RU2141708C1 - Device for pumping high-power pulse-periodic gas laser - Google Patents
Device for pumping high-power pulse-periodic gas laser Download PDFInfo
- Publication number
- RU2141708C1 RU2141708C1 RU98104806A RU98104806A RU2141708C1 RU 2141708 C1 RU2141708 C1 RU 2141708C1 RU 98104806 A RU98104806 A RU 98104806A RU 98104806 A RU98104806 A RU 98104806A RU 2141708 C1 RU2141708 C1 RU 2141708C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- discharge
- circuit
- electrodes
- anode
- electrode
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области квантовой электроники и может быть использовано в мощных технологических CO2-лазерах импульсно-периодического действия с предыонизацией лазерной среды ультрафиолетовым (УФ) излучением. В частности изобретение предназначено для использования в составе лазерного комплекса для разделения изотопов углерода.The invention relates to the field of quantum electronics and can be used in powerful technological CO 2 lasers of pulsed-periodic action with preionization of the laser medium with ultraviolet (UV) radiation. In particular, the invention is intended for use in a laser complex for the separation of carbon isotopes.
Для формирования импульсного устойчивого объемного самостоятельного разряда (ОСР) атмосферного давления используется предварительная ионизация газовой среды путем создания минимальной начальной концентрации электронов во всем активном объеме газовой среды и максимально быстрого подъема напряжения до величины выше статического пробивного либо путем предварительного дрейфового заполнения разрядной области электронами производимых внешним источником ионизации в прикатодной области разрядного промежутка. For the formation of a pulsed stable volumetric self-sustained discharge (ODS) of atmospheric pressure, preliminary ionization of the gaseous medium is used by creating a minimum initial concentration of electrons in the entire active volume of the gaseous medium and raising the voltage as quickly as possible to a value above the static breakdown or by pre-drift filling the discharge region with electrons produced by an external source ionization in the cathode region of the discharge gap.
Известна электроразрядная система возбуждения активной среды CO2-лазеров с самостоятельным разрядом и УФ-предварительной ионизацией, содержащая сплошной алюминиевый электрод - катод и анод, выполненный из стальной сетки, в которой для питания разряда использован двухступенчатый генератор Маркса [1] . Импульс напряжения между вспомогательным многоострийным электродом и сеткой приводит к образованию коронных разрядов, переходящих в искровые и служащих источником предварительной ионизации в основном разрядном объеме.Known electric-discharge system for the excitation of the active medium of CO 2 lasers with self-discharge and UV-preliminary ionization, containing a solid aluminum electrode - a cathode and anode made of steel mesh, in which a two-stage Marx generator was used to power the discharge [1]. The voltage pulse between the auxiliary multi-tip electrode and the grid leads to the formation of corona discharges that pass into spark discharges and serve as a source of preliminary ionization in the main discharge volume.
Недостатком такого устройства накачки лазерной среды является сложность эксплуатации элементов импульсных систем питания при применении импульсных водородных тиратронов, превышение любого из параметров которых приводит к резкому сокращению ресурса их работы. В результате этого реально достижимый уровень мощности TEA CO2-лазера находится в пределах 0,5-1,0 кВт.The disadvantage of such a device for pumping a laser medium is the difficulty of operating elements of pulsed power systems when using pulsed hydrogen thyratrons, exceeding any of the parameters of which leads to a sharp reduction in the resource of their work. As a result of this, the feasible power level of the TEA CO 2 laser is in the range of 0.5-1.0 kW.
Известна схема установки для формирования потока электронов, дрейфующих в электрическом поле, без предварительной ионизации всего рабочего объема, в которой заземленный сетчатый катод установлен между анодом и вспомогательным электродом вблизи последнего, между катодом и вспомогательным электродом приложено напряжение -U1, на анод подано напряжение смещения +U0; источником электронов служит вспомогательный разряд, зажигаемый под сетчатым катодом, поток электронов формируется при наложении электрического поля на плазму вспомогательного разряда и под действием этого поля часть электронов выталкивается в основной разрядный промежуток между катодом и анодом, где поток электронов поддерживается напряжением смещения U0 [2].A known installation diagram for generating a flow of electrons drifting in an electric field without prior ionization of the entire working volume, in which a grounded mesh cathode is installed between the anode and the auxiliary electrode near the latter, a voltage of -U 1 is applied between the cathode and the auxiliary electrode, a bias voltage is applied to the anode + U 0 ; the electron source is an auxiliary discharge ignited under the mesh cathode, an electron stream is formed when an electric field is applied to the auxiliary discharge plasma, and under the influence of this field a part of the electrons is pushed into the main discharge gap between the cathode and the anode, where the electron flow is supported by a bias voltage U 0 [2] .
Эта схема была применена в экспериментах по формированию ОСР на установке с активным объемом 10х10х40 см в смесях газов CO2:N2:He, на которой удалось реализовать ОСР в указанной смеси при атмосферном давлении с добавками триэтиламина. Заполнение разрядного объема потоком электронов позволяет отказаться от профилирования электродов и существенно снизить уровень рабочих напряжений. Недостатком такого устройства накачки является необходимость применения легкоионизируемых добавок в виде триэтиламина.This scheme was applied in experiments on the formation of OCP in a setup with an active volume of 10 × 10 × 40 cm in gas mixtures of CO 2 : N 2 : He, on which it was possible to realize OCP in the specified mixture at atmospheric pressure with the addition of triethylamine. Filling the discharge volume with an electron flow allows you to abandon the profiling of the electrodes and significantly reduce the level of operating voltage. The disadvantage of such a pumping device is the need for easily ionized additives in the form of triethylamine.
Известно устройство четырехсекционного CO2-лазера, секции которого запитаны от независимых источников накачки, выполненных в виде двухступенчатых генераторов импульсного напряжения Аркадьева-Маркса, разряжаемых через индуктивность на емкость, включенную параллельно разрядному промежутку; в качестве легкоионизируемых добавок использованы в основном трипропиламин и триэтиламин, имеющие максимальное сечение пеннинговской ионизации и эффективно ионизируемые УФ-излучением, в результате чего была создана достаточная для зажигания ОСР концентрация фотоэлектронов не только непосредственно на поверхности катода, но и на большом удалении от него [3].A device is known for a four-section CO 2 laser, the sections of which are powered by independent pump sources, made in the form of two-stage Arkadyev-Marx pulse voltage generators, discharged through an inductance to a capacitor connected in parallel with the discharge gap; tripropylamine and triethylamine, which have a maximum Penning ionization cross section and are effectively ionized by UV radiation, were used as readily ionizable additives, as a result of which a concentration of photoelectrons was sufficient for ignition of OCRs not only directly on the cathode surface, but also at a great distance from it [3 ].
Такое устройство имеет предельно компактную конструкцию электродов и не требует применения в схеме накачки малоиндуктивных конденсаторов, однако в нем также применяются легкоионизируемые добавки. Such a device has an extremely compact design of the electrodes and does not require the use of low-inductance capacitors in the pump circuit, but it also uses easily ionized additives.
Общим недостатком систем формирования объемного разряда [2, 3] с апертурой более 10 см2, кроме применения легкоионизируемых добавок, является необходимость использования многоканальных источников УФ-предыонизации, расположенных за одним из электродов разряда накачки. Использование таких предыонизаторов в лазерах импульсно-периодического действия технически крайне затруднительно.A common drawback of volume discharge formation systems [2, 3] with an aperture of more than 10 cm 2 , in addition to the use of easily ionized additives, is the need to use multi-channel UV preionization sources located behind one of the pump discharge electrodes. The use of such preionizers in pulsed-periodic lasers is technically extremely difficult.
Известно электроразрядное лазерное устройство, которое может быть использовано для накачки мощного импульсно-периодического газового лазера, содержащее электроды разряда накачки газовой среды и импульсную систему питания, выполненную по схеме LC-генератора (Фитча-Говелла), в которой к электродам присоединена последовательная цепь из двух накопительных конденсаторов C1 и C2, средняя точка этой цепи через разрядное сопротивление подключена к источнику напряжения и к электроду коммутатора (разрядника), второй электрод которого соединен с накопительным конденсатором C1 и одним из электродов разряда, который присоединен к общей шине схемы, а параллельно цепи из конденсаторов C1 и C2 подключено второе зарядное сопротивление; в схеме создан отдельный контур для осуществления УФ-предыонизации в виде второго разрядника, разрядный промежуток которого установлен на периферии боковой зоны газовой среды между электродами разряда накачки, причем один из электродов этого разрядника соединен с общей шиной схемы, а другой соединен с высоковольтным выводом дополнительных конденсаторов C3, снабженных схемой питания и поджига [4].It is known an electric-discharge laser device that can be used to pump a high-power repetitively pulsed gas laser containing electrodes for pumping a gas medium and a pulsed power supply system made according to the scheme of an LC generator (Fitch-Gauvel), in which a series circuit of two is connected to the electrodes storage capacitors C 1 and C 2, the middle point of the circuit through the discharge resistor is connected to a voltage source and switch electrode (spark gap), the second electrode of which is connected storage capacitor C 1 and a discharge electrode which is connected to the common bus scheme, and the parallel circuit of the capacitors C 1 and C 2 connected to the second charging resistance; a separate circuit has been created in the circuit for the implementation of UV preionization in the form of a second spark gap, the discharge gap of which is installed on the periphery of the side zone of the gas medium between the electrodes of the discharge discharge, one of the electrodes of this spark gap being connected to the common circuit bus and the other connected to the high-voltage output of additional capacitors C 3 equipped with a power and ignition circuit [4].
Индуктивностями в этой схеме являются собственные индуктивности токоподводов. Преимуществом LC-генератора по сравнению с генератором Маркса является то, что через разрядник LC-генератора не прокачивается вся энергия, запасенная в накопительных конденсаторах, так что коммутатор работает в облегченных условиях. Это позволяет вместо разрядника использовать тиратрон и осуществлять импульсно-периодический режим работы лазера с высокой частотой следования импульсов. Предыонизация в этой схеме осуществляется автоматически перед пробоем основного газоразрядного промежутка за счет рядов искр, возникающих при зарядке дополнительных конденсаторов C3.The inductances in this circuit are the inductors of the current leads. The advantage of the LC generator over the Marx generator is that all the energy stored in the storage capacitors is not pumped through the spark gap of the LC generator, so that the switch operates in light conditions. This makes it possible to use a thyratron instead of a spark gap and to carry out a pulse-periodic laser operation with a high pulse repetition rate. Preionization in this scheme is carried out automatically before the breakdown of the main gas-discharge gap due to the series of sparks that arise when charging additional C 3 capacitors.
Таким образом, главным достоинством этого электроразрядного устройства является принципиальная возможность снижения требований к импульсной системе питания разряда за счет исключения сильноточного коммутатора из цепи основного разряда накачки. Однако осуществить значительную разгрузку элементов импульсной системы питания лазера не удается. Thus, the main advantage of this electric-discharge device is the fundamental possibility of reducing the requirements for a pulsed discharge power system by eliminating the high-current switch from the main pump discharge circuit. However, significant unloading of the elements of the pulsed laser power supply system is not possible.
Изобретение решает задачу увеличения средней мощности и длительности непрерывной работы технологического лазера, а также повышения надежности и ресурса работы основных его элементов. The invention solves the problem of increasing the average power and duration of continuous operation of the technological laser, as well as improving the reliability and service life of its main elements.
Сущность изобретения заключается в устройстве накачки мощного имульсно-периодического газового лазера, содержащем электроды разряда накачки, импульсную систему питания, выполненную по схеме LC-генератора, в которой к электродам разряда, один из которых соединен с общей шиной схемы, присоединена последовательная цепь из накопительных конденсаторов, средняя точка которой подключена к высоковольтному вводу источника напряжения, другой электрод разряда накачки через зарядное сопротивление соединен с общей шиной схемы, нижнее плечо цепи конденсаторов присоединено к основным электродам сильноточного коммутатора выполненного на тиратроне, причем схема снабжена предыонизатором УФ-излучения, выполненным в виде установленного в зоне газовой среды искрового разрядника, на котором создается напряжение поджига. Электрод разряда накачки, соединенный с зарядным сопротивлением и являющийся катодом, выполнен сплошным из материала с повышенными фотоэмиссионными свойствами, а другой электрод, являющийся анодом, имеет плоскую прямоугольную форму и в его центральной части выполнено окно в виде решетки, прозрачное для УФ-излучения, искровой разрядник предыонизатора выполнен линейным многозазорным и расположен непосредственно под решеткой анода, а средняя точка цепи накопительных конденсаторов соединена с анодом тиратрона через первичную обмотку введенного в схему дросселя-трансформатора, вторичные обмотки которого присоединены к секциям многозазорного разрядника. The essence of the invention lies in a pump device for a high-power pulse-periodic gas laser containing electrodes for a discharge discharge, a pulsed power supply system made according to the LC generator circuit, in which a series circuit of storage capacitors is connected to the discharge electrodes, one of which is connected to a common circuit bus , the middle point of which is connected to the high-voltage input of the voltage source, another discharge discharge electrode through the charging resistance is connected to the common circuit bus, the lower arm of the circuit condensers connected to the main electrodes formed on a high-current switch thyratron circuit being provided preioniser UV radiation, made in the form established in the zone of the gaseous medium spark gap, which is created on ignition voltage. The pump discharge electrode connected to the charging resistance and being the cathode is made continuous of a material with enhanced photoemissive properties, and the other electrode, which is the anode, has a flat rectangular shape and in its central part a window is made in the form of a grating, transparent to UV radiation, spark the preionizer spark gap is linearly multi-gap and located directly below the anode grid, and the midpoint of the storage capacitor circuit is connected to the thyratron anode through the primary winding connected to the inductor-transformer circuit, the secondary windings of which are connected to sections of a multi-gap arrester.
В частном случае исполнения предложенного устройства накачки сплошной электрод - катод выполняется из меди, латуни или магния, а дроссель-трансформатор выполнен в виде воздушного кабельного трансформатора, намотанного на диэлектрический цилиндр. In the particular case of the implementation of the proposed pumping device, the solid electrode - cathode is made of copper, brass or magnesium, and the choke-transformer is made in the form of an air cable transformer wound on a dielectric cylinder.
Важнейшим достоинством предложенной схемы является то, что длительность τ и скорость нарастания dI/dt и амплитуда I тока через тиратрон и разрядный промежуток определяются разными разрядными контурами. При этом очевидно, что чем больше удается "затянуть" фронт нарастания напряжения на разрядном промежутке, тем меньшие значения этих параметров реализуются в контуре, коммутируемом тиратроном. Техническим результатом, возникающим при использовании изобретения, является увеличение средней мощности импульсно-периодических CO2-лазеров до 4 кВт при применении выпускаемых отечественной промышленностью водородных тиратронов ТГИ1-2500/50 и длительности непрерывной работы таких лазеров до нескольких часов при частоте следования импульсов до 200 Гц.The most important advantage of the proposed scheme is that the duration τ and the slew rate dI / dt and the amplitude I of the current through the thyratron and the discharge gap are determined by different discharge circuits. It is obvious that the more it is possible to “tighten” the front of the voltage rise across the discharge gap, the lower the values of these parameters are realized in the circuit switched by the thyratron. The technical result arising from the use of the invention is to increase the average power of repetitively pulsed CO 2 lasers up to 4 kW when using TGI-2500/50 hydrogen thyratrons manufactured by the domestic industry and the duration of continuous operation of such lasers up to several hours at a pulse repetition rate of up to 200 Hz .
Изобретение поясняется чертежом, где на фиг.1 изображен пример конструкции устройства накачки, а на фиг. 2 - электрическая схема импульсной системы питания для возбуждения разряда накачки. The invention is illustrated by the drawing, in which Fig. 1 shows an example of the construction of a pumping device, and in Fig. 2 is an electrical diagram of a pulsed power system for exciting a pump discharge.
Высоковольтный сплошной электрод - катод 1 размерами 80х20х420 мм, изготовленный из латуни, имеет профилированную форму и расположен над плоским заземленным прямоугольным электродом - анодом 2 размерами 400х160 мм, изготовленным из меди, в центральной части которого выфрезерованы пазы шириной 3 мм, длиной 50 мм и шагом 3 мм так, что в нем образовано окно в виде решетки, прозрачное для УФ-излучения. Под решеткой анода установлен предыонизатор 3, представляющий из себя линейный многоэлементный искровой разрядник, зазоры которого противолежат отверстиям анодной решетки. Предыонизатор разбит на две секции. Электроды установлены на крышках 4, 5 диэлектрической газоразрядной камеры, состыкованной с газодинамическим трактом лазера. Электроды разряда накачки малоиндуктивно соединены с накопительными конденсаторами 6 импульсной системы питания с использованием высоковольтного ввода 7. Поперечное сечение разрядной области (380х50 мм) определяется размерами плоской части катода, межэлектродное расстояние составляет величину 40 мм, а точная установка зазоров осуществляется юстировочными винтами 8 (фиг. 1). Импульсная система питания (фиг. 2) построена по принципу схемы LC-генератра (Фитча-Говелла), в которой сильноточный коммутатор (тиратрон) 9 исключен из цепи разряда накачки. Анод тиратрона 9 соединен со средней точкой последовательной цепи накопительных конденсаторов 6 через первичную обмотку специально разработанного для этой системы дросселя-трансформатора 10, вторичные обмотки которого присоединены к секциям многозазорного разрядника 3. Секционная конструкция предыонизатора использована для уменьшения расстояния между источниками УФ-излучения и разрядной областью. Индуктивное зарядное сопротивление 11 соединяет катод 1 с общей шиной схемы, с которой соединен катод тиратрона 9 и вывод нижнего плеча цепи накопительных конденсаторов 6, вывод верхнего плеча которой подключен к катоду 1. Средняя точка цепи накопительных конденсаторов подключена к источнику напряжения +U. Дроссель-трансформатор 10 представляет собой воздушный кабельный трансформатор, намотанный на диэлектрический цилиндр. A high-voltage continuous electrode -
Устройство работает следующим образом. The device operates as follows.
Между электродами 1 и 2 газоразрядной камеры (фиг. 1) создается необходимая для работы ТЕА-CO2-лазера газовая смесь. В начальный момент времени накопительные конденсаторы 6 заряжены от источника до напряжения U0, причем верхнее плечо LC-генератора импульсно заряжается через индуктивность 11 (фиг. 2). После запуска тиратрона 9 начинается перезаряд через индуктивность первичной обмотки дросселя-трансформатора 10 нижнего накопительного конденсатора 6 и одновременно происходит подъем напряжения на разрядном промежутке. Напряжение, возникающее на вторичных обмотках дросселя-трансформатора 10, нагруженных на секции предыонизатора 3, обеспечивает искрообразование в зазорах разрядника и УФ- предыонизацию газоразрядного промежутка на протяжении полной длительности нарастания напряжения. Длительность фронта напряжения перезаряда определяется величиной индуктивности первичной обмотки дросселя-трансформатора 10 и при достижении величины напряжения до некоторого значения U1(U0<U1<2U0) происходит разряд последовательно соединенных накопительных конденсаторов 6 через газоразрядный промежуток между электродами 1 и 2 и обеспечивается устойчивый объемный самостоятельный разряд в газовой смеси лазера. Секционная конструкция предыонизатора 3, секции которого подключены к отдельной обмотке дросселя-трансформатора 10, обеспечивает также одновременное срабатывание секций и, следовательно, синхронную работу источников УФ-излучения.Between the
В приведенном примере (aиг. 1, 2) описана конструкция разрядного модуля, использованная при разработке системы накачки TEA-CO2-лазера средней мощностью 4 кВт, входящего в лазерный комплекс для разделения изотопов углерода [5]. Электродная система состоит из трех идентичных, но электрически несоединенных пар электродов. Каждая пара электродов снабжена импульсной системой питания с отдельным предыонизатором (многоэлементным искровым разрядником). К каждому промежуточному элементу разрядника подключена небольшая емкость (100 пФ), соединенная с заземленным электродом, что позволило снизить пробивное напряжение и повысить стабильность работы предыонизатора в частотном режиме. Пробой разрядных промежутков предыонизатора происходит через 200 нс после запуска, а ток через предыонизатор поддерживается в течение всей длительности нарастания напряжения на основном разрядном промежутке. Конструктивно предыонизатор выполнен в виде автономных блоков, что позволяет осуществлять их оперативную замену без снятия газоразрядной камеры. Каждая секция предыонизатора имеет восемь разрядных промежутков, расположенных с шагом 24 мм. В качестве сильноточных коммутаторов использованы выпускаемые промышленностью водородные тиратроны типа ТГИ1- 2500/50. Эквивалентная индуктивность дросселя-трансформатора, приведенная к первичной обмотке, составляет величину 5•10-6 Гн. Так как водородные тиратроны имеют разброс по времени срабатывания, которое кроме того может изменяться по мере их старения, в устройстве накачки лазерного комплекса используется система синхронизации, позволяющая регулировать момент срабатывания каждого тиратрона. Кроме того, используется система стабилизации накала импульсных тиратронов с фазоимпульсным регулятором, поскольку надежная работа тиратронных ключей возможна только при стабилизации напряжения накала и напряжения на генераторе водорода на уровне 2-3%.The above example (aig. 1, 2) describes the construction of the discharge module used in the development of the pumping system of a TEA-CO 2 laser with an average power of 4 kW, which is part of a laser complex for the separation of carbon isotopes [5]. The electrode system consists of three identical but electrically unconnected pairs of electrodes. Each pair of electrodes is equipped with a pulsed power supply system with a separate preionizer (multi-element spark gap). A small capacitance (100 pF) connected to a grounded electrode is connected to each intermediate element of the arrester, which made it possible to reduce the breakdown voltage and increase the stability of the preionizer in the frequency mode. The breakdown of the discharge gaps of the preionizer occurs 200 ns after the start, and the current through the preionizer is maintained during the entire duration of the voltage rise in the main discharge gap. Structurally, the preionizer is made in the form of autonomous units, which allows for their quick replacement without removing the gas discharge chamber. Each section of the preionizer has eight discharge gaps located in 24 mm increments. Hydrogen thyratrons of the TGI1-250 / 50 type manufactured by the industry were used as high-current switches. The equivalent inductance of the inductor-transformer, reduced to the primary winding, is 5 • 10 -6 GN. Since hydrogen thyratrons have a spread in response time, which, in addition, can change as they age, a laser system uses a synchronization system to adjust the response time of each thyratron. In addition, a stabilization system for pulsed thyratrons with a phase-pulse regulator is used, since reliable operation of thyratron switches is possible only when the voltage and voltage on the hydrogen generator are stabilized at 2-3%.
Источники информации
1. Е.П.Велихов и др., Импульсные CO2-лазеры и их применение для разделения изотопов. -М.: Наука, 1983, с. 109-118, Рис. 3.19к.Sources of information
1. EP Velikhov et al., Pulse CO 2 lasers and their use for isotope separation. -M .: Nauka, 1983, p. 109-118, Fig. 3.19k
2. В.В.Апполонов и др., Формирование объемного самостоятельного разряда в плотных газах при больших межэлектродных расстояниях. -Письма в ЖТФ, том 11, выпуск 20, 26.10.85, с. 1262-1267. 2. V.V. Appolonov et al., Formation of a self-sustained volume discharge in dense gases at large interelectrode distances. -Letters in ZhTF,
3. В.В.Апполонов и др., Мощный электроразрядный CO2-лазер с добавками в смесь легкоионизируемых веществ. -Квантовая электроника, том 12, N1, 1985, с. 5-9.3. V.V. Appolonov et al., Powerful electric-discharge CO 2 laser with additives in a mixture of easily ionized substances. -Quantum Electronics, Volume 12, N1, 1985, p. 5-9.
4. В.Ю.Баранов и др., Электроразрядные эксимерные лазеры на галогенидах инертных газов.- М.: Энергоиздат, 1988, с. 103-107 (прототип). 4. V.Yu. Baranov et al., Electric-discharge excimer lasers based on inert gas halides. - M.: Energoizdat, 1988, p. 103-107 (prototype).
5. А. В. Астахов и др., Лазерный комплекс для разделения изотопов углерода. -Тезисы докладов конференции "Прикладная оптика - 96". -Санкт-Петербург, сентябрь 1996, с. 265. 5. A. V. Astakhov et al., Laser complex for the separation of carbon isotopes. - Abstracts of the conference "Applied Optics - 96". St. Petersburg, September 1996, p. 265.
Claims (4)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU98104806A RU2141708C1 (en) | 1998-03-10 | 1998-03-10 | Device for pumping high-power pulse-periodic gas laser |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU98104806A RU2141708C1 (en) | 1998-03-10 | 1998-03-10 | Device for pumping high-power pulse-periodic gas laser |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2141708C1 true RU2141708C1 (en) | 1999-11-20 |
Family
ID=20203446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU98104806A RU2141708C1 (en) | 1998-03-10 | 1998-03-10 | Device for pumping high-power pulse-periodic gas laser |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2141708C1 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2189679C2 (en) * | 2000-06-30 | 2002-09-20 | Государственное унитарное предприятие "НПО Астрофизика" | Process of pumping of active medium into continuous-wave gaseous-discharge laser with electrodes carrying dielectric coats |
| RU2216836C2 (en) * | 2002-01-04 | 2003-11-20 | Институт сильноточной электроники СО РАН | Pulse gas laser based on mixtures of inert gases with halogenides |
| RU2642852C1 (en) * | 2016-10-27 | 2018-01-29 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Device for stationary generation of ion beam |
| RU2773113C1 (en) * | 2021-08-12 | 2022-05-30 | Общество с ограниченной ответственностью «Сервотехника» | Two-stroke autogenerator of a high-frequency pump unit of a gas laser |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1983003720A1 (en) * | 1982-04-19 | 1983-10-27 | Kraftwerk Union Ag | Energization circuit of a laser system, particularly a high energy te laser, with preionization adjustment |
| EP0510664A1 (en) * | 1991-04-25 | 1992-10-28 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Discharge-pumped gas laser with independent preionizing circuit |
-
1998
- 1998-03-10 RU RU98104806A patent/RU2141708C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1983003720A1 (en) * | 1982-04-19 | 1983-10-27 | Kraftwerk Union Ag | Energization circuit of a laser system, particularly a high energy te laser, with preionization adjustment |
| EP0510664A1 (en) * | 1991-04-25 | 1992-10-28 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Discharge-pumped gas laser with independent preionizing circuit |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Баранов В.Ю. и др. Электроразрядные эксимерные лазеры на галогенидах инертных газов. - М.: Энергоиздат, 1988, с. 103 - 107. * |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2189679C2 (en) * | 2000-06-30 | 2002-09-20 | Государственное унитарное предприятие "НПО Астрофизика" | Process of pumping of active medium into continuous-wave gaseous-discharge laser with electrodes carrying dielectric coats |
| RU2216836C2 (en) * | 2002-01-04 | 2003-11-20 | Институт сильноточной электроники СО РАН | Pulse gas laser based on mixtures of inert gases with halogenides |
| RU2642852C1 (en) * | 2016-10-27 | 2018-01-29 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Device for stationary generation of ion beam |
| RU2773113C1 (en) * | 2021-08-12 | 2022-05-30 | Общество с ограниченной ответственностью «Сервотехника» | Two-stroke autogenerator of a high-frequency pump unit of a gas laser |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5247531A (en) | Apparatus for preionizing apulsed gas laser | |
| US4393505A (en) | Gas discharge laser having a buffer gas of neon | |
| EP0463815B1 (en) | Vacuum ultraviolet light source | |
| US4534035A (en) | Tandem electric discharges for exciting lasers | |
| RU2446530C1 (en) | Pulse-periodic gas-discharge laser | |
| US4105952A (en) | High repetition rate pulsed laser discharge system | |
| US4542529A (en) | Preionizing arrangement for transversely excited lasers | |
| US4709373A (en) | Laser excitation system | |
| RU2141708C1 (en) | Device for pumping high-power pulse-periodic gas laser | |
| Apollonov et al. | High-power electric-discharge CO2 laser with easily ionizable substances addedto the mixture | |
| CA2066804C (en) | Discharge-pumped gas laser with independent preionizing circuit | |
| RU2017289C1 (en) | Device for pumping of gas flowing laser | |
| RU2089981C1 (en) | Set of electrodes for shaping self-maintained space discharge | |
| RU2029423C1 (en) | Method of generation in gas electric discharge laser and gas electric discharge laser | |
| Baranov et al. | Wide-aperture electric-discharge XeCl laser with ultraviolet preionizationand 20-J output energy | |
| EP0059689B1 (en) | Pre-ionization integrator with h.t. switch for pulsed gas laser | |
| RU2124255C1 (en) | Electric-discharge laser | |
| RU2032972C1 (en) | Electric discharge laser | |
| RU232324U1 (en) | Gas discharge device with longitudinal electric discharge | |
| RU2219626C2 (en) | Electric-discharge kinetic-reaction hf (df) laser | |
| RU2096881C1 (en) | Device for discharge initiation in gas laser | |
| Panchenko et al. | Pulsed gas lasers pumped by generators with inductive energy storage | |
| RU201615U9 (en) | Device for supplying a gas-discharge lamp | |
| JP2996706B2 (en) | Pulse laser oscillation device | |
| RU2216836C2 (en) | Pulse gas laser based on mixtures of inert gases with halogenides |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20120311 |