[go: up one dir, main page]

RU2266293C1 - Method for preparing methylsilanes - Google Patents

Method for preparing methylsilanes Download PDF

Info

Publication number
RU2266293C1
RU2266293C1 RU2004125635/04A RU2004125635A RU2266293C1 RU 2266293 C1 RU2266293 C1 RU 2266293C1 RU 2004125635/04 A RU2004125635/04 A RU 2004125635/04A RU 2004125635 A RU2004125635 A RU 2004125635A RU 2266293 C1 RU2266293 C1 RU 2266293C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
methylsilanes
preparing
temperature
reduction
aluminum hydride
Prior art date
Application number
RU2004125635/04A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Ф.А. Махмутов (RU)
Ф.А. Махмутов
Р.Н. Мишкин (RU)
Р.Н. Мишкин
М.Г. Шебаршинова (RU)
М.Г. Шебаршинова
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью "НИЦ Экологическая и медицинская химия" (НИЦ Медхим)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью "НИЦ Экологическая и медицинская химия" (НИЦ Медхим) filed Critical Общество с ограниченной ответственностью "НИЦ Экологическая и медицинская химия" (НИЦ Медхим)
Priority to RU2004125635/04A priority Critical patent/RU2266293C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2266293C1 publication Critical patent/RU2266293C1/en

Links

Abstract

FIELD: organic chemistry, chemical technology.
SUBSTANCE: invention describes a method for preparing methylsilanes. Method involves reduction of substituted silane chlorides with lithium-aluminum hydride at increased temperature in an organic solvent medium. The reduction process is carried out at temperature 80-120°C and alkylaromatic hydrocarbon taken among the order CnHn+2 wherein n = 7-8 is used as a solvent. Invention provides preparing methylsilanes in the broad range from monomethylsilane to trimethylsilane of high purity and high yield of the end compound.
EFFECT: improved preparing method, enhanced yield.
1 tbl, 7 ex

Description

Изобретение относится к области химической технологии, а именно к получению алкилзамещенных силанов, в частности к способу получения метилсиланов. Метилсиланы используются для получения полимеров, каучуков, резин, в производстве полупроводников и микроэлектронике.The invention relates to the field of chemical technology, namely to the production of alkyl substituted silanes, in particular to a method for producing methylsilanes. Methylsilanes are used to produce polymers, rubbers, rubbers, in the manufacture of semiconductors and microelectronics.

Известен [Л.И.Захаркин. Восстановление алкилхлорсиланов гидридом натрия в присутствии триэтилалюминия. // Известия АН СССР, 1960, 12, 244] способ получения метилсиланов восстановлением хлорметилсиланов системой из смеси гидрида лития (или натрия) и триизобутилалюминия с использованием в качестве растворителя толуола, бензола или ксилола при температуре 60-80°С. Используемый в качестве компонента восстановительной системы триизобутилалюминий переводит нерастворимый в данных инертных растворителях гидрид щелочного металла в растворимый комплекс. А достаточно высокая (60-80°С) температура синтеза позволяет эффективно восстанавливать любые метилсиланы.Known [L.I. Zakharkin. Reduction of alkylchlorosilanes with sodium hydride in the presence of aluminum triethyl. // Izvestia AN SSSR, 1960, 12, 244] a method for producing methylsilanes by reduction of chloromethylsilanes by a system from a mixture of lithium hydride (or sodium) and triisobutylaluminium using toluene, benzene or xylene as a solvent at a temperature of 60-80 ° C. The triisobutylaluminum used as a component of the reducing system converts the alkali metal hydride insoluble in these inert solvents into a soluble complex. A sufficiently high (60-80 ° C) synthesis temperature allows you to effectively restore any methylsilanes.

Недостатком применения такой бинарной каталитической системы является образование побочных продуктов переметилирования. В частности, при восстановлении хлортриметилсилана наряду с триметилсиланом образуется диметилсилан в значительных количествах до 10-15%. Это приводит к потере целевого продукта и к необходимости дополнительной стадии его очистки ректификацией.The disadvantage of using such a binary catalyst system is the formation of by-products of methylation. In particular, during the recovery of chlorotrimethylsilane, along with trimethylsilane, dimethylsilane is formed in significant amounts up to 10-15%. This leads to the loss of the target product and to the need for an additional stage of purification by distillation.

Наиболее близким по технической сущности является [Пат. РФ №2.177.946, Россия, заявлен 18.12.2000 г.] способ получения метилсилана путем восстановления метилдихлорсилана литийалюминийгидридом в среде высококипящего простого эфира состава СnН2n+1O, где n=4-7 при температуре 30-50°С. По этому способу получают только монометилсилан с чистотой до 99,3% и выходом до 98%.The closest in technical essence is [Pat. RF No. 2.177.946, Russia, claimed December 18, 2000] a method for producing methylsilane by reduction of methyldichlorosilane with lithium aluminum hydride in a high boiling ether ether of composition С n Н 2n + 1 O, where n = 4-7 at a temperature of 30-50 ° С. By this method, only monomethylsilane is obtained with a purity of up to 99.3% and a yield of up to 98%.

Однако простые эфиры не являются инертными растворителями для литийалюминийгидрида, и они частично разрушаются с образованием хлорированных производных. Последние часто могут иметь близкие к получаемому метилсилану точки кипения или образуют с ними азеотропы, что затрудняет или делает невозможной дальнейшую очистку продукта. Подчеркнем, что образующиеся хлорированные углеводороды являются критичными примесями и недопустимы при использовании метилсиланов в новых областях применения, в частности, в электронике. Выбранный в Пат. РФ №2.177.946 интервал 30-50°С сводит к минимуму процесс деструкции эфира, но все же она имеет место. Кроме того, простые эфиры склонны к образованию перекисей [А.Хайон. «Комплексные гидриды в органической химии». Химия, 1971 г.]. Реакция между перекисями и литийалюминийгидридом в большинстве случаев трудно контролируется и может привести к возникновению пожара или взрыву. Поэтому необходима тщательная подготовка эфирного растворителя, которая включает в себя несколько длительных и сложных стадий осушки и очистки от влаги, перекисей, спиртов, альдегидов, кетонов, сложных эфиров и т.д. Выделение эфира из отработанной реакционной смеси также сопряжено с риском взрыва.However, ethers are not inert solvents for lithium aluminum hydride, and they partially decompose to form chlorinated derivatives. The latter can often have boiling points close to the methylsilane obtained or form azeotropes with them, which complicates or makes impossible further purification of the product. We emphasize that the resulting chlorinated hydrocarbons are critical impurities and are unacceptable when using methylsilanes in new applications, in particular in electronics. Selected in Pat. RF №2.177.946 the interval of 30-50 ° C minimizes the process of destruction of ether, but still it takes place. In addition, ethers are prone to the formation of peroxides [A. Hayon. "Complex hydrides in organic chemistry." Chemistry, 1971]. The reaction between peroxides and lithium aluminum hydride is in most cases difficult to control and can lead to fire or explosion. Therefore, careful preparation of an ethereal solvent is required, which includes several long and complex stages of drying and purification of moisture, peroxides, alcohols, aldehydes, ketones, esters, etc. Isolation of the ester from the spent reaction mixture also carries a risk of explosion.

Целью данного изобретения является упрощение способа получения высокочистых моно- и полиметилсиланов и повышение технологичности процесса, а именно его безопасности за счет использования более безопасных в данной для системы растворителей и экономичности за счет повторного использования растворителей без дополнительной очистки.The aim of this invention is to simplify the method of producing high-purity mono- and polymethylsilanes and to increase the processability, namely its safety due to the use of safer solvents in the system and economy due to the reuse of solvents without further purification.

Поставленная цель достигается тем, что для получения моно- и полиметилсиланов восстановлением хлорметилсиланов литийалюминийгидридом используют среду алкилароматического углеводорода, выбранного из ряда СnНn+2, где n=7-8, например: толуол, ксилол, этилбензол, и реакцию восстановления проводят при температуре 80-120°С.This goal is achieved in that in order to obtain mono- and polymethylsilanes by reduction of chloromethylsilanes with lithium aluminum hydride, an aromatic hydrocarbon medium selected from the series C n H n + 2 is used , where n = 7-8, for example: toluene, xylene, ethylbenzene, and the reduction reaction is carried out at temperature 80-120 ° С.

Предлагаемое изобретение позволяет получать метилсиланы различных типов, широком диапазоне, от монометилсилана до триметилсилана, с высокой чистотой и выходом целевого продукта. Использование алкилароматического углеводорода в качестве растворителя предпочтительно из-за ряда преимуществ: алкилароматический углеводород является инертным веществом по отношению к восстановителям (литийалюминийгидриду); он гораздо легче подвергается очистке от следов воды, которая недопустима в данном процессе; в нем не происходит накопления перекисей.The present invention allows to obtain methylsilanes of various types, a wide range from monomethylsilane to trimethylsilane, with high purity and yield of the target product. The use of alkylaromatic hydrocarbon as a solvent is preferable because of a number of advantages: alkylaromatic hydrocarbon is an inert substance with respect to reducing agents (lithium aluminum hydride); it is much easier to clean from traces of water, which is unacceptable in this process; it does not accumulate peroxides.

Предлагается проводить восстановление метилхлорсиланов литийалюминийгидридом, взятом в избытке 5-10 мас.% от стехиометрического количества, в среде алкилароматического углеводорода. Нетривиальным решением является проведение процесса при температуре 80-120°С, значительно превышающей температуру кипения исходного метилхлорсилана, что ранее даже не рассматривалось. По-видимому, при температурах 80-120°С литийалюминийгидрид в присутствии метилхлорсилана образует растворимый в алкилароматическом углеводороде восстановительный комплекс, поглощающий и удерживающий исходный метилхлорсилан при температуре, превышающей температуру кипения последнего. Реакция восстановления в таких условиях протекает практически мгновенно и лимитируется пропускной способностью реактора. Благодаря этому нет необходимости подавать хлорсилан в парогазовой фазе, т.к. скорость растворения /комплексообразования/ восстановления превышает скорость его испарения в реакторе.It is proposed to carry out the reduction of methylchlorosilanes with lithium aluminum hydride, taken in excess of 5-10 wt.% Of the stoichiometric amount, in an alkylaromatic hydrocarbon medium. A non-trivial solution is to carry out the process at a temperature of 80-120 ° C, significantly higher than the boiling point of the starting methylchlorosilane, which was not even considered previously. Apparently, at temperatures of 80-120 ° C, lithium aluminum hydride in the presence of methylchlorosilane forms a reduction complex soluble in alkylaromatic hydrocarbon, which absorbs and retains the starting methylchlorosilane at a temperature exceeding the boiling point of the latter. The reduction reaction under such conditions proceeds almost instantly and is limited by the capacity of the reactor. Due to this, there is no need to supply chlorosilane in the vapor-gas phase, because the rate of dissolution / complexation / reduction exceeds the rate of its evaporation in the reactor.

Выбор температурного диапазона для проведения процесса по предлагаемому изобретению основан на следующем.The choice of temperature range for the process according to the invention is based on the following.

При температуре ниже 80°С растворимость комплексного гидрида щелочного металла (литийалюминийгидрида) в алкилароматическом углеводороде практически отсутствует, из-за чего реакция происходит в гетерогенной фазе очень медленно.At temperatures below 80 ° C, the solubility of the complex alkali metal hydride (lithium aluminum hydride) in the alkyl aromatic hydrocarbon is practically absent, which is why the reaction occurs in the heterogeneous phase very slowly.

При повышении температуры выше 120°С начинается заметное термическое разложение гидрида, что приводит к его неоправданному перерасходу.When the temperature rises above 120 ° C, a noticeable thermal decomposition of the hydride begins, which leads to its unjustified overspending.

При охлаждении полученной реакционной смеси до комнатной температуры полностью выпадают непрореагировавшие остатки гидридов, а также образовавшиеся в процессе реакции восстановления неорганические соли, что позволяет использовать алкилароматический углеводород повторно (и многократно) без дополнительной очистки.When the resulting reaction mixture was cooled to room temperature, unreacted hydride residues completely precipitated, as well as inorganic salts formed during the reduction reaction, which allows the use of alkyl aromatic hydrocarbon repeatedly (and repeatedly) without further purification.

Реакцию проводят в среде алкилароматических углеводородов, выбранных из ряда СnНn+2, где n=7-8, таких, как толуол, ксилол, этилбензол. Использование более низкокипящего углеводорода, например бензола, неприемлемо из-за невозможности нагрева реакционной смеси до предлагаемого температурного диапазона, а более высококипящие алкилароматические углеводороды дают вязкие растворы, что ухудшает условия перемешивания.The reaction is carried out in an environment of alkyl aromatic hydrocarbons selected from the series C n H n + 2 , where n = 7-8, such as toluene, xylene, ethylbenzene. The use of a lower boiling hydrocarbon, for example benzene, is unacceptable due to the impossibility of heating the reaction mixture to the proposed temperature range, and higher boiling alkyl aromatic hydrocarbons give viscous solutions, which worsens the mixing conditions.

Способ осуществляют следующим образом. Реактор, снабженный капельной воронкой, обратным холодильником, термометром и мешалкой с гидрозатвором устанавливают в масляную баню. Реактор продувают сухим азотом. Сухой азот также подается постоянно во время ведения процесса. В колбу загружают суспензию литийалюминийгидрида в алкилароматическом растворителе, и смесь нагревают до 90°С при перемешивании. Выдерживают при этой температуре 0,5 часа. Затем начинают медленно дозировать в колбу метилированный силанхлорид. Реакционная смесь при этом в первый момент начинает густеть, становясь гелеобразной, а затем превращается в подвижный раствор. Образующийся метилсилан предварительно охлаждается в обратном холодильнике и конденсируется в охлаждаемой ловушке. По окончании дозирования и прекращения «кипения» реакционной смеси температуру поддерживают еще 0,5 часа для полного выделения целевого продукта из реакционной смеси. После охлаждения реакционной смеси до комнатной температуры алкилароматический растворитель декантируют с выпавшего кристаллического осадка хлоридов и используют повторно в процессе.The method is as follows. A reactor equipped with a dropping funnel, a reflux condenser, a thermometer and a stirrer with a water lock is installed in an oil bath. The reactor is purged with dry nitrogen. Dry nitrogen is also supplied continuously during the process. A suspension of lithium aluminum hydride in an alkyl aromatic solvent was charged into the flask, and the mixture was heated to 90 ° C. with stirring. Stand at this temperature for 0.5 hours. Then, methylated silane chloride is slowly dosed into the flask. The reaction mixture at the first moment begins to thicken, becoming gel-like, and then turns into a mobile solution. The resulting methylsilane is pre-cooled in a reflux condenser and condensed in a cooled trap. At the end of dosing and the termination of the "boiling" of the reaction mixture, the temperature is maintained for another 0.5 hours to completely isolate the target product from the reaction mixture. After the reaction mixture was cooled to room temperature, the alkyl aromatic solvent was decanted from the precipitated crystalline chloride precipitate and reused in the process.

Предложенный способ иллюстрируется примерами, а результаты примеров приведены в таблице.The proposed method is illustrated by examples, and the results of the examples are shown in the table.

Пример 1. В реактор объемом 0,5 л, снабженный мешалкой с гидрозатвором, термометром, обратным холодильником и капельной воронкой, загружают 20 г (0,5М+5% избыток) литийалюминийгидрида (LiAlH4), суспензированного в 180 мл толуола. Реактор нагревают на масляной бане до 90°С. Суспензию перемешивают в течение 30 минут, при этом в колбу постоянно подается сухой азот. Затем к реакционной смеси осторожно прикапывают триметилхлорсилан в количестве 217 г (2М). Образующийся газообразный триметилсилан собирают в охлаждаемой ловушке. Выход триметилсилана составил 146 г (98,6%). Чистота продукта 99,5%.Example 1. In a reactor with a volume of 0.5 l, equipped with a stirrer with a water trap, a thermometer, a reflux condenser and a dropping funnel, 20 g (0.5 M + 5% excess) of lithium aluminum hydride (LiAlH 4 ) suspended in 180 ml of toluene are charged. The reactor is heated in an oil bath to 90 ° C. The suspension is stirred for 30 minutes, while dry nitrogen is constantly supplied to the flask. Then trimethylchlorosilane in an amount of 217 g (2M) was carefully added dropwise to the reaction mixture. The resulting gaseous trimethylsilane is collected in a cooled trap. The yield of trimethylsilane was 146 g (98.6%). The purity of the product is 99.5%.

Пример 2. Процесс проводят в условиях примера №1 с той лишь разницей, что использовали диметилдихлорсилан, о-ксилол, а смесь нагревали до 110°С. Выход диметилсилана составил 57 г (95%). Чистота продукта 99,4%.Example 2. The process is carried out under the conditions of example No. 1 with the only difference being that dimethyldichlorosilane, o-xylene were used, and the mixture was heated to 110 ° C. The yield of dimethylsilane was 57 g (95%). The purity of the product is 99.4%.

Пример 3. Процесс проводят в условиях примера №1 с той лишь разницей, что использовали триметилхлорсилан, этилбензол, а смесь нагревали до 120°С. Выход триметилсилана составил 142 г (96%). Чистота продукта 99,1%.Example 3. The process is carried out under the conditions of example No. 1, with the only difference being that trimethylchlorosilane, ethylbenzene were used, and the mixture was heated to 120 ° C. The yield of trimethylsilane was 142 g (96%). The purity of the product is 99.1%.

Пример 4. Процесс проводят в условиях примера №1 с той лишь разницей, что использовали метилдихлорсилан, толуол, а смесь нагревали до 80°С. Выход монометилсилана составил 45 г (97,8%). Чистота продукта 99,5%.Example 4. The process is carried out under the conditions of example No. 1 with the only difference being that methyldichlorosilane and toluene are used, and the mixture is heated to 80 ° C. The yield of monomethylsilane was 45 g (97.8%). The purity of the product is 99.5%.

Пример 5. Процесс проводят в условиях примера №1 с той лишь разницей, что использовали триметилхлорсилан, толуол, а смесь нагревали до 60°С. Выход триметилсилана составил 15 г (10%). Чистота продукта 85%.Example 5. The process is carried out under the conditions of example No. 1, with the only difference being that trimethylchlorosilane, toluene were used, and the mixture was heated to 60 ° C. The yield of trimethylsilane was 15 g (10%). The purity of the product is 85%.

Пример 6. Процесс проводят в условиях примера №1 с той лишь разницей, что использовали диметилдихлорсилан, этилбензол, а смесь нагревали до 130°С. Выход диметилсилана составил 36 г (60%). Чистота продукта 80%.Example 6. The process is carried out under the conditions of example No. 1, with the only difference being that dimethyldichlorosilane, ethylbenzene were used, and the mixture was heated to 130 ° C. The yield of dimethylsilane was 36 g (60%). Product purity 80%.

Пример 7 (сравнительный). В реактор объемом 2 л, снабженный мешалкой с гидрозатвором, термометром и капельной воронкой, загружают 735 мл дибутилового эфира, добавляют 39,9 г литийалюминийгидрида. Смесь перемешивают в течение 2 часов при температуре 50°С. Затем начинают дозированную подачу 230 г метилдихлорсилана в реакционную смесь. Выделяющийся монометилсилан проходит через охлаждаемую ловушку и конденсируется в сборнике в количестве 90 г. Выход монометилсилана составил 97,8%. Чистота продукта 99%. Содержание бутилхлорида в продукте 0,4%.Example 7 (comparative). 735 ml of dibutyl ether are charged into a 2 liter reactor equipped with a stirrer with a water trap, a thermometer and a dropping funnel, 39.9 g of lithium aluminum hydride are added. The mixture is stirred for 2 hours at a temperature of 50 ° C. Then, a metered supply of 230 g of methyldichlorosilane to the reaction mixture is started. The emitted monomethylsilane passes through a cooled trap and condenses in the collection in an amount of 90 g. The yield of monomethylsilane is 97.8%. Product purity 99%. The butyl chloride content in the product is 0.4%.

ТаблицаTable № примераExample No. Исходный метилхлорсилан/количество, гStarting methylchlorosilane / amount, g Растворитель/количество, гSolvent / amount, g Темпера тура, °СTempera, ° С Полученный продукт/количество, гThe resulting product / amount, g Качество метилсиланаMethylsilane Quality Выход, %Exit, % Чистота, %Purity% 11 Триметилхлорсилан/217Trimethylchlorosilane / 217 Толуол/180Toluene / 180 9090 Триметилсилан/ 146Trimethylsilane / 146 98,698.6 99,599.5 22 Диметилдихлорсилан/128Dimethyldichlorosilane / 128 о-Ксилол /200o-Xylene / 200 110110 Диметилсилан/ 57Dimethylsilane / 57 9595 99,499,4 33 Триметилхлорсилан/217Trimethylchlorosilane / 217 Этилбензол/200Ethylbenzene / 200 120120 Триметилсилан/ 142Trimethylsilane / 142 9696 99,199.1 44 Метилдихлорсилан /115Methyldichlorosilane / 115 Толуол/200Toluene / 200 8080 Метилсилан/45Methylsilane / 45 97,897.8 99,599.5 55 Триметилхлорсилан/217Trimethylchlorosilane / 217 Толуол/180Toluene / 180 6060 Триметилсилан/ 15Trimethylsilane / 15 1010 8585 66 Диметилдихлорсилан/128Dimethyldichlorosilane / 128 Этилбензол/200Ethylbenzene / 200 130130 Диметилсилан/ 36Dimethylsilane / 36 6060 8080 7 (сравнительный)7 (comparative) Метилдихлорсилан/230Methyldichlorosilane / 230 Дибутиловый эфир/735Dibutyl ether / 735 30-5030-50 Монометилсилан/90Monomethylsilane / 90 97,897.8 99*99 * * Бутилхлорид 0,4%* Butyl chloride 0.4%

Claims (1)

Способ получения метилсиланов, включающий восстановление замещенных силанхлоридов литийалюминийгидридом при повышенной температуре в среде органического растворителя, отличающийся тем, что процесс восстановления ведут при температуре 80-120°С, а в качестве растворителя используют алкилароматический углеводород, выбранный из ряда СnНn+2, где n=7-8.A method of producing methylsilanes, including the reduction of substituted silane chlorides with lithium aluminum hydride at an elevated temperature in an organic solvent, characterized in that the reduction process is carried out at a temperature of 80-120 ° C, and an alkyl aromatic hydrocarbon selected from the series C n H n + 2 is used as a solvent, where n = 7-8.
RU2004125635/04A 2004-08-25 2004-08-25 Method for preparing methylsilanes RU2266293C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2004125635/04A RU2266293C1 (en) 2004-08-25 2004-08-25 Method for preparing methylsilanes

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2004125635/04A RU2266293C1 (en) 2004-08-25 2004-08-25 Method for preparing methylsilanes

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2266293C1 true RU2266293C1 (en) 2005-12-20

Family

ID=35869676

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2004125635/04A RU2266293C1 (en) 2004-08-25 2004-08-25 Method for preparing methylsilanes

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2266293C1 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2313532C1 (en) * 2006-06-09 2007-12-27 Общество с ограниченной ответственностью "НИЦ Экологическая и медицинская химия" (НИЦ Медхим) Method for preparing trimethylsilane
DE102008016386A1 (en) 2007-03-30 2008-10-16 Rev Renewable Energy Ventures, Inc. Catalytic hydrogenation
RU2436788C1 (en) * 2010-05-18 2011-12-20 Общество с ограниченной ответственностью "Пермская химическая компания" Method of producing alkyl silanes
CN116640164A (en) * 2023-06-13 2023-08-25 河南海川工程设计院有限公司 A method for preparing electronic-grade methylsilane with high safety and low cost and electronic-grade methylsilane
CN118994225A (en) * 2024-08-12 2024-11-22 天津绿菱气体股份有限公司 Preparation method of trimethylsilane

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3496206A (en) * 1967-06-01 1970-02-17 Gen Electric Method for making silicon hydrides
RU2177946C1 (en) * 2000-12-18 2002-01-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" Method of synthesis of methylsilane

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3496206A (en) * 1967-06-01 1970-02-17 Gen Electric Method for making silicon hydrides
RU2177946C1 (en) * 2000-12-18 2002-01-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" Method of synthesis of methylsilane

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Л.И.ЗАХАРКИН. Восстановление алкилхлорсиланов гидридом натрия в присутствии триэтилалюминия. Известия АН СССР, 1960, №12, с.244. *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2313532C1 (en) * 2006-06-09 2007-12-27 Общество с ограниченной ответственностью "НИЦ Экологическая и медицинская химия" (НИЦ Медхим) Method for preparing trimethylsilane
DE102008016386A1 (en) 2007-03-30 2008-10-16 Rev Renewable Energy Ventures, Inc. Catalytic hydrogenation
RU2436788C1 (en) * 2010-05-18 2011-12-20 Общество с ограниченной ответственностью "Пермская химическая компания" Method of producing alkyl silanes
CN116640164A (en) * 2023-06-13 2023-08-25 河南海川工程设计院有限公司 A method for preparing electronic-grade methylsilane with high safety and low cost and electronic-grade methylsilane
CN118994225A (en) * 2024-08-12 2024-11-22 天津绿菱气体股份有限公司 Preparation method of trimethylsilane

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5175332A (en) Cycloalkoxysilanes
KR100582878B1 (en) Process for the production and purification of bistertiary-butylaminosilane
CN101184767B (en) Aqueous catalytic process for the preparation of thiocarboxylate silane
KR20020040909A (en) Novel silazane and/or polysilazane compounds and methods of making
TWI632149B (en) Process for preparing trialkyl compounds of metals of group iiia
JPH0474282B2 (en)
WO1995018135A1 (en) Process for preparing functionalized alkyllithium compounds
JP3880025B2 (en) High-purity trimethylindium and synthesis method thereof
JP6878270B2 (en) How to Prepare Tris (Trialkylsilyl) Phosphine
RU2266293C1 (en) Method for preparing methylsilanes
KR100766368B1 (en) Method for producing organosilane
JP2001039985A (en) Production of polysulfurized silane compound
US11584767B2 (en) Method of making a halosiloxane
EP0298487B1 (en) Method for the production of tertiary-alkyldimethylhalosilane
US10858260B2 (en) Method for producing perhalogenated hexasilane anion and method for producing a cyclic silane compound
US6476271B2 (en) Process for the preparation of ether-free salts of tetrakis(pentafluorophenyl) borate
JPH06166691A (en) Production of germanium dihalide-ether adduct
JP3743687B2 (en) Method for producing tetrakis (pentafluorophenyl) borate derivative using alkyl halide
Buerger et al. Novel (fluoromethyl) silicon derivatives from (fluorodibromomethyl) silane precursors
EP1146028A1 (en) A method to prepare cyclopropenes
JPS5849389A (en) Manufacture of trialkylaluminum compound
RU2177946C1 (en) Method of synthesis of methylsilane
US4891439A (en) Alcohol-free orthoesters of zirconium and hafnium and method for the preparation thereof
CN1025338C (en) Improved process for producing vanadium-arenes
JP3915872B2 (en) Method for producing tetrakis (trimethylsilyl) silane and tris (trimethylsilyl) silane

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20120826