RU2341845C2 - Method of obtaining metallic nanoclusters in free state - Google Patents
Method of obtaining metallic nanoclusters in free state Download PDFInfo
- Publication number
- RU2341845C2 RU2341845C2 RU2007100802/28A RU2007100802A RU2341845C2 RU 2341845 C2 RU2341845 C2 RU 2341845C2 RU 2007100802/28 A RU2007100802/28 A RU 2007100802/28A RU 2007100802 A RU2007100802 A RU 2007100802A RU 2341845 C2 RU2341845 C2 RU 2341845C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- ions
- nanoclusters
- gold
- substance
- targets
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 13
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 44
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 abstract description 28
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 22
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 abstract description 22
- 238000003795 desorption Methods 0.000 abstract description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 abstract 1
- 238000010218 electron microscopic analysis Methods 0.000 abstract 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 7
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 7
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 230000004992 fission Effects 0.000 description 4
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 4
- MYWUZJCMWCOHBA-VIFPVBQESA-N methamphetamine Chemical compound CN[C@@H](C)CC1=CC=CC=C1 MYWUZJCMWCOHBA-VIFPVBQESA-N 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000002285 radioactive effect Effects 0.000 description 2
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 description 1
- 244000309464 bull Species 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 239000000539 dimer Substances 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 150000002343 gold Chemical class 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 230000000155 isotopic effect Effects 0.000 description 1
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 230000009022 nonlinear effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к физике взаимодействия ускоренных частиц с поверхностью вещества и может быть использовано для создания источника нанокластеров металлов, физические свойства которых обусловливают их широкое применение в науке и технике.The invention relates to the physics of the interaction of accelerated particles with the surface of a substance and can be used to create a source of metal nanoclusters, the physical properties of which determine their widespread use in science and technology.
Существующие способы получения нанокластеров основаны главным образом на конденсации паров вещества, образующихся, например, при джоулевом разогреве, при облучении лазером, в дуговом разряде и т.д. [1. Р.Milani, S.Ivannotta. Cluster beam synthesis of nanostructured materials. Springer series in cluster physics, Springer. 1999]. Однако возможно также получение нанокластеров в свободном состоянии в результате десорбции квазиизолированных наноостровков-зерен вещества, осажденных на подложку, при облучении таких нанодисперсных мишеней ускоренными ионами и с более узкими размерными распределениями нанокластеров [2. Nucl. Instr. & Meth.in Phys.Res. В146 (1998) 154. I.Baranov, A.Novikov, V.Obnorskii, C.T.Reimann. Macrocluster effect caused by single multiply ions: masses of gold nanoclusters (3-30 nm) arising as a result of electronic processes induced by fission fragment bombardment in ultradispersed targets of gold].Existing methods for producing nanoclusters are mainly based on the condensation of vapors of a substance formed, for example, during Joule heating, laser irradiation, in an arc discharge, etc. [one. R. Milani, S. Ivannotta. Cluster beam synthesis of nanostructured materials. Springer series in cluster physics, Springer. 1999]. However, it is also possible to obtain nanoclusters in a free state as a result of desorption of quasi-insulated nanoislands of matter grains deposited on a substrate by irradiating such nanodispersed targets with accelerated ions and with narrower nanocluster size distributions [2. Nucl. Instr. & Meth.in Phys. Res. B146 (1998) 154. I. Baranov, A. Novikov, V. Obnorskii, C. T. Reimann. Macrocluster effect caused by single multiply ions: masses of gold nanoclusters (3-30 nm) arising as a result of electronic processes induced by fission fragment bombardment in ultradispersed targets of gold].
Известно, что ускоренные ионы при столкновении с поверхностью твердого тела теряют свою энергию как в упругих, так и в неупругих взаимодействиях соответственно с атомами решетки и электронной подсистемой. Соотношение удельных потерь энергии ионами в упругих (ядерных) - (dE/dx)n - и в неупругих (электронных) процессах - (dE/dx)e - для данного вещества зависит от энергии (скорости) и массы налетающего иона [3. Ю.В.Трушин. Физическое материаловедение. СПб: «Наука», 2000, 4. J.F.Ziegler, J.P.Biersack and U.Littmark. The Stopping and Range of Ions in Solids, Pergamon Press, New York (1985)].It is known that accelerated ions in a collision with a solid surface lose their energy in both elastic and inelastic interactions with lattice atoms and the electronic subsystem, respectively. The ratio of specific energy losses by ions in elastic (nuclear) - (dE / dx) n - and inelastic (electronic) processes - (dE / dx) e - for a given substance depends on the energy (speed) and mass of the incident ion [3. Yu.V. Trushin. Physical materials science. St. Petersburg: Nauka, 2000, 4. JFZiegler, JP Biersack and U. Littmark. The Stopping and Range of Ions in Solids, Pergamon Press, New York (1985)].
Впервые вылет металлических нанокластеров (104-107 а.е.м.) под действием ионов был доказан при облучении нанодисперсных мишеней золота осколками деления ядер 252Cf (энергия ~90 МэВ, масса ~120 а.е.м., [(dE/dx)e ~25 кэВ/нм, (dE/dx)n ~0.5 кэВ/нм]) с помощью динамического масс-спектрографа [5. I.Baranov, В.Kozlov, A.Novikov, V.Obnorskii, I.Pilyugin, S.Tsepelevich. Macrocluster effect caused by single multiply ions: masses of gold nanoclusters (3-30 nm) arising as a result of electronic processes induced by fission fragment bombardment in ultradispersed targets of gold. Nucl. Instr. & Meth.in Phys.Res. B65 (1992) 177-180]. Затем десорбция нанокластеров с поверхности под действием бомбардирующих ионов могла уже контролироваться с помощью коллекторной методики [2], т.е. десорбированные нанокластеры собирали на углеродные пленки толщиной 15-20 нм, предварительно осажденные на электронно-микроскопические сеточки, которые в дальнейшем анализировали на просвечивающем электронном микроскопе (ПЭМ).For the first time, the emission of metal nanoclusters (10 4 -10 7 amu) under the action of ions was proved when irradiating gold nanosized targets with fission fragments of 252 Cf nuclei (energy ~ 90 MeV, mass ~ 120 amu, [( dE / dx) e ~ 25 keV / nm, (dE / dx) n ~ 0.5 keV / nm]) using a dynamic mass spectrograph [5. I. Baranov, B. Kozlov, A. Novikov, V. Obnorskii, I. Pilyugin, S. Tsepelevich. Macrocluster effect caused by single multiply ions: masses of gold nanoclusters (3-30 nm) arising as a result of electronic processes induced by fission fragment bombardment in ultradispersed targets of gold. Nucl. Instr. & Meth.in Phys. Res. B65 (1992) 177-180]. Then, desorption of nanoclusters from the surface under the action of bombarding ions could already be controlled using the collector technique [2], i.e. desorbed nanoclusters were collected on
Анализ результатов показал, что в данном случае процесс десорбции обусловлен неупругими потерями энергии бомбардирующих ионов (dE/dx)e, т.е. потерями энергии на ионизацию и возбуждение атомов решетки, т.к. потери энергии в упругих столкновениях были на 2 порядка меньше. В условиях нанодисперсной мишени при попадании иона в изолированный островок выделенная им энергия последовательно передается вначале электронам в электрон-электронных взаимодействиях (характерное время термализации возбужденного электронного газа ~10-16 с), а затем атомам решетки в электрон-фононных взаимодействиях (характерное время процесса ~10-13 с), выравнивание решеточной температуры происходит уже в фонон-фононных взаимодействиях (10-12-10-11 с). В результате происходит разогрев решетки и отскок островка от подложки в целом виде.An analysis of the results showed that in this case the desorption process is due to inelastic energy loss of the bombarding ions (dE / dx) e , i.e. energy losses due to ionization and excitation of lattice atoms, because energy losses in elastic collisions were 2 orders of magnitude less. Under the conditions of a nanodispersed target, when an ion enters an isolated island, the energy released by it is sequentially transferred first to the electrons in electron-electron interactions (the characteristic time of thermalization of an excited electron gas is ~ 10 -16 s), and then to the lattice atoms in electron-phonon interactions (the characteristic process time ~ 10 -13 s), the lattice temperature is equalized already in phonon-phonon interactions (10 -12 -10 -11 s). As a result, the lattice is heated up and the island rebounds from the substrate as a whole.
Десорбцию нанокластеров затем наблюдали в многочисленных экспериментах по бомбардировке нанодисперсных мишеней ионами от 40Ar с энергией 45 МэВ [(dE/dx)e ~14 кэВ/нм, (dE/dx)n ~0.04 кэВ/нм] [6. I.Baranov, M.Galaktionov, G.Gusinsky, S.Kirillov, V.Naidenov, V.Obnorskii and S.Yarmiychuk. Desorption of gold nanoclusters (2-30 nm) under low excitation energies of their electronic subsystem by Ar (14 keV/nm) ions. XXIV Int. Conf. on Photonic, Electronic and Atomic Collisions (ICPEAC-2005), July 20-26/2005, Rosario, Argentina. Abstracts of contributed papers, vol.2, p.644] до 207Pb с энергией 956 МэВ [(dE/dx)e ~83 кэВ/нм, (dE/dx)n ~0.22 кэВ/нм] [7. I.Baranov, S.Kirillov, A.Novikov, V.Obnorskii, M.Toulemonde, K.Wien, S.Yarmiychuk, V.Borodin, A.Volkov. Desorption of gold nanoclusters (2-150 nm) by 1 GeV Pb ions. Nucl. Instr. & Meth. in Phys.Res. В 230_(2005) 495-501].Nanocluster desorption was then observed in numerous experiments on the bombardment of nanodispersed targets with ions from 40 Ar with an energy of 45 MeV [(dE / dx) e ~ 14 keV / nm, (dE / dx) n ~ 0.04 keV / nm] [6. I. Baranov, M. Galaktionov, G. Gusinsky, S. Kirillov, V. Naidenov, V. Obnorskii and S. Yarmiychuk. Desorption of gold nanoclusters (2-30 nm) under low excitation energies of their electronic subsystem by Ar (14 keV / nm) ions. XXIV Int. Conf. on Photonic, Electronic and Atomic Collisions (ICPEAC-2005), July 20-26 / 2005, Rosario, Argentina. Abstracts of contributed papers, vol.2, p.644] up to 207 Pb with an energy of 956 MeV [(dE / dx) e ~ 83 keV / nm, (dE / dx) n ~ 0.22 keV / nm] [7. I. Baranov, S. Kirillov, A. Novikov, V. Obnorskii, M. Toulemonde, K. Wien, S. Yarmiychuk, V. Borodin, A. Volkov. Desorption of gold nanoclusters (2-150 nm) by 1 GeV Pb ions. Nucl. Instr. & Meth. in Phys. Res. In 230_ (2005) 495-501].
Общим для всех этих экспериментов является пренебрежимо малый вклад упругих взаимодействий и высокое значение (dE/dx)e, с которым и связывали формирование и вылет нанокластеров из облучаемых мишеней. Способ получения нанокластеров в результате реализации неупругих потерь энергии был реализован в устройстве для получения пучков жидкометаллических нанокластерных ионов [8. Патент РФ на изобретение №2210135, МПК Н01J 27/02, бюл. №22 от 10.08.2003], выбранном в качестве прототипа заявленного способа.Common to all these experiments is the negligibly small contribution of elastic interactions and the high value (dE / dx) e , which was associated with the formation and release of nanoclusters from irradiated targets. The method of producing nanoclusters as a result of the implementation of inelastic energy losses was implemented in a device for producing beams of liquid metal nanocluster ions [8. RF patent for the invention No. 2210135, IPC H01J 27/02, bull. No. 22 dated 08/10/2003], selected as a prototype of the claimed method.
Однако способ получения нанокластеров за счет неупругих потерь налетающих ионов связан с необходимостью облучения исходных нанодисперсных мишеней тяжелыми многозарядными ионами (ТМЗИ) с энергиями в десятки МэВ, пучки которых получают на сложных и дорогих ускорителях. При использовании в качестве ТМЗИ осколков деления ядер от изотопного источника Cf-252 трудно получать потоки нанокластеров большой интенсивности, а использование высокоактивного изотопа Cf-252 (период полураспада 2,64 года) требует наличия специальных помещений и создания системы защиты от сопутствующих нейтронного и гамма-излучений.However, the method of producing nanoclusters due to inelastic losses of incident ions is associated with the need to irradiate the initial nanodispersed targets with heavy multiply charged ions (TMIS) with energies of tens of MeV, the beams of which are obtained at complex and expensive accelerators. When using nuclear fission fragments from the Cf-252 isotope source as a TMIS, it is difficult to obtain high-intensity nanocluster flows, and the use of the highly active Cf-252 isotope (half-life 2.64 years) requires special facilities and the creation of a system of protection against associated neutron and gamma radiation.
Задачей изобретения является упрощение и удешевление получения пучков металлических нанокластеров методом облучения ионами нанодисперсных мишеней.The objective of the invention is to simplify and reduce the cost of obtaining beams of metal nanoclusters by irradiation with ions of nanodispersed targets.
Для решения поставленной задачи было проведено исследование возможности десорбции нанокластеров при бомбардировке мишеней тяжелыми ускоренными ионами в режиме упругого торможения ионов в веществе мишени. В этом случае можно использовать более простые, компактные и дешевые установки - источники пучков ионов с энергией на 3 порядка меньшей по сравнению с используемой в прототипе и отказаться от использования радиоактивных изотопов и ускорителей.To solve this problem, a study was made of the possibility of desorption of nanoclusters during the bombardment of targets by heavy accelerated ions in the mode of elastic drag of ions in the target material. In this case, you can use simpler, more compact and cheaper installations - sources of ion beams with an energy 3 orders of magnitude lower than that used in the prototype and refuse from the use of radioactive isotopes and accelerators.
До сих пор считалось, что в результате упругих соударений налетающих ионов с атомами мишени образуются каскады смещенных атомов, следствием развития которых является поатомное распыление вещества. Причем для тяжелых ионов с энергией в десятки кэВ коэффициенты распыления (число атомов, выбитых в расчете на один падающий ион) составляют десятки ат./ион, выход димеров существенно ниже, а кластеры с большим числом атомов не наблюдаются совсем [9. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Т.1. /Под ред. Р.Бериша. М.: Мир, 1984]. Однако в этих экспериментах проводилось облучение массивных материалов, в том числе золота, а работ по взаимодействию с металлами в нанодисперсном состоянии (ансамбли зерен-наноостровков на подложках) в упругом режиме торможения не проводилось.Until now, it was believed that as a result of elastic collisions of incident ions with target atoms, cascades of displaced atoms are formed, the development of which results in atomic atomization of matter. Moreover, for heavy ions with an energy of tens of keV, the sputtering coefficients (the number of atoms knocked out per one incident ion) are tens of atom / ion, the dimer yield is much lower, and clusters with a large number of atoms are not observed at all [9. Spraying solids by ion bombardment. T.1. / Ed. R. Berisha. M .: Mir, 1984]. However, in these experiments, massive materials, including gold, were irradiated, and work on interaction with metals in the nanodispersed state (ensembles of grain-nanoislands on substrates) in the elastic mode of braking was not carried out.
Поэтому провели облучение нанодисперсных мишеней из золота с измеренными размерными распределениями зерен золота в диапазоне 2-30 нм атомарными ионами Au с энергией ~38 кэВ. Удельные потери ионов Au с такой энергией в золоте на упругие столкновения составляют (dE/dx)n ~6 кэВ/нм, а на неупругие - (dE/dx)e ~0.4 кэВ/нм, т.е торможение ионов происходило практически чисто в упругом режиме. Проективный пробег этих ионов в золоте составляет ~6 нм. При постановке эксперимента очень важно было не только обнаружить десорбцию металлических нанокластеров, но и измерить абсолютное значение выхода нанокластеров на один падающий ион, т.к. это определяет практическое использование нового метода.Therefore, we conducted irradiation of gold nanodispersed targets with measured size distributions of gold grains in the range of 2-30 nm by atomic Au ions with an energy of ~ 38 keV. The specific loss of Au ions with such energy in gold for elastic collisions is (dE / dx) n ~ 6 keV / nm, and for inelastic collisions (dE / dx) e ~ 0.4 keV / nm, i.e., ion deceleration occurred almost purely elastic mode. The projective range of these ions in gold is ~ 6 nm. When setting up the experiment, it was very important not only to detect the desorption of metal nanoclusters, but also to measure the absolute value of the yield of nanoclusters per incident ion, because this defines the practical use of the new method.
Схема получения нанокластеров путем облучения нанодисперсной мишени ионами Au с энергией 38 кэВ приведена на фиг.1. Облучали три нанодисперсных мишени золота, приготовленные путем осаждения вещества на подложки из нержавеющей стали, предварительно покрытые углеродной пленкой толщиной 15-20 нм термоиспарением навесок золота в вакууме. Термораспыленное золото одновременно осаждалось на коллекторы, представляющие собой электронно-микроскопические сеточки-свидетели, покрытые также углеродной пленкой толщиной 15-20 нм, которые затем фотографировали в просвечивающем электронном микроскопе, и по полученным микрофотографиям получали размерные распределения осажденных зерен-островков. Различные средние размеры распределений были получены варьированием величины навески золота, скорости испарения и температуры подложки. Мишени облучали ионами Au под углом 45° к поверхности, а сбор эжектированного золота производили коллекторы, представляющие собой Т-образные мозаики из ПЭМ-сеточек, расположенные напротив облучаемой мишени. Последние служили как для непосредственной регистрации десорбированных нанокластеров золота, так и для определения их углового распределения, которое необходимо знать для вычисления абсолютных выходов нанокластеров. Источник ионов Au, на котором проводили облучение, описан в [10. М.Benguerba, A.Brunelle, S.Della-Negra, J.Depauw, H.Jopet, Y. Le Beyec, M.G.Blain, E.A.Schweikert, G.Ben Assayag and P.Sudraud. Impact of slow gold clusters on various solids: nonlinear effects in secondary ion emission. Nucl. Instr. & Meth. in Phys.Res. B62 (1991) 8-22].The scheme for producing nanoclusters by irradiating a nanodispersed target with 38 keV Au ions is shown in Fig. 1. Three nanodispersed gold targets were irradiated, prepared by deposition of a substance on stainless steel substrates, preliminarily coated with a
На фиг.2 представлены размерные распределения зерен-островков золота на подложках и нанокластеров золота, десорбированных ионами Au с энергией 38 кэВ. Для мишени №1 средний размер зерен-островков <d>остр=7.1±5.0 нм, а средний размер десорбированных нанокластеров <d>нкл=5.0±2.6 нм. Для мишени №2 <d>остр=9.4±5.6 нм, <d>нкл=6.8±3.0 нм, а для мишени №3 <d>остр=17.5±9.6 нм, <d>нкл=4,8±2.5 нм, причем в распределении для мишени №2 отмечены нанокластеры с размерами до 20 нм.Figure 2 shows the size distributions of gold island grains on substrates and gold nanoclusters desorbed by 38 keV Au ions. For target No. 1, the average size of island grains is <d> sharp = 7.1 ± 5.0 nm, and the average size of desorbed nanoclusters <d> ncl = 5.0 ± 2.6 nm. For target No. 2, <d> sharp = 9.4 ± 5.6 nm, <d> ncl = 6.8 ± 3.0 nm, and for target No. 3 <d> sharp = 17.5 ± 9.6 nm, <d> ncl = 4.8 ± 2.5 nm moreover, in the distribution for target No. 2, nanoclusters with sizes up to 20 nm are noted.
Приведенные результаты показывают, что десорбция целых нанокластеров золота наблюдается для всех трех мишеней. При этом абсолютный выход десорбированных нанокластеров в области размеров 4-8 нм составляет ~0.1 нкл/ион, а диапазон размеров простирается до 20 нм.The results show that the desorption of whole gold nanoclusters is observed for all three targets. In this case, the absolute yield of desorbed nanoclusters in the region of sizes 4–8 nm is ~ 0.1 nl / ion, and the size range extends to 20 nm.
Таким образом, экспериментально доказана возможность получения нанокластеров в размерном диапазоне по крайней мере до 20 нм путем облучения нанодисперсных мишеней ионами в режиме упругого торможения. Это позволяет использовать для получения пучков металлических нанокластеров компактные и дешевые источники ионов с энергией десятки кэВ (см., например, 11. ПТЭ №3, 1973, с.179-180, С.Я.Лебедев, С.Д.Панин. Источник металлических ионов.) и отказаться от использования изотопных радиоактивных источников.Thus, the possibility of producing nanoclusters in the size range up to at least 20 nm by irradiating nanodispersed targets with ions in the elastic braking mode has been experimentally proved. This makes it possible to use compact and cheap ion sources with tens of keV energy to produce metal nanocluster beams (see, for example, 11. PTE No. 3, 1973, pp. 179-180, S.Ya. Lebedev, SD D. Panin. Source metal ions.) and abandon the use of isotopic radioactive sources.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007100802/28A RU2341845C2 (en) | 2007-01-09 | 2007-01-09 | Method of obtaining metallic nanoclusters in free state |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007100802/28A RU2341845C2 (en) | 2007-01-09 | 2007-01-09 | Method of obtaining metallic nanoclusters in free state |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2007100802A RU2007100802A (en) | 2008-07-20 |
| RU2341845C2 true RU2341845C2 (en) | 2008-12-20 |
Family
ID=40375367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2007100802/28A RU2341845C2 (en) | 2007-01-09 | 2007-01-09 | Method of obtaining metallic nanoclusters in free state |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2341845C2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2423753C1 (en) * | 2010-02-09 | 2011-07-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное объединение "Радиевый институт им. В.Г. Хлопина" | Device for generating beams of accelerated nano-cluster ions |
| RU2431605C2 (en) * | 2009-11-05 | 2011-10-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Юго-Западный государственный университет" (ЮЗГУ) | Method of producing nanoclusters of palladium and silver |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2192689C1 (en) * | 2001-03-21 | 2002-11-10 | Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН | Method for producing silicon nanostructures |
| WO2002078036A3 (en) * | 2001-03-28 | 2002-11-14 | Centre Nat Rech Scient | Device for generating an ion beam |
| RU2210135C2 (en) * | 2001-10-04 | 2003-08-10 | Государственное унитарное предприятие Научно-производственное объединение "Радиевый институт им. В.Г. Хлопина" | Device for producing liquid-metal nanoclaster ion beams |
| RU2238561C1 (en) * | 2003-07-14 | 2004-10-20 | Государственное унитарное предприятие Научно-производственное объединение "Радиевый институт им. В.Г. Хлопина" | Method for obtaining biomolecular ions in free state |
-
2007
- 2007-01-09 RU RU2007100802/28A patent/RU2341845C2/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2192689C1 (en) * | 2001-03-21 | 2002-11-10 | Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН | Method for producing silicon nanostructures |
| WO2002078036A3 (en) * | 2001-03-28 | 2002-11-14 | Centre Nat Rech Scient | Device for generating an ion beam |
| RU2210135C2 (en) * | 2001-10-04 | 2003-08-10 | Государственное унитарное предприятие Научно-производственное объединение "Радиевый институт им. В.Г. Хлопина" | Device for producing liquid-metal nanoclaster ion beams |
| RU2238561C1 (en) * | 2003-07-14 | 2004-10-20 | Государственное унитарное предприятие Научно-производственное объединение "Радиевый институт им. В.Г. Хлопина" | Method for obtaining biomolecular ions in free state |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2431605C2 (en) * | 2009-11-05 | 2011-10-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Юго-Западный государственный университет" (ЮЗГУ) | Method of producing nanoclusters of palladium and silver |
| RU2423753C1 (en) * | 2010-02-09 | 2011-07-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное объединение "Радиевый институт им. В.Г. Хлопина" | Device for generating beams of accelerated nano-cluster ions |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2007100802A (en) | 2008-07-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Torrisi et al. | Comparison of nanosecond laser ablation at 1064 and 308 nm wavelength | |
| Torrisi et al. | Angular distribution of ejected atoms from Nd: YAG laser irradiating metals | |
| De Temmerman et al. | An empirical scaling for deuterium retention in co-deposited beryllium layers | |
| Torrisi et al. | Ion and neutral emission from pulsed laser irradiation of metals | |
| Torrisi et al. | Implantation of ions produced by the use of high power iodine laser | |
| Láska et al. | Generation of multiply charged ions at low and high laser-power densities | |
| Torrisi et al. | Energy distribution of particles ejected by laser-generated aluminium plasma | |
| Torrisi et al. | Characterization of laser-generated silicon plasma | |
| RU2341845C2 (en) | Method of obtaining metallic nanoclusters in free state | |
| Torrisi et al. | Plasma–laser characterization by electrostatic mass quadrupole analyzer | |
| Nakamura et al. | High-quality laser-produced proton beam realized by the application of a synchronous RF electric field | |
| Hucks et al. | Energy and angular distribution of gold and copper atoms sputtered with either 15-or 30-KeV H+, He+, and Ar+ ions | |
| Bykovskii et al. | Mass-spectrometric investigation of the neutral particles of a laser plasma | |
| Torrisi et al. | Nickel plasma produced by 532-nm and 1064-nm pulsed laser ablation | |
| Sadowski et al. | Application of intense plasma-ion streams emitted from powerful PF-type discharges for material engineering | |
| Láska et al. | Laser induced direct implantation of ions | |
| Baranov et al. | Desorption of metal nanoclusters (2–40 nm) from nanodispersed targets of gold by swift heavy cluster (C8, 20 MeV) and atomic (fission fragments) projectiles | |
| Kasagi et al. | Screening energy of the d+ d reaction in an electron plasma deduced from cooperative colliding reaction | |
| Cutroneo et al. | Multi-energy ion implantation from high-intensity laser | |
| Guenette et al. | D and D/He plasma interactions with diamond: Surface modification and D retention | |
| Harnisch et al. | Collisions of low-energy Ar+, N2+, and D2+ ions with room-temperature and heated surfaces of mixed beryllium–tungsten thin films of different composition | |
| Torrisi | Gold ions produced by 1064 nm pulsed laser irradiation | |
| Baranov et al. | Absolute yields and angular distributions of gold nanoclusters (2–22 nm) desorbed due to electronic processes by fast heavy ions from nanodispersed gold targets | |
| Borrielli et al. | Spectroscopic measurements in Fe-plasma produced by pulsed laser ablation | |
| Abbasi et al. | Influence of axial magnetic field on angular distribution of charge and energy of laser produced slow and fast tungsten ion groups |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20150110 |