RU2266293C1 - Method for preparing methylsilanes - Google Patents
Method for preparing methylsilanes Download PDFInfo
- Publication number
- RU2266293C1 RU2266293C1 RU2004125635/04A RU2004125635A RU2266293C1 RU 2266293 C1 RU2266293 C1 RU 2266293C1 RU 2004125635/04 A RU2004125635/04 A RU 2004125635/04A RU 2004125635 A RU2004125635 A RU 2004125635A RU 2266293 C1 RU2266293 C1 RU 2266293C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- methylsilanes
- preparing
- temperature
- reduction
- aluminum hydride
- Prior art date
Links
- UIUXUFNYAYAMOE-UHFFFAOYSA-N methylsilane Chemical class [SiH3]C UIUXUFNYAYAMOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 20
- -1 silane chlorides Chemical class 0.000 claims abstract description 21
- 239000012280 lithium aluminium hydride Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims abstract 2
- 238000011946 reduction process Methods 0.000 claims abstract 2
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 claims abstract 2
- PQDJYEQOELDLCP-UHFFFAOYSA-N trimethylsilane Chemical compound C[SiH](C)C PQDJYEQOELDLCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 abstract description 6
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 abstract description 6
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 abstract description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N chlorotrimethylsilane Chemical compound C[Si](C)(C)Cl IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000000047 product Substances 0.000 description 13
- YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N Ethylbenzene Chemical compound CCC1=CC=CC=C1 YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 9
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 9
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000005051 trimethylchlorosilane Substances 0.000 description 6
- YGZSVWMBUCGDCV-UHFFFAOYSA-N chloro(methyl)silane Chemical class C[SiH2]Cl YGZSVWMBUCGDCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- KTQYJQFGNYHXMB-UHFFFAOYSA-N dichloro(methyl)silicon Chemical compound C[Si](Cl)Cl KTQYJQFGNYHXMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- UBHZUDXTHNMNLD-UHFFFAOYSA-N dimethylsilane Chemical compound C[SiH2]C UBHZUDXTHNMNLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000005048 methyldichlorosilane Substances 0.000 description 5
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 5
- LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N dimethyldichlorosilane Chemical compound C[Si](C)(Cl)Cl LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 150000004678 hydrides Chemical class 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 3
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 3
- DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 1-butoxybutane Chemical compound CCCCOCCCC DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VFWCMGCRMGJXDK-UHFFFAOYSA-N 1-chlorobutane Chemical compound CCCCCl VFWCMGCRMGJXDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000102 alkali metal hydride Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000008046 alkali metal hydrides Chemical class 0.000 description 2
- 239000003849 aromatic solvent Substances 0.000 description 2
- AZFVLHQDIIJLJG-UHFFFAOYSA-N chloromethylsilane Chemical class [SiH3]CCl AZFVLHQDIIJLJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 2
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 2
- 239000012442 inert solvent Substances 0.000 description 2
- 229940078552 o-xylene Drugs 0.000 description 2
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 2
- MCULRUJILOGHCJ-UHFFFAOYSA-N triisobutylaluminium Chemical compound CC(C)C[Al](CC(C)C)CC(C)C MCULRUJILOGHCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000005046 Chlorosilane Substances 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 229910010082 LiAlH Inorganic materials 0.000 description 1
- KEAYESYHFKHZAL-UHFFFAOYSA-N Sodium Chemical compound [Na] KEAYESYHFKHZAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000001299 aldehydes Chemical class 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 150000008280 chlorinated hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N chlorosilane Chemical compound Cl[SiH3] KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010668 complexation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 229910000103 lithium hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- SIAPCJWMELPYOE-UHFFFAOYSA-N lithium hydride Chemical compound [LiH] SIAPCJWMELPYOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000011987 methylation Effects 0.000 description 1
- 238000007069 methylation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 150000004756 silanes Chemical class 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 229910000104 sodium hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012312 sodium hydride Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
Abstract
Description
Изобретение относится к области химической технологии, а именно к получению алкилзамещенных силанов, в частности к способу получения метилсиланов. Метилсиланы используются для получения полимеров, каучуков, резин, в производстве полупроводников и микроэлектронике.The invention relates to the field of chemical technology, namely to the production of alkyl substituted silanes, in particular to a method for producing methylsilanes. Methylsilanes are used to produce polymers, rubbers, rubbers, in the manufacture of semiconductors and microelectronics.
Известен [Л.И.Захаркин. Восстановление алкилхлорсиланов гидридом натрия в присутствии триэтилалюминия. // Известия АН СССР, 1960, 12, 244] способ получения метилсиланов восстановлением хлорметилсиланов системой из смеси гидрида лития (или натрия) и триизобутилалюминия с использованием в качестве растворителя толуола, бензола или ксилола при температуре 60-80°С. Используемый в качестве компонента восстановительной системы триизобутилалюминий переводит нерастворимый в данных инертных растворителях гидрид щелочного металла в растворимый комплекс. А достаточно высокая (60-80°С) температура синтеза позволяет эффективно восстанавливать любые метилсиланы.Known [L.I. Zakharkin. Reduction of alkylchlorosilanes with sodium hydride in the presence of aluminum triethyl. // Izvestia AN SSSR, 1960, 12, 244] a method for producing methylsilanes by reduction of chloromethylsilanes by a system from a mixture of lithium hydride (or sodium) and triisobutylaluminium using toluene, benzene or xylene as a solvent at a temperature of 60-80 ° C. The triisobutylaluminum used as a component of the reducing system converts the alkali metal hydride insoluble in these inert solvents into a soluble complex. A sufficiently high (60-80 ° C) synthesis temperature allows you to effectively restore any methylsilanes.
Недостатком применения такой бинарной каталитической системы является образование побочных продуктов переметилирования. В частности, при восстановлении хлортриметилсилана наряду с триметилсиланом образуется диметилсилан в значительных количествах до 10-15%. Это приводит к потере целевого продукта и к необходимости дополнительной стадии его очистки ректификацией.The disadvantage of using such a binary catalyst system is the formation of by-products of methylation. In particular, during the recovery of chlorotrimethylsilane, along with trimethylsilane, dimethylsilane is formed in significant amounts up to 10-15%. This leads to the loss of the target product and to the need for an additional stage of purification by distillation.
Наиболее близким по технической сущности является [Пат. РФ №2.177.946, Россия, заявлен 18.12.2000 г.] способ получения метилсилана путем восстановления метилдихлорсилана литийалюминийгидридом в среде высококипящего простого эфира состава СnН2n+1O, где n=4-7 при температуре 30-50°С. По этому способу получают только монометилсилан с чистотой до 99,3% и выходом до 98%.The closest in technical essence is [Pat. RF No. 2.177.946, Russia, claimed December 18, 2000] a method for producing methylsilane by reduction of methyldichlorosilane with lithium aluminum hydride in a high boiling ether ether of composition С n Н 2n + 1 O, where n = 4-7 at a temperature of 30-50 ° С. By this method, only monomethylsilane is obtained with a purity of up to 99.3% and a yield of up to 98%.
Однако простые эфиры не являются инертными растворителями для литийалюминийгидрида, и они частично разрушаются с образованием хлорированных производных. Последние часто могут иметь близкие к получаемому метилсилану точки кипения или образуют с ними азеотропы, что затрудняет или делает невозможной дальнейшую очистку продукта. Подчеркнем, что образующиеся хлорированные углеводороды являются критичными примесями и недопустимы при использовании метилсиланов в новых областях применения, в частности, в электронике. Выбранный в Пат. РФ №2.177.946 интервал 30-50°С сводит к минимуму процесс деструкции эфира, но все же она имеет место. Кроме того, простые эфиры склонны к образованию перекисей [А.Хайон. «Комплексные гидриды в органической химии». Химия, 1971 г.]. Реакция между перекисями и литийалюминийгидридом в большинстве случаев трудно контролируется и может привести к возникновению пожара или взрыву. Поэтому необходима тщательная подготовка эфирного растворителя, которая включает в себя несколько длительных и сложных стадий осушки и очистки от влаги, перекисей, спиртов, альдегидов, кетонов, сложных эфиров и т.д. Выделение эфира из отработанной реакционной смеси также сопряжено с риском взрыва.However, ethers are not inert solvents for lithium aluminum hydride, and they partially decompose to form chlorinated derivatives. The latter can often have boiling points close to the methylsilane obtained or form azeotropes with them, which complicates or makes impossible further purification of the product. We emphasize that the resulting chlorinated hydrocarbons are critical impurities and are unacceptable when using methylsilanes in new applications, in particular in electronics. Selected in Pat. RF №2.177.946 the interval of 30-50 ° C minimizes the process of destruction of ether, but still it takes place. In addition, ethers are prone to the formation of peroxides [A. Hayon. "Complex hydrides in organic chemistry." Chemistry, 1971]. The reaction between peroxides and lithium aluminum hydride is in most cases difficult to control and can lead to fire or explosion. Therefore, careful preparation of an ethereal solvent is required, which includes several long and complex stages of drying and purification of moisture, peroxides, alcohols, aldehydes, ketones, esters, etc. Isolation of the ester from the spent reaction mixture also carries a risk of explosion.
Целью данного изобретения является упрощение способа получения высокочистых моно- и полиметилсиланов и повышение технологичности процесса, а именно его безопасности за счет использования более безопасных в данной для системы растворителей и экономичности за счет повторного использования растворителей без дополнительной очистки.The aim of this invention is to simplify the method of producing high-purity mono- and polymethylsilanes and to increase the processability, namely its safety due to the use of safer solvents in the system and economy due to the reuse of solvents without further purification.
Поставленная цель достигается тем, что для получения моно- и полиметилсиланов восстановлением хлорметилсиланов литийалюминийгидридом используют среду алкилароматического углеводорода, выбранного из ряда СnНn+2, где n=7-8, например: толуол, ксилол, этилбензол, и реакцию восстановления проводят при температуре 80-120°С.This goal is achieved in that in order to obtain mono- and polymethylsilanes by reduction of chloromethylsilanes with lithium aluminum hydride, an aromatic hydrocarbon medium selected from the series C n H n + 2 is used , where n = 7-8, for example: toluene, xylene, ethylbenzene, and the reduction reaction is carried out at temperature 80-120 ° С.
Предлагаемое изобретение позволяет получать метилсиланы различных типов, широком диапазоне, от монометилсилана до триметилсилана, с высокой чистотой и выходом целевого продукта. Использование алкилароматического углеводорода в качестве растворителя предпочтительно из-за ряда преимуществ: алкилароматический углеводород является инертным веществом по отношению к восстановителям (литийалюминийгидриду); он гораздо легче подвергается очистке от следов воды, которая недопустима в данном процессе; в нем не происходит накопления перекисей.The present invention allows to obtain methylsilanes of various types, a wide range from monomethylsilane to trimethylsilane, with high purity and yield of the target product. The use of alkylaromatic hydrocarbon as a solvent is preferable because of a number of advantages: alkylaromatic hydrocarbon is an inert substance with respect to reducing agents (lithium aluminum hydride); it is much easier to clean from traces of water, which is unacceptable in this process; it does not accumulate peroxides.
Предлагается проводить восстановление метилхлорсиланов литийалюминийгидридом, взятом в избытке 5-10 мас.% от стехиометрического количества, в среде алкилароматического углеводорода. Нетривиальным решением является проведение процесса при температуре 80-120°С, значительно превышающей температуру кипения исходного метилхлорсилана, что ранее даже не рассматривалось. По-видимому, при температурах 80-120°С литийалюминийгидрид в присутствии метилхлорсилана образует растворимый в алкилароматическом углеводороде восстановительный комплекс, поглощающий и удерживающий исходный метилхлорсилан при температуре, превышающей температуру кипения последнего. Реакция восстановления в таких условиях протекает практически мгновенно и лимитируется пропускной способностью реактора. Благодаря этому нет необходимости подавать хлорсилан в парогазовой фазе, т.к. скорость растворения /комплексообразования/ восстановления превышает скорость его испарения в реакторе.It is proposed to carry out the reduction of methylchlorosilanes with lithium aluminum hydride, taken in excess of 5-10 wt.% Of the stoichiometric amount, in an alkylaromatic hydrocarbon medium. A non-trivial solution is to carry out the process at a temperature of 80-120 ° C, significantly higher than the boiling point of the starting methylchlorosilane, which was not even considered previously. Apparently, at temperatures of 80-120 ° C, lithium aluminum hydride in the presence of methylchlorosilane forms a reduction complex soluble in alkylaromatic hydrocarbon, which absorbs and retains the starting methylchlorosilane at a temperature exceeding the boiling point of the latter. The reduction reaction under such conditions proceeds almost instantly and is limited by the capacity of the reactor. Due to this, there is no need to supply chlorosilane in the vapor-gas phase, because the rate of dissolution / complexation / reduction exceeds the rate of its evaporation in the reactor.
Выбор температурного диапазона для проведения процесса по предлагаемому изобретению основан на следующем.The choice of temperature range for the process according to the invention is based on the following.
При температуре ниже 80°С растворимость комплексного гидрида щелочного металла (литийалюминийгидрида) в алкилароматическом углеводороде практически отсутствует, из-за чего реакция происходит в гетерогенной фазе очень медленно.At temperatures below 80 ° C, the solubility of the complex alkali metal hydride (lithium aluminum hydride) in the alkyl aromatic hydrocarbon is practically absent, which is why the reaction occurs in the heterogeneous phase very slowly.
При повышении температуры выше 120°С начинается заметное термическое разложение гидрида, что приводит к его неоправданному перерасходу.When the temperature rises above 120 ° C, a noticeable thermal decomposition of the hydride begins, which leads to its unjustified overspending.
При охлаждении полученной реакционной смеси до комнатной температуры полностью выпадают непрореагировавшие остатки гидридов, а также образовавшиеся в процессе реакции восстановления неорганические соли, что позволяет использовать алкилароматический углеводород повторно (и многократно) без дополнительной очистки.When the resulting reaction mixture was cooled to room temperature, unreacted hydride residues completely precipitated, as well as inorganic salts formed during the reduction reaction, which allows the use of alkyl aromatic hydrocarbon repeatedly (and repeatedly) without further purification.
Реакцию проводят в среде алкилароматических углеводородов, выбранных из ряда СnНn+2, где n=7-8, таких, как толуол, ксилол, этилбензол. Использование более низкокипящего углеводорода, например бензола, неприемлемо из-за невозможности нагрева реакционной смеси до предлагаемого температурного диапазона, а более высококипящие алкилароматические углеводороды дают вязкие растворы, что ухудшает условия перемешивания.The reaction is carried out in an environment of alkyl aromatic hydrocarbons selected from the series C n H n + 2 , where n = 7-8, such as toluene, xylene, ethylbenzene. The use of a lower boiling hydrocarbon, for example benzene, is unacceptable due to the impossibility of heating the reaction mixture to the proposed temperature range, and higher boiling alkyl aromatic hydrocarbons give viscous solutions, which worsens the mixing conditions.
Способ осуществляют следующим образом. Реактор, снабженный капельной воронкой, обратным холодильником, термометром и мешалкой с гидрозатвором устанавливают в масляную баню. Реактор продувают сухим азотом. Сухой азот также подается постоянно во время ведения процесса. В колбу загружают суспензию литийалюминийгидрида в алкилароматическом растворителе, и смесь нагревают до 90°С при перемешивании. Выдерживают при этой температуре 0,5 часа. Затем начинают медленно дозировать в колбу метилированный силанхлорид. Реакционная смесь при этом в первый момент начинает густеть, становясь гелеобразной, а затем превращается в подвижный раствор. Образующийся метилсилан предварительно охлаждается в обратном холодильнике и конденсируется в охлаждаемой ловушке. По окончании дозирования и прекращения «кипения» реакционной смеси температуру поддерживают еще 0,5 часа для полного выделения целевого продукта из реакционной смеси. После охлаждения реакционной смеси до комнатной температуры алкилароматический растворитель декантируют с выпавшего кристаллического осадка хлоридов и используют повторно в процессе.The method is as follows. A reactor equipped with a dropping funnel, a reflux condenser, a thermometer and a stirrer with a water lock is installed in an oil bath. The reactor is purged with dry nitrogen. Dry nitrogen is also supplied continuously during the process. A suspension of lithium aluminum hydride in an alkyl aromatic solvent was charged into the flask, and the mixture was heated to 90 ° C. with stirring. Stand at this temperature for 0.5 hours. Then, methylated silane chloride is slowly dosed into the flask. The reaction mixture at the first moment begins to thicken, becoming gel-like, and then turns into a mobile solution. The resulting methylsilane is pre-cooled in a reflux condenser and condensed in a cooled trap. At the end of dosing and the termination of the "boiling" of the reaction mixture, the temperature is maintained for another 0.5 hours to completely isolate the target product from the reaction mixture. After the reaction mixture was cooled to room temperature, the alkyl aromatic solvent was decanted from the precipitated crystalline chloride precipitate and reused in the process.
Предложенный способ иллюстрируется примерами, а результаты примеров приведены в таблице.The proposed method is illustrated by examples, and the results of the examples are shown in the table.
Пример 1. В реактор объемом 0,5 л, снабженный мешалкой с гидрозатвором, термометром, обратным холодильником и капельной воронкой, загружают 20 г (0,5М+5% избыток) литийалюминийгидрида (LiAlH4), суспензированного в 180 мл толуола. Реактор нагревают на масляной бане до 90°С. Суспензию перемешивают в течение 30 минут, при этом в колбу постоянно подается сухой азот. Затем к реакционной смеси осторожно прикапывают триметилхлорсилан в количестве 217 г (2М). Образующийся газообразный триметилсилан собирают в охлаждаемой ловушке. Выход триметилсилана составил 146 г (98,6%). Чистота продукта 99,5%.Example 1. In a reactor with a volume of 0.5 l, equipped with a stirrer with a water trap, a thermometer, a reflux condenser and a dropping funnel, 20 g (0.5 M + 5% excess) of lithium aluminum hydride (LiAlH 4 ) suspended in 180 ml of toluene are charged. The reactor is heated in an oil bath to 90 ° C. The suspension is stirred for 30 minutes, while dry nitrogen is constantly supplied to the flask. Then trimethylchlorosilane in an amount of 217 g (2M) was carefully added dropwise to the reaction mixture. The resulting gaseous trimethylsilane is collected in a cooled trap. The yield of trimethylsilane was 146 g (98.6%). The purity of the product is 99.5%.
Пример 2. Процесс проводят в условиях примера №1 с той лишь разницей, что использовали диметилдихлорсилан, о-ксилол, а смесь нагревали до 110°С. Выход диметилсилана составил 57 г (95%). Чистота продукта 99,4%.Example 2. The process is carried out under the conditions of example No. 1 with the only difference being that dimethyldichlorosilane, o-xylene were used, and the mixture was heated to 110 ° C. The yield of dimethylsilane was 57 g (95%). The purity of the product is 99.4%.
Пример 3. Процесс проводят в условиях примера №1 с той лишь разницей, что использовали триметилхлорсилан, этилбензол, а смесь нагревали до 120°С. Выход триметилсилана составил 142 г (96%). Чистота продукта 99,1%.Example 3. The process is carried out under the conditions of example No. 1, with the only difference being that trimethylchlorosilane, ethylbenzene were used, and the mixture was heated to 120 ° C. The yield of trimethylsilane was 142 g (96%). The purity of the product is 99.1%.
Пример 4. Процесс проводят в условиях примера №1 с той лишь разницей, что использовали метилдихлорсилан, толуол, а смесь нагревали до 80°С. Выход монометилсилана составил 45 г (97,8%). Чистота продукта 99,5%.Example 4. The process is carried out under the conditions of example No. 1 with the only difference being that methyldichlorosilane and toluene are used, and the mixture is heated to 80 ° C. The yield of monomethylsilane was 45 g (97.8%). The purity of the product is 99.5%.
Пример 5. Процесс проводят в условиях примера №1 с той лишь разницей, что использовали триметилхлорсилан, толуол, а смесь нагревали до 60°С. Выход триметилсилана составил 15 г (10%). Чистота продукта 85%.Example 5. The process is carried out under the conditions of example No. 1, with the only difference being that trimethylchlorosilane, toluene were used, and the mixture was heated to 60 ° C. The yield of trimethylsilane was 15 g (10%). The purity of the product is 85%.
Пример 6. Процесс проводят в условиях примера №1 с той лишь разницей, что использовали диметилдихлорсилан, этилбензол, а смесь нагревали до 130°С. Выход диметилсилана составил 36 г (60%). Чистота продукта 80%.Example 6. The process is carried out under the conditions of example No. 1, with the only difference being that dimethyldichlorosilane, ethylbenzene were used, and the mixture was heated to 130 ° C. The yield of dimethylsilane was 36 g (60%). Product purity 80%.
Пример 7 (сравнительный). В реактор объемом 2 л, снабженный мешалкой с гидрозатвором, термометром и капельной воронкой, загружают 735 мл дибутилового эфира, добавляют 39,9 г литийалюминийгидрида. Смесь перемешивают в течение 2 часов при температуре 50°С. Затем начинают дозированную подачу 230 г метилдихлорсилана в реакционную смесь. Выделяющийся монометилсилан проходит через охлаждаемую ловушку и конденсируется в сборнике в количестве 90 г. Выход монометилсилана составил 97,8%. Чистота продукта 99%. Содержание бутилхлорида в продукте 0,4%.Example 7 (comparative). 735 ml of dibutyl ether are charged into a 2 liter reactor equipped with a stirrer with a water trap, a thermometer and a dropping funnel, 39.9 g of lithium aluminum hydride are added. The mixture is stirred for 2 hours at a temperature of 50 ° C. Then, a metered supply of 230 g of methyldichlorosilane to the reaction mixture is started. The emitted monomethylsilane passes through a cooled trap and condenses in the collection in an amount of 90 g. The yield of monomethylsilane is 97.8%. Product purity 99%. The butyl chloride content in the product is 0.4%.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2004125635/04A RU2266293C1 (en) | 2004-08-25 | 2004-08-25 | Method for preparing methylsilanes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2004125635/04A RU2266293C1 (en) | 2004-08-25 | 2004-08-25 | Method for preparing methylsilanes |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2266293C1 true RU2266293C1 (en) | 2005-12-20 |
Family
ID=35869676
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2004125635/04A RU2266293C1 (en) | 2004-08-25 | 2004-08-25 | Method for preparing methylsilanes |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2266293C1 (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2313532C1 (en) * | 2006-06-09 | 2007-12-27 | Общество с ограниченной ответственностью "НИЦ Экологическая и медицинская химия" (НИЦ Медхим) | Method for preparing trimethylsilane |
| DE102008016386A1 (en) | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Rev Renewable Energy Ventures, Inc. | Catalytic hydrogenation |
| RU2436788C1 (en) * | 2010-05-18 | 2011-12-20 | Общество с ограниченной ответственностью "Пермская химическая компания" | Method of producing alkyl silanes |
| CN116640164A (en) * | 2023-06-13 | 2023-08-25 | 河南海川工程设计院有限公司 | A method for preparing electronic-grade methylsilane with high safety and low cost and electronic-grade methylsilane |
| CN118994225A (en) * | 2024-08-12 | 2024-11-22 | 天津绿菱气体股份有限公司 | Preparation method of trimethylsilane |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3496206A (en) * | 1967-06-01 | 1970-02-17 | Gen Electric | Method for making silicon hydrides |
| RU2177946C1 (en) * | 2000-12-18 | 2002-01-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" | Method of synthesis of methylsilane |
-
2004
- 2004-08-25 RU RU2004125635/04A patent/RU2266293C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3496206A (en) * | 1967-06-01 | 1970-02-17 | Gen Electric | Method for making silicon hydrides |
| RU2177946C1 (en) * | 2000-12-18 | 2002-01-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" | Method of synthesis of methylsilane |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Л.И.ЗАХАРКИН. Восстановление алкилхлорсиланов гидридом натрия в присутствии триэтилалюминия. Известия АН СССР, 1960, №12, с.244. * |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2313532C1 (en) * | 2006-06-09 | 2007-12-27 | Общество с ограниченной ответственностью "НИЦ Экологическая и медицинская химия" (НИЦ Медхим) | Method for preparing trimethylsilane |
| DE102008016386A1 (en) | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Rev Renewable Energy Ventures, Inc. | Catalytic hydrogenation |
| RU2436788C1 (en) * | 2010-05-18 | 2011-12-20 | Общество с ограниченной ответственностью "Пермская химическая компания" | Method of producing alkyl silanes |
| CN116640164A (en) * | 2023-06-13 | 2023-08-25 | 河南海川工程设计院有限公司 | A method for preparing electronic-grade methylsilane with high safety and low cost and electronic-grade methylsilane |
| CN118994225A (en) * | 2024-08-12 | 2024-11-22 | 天津绿菱气体股份有限公司 | Preparation method of trimethylsilane |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5175332A (en) | Cycloalkoxysilanes | |
| KR100582878B1 (en) | Process for the production and purification of bistertiary-butylaminosilane | |
| CN101184767B (en) | Aqueous catalytic process for the preparation of thiocarboxylate silane | |
| KR20020040909A (en) | Novel silazane and/or polysilazane compounds and methods of making | |
| TWI632149B (en) | Process for preparing trialkyl compounds of metals of group iiia | |
| JPH0474282B2 (en) | ||
| WO1995018135A1 (en) | Process for preparing functionalized alkyllithium compounds | |
| JP3880025B2 (en) | High-purity trimethylindium and synthesis method thereof | |
| JP6878270B2 (en) | How to Prepare Tris (Trialkylsilyl) Phosphine | |
| RU2266293C1 (en) | Method for preparing methylsilanes | |
| KR100766368B1 (en) | Method for producing organosilane | |
| JP2001039985A (en) | Production of polysulfurized silane compound | |
| US11584767B2 (en) | Method of making a halosiloxane | |
| EP0298487B1 (en) | Method for the production of tertiary-alkyldimethylhalosilane | |
| US10858260B2 (en) | Method for producing perhalogenated hexasilane anion and method for producing a cyclic silane compound | |
| US6476271B2 (en) | Process for the preparation of ether-free salts of tetrakis(pentafluorophenyl) borate | |
| JPH06166691A (en) | Production of germanium dihalide-ether adduct | |
| JP3743687B2 (en) | Method for producing tetrakis (pentafluorophenyl) borate derivative using alkyl halide | |
| Buerger et al. | Novel (fluoromethyl) silicon derivatives from (fluorodibromomethyl) silane precursors | |
| EP1146028A1 (en) | A method to prepare cyclopropenes | |
| JPS5849389A (en) | Manufacture of trialkylaluminum compound | |
| RU2177946C1 (en) | Method of synthesis of methylsilane | |
| US4891439A (en) | Alcohol-free orthoesters of zirconium and hafnium and method for the preparation thereof | |
| CN1025338C (en) | Improved process for producing vanadium-arenes | |
| JP3915872B2 (en) | Method for producing tetrakis (trimethylsilyl) silane and tris (trimethylsilyl) silane |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20120826 |