RU2237864C1 - Linear displacement transducer - Google Patents
Linear displacement transducer Download PDFInfo
- Publication number
- RU2237864C1 RU2237864C1 RU2003117596/28A RU2003117596A RU2237864C1 RU 2237864 C1 RU2237864 C1 RU 2237864C1 RU 2003117596/28 A RU2003117596/28 A RU 2003117596/28A RU 2003117596 A RU2003117596 A RU 2003117596A RU 2237864 C1 RU2237864 C1 RU 2237864C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- link
- driven
- housing
- driving
- membrane
- Prior art date
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для масштабного преобразования линейных перемещений, а именно где требуется высокая чувствительность перемещений исполнительного элемента.The invention relates to measuring technique and can be used for large-scale conversion of linear displacements, namely where high sensitivity of movements of the actuating element is required.
Известен масштабный преобразователь линейных перемещений, содержащий корпус, рычаг, закрепленный на крестообразном шарнире, и винтовое приводное устройство с микрометрическим винтом, см. Б.М. Сорочкин и др. Средства для линейных измерений. Л.: Машиностроение, 1978. Рис.64. С.173.Known large-scale linear displacement transducer containing a housing, a lever mounted on a cruciform hinge, and a screw drive device with a micrometer screw, see B.M. Sorochkin et al. Means for linear measurements. L .: Engineering, 1978. Fig. 64. S.173.
Этот преобразователь имеет малое передаточное отношение, что определяется длинами плеч рычага, как 1:10, это не обеспечивает высокой чувствительности и точности устройства, кроме того, рычаг с большим соотношением плеч увеличивает габариты и массу и повышает восприимчивость преобразователя к температурным изменениям окружающей среды.This converter has a small gear ratio, which is determined by the length of the lever arms, as 1:10, this does not provide high sensitivity and accuracy of the device, in addition, a lever with a large ratio of arms increases the dimensions and weight and increases the sensitivity of the converter to temperature changes in the environment.
Известен масштабный преобразователь линейных перемещений, содержащий корпус, подвижное звено, поступательный клин, перемещающий подвижное звено, и привод, см. под ред. В.А. Панова Справочник конструктора оптико-механических приборов. Л.: Машиностроение, 1980. Рис.6.54. С.336.Known scale Converter linear displacements containing a housing, a movable link, a translational wedge that moves the movable link, and the drive, see ed. V.A. Panova Handbook of the designer of optical-mechanical devices. L .: Mechanical engineering, 1980. Fig. 6.54. S.336.
Этот преобразователь прост по конструкции и обладает большими эксплуатационными возможностями, но имеет низкое передаточное число из-за большого угла клина, а для обеспечения высокого передаточного числа угол клина должен быть малым, это снижает диапазон работы, кроме того, для реализации достаточного диапазона работы устройства необходимы большие перемещения клина, это накладывает высокие требования к преобразователю, увеличивает его габариты и снижает возможность использования этого преобразователя линейных перемещений в малогабаритных приборах.This converter is simple in design and has great operational capabilities, but has a low gear ratio due to the large angle of the wedge, and to ensure a high gear ratio, the angle of the wedge should be small, this reduces the range of operation, in addition, to implement a sufficient range of operation of the device, large wedge movements, this imposes high requirements on the transducer, increases its dimensions and reduces the possibility of using this linear displacement transducer in small-sized aritic devices.
Известен преобразователь линейных перемещений, содержащий соосные корпус, ведущее и ведомое звенья, мембраны для сопряжения ведущего звена с ведомым и ведомого звена с корпусом, размещенные в общих плоскостях и имеющие разные жесткости: жесткость мембраны для сопряжения ведущего звена с ведомым меньше жесткости мембраны для сопряжения ведомого звена с корпусом, см. авторское свидетельство СССР №911175, кл.G 01 В 9/02, опубл. 1982 г.A known linear displacement transducer comprising coaxial housing, driving and driven links, membranes for interfacing a driving link with a follower and a driving link with a housing, located in common planes and having different stiffnesses: the membrane stiffness for connecting the driving link to the follower is less than the membrane stiffness for coupling the driven link with the housing, see USSR author's certificate No. 911175, class G 01 B 9/02, publ. 1982 g.
Этот преобразователь имеет большой коэффициент преобразования от ведущего к ведомому звену, но радиальные габариты и масса его значительны, это ограничивает его эксплуатационные возможности по использованию, кроме того, преобразование в этом преобразователе (с большим передаточным числом) возможно вдоль его оси от ведущего к ведомому звену в одном направлении, а передача движения от ведомого к ведущему звену в обратном направлении происходит с передаточным числом, равным единице, это ограничивает функциональные возможности этого устройства, кроме того, большое число кольцевых участков мембран и большое число сочленений со звеньями усложняет конструкцию преобразователя.This converter has a large conversion coefficient from the leading to the driven link, but its radial dimensions and mass are significant, this limits its operational capabilities for use, in addition, conversion in this converter (with a large gear ratio) is possible along its axis from the leading to the driven link in one direction, and the transfer of movement from the slave to the leading link in the opposite direction occurs with a gear ratio equal to one, this limits the functionality of this device Properties, in addition, a large number of annular sections of membranes and a large number of joints with links complicates the design of the transducer.
Известен преобразователь линейных перемещений, содержащий соосные корпус, ведущее и ведомое звенья, мембраны для сопряжения ведущего звена с ведомым и ведомого звена с корпусом, размещенные в параллельных плоскостях и имеющие разные жесткости: жесткость мембраны для сопряжения ведущего звена с ведомым меньше жесткости мембраны для сопряжения ведомого звена с корпусом, см. авторское свидетельство СССР №1262276, кл. С 01 В 9/02, опубл. 1986 г.A known linear displacement transducer comprising coaxial housing, driving and driven links, membranes for interfacing a driving link with a follower and a driven link with a housing located in parallel planes and having different stiffnesses: the membrane stiffness for connecting the driving link to the follower is less than the membrane stiffness for coupling the driven link with the housing, see USSR author's certificate No. 1262276, class. C 01 B 9/02, publ. 1986 year
Данное техническое решение принято за прототип настоящего изобретения.This technical solution is taken as a prototype of the present invention.
Однако оно обладает недостатками.However, it has disadvantages.
Преобразователь-прототип обладает большим диапазоном работы, однако в нем:The prototype converter has a large range of operation, but in it:
- при передаче перемещений от звена, несущего исполнительный элемент, к ведущему звену передаточное число равно единице, что не обеспечивает высокой точности перемещений в обратном направлении, это снижает функциональные возможности;- when transferring movements from the link carrying the actuator to the drive link, the gear ratio is equal to one, which does not provide high accuracy of movements in the opposite direction, this reduces the functionality;
- большое число кольцевых участков мембран и сочленений со звеньями усложняет конструкцию;- a large number of annular sections of membranes and joints with links complicates the design;
- размещение ведущего звена в радиальном направлении вне габаритов корпуса усложняет крепление в стойках со стандартными присоединительными размерами (⌀8, ⌀28) под измерительные приборы;- the placement of the leading link in the radial direction outside the dimensions of the housing complicates mounting in racks with standard mounting dimensions (⌀8, ⌀28) for measuring instruments;
- последовательно установленные мембраны увеличивают осевые габариты и массу, это ограничивает его использование в малогабаритной аппаратуре.- sequentially installed membranes increase axial dimensions and weight, this limits its use in small equipment.
В основу настоящего изобретения положено решение технической задачи, позволяющей расширить функциональные возможности, упростить конструкцию и уменьшить габариты для установки преобразователя в малогабаритной аппаратуре.The basis of the present invention is the solution of a technical problem that allows you to expand the functionality, simplify the design and reduce the dimensions for installing the Converter in small equipment.
Согласно изобретению эта задача решается за счет того, что в преобразователе линейных перемещений, содержащем соосные корпус, ведущее и ведомое звенья, мембраны для сопряжения ведущего звена с ведомым и ведомого звена с корпусом, размещенные в параллельных плоскостях и имеющие разные жесткости: жесткость мембраны для сопряжения ведущего звена с ведомым меньше жесткости мембраны для сопряжения ведомого звена с корпусом, выполнена мембрана для сопряжения ведущего звена с корпусом, параллельная и равная по размеру и жесткости мембране для сопряжения ведомого звена с корпусом, при этом мембрана для сопряжения ведущего звена с ведомым размещена между мембранами для сопряжения ведущего и ведомого звеньев с корпусом, кроме того, ведомое и ведущее звенья расположены внутри корпуса.According to the invention, this problem is solved due to the fact that in the linear displacement transducer containing coaxial housing, driving and driven links, membranes for interfacing the driving link with the driven and driven link with the housing, located in parallel planes and having different stiffnesses: the rigidity of the membrane for coupling the leading link with the follower is less than the rigidity of the membrane for pairing the driven link with the body, a membrane is made for pairing the leading link with the body, parallel and equal in size and rigidity to the membrane for coupling the driven member to the housing, wherein the membrane for coupling the driving member to the driven placed between the membranes for coupling the driving and driven members to the housing, moreover, the driven and driving units disposed within the housing.
Кроме того, мембраны для сопряжения ведущего и ведомого звеньев с корпусом, одна относительно другой, имеют разную жесткость, но большую, чем жесткость мембраны для сопряжения ведущего звена с ведомым.In addition, the membranes for interfacing the master and slave links with the housing, one relative to the other, have different stiffness, but greater than the stiffness of the membrane for pairing the master link with the slave.
Заявителем не выявлены источники, содержащие информацию о технических решениях, идентичных настоящему изобретению, что позволяет сделать вывод о его соответствии критерию “новизна”.The applicant has not identified sources containing information on technical solutions identical to the present invention, which allows us to conclude that it meets the criterion of “novelty”.
За счет реализации отличительных признаков (в совокупности с признаками, указанными в ограничительной части формулы) достигаются важные новые свойства объекта.Due to the implementation of distinctive features (in conjunction with the features indicated in the restrictive part of the formula), important new properties of the object are achieved.
Наличие мембраны для сопряжения ведущего звена с корпусом, вместе с мембраной для сопряжения ведомого звена с корпусом обеспечивает осуществление преобразования как в одном, так и в противоположном направлении вдоль оси преобразователя, при этом для получения в устройстве одинакового преобразования мембраны для сопряжения ведущего и ведомого звеньев с корпусом выполняют одинаковой жесткости, а для получения в устройстве различного преобразования мембраны, выше указанные, выполняют разной жесткости, это расширяет функциональные возможности преобразователя.The presence of a membrane for coupling the leading link with the housing, together with a membrane for coupling the driven link with the housing, provides the conversion both in one and in the opposite direction along the axis of the transducer, while to obtain the same membrane conversion in the device for coupling the driving and driven links with they carry the same stiffness with the housing, and to obtain different membranes in the device, the above mentioned ones perform different stiffnesses, this extends the functional possibilities converter head.
Взаимное расположение мембран, выполнение мембран для сопряжения ведущего и ведомого звеньев с корпусом одинаковыми по размеру упрощают конструкцию.The relative position of the membranes, the implementation of the membranes to interface the leading and driven links with the housing of the same size simplify the design.
Размещение ведущего и ведомого звеньев внутри корпуса упрощает крепление преобразователя в стойках со стандартными присоединительными размерами под установку измерительных приборов, уменьшает массу и габариты устройства.Placing the leading and driven links inside the housing simplifies the mounting of the converter in racks with standard mounting dimensions for the installation of measuring instruments, and reduces the weight and dimensions of the device.
Заявителю не известны какие-либо публикации, которые содержали бы сведения о влиянии отличительных признаков изобретения на достигаемый технический результат. В связи с этим, по мнению заявителя, можно сделать вывод о соответствии заявляемого технического решения критерию “изобретательский уровень”.The applicant is not aware of any publications that would contain information on the influence of the distinguishing features of the invention on the achieved technical result. In this regard, according to the applicant, it can be concluded that the claimed technical solution meets the criterion of "inventive step".
Сущность изобретения поясняется чертежом, где изображен общий вид преобразователя линейных перемещений (разрез).The invention is illustrated by the drawing, which shows a General view of the linear displacement transducer (section).
Преобразователь линейных перемещений содержит корпус 1, ведущее звено 2, ведомое звено 3, выступ П-образный (звена 3) 4, мембрану для сопряжения ведущего (2) звена с ведомым (3) 5, мембрану для сопряжения ведомого (3) звена с корпусом (1) 6, мембрану для сопряжения ведущего (2) звена с корпусом (1) 7, наконечник смещения ведущего (2) звена 8, наконечник смещения ведомого (3) звена 9.The linear displacement transducer comprises a housing 1, a leading link 2, a driven link 3, a U-shaped protrusion (link 3) 4, a membrane for interfacing the leading (2) link with the driven (3) 5, a membrane for connecting the driven (3) link to the housing (1) 6, a membrane for interfacing the leading (2) link with the housing (1) 7, the offset tip of the leading (2) link 8, the offset tip of the driven (3) link 9.
Преобразователь линейных перемещений содержит соосно расположенные корпус 1, ведущее 2 и ведомое 3 звенья и мембраны 5, 6 и 7, размещенные в параллельных плоскостях.The linear displacement transducer comprises a coaxially located housing 1, a leading 2 and a driven 3 links and membranes 5, 6 and 7, placed in parallel planes.
На ведомом звене 3 выполнен выступ 4, имеющий П-образную форму. К выступу 4 крепится мембрана 5 для сопряжения ведущего 2 и ведомого 3 звеньев.On the slave link 3, a protrusion 4 is made having a U-shape. A membrane 5 is attached to the protrusion 4 to interface the leading 2 and the driven 3 links.
Мембрана 6 для сопряжения ведомого звена 3 с корпусом 1 и мембрана 7 для сопряжения ведущего звена 2 с корпусом 1 имеют одинаковые размеры.The membrane 6 for pairing the slave link 3 with the housing 1 and the membrane 7 for pairing the lead link 2 with the housing 1 have the same dimensions.
Мембрана 5 размещена между мембранами 6 и 7 для сопряжения ведомого 3 и ведущего 2 звеньев с корпусом 1 соответственно.The membrane 5 is placed between the membranes 6 and 7 to interface the slave 3 and the leading 2 links with the housing 1, respectively.
В преобразователе выполнен наконечник 8 смещения ведущего звена 2 и наконечник 9 смещения ведомого звена 3.In the converter, a tip 8 for displacement of the leading link 2 and a tip 9 for offsetting the slave link 3 are made.
Жесткость мембраны 5 для сопряжения ведущего звена 2 с ведомым 3 меньше жесткости мембран 6 и 7 для сопряжения ведомого 3 и ведущего 2 звеньев с корпусом 1 соответственно.The stiffness of the membrane 5 for pairing the leading link 2 with the slave 3 is less than the stiffness of the membranes 6 and 7 for pairing the slave 3 and the leading 2 links with the housing 1, respectively.
Жесткости мембран 6 и 7 для сопряжения ведомого 3 и ведущего 2 звеньев с корпусом 1 соответственно равны одна относительно другой.The stiffness of the membranes 6 and 7 for pairing the slave 3 and the leading 2 links with the housing 1, respectively, are equal to one another.
Кроме того, жесткости мембран 6 и 7 для сопряжения ведомого 3 и ведущего 2 звеньев с корпусом 1 соответственно различны одна относительно другой, но больше жесткости мембраны 5 для сопряжения ведущего 2 и ведомого 3 звеньев.In addition, the stiffness of the membranes 6 and 7 for pairing the slave 3 and the leading 2 links with the housing 1, respectively, are different from each other, but greater than the stiffness of the membrane 5 for pairing the lead 2 and the slave 3 links.
Преобразователь осуществляет преобразование линейных перемещений следующим образом.The Converter performs the conversion of linear displacements as follows.
Перемещение наконечника 8 через мембрану 7 передается ведущему звену 2. Это перемещение ведущего звена 2 приводит к перемещению ведомого звена 3 через мембраны 5 и 6. Перемещение ведомого звена 3 составляет 1+К2/К1 доли перемещения ведущего звена 2, где K1 - жесткость мембраны 5 для сопряжения ведущего звена 2 с ведомым 3; К2 - жесткость мембраны 6 для сопряжения ведомого звена 3 с корпусом 1.The movement of the tip 8 through the membrane 7 is transmitted to the leading link 2. This movement of the driving link 2 leads to the movement of the driven link 3 through the membranes 5 and 6. The movement of the driven link 3 is 1 + K 2 / K 1 of the movement of the driving link 2, where K 1 - the rigidity of the membrane 5 for pairing the leading link 2 with the slave 3; To 2 - the rigidity of the membrane 6 for pairing the slave link 3 with the housing 1.
Так как жесткость мембраны 5 меньше жесткости мембраны 6, то перемещение наконечника 9 и ведомого звена 3 происходит на величину меньшую, чем перемещение ведущего звена 2 с наконечником 8.Since the rigidity of the membrane 5 is less than the rigidity of the membrane 6, the movement of the tip 9 and the driven link 3 occurs by an amount less than the movement of the leading link 2 with the tip 8.
Перемещение наконечника 9 через мембрану 6 передается ведомому звену 3, которое, в свою очередь, передает перемещение ведущему звену 2 с наконечником 8 через мембраны 5 и 7. Перемещение ведущего звена 2 составляет 1+К3/К1 доли перемещения ведомого звена 3, где К1 - жесткость мембраны 5 для сопряжения ведущего звена 2 с ведомым 3; К3 - жесткость мембраны 7 для сопряжения ведущего звена 2 с корпусом 1.The movement of the tip 9 through the membrane 6 is transmitted to the driven link 3, which, in turn, transfers the movement to the leading link 2 with the tip 8 through the membranes 5 and 7. The movement of the leading link 2 is 1 + K 3 / K 1 of the movement of the driven link 3, where To 1 - the rigidity of the membrane 5 for pairing the leading link 2 with the slave 3; To 3 - the rigidity of the membrane 7 for pairing the leading link 2 with the housing 1.
Так как жесткость мембраны 5 меньше жесткости мембраны 7, то перемещение наконечника 8 и ведущего звена 2 происходит на величину меньшую, чем перемещение ведомого звена 3 с наконечником 9.Since the rigidity of the membrane 5 is less than the rigidity of the membrane 7, the movement of the tip 8 and the leading link 2 occurs by an amount less than the movement of the driven link 3 with the tip 9.
Преобразователь осуществляет масштабное преобразование перемещений от наконечников 8 и 9 с последующей передачей преобразовательных перемещений соответственно наконечникам 9 и 8. Это преобразование (в зависимости от того, какой наконечник является ведущим) производится как в одном, так и в другом направлениях вдоль оси устройства.The converter carries out a large-scale conversion of displacements from tips 8 and 9, followed by transfer of transformative displacements to tips 9 and 8, respectively. This conversion (depending on which tip is leading) is performed both in one direction and in the other along the axis of the device.
В случае необходимости получить в устройстве одинаковое преобразование (передаточное число) от смещений наконечников 8 или 9 мембраны 6 и 7 выполнены одинаковыми по жесткости (из материала с одинаковыми физико-химическими параметрами).If it is necessary to obtain the same conversion (gear ratio) from the displacements of the tips 8 or 9, the membranes 6 and 7 are made of the same stiffness (from a material with the same physicochemical parameters).
В случае необходимости получить в устройстве различное преобразование (передаточное число) от смещений наконечников 8 или 9 мембраны 6 и 7 выполнены различными по жесткости (из материала с различными физико-химическими параметрами).If necessary, to obtain in the device a different conversion (gear ratio) from the displacements of the tips 8 or 9, the membranes 6 and 7 are made of different stiffness (from a material with different physicochemical parameters).
Предложенный преобразователь линейных перемещений может быть изготовлен промышленным способом, что подтверждает изготовление опытной партии на заводе “Измерон”, и это обуславливает, по мнению заявителя, его соответствие критерию “промышленная применимость”.The proposed linear displacement transducer can be manufactured industrially, which confirms the manufacture of an experimental batch at the Izmeron plant, and this, according to the applicant, determines its compliance with the criterion of “industrial applicability”.
Использование предложенного преобразователя позволяет:Using the proposed Converter allows you to:
- расширить функциональные возможности;- expand the functionality;
- упростить конструкцию;- simplify the design;
- уменьшить габариты;- reduce the size;
- устанавливать его в малогабаритной аппаратуре.- install it in small equipment.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2003117596/28A RU2237864C1 (en) | 2003-06-04 | 2003-06-04 | Linear displacement transducer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2003117596/28A RU2237864C1 (en) | 2003-06-04 | 2003-06-04 | Linear displacement transducer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2237864C1 true RU2237864C1 (en) | 2004-10-10 |
| RU2003117596A RU2003117596A (en) | 2004-12-10 |
Family
ID=33538085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2003117596/28A RU2237864C1 (en) | 2003-06-04 | 2003-06-04 | Linear displacement transducer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2237864C1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2407988C2 (en) * | 2009-01-20 | 2010-12-27 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ" | Optical device for measuring displacements |
| RU215853U1 (en) * | 2022-10-03 | 2022-12-29 | Закрытое акционерное общество "Мезон" | Linear nanodisplacement transducer |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1262276A1 (en) * | 1984-03-30 | 1986-10-07 | Предприятие П/Я Р-6681 | Device for shifting interferometer optical element |
| GB2261299A (en) * | 1991-11-08 | 1993-05-12 | British Tech Group | Optical interferometer |
-
2003
- 2003-06-04 RU RU2003117596/28A patent/RU2237864C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1262276A1 (en) * | 1984-03-30 | 1986-10-07 | Предприятие П/Я Р-6681 | Device for shifting interferometer optical element |
| GB2261299A (en) * | 1991-11-08 | 1993-05-12 | British Tech Group | Optical interferometer |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2407988C2 (en) * | 2009-01-20 | 2010-12-27 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ" | Optical device for measuring displacements |
| RU215853U1 (en) * | 2022-10-03 | 2022-12-29 | Закрытое акционерное общество "Мезон" | Linear nanodisplacement transducer |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100454455C (en) | microelectromechanical sensor | |
| KR101031253B1 (en) | Pressure measuring device using fiber optic grating sensor | |
| Gan et al. | Designs of compliant mechanism-based force sensors: A review | |
| EP3258235A1 (en) | Differential pressure transducer | |
| CN108210090A (en) | A kind of power perceives surgical instrument driving device | |
| US7134219B2 (en) | Fiber optic gap gauge | |
| RU2237864C1 (en) | Linear displacement transducer | |
| CN113138045B (en) | Micro-nano optical fiber array stress positioning analysis system | |
| CN107498575B (en) | Flexible micro clamp with force sensor | |
| EP3881044B1 (en) | Optical fiber sensing device having a symmetric optical fiber arrangement | |
| Mishra et al. | Pre-stressed diaphragm based capacitive pressure sensor for blood pressure sensing application | |
| CN107504988A (en) | Optical fiber optical grating sensing experiment system based on compound girder construction | |
| CN101586994B (en) | Fiber grating pull pressure sensor having temperature compensation function | |
| CN114152374B (en) | High-precision micro torque sensor based on fiber Bragg grating | |
| CN107351102B (en) | Fiber Bragg grating force tactile sensor, robot and its manipulator fingertip | |
| CN105067137B (en) | A kind of high-resolution micro temperature sensor of high sensitivity based on MEMS system and monitoring method | |
| Ceyssens et al. | A low-cost and highly integrated fiber optical pressure sensor system | |
| US20230072012A1 (en) | Multi-axis fiber bragg grating sensors and systems | |
| CN118565677A (en) | Bionic fingertip sensor based on fiber Bragg grating | |
| JP5291517B2 (en) | Inner dimension measuring instrument | |
| RU2165068C2 (en) | Displacement transducer | |
| CN112683440A (en) | Four-claw universal joint type inter-dimension decoupling two-dimensional wireless passive sensor | |
| CN109798819B (en) | Three-degree-of-freedom precision micro-displacement probe based on electrohydraulic amplification and measuring method thereof | |
| RU2290600C1 (en) | Device for measuring linear sizes | |
| Cellatoglu et al. | Vibrating cantilever transducer incorporated in dual diaphragms structure for sensing differential pneumatic pressure |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PC4A | Invention patent assignment |
Effective date: 20061123 |
|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20090605 |