化膜を有する基板及び表示装置用基板、並びにそれら基板の製造方法
US6995081B2 (en) 2002-08-28 2006-02-07 Micron Technology, Inc. Systems and methods for forming tantalum silicide layers
US7041609B2 (en) 2002-08-28 2006-05-09 Micron Technology, Inc. Systems and methods for forming metal oxides using alcohols
US6794284B2 (en) 2002-08-28 2004-09-21 Micron Technology, Inc. Systems and methods for forming refractory metal nitride layers using disilazanes
US7112485B2 (en) 2002-08-28 2006-09-26 Micron Technology, Inc. Systems and methods for forming zirconium and/or hafnium-containing layers
US6784049B2 (en) 2002-08-28 2004-08-31 Micron Technology, Inc. Method for forming refractory metal oxide layers with tetramethyldisiloxane
US6967159B2 (en) 2002-08-28 2005-11-22 Micron Technology, Inc. Systems and methods for forming refractory metal nitride layers using organic amines
US6958300B2 (en) 2002-08-28 2005-10-25 Micron Technology, Inc. Systems and methods for forming metal oxides using metal organo-amines and metal organo-oxides
US7030042B2 (en) 2002-08-28 2006-04-18 Micron Technology, Inc. Systems and methods for forming tantalum oxide layers and tantalum precursor compounds
US7087481B2 (en) 2002-08-28 2006-08-08 Micron Technology, Inc. Systems and methods for forming metal oxides using metal compounds containing aminosilane ligands
US6730164B2 (en) 2002-08-28 2004-05-04 Micron Technology, Inc. Systems and methods for forming strontium- and/or barium-containing layers
US6984592B2 (en) 2002-08-28 2006-01-10 Micron Technology, Inc. Systems and methods for forming metal-doped alumina
US6803135B2 (en) * 2003-02-24 2004-10-12 Chromalloy Gas Turbine Corporation Thermal barrier coating having low thermal conductivity
US7115528B2 (en) 2003-04-29 2006-10-03 Micron Technology, Inc. Systems and method for forming silicon oxide layers
US7390535B2 (en) * 2003-07-03 2008-06-24 Aeromet Technologies, Inc. Simple chemical vapor deposition system and methods for depositing multiple-metal aluminide coatings
US7211509B1 (en) 2004-06-14 2007-05-01 Novellus Systems, Inc, Method for enhancing the nucleation and morphology of ruthenium films on dielectric substrates using amine containing compounds
US20060057418A1 (en) * 2004-09-16 2006-03-16 Aeromet Technologies, Inc. Alluminide coatings containing silicon and yttrium for superalloys and method of forming such coatings
WO2007106065A1 (en) * 2006-02-24 2007-09-20 Aeromet Technologies, Inc. Roughened coatings for gas turbine engine components
CA2759031C (en) * 2009-05-08 2016-06-28 Mt Coatings, Llc Apparatus and methods for forming modified metal coatings
WO2011146547A1 (en) * 2010-05-17 2011-11-24 Aeromet Technologies, Inc. Chemical vapor deposition of metal layers for improved brazing

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5407704A (en) * 1991-12-04 1995-04-18 Howmet Corporation CVD apparatus and method
US5407705A (en) * 1993-03-01 1995-04-18 General Electric Company Method and apparatus for producing aluminide regions on superalloy substrates, and articles produced thereby

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2619419C2 (ru) * 2011-10-19 2017-05-15 Дженерал Электрик Компани Способ нанесения алюминида титана и изделие с поверхностью из алюминида титана
RU2727634C1 (ru) * 2017-02-08 2020-07-22 Пикосан Ой Устройство для осаждения или очистки с подвижной конструкцией и способ его эксплуатации
US11725279B2 (en) 2017-02-08 2023-08-15 Picosun Oy Deposition or cleaning apparatus with movable structure

Also Published As

Publication number Publication date
US8839740B2 (en) 2014-09-23
US20050000425A1 (en) 2005-01-06
DE602004019423D1 (de) 2009-03-26
US7390535B2 (en) 2008-06-24
WO2005060383A2 (en) 2005-07-07
US20080245302A1 (en) 2008-10-09
EP1651793A2 (en) 2006-05-03
ATE422562T1 (de) 2009-02-15
RU2005141760A (ru) 2006-06-27
EP1651793B1 (en) 2009-02-11
WO2005060383A3 (en) 2005-11-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2352685C2 (ru) Простая система химического осаждения из паров и способы нанесения многометаллических алюминидных покрытий
JP7737929B2 (ja) 基材物品および装置の特性および性能を増強するためのコーティング
EP2628821B1 (en) Apparatus and methods for deposition reactors
EP2427590B1 (en) Apparatus and methods for forming modified metal coatings
EP0704549A1 (en) Method for deposition of aluminides containing easily oxidized metals
JP2003113473A (ja) 化学蒸着法装置及び方法
US7955569B2 (en) Metal halide reactor for CVD and method
JP4535620B2 (ja) 過剰ｃｖｄ反応物の制御方法及びその装置
US20080107808A1 (en) Method and an apparatus for the coating of a base body
CN105039930A (zh) 用于浆料铝化物涂层修复的设备和方法
JP3683572B2 (ja) Ｃｖｄ用反応容器
TWI903938B (zh) 用於增強基材製品及設備之性質與表現的塗層
TWI905377B (zh) 用於增強基材製品及設備之性質與表現的塗層
HK1168876B (en) Apparatus and methods for forming modified metal coatings
HK1168876A (en) Apparatus and methods for forming modified metal coatings
JP2011035113A (ja) 半導体装置の製造方法及び基板処理装置
JP2004300500A (ja) 皮膜付部材及び皮膜形成方法
JPS6160882A (ja) 反応炉

Legal Events

Date Code Title Description
PC4A Invention patent assignment

Effective date: 20100322