RU2035803C1 - Способ получения электропроводящего полимерного покрытия на подложке - Google Patents
Способ получения электропроводящего полимерного покрытия на подложке Download PDFInfo
- Publication number
- RU2035803C1 RU2035803C1 SU5056735/25A SU5056735A RU2035803C1 RU 2035803 C1 RU2035803 C1 RU 2035803C1 SU 5056735/25 A SU5056735/25 A SU 5056735/25A SU 5056735 A SU5056735 A SU 5056735A RU 2035803 C1 RU2035803 C1 RU 2035803C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- substrate
- polymer
- manufacture
- conductive polymer
- electrode
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 8
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 title claims abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims abstract description 3
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 12
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 10
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000002322 conducting polymer Substances 0.000 claims 1
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 claims 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 abstract 1
- NYGSPCGCXLLSCZ-UHFFFAOYSA-N oct-1-ene-1,3-dione Chemical compound CCCCCC(=O)C=C=O NYGSPCGCXLLSCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 19
- KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N Pyrrole Chemical compound C=1C=CNC=1 KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229920000557 Nafion® Polymers 0.000 description 8
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 7
- QENGPZGAWFQWCZ-UHFFFAOYSA-N 3-Methylthiophene Chemical compound CC=1C=CSC=1 QENGPZGAWFQWCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical compound C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 3
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000008346 aqueous phase Substances 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- MHCFAGZWMAWTNR-UHFFFAOYSA-M lithium perchlorate Chemical compound [Li+].[O-]Cl(=O)(=O)=O MHCFAGZWMAWTNR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910001486 lithium perchlorate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229930192474 thiophene Natural products 0.000 description 2
- OXHNLMTVIGZXSG-UHFFFAOYSA-N 1-Methylpyrrole Chemical compound CN1C=CC=C1 OXHNLMTVIGZXSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021607 Silver chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229940075397 calomel Drugs 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- ZOMNIUBKTOKEHS-UHFFFAOYSA-L dimercury dichloride Chemical compound Cl[Hg][Hg]Cl ZOMNIUBKTOKEHS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 1
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- NZMAJUHVSZBJHL-UHFFFAOYSA-N n,n-dibutylformamide Chemical compound CCCCN(C=O)CCCC NZMAJUHVSZBJHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- XFSWDAWCXKZKBZ-UHFFFAOYSA-N oct-1-ene-3,6-dione Chemical compound CCC(=O)CCC(=O)C=C XFSWDAWCXKZKBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005486 organic electrolyte Substances 0.000 description 1
- 239000012074 organic phase Substances 0.000 description 1
- VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-M perchlorate Inorganic materials [O-]Cl(=O)(=O)=O VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- -1 perchlorate anions Chemical class 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000004626 scanning electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 239000013049 sediment Substances 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M silver monochloride Chemical compound [Cl-].[Ag+] HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000019635 sulfation Effects 0.000 description 1
- 238000005670 sulfation reaction Methods 0.000 description 1
- 125000000020 sulfo group Chemical group O=S(=O)([*])O[H] 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Polyoxymethylene Polymers And Polymers With Carbon-To-Carbon Bonds (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Abstract
Использование: в технологии производства электронной техники, в частности при нанесении полимерного покрытия на подложки. Сущность изобретения: способ получения электропроводящего полимерного покрытия на подложке включает электрополимеризацию мономера в присутствии полифторированного сульфокатионита, в качестве которого используют сополимер этилена с перфтор-(4-метил, 3,6-диоксооктен, 7-сульфокислотой), концентрацией 0,73·10-3 M, а полимеризацию ведут в ацетонитриле. 1 з.п. ф-лы.
Description
Изобретение относится к технологии производства электронной техники и касается нанесения активного диэлектрика или полупроводника на полупроводниковые подложки. В качестве активного диэлектрика, который наносят на кремниевую подложку, покрытую слоем оксида кремния, могут быть использованы пленки из полисопряженных полимеров (полианилин, полипиррол, политиофен и др.) с проводимостью, зависящей от уровня допирования. Последняя определяется редокс-состоянием полимера и концентрацией противоионов, компенсирующих заряд полимерной цепи. Это позволяет изготавливать полевые транзисторы, в которых канал между стоковым и истоковым электродами формируется полисопряженным полимером, проводимость которого можно задавать как при изготовлении, так и в процессе эксплуатации прибора (микроэлектрохимический транзистор).
Известны способы получения полимерных покрытий на полупроводниковой подолжке путем электрополимеризации гетероциклических мономеров (пиррол, тиофен) из водного или органического электролита, содержащего простую растворимую соль [1] Однако при этом трудно добиться хорошей адгезии покрытия к подложке и избежать его деформации при сушке, что приводит к большому проценту брака.
Ближайшим к изобретению является способ получения полимерного покрытия путем анодной электрополимеризации пиррола из водного раствора перхлората лития на электроде, содержащем предварительно нанесенное покрытие из геля полифторированного сульфокатионита Нафиона [2] с общей формулой
CF2-CFCF2- где m 5-1, n ≈ 1000.
CF2-CFCF2- где m 5-1, n ≈ 1000.
Для приготовления геля мембрану из Нафиона растворяли в смеси этилового спирта и воды в соотношении 1:1 при 250о С в автоклаве. Полученный раствор выпаривали при 100о С и сухой полимер измельчали при температуре жидкого азота. Для приготовления геля порошок полимера выдерживали в смеси дибутилфоpмамида и ацетонитрила, добавляли мономер пиррола и полученный гель выливали на проводящую подложку из ИТО. Ацетонитрил удаляли продувкой азота через гель в течение 2 ч для отверждения пленки, затем электрод опускали в водный раствор перхлората лития и вели полимеризацию при постоянном потенциале 1 В относительно нормального каломельного электрода. После полимеризации пленку отделяли от электрода, промывали ацетонитрилом от непрореагировавшего пиррола, сушили под вакуумом при 70о С. Для исследования физико-химических свойств пленку приклеивали к электродам серебряной пастой.
Недостатками прототипа являются сложность и многостадийность получения на электроде геля Нафиона, использование сложной двухфазной системы с электролитом в водной фазе и гидрофобным гелем Нафиона в органической фазе, невозможность получения покрытия на изделиях сложной формы, например структуре полевого транзистора. Сульфогруппы Нафиона допируют полипиррол только на 20% остальные положительные заряды на цепи полимера (13%) компенсируют анионы перхлората из водной фазы. Сложность и многостадийность получения композиционной пленки приводит к значительному разбросу данных по физико-химическим характеристикам (проводимость, электрохимические свойства и др. ) из-за небольших отклонений в технологическом режиме использованной партии Нафиона при последующей отмывке покрытия от мономера и электролита, а также в результате различного содержания геля Нафиона в полученном композите из-за трудности получения пленки одной и той же толщины. В результате соотношение полимерной матрицы Нафиона и полипиррола меняется от образца к образцу, что приводит к разбросу физико-химических характеристик.
Техническим результатом изобретения является обеспечение возможности получения стабильных физико-химических свойств электропроводящего полимерного покрытия.
Технический результат достигается тем, что по способу получения электропроводящего полимерного покрытия на полупроводниковой подложке путем электрополимеризации мономера в присутствии полифторированного сульфокатионита, в качестве сульфокатионита используют сополимер этилена с перфтор-(4-метил,3,6-диоксооктен,7-сульфокислотой) с общей формулой
CH2-CHCF2- где , и электрополимеризацию ведут в ацетонитриле.
CH2-CHCF2- где , и электрополимеризацию ведут в ацетонитриле.
Предлагаемый сульфокатионит хорошо растворим при обычной температуре в ацетонитриле и имеет вдвое более высокую кислотность, что позволяет использовать его в качестве единственного электролита для электрополимеризации проводящих полимеров, например пиррола, N-метил-пиррола,3-метил-тиофена, тиофена с образованием однородного прочного покрытия на аноде. В этом случае ионы сульфокатионита внедряются в матрицу проводящего полимера в качестве противоиона, компенсирующего положительный заряд полимерной матрицы, и, следовательно, содержание их обусловлено уровнем допирования полимера и для выше перечисленных полимеров составляет один противоион на три мономерных звена. Постоянство содержания полимерного иона и равномерность его распределения определяют хорошую воспроизводимость физико-химических свойств полимерного покрытия.
П р и м е р 1. Электросинтез проводят в трехэлектродной ячейке с разделенными электродными пространствами. Объем ячейки 5 мл. Вспомогательным электродом служит платиновая сетка, электродом сравнения является хлорсеребряный электрод. Полимеризацию проводят на подложке из пластины или структуре полевого транзистора из кремния (КЭФ 4,5/100) с напыленными золотыми контактами и шириной канала проводимости 10 мкм. Покрываемая площадь электрода 9 мм2. Полипиррол синтезируют в ацетонитрильном растворе полифторированного сульфокатионита концентрацией 0,73.10-3 и 0,6.10-3 М пиррола в режиме циклической развертки потенциала со скоростью 5.10-2 В с-1 в интервале от -0,8 до +2,3 В. После первых двух циклов зародышеобразования основной рост пленки происходит при потенциале +1,3 В, плотность тока 0,25-0,3 мА.см-2. После проведения 15-17 циклов рост пленки прекращается. Полученную пленку тщательно промывают ацетонитрилом и сушат в аргоне. Пленка полипиррола очень плотная с хорошей адгезией к поверхности электрода черного цвета с металлическим блеском. По данным сканирующей электронной микроскопии видно, что полученный полимер имеет мелкозернистую структуру с размером зерен менее 0,1 мкм. В процессе дедопирования пленки полипиррола в широком диапазоне проводимости от 10-1 до 10-7 Ом.см-1 не происходит деформация и отслаивание полимера от структуры полевого транзистора.
П р и м е р 2. Электрополимеризацию 3-метилтиофена проводят как описано в примере 1, в ацетонитрильном растворе полифторированного сульфокатионита концентрацией 0,73.10-3 и 0,66.10-3 М 3-метилфтиофена в режиме циклической развертки потенциала от -0,8 до +2,6 В со скоростью 5.10-2 В с-1. Основной рост пленки происходит в области потенциалов +1,5-1,6 В, плотность тока в этом интервале потенциалов составляет 1-1,5 мА.см-2. После 15 циклов происходит заращивание канала в структуре полевого транзистора. Пленка поли-3-метилтиофена получается плотная, темная блестящая с хорошей адгезией к поверхности и мелкозернистой структурой. В процессе дедопирования в широком диапазоне проводимости от 10-2 до 10-7. Ом-1.см-1 не происходит деформация и отслаивание полимера от подложки.
П р и м е р 3 (сопоставительный). Электросинтез полипиррола проводят как описано в примере 1, но в ацетонитрильном растворе 0,1М (С4Н9)4NBF4 и концентрацией пиррола 5.10-3 М в режиме циклической развертки потенциала от -0,4 до +1,2 В. Основной рост пленки происходит в области потенциалов +0,2-0,5 В, плотность тока составляет 1 мА.см-2. Уже после пяти циклов развертки потенциала происходит полное покрытие поверхности, но осадок очень рыхлый, канал проводимости зарастает плохо, с дефектами. После дедопирования вследствие изменения объема полимера при выходе из него анионов покрытие деформируется и отстает вместе с напыленными золотыми контактами.
Claims (2)
1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩЕГО ПОЛИМЕРНОГО ПОКРЫТИЯ НА ПОДЛОЖКЕ, включающий электрополимеризацию из раствора электролита, содержащего мономер и полифторированный сульфакатионит, отличающийся тем, что в качестве сульфокатионита используют сополимер этилена с перфтор-(4-метил, 3,6-диоксооктен, 7)-сульфокислотой общей формулы
где m 1 1,4;
n 1000,
а в качестве растворителя используют ацетонитрил.
где m 1 1,4;
n 1000,
а в качестве растворителя используют ацетонитрил.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве подложки используют структуру полевого транзистора.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU5056735/25A RU2035803C1 (ru) | 1992-08-17 | 1992-08-17 | Способ получения электропроводящего полимерного покрытия на подложке |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU5056735/25A RU2035803C1 (ru) | 1992-08-17 | 1992-08-17 | Способ получения электропроводящего полимерного покрытия на подложке |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2035803C1 true RU2035803C1 (ru) | 1995-05-20 |
Family
ID=21610581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU5056735/25A RU2035803C1 (ru) | 1992-08-17 | 1992-08-17 | Способ получения электропроводящего полимерного покрытия на подложке |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2035803C1 (ru) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2345081C2 (ru) * | 2002-12-10 | 2009-01-27 | Х.К. Штарк Гмбх | 2,2'-ди(3,4-алкилендиокситиофен)ы, их применение, способ их получения, способ получения 5,5'-дигалоген-2,2'-(3,4-алкилендиокситиофен)ов и способ получения поли(3,4-алкилендиокситиофен)ов на их основе |
| RU2370838C2 (ru) * | 2003-04-02 | 2009-10-20 | Х.К.Штарк ГмБХ | Замедляющий окислительный агент для получения проводящих полимеров |
| US8062553B2 (en) | 2006-12-28 | 2011-11-22 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Compositions of polyaniline made with perfuoropolymeric acid which are heat-enhanced and electronic devices made therewith |
| US8153029B2 (en) | 2006-12-28 | 2012-04-10 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Laser (230NM) ablatable compositions of electrically conducting polymers made with a perfluoropolymeric acid applications thereof |
| US8318046B2 (en) | 2002-09-24 | 2012-11-27 | E I Du Pont De Nemours And Company | Water dispersible polyanilines made with polymeric acid colloids for electronics applications |
| US8409476B2 (en) | 2005-06-28 | 2013-04-02 | E I Du Pont De Nemours And Company | High work function transparent conductors |
| US8491819B2 (en) | 2006-12-29 | 2013-07-23 | E I Du Pont De Nemours And Company | High work-function and high conductivity compositions of electrically conducting polymers |
| US8585931B2 (en) | 2002-09-24 | 2013-11-19 | E I Du Pont De Nemours And Company | Water dispersible polythiophenes made with polymeric acid colloids |
| US8641926B2 (en) | 2003-04-22 | 2014-02-04 | E I Du Pont De Nemours And Company | Water dispersible polythiophenes made with polymeric acid colloids |
| US8765022B2 (en) | 2004-03-17 | 2014-07-01 | E I Du Pont De Nemours And Company | Water dispersible polypyrroles made with polymeric acid colloids for electronics applications |
-
1992
- 1992-08-17 RU SU5056735/25A patent/RU2035803C1/ru not_active IP Right Cessation
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| 1. M.Kaneko, D.Wohrle. Polimer Goated Electrodes. New materials for science and industry in polymer science. Ed. Benoit et al. springer 1988, v.84-1, p.141-229. * |
| 2. N. Girauet, p.Aldebert, M.Pineri, P.Audebert. Physiochemical characterization of mixed conducting composites, obtainecl by electropolymerization of pyrole into perfluorinated ionomer gels. Synth.Met. 38 (1990), 277-291. * |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8318046B2 (en) | 2002-09-24 | 2012-11-27 | E I Du Pont De Nemours And Company | Water dispersible polyanilines made with polymeric acid colloids for electronics applications |
| US8585931B2 (en) | 2002-09-24 | 2013-11-19 | E I Du Pont De Nemours And Company | Water dispersible polythiophenes made with polymeric acid colloids |
| US8784692B2 (en) | 2002-09-24 | 2014-07-22 | E I Du Pont De Nemours And Company | Water dispersible polythiophenes made with polymeric acid colloids |
| RU2345081C2 (ru) * | 2002-12-10 | 2009-01-27 | Х.К. Штарк Гмбх | 2,2'-ди(3,4-алкилендиокситиофен)ы, их применение, способ их получения, способ получения 5,5'-дигалоген-2,2'-(3,4-алкилендиокситиофен)ов и способ получения поли(3,4-алкилендиокситиофен)ов на их основе |
| RU2370838C2 (ru) * | 2003-04-02 | 2009-10-20 | Х.К.Штарк ГмБХ | Замедляющий окислительный агент для получения проводящих полимеров |
| RU2370838C9 (ru) * | 2003-04-02 | 2010-12-10 | Х.К.Штарк ГмБХ | Замедляющий окислительный агент для получения проводящих полимеров |
| US8641926B2 (en) | 2003-04-22 | 2014-02-04 | E I Du Pont De Nemours And Company | Water dispersible polythiophenes made with polymeric acid colloids |
| US8765022B2 (en) | 2004-03-17 | 2014-07-01 | E I Du Pont De Nemours And Company | Water dispersible polypyrroles made with polymeric acid colloids for electronics applications |
| US8409476B2 (en) | 2005-06-28 | 2013-04-02 | E I Du Pont De Nemours And Company | High work function transparent conductors |
| US8062553B2 (en) | 2006-12-28 | 2011-11-22 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Compositions of polyaniline made with perfuoropolymeric acid which are heat-enhanced and electronic devices made therewith |
| US8153029B2 (en) | 2006-12-28 | 2012-04-10 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Laser (230NM) ablatable compositions of electrically conducting polymers made with a perfluoropolymeric acid applications thereof |
| US8491819B2 (en) | 2006-12-29 | 2013-07-23 | E I Du Pont De Nemours And Company | High work-function and high conductivity compositions of electrically conducting polymers |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Roncali et al. | Effects of steric factors on the electrosynthesis and properties of conducting poly (3-alkylthiophenes) | |
| KR100856954B1 (ko) | 신규 폴리티오펜 분산액 | |
| Dian et al. | Electrochemical synthesis of polythiophenes and polyselenophenes | |
| JPS59226020A (ja) | ポリピロ−ルの製法 | |
| RU2035803C1 (ru) | Способ получения электропроводящего полимерного покрытия на подложке | |
| Sezai Sarac et al. | Electrolyte and solvent effects of electrocoated polycarbazole thin films on carbon fiber microelectrodes | |
| CN1063722A (zh) | 导电性聚合物的制备方法 | |
| US4663001A (en) | Electroconductive polymers derived from heterocycles polycyclic monomers and process for their manufacture | |
| Lakard et al. | Electrochemical preparation and physicochemical study of polymers obtained from carbazole and N-((methoxycarbonyl) methyl) carbazole | |
| Najafisayar et al. | The effect of pulse electropolymerization on the electrochemical properties of polythiophene films | |
| Smith et al. | Polyheterocycles containing alkene spacer linkages Part I. Synthesis and electropolymerization of 3-styrylthiophenes | |
| Istakova et al. | Efficiency of pyrrole electropolymerization under various conditions | |
| JPH04232846A (ja) | 高分子湿度センサ及びその製造方法 | |
| JPS63215722A (ja) | 電導性ポリアニリン系化合物の製造方法 | |
| Ates et al. | Synthesis and electropolymerization of 9-(4-vinylbenzyl)-9 H-carbazole on carbon fiber microelectrode: Capacitive behavior of poly (9-(4-vinylbenzyl)-9 H-carbazole) | |
| Szekeres et al. | Investigation of the electrochemical properties of poly (3, 4-ethylenedioxypyrrole) films electrodeposited from aqueous solutions | |
| Stanković et al. | Some aspects of the electrochemical synthesis of polypyrrole | |
| KR100548045B1 (ko) | 전도성 고분자 필름 및 그 제조방법 | |
| KR101719143B1 (ko) | 전도성 고분자가 코팅된 전극의 제조방법 | |
| Hwang et al. | Conductivity and stability of polypyrrole film electrosynthesized on a PbO2/SnO2/Ti substrate | |
| Onoda et al. | New fabrication technique of conductive polymer/insulating polymer composite films and evaluation of biocompatibility in neuron cultures | |
| Zotti et al. | Electrochemical polymerization of some dihydrobenzodipyrroles | |
| EP1553109B1 (en) | Molecule alignment polymer gel and molecule alignment polymer cast film having self-organizing amphiphilic compound as template and process for producing the same | |
| CN108866565B (zh) | 聚(3,6-二噻吩基吡咯并[3,4-c]吡咯-1,4-二酮)的电化学合成方法 | |
| Reyna-González et al. | Influence of the acidity level on the electropolymerization of N-vinylcarbazole: electrochemical study and characterization of poly (3, 6-N-vinylcarbazole) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20050818 |