RU2171314C2 - Плазматрон для лазерно-плазменного нанесения покрытия - Google Patents
Плазматрон для лазерно-плазменного нанесения покрытия Download PDFInfo
- Publication number
- RU2171314C2 RU2171314C2 RU99122426A RU99122426A RU2171314C2 RU 2171314 C2 RU2171314 C2 RU 2171314C2 RU 99122426 A RU99122426 A RU 99122426A RU 99122426 A RU99122426 A RU 99122426A RU 2171314 C2 RU2171314 C2 RU 2171314C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- plasma
- subsidiary
- anodes
- applying
- plasma gun
- Prior art date
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000004157 plasmatron Methods 0.000 claims description 9
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 238000002294 plasma sputter deposition Methods 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000011089 mechanical engineering Methods 0.000 description 2
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 description 2
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000005272 metallurgy Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Nozzles (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
Изобретение относится к устройствам нанесения покрытий плазменным напылением и может быть использовано для нанесения упрочняющего покрытия на металлические и металлосодержащие поверхности. Технический результат - увеличение ресурса работы плазматрона, повышение производительности процесса обработки. Сущность изобретения заключается в том, что корпус устройства выполнен П-образным, закрывающимся двумя боковыми крышками, на которых расположены вспомогательные аноды с диэлектрическими подложками и вспомогательными катодами, при этом вспомогательные аноды образуют сопло с отверстием прямоугольного поперечного сечения. А в качестве анода предложена конструкция, состоящая из двух симметрично расположенных относительно плоскости перемещения плоского плазменного сгустка плазменных электродов, образованных скользящим электрическим разрядом, возникающим между защемленным анодом и вспомогательным катодом и распространяющимся на поверхности диэлектрической подложки, которая во избежание перегрева охлаждается водяным теплообменником, а нагрев порошковой массы лазерным излучением производится в плоскости касания ее с подложкой. 2 ил.
Description
Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытия на металлические или металлосодержащие поверхности, и может быть использовано в машиностроении для получения деталей с повышенными эксплуатационными характеристиками.
Известны устройства, предназначенные для получения деталей с повышенными эксплуатационными характеристиками (Кулик А.Я., Борисов Ю.С., Мнухин А.С., Никитин М. Д. Газотермическое напыление композиционных порошков. -Л.: Машиностроение, 1985. Нанесение покрытий плазмой /В.В.Кудинов, П.Ю.Пешков, В.Е. Белащенко и др. -М. : Наука, 1990). Конструкция существующих устройств не предусматривает их использования в составе установок лазерно-плазменного напыления покрытий.
Наиболее близким к предлагаемому является устройство для нанесения покрытий плазменным напылением в виде установки УПУ-8 (Кудинов В.В., Бобров Г.В. Нанесение покрытий напылением. Теория, технология и оборудование. Учебник для вузов. М.: Металлургия, 1992, 432 с.).
Корпус плазматрона, имеющий цилиндрическую форму, состоит из трех частей. Нижняя часть связана с соплом плазматрона и является анодным узлом, верхняя часть - стержневой катодный узел. В его центральной части расположен катод. Сопловой и стержневой электродные узлы связаны между собой электроизоляционной проставкой. Охлаждение осуществляется дистиллированной водой, прокачиваемый через канал, расположенный в корпусе. Для герметизации канала охлаждения предусмотрены прокладки и стяжные винты. Дуга возбуждается и горит между стержневым электродом и соплом. Плазменная струя, вытекающая из сопла, является источником нагрева, и служит для распыления и ускорения частиц.
Для лазерно-плазменного нанесения покрытий данное устройство не применимо, поскольку имеет следующие недостатки:
- незначительный ресурс положительного электрода (анода), связанный с его разрушением из-за действия электрической дуги;
- круглое сечение плазменного факела, что приводит к большим потерям энергии лазерного излучения при прохождении через плазменный сгусток;
- круглая форма пятна нагрева от плазмотрона, что приводит к необходимости перекрытия зон обработки, достигающего 2/3 ширины зоны, из-за чего значительно снижается производительность процесса нанесения покрытия.
- незначительный ресурс положительного электрода (анода), связанный с его разрушением из-за действия электрической дуги;
- круглое сечение плазменного факела, что приводит к большим потерям энергии лазерного излучения при прохождении через плазменный сгусток;
- круглая форма пятна нагрева от плазмотрона, что приводит к необходимости перекрытия зон обработки, достигающего 2/3 ширины зоны, из-за чего значительно снижается производительность процесса нанесения покрытия.
В основу изобретения поставлены следующие задачи:
- увеличить ресурс работы плазмотрона;
- получить прямоугольную форму сечения плазменного факелы, обеспечивающую минимальное расстояние, проходимое лазерным излучением в плазме;
- повысить производительность процесса нанесения покрытия за счет использования прямоугольной формы пятна нагрева от плазменного факела.
- увеличить ресурс работы плазмотрона;
- получить прямоугольную форму сечения плазменного факелы, обеспечивающую минимальное расстояние, проходимое лазерным излучением в плазме;
- повысить производительность процесса нанесения покрытия за счет использования прямоугольной формы пятна нагрева от плазменного факела.
Данная задача решается тем, что в устройстве, состоящем из корпуса, основного катода, сопла, штуцеров для подвода плазмообразующего газа, согласно изобретению корпус выполнен П-образным, закрывающимся двумя боковыми крышками, на которых расположены вспомогательные аноды с диэлектрическими подложками и вспомогательными катодами, при этом вспомогательные аноды образуют сопло с отверстием прямоугольного поперечного сечения.
Сущность изобретения поясняется чертежом, где на фиг. 1 представлено устройство в разрезе, на фиг. 2 - сечение A-A фиг. 1.
Плазмотрон состоит из корпуса 1, имеющего П-образную форму, и выполненного из термостойкого изолирующего материала, в верхней части которого расположен основной катод 2, зафиксированный гайкой 3 и шайбой 4, которые служат, кроме того, токопроводами для подачи напряжения на основной катод, а также два штуцера 5 для подачи плазмообразующего газа. Боковые поверхности плазматрона образованы изолирующими крышками 6, которые зафиксированы на корпусе винтами 7, прижимая при этом вспомогательные катоды 8 и диэлектрические подложки 9. Между крышками 6 и подложками 9 расположены водоохлаждаемые аноды 11, образующие выходное отверстие прямоугольного сечения, которые после установки закрепляются винтами 12, служащими также для крепления токоведущих шин (кабелей). Для охлаждения анодов водой предусмотрены каналы 12 и 13. Для ввода порошкообразного напыляемого материала в корпусе плазматрона выполнено отверстие 14.
Работа предлагаемого устройства осуществляется следующим образом. Поток плазмообразующего газа через штуцеры 5 и отверстия 6 подается в разрядную камеру плазматрона, образованную корпусом 1, вспомогательными катодами 8, диэлектрическими подложками 9 и анодами 10. После подачи напряжения на вспомогательные катоды 8 и аноды 10 на поверхности подложек возникает скользящий электрический разряд, который появляется после подачи напряжения на основной катод 2. В зону горения основного разряда через отверстия 14 подается напыляемый порошкообразный материал, который разогревается, распыляется и ускоряется плазменной струей и выносится из плазматрона через выходное отверстие, образованное анодами 10.
Такое устройство позволяет получить форму пятна нагрева близкую к прямоугольной и в 1,5-2 раза увеличить ширину зоны обработки, увеличить ресурс плазматрона в связи с меньшим износом положительного электрода (анода) и обеспечить минимальное расстояние прохождения лазерного излучения (на чертеже не показано) через плазменный сгусток. Это приводит к экономии энергетических ресурсов, росту производительности и срока службы плазматрона при нанесении покрытия.
Claims (1)
- Плазматрон для лазерно-газотермического нанесения покрытия, состоящий из корпуса, основного катода, сопла, штуцеров для подвода плазмообразующего газа, отличающийся тем, что корпус выполнен П-образным, закрывающимся двумя боковыми крышками, на которых расположены вспомогательные аноды с диэлектрическими подложками и вспомогательными катодами, при этом вспомогательные аноды образуют сопло с отверстием прямоугольного поперечного сечения.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU99122426A RU2171314C2 (ru) | 1999-10-26 | 1999-10-26 | Плазматрон для лазерно-плазменного нанесения покрытия |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU99122426A RU2171314C2 (ru) | 1999-10-26 | 1999-10-26 | Плазматрон для лазерно-плазменного нанесения покрытия |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2171314C2 true RU2171314C2 (ru) | 2001-07-27 |
| RU99122426A RU99122426A (ru) | 2001-09-20 |
Family
ID=20226195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU99122426A RU2171314C2 (ru) | 1999-10-26 | 1999-10-26 | Плазматрон для лазерно-плазменного нанесения покрытия |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2171314C2 (ru) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EA010940B1 (ru) * | 2004-11-05 | 2008-12-30 | Дау Корнинг Айэлэнд Лимитед | Плазменная система |
| RU2366122C1 (ru) * | 2007-12-25 | 2009-08-27 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Исследовательский Центр имени М.В. Келдыша" | Плазмотрон для нанесения покрытий |
| CN114231884A (zh) * | 2021-12-10 | 2022-03-25 | 浙江巴顿焊接技术研究院 | 一种激光蒸发后进行等离子沉积的镀膜方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2942144B1 (de) * | 2014-05-07 | 2024-07-03 | Kjellberg-Stiftung | Plasmaschneidbrenneranordnung sowie die Verwendung von Verschleißteilen bei einer Plasmaschneidbrenneranordnung |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU503601A1 (ru) * | 1974-05-17 | 1976-02-25 | Научно-Исследовательский И Конструкторско-Технологический Институт Эмалированного Химического Оборудования | Плазмотрон дл напылени |
| SU839589A1 (ru) * | 1979-09-17 | 1981-06-28 | Ордена Ленина Физико-Техническийинститут Им. A.Ф.Иоффе Ah Cccp | Способ газотермического напылени пОКРыТий HA издЕлиЕ и уСТРОйСТВО дл ЕгО ОСущЕСТВлЕНи |
| RU2071188C1 (ru) * | 1993-09-16 | 1996-12-27 | Игорь Константинович Батрак | Плазменная установка |
-
1999
- 1999-10-26 RU RU99122426A patent/RU2171314C2/ru active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU503601A1 (ru) * | 1974-05-17 | 1976-02-25 | Научно-Исследовательский И Конструкторско-Технологический Институт Эмалированного Химического Оборудования | Плазмотрон дл напылени |
| SU839589A1 (ru) * | 1979-09-17 | 1981-06-28 | Ордена Ленина Физико-Техническийинститут Им. A.Ф.Иоффе Ah Cccp | Способ газотермического напылени пОКРыТий HA издЕлиЕ и уСТРОйСТВО дл ЕгО ОСущЕСТВлЕНи |
| RU2071188C1 (ru) * | 1993-09-16 | 1996-12-27 | Игорь Константинович Батрак | Плазменная установка |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| КУДИНОВ В.В., БОБРОВ Г.В. Нанесение покрытий напылением, Теория, технология и оборудование. Учебник для вузов. - М.: Металлургия, 1992, с. 432. * |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EA010940B1 (ru) * | 2004-11-05 | 2008-12-30 | Дау Корнинг Айэлэнд Лимитед | Плазменная система |
| RU2366122C1 (ru) * | 2007-12-25 | 2009-08-27 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Исследовательский Центр имени М.В. Келдыша" | Плазмотрон для нанесения покрытий |
| CN114231884A (zh) * | 2021-12-10 | 2022-03-25 | 浙江巴顿焊接技术研究院 | 一种激光蒸发后进行等离子沉积的镀膜方法 |
| CN114231884B (zh) * | 2021-12-10 | 2024-03-22 | 浙江巴顿焊接技术研究院 | 一种激光蒸发后进行等离子沉积的镀膜方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2205576C (en) | An apparatus for generation of a linear arc discharge for plasma processing | |
| EP1390964B1 (en) | Dipole ion source | |
| CA1326886C (en) | Plasma generating apparatus and method | |
| US6849854B2 (en) | Ion source | |
| CA2254677C (en) | Apparatus for sputtering or arc evaporation | |
| JP3547485B2 (ja) | 平板マグネトロンスパッタリング装置 | |
| US4551221A (en) | Vacuum-arc plasma apparatus | |
| EP0703302A1 (en) | A method for depositing a coating onto a substrate by means of thermal spraying and an apparatus for carrying out said method | |
| JPH0510422B2 (ru) | ||
| JP6134394B2 (ja) | プラズマ源および当該プラズマ源を備える真空蒸着装置 | |
| JP3733461B2 (ja) | 複合トーチ型プラズマ発生方法及び装置 | |
| US6706157B2 (en) | Vacuum arc plasma gun deposition system | |
| US4847476A (en) | Ion source device | |
| RU2171314C2 (ru) | Плазматрон для лазерно-плазменного нанесения покрытия | |
| US5466941A (en) | Negative ion sputtering beam source | |
| CN111621751B (zh) | 一种多模式调制弧源装置 | |
| JP2001500569A (ja) | ガス流スパッタリングにより基板を被覆する方法及び装置 | |
| RU2022493C1 (ru) | Плазменный ускоритель с замкнутым дрейфом электронов | |
| RU2011154038A (ru) | Установка для ионно-лучевой и плазменной обработки | |
| CN102296274B (zh) | 用于阴极弧金属离子源的屏蔽装置 | |
| RU2311492C1 (ru) | Устройство для высокоскоростного магнетронного распыления | |
| RU2107970C1 (ru) | Магнетронная распылительная система | |
| JP3555033B2 (ja) | 負圧又は真空中において材料蒸気によつて基板を被覆する装置 | |
| US20100230276A1 (en) | Device and method for thin film deposition using a vacuum arc in an enclosed cathode-anode assembly | |
| RU2070944C1 (ru) | Устройство для нанесения покрытий на протяжные гибкие изделия |