[go: up one dir, main page]

RU2018119488A - Многокомпонентный акселерометр с одной массой - Google Patents

Многокомпонентный акселерометр с одной массой Download PDF

Info

Publication number
RU2018119488A
RU2018119488A RU2018119488A RU2018119488A RU2018119488A RU 2018119488 A RU2018119488 A RU 2018119488A RU 2018119488 A RU2018119488 A RU 2018119488A RU 2018119488 A RU2018119488 A RU 2018119488A RU 2018119488 A RU2018119488 A RU 2018119488A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
transducers
mass
frame
sensor
perception
Prior art date
Application number
RU2018119488A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2733974C2 (ru
RU2018119488A3 (ru
Inventor
Корнелис А. М. ФАБЕР
Original Assignee
Ион Джиофизикал Корпорейшн
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ион Джиофизикал Корпорейшн filed Critical Ион Джиофизикал Корпорейшн
Publication of RU2018119488A publication Critical patent/RU2018119488A/ru
Publication of RU2018119488A3 publication Critical patent/RU2018119488A3/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2733974C2 publication Critical patent/RU2733974C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
    • G01V1/00—Seismology; Seismic or acoustic prospecting or detecting
    • G01V1/38—Seismology; Seismic or acoustic prospecting or detecting specially adapted for water-covered areas
    • G01V1/3843—Deployment of seismic devices, e.g. of streamers
    • G01V1/3852—Deployment of seismic devices, e.g. of streamers to the seabed
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
    • G01V1/00—Seismology; Seismic or acoustic prospecting or detecting
    • G01V1/16—Receiving elements for seismic signals; Arrangements or adaptations of receiving elements
    • G01V1/18—Receiving elements, e.g. seismometer, geophone or torque detectors, for localised single point measurements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/0802—Details
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/097—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by vibratory elements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
    • G01V1/00—Seismology; Seismic or acoustic prospecting or detecting
    • G01V1/16—Receiving elements for seismic signals; Arrangements or adaptations of receiving elements
    • G01V1/162—Details
    • G01V1/164—Circuits therefore
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
    • G01V1/00—Seismology; Seismic or acoustic prospecting or detecting
    • G01V1/16—Receiving elements for seismic signals; Arrangements or adaptations of receiving elements
    • G01V1/18—Receiving elements, e.g. seismometer, geophone or torque detectors, for localised single point measurements
    • G01V1/181—Geophones
    • G01V1/184—Multi-component geophones
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
    • G01V1/00—Seismology; Seismic or acoustic prospecting or detecting
    • G01V1/16—Receiving elements for seismic signals; Arrangements or adaptations of receiving elements
    • G01V1/18—Receiving elements, e.g. seismometer, geophone or torque detectors, for localised single point measurements
    • G01V1/186—Hydrophones
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
    • G01V1/00—Seismology; Seismic or acoustic prospecting or detecting
    • G01V1/38—Seismology; Seismic or acoustic prospecting or detecting specially adapted for water-covered areas
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
    • G01V1/00—Seismology; Seismic or acoustic prospecting or detecting
    • G01V1/38—Seismology; Seismic or acoustic prospecting or detecting specially adapted for water-covered areas
    • G01V1/3808—Seismic data acquisition, e.g. survey design
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
    • G01V13/00—Manufacturing, calibrating, cleaning, or repairing instruments or devices covered by groups G01V1/00 – G01V11/00
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
    • G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
    • G01P2015/084—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass the mass being suspended at more than one of its sides, e.g. membrane-type suspension, so as to permit multi-axis movement of the mass
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
    • G01V2210/00—Details of seismic processing or analysis
    • G01V2210/10—Aspects of acoustic signal generation or detection
    • G01V2210/14—Signal detection
    • G01V2210/142—Receiver location
    • G01V2210/1427—Sea bed

Landscapes

  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Geophysics (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geology (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Oceanography (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Claims (42)

1. Сейсмический датчик, содержащий:
раму;
центральную массу, расположенную внутри рамы, при этом центральная масса имеет три главные оси; и
множество преобразователей, механически присоединенных между рамой и центральной массой;
в котором преобразователи размещены тремя парами, при этом преобразователи в каждой паре соединены с противоположными сторонами центральной массы, образованными вдоль отдельной одной из трех главных осей.
2. Сейсмический датчик по п. 1, в котором каждый из преобразователей имеет ориентацию кристалла, определяющую чувствительность к сдвигу, при этом чувствительности к сдвигу преобразователей в каждой паре ориентированы обычно параллельно друг другу и по существу перпендикулярно к соответствующим главным осям.
3. Сейсмический датчик по п. 2, в котором чувствительности к сдвигу трех пар преобразователей ориентированы по взаимно перпендикулярным направлениям.
4. Сейсмический датчик по п. 1, в котором рама содержит множество боковых элементов рамы, размещенных парами на противоположных сторонах центральной массы, обозначенных тремя главными осями, при этом преобразователи соединены с боковыми элементами рамы в каждой соответствующей паре.
5. Сейсмический датчик по п. 4, также содержащий множество изолирующих элементов, расположенных между боковыми элементами рамы в углах ее, при этом изолирующие элементы выполнены с возможностью уменьшения передачи сдвиговой нагрузки между ними.
6. Сейсмический датчик по п. 4, также содержащий стержень, расположенный вдоль центрального участка каждого бокового элемента рамы, при этом стержень выполнен с возможностью соединения с соответствующим преобразователем напротив центральной массы.
7. Сейсмический датчик по п. 6, в котором стержень имеет неравномерное поперечное сечение, определяющее относительно высокую жесткость по основному направлению восприятия соответствующего преобразователя и относительно низкую жесткость перпендикулярно к основному направлению восприятия.
8. Сейсмический датчик по п. 4, также содержащий один или несколько прутков, соединенных с каждым боковым элементом рамы и расположенных в проеме, образованном в ней, при этом один или несколько прутков выполнены с возможностью присоединения соответствующего преобразователя к соответствующему боковому элементу рамы по основному направлению восприятия и уменьшения передачи нагрузки перпендикулярно к основному направлению восприятия.
9. Сейсмический датчик по п. 1, также содержащий электропроводную внешнюю поверхность центральной массы, при этом каждый из преобразователей электрически соединен с электропроводной внешней поверхностью для образования потенциала общего вывода.
10. Сейсмический датчик по п. 1, также содержащий электронику датчика, выполненную с возможностью объединения сигналов преобразователей в каждой паре для образования выходного сигнала, характеризующего ускорение рамы по направлению, перпендикулярному к соответствующим главным осям.
11. Сейсмический датчик по п. 1, также содержащий электронику датчика, выполненную с возможностью объединения сигналов преобразователей в каждой паре для образования выходного сигнала, характеризующего поворот рамы вокруг соответствующей главной оси.
12. Сенсорное устройство, содержащее:
модульный корпусный узел, имеющий один или несколько компонентов, выполненный с возможностью развертывания в водяной толще;
сейсмический датчик, расположенный в модульном корпусе, при этом сейсмический датчик содержит центральную массу, расположенную внутри рамы, и множество преобразователей, механически присоединенных между рамой и центральной массой, при этом преобразователи размещены парами, присоединенными к противоположным сторонам центральной массы, противоположные стороны образованы вдоль трех главных осей ее; и
электронику датчика, выполненную с возможностью образования выходного сигнала путем объединения сигналов преобразователей в каждой паре, при этом выходной сигнал характеризует сейсмическое волновое поле, распространяющееся через водяную толщу.
13. Сенсорное устройство по п. 12, в котором первая комбинация сигналов является реагирующей на ускорение по направлению восприятия, перпендикулярному к главной оси, вдоль которой пара преобразователей соединена с массой, и вторая комбинация сигналов является реагирующей на поворот вокруг главной оси.
14. Сенсорное устройство по п. 12, в котором каждая пара преобразователей имеет ориентацию кристаллов, определяющую чувствительность к сдвигу по направлению восприятия, при этом чувствительности к сдвигу других пар преобразователей ориентированы по взаимно перпендикулярным направлениям.
15. Сенсорное устройство по п. 12, в котором рама содержит множество боковых элементов рамы, размещенных на противоположных сторонах центральной массы, и также содержит множество изолирующих элементов, расположенных между боковыми элементами рамы и выполненных с возможностью уменьшения передачи сдвиговой нагрузки между ними.
16. Сенсорное устройство по п. 12, в котором рама содержит множество сторон, расположенных вокруг центральной массы по главным осям ее, при этом каждая из сторон соединена с соответствующим одним из преобразователей напротив центральной массы.
17. Сенсорное устройство по п. 16, в котором стороны выполнены с возможностью обеспечения относительно высокой жесткости по направлению восприятия соответствующих преобразователей и относительно низкой жесткости перпендикулярно к соответствующему направлению восприятия вдоль соответствующей главной оси массы.
18. Сенсорное устройство по п. 12, также содержащее электропроводную внешнюю поверхность центральной массы, при этом каждый из преобразователей электрически соединен с электропроводной внешней поверхностью для образования потенциала общего вывода сенсорного устройства.
19. Сенсорное устройство по п. 12, также содержащее схему синхронизации, выполненную с возможностью образования синхронизирующего сигнала, соответствующего выходному сигналу электроники датчика, и запоминающее устройство, сконфигурированное для сохранения выходного сигнала и соответствующего синхронизирующего сигнала, при этом схема синхронизации и запоминающее устройство расположены внутри модульного корпуса вместе с сейсмическим датчиком и электроникой датчика.
20. Сенсорное устройство по п. 19, также содержащее источник питания, выполненный с возможностью снабжения электроэнергией электроники, схемы синхронизации, запоминающего устройства и электроники датчика, и также содержащее датчик глубины, выполненный с возможностью управления источником питания на основании глубины погружения сенсорного устройства в водяной толще.
21. Способ сборки сейсмического датчика, содержащий этапы, на которых:
подготавливают массу, при этом массой задаются три ортогональные оси;
располагают множество преобразователей с прилеганием к массе, при этом преобразователи размещают парами на противоположных сторонах массы вдоль по меньшей мере двух из ортогональных осей;
выравнивают преобразователи, при этом каждой парой преобразователей задается основное направление восприятия, ориентированное перпендикулярно к соответствующей ортогональной оси; и
присоединяют множество преобразователей к массе, при этом каждый из преобразователей поддерживают выровненным по соответствующему основному направлению восприятия.
22. Способ по п. 21, также содержащий:
подготовку выравнивающего сборочного приспособления, при этом выравнивающее сборочное приспособление имеет основание;
расположение массы на основании выравнивающего сборочного приспособления;
расположение множества преобразователей на выравнивающем сборочном приспособлении, при этом преобразователи размещают вдоль по меньшей мере двух ортогональных осей;
выравнивание преобразователей при использовании сборочного приспособления, при этом во время присоединения каждый из преобразователей в сборочном приспособлении поддерживают выровненным вдоль соответствующих основных направлений восприятия.
23. Способ по п. 22, в котором расположение массы на основании выравнивающего сборочного приспособления содержит вставление массы в отверстие, образованное в основании, при этом отверстие выполнено с возможностью выравнивания массы относительно ортогональных осей.
24. Способ по п. 22, в котором расположение множества преобразователей с прилеганием к массе, содержит вставление преобразователей в пазы, образованные вблизи отверстия в основании, при этом пазы выполнены с возможностью выравнивания преобразователей для задания соответствующих основных направлений восприятия перпендикулярно к соответствующим ортогональным осям.
25. Способ по п. 21, также содержащий
расположение рамы вокруг массы, при этом стороны рамы выравнивают относительно трех ортогональных осей; и
присоединение множества преобразователей к раме, при этом преобразователи присоединяют между массой и соответствующими сторонами рамы.
RU2018119488A 2015-10-30 2016-10-31 Многокомпонентный акселерометр с одной массой RU2733974C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201562249095P 2015-10-30 2015-10-30
US62/249,095 2015-10-30
PCT/US2016/059725 WO2017075593A1 (en) 2015-10-30 2016-10-31 Multi-axis, single mass accelerometer

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2018119488A true RU2018119488A (ru) 2019-12-02
RU2018119488A3 RU2018119488A3 (ru) 2020-01-22
RU2733974C2 RU2733974C2 (ru) 2020-10-08

Family

ID=57281304

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018119485A RU2018119485A (ru) 2015-10-30 2016-10-31 Океанические донные сейсмические системы
RU2018119488A RU2733974C2 (ru) 2015-10-30 2016-10-31 Многокомпонентный акселерометр с одной массой

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018119485A RU2018119485A (ru) 2015-10-30 2016-10-31 Океанические донные сейсмические системы

Country Status (9)

Country Link
US (4) US10274627B2 (ru)
EP (2) EP3368923B1 (ru)
CN (2) CN108431637B (ru)
AU (2) AU2016344002A1 (ru)
BR (2) BR112018008500A2 (ru)
CA (2) CA3003592A1 (ru)
MX (2) MX383079B (ru)
RU (2) RU2018119485A (ru)
WO (2) WO2017075593A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11561314B2 (en) * 2015-10-30 2023-01-24 TGS-NOPEC Geophysical Corporation Multi-axis, single mass accelerometer

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108463743B (zh) * 2015-11-17 2020-03-13 费尔菲尔德工业公司 后甲板自动化装置
US10571588B2 (en) * 2017-06-09 2020-02-25 Magseis Ff Llc Seismic data acquisition unit
US11092278B2 (en) * 2017-08-14 2021-08-17 Ion Geophysical Corporation Cable attachment system
ES2962158T3 (es) 2018-05-23 2024-03-15 Blue Ocean Seismic Services Ltd Un sistema autónomo de adquisición de datos
WO2020056216A1 (en) * 2018-09-13 2020-03-19 Ion Geophysical Corporation Multi-axis, single mass accelerometer
CN109100777B (zh) * 2018-10-18 2025-02-11 国家海洋局第二海洋研究所 变频式海洋高压空气枪震源
ES2936815T3 (es) * 2018-11-07 2023-03-22 Damen 40 B V Sistema para medición de sonido subacuático
US11506808B2 (en) * 2019-04-10 2022-11-22 Sercel Ocean bottom node with removable acoustic pinger
CN113924512A (zh) * 2019-05-28 2022-01-11 俄罗斯石油公司 传感器组件
RU2724964C1 (ru) * 2019-12-10 2020-06-29 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)" Цифровой регистрирующий модуль для подводных исследований
CN115485587B (zh) * 2020-05-05 2025-12-09 赛赛尔 混合地震数据采集设备及相应方法
CN111459207B (zh) * 2020-05-28 2025-03-04 中国地震局地震研究所 一种vp垂直摆倾斜仪的测量环境控制装置
CN112362217A (zh) * 2020-10-09 2021-02-12 珠海格力电器股份有限公司 测力传感器以及具有其的运动控制设备
ES2991070T3 (es) * 2020-11-02 2024-12-02 Kistler Holding Ag Transductor de aceleración
EP4220190A3 (de) * 2020-11-02 2023-11-01 Kistler Holding AG Beschleunigungsaufnehmer
JP7297844B2 (ja) * 2020-11-02 2023-06-26 キストラー ホールディング アクチエンゲゼルシャフト 加速度変換器
US11454732B1 (en) 2021-03-30 2022-09-27 Explor Geophysical Ltd. 3-axis seismic sensor stake, system and method
US12379517B2 (en) 2021-05-11 2025-08-05 Pgs Geophysical As Using ambient acoustic energy as a passive source in marine seismic surveys
CN114659697B (zh) * 2022-03-28 2023-06-23 浙江机电职业技术学院 一种基于电容传感器的柔性六维力传感器
EP4550006A1 (en) * 2023-11-03 2025-05-07 Sercel Seismic data acquisition device including a depth determination system and corresponding method
CN118624936B (zh) * 2024-05-29 2025-05-20 西安石油大学 一种光纤光栅三维矢量加速度传感器

Family Cites Families (187)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3307054A (en) 1959-09-15 1967-02-28 Endevco Corp Accelerometer
US3706217A (en) 1970-06-10 1972-12-19 North American Rockwell Accelerometer
SU397868A1 (ru) * 1972-02-28 1974-02-14
FR2451807A1 (fr) 1979-03-22 1980-10-17 Renault Manipulateur six axes
US4398417A (en) 1981-08-13 1983-08-16 Rockwell International Corporation Three-axis accelerometer having flexure bearing with overload protection
US4500979A (en) * 1981-09-16 1985-02-19 Western Geophysical Co Of America Optical seismic transducer
SU1092446A1 (ru) * 1982-03-22 1984-05-15 Специальное Конструкторско-Технологическое Бюро Физико-Механического Института Им.Г.В.Карпенко Трехкомпонентный пьезоэлектрический сейсмометр
US5046057A (en) 1982-12-10 1991-09-03 Shell Oil Company Marine streamer cable
US4510802A (en) 1983-09-02 1985-04-16 Sundstrand Data Control, Inc. Angular rate sensor utilizing two vibrating accelerometers secured to a parallelogram linkage
GB2146776B (en) 1983-09-16 1986-07-30 Ferranti Plc Accelerometer systems
SU1187125A1 (ru) * 1984-02-08 1985-10-23 Институт физики Земли им.О.Ю.Шмидта Трехкомпонентный пьезоэлектрический сейсмометр
US4711125A (en) 1985-11-06 1987-12-08 Morrison Melvin M Inertial measurement unit
US4736640A (en) 1986-08-14 1988-04-12 Hooks Mark M Compact six-degree-of-freedom motion detecting apparatus and associated methods
US4893930A (en) 1988-01-25 1990-01-16 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Multiple axis, fiber optic interferometric seismic sensor
US5007292A (en) 1988-08-31 1991-04-16 Amoco Corporation Multicomponent transducer
US4870290A (en) 1988-09-26 1989-09-26 Honeywell Inc. Object motion sensing and measuring apparatus using position sensing detectors
US4941243A (en) 1989-07-28 1990-07-17 Allied-Signal Inc. Method for assembling an annular shear accelerometer
US5224380A (en) 1990-05-21 1993-07-06 The University Of Maryland Superconducting six-axis accelerometer
US5512794A (en) 1991-12-05 1996-04-30 Kistler Instrumente Ag Shear accelerometer
DE69204653T2 (de) 1992-02-11 1996-04-18 Fokker Space & Systems Bv Zusammenbau von Beschleunigungsmessaufnehmern zur Verwendung in einem Messystem für dreidimensionale Bewegungen eines festen Körpers.
US6343991B1 (en) 1997-10-01 2002-02-05 Brad A. Armstrong Game control with analog pressure sensor
US6347997B1 (en) 1997-10-01 2002-02-19 Brad A. Armstrong Analog controls housed with electronic displays
US6135886A (en) 1997-10-01 2000-10-24 Armstrong; Brad A. Variable-conductance sensor with elastomeric dome-cap
US6102802A (en) 1997-10-01 2000-08-15 Armstrong; Brad A. Game controller with analog pressure sensor(s)
US6285356B1 (en) 1999-02-19 2001-09-04 Brad A. Armstrong Displacement joystick with compression-sensitive sensors
US5999084A (en) 1998-06-29 1999-12-07 Armstrong; Brad A. Variable-conductance sensor
US6906700B1 (en) 1992-03-05 2005-06-14 Anascape 3D controller with vibration
US6344791B1 (en) 1998-07-24 2002-02-05 Brad A. Armstrong Variable sensor with tactile feedback
US6222525B1 (en) 1992-03-05 2001-04-24 Brad A. Armstrong Image controllers with sheet connected sensors
US6208271B1 (en) 1998-09-04 2001-03-27 Brad A. Armstrong Remote controller with analog button(s)
US5589828A (en) 1992-03-05 1996-12-31 Armstrong; Brad A. 6 Degrees of freedom controller with capability of tactile feedback
NO176225C (no) 1992-03-09 1995-02-22 Geco As Kansellering av stöy i fluidfylt seismisk kabel
DK169653B1 (da) 1992-10-09 1995-01-09 Brueel & Kjaer As Piezoelektrisk accelerometer af forskydningstypen
US5383363A (en) 1993-02-10 1995-01-24 Ford Motor Company Inertial measurement unit providing linear and angular outputs using only fixed linear accelerometer sensors
GB9417202D0 (en) 1994-08-25 1994-10-19 Elford Paul C D Three-dimensional position indicator
JPH0945935A (ja) 1995-07-26 1997-02-14 Akebono Brake Ind Co Ltd 加速度センサー及びその製造方法
US5677487A (en) 1995-10-13 1997-10-14 A/S Bruel & Kjaer Method and apparatus for measuring acceleration or mechanical forces
US5673330A (en) 1995-11-08 1997-09-30 Chang; Ching-Lu Microphone transducer with noise reducing member
JP3686147B2 (ja) 1995-12-20 2005-08-24 曙ブレーキ工業株式会社 加速度センサ
US5948981A (en) 1996-05-21 1999-09-07 Alliedsignal Inc. Vibrating beam accelerometer
FI100558B (fi) 1996-06-20 1997-12-31 Geores Engineering E Jalkanen Sensorilaite asennon ja kiihtyvyyden 3-dimensionaaliseksi mittaamiseks i
US5767840A (en) 1996-06-28 1998-06-16 International Business Machines Corporation Six-degrees-of-freedom movement sensor having strain gauge mechanical supports
US6351205B1 (en) 1996-07-05 2002-02-26 Brad A. Armstrong Variable-conductance sensor
US8674932B2 (en) 1996-07-05 2014-03-18 Anascape, Ltd. Image controller
US5866827A (en) 1996-10-31 1999-02-02 University Technologies International Inc. Auto-orienting motion sensing device
DE19649715C2 (de) 1996-11-30 2001-07-12 Telefunken Microelectron Anordnung zur Messung von Beschleunigungen
US5831164A (en) 1997-01-21 1998-11-03 Conrad Technologies, Inc. Linear and rotational accelerometer
KR100413807B1 (ko) 1997-02-17 2004-03-26 삼성전자주식회사 병렬형6축힘-모멘트측정장치
JP3089399B2 (ja) 1997-02-28 2000-09-18 科学技術庁防災科学技術研究所長 ３成分地震計
JPH10256144A (ja) 1997-03-11 1998-09-25 Canon Inc 除振装置
US5969268A (en) 1997-07-15 1999-10-19 Mts Systems Corporation Multi-axis load cell
US6532000B2 (en) 1997-10-01 2003-03-11 Brad A. Armstrong Analog controls housed with electronic displays for global positioning systems
US6404584B2 (en) 1997-10-01 2002-06-11 Brad A. Armstrong Analog controls housed with electronic displays for voice recorders
US6415707B1 (en) 1997-10-01 2002-07-09 Brad A. Armstrong Analog controls housed with electronic displays for coffee makers
US6456778B2 (en) 1997-10-01 2002-09-24 Brad A. Armstrong Analog controls housed with electronic displays for video recorders and cameras
US6160763A (en) * 1998-12-28 2000-12-12 Sealandaire Technologies, Inc. Towed array hydrophone
WO2000055652A1 (en) 1999-03-17 2000-09-21 Input/Output, Inc. Calibration of sensors
WO2000065360A1 (en) 1999-04-27 2000-11-02 Tokimec Inc. Accelerometer and spherical sensor type measuring instrument
US6539308B2 (en) 1999-06-25 2003-03-25 Input/Output Inc. Dual sensor signal processing method for on-bottom cable seismic
JP4101406B2 (ja) 1999-07-15 2008-06-18 三菱重工業株式会社 ６自由度振動台
US7243543B2 (en) 1999-10-01 2007-07-17 Optoplan As Highly sensitive accelerometer
US6512980B1 (en) 1999-10-19 2003-01-28 Westerngeco Llc Noise reference sensor for use in a dual sensor towed streamer
JP2001174264A (ja) 1999-12-21 2001-06-29 Murata Mfg Co Ltd 共振素子およびその振動調整方法
US7191652B2 (en) 2000-02-24 2007-03-20 Innalabs Technologies, Inc. Magnetofluidic accelerometer with partial filling of cavity with magnetic fluid
US6397677B1 (en) 2000-06-06 2002-06-04 Kistler Instrument Corporation Piezoelectric rotational accelerometer
GB0016533D0 (en) 2000-07-06 2000-08-23 Renishaw Plc Method of and apparatus for correction of coordinate measurement errors due to vibrations in coordinate measuring machines (cmms)
EP1172657B1 (en) 2000-07-10 2006-08-23 Infineon Technologies SensoNor AS Accelerometer
WO2002057799A2 (en) 2001-01-17 2002-07-25 Honeywell International Inc. Accelerometer whose seismic mass is shaped as whiffletree
US6891621B2 (en) 2001-02-06 2005-05-10 Weatherford/Lamb, Inc. Highly sensitive cross axis accelerometer
US6576103B2 (en) 2001-08-10 2003-06-10 Pmd Scientific, Inc. Electrochemical transducer and a method for fabricating the same
GB0121067D0 (en) 2001-08-31 2001-10-24 Ibm Drop detection device
JP2003232803A (ja) 2002-02-12 2003-08-22 Hitachi Metals Ltd 半導体型加速度センサ
DE10225714A1 (de) 2002-06-11 2004-01-08 Eads Deutschland Gmbh Mehrachsiger monolithischer Beschleunigungssensor
US6826960B2 (en) 2002-08-07 2004-12-07 Quartz Sensors, Inc. Triaxial acceleration sensor
US7239577B2 (en) * 2002-08-30 2007-07-03 Pgs Americas, Inc. Apparatus and methods for multicomponent marine geophysical data gathering
RU28923U1 (ru) * 2003-01-21 2003-04-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский и проектный институт геофизических методов разведки океана" "НИПИокеангеофизика" Многокомпонентное приемное устройство для сейсмической разведки на шельфе и в переходных зонах суша-море
US6848304B2 (en) 2003-04-28 2005-02-01 Analog Devices, Inc. Six degree-of-freedom micro-machined multi-sensor
US6845665B2 (en) 2003-04-28 2005-01-25 Analog Devices, Inc. Micro-machined multi-sensor providing 2-axes of acceleration sensing and 1-axis of angular rate sensing
JP4853937B2 (ja) 2003-04-28 2012-01-11 独立行政法人産業技術総合研究所 慣性センサの動的感度マトリックス計測装置およびその計測方法
US7310287B2 (en) 2003-05-30 2007-12-18 Fairfield Industries Incorporated Method and apparatus for seismic data acquisition
US7561493B2 (en) 2003-05-30 2009-07-14 Fairfield Industries, Inc. Method and apparatus for land based seismic data acquisition
JP4192084B2 (ja) 2003-06-17 2008-12-03 ニッタ株式会社 多軸センサ
US6845670B1 (en) * 2003-07-08 2005-01-25 Freescale Semiconductor, Inc. Single proof mass, 3 axis MEMS transducer
JP2007532016A (ja) 2003-07-11 2007-11-08 ケン デン 音響ベクトルセンサ
JP2005095998A (ja) 2003-09-22 2005-04-14 Riraiaru:Kk 動圧軸受用部品の製造方法
JP2005106679A (ja) 2003-09-30 2005-04-21 Nitta Ind Corp 多軸センサユニットおよびこれを利用した多軸センサ
FR2861464B1 (fr) 2003-10-28 2006-02-17 Commissariat Energie Atomique Detecteur de mouvement a six degres de liberte avec trois capteurs de position et procede de fabrication d'un capteur
FR2862761B1 (fr) 2003-11-25 2006-02-03 Thales Sa Accelerometre differentiel micro-usine multiaxes
US7367232B2 (en) 2004-01-24 2008-05-06 Vladimir Vaganov System and method for a three-axis MEMS accelerometer
AU2004316427B2 (en) 2004-01-29 2008-12-04 Westerngeco Seismic Holdings Limited Seismic cable positioning using coupled inertial system units
US7926614B2 (en) 2004-03-03 2011-04-19 Pgs Americas, Inc. Particle motion sensor mounting for marine seismic sensor streamers
US7359283B2 (en) 2004-03-03 2008-04-15 Pgs Americas, Inc. System for combining signals of pressure sensors and particle motion sensors in marine seismic streamers
WO2005095998A1 (ja) 2004-03-31 2005-10-13 National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology 加速度を検出するセンサの横感度を計測する方法および加速度計測方法
US7254093B2 (en) 2004-05-18 2007-08-07 Fairfield, Industries, Inc. Ocean bottom seismometer package with distributed geophones
CN100520395C (zh) 2004-07-26 2009-07-29 蜘蛛科技安全有限公司 振动传感器
CN101057160B (zh) 2004-09-21 2012-09-05 费尔菲尔德工业公司 用于地震数据采集的方法和设备
RU2276388C1 (ru) * 2004-12-21 2006-05-10 Александр Александрович Парамонов Морская автономная донная сейсмическая станция
JP2006177823A (ja) 2004-12-22 2006-07-06 Oki Electric Ind Co Ltd 加速度センサ
US20060133202A1 (en) 2004-12-22 2006-06-22 Tenghamn Stig R L Motion sensors in a marine seismic streamer
US20060193203A1 (en) 2005-02-16 2006-08-31 Tenghamn Stig R L Apparatus for attenuating noise in marine seismic streamers
US7222534B2 (en) 2005-03-31 2007-05-29 Pgs Americas, Inc. Optical accelerometer, optical inclinometer and seismic sensor system using such accelerometer and inclinometer
US7656746B2 (en) 2005-04-08 2010-02-02 Westerngeco L.L.C. Rational motion compensated seabed seismic sensors and methods of use in seabed seismic data acquisition
US7178401B2 (en) 2005-04-14 2007-02-20 General Electric Company Three axis accelerometer with variable axis sensitivity
US7403448B2 (en) 2005-06-03 2008-07-22 Westerngeco L.L.C. Streamer steering device orientation determination apparatus and methods
US7258011B2 (en) 2005-11-21 2007-08-21 Invensense Inc. Multiple axis accelerometer
FR2895801B1 (fr) 2005-12-29 2008-09-19 Sercel Sa Systeme d'acquisition de donnees sismiques a six composantes
US7617727B2 (en) 2006-04-18 2009-11-17 Watson Industries, Inc. Vibrating inertial rate sensor utilizing split or skewed operational elements
US7167413B1 (en) 2006-05-01 2007-01-23 Input/Output Towed streamer deghosting
US20070297827A1 (en) 2006-05-19 2007-12-27 David Clay Blaine Developer Roll Shield to Reduce Toner Dusting
US7298672B1 (en) 2006-08-22 2007-11-20 Pgs Geophysical Marine seismic streamer having acoustic isolation between strength members and sensor mounting
US7757555B2 (en) 2006-08-30 2010-07-20 Robert Bosch Gmbh Tri-axis accelerometer having a single proof mass and fully differential output signals
CA2569159C (en) 2006-11-28 2015-01-13 Nanometrics Inc. Inertial sensor
US7881159B2 (en) 2006-12-18 2011-02-01 Pgs Geophysical As Seismic streamers which attentuate longitudinally traveling waves
US7437255B2 (en) 2007-01-22 2008-10-14 General Electric Company Method and system for calibrating triaxial acceleration sensors
US8446797B2 (en) 2007-09-18 2013-05-21 IDN Geophysical Corporation Ocean bottom cable and sensor unit
US8099994B2 (en) 2008-02-29 2012-01-24 General Electric Company Systems and methods for calibrating triaxial accelerometers
FI122397B (fi) 2008-04-16 2011-12-30 Vti Technologies Oy Värähtelevä mikromekaaninen kulmanopeusanturi
US7883292B2 (en) 2008-06-30 2011-02-08 Fairfield Industries Incorporated Node storage, deployment and retrieval system
NO332562B1 (no) 2008-07-04 2012-10-29 Multifield Geophysics As Marinseismisk og elektromagnetisk streamerkabel
US8087848B2 (en) 2008-08-27 2012-01-03 Fairfield Industries Incorporated Powered sheave for node deployment and retrieval
US8226328B2 (en) 2008-09-03 2012-07-24 Fairfield Industries Incorporated Seismic cable with adjustable buoyancy
US7933165B2 (en) 2008-09-03 2011-04-26 Fairfield Industries Incorporated Connector for seismic cable
JP2010071793A (ja) 2008-09-18 2010-04-02 Toshiba Corp 多軸加速度センサ及び角速度センサ
US8417935B2 (en) 2008-10-10 2013-04-09 The Boeing Company System and method for collaboration over shared storage
CZ301217B6 (cs) 2008-10-30 2009-12-09 Matematicko-fyzikální fakulta Univerzity Karlovy Rotacní seismický senzorový systém, seismická mericí souprava obsahující tento systém a zpusob seismického pruzkumu
US8205498B2 (en) 2008-11-18 2012-06-26 Industrial Technology Research Institute Multi-axis capacitive accelerometer
US8266959B2 (en) 2008-11-26 2012-09-18 Fluke Corporation System and method of identifying the orientation of a tri-axial accelerometer
WO2010068780A1 (en) * 2008-12-10 2010-06-17 V Squared Wind, Inc. Efficient systems and methods for construction and operation of accelerating machines
US9207340B2 (en) 2008-12-26 2015-12-08 Pgs Geophysical As Marine seismic streamer cable with noise suppressing sensor support
FR2940838B1 (fr) 2009-01-05 2012-12-28 Michel Manin Procede et dispositif ameliores de prospection sismique marine
US9304216B2 (en) * 2009-02-05 2016-04-05 Westerngeco L.L.C. Seismic acquisition system and technique
US8199611B2 (en) 2009-02-05 2012-06-12 Westerngeco L.L.C. Deriving tilt-corrected seismic data in a multi-axis seismic sensor module
US8256290B2 (en) 2009-03-17 2012-09-04 Minyao Mao Tri-axis angular rate sensor
WO2010105337A1 (en) 2009-03-17 2010-09-23 Geo Equipment Manufacturing Limited Geophysical prospecting using electric and magnetic components of natural electromagnetic fields
IT1394007B1 (it) 2009-05-11 2012-05-17 St Microelectronics Rousset Struttura microelettromeccanica con reiezione migliorata di disturbi di accelerazione
US9075165B2 (en) 2009-11-03 2015-07-07 Pgs Geophysical As Hydrodynamic depressor for marine sensor streamer arrays
RU2546997C2 (ru) 2010-01-22 2015-04-10 Ион Геофизикал Корпорейшн Сейсмическая система с режекцией волны-спутника и движения
NO331416B1 (no) 2010-05-07 2011-12-27 Magseis As Seismisk havbunnskabel-registreringsapparat, samt fremgangsmate for utlegging og opphenting av det seismiske havbunnskabel-registreringsapparat
IT1401001B1 (it) * 2010-06-15 2013-07-05 Milano Politecnico Accelerometro capacitivo triassiale microelettromeccanico
CN102121829B (zh) 2010-08-09 2013-06-12 汪滔 一种微型惯性测量系统
US8982662B2 (en) 2010-09-02 2015-03-17 Ion Geophysical Corporation Multi-component, acoustic-wave sensor and methods
US8453506B2 (en) 2010-11-29 2013-06-04 General Electric Company Spring mounting element for an accelerometer
FR2969770B1 (fr) 2010-12-22 2013-01-18 Cggveritas Services Sa Procede, dispositif et unite de reception pour l'acquisition sismique au fond de la mer
AU2012214512B2 (en) 2011-02-07 2015-11-19 Ion Geophysical Corporation Method and apparatus for sensing underwater signals
US9086502B2 (en) 2011-06-07 2015-07-21 Pgs Geophysical As System and method of a marine survey using vertically oriented sensor streamers
US8976623B2 (en) 2011-07-05 2015-03-10 POS Geophysical AS Towing methods and systems for geophysical surveys
US20130044565A1 (en) * 2011-08-15 2013-02-21 Frederick James Barr Piezoelectric sensors for geophysical streamers
US20130083622A1 (en) 2011-09-30 2013-04-04 Cggveritas Services Sa Underwater node for seismic surveys
US9772418B2 (en) 2011-10-05 2017-09-26 Pgs Geophysical As Method and system of marine survey
IL215656A0 (en) 2011-10-10 2011-11-30 Israel Aerospace Ind Ltd Accelerometer
US20130088939A1 (en) 2011-10-10 2013-04-11 Pascal Edme Wavefield separation using a gradient sensor
AU2012327836B2 (en) 2011-10-28 2014-07-31 Gx Technology Canada Ltd. Steerable fairing string
EP2607849A1 (en) 2011-12-22 2013-06-26 Tronics Microsystems S.A. Multiaxial micro-electronic inertial sensor
EP2608121A1 (en) 2011-12-22 2013-06-26 Accenture Global Services Limited Managing reputation scores
GEP201606570B (en) 2012-03-29 2016-11-10 Rensselaer Polytech Inst Duplex ultrasound system for communication and energy transmission through wall with frequence tracking
GB2505875A (en) 2012-09-04 2014-03-19 Cambridge Entpr Ltd Dual and triple axis inertial sensors and methods of inertial sensing
US9360575B2 (en) 2013-01-11 2016-06-07 Fairfield Industries Incorporated Simultaneous shooting nodal acquisition seismic survey methods
US9207339B2 (en) 2013-01-23 2015-12-08 Magi-Q Technologies, Inc. Optical seismic sensor systems and methods
US9448311B2 (en) 2013-01-31 2016-09-20 Seabed Geosolutions B.V. Underwater node for seismic surveys and method
CN104969078B (zh) 2013-02-07 2018-04-10 基斯特勒控股公司 用于制造加速度传感器的方法
DE102013202647A1 (de) 2013-02-19 2014-08-21 Airbus Operations Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Messung von Schnittkräften
US20140241122A1 (en) * 2013-02-22 2014-08-28 Cgg Services Sa Activation electronics and method for seismic equipment recovery device
DE102013208875A1 (de) 2013-05-14 2014-12-04 Resonic Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung von Trägheitseigenschaften eines Objekts
CN110057484B (zh) 2013-11-05 2021-05-04 精工爱普生株式会社 力检测装置、机器人以及电子部件输送装置
US9217808B2 (en) 2013-11-07 2015-12-22 Schlumberger Technology Corporation Wellbore signal monitor with tangential seismic sensors for tube-wave noise reduction
US20160341759A1 (en) 2014-01-28 2016-11-24 Kyocera Corporation Sensor and method of manufacturing same
KR20150101741A (ko) 2014-02-27 2015-09-04 삼성전기주식회사 Mems 센서
CA2948064A1 (en) 2014-05-07 2015-11-12 Statoil Petroleum As Seismic sensor recording system
US9459366B2 (en) 2014-05-15 2016-10-04 Seabed Geosolutions B.V. Autonomous seismic node handling and storage system
US9595833B2 (en) 2014-07-24 2017-03-14 Seabed Geosolutions B.V. Inductive power for seismic sensor node
US9541663B2 (en) 2014-08-07 2017-01-10 Seabed Geosolutions B.V. System for automatically attaching and detaching seismic nodes directly to a deployment cable
EP3177943A1 (en) 2014-08-07 2017-06-14 Seabed Geosolutions B.V. Autonomous seismic nodes for the seabed
JP6476730B2 (ja) 2014-10-21 2019-03-06 セイコーエプソン株式会社 力検出装置及びロボット
NO340929B1 (en) 2014-10-24 2017-07-17 Magseis As Method and node deployer for seismic surveys
EP3213121B1 (en) 2014-10-29 2021-05-05 Seabed Geosolutions B.V. Touch down monitoring of an ocean bottom seismic node
JP2016205942A (ja) 2015-04-20 2016-12-08 学校法人早稲田大学 多軸力センサ
US10087745B2 (en) 2015-04-27 2018-10-02 Cameron International Corporation Bore object characterization system for well assemblies
CN107110885B (zh) 2015-06-26 2019-08-16 厦门乃尔电子有限公司 剪切型压电传感器
US9989555B2 (en) 2015-10-28 2018-06-05 Ultra Electronics Maritime Systems Inc. Miniature vector sensor
US10274627B2 (en) * 2015-10-30 2019-04-30 Ion Geophysical Corporation Ocean bottom seismic systems
CN108463743B (zh) 2015-11-17 2020-03-13 费尔菲尔德工业公司 后甲板自动化装置
GB201522480D0 (en) 2015-12-20 2016-02-03 Hardcastle Trevor M Floating structure
ITUA20162796A1 (it) 2016-04-21 2017-10-21 Pietro Fiorentini Spa Sensore di vibrazione
GB201609427D0 (en) 2016-05-27 2016-07-13 Sintef Tto As Accelerometers
WO2018175094A1 (en) 2017-03-21 2018-09-27 Canon U.S.A., Inc. Methods, apparatuses and storage mediums for ablation planning and performance
US10571588B2 (en) 2017-06-09 2020-02-25 Magseis Ff Llc Seismic data acquisition unit
WO2020056216A1 (en) * 2018-09-13 2020-03-19 Ion Geophysical Corporation Multi-axis, single mass accelerometer

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11561314B2 (en) * 2015-10-30 2023-01-24 TGS-NOPEC Geophysical Corporation Multi-axis, single mass accelerometer
US12019197B2 (en) 2015-10-30 2024-06-25 Tgs-Nopec Geophysical Company Multi-axis, single mass accelerometer

Also Published As

Publication number Publication date
US12019197B2 (en) 2024-06-25
BR112018008393A2 (pt) 2018-10-23
MX2018005424A (es) 2018-08-01
US10545254B2 (en) 2020-01-28
US20170123088A1 (en) 2017-05-04
EP3368923A1 (en) 2018-09-05
CN108431637B (zh) 2021-04-13
CA3003466A1 (en) 2017-05-04
BR112018008393B1 (pt) 2023-03-07
AU2016344002A1 (en) 2018-05-31
US10274627B2 (en) 2019-04-30
CA3003592A1 (en) 2017-05-04
US20170123091A1 (en) 2017-05-04
US11561314B2 (en) 2023-01-24
RU2018119485A (ru) 2019-12-02
WO2017075591A1 (en) 2017-05-04
WO2017075593A1 (en) 2017-05-04
RU2733974C2 (ru) 2020-10-08
AU2016344004A2 (en) 2018-10-04
EP3368922A1 (en) 2018-09-05
MX383079B (es) 2025-03-13
AU2016344004A1 (en) 2018-06-14
CN108474864A (zh) 2018-08-31
US20200166666A1 (en) 2020-05-28
CN108431637A (zh) 2018-08-21
RU2018119488A3 (ru) 2020-01-22
US20230236333A1 (en) 2023-07-27
MX2018005422A (es) 2018-08-01
BR112018008500A2 (pt) 2019-06-18
RU2018119485A3 (ru) 2020-02-26
EP3368923B1 (en) 2023-12-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2018119488A (ru) Многокомпонентный акселерометр с одной массой
CN107167631B (zh) 电荷输出元件及环形剪切式压电加速度传感器
KR20170092691A (ko) 관성 측정 모듈 및 ３축 가속도계
WO2008157260A3 (en) System and method of acoustic doppler beamforming
EP2866469A3 (en) Acoustic transducer and package module including the same
CN103245409A (zh) 基于压电效应的mems仿生结构矢量水声传感器
US20170031040A1 (en) Hermetically sealed hydrophones with very low acceleration sensitivity
CN109239398A (zh) 一种电荷输出结构及其具有的压电加速度传感器
CN100594384C (zh) 正交环型压电加速度计
CN210128983U (zh) 三轴压电传感器
EP3168652B1 (en) Hermetically sealed hydrophones with very low acceleration sensitivity
KR20170099133A (ko) 적층형 압전단결정 링 트랜스듀서를 이용한 수중음향센서
CN211603247U (zh) 一种三轴加速度传感器
CN106975590B (zh) 一种空背衬二维面阵超声换能器
CN109926298A (zh) 一种模式转换超声换能器及其制造方法
CN114447207B (zh) 一种压电元件及其制作方法、传感器组件和电子装置
RU2546968C1 (ru) Комбинированный гидроакустический приемник
CN201945412U (zh) 一种十字多维测力传感器
CN110849469B (zh) 一种圈梁结构高性能压电加速度计
PT1347310E (pt) Antena subaquática com pelo menos um hidrofone e um circuito de amplificação associado ao hidrofone
JP2014044126A (ja) 環境計測装置
RU2416098C1 (ru) Трехосевой акселерометр
CN217158227U (zh) 一种阵列压电陶瓷换能器
CN110887467A (zh) 高精度陀螺仪
CN107632255B (zh) 测试治具板