[go: up one dir, main page]

RU2171314C2 - Плазматрон для лазерно-плазменного нанесения покрытия - Google Patents

Плазматрон для лазерно-плазменного нанесения покрытия Download PDF

Info

Publication number
RU2171314C2
RU2171314C2 RU99122426A RU99122426A RU2171314C2 RU 2171314 C2 RU2171314 C2 RU 2171314C2 RU 99122426 A RU99122426 A RU 99122426A RU 99122426 A RU99122426 A RU 99122426A RU 2171314 C2 RU2171314 C2 RU 2171314C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
plasma
subsidiary
anodes
applying
plasma gun
Prior art date
Application number
RU99122426A
Other languages
English (en)
Other versions
RU99122426A (ru
Inventor
С.П. Мурзин
В.Н. Гришанов
В.И. Мордасов
А.А. Шуваев
Original Assignee
Самарский государственный аэрокосмический университет им. С.П. Королева
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Самарский государственный аэрокосмический университет им. С.П. Королева filed Critical Самарский государственный аэрокосмический университет им. С.П. Королева
Priority to RU99122426A priority Critical patent/RU2171314C2/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2171314C2 publication Critical patent/RU2171314C2/ru
Publication of RU99122426A publication Critical patent/RU99122426A/ru

Links

Images

Landscapes

  • Coating By Spraying Or Casting (AREA)
  • Nozzles (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

Изобретение относится к устройствам нанесения покрытий плазменным напылением и может быть использовано для нанесения упрочняющего покрытия на металлические и металлосодержащие поверхности. Технический результат - увеличение ресурса работы плазматрона, повышение производительности процесса обработки. Сущность изобретения заключается в том, что корпус устройства выполнен П-образным, закрывающимся двумя боковыми крышками, на которых расположены вспомогательные аноды с диэлектрическими подложками и вспомогательными катодами, при этом вспомогательные аноды образуют сопло с отверстием прямоугольного поперечного сечения. А в качестве анода предложена конструкция, состоящая из двух симметрично расположенных относительно плоскости перемещения плоского плазменного сгустка плазменных электродов, образованных скользящим электрическим разрядом, возникающим между защемленным анодом и вспомогательным катодом и распространяющимся на поверхности диэлектрической подложки, которая во избежание перегрева охлаждается водяным теплообменником, а нагрев порошковой массы лазерным излучением производится в плоскости касания ее с подложкой. 2 ил.

Description

Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытия на металлические или металлосодержащие поверхности, и может быть использовано в машиностроении для получения деталей с повышенными эксплуатационными характеристиками.
Известны устройства, предназначенные для получения деталей с повышенными эксплуатационными характеристиками (Кулик А.Я., Борисов Ю.С., Мнухин А.С., Никитин М. Д. Газотермическое напыление композиционных порошков. -Л.: Машиностроение, 1985. Нанесение покрытий плазмой /В.В.Кудинов, П.Ю.Пешков, В.Е. Белащенко и др. -М. : Наука, 1990). Конструкция существующих устройств не предусматривает их использования в составе установок лазерно-плазменного напыления покрытий.
Наиболее близким к предлагаемому является устройство для нанесения покрытий плазменным напылением в виде установки УПУ-8 (Кудинов В.В., Бобров Г.В. Нанесение покрытий напылением. Теория, технология и оборудование. Учебник для вузов. М.: Металлургия, 1992, 432 с.).
Корпус плазматрона, имеющий цилиндрическую форму, состоит из трех частей. Нижняя часть связана с соплом плазматрона и является анодным узлом, верхняя часть - стержневой катодный узел. В его центральной части расположен катод. Сопловой и стержневой электродные узлы связаны между собой электроизоляционной проставкой. Охлаждение осуществляется дистиллированной водой, прокачиваемый через канал, расположенный в корпусе. Для герметизации канала охлаждения предусмотрены прокладки и стяжные винты. Дуга возбуждается и горит между стержневым электродом и соплом. Плазменная струя, вытекающая из сопла, является источником нагрева, и служит для распыления и ускорения частиц.
Для лазерно-плазменного нанесения покрытий данное устройство не применимо, поскольку имеет следующие недостатки:
- незначительный ресурс положительного электрода (анода), связанный с его разрушением из-за действия электрической дуги;
- круглое сечение плазменного факела, что приводит к большим потерям энергии лазерного излучения при прохождении через плазменный сгусток;
- круглая форма пятна нагрева от плазмотрона, что приводит к необходимости перекрытия зон обработки, достигающего 2/3 ширины зоны, из-за чего значительно снижается производительность процесса нанесения покрытия.
В основу изобретения поставлены следующие задачи:
- увеличить ресурс работы плазмотрона;
- получить прямоугольную форму сечения плазменного факелы, обеспечивающую минимальное расстояние, проходимое лазерным излучением в плазме;
- повысить производительность процесса нанесения покрытия за счет использования прямоугольной формы пятна нагрева от плазменного факела.
Данная задача решается тем, что в устройстве, состоящем из корпуса, основного катода, сопла, штуцеров для подвода плазмообразующего газа, согласно изобретению корпус выполнен П-образным, закрывающимся двумя боковыми крышками, на которых расположены вспомогательные аноды с диэлектрическими подложками и вспомогательными катодами, при этом вспомогательные аноды образуют сопло с отверстием прямоугольного поперечного сечения.
Сущность изобретения поясняется чертежом, где на фиг. 1 представлено устройство в разрезе, на фиг. 2 - сечение A-A фиг. 1.
Плазмотрон состоит из корпуса 1, имеющего П-образную форму, и выполненного из термостойкого изолирующего материала, в верхней части которого расположен основной катод 2, зафиксированный гайкой 3 и шайбой 4, которые служат, кроме того, токопроводами для подачи напряжения на основной катод, а также два штуцера 5 для подачи плазмообразующего газа. Боковые поверхности плазматрона образованы изолирующими крышками 6, которые зафиксированы на корпусе винтами 7, прижимая при этом вспомогательные катоды 8 и диэлектрические подложки 9. Между крышками 6 и подложками 9 расположены водоохлаждаемые аноды 11, образующие выходное отверстие прямоугольного сечения, которые после установки закрепляются винтами 12, служащими также для крепления токоведущих шин (кабелей). Для охлаждения анодов водой предусмотрены каналы 12 и 13. Для ввода порошкообразного напыляемого материала в корпусе плазматрона выполнено отверстие 14.
Работа предлагаемого устройства осуществляется следующим образом. Поток плазмообразующего газа через штуцеры 5 и отверстия 6 подается в разрядную камеру плазматрона, образованную корпусом 1, вспомогательными катодами 8, диэлектрическими подложками 9 и анодами 10. После подачи напряжения на вспомогательные катоды 8 и аноды 10 на поверхности подложек возникает скользящий электрический разряд, который появляется после подачи напряжения на основной катод 2. В зону горения основного разряда через отверстия 14 подается напыляемый порошкообразный материал, который разогревается, распыляется и ускоряется плазменной струей и выносится из плазматрона через выходное отверстие, образованное анодами 10.
Такое устройство позволяет получить форму пятна нагрева близкую к прямоугольной и в 1,5-2 раза увеличить ширину зоны обработки, увеличить ресурс плазматрона в связи с меньшим износом положительного электрода (анода) и обеспечить минимальное расстояние прохождения лазерного излучения (на чертеже не показано) через плазменный сгусток. Это приводит к экономии энергетических ресурсов, росту производительности и срока службы плазматрона при нанесении покрытия.

Claims (1)

  1. Плазматрон для лазерно-газотермического нанесения покрытия, состоящий из корпуса, основного катода, сопла, штуцеров для подвода плазмообразующего газа, отличающийся тем, что корпус выполнен П-образным, закрывающимся двумя боковыми крышками, на которых расположены вспомогательные аноды с диэлектрическими подложками и вспомогательными катодами, при этом вспомогательные аноды образуют сопло с отверстием прямоугольного поперечного сечения.
RU99122426A 1999-10-26 1999-10-26 Плазматрон для лазерно-плазменного нанесения покрытия RU2171314C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU99122426A RU2171314C2 (ru) 1999-10-26 1999-10-26 Плазматрон для лазерно-плазменного нанесения покрытия

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU99122426A RU2171314C2 (ru) 1999-10-26 1999-10-26 Плазматрон для лазерно-плазменного нанесения покрытия

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2171314C2 true RU2171314C2 (ru) 2001-07-27
RU99122426A RU99122426A (ru) 2001-09-20

Family

ID=20226195

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU99122426A RU2171314C2 (ru) 1999-10-26 1999-10-26 Плазматрон для лазерно-плазменного нанесения покрытия

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2171314C2 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EA010940B1 (ru) * 2004-11-05 2008-12-30 Дау Корнинг Айэлэнд Лимитед Плазменная система
RU2366122C1 (ru) * 2007-12-25 2009-08-27 Федеральное государственное унитарное предприятие "Исследовательский Центр имени М.В. Келдыша" Плазмотрон для нанесения покрытий
CN114231884A (zh) * 2021-12-10 2022-03-25 浙江巴顿焊接技术研究院 一种激光蒸发后进行等离子沉积的镀膜方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2942144B1 (de) * 2014-05-07 2024-07-03 Kjellberg-Stiftung Plasmaschneidbrenneranordnung sowie die Verwendung von Verschleißteilen bei einer Plasmaschneidbrenneranordnung

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU503601A1 (ru) * 1974-05-17 1976-02-25 Научно-Исследовательский И Конструкторско-Технологический Институт Эмалированного Химического Оборудования Плазмотрон дл напылени
SU839589A1 (ru) * 1979-09-17 1981-06-28 Ордена Ленина Физико-Техническийинститут Им. A.Ф.Иоффе Ah Cccp Способ газотермического напылени пОКРыТий HA издЕлиЕ и уСТРОйСТВО дл ЕгО ОСущЕСТВлЕНи
RU2071188C1 (ru) * 1993-09-16 1996-12-27 Игорь Константинович Батрак Плазменная установка

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU503601A1 (ru) * 1974-05-17 1976-02-25 Научно-Исследовательский И Конструкторско-Технологический Институт Эмалированного Химического Оборудования Плазмотрон дл напылени
SU839589A1 (ru) * 1979-09-17 1981-06-28 Ордена Ленина Физико-Техническийинститут Им. A.Ф.Иоффе Ah Cccp Способ газотермического напылени пОКРыТий HA издЕлиЕ и уСТРОйСТВО дл ЕгО ОСущЕСТВлЕНи
RU2071188C1 (ru) * 1993-09-16 1996-12-27 Игорь Константинович Батрак Плазменная установка

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
КУДИНОВ В.В., БОБРОВ Г.В. Нанесение покрытий напылением, Теория, технология и оборудование. Учебник для вузов. - М.: Металлургия, 1992, с. 432. *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EA010940B1 (ru) * 2004-11-05 2008-12-30 Дау Корнинг Айэлэнд Лимитед Плазменная система
RU2366122C1 (ru) * 2007-12-25 2009-08-27 Федеральное государственное унитарное предприятие "Исследовательский Центр имени М.В. Келдыша" Плазмотрон для нанесения покрытий
CN114231884A (zh) * 2021-12-10 2022-03-25 浙江巴顿焊接技术研究院 一种激光蒸发后进行等离子沉积的镀膜方法
CN114231884B (zh) * 2021-12-10 2024-03-22 浙江巴顿焊接技术研究院 一种激光蒸发后进行等离子沉积的镀膜方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2205576C (en) An apparatus for generation of a linear arc discharge for plasma processing
EP1390964B1 (en) Dipole ion source
CA1326886C (en) Plasma generating apparatus and method
US6849854B2 (en) Ion source
CA2254677C (en) Apparatus for sputtering or arc evaporation
JP3547485B2 (ja) 平板マグネトロンスパッタリング装置
US4551221A (en) Vacuum-arc plasma apparatus
EP0703302A1 (en) A method for depositing a coating onto a substrate by means of thermal spraying and an apparatus for carrying out said method
JPH0510422B2 (ru)
JP6134394B2 (ja) プラズマ源および当該プラズマ源を備える真空蒸着装置
JP3733461B2 (ja) 複合トーチ型プラズマ発生方法及び装置
US6706157B2 (en) Vacuum arc plasma gun deposition system
US4847476A (en) Ion source device
RU2171314C2 (ru) Плазматрон для лазерно-плазменного нанесения покрытия
US5466941A (en) Negative ion sputtering beam source
CN111621751B (zh) 一种多模式调制弧源装置
JP2001500569A (ja) ガス流スパッタリングにより基板を被覆する方法及び装置
RU2022493C1 (ru) Плазменный ускоритель с замкнутым дрейфом электронов
RU2011154038A (ru) Установка для ионно-лучевой и плазменной обработки
CN102296274B (zh) 用于阴极弧金属离子源的屏蔽装置
RU2311492C1 (ru) Устройство для высокоскоростного магнетронного распыления
RU2107970C1 (ru) Магнетронная распылительная система
JP3555033B2 (ja) 負圧又は真空中において材料蒸気によつて基板を被覆する装置
US20100230276A1 (en) Device and method for thin film deposition using a vacuum arc in an enclosed cathode-anode assembly
RU2070944C1 (ru) Устройство для нанесения покрытий на протяжные гибкие изделия