RU2232764C1 - Способ получения метилхлорсиланов - Google Patents
Способ получения метилхлорсиланов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2232764C1 RU2232764C1 RU2003101868/04A RU2003101868A RU2232764C1 RU 2232764 C1 RU2232764 C1 RU 2232764C1 RU 2003101868/04 A RU2003101868/04 A RU 2003101868/04A RU 2003101868 A RU2003101868 A RU 2003101868A RU 2232764 C1 RU2232764 C1 RU 2232764C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- silicon
- powder
- aluminum
- contact mass
- zinc
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 35
- YGZSVWMBUCGDCV-UHFFFAOYSA-N chloro(methyl)silane Chemical class C[SiH2]Cl YGZSVWMBUCGDCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 41
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 29
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 27
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 21
- NEHMKBQYUWJMIP-UHFFFAOYSA-N chloromethane Chemical compound ClC NEHMKBQYUWJMIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 21
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 19
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 17
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 12
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 229940050176 methyl chloride Drugs 0.000 claims abstract description 10
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims abstract description 9
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 8
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 8
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 10
- 239000012190 activator Substances 0.000 claims description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 7
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 abstract description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 2
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 abstract 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract 1
- 239000011863 silicon-based powder Substances 0.000 description 13
- 239000000047 product Substances 0.000 description 10
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 6
- IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N chlorotrimethylsilane Chemical compound C[Si](C)(C)Cl IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 5
- LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N dimethyldichlorosilane Chemical compound C[Si](C)(Cl)Cl LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L zinc dichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Zn+2] JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- QABCGOSYZHCPGN-UHFFFAOYSA-N chloro(dimethyl)silicon Chemical compound C[Si](C)Cl QABCGOSYZHCPGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- KTQYJQFGNYHXMB-UHFFFAOYSA-N dichloro(methyl)silicon Chemical compound C[Si](Cl)Cl KTQYJQFGNYHXMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 3
- 239000005048 methyldichlorosilane Substances 0.000 description 3
- 239000005051 trimethylchlorosilane Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 229920000548 poly(silane) polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 239000005049 silicon tetrachloride Substances 0.000 description 2
- CZDYPVPMEAXLPK-UHFFFAOYSA-N tetramethylsilane Chemical compound C[Si](C)(C)C CZDYPVPMEAXLPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000005074 zinc chloride Nutrition 0.000 description 2
- 239000011592 zinc chloride Substances 0.000 description 2
- VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 4-[4-(4-methoxyphenyl)piperazin-1-yl]aniline Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1N1CCN(C=2C=CC(N)=CC=2)CC1 VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000005046 Chlorosilane Substances 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021626 Tin(II) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001348 alkyl chlorides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- DAMJCWMGELCIMI-UHFFFAOYSA-N benzyl n-(2-oxopyrrolidin-3-yl)carbamate Chemical compound C=1C=CC=CC=1COC(=O)NC1CCNC1=O DAMJCWMGELCIMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- RBHJBMIOOPYDBQ-UHFFFAOYSA-N carbon dioxide;propan-2-one Chemical compound O=C=O.CC(C)=O RBHJBMIOOPYDBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 1
- KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N chlorosilane Chemical class Cl[SiH3] KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- WCCJDBZJUYKDBF-UHFFFAOYSA-N copper silicon Chemical compound [Si].[Cu] WCCJDBZJUYKDBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000001030 gas--liquid chromatography Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 238000010907 mechanical stirring Methods 0.000 description 1
- 239000005055 methyl trichlorosilane Substances 0.000 description 1
- JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N methyltrichlorosilane Chemical compound C[Si](Cl)(Cl)Cl JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001367 organochlorosilanes Chemical class 0.000 description 1
- 150000003961 organosilicon compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- FAIAAWCVCHQXDN-UHFFFAOYSA-N phosphorus trichloride Chemical compound ClP(Cl)Cl FAIAAWCVCHQXDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- -1 polysiloxanes Polymers 0.000 description 1
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 1
- 150000004756 silanes Chemical class 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 235000011150 stannous chloride Nutrition 0.000 description 1
- AXZWODMDQAVCJE-UHFFFAOYSA-L tin(II) chloride (anhydrous) Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Sn+2] AXZWODMDQAVCJE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N trichlorosilane Chemical compound Cl[SiH](Cl)Cl ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005052 trichlorosilane Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Abstract
Описывается способ получения метилхлорсиланов прямым синтезом хлористого метила с контактной массой, содержащей кремний, медь, алюминий и активатор, состоящий из смеси цинка или его соединений и элемента(-ов), выбранных из группы олово, сурьма, фосфор, или их соединений по отдельности или в различных сочетаниях друг с другом. Процесс проводят при температуре до 350°С до достижения конверсии кремния 2-10 мас.% с последующей догрузкой контактной массы, не содержащей алюминия. Техническим результатом является стабильность процесса, высокая производительность и конверсия кремния. 1 табл.
Description
Изобретение относится к способам получения органохлорсиланов, в частности к прямому синтезу метилхлорсиланов (МХС) - основного сырья для промышленного производства кремнийорганических олигомеров и полимеров.
Прямой синтез осуществляется обычно путем взаимодействия хлористого метила (ХМ) с кремнием в присутствии медного катализатора и активаторов (промоторов) при повышенных температурах. В результате реакции кремний и ХМ превращаются в метилхлорсиланы (МХС), состоящие из смеси целевых продуктов: диметилдихлорсилана (ДМДХС), метилтрихлорсилана (МТХС), триметилхлорсилана (ТМХС), метилдихлорсилана (МДХС). Наряду с этим образуются в заметных количествах побочные продукты - четыреххлористый кремний (ЧХК), диметилхлорсилан (ДМХС), тетраметилсилан (ТМС) и отходы, например, высококипящие соединения (ди- и полисиланы и полисилоксаны и т.д.). Реакционную смесь подвергают ректификации с выделением целевых продуктов, которые используют в производстве различных кремнийорганических соединений.
Известен способ получения алкилхлорсиланов взаимодействием хлористого алкила с контактной массой (КМ), содержащей кремний, медь и активаторы - мышьяк или фосфор, или сурьму или олово, или их смеси, а также цинк или хлористый цинк, с целью повышения выхода целевых продуктов (авт. свид. №178817, МПК С 07 f, кл. 12 о, 26/03, 1966).
Недостатком этого способа являются невысокие производительность процесса (37-72 г МХС с 1 кг КМ в час) и, соответственно, конверсия кремния контактной массы.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому нами является способ получения смеси метилхлорсиланов, защищенный авт. свид. СССР №1162200, МПК С 07 F 7/16, 1996 г., принятый нами в качестве прототипа. Способ заключается во взаимодействии хлористого метила с кремнемедной КМ, представляющей собой смесь порошков кремния, меди, сурьмы, цинка или его хлорида и алюминия при температуре 260-330°С и давлении 0,1-0,5 МПа. Согласно изобретению максимальная производительность - 321 г МХС с кг КМ в час при температуре 260°С и давлении в верхней части реактора 0,5 МПа. Время синтеза 7 часов. Рассчитанная по данным, приведенным в примерах описания изобретения, выработка кремния составляет всего 48-52%.
Недостатками этого способа являются также относительно невысокая производительность процесса и конверсия кремния. Наиболее наглядно они проявляются при непрерывном или длительном ведении процесса, что свидетельствует о его низкой стабильности. Действительно, при увеличении продолжительности опыта в условиях прототипа до 40 часов и более с одновременной подгрузкой новых порций контактной массы, конверсия кремния остается на уровне 72 мас.%, а суммарная производительность снижается до 150 г/кг·час. При этом падает селективность процесса по ДМДХС до 75,6% при одновременном увеличении выхода высокохлорированных силанов и продуктов пиролиза (трихлорсилан, четыреххлористый кремний, хлорди- и полисиланы, абгазы и т.д.).
Задачей настоящего изобретения является повышение производительности процесса в результате достижения стабильных показателей его в течение длительного периода работы реактора.
Поставленная задача решена усовершенствованным нами способом получения метилхлорсиланов при температуре до 350°С и давлении до 0,5 МПа путем взаимодействия хлористого метила с контактной массой, включающей смесь порошков кремния, меди, алюминия и активатора до достижения выработки кремния 2-10 мас.%, после чего процесс осуществляют с контактной массой, не содержащей алюминий, в присутствии активатора, состоящего из смеси цинка или его соединений и элемента(-ов), выбранных из группы олово, сурьма, фосфор, или их соединений по отдельности или в различных сочетаниях друг с другом.
Таким образом, алюминий содержится только в составе КМ при начальной загрузке и отсутствует в контактной массе, подаваемой на догрузку. Оптимальное содержание алюминия в составе КМ при первоначальной загрузке составляет 0,01-0,5%.
В результате экспериментальных исследований нами установлено, что введение алюминия в состав контактной массы (помимо алюминия, обычно присутствующего в техническом кремнии) активирует ее, но одновременно приводит и к увеличению скорости протекания пиролитических процессов, в результате чего резко растет содержание высококипящих продуктов в сырце МХС, снижается выход целевых продуктов, увеличиваются потери кремния и ухудшается динамика процесса. При этом было обнаружено, что существует оптимальный период воздействия алюминия на контактную массу, во время которого на поверхности кремния формируется, по-видимому, более эффективная каталитическая система, и это ведет, наряду с сокращением индукционного периода, к повышению стабильности процесса, сохранению высокой селективности по ДМДХС на протяжении всего процесса, сокращению выхода высококипящих продуктов и увеличению конверсии кремния.
Этот прием также обеспечивает, как это имеет место и в способе-прототипе, достаточно короткий индукционный период реакции, а главное, позволяет длительно вести процесс при стабильно высоких показателях, значительно сократить содержание высококипящих продуктов и, как результат, повысить производительность процесса. Выбор момента начала подгрузки свежей контактной массы определялся нами в зависимости от выработки кремния в реакторе, что влияет на течение и результаты реакции. Выработку кремния можно определять по количеству кремния, перешедшего в продукты реакции, либо по уменьшению высоты реакционной зоны по отношению к первоначальной загрузке.
Процесс по данному изобретению можно проводить в реакторах как с псевдоожиженным слоем, так и с механическим перемешиванием или неподвижным слоем контактной массы.
Контактная масса перед началом процесса может быть дополнительно обработана при повышенной температуре хлористым водородом или хлорсиланами, либо смесью их с хлористым метилом.
Данные, иллюстрирующие предлагаемое изобретение, представлены в примерах и таблице.
Пример 1
Синтез метилхлорсиланов осуществляют следующим образом. При комнатной температуре смешивают 243,85 г (97,5%) порошка кремния, 5,0 г (2%) порошка меди, 0,01 г (0,004%) порошка сурьмы, 0,5 г (0,2%) порошка цинка и 0,63 г (0,25%) порошка алюминия. Полученную смесь порошков при комнатной температуре помещают в реактор, представляющий собой стеклянную трубку диаметром 30 мм и высотой 500 мм, снабженную по всей высоте электронагревателем и в нижней части пористой пластинкой для ввода хлористого метила. В верхней части реактора имеется устройство для загрузки свежей контактной массы и фильтр для очистки выходящей из реактора реакционной смеси от твердых частиц.
Контактную массу продувают в течение 30 минут азотом и нагревают с помощью электронагревателя до 300°С. В нижнюю часть реактора подают хлористый метил со скоростью 150 г/час. Одновременно отмечают верхний уровень контактной массы в реакторе, который находится на расстоянии 38 см от пористой пластины.
Образующиеся продукты реакции конденсируют в ловушке, охлаждаемой смесью сухой лед - ацетон. Через 20 минут от начала подачи хлористого метила уровень контактной массы снижается до 37 см. Вес уловленных продуктов реакции составляет 49,5 г. По данным газожидкостной хроматографии они содержат 24 г МХС следующего состава: 73,4% ДМДХС, 22,8% МТХС, 3,0% ТМХС, 0,2% ЧХК, 2,5% МДХС, 0,1% ДМХС, 0,5% ТМС. Продукты реакции содержат 5,04 г кремния, что составляет 2% от первоначально загруженного в реактор порошка кремния. В реактор добавляют до прежней высоты слоя контактную массу, состоящую из 97,75% кремния, 2% меди, 0,004% сурьмы и 0,2% цинка.
После этого ежечасно определяют вес получаемых продуктов и анализируют их методом ГЖХ. На основе этих данных определяют количество кремния, перешедшего в продукты реакции и, соответственно, количество необходимой подгрузки для пополнения убыли КМ, состоящей из 97,75% кремния, 2% меди, 0,004% сурьмы и 0,2% цинка.
Основные показатели процесса рассчитывают на 7 (как в прототипе) и 40 час от начала процесса.
Примеры 1-4 выполнены на составе контактной массы, представленном в примере 1.
Пример 5. Смешивают 243,85 г (97,5%) порошка кремния, 5,0 г (2,0%) порошка меди, 0,02 г (0,008%) треххлористой сурьмы, 0,5 г (0,2%) порошка цинка и 0,63 г (0,25%) порошка алюминия.
Пример 6. Смешивают 243,35 г (97,3%) порошка кремния, 5,0 г (2,0%) порошка меди, 0,01 г (0,004%) порошка сурьмы, 1,0 г (0,4%) безводного хлористого цинка и 0,63 г (0,25%) порошка алюминия.
Пример 7. Смешивают 243,85 г (97,5%) порошка кремния, 5,0 г (2,0%) порошка меди, 0,01 г (0,004%) порошка олова, 0,5 г (0,2%) порошка цинка и 0,63 г (0,25%) порошка алюминия.
Пример 8. Смешивают 243,85 г (97,5%) порошка кремния, 5,0 г (2,0%) порошка меди, 0,015 г (0,005%) дихлорида олова, 0,5 г (0,2%) порошка цинка и 0,63 г (0,25%) порошка алюминия.
Пример 9. Смешивают 243,35 г (97,3%) порошка кремния, 5,0 г (2,0%) порошка меди, 0,01 г (0,004%) порошка олова, 0,5 г (0,2%) сплава меди с фосфором, содержащий 14% фосфора), 0,5 г (0,2%) порошка цинка и 0,63 г (0,25%) порошка алюминия.
Пример 10. Смешивают 243,55 г (97,4%) порошка кремния, 5,0 г (2,0%) порошка меди, 0,01 г (0,004%) порошка олова, 0,3 г (0,12%) треххлористого фосфора, 0,5 г (0,2%) порошка цинка и 0,63 г (0,25%) порошка алюминия.
Пример 11. Смешивают 244,46 г (97,8%) порошка кремния, 5,0 г (2,0%) порошка меди, 0,01 г (0,004%) порошка сурьмы, 0,5 г (0,2%) порошка цинка и 0,025 г (0,01%) порошка алюминия.
Пример 12. Смешивают 244,11 г (97,6%) порошка кремния, 5,0 г (2,0%) порошка меди, 0,01 г (0,004%) порошка сурьмы, 0,5 г (0,2%) порошка цинка и 0,38 г (0,15%) порошка алюминия.
Пример 13. Смешивают 243,24 г (97,3%) порошка кремния, 5,0 г (2,0%) порошка меди, 0,01 г (0,004%) порошка сурьмы, 0,5 г (0,2%) порошка цинка и 1,25 г (0,5%) порошка алюминия.
Пример 14. Смешивают 243,7 г (97,5%) порошка кремния, 5,0 г (2,0%) порошка меди, 0,01 г (0,004%) порошка сурьмы, 0,63 г (0,25%) порошка цинка и 0,63 г (0,25%) порошка алюминия.
Пример 15 выполнен по способу-прототипу. Результаты экспериментов представлены в таблице.
Как видно из представленных примеров, предложенный способ по сравнению с прототипом не обладает присущими ему недостатками и имеет более высокую производительность за счет увеличения времени стабильного протекания процесса с 7 до 40 часов и более, снижения образования высококипящих соединений в продуктах реакции с 4,3-6,6 до 1,3-2,0 мас.%, повышения степени выработки кремния до 92% и выше.
Оптимальная степень выработки кремния для осуществления подгрузки контактной массы составляет 2-10 мас.%. Ниже этой величины достигаемый эффект заметно уменьшается. То же самое наблюдается в случае более глубокой выработки кремния.
В соответствии с вышеизложенным, по нашему мнению, предложенный способ соответствует критериям патентоспособности и может быть рассмотрен государственной экспертизой на предмет выдачи патента.
Таблица
Результаты прямого синтеза метилхлорсиланов при взаимодействии хлористого метила с контактной массой, состоящей из порошков кремния меди и активаторов
Температура 300°С
Claims (1)
- Способ получения метилхлорсиланов по реакции взаимодействия хлористого метила с контактной массой, представляющей собой смесь порошков кремния, меди, алюминия и активатора, состоящего из смеси цинка или его соединений и элемента, выбранного из группы олово, сурьма, фосфор или их соединений по отдельности или в различных сочетаниях друг с другом при температуре до 350°С и давлении до 0,5 МПа, заключающийся в том, что реакцию проводят до достижения выработки кремния 2-10 мас.%, после чего процесс осуществляют с контактной массой, не содержащей алюминия.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2003101868/04A RU2232764C1 (ru) | 2003-01-27 | 2003-01-27 | Способ получения метилхлорсиланов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2003101868/04A RU2232764C1 (ru) | 2003-01-27 | 2003-01-27 | Способ получения метилхлорсиланов |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2232764C1 true RU2232764C1 (ru) | 2004-07-20 |
| RU2003101868A RU2003101868A (ru) | 2004-07-20 |
Family
ID=33413843
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2003101868/04A RU2232764C1 (ru) | 2003-01-27 | 2003-01-27 | Способ получения метилхлорсиланов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2232764C1 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2773401C1 (ru) * | 2021-04-23 | 2022-06-03 | Акционерное общество "Государственный Ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" (АО "ГНИИХТЭОС") | Способ разделения смеси алкилхлорсиланов и хлористого алкила |
| CN116200723A (zh) * | 2017-12-27 | 2023-06-02 | 应用材料公司 | 用于制造涂覆碳化硅的主体的工艺 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5117030A (en) * | 1990-07-31 | 1992-05-26 | Rhone-Poulenc Chimie | Catalyst/promoter for direct synthesis of dimethyldichlorosilane |
| RU2144923C1 (ru) * | 1995-02-28 | 2000-01-27 | Элкем Аса | Способ получения алкилгалосиланов |
| WO2000062217A1 (en) * | 1999-04-12 | 2000-10-19 | Sony Corporation | Information processing device and method, and providing medium |
-
2003
- 2003-01-27 RU RU2003101868/04A patent/RU2232764C1/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5117030A (en) * | 1990-07-31 | 1992-05-26 | Rhone-Poulenc Chimie | Catalyst/promoter for direct synthesis of dimethyldichlorosilane |
| RU2144923C1 (ru) * | 1995-02-28 | 2000-01-27 | Элкем Аса | Способ получения алкилгалосиланов |
| WO2000062217A1 (en) * | 1999-04-12 | 2000-10-19 | Sony Corporation | Information processing device and method, and providing medium |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116200723A (zh) * | 2017-12-27 | 2023-06-02 | 应用材料公司 | 用于制造涂覆碳化硅的主体的工艺 |
| RU2773401C1 (ru) * | 2021-04-23 | 2022-06-03 | Акционерное общество "Государственный Ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" (АО "ГНИИХТЭОС") | Способ разделения смеси алкилхлорсиланов и хлористого алкила |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0348902B1 (en) | Direct synthesis process for organohalohydrosilanes | |
| US4946980A (en) | Preparation of organosilanes | |
| JPH01199984A (ja) | アルキルハロシラン類の製造方法 | |
| US4888435A (en) | Integrated process for alkylation and redistribution of halosilanes | |
| JP5384657B2 (ja) | 転位反応によるアルキルクロロシランの製造方法 | |
| US6090966A (en) | Preparation of contract mass for alkylhalosilane production and process for producing alkylhalosilanes | |
| KR20170047373A (ko) | 유동상 반응기에서의 메틸클로로실란의 직접 합성 방법 | |
| JPH0832711B2 (ja) | ジシリル化合物及びその製造方法 | |
| US6365766B1 (en) | Metallic copper catalyst and process for the synthesis of organohalosilanes | |
| US6288258B1 (en) | Preparation of organohalosilanes | |
| EP0661288B1 (en) | Process for hydrogenation of chlorosilane | |
| RU2232764C1 (ru) | Способ получения метилхлорсиланов | |
| KR101435926B1 (ko) | 클로로실란의 하이드로젠 실란으로의 탈염소수소화를 위한 촉매 및 그 촉매를 사용한 하이드로젠실란의 제조 방법 | |
| EP0365207B1 (en) | Preparation of organosilanes | |
| JP4485631B2 (ja) | 濃アルキル・シルアルキレン含有残渣におけるシルアルキレンの再分配法 | |
| US3346349A (en) | Disproportionation of siliconhalides | |
| JP2801422B2 (ja) | アルキル化シラン調製方法 | |
| RU2203900C2 (ru) | Способ получения метилхлорсиланов | |
| JPS6337117B2 (ru) | ||
| US5606090A (en) | Conversion of high-boiling residue from direct process to monosilanes | |
| US4962219A (en) | Alkylation of halodisilanes | |
| US5922894A (en) | Process for converting polymeric silicon containing compounds to monosilanes | |
| KR20060054065A (ko) | 오르가노할로실란 제조용 촉매체의 제조 방법 및오르가노할로실란의 제조 방법 | |
| JPH04297483A (ja) | オルガノハロシラン類の調製方法 | |
| KR100469945B1 (ko) | 비닐클로로실란의제조방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PC43 | Official registration of the transfer of the exclusive right without contract for inventions |
Effective date: 20160401 |
|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20170128 |