[go: up one dir, main page]

RU2018145433A - Датчики с интегральной схемой защиты - Google Patents

Датчики с интегральной схемой защиты Download PDF

Info

Publication number
RU2018145433A
RU2018145433A RU2018145433A RU2018145433A RU2018145433A RU 2018145433 A RU2018145433 A RU 2018145433A RU 2018145433 A RU2018145433 A RU 2018145433A RU 2018145433 A RU2018145433 A RU 2018145433A RU 2018145433 A RU2018145433 A RU 2018145433A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
metal layer
embedded metal
sensor
reagent
lid
Prior art date
Application number
RU2018145433A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2766538C2 (ru
RU2018145433A3 (ru
Inventor
Трейси Хелен ФУН
Сююй ЦАЙ
Лиза КВОК
Хай ТРАН
Кеван САМИИ
Лянлян ЦЯН
Боян БОЯНОВ
Original Assignee
Иллюмина, Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Иллюмина, Инк. filed Critical Иллюмина, Инк.
Publication of RU2018145433A publication Critical patent/RU2018145433A/ru
Publication of RU2018145433A3 publication Critical patent/RU2018145433A3/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2766538C2 publication Critical patent/RU2766538C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/48—Biological material, e.g. blood, urine; Haemocytometers
    • G01N33/50—Chemical analysis of biological material, e.g. blood, urine; Testing involving biospecific ligand binding methods; Immunological testing
    • G01N33/53—Immunoassay; Biospecific binding assay; Materials therefor
    • G01N33/543—Immunoassay; Biospecific binding assay; Materials therefor with an insoluble carrier for immobilising immunochemicals
    • G01N33/54366—Apparatus specially adapted for solid-phase testing
    • G01N33/54373—Apparatus specially adapted for solid-phase testing involving physiochemical end-point determination, e.g. wave-guides, FETS, gratings
    • G01N33/5438—Electrodes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
    • G01N21/6452—Individual samples arranged in a regular 2D-array, e.g. multiwell plates
    • G01N21/6454—Individual samples arranged in a regular 2D-array, e.g. multiwell plates using an integrated detector array
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/75—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated
    • G01N21/77—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator
    • G01N21/78—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator producing a change of colour
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502715—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by interfacing components, e.g. fluidic, electrical, optical or mechanical interfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502738—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by integrated valves
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C12—BIOCHEMISTRY; BEER; SPIRITS; WINE; VINEGAR; MICROBIOLOGY; ENZYMOLOGY; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING
    • C12Q—MEASURING OR TESTING PROCESSES INVOLVING ENZYMES, NUCLEIC ACIDS OR MICROORGANISMS; COMPOSITIONS OR TEST PAPERS THEREFOR; PROCESSES OF PREPARING SUCH COMPOSITIONS; CONDITION-RESPONSIVE CONTROL IN MICROBIOLOGICAL OR ENZYMOLOGICAL PROCESSES
    • C12Q1/00—Measuring or testing processes involving enzymes, nucleic acids or microorganisms; Compositions therefor; Processes of preparing such compositions
    • C12Q1/68—Measuring or testing processes involving enzymes, nucleic acids or microorganisms; Compositions therefor; Processes of preparing such compositions involving nucleic acids
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/10—Investigating individual particles
    • G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
    • G01N15/1434—Optical arrangements
    • G01N15/1436—Optical arrangements the optical arrangement forming an integrated apparatus with the sample container, e.g. a flow cell
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/6486—Measuring fluorescence of biological material, e.g. DNA, RNA, cells
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/75—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated
    • G01N21/77—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator
    • G01N21/7703—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator using reagent-clad optical fibres or optical waveguides
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/48—Biological material, e.g. blood, urine; Haemocytometers
    • G01N33/50—Chemical analysis of biological material, e.g. blood, urine; Testing involving biospecific ligand binding methods; Immunological testing
    • G01N33/53—Immunoassay; Biospecific binding assay; Materials therefor
    • G01N33/543—Immunoassay; Biospecific binding assay; Materials therefor with an insoluble carrier for immobilising immunochemicals
    • G01N33/54366—Apparatus specially adapted for solid-phase testing
    • G01N33/54373—Apparatus specially adapted for solid-phase testing involving physiochemical end-point determination, e.g. wave-guides, FETS, gratings
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/06—Auxiliary integrated devices, integrated components
    • B01L2300/0627—Sensor or part of a sensor is integrated
    • B01L2300/0645—Electrodes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/06—Auxiliary integrated devices, integrated components
    • B01L2300/0627—Sensor or part of a sensor is integrated
    • B01L2300/0654—Lenses; Optical fibres
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C12—BIOCHEMISTRY; BEER; SPIRITS; WINE; VINEGAR; MICROBIOLOGY; ENZYMOLOGY; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING
    • C12Q—MEASURING OR TESTING PROCESSES INVOLVING ENZYMES, NUCLEIC ACIDS OR MICROORGANISMS; COMPOSITIONS OR TEST PAPERS THEREFOR; PROCESSES OF PREPARING SUCH COMPOSITIONS; CONDITION-RESPONSIVE CONTROL IN MICROBIOLOGICAL OR ENZYMOLOGICAL PROCESSES
    • C12Q1/00—Measuring or testing processes involving enzymes, nucleic acids or microorganisms; Compositions therefor; Processes of preparing such compositions
    • C12Q1/68—Measuring or testing processes involving enzymes, nucleic acids or microorganisms; Compositions therefor; Processes of preparing such compositions involving nucleic acids
    • C12Q1/6813—Hybridisation assays
    • C12Q1/6816—Hybridisation assays characterised by the detection means
    • C12Q1/6825—Nucleic acid detection involving sensors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/75—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated
    • G01N21/77—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator
    • G01N2021/7753—Reagent layer on photoelectrical transducer
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/75—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated
    • G01N21/77—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator
    • G01N2021/7756—Sensor type
    • G01N2021/7763—Sample through flow
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N35/00—Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor
    • G01N35/00029—Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor provided with flat sample substrates, e.g. slides

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Urology & Nephrology (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Microbiology (AREA)
  • Biotechnology (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Cell Biology (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • Zoology (AREA)
  • Proteomics, Peptides & Aminoacids (AREA)
  • Genetics & Genomics (AREA)
  • Bioinformatics & Cheminformatics (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Optical Measuring Cells (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)

Claims (95)

1. Датчик, содержащий проточную кювету, содержащую:
пассивирующий слой, имеющий противолежащие поверхности и реакционную зону на первой из указанных противолежащих поверхностей; и
крышку, функционально соединенную с пассивирующим слоем для частичного задания проточного канала между крышкой и реакционной зоной; устройство обнаружения, находящееся в контакте со второй из указанных противолежащих поверхностей пассивирующего слоя, причем устройство обнаружения содержит внедренный металлический слой, электрически изолированный от другой схемы обнаружения в указанном устройстве обнаружения; и
контроллер для заземления указанного внедренного металлического слоя.
2. Датчик по п. 1, отличающийся тем, что устройство обнаружения дополнительно содержит:
оптический датчик, электрически связанный с другой схемой обнаружения в устройстве обнаружения для передачи сигналов данных в ответ на фотоны, обнаруженные с помощью оптического датчика, и
неэлектропроводный зазор между внедренным металлическим слоем и другой схемой обнаружения.
3. Датчик по п. 2, отличающийся тем, что он дополнительно содержит второй контроллер, электрически связывающий оптический датчик с другой схемой обнаружения.
4. Датчик по п. 1, отличающийся тем, что он дополнительно содержит реактив, вводимый в проточный канал, причем указанный реактив имеет уровень рН в диапазоне от примерно 6,5 до примерно 10, а также имеет проводимость в диапазоне от примерно 45 мСм/см до примерно 85 мСм/см.
5. Датчик, содержащий устройство обнаружения, содержащее:
оптический волновод,
оптический датчик, функционально сопряженный с оптическим волноводом, и
схему устройства, включающую в себя:
первый внедренный металлический слой, и
второй внедренный металлический слой, электрически связанный с оптическим датчиком,
причем первый внедренный металлический слой отстоит от второго внедренного металлического слоя на электроизоляционный зазор, по меньшей мере, некоторый участок пассивирующего слоя, находящийся в контакте с первым внедренным металлическим слоем и областью входа оптического волновода, причем указанный, по меньшей мере, некоторый участок пассивирующего слоя имеет реакционную зону, по меньшей мере, частично прилегающую к области входа оптического волновода;
крышку, функционально соединенную с пассивирующим слоем для частичного задания проточного канала между крышкой и реакционной зоной, первый контроллер, электрически связанный с первым внедренным металлическим слоем для выборочного заземления первого внедренного металлического слоя, и
второй контроллер, электрически связывающий второй внедренный металлический слой с оптическим датчиком для передачи сигналов данных в ответ на фотоны, обнаруженные с помощью оптического датчика.
6. Способ, содержащий этапы, на которых:
вводят реактив в проточный канал датчика, который содержит:
проточную кювету, содержащую:
пассивирующий слой, имеющий противолежащие поверхности и
реакционную зону на первой из указанных противолежащих поверхностей, и
крышку, функционально соединенную с пассивирующим слоем для частичного задания проточного канала между крышкой и реакционной зоной,
устройство обнаружения, находящееся в контакте со второй из указанных противолежащих поверхностей пассивирующего слоя, причем устройство обнаружения содержит внедренный металлический слой, электрически изолированный от другой схемы обнаружения устройства в устройстве обнаружения;
осуществляют посредством датчика операцию измерения в ответ на реакцию в реакционной зоне с участием, по меньшей мере, некоторого компонента реакции реактива, и
во время операции измерения, заземляют внедренный металлический слой, обеспечивая, тем самым, пассивную защиту внедренного металлического слоя.
7. Способ по п. 6, отличающийся тем, что:
устройство обнаружения дополнительно содержит оптический датчик, электрически связанный с другой схемой устройства,
причем внедренный металлический слой отстоит от другой схемы устройства, которая электрически связана с оптическим датчиком, на электроизоляционный зазор,
причем заземление внедренного металлического слоя происходит независимо от операции измерения.
8. Датчик, содержащий: проточную кювету, содержащую:
пассивирующий слой, имеющий противолежащие поверхности и реакционную зону на первой из указанных противолежащих поверхностей, и
крышку, функционально соединенную с пассивирующим слоем для частичного задания проточного канала между крышкой и реакционной зоной; устройство обнаружения, находящееся в контакте со второй из указанных противолежащих поверхностей пассивирующего слоя, причем указанное устройство обнаружения содержит внедренный металлический слой; электрод реактива, расположенный с возможностью контактировать с реактивом, вводимым в проточный канал; и
контроллер, электрически связывающий электрод реактива и внедренный металлический слой для выборочного приложения электрического смещения, которое делает электрод реактива одним из следующих элементов: анодом или катодом, а внедренный металлический слой - другим из указанных элементов - катодом или анодом.
9. Датчик по п. 8, отличающийся тем, что электрод реактива соединен, по меньшей мере, с некоторым участком внутренней поверхности крышки.
10. Датчик по п. 8, отличающийся тем, что электрод реактива соединен с некоторым участком внутренней поверхности крышки, и образует боковую стенку проточного канала.
11. Датчик по п. 10, отличающийся тем, что боковая стенка электрически связана и напрямую механически соединена с металлическим проводником или соединителем, причем металлический проводник или соединитель электрически связан с контроллером.
12. Датчик по п. 10, отличающийся тем, что боковая стенка электрически связана с контроллером через участок электрода реактива, соединенный с указанным участком внутренней поверхности крышки через проводящий компонент.
13. Датчик по п. 8, отличающийся тем, что крышка содержит элемент, который задает боковую стенку проточного канала, и, причем электрод реактива имеет слой, расположенный на указанном элементе.
14. Датчик по п. 8, отличающийся тем, что электрод реактива содержит слой, соединенный с некоторым участком внутренней поверхности крышки и расположенный на, по меньшей мере, некотором участке патрубка для текучей среды, предусмотренного в крышке.
15. Датчик по п. 8, отличающийся тем, что электрод реактива содержит слой, соединенный с некоторым участком наружной поверхности крышки и расположенный на, по меньшей мере, некотором участке патрубка для текучей среды, предусмотренного в крышке.
16. Датчик по п. 8, отличающийся тем, что некоторый участок пассивирующего слоя имеет электрод реактива, заданный на или внедренный в пассивирующий слой.
17. Датчик по п. 8, отличающийся тем, что некоторый участок пассивирующего слоя имеет выполненное в нем отверстие, причем электрод реактива открыт для доступа через указанное отверстие.
18. Датчик по п. 8, отличающийся тем, что устройство обнаружения дополнительно содержит:
оптический датчик,
схему устройства, электрически связанную с оптическим датчиком для передачи сигналов данных в ответ на фотоны, обнаруженные с помощью оптического датчика, и
неэлектропроводный зазор между схемой устройства и внедренным металлическим слоем.
19. Датчик по п. 8, отличающийся тем, что устройство обнаружения дополнительно содержит:
оптический датчик, и
схему устройства, электрически связанную с оптическим датчиком и с внедренным металлическим слоем.
20. Датчик по п. 8, отличающийся тем, что устройство обнаружения дополнительно содержит:
оптический волновод, оптически соединяющий реакционную зону с оптическим датчиком, и
защитный слой, находящийся в контакте, по меньшей мере, с некоторым участком второй противолежащей поверхности пассивирующего слоя и имеющий отверстие, по меньшей мере, частично прилегающее к области входа оптического волновода.
21. Датчик по п. 8, отличающийся тем, что он дополнительно содержит реактив, вводимый в проточный канал, причем указанный реактив имеет уровень рН в диапазоне от примерно 6,5 до примерно 10 и проводимость в диапазоне от 45 мСм/см до 85 мСм/см.
22. Датчик, содержащий устройство обнаружения, содержащее:
оптический волновод,
оптический датчик, функционально сопряженный с оптическим волноводом, и
схему устройства, содержащую:
электрод реактива,
первый внедренный металлический слой, электрически связанный с электродом реактива, и
второй внедренный металлический слой, электрически связанный с оптическим датчиком,
причем первый внедренный металлический слой отстоит от второго внедренного металлического слоя на электроизоляционный зазор; по меньшей мере, некоторый участок пассивирующего слоя, находящийся в контакте с первым внедренным металлическим слоем и областью входа оптического волновода, причем указанный, по меньшей мере, некоторый участок пассивирующего слоя имеет реакционную зону, по меньшей мере, частично прилегающую к области входа оптического волновода, и
крышку, функционально соединенную с пассивирующим слоем для частичного задания проточного канала между крышкой и реакционной зоной, причем электрод реактива расположен так, чтобы контактировать с реактивом, вводимым в проточный канал.
23. Датчик по п. 22, отличающийся тем, что он дополнительно содержит:
первый контроллер, электрически связывающий электрод реактива и первый внедренный металлический слой для выборочного приложения электрического смещения, что делает электрод реактива анодом, а внедренный металлический слой - катодом, и
второй контроллер, электрически связывающий второй внедренный металлический слой с оптическим датчиком для передачи сигналов данных в ответ на фотоны, обнаруженные с помощью оптического датчика.
24. Датчик по п. 23, отличающийся тем, что электрод реактива: соединен с некоторым участком внутренней поверхности крышки и образует боковую стенку проточного канала.
25. Датчик по п. 24, отличающийся тем, что боковая стенка:
электрически связана и напрямую механически соединена с металлическим проводником или соединителем, причем металлический проводник или соединитель электрически связан с первым контроллером, или
электрически связана с первым контроллером через некоторый участок электрода реактива, соединенный с указанным участком внутренней поверхности крышки через проводящий компонент.
26. Датчик по п. 22, отличающийся тем, что электрод реактива соединен, по меньшей мере, с некоторым участком внутренней поверхности крышки.
27. Датчик по п. 22, отличающийся тем, что крышка содержит элемент, который задает боковую стенку проточного канала, и, причем электрод реактива содержит слой, расположенный на указанном элементе.
28. Датчик по п. 22, отличающийся тем, что электрод реактива содержит слой, соединенный с некоторым участком внутренней поверхности крышки и расположенный на, по меньшей мере, некотором участке патрубка для текучей среды, предусмотренного в крышке.
29. Датчик по п. 22, отличающийся тем, что электрод реактива содержит слой, соединенный с некоторым участком внешней поверхности крышки и расположенный на, по меньшей мере, некотором участке патрубка для текучей среды, предусмотренного в крышке.
30. Датчик по п. 22, отличающийся тем, что другой участок пассивирующего слоя имеет электрод реактива, заданный на или внедренный в отверстие пассивирующего слоя.
31. Датчик по п. 22, отличающийся тем, что другой участок пассивирующего слоя имеет выполненное в нем отверстие, причем электрод реактива открыт для доступа через это отверстие.
32. Способ, включающий этапы, на которых:
вводят реактив в проточный канал датчика, содержащего проточную кювету, содержащую:
пассивирующий слой, имеющий противолежащие поверхности и реакционную зону на первой из указанных противолежащих поверхностей, и
крышку, функционально соединенную с пассивирующим слоем для частичного задания проточного канала между крышкой и реакционной зоной;
устройство обнаружения, находящееся в контакте со второй из указанных противолежащих поверхностей пассивирующего слоя, причем устройство обнаружения содержит внедренный металлический слой, и
электрод реактива, электрически связанный с внедренным металлическим слоем и расположенный с возможностью контактировать с реактивом, вводимым в проточный канал;
осуществляют операцию измерения посредством датчика, в ответ на реакцию, протекающую в реакционной зоне с участием, по меньшей мере, некоторого компонента реакции реактива, и
во время операции измерения, прикладывают электрическое смещение, которое делает электрод реактива одним из следующих элементов: анодом или катодом, а внедренный металлический слой - другим из указанных элементов - катодом или анодом, тем самым, обеспечивая катодную защиту или анодную защиту внедренного металлического слоя.
33. Способ по п. 32, отличающийся тем, что:
устройство обнаружения дополнительно содержит оптический датчик и схему устройства, электрически связанную с оптическим датчиком,
причем внедренный металлический слой электрически связан со схемой устройства;
причем внедренный металлический слой используют при осуществлении операции измерения, и
причем электрическое смещение прикладывают к внедренному металлическому слою.
34. Способ по п. 32, отличающийся тем, что:
устройство обнаружения дополнительно содержит оптический датчик и схему устройства, электрически связанную с оптическим датчиком;
внедренный металлический слой отстоит от схемы устройства, электрически связанной с оптическим датчиком, на электроизоляционный зазор, и
причем приложение электрического смещения осуществляют независимо от операции измерения.
35. Способ по п. 32, отличающийся тем, что он дополнительно включает этап, на котором регулируют электрическое смещение на основании уровня рН реактива, введенного в проточный канал датчика.
RU2018145433A 2017-04-25 2018-04-19 Датчики с интегральной схемой защиты RU2766538C2 (ru)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201762489840P 2017-04-25 2017-04-25
US62/489,840 2017-04-25
NLN2019043 2017-06-09
NL2019043A NL2019043B1 (en) 2017-04-25 2017-06-09 Sensors having integrated protection circuitry
PCT/US2018/028265 WO2018200300A1 (en) 2017-04-25 2018-04-19 Sensors having integrated protection circuitry

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2018145433A true RU2018145433A (ru) 2021-05-25
RU2018145433A3 RU2018145433A3 (ru) 2021-09-07
RU2766538C2 RU2766538C2 (ru) 2022-03-15

Family

ID=65241545

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018145433A RU2766538C2 (ru) 2017-04-25 2018-04-19 Датчики с интегральной схемой защиты

Country Status (27)

Country Link
US (3) US11680906B2 (ru)
EP (2) EP3615922B1 (ru)
JP (1) JP7093312B2 (ru)
KR (1) KR102576273B1 (ru)
CN (1) CN109477799B (ru)
AU (1) AU2018258080B2 (ru)
CA (1) CA3026285C (ru)
CL (1) CL2018003752A1 (ru)
CO (1) CO2018013857A2 (ru)
CR (1) CR20190008A (ru)
DK (1) DK3615922T3 (ru)
ES (1) ES2928144T3 (ru)
HU (1) HUE059859T2 (ru)
IL (1) IL263400B2 (ru)
LT (1) LT3615922T (ru)
MX (1) MX391512B (ru)
NL (1) NL2019043B1 (ru)
PE (1) PE20200272A1 (ru)
PH (1) PH12018502734A1 (ru)
PL (1) PL3615922T3 (ru)
PT (1) PT3615922T (ru)
RU (1) RU2766538C2 (ru)
SA (1) SA519410381B1 (ru)
SG (1) SG11201811339SA (ru)
TW (1) TWI679418B (ru)
WO (1) WO2018200300A1 (ru)
ZA (1) ZA201808101B (ru)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IL279384B2 (en) 2018-09-14 2024-10-01 Illumina Inc Flow cells and methods related to same
WO2020112327A1 (en) * 2018-11-26 2020-06-04 Illumina, Inc. Flow cell systems and methods related to same
SG11202012495YA (en) * 2019-05-21 2021-01-28 Illumina Inc Sensors having an active surface
EP3997454A4 (en) * 2019-07-08 2023-07-05 Illumina, Inc. WAVEGUIDE INTEGRATION WITH OPTICAL COUPLING STRUCTURES ON LIGHT DETECTION DEVICE
US12196672B2 (en) 2020-05-07 2025-01-14 Hand Held Products, Inc. Apparatuses, systems, and methods for sample testing
US20210379578A1 (en) * 2020-06-04 2021-12-09 Illumina, Inc. Apparatus with a sensor having an active surface
US11846574B2 (en) 2020-10-29 2023-12-19 Hand Held Products, Inc. Apparatuses, systems, and methods for sample capture and extraction
US20240019356A1 (en) * 2020-12-09 2024-01-18 Ams-Osram Ag An optical absorbance spectrometer, optical device and method of optical absorbance spectrometry
CN115931779A (zh) * 2021-10-04 2023-04-07 手持产品公司 用于样品测试的装置、系统和方法

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040037746A1 (en) * 2000-10-12 2004-02-26 Bauer Alan Joseph Analyte detection system
US7223534B2 (en) * 2002-05-03 2007-05-29 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Diffraction-based diagnostic devices
WO2005108963A1 (en) * 2004-05-06 2005-11-17 Nanyang Technological University Microfluidic cell sorter system
AU2006335689A1 (en) * 2006-01-20 2007-07-26 Agency For Science, Technology And Research Biosensor
KR100835277B1 (ko) * 2006-11-23 2008-06-05 삼성전자주식회사 희생 양극을 갖는 전자 장치의 제조방법 및 그에 의해제조된 전자 장치
EP4134667B1 (en) * 2006-12-14 2025-11-12 Life Technologies Corporation Apparatus for measuring analytes using fet arrays
US8349167B2 (en) * 2006-12-14 2013-01-08 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for detecting molecular interactions using FET arrays
US20080238449A1 (en) 2007-03-27 2008-10-02 Denso Corporation Fluid sensor and impedance sensor
EP2165353B1 (en) * 2007-06-29 2017-08-30 Applied Biosystems, LLC Systems and methods for electronic detection with nanofets
WO2009012112A1 (en) 2007-07-13 2009-01-22 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Method and apparatus using electric field for improved biological assays
EP2079099B1 (en) * 2008-01-11 2015-09-16 Imec Method and apparatus for preventing galvanic corrosion in semiconductor processing
RU2011121883A (ru) * 2008-10-31 2012-12-10 Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. Биосенсор с многокамерным контейнером
EP2677307B1 (en) * 2012-06-21 2016-05-11 Nxp B.V. Integrated circuit with sensors and manufacturing method
WO2014043635A1 (en) * 2012-09-14 2014-03-20 President And Fellows Of Harvard College Microfluidic assisted cell screening
WO2015031798A1 (en) * 2013-08-29 2015-03-05 Northeastern University Matrix-enhanced electrochemical detector for pathogenic bacteria
DK3080585T3 (da) * 2013-12-10 2024-02-05 Illumina Inc Biosensorer til biologisk eller kemisk analyse og fremgangsmåder til fremstilling heraf
US9978689B2 (en) 2013-12-18 2018-05-22 Nxp Usa, Inc. Ion sensitive field effect transistors with protection diodes and methods of their fabrication
AU2015279831A1 (en) * 2014-06-25 2017-01-12 Jhl Biotech, Inc. Methods and reagents for purification of proteins
EP3234198B1 (en) * 2014-12-18 2024-04-03 Life Technologies Corporation Calibration panels and methods for designing the same
CN105806828B (zh) 2015-10-29 2019-05-14 北京联众泰克科技有限公司 一种电化学发光免疫分析系统及其流通池组件

Also Published As

Publication number Publication date
IL263400A (en) 2018-12-31
BR112019007053A2 (pt) 2019-07-02
SG11201811339SA (en) 2019-01-30
EP3615922A1 (en) 2020-03-04
CL2018003752A1 (es) 2019-04-12
NZ748879A (en) 2021-02-26
PE20200272A1 (es) 2020-02-04
US11680906B2 (en) 2023-06-20
EP4075135C0 (en) 2025-02-12
TW201843445A (zh) 2018-12-16
TWI679418B (zh) 2019-12-11
NL2019043B1 (en) 2018-11-05
RU2766538C2 (ru) 2022-03-15
AU2018258080B2 (en) 2023-07-13
AU2018258080A1 (en) 2018-12-20
SA519410381B1 (ar) 2022-11-29
MX391512B (es) 2025-03-21
PT3615922T (pt) 2022-10-17
EP3615922A4 (en) 2020-11-18
EP4075135A1 (en) 2022-10-19
MX2018016303A (es) 2019-08-29
LT3615922T (lt) 2022-10-25
CN109477799B (zh) 2023-06-20
JP7093312B2 (ja) 2022-06-29
CO2018013857A2 (es) 2019-01-18
CN109477799A (zh) 2019-03-15
ZA201808101B (en) 2020-11-25
HUE059859T2 (hu) 2023-01-28
EP4075135B1 (en) 2025-02-12
PL3615922T3 (pl) 2022-10-10
IL263400B2 (en) 2024-02-01
DK3615922T3 (da) 2022-09-05
KR102576273B1 (ko) 2023-09-07
RU2018145433A3 (ru) 2021-09-07
US20250164399A1 (en) 2025-05-22
CA3026285A1 (en) 2018-11-01
IL263400B1 (en) 2023-10-01
JP2020523551A (ja) 2020-08-06
US12241835B2 (en) 2025-03-04
EP3615922B1 (en) 2022-07-13
ES2928144T3 (es) 2022-11-15
US20200132605A1 (en) 2020-04-30
CR20190008A (es) 2019-04-09
US20230314326A1 (en) 2023-10-05
WO2018200300A1 (en) 2018-11-01
CA3026285C (en) 2023-02-28
PH12018502734A1 (en) 2019-10-28
KR20190134457A (ko) 2019-12-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2018145433A (ru) Датчики с интегральной схемой защиты
CN102235925B (zh) 具有垂直电馈通的电容式压力传感器及其制造方法
JP4065855B2 (ja) 生体および化学試料検査装置
EP2807478B1 (en) Isfet sensor array comprising titanium nitride as a sensing layer located on the bottom of a microwell structure
US7520160B1 (en) Electrochemical sensor
US10352808B2 (en) Pressure detection unit
TWI619941B (zh) 生物感測器裝置
CA2126555A1 (en) Analyte and pH Measuring Sensor Assembly and Method
US8828207B2 (en) Deep sea pH sensor
EP3206027B1 (en) Sensor chip comprising electrostatic discharge protection element
WO2011127905A8 (de) Ionensensitives sensorelement
US20140151223A1 (en) Sensor for Registering an Analyte Concentration
CN111433579A (zh) 压力传感器的屏蔽构造以及具备该屏蔽构造的压力传感器
KR100652571B1 (ko) 가스센서용 초소형 패키지
JPWO2019131564A1 (ja) 化学・物理現象の測定装置及びその製造方法
US20130263671A1 (en) Fluid pressure spike attenuation feature for pressure sensing devices
US20240377272A1 (en) Measuring device for determining and/or monitoring at least one physical and/or chemical measurement variable
KR101958717B1 (ko) 재사용이 가능한 누설감지센서
JP6781259B2 (ja) 圧力センサ
CN208234546U (zh) 一种能够实现超声波传感的电子设备
KR101267436B1 (ko) 압력센서용 멤스 디바이스
EP2988123B1 (en) Preventing stray currents in sensors in conductive media
KR20170033125A (ko) 지문 센서
JP2008064561A (ja) 湿度センサ
FR3110234B1 (fr) Circuit électrique souple et système de détection capacitive