RU2193166C2 - Method of setting fixed amplitudes of vibrations - Google Patents
Method of setting fixed amplitudes of vibrations Download PDFInfo
- Publication number
- RU2193166C2 RU2193166C2 RU2000101014/28A RU2000101014A RU2193166C2 RU 2193166 C2 RU2193166 C2 RU 2193166C2 RU 2000101014/28 A RU2000101014/28 A RU 2000101014/28A RU 2000101014 A RU2000101014 A RU 2000101014A RU 2193166 C2 RU2193166 C2 RU 2193166C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- vibration
- amplitudes
- signal
- frequency
- amplitude
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для установки фиксированных амплитуд вибраций, например при оценке метрологических параметров измерительных систем, в машиностроении, авиастроении и других областях. The invention relates to measuring technique and can be used to set fixed vibration amplitudes, for example, when evaluating the metrological parameters of measuring systems, in mechanical engineering, aircraft manufacturing and other fields.
Известен способ установки фиксированных амплитуд вибраций, согласно которому формируют опорный (отраженный от неподвижного опорного зеркала) и предметный (отраженный от контролируемого объекта, пучки когерентного излучения), получают поле интерференции путем их пространственного совмещения и, изменяя амплитуду вибрации контролируемого объекта, визуально фиксируют моменты исчезновения интерференционных полос [1]. Моменты исчезновения полос соответствуют нулям функции Бесселя первого рода нулевого порядка, корни которых определяются (в том числе) амплитудой вибрации контролируемого объекта. There is a method of setting fixed vibration amplitudes, according to which a reference (reflected from a fixed reference mirror) and object (reflected from a controlled object, coherent radiation beams) are formed, an interference field is obtained by spatial alignment and, changing the amplitude of the controlled object’s vibration, visually fix the disappearance interference fringes [1]. The moments of disappearance of the bands correspond to the zeros of the Bessel function of the first kind of zero order, the roots of which are determined (including) by the amplitude of vibration of the controlled object.
Однако данный способ целесообразно использовать только при установке малых (менее 2-3λ, где λ - длина волны когерентного излучения) амплитуд вибраций (примерно до десятого нуля функции Бесселя). При увеличении амплитуд вибрации контраст полос снижается и фиксировать моменты их исчезновения не удается. Кроме того, точность установки требуемых амплитуд вибрации согласно данному способу невелика. However, this method is advisable to use only when installing small (less than 2-3λ, where λ is the wavelength of coherent radiation) vibration amplitudes (up to about a tenth of the zero of the Bessel function). With increasing amplitudes of vibration, the contrast of the bands decreases and it is not possible to fix the moments of their disappearance. In addition, the accuracy of setting the required vibration amplitudes according to this method is small.
Также известен способ, согласно которому оптический сигнал интерферометра фиксируют с помощью фотоприемника, из электрического сигнала которого фильтрацией выделяют гармоническую составляющую с частотой, равной частоте вибрации контролируемого объекта. Изменяя амплитуду вибрации контролируемого объекта, фиксируют моменты превращения в нуль амплитуды напряжения выделенной гармонической составляющей. Данные моменты определяются соответствующими нулями функции Бесселя первого порядка [2]. Also known is a method according to which the optical signal of the interferometer is fixed using a photodetector, from the electric signal of which a harmonic component with a frequency equal to the vibration frequency of the controlled object is isolated by filtration. Changing the amplitude of vibration of the controlled object, fix the moments of zeroing the voltage amplitude of the selected harmonic component. These moments are determined by the corresponding zeros of the first-order Bessel function [2].
Указанный способ позволяет устанавливать определенные величины амплитуд вибраций с высокой точностью в достаточно широком диапазоне. Однако для его реализации требуется разработка специальных, достаточно сложных схем фильтрации и регистрации измеряемых величин. Кроме этого, указанный способ требует настройки используемых фильтров на заданную частоту вибрации объекта контроля, которая может быть неизвестна. The specified method allows you to set certain values of the amplitudes of the vibrations with high accuracy in a fairly wide range. However, its implementation requires the development of special, rather complex filtering schemes and registration of measured values. In addition, this method requires tuning the filters used to a given frequency of vibration of the control object, which may be unknown.
Наиболее близким к изобретению является способ установки фиксированных амплитуд вибраций, заключающийся в том, что формируют опорный и предметный, отраженный от контролируемого объекта, пучки когерентного излучения, получают поле интерференции путем их пространственного совмещения, смещают частоту излучения одного из пучков относительно другого на величину, меньшую ω/2, где ω - частота вибрации контролируемого объекта, получают сигнал, пропорциональный яркости поля интерференции, фильтрацией выделяют из него составляющую на частоте смещения излучения и, изменяя амплитуду вибрации объекта контроля, минимизируют амплитуду выделенной составляющей сигнала [3] . При этом устанавливаемые амплитуды вибрации определяются нулями функции Бесселя первого рода нулевого порядка. Closest to the invention is a method of setting fixed amplitudes of vibrations, which consists in the fact that they form a reference and subject, reflected from the controlled object, beams of coherent radiation, receive an interference field by spatial alignment, shift the radiation frequency of one of the beams relative to the other by an amount less ω / 2, where ω is the vibration frequency of the controlled object, a signal is obtained proportional to the brightness of the interference field, by filtering, a component is extracted from it at a frequency of radiation and, by changing the amplitude of vibration of the control object, minimize the amplitude of the selected signal component [3]. In this case, the set vibration amplitudes are determined by the zeros of the Bessel function of the first kind of zero order.
Этот способ позволяет устанавливать определенные величины амплитуд вибраций с высокой точностью с использованием постоянного фильтра, настроенного на частоту смещения излучения. This method allows you to set certain values of the amplitudes of the vibrations with high accuracy using a constant filter tuned to the frequency of the radiation bias.
Недостатком данного способа является то, что для его реализации требуется изготовление специальных, достаточно сложных схем фильтрации и регистрации сигналов. Кроме того, за счет затухающего характера функций Бесселя обычно удается зафиксировать не более 70 их нулей [4], что ограничивает диапазон устанавливаемых амплитуд вибраций величиной порядка 11 мкм (при λ = 0,6328 мкм). The disadvantage of this method is that for its implementation requires the manufacture of special, fairly complex filtering schemes and registration of signals. In addition, due to the decaying nature of Bessel functions, it is usually possible to fix no more than 70 of their zeros [4], which limits the range of vibration amplitudes to be set to about 11 μm (at λ = 0.6328 μm).
Таким образом, заявляемое изобретение направлено на решение задач расширения диапазона фиксируемых амплитуд вибраций и упрощения схемы регистрации сигнала фотоприемника. Thus, the claimed invention is aimed at solving the problems of expanding the range of fixed amplitudes of vibrations and simplifying the registration scheme of the signal of the photodetector.
Указанный технический результат достигается тем, что в известном способе установки фиксированных амплитуд вибраций, согласно которому формируют опорный и предметный, отраженный от контролируемого объекта, пучки когерентного излучения, получают поле интерференции путем их пространственного совмещения, смещают частоту излучения одного из пучков относительно другого на величину, меньшую ω/2, где ω - частота вибрации контролируемого объекта, получают сигнал, пропорциональный яркости поля интерференции и, изменяя амплитуду вибрации объекта контроля, минимизируют выбранный параметр сигнала, - в качестве минимизируемого параметра используют разницу между двумя последовательностями уровней сигнала фотоприемника, которые соответствуют моментам последовательного прохождения вибрирующего объекта через свои два противоположных амплитудных положения. Устанавливаемые при этом амплитуды вибрации соответствуют ряду S = к•λ/4, где к=1, 2, 3,..., а λ - длина волны когерентного излучения. The specified technical result is achieved by the fact that in the known method of setting fixed vibration amplitudes, according to which the reference and subject, reflected from the controlled object, beams of coherent radiation are formed, an interference field is obtained by spatial matching, the radiation frequency of one of the beams is shifted relative to the other by an amount less than ω / 2, where ω is the vibration frequency of the controlled object, receive a signal proportional to the brightness of the interference field and, changing the vibration amplitude of the object This control, minimize the selected signal parameter, - as the minimized parameter, use the difference between two sequences of signal levels of the photodetector, which correspond to the moments of the sequential passage of the vibrating object through its two opposite amplitude positions. The vibration amplitudes set in this case correspond to the series S = k • λ / 4, where k = 1, 2, 3, ..., and λ is the wavelength of coherent radiation.
Отличительными признаками предложенного способа являются минимизация разницы между двумя последовательностями уровней сигнала, которые соответствуют моментам последовательного прохождения вибрирующего объекта через свои два противоположных амплитудных положения и получение в результате амплитуд вибраций из ряда S = к•λ/4. Это позволяет расширить диапазон фиксируемых амплитуд вибраций и упростить схему регистрации сигнала фотоприемника. Distinctive features of the proposed method are minimization of the difference between two sequences of signal levels, which correspond to the moments of successive passage of a vibrating object through its two opposite amplitude positions and the resulting vibration amplitudes from the series S = k • λ / 4. This allows you to expand the range of recorded amplitudes of vibrations and simplify the registration scheme of the signal of the photodetector.
Предлагаемый способ иллюстрируется фиг.1 и 2. The proposed method is illustrated in figures 1 and 2.
На фиг. 1 представлена функциональная схема устройства, с помощью которого может быть реализован предлагаемый способ; на фиг.2 - графики сигнала фотоприемника, установленного на выходе интерферометра с вибрирующим опорным зеркалом, при различных амплитудах (S1 = 0,50λ; S2 = 0,47λ; S3 = 0,53λ;) вибрации контролируемого объекта.In FIG. 1 shows a functional diagram of a device with which the proposed method can be implemented; figure 2 - graphs of the signal of the photodetector installed at the output of the interferometer with a vibrating reference mirror, at various amplitudes (S 1 = 0.50λ; S 2 = 0.47λ; S 3 = 0.53λ;) vibration of the controlled object.
Устройство, с помощью которого может быть реализован предлагаемый способ содержит источник 1 когерентного излучения; интерферометр, состоящий из контролируемого объекта 2, расщепителя пучка 3 и подвижного опорного зеркала 4; генератор 5, возбуждающий колебания контролируемого объекта 2; генератор 6, возбуждающий колебания опорного зеркала 4; фотоприемник 7, установленный на выходе интерферометра, и осциллограф 8, синхронизация которого производится от генератора 6, возбуждающего колебания опорного зеркала. A device with which the proposed method can be implemented includes a source of coherent radiation 1; an interferometer consisting of a controlled object 2, a beam splitter 3 and a movable reference mirror 4; a generator 5, exciting oscillations of the controlled object 2; a generator 6, exciting oscillations of the reference mirror 4; a photodetector 7, installed at the output of the interferometer, and an oscilloscope 8, the synchronization of which is from the generator 6, exciting the oscillations of the reference mirror.
Заявляемый способ в данном устройстве может быть реализован следующим образом. The inventive method in this device can be implemented as follows.
Опорный и предметный пучки излучения формируют с помощью источника когерентного излучения 1 и расщепителя 3 пучка и направляют на контролируемый объект 2 и вибрирующее опорное зеркало 4, которым смещают частоту излучения в опорном плече. Вибрацию контролируемого объекта 2 задают генератором 5, а опорного зеркала - генератором 6, при этом частоту вибрации опорного зеркала устанавливают много меньшей частоты вибрации объекта 2, а амплитуду несколько большей λ/4 (частота излучения при этом должна смещаться на величину, меньшую ω/2). Отраженные опорный и предметный пучки излучения после их совмещения интерферируют, а поле интерференции регистрируется фотоприемником 7. Сигнал с выхода фотоприемника 7 регистрируется осциллографом 8, синхронизацию которого производят от генератора 6, возбуждающего вибрацию опорного зеркала. The reference and subject radiation beams are formed using a coherent radiation source 1 and a beam splitter 3 and sent to a controlled object 2 and a vibrating reference mirror 4, which shift the radiation frequency in the reference arm. The vibration of the controlled object 2 is set by the generator 5, and the reference mirror by the generator 6, while the vibration frequency of the reference mirror is set much lower than the vibration frequency of object 2, and the amplitude is slightly greater than λ / 4 (the radiation frequency should be shifted by an amount less than ω / 2 ) Reflected reference and subject radiation beams after their combination interfere, and the interference field is detected by a photodetector 7. The signal from the output of photodetector 7 is recorded by an oscilloscope 8, which is synchronized from a generator 6, which excites the vibration of the reference mirror.
При отсутствии вибрации контролируемого объекта на экране осциллографа наблюдается характерный сигнал, форма которого определяется параметрами вибрации опорного зеркала. При возбуждении вибрации контролируемого объекта на общем фоне сигнала с ростом амплитуды вибрации периодически возникает полоса, по форме совпадающая с сигналом от вибрации опорного зеркала. Ширина полосы становится минимальной при амплитудах вибрации объекта, кратных λ/4 (участки осциллограммы, соответствующие двум амплитудным положениям контролируемого объекта, где его скорость близка к нулю, сливаются в одну линию, соответствующую сигналу фотоприемника при неподвижном объекте контроля). При отклонениях амплитуд вибрации от указанных величин полоса размывается или пропадает совсем. Измерения амплитуд вибраций по описанному способу можно считать прямыми измерениями по эталону, определяемому длиной волны лазера. In the absence of vibration of the controlled object, a characteristic signal is observed on the oscilloscope screen, the shape of which is determined by the vibration parameters of the reference mirror. When the vibration of the controlled object is excited against the general background of the signal with an increase in the amplitude of the vibration, a band periodically appears in shape that coincides with the signal from the vibration of the reference mirror. The bandwidth becomes minimal when the vibration amplitudes of the object are multiples of λ / 4 (the waveform sections corresponding to the two amplitude positions of the controlled object, where its speed is close to zero, merge into one line corresponding to the photodetector signal when the monitoring object is stationary). If the vibration amplitudes deviate from the indicated values, the band is blurred or completely disappears. Measurement of vibration amplitudes according to the described method can be considered direct measurements according to a standard determined by the laser wavelength.
Описанный принцип иллюстрируется приведенными на фиг.2 графиками сигнала фотоприемника. Графики построены по формуле (1) для определенных (δ0 = λ/6; S1 = λ/4; S01 = 0,50λ; S02 = 0,47λ: S03 = 0,53λ; ω/ω1 = 40) параметров вибрации [3]. Т1 на графике - период вибрации опорного зеркала
u = KCos[(2π/λ)(δ0+2S1Cosω1t+2S0Cosωt)], (1)
где u - переменная составляющая сигнала фотоприемника;
К - коэффициент, определяемый параметрами интерферометра и фотоприемника;
λ - длина волны источника излучения;
δ0 - начальная разность хода лучей интерферометра;
S1 - амплитуда вибрации опорного зеркала;
ω1 - частота вибрации опорного зеркала;
S0 - амплитуда вибрации контролируемого объекта;
ω - частота вибрации контролируемого объекта;
t - время.The described principle is illustrated in the graphs of the photodetector signal shown in FIG. The graphs are constructed according to formula (1) for certain (δ 0 = λ / 6; S 1 = λ / 4; S 01 = 0.50λ; S 02 = 0.47λ: S 03 = 0.53λ; ω / ω 1 = 40) vibration parameters [3]. T 1 on the graph - the period of vibration of the reference mirror
u = KCos [(2π / λ) (δ 0 + 2S 1 Cosω 1 t + 2S 0 Cosωt)], (1)
where u is the variable component of the photodetector signal;
K is the coefficient determined by the parameters of the interferometer and photodetector;
λ is the wavelength of the radiation source;
δ 0 - the initial difference in the path of the rays of the interferometer;
S 1 - the amplitude of the vibration of the reference mirror;
ω 1 - vibration frequency of the reference mirror;
S 0 - the amplitude of the vibration of the controlled object;
ω is the vibration frequency of the controlled object;
t is time.
Пример. Example.
1. Устанавливали амплитуду вибрации контролируемого объекта, равной S0 = 50λ, при λ = 0,6428 мкм. Частота вибрации объекта контроля была равна f=8 кГц.1. The vibration amplitude of the controlled object was set equal to S 0 = 50λ, at λ = 0.6428 μm. The vibration frequency of the test object was equal to f = 8 kHz.
2. Формировали опорный и предметный пучки когерентного излучения, совмещали их и получали поле интерференции, для чего собирали лазерный интерферометр с вибрирующим объектом в одном из плеч интерферометра. 2. We formed the reference and subject beams of coherent radiation, combined them and obtained an interference field, for which a laser interferometer was assembled with a vibrating object in one of the arms of the interferometer.
3. Смещали частоту излучения опорного пучка относительно предметного на величину Ω<ω/2 возбуждением вибрации опорного зеркала интерферометра. Амплитуду вибрации зеркала при этом задавали S1 ≈ λ/4. Частоту вибрации - f1≈100 Гц << 8 кГц. Максимальная скорость движения опорного зеркала при этом была vmax = 2πf1A1, а смещение частоты излучения, соответственно, Ω = 4πv/λ = 8π2f1A1/λ = 2c-1<2π•8/2c-1.
4. Яркость поля интерференции преобразовывали с помощью фотоприемника в электрический сигнал, который фиксировали на осциллографе PINTEK DS-303P.3. The radiation frequency of the reference beam was shifted relative to the object beam by the value of Ω <ω / 2 by excitation of vibration of the reference mirror of the interferometer. The vibration amplitude of the mirror was set S 1 ≈ λ / 4. The vibration frequency is f 1 ≈100 Hz << 8 kHz. The maximum speed of the reference mirror in this case was v max = 2πf 1 A 1 , and the radiation frequency shift, respectively, Ω = 4πv / λ = 8π 2 f 1 A 1 / λ = 2c -1 <2π • 8 / 2c -1 .
4. The brightness of the interference field was converted using a photodetector into an electrical signal, which was recorded on a PINTEK DS-303P oscilloscope.
5. Плавно увеличивали амплитуду вибрации S0 контролируемого объекта. Чтобы избежать необходимости подсчета числа совпадений в одну линию уровней сигнала для противоположных амплитудных положений объекта (таких совпадений до достижения S0 = 50λ должно быть n=50•4=200), предварительно устанавливали приблизительную величину S0 по показаниям частотомера (S0 = fф/fг•λ/8), включенного в режиме измерения отношения частот с выхода фотоприемника (fф) и генератора (fг).5. The vibration amplitude S 0 of the controlled object was gradually increased. To avoid the need to count the number of matches in one line of signal levels for opposite amplitude positions of the object (there should be n = 50 • 4 = 200 such matches before reaching S 0 = 50λ), the approximate value S 0 was preliminarily determined from the readings of the frequency meter (S 0 = f f / f g • λ / 8), included in the mode of measuring the ratio of frequencies from the output of the photodetector (f f ) and the generator (f g ).
6. Производили точную установку требуемой амплитуды вибрации по сведению в одну линию участков осциллограммы, соответствующих противоположным амплитудным положениям объекта контроля. 6. A precise setting of the required vibration amplitude was carried out by bringing the oscillogram sections corresponding to opposite amplitude positions of the control object into one line.
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ
1. Вибрации в технике. Справочник. В 6-ти т./ Ред. совет: В.Н. Челомей (пред.). - М.: Машиностроение, 1981, - т. 5. Измерения и испытания. Под ред. М.Д. Генкина. 1981, стр. 128.LIST OF USED SOURCES
1. Vibration in technology. Directory. In 6 t. / Ed. advice: V.N. Chelomei (previous). - M .: Mechanical Engineering, 1981, - v. 5. Measurements and tests. Ed. M.D. Genkin. 1981, p. 128.
2. Застроган Ю.Ф. и др. Лазерные приборы вибрационного контроля и точного позиционирования. - М.: Машиностроение, 1995, стр.26-28. 2. Zastrogan Yu.F. and others. Laser devices for vibration control and precise positioning. - M.: Mechanical Engineering, 1995, pp. 26-28.
3. Застроган Ю.Ф. Контроль параметров движения с использованием лазеров. - М.: Машиностроение, 1981, стр. 68-71 - прототип. 3. Zastrogan Yu.F. Control of motion parameters using lasers. - M .: Engineering, 1981, pp. 68-71 - prototype.
4. Застроган Ю.Ф. и др. Лазерные приборы вибрационного контроля и точного позиционирования. М.; Машиностроение. 1995, стр.105. 4. Zastrogan Yu.F. and others. Laser devices for vibration control and precise positioning. M .; Engineering. 1995, p. 105.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2000101014/28A RU2193166C2 (en) | 2000-01-17 | 2000-01-17 | Method of setting fixed amplitudes of vibrations |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2000101014/28A RU2193166C2 (en) | 2000-01-17 | 2000-01-17 | Method of setting fixed amplitudes of vibrations |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2000101014A RU2000101014A (en) | 2001-11-10 |
| RU2193166C2 true RU2193166C2 (en) | 2002-11-20 |
Family
ID=20229384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2000101014/28A RU2193166C2 (en) | 2000-01-17 | 2000-01-17 | Method of setting fixed amplitudes of vibrations |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2193166C2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2236670C1 (en) * | 2003-03-31 | 2004-09-20 | Институт проблем управления им. В.А.Трапезникова РАН | Method of determining vibration of object |
| RU2507487C2 (en) * | 2012-05-04 | 2014-02-20 | Федеральное Государственное Бюджетное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Саратовский Государственный Университет Имени Н.Г. Чернышевского" | Method to determine amplitude of nanovibrations by signal of laser autodyne |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1449275A (en) * | 1972-08-23 | 1976-09-15 | Peter U | Methods and means for observing and detecting vibrations and distortions of a rotary machine |
| GB2180644A (en) * | 1985-09-16 | 1987-04-01 | Nat Res Dev | Interferometric measurement apparatus |
| RU2060475C1 (en) * | 1993-04-15 | 1996-05-20 | Саратовский государственный университет им. Н.Г.Чернышевского | Method of measurement of harmonic oscillation amplitudes |
| RU2098776C1 (en) * | 1995-08-23 | 1997-12-10 | Саратовский государственный университет им.Н.Г.Чернышевского | Method studying periodic vibrations |
-
2000
- 2000-01-17 RU RU2000101014/28A patent/RU2193166C2/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1449275A (en) * | 1972-08-23 | 1976-09-15 | Peter U | Methods and means for observing and detecting vibrations and distortions of a rotary machine |
| GB2180644A (en) * | 1985-09-16 | 1987-04-01 | Nat Res Dev | Interferometric measurement apparatus |
| RU2060475C1 (en) * | 1993-04-15 | 1996-05-20 | Саратовский государственный университет им. Н.Г.Чернышевского | Method of measurement of harmonic oscillation amplitudes |
| RU2098776C1 (en) * | 1995-08-23 | 1997-12-10 | Саратовский государственный университет им.Н.Г.Чернышевского | Method studying periodic vibrations |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2236670C1 (en) * | 2003-03-31 | 2004-09-20 | Институт проблем управления им. В.А.Трапезникова РАН | Method of determining vibration of object |
| RU2507487C2 (en) * | 2012-05-04 | 2014-02-20 | Федеральное Государственное Бюджетное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Саратовский Государственный Университет Имени Н.Г. Чернышевского" | Method to determine amplitude of nanovibrations by signal of laser autodyne |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101322935B1 (en) | Apparatus for interferometric sensing | |
| JP5628042B2 (en) | Fiber optic sensor, method of operating the same, and fiber optic gyroscope | |
| US12222239B2 (en) | Calibration apparatus and calibrating a laser doppler vibrometer | |
| JPWO2016080415A1 (en) | Measuring device and sensor system | |
| Kwaaitaal | Contribution to the interferometric measurement of sub‐angstrom vibrations | |
| JP2009512199A (en) | Method and apparatus for suppressing laser phase noise | |
| RU2193166C2 (en) | Method of setting fixed amplitudes of vibrations | |
| KR19980703176A (en) | Optical gas analyzer | |
| US5952554A (en) | Method for testing frequency response characteristics of laser displacement/vibration meters | |
| JP2726881B2 (en) | Backscattered light measurement device | |
| KR102088501B1 (en) | Apparatus and method for measuring ultrafine displacement using PDH locking | |
| von Martens | Investigations into the uncertainties of interferometric measurements of linear and circular vibrations | |
| US11243141B2 (en) | Method and apparatus for chromatic dispersion measurement based on optoelectronic oscillations | |
| JP2006023662A (en) | Photoelectric field waveform control method and control apparatus | |
| JPH08101066A (en) | Optical spectrum measuring apparatus | |
| JP2023503314A (en) | High-speed phase-shifting interferometry by laser frequency shifting | |
| JPH07103828A (en) | Estimation unit for variable frequency characteristics | |
| SU978047A1 (en) | Method of measuring speed of moving reflective surface | |
| SU780773A1 (en) | Active interferometer | |
| SU1065707A1 (en) | Device for pressure converter graduation | |
| Gamidov et al. | Optical feedback in diode laser for sound-pressure measurement | |
| SU911168A1 (en) | Optical vibrometer | |
| Hirose et al. | Measurement method of VHF elastic vibrations by optical fiber interferometric sensing | |
| SU877444A1 (en) | Method and device for measuring vibrational accelerations | |
| JP2566644B2 (en) | Absolute displacement measuring instrument by optical interference |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20040118 |