[go: up one dir, main page]

RU2017102492A - Способ откачивания в системе вакуумных насосов и система вакуумных насосов - Google Patents

Способ откачивания в системе вакуумных насосов и система вакуумных насосов Download PDF

Info

Publication number
RU2017102492A
RU2017102492A RU2017102492A RU2017102492A RU2017102492A RU 2017102492 A RU2017102492 A RU 2017102492A RU 2017102492 A RU2017102492 A RU 2017102492A RU 2017102492 A RU2017102492 A RU 2017102492A RU 2017102492 A RU2017102492 A RU 2017102492A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
vacuum pump
auxiliary
gases
pipe
main
Prior art date
Application number
RU2017102492A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2666720C2 (ru
RU2017102492A3 (ru
Inventor
Дидье МЮЛЛЕР
Жан Эрик ЛЯРШЕ
Теодор ИЛЬЧЕВ
Original Assignee
Ателье Буш Са
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=51177037&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=RU2017102492(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Ателье Буш Са filed Critical Ателье Буш Са
Publication of RU2017102492A3 publication Critical patent/RU2017102492A3/ru
Publication of RU2017102492A publication Critical patent/RU2017102492A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2666720C2 publication Critical patent/RU2666720C2/ru

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/24—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids characterised by using valves controlling pressure or flow rate, e.g. discharge valves or unloading valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2/00—Rotary-piston machines or pumps
    • F04C2/30—Rotary-piston machines or pumps having the characteristics covered by two or more groups F04C2/02, F04C2/08, F04C2/22, F04C2/24 or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
    • F04C2/34—Rotary-piston machines or pumps having the characteristics covered by two or more groups F04C2/02, F04C2/08, F04C2/22, F04C2/24 or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in groups F04C2/08 or F04C2/22 and relative reciprocation between the co-operating members
    • F04C2/344—Rotary-piston machines or pumps having the characteristics covered by two or more groups F04C2/02, F04C2/08, F04C2/22, F04C2/24 or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in groups F04C2/08 or F04C2/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/30—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
    • F04C18/34—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/30—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
    • F04C18/34—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
    • F04C18/344—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/02—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids specially adapted for several pumps connected in series or in parallel
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/06—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids specially adapted for stopping, starting, idling or no-load operation
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/0042—Driving elements, brakes, couplings, transmissions specially adapted for pumps
    • F04C29/0085—Prime movers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/02—Lubrication; Lubricant separation
    • F04C29/026—Lubricant separation
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/12—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet
    • F04C29/124—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps
    • F04C29/126—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps of the non-return type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2240/00—Components
    • F04C2240/30—Casings or housings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2240/00—Components
    • F04C2240/40—Electric motor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2270/00—Control; Monitoring or safety arrangements
    • F04C2270/18—Pressure
    • F04C2270/185—Controlled or regulated

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Claims (30)

1. Способ откачивания в системе (SP, SPP) вакуумных насосов, содержащей:
главный вакуумный насос (3) со смазываемыми пластинами, имеющий патрубок (2) для впуска газов, соединенный с вакуумной камерой (1), и патрубок (4) для выпуска газов, ведущий в трубу (5) и открывающийся на выпуске (8) для газов системы (SP, SPP) вакуумных насосов;
обратный клапан (6), расположенный в трубе (5) между патрубком (4) для выпуска газов и выпуском (8) для газов; и
вспомогательный вакуумный насос (7) со смазываемыми пластинами, подсоединенный параллельно обратному клапану (6),
причем способ отличается тем, что:
активируют главный вакуумный насос (3) для откачивания газов, содержащихся в вакуумной камере (1), через патрубок (4) для выпуска газов;
одновременно активируют вспомогательный вакуумный насос (7); и
обеспечивают непрерывную работу вспомогательного вакуумного насоса (7) все то время, пока главный вакуумный насос (3) откачивает газы, содержащиеся в вакуумной камере (1), и/или все то время, пока главный вакуумный насос (3) поддерживает заданное давление в вакуумной камере (1).
2. Способ откачивания по п.1, отличающийся тем, что выпуск вспомогательного вакуумного насоса (7) присоединен к выпуску (8) для газов после обратного клапана (6).
3. Способ откачивания по п.1 или 2, отличающийся тем, что размеры вспомогательного вакуумного насоса (7) определяются минимальным потреблением энергии его электродвигателя.
4. Способ откачивания по п.1, отличающийся тем, что номинальную производительность вспомогательного вакуумного насоса (7) выбирают в зависимости от ограниченного обратным клапаном (6) объема выпускной трубы (5) главного вакуумного насоса (3).
5. Способ откачивания по п.1, отличающийся тем, что производительность вспомогательного вакуумного насоса составляет от 1/500 до 1/5 номинальной производительности главного вакуумного насоса (3).
6. Способ откачивания по п.1, отличающийся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является одноступенчатым или многоступенчатым.
7. Способ откачивания по п.1, отличающийся тем, что обратный клапан (6) закрывается, когда абсолютное давление на стороне всасывания главного вакуумного насоса (3) находится между 50 кПа (500 мбар) и конечным вакуумом.
8. Способ откачивания по п.1, отличающийся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) выпускает газы в маслоотделитель главного вакуумного насоса (3).
9. Способ откачивания по п.1, отличающийся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) встроен в маслоотделитель главного вакуумного насоса (3).
10. Система (SP, SPP) вакуумных насосов, содержащая:
главный вакуумный насос (3) со смазываемыми пластинами, имеющий патрубок (2) для впуска газов, соединенный с вакуумной камерой, и патрубок (4) для выпуска газов, ведущий в трубу (5) и открывающийся на выпуске (8) для газов системы (SP, SPP) вакуумных насосов;
обратный клапан (6), расположенный в трубе (5) между патрубком (4) для выпуска газов и выпуском (8) для газов; и
вспомогательный вакуумный насос (7) со смазываемыми пластинами, подсоединенный параллельно обратному клапану (6),
причем система (SP, SPP) вакуумных насосов отличается тем, что
вспомогательный вакуумный насос (7) выполнен с возможностью работы все то время, пока главный вакуумный насос (3) откачивает газы, содержащиеся в вакуумной камере (1), и/или все то время, пока главный вакуумный насос (3) поддерживает заданное давление в вакуумной камере (1).
11. Система вакуумных насосов по п.10, отличающаяся тем, что выпуск вспомогательного вакуумного насоса (7) присоединен к выпуску (8) для газов после обратного клапана (6).
12. Система вакуумных насосов по п.10 или 11, отличающаяся тем, что размеры вспомогательного вакуумного насоса (7) определены минимальным потреблением энергии его электродвигателя.
13. Система вакуумных насосов по п.10, отличающаяся тем, что номинальная производительность вспомогательного вакуумного насоса (7) выбрана в зависимости от ограниченного обратным клапаном (6) объема выпускной трубы (5) главного вакуумного насоса (3).
14. Система вакуумных насосов по п.13, отличающаяся тем, что производительность вспомогательного вакуумного насоса составляет от 1/500 до 1/5 номинальной производительности главного вакуумного насоса (3).
15. Система вакуумных насосов по п.10, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является одноступенчатым или многоступенчатым.
16. Система вакуумных насосов по п.10, отличающаяся тем, что обратный клапан (6) закрывается, когда абсолютное давление на стороне всасывания главного вакуумного насоса (3) находится между 50 кПа (500 мбар) и конечным вакуумом.
17. Система вакуумных насосов по п.10, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) выполнен с возможностью выпускания газов в маслоотделитель главного вакуумного насоса (3).
18. Система вакуумных насосов по п.10, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) встроен в маслоотделитель главного вакуумного насоса (3).
RU2017102492A 2014-06-27 2014-06-27 Способ откачивания в системе вакуумных насосов и система вакуумных насосов RU2666720C2 (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/EP2014/063725 WO2015197138A1 (fr) 2014-06-27 2014-06-27 Méthode de pompage dans un système de pompes à vide et système de pompes à vide

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2017102492A3 RU2017102492A3 (ru) 2018-07-27
RU2017102492A true RU2017102492A (ru) 2018-07-27
RU2666720C2 RU2666720C2 (ru) 2018-09-11

Family

ID=51177037

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017102492A RU2666720C2 (ru) 2014-06-27 2014-06-27 Способ откачивания в системе вакуумных насосов и система вакуумных насосов

Country Status (15)

Country Link
US (2) US10760573B2 (ru)
EP (1) EP3161318B1 (ru)
JP (1) JP6608394B2 (ru)
KR (1) KR102223057B1 (ru)
CN (1) CN106662108A (ru)
AU (3) AU2014398770A1 (ru)
BR (1) BR112016030498B1 (ru)
CA (1) CA2953455C (ru)
DK (1) DK3161318T3 (ru)
ES (1) ES2774438T3 (ru)
PL (1) PL3161318T3 (ru)
PT (1) PT3161318T (ru)
RU (1) RU2666720C2 (ru)
TW (2) TWI734588B (ru)
WO (1) WO2015197138A1 (ru)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA2953455C (fr) * 2014-06-27 2022-03-29 Ateliers Busch Sa Methode de pompage dans un systeme de pompes a vide et systeme de pompes a vide
JP6785695B2 (ja) * 2016-06-08 2020-11-18 株式会社荏原製作所 除害機能付ドライ真空ポンプ
JP6473283B1 (ja) * 2017-05-30 2019-02-20 株式会社アルバック 真空ポンプ
CN107559200B (zh) * 2017-11-01 2024-06-14 广东肯富来泵业股份有限公司 平衡型罗茨真空泵系统及其控制方法
CN107701482A (zh) * 2017-11-15 2018-02-16 益发施迈茨工业炉（上海）有限公司 真空炉电机的辅助启动系统及方法

Family Cites Families (49)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3536418A (en) * 1969-02-13 1970-10-27 Onezime P Breaux Cryogenic turbo-molecular vacuum pump
GB1303430A (ru) * 1969-06-12 1973-01-17
US4426450A (en) 1981-08-24 1984-01-17 Fermentec Corporation Fermentation process and apparatus
SU1170190A1 (ru) * 1984-01-17 1985-07-30 Предприятие П/Я А-1614 Система смазки механического вакуумного насоса
JPS62233492A (ja) 1986-03-31 1987-10-13 Shimadzu Corp 油回転真空ポンプ
JPS63104693A (ja) * 1986-10-22 1988-05-10 Nissho:Kk 産業廃棄物の処理方法
JPH0442557Y2 (ru) * 1986-12-25 1992-10-07
DE3842886A1 (de) * 1987-12-21 1989-07-06 Rietschle Masch App Vakuumpumpstand
DE8816875U1 (de) * 1987-12-21 1991-04-11 Werner Rietschle Maschinen- Und Apparatebau Gmbh, 7860 Schopfheim Vakuumpumpstand
DE3819692A1 (de) * 1988-06-09 1989-12-14 Provac Gmbh & Co Trockenlaufende drehschieber-vakuumpumpe
SU1700283A1 (ru) * 1989-05-05 1991-12-23 Предприятие П/Я А-3634 Вакуумный насос
US5004407A (en) * 1989-09-26 1991-04-02 Sundstrand Corporation Method of scavenging air and oil and gear pump therefor
JPH0436091A (ja) * 1990-05-29 1992-02-06 Shimadzu Corp 油回転真空ポンプ
KR100190310B1 (ko) * 1992-09-03 1999-06-01 모리시따 요오이찌 진공배기장치
DE4327583A1 (de) * 1993-08-17 1995-02-23 Leybold Ag Vakuumpumpe mit Ölabscheider
JP3386202B2 (ja) * 1993-09-08 2003-03-17 株式会社アルバック ２段式油回転真空ポンプ
DE19709206A1 (de) * 1997-03-06 1998-09-10 Leybold Vakuum Gmbh Vakuumpumpe
FR2822200B1 (fr) * 2001-03-19 2003-09-26 Cit Alcatel Systeme de pompage pour gaz a faible conductivite thermique
DE10131516B4 (de) 2001-07-02 2004-05-06 Boehringer Ingelheim Pharma Gmbh & Co. Kg Steuereinheit zur Flussregulierung
JP3992176B2 (ja) * 2001-10-26 2007-10-17 株式会社アルバック 真空排気方法および真空排気装置
KR100876318B1 (ko) * 2001-09-06 2008-12-31 가부시키가이샤 아루박 진공배기장치 및 진공배기장치의 운전방법
US6589023B2 (en) * 2001-10-09 2003-07-08 Applied Materials, Inc. Device and method for reducing vacuum pump energy consumption
DE10150015A1 (de) * 2001-10-11 2003-04-17 Leybold Vakuum Gmbh Mehrkammeranlage zur Behandlung von Gegenständen unter Vakuum, Verfahren zur Evakuierung dieser Anlage und Evakuierungssystem dafür
JP4365059B2 (ja) 2001-10-31 2009-11-18 株式会社アルバック 真空排気装置の運転方法
JP4077196B2 (ja) * 2001-12-25 2008-04-16 滋 山口 油回転真空ポンプ
JP2004263635A (ja) 2003-03-03 2004-09-24 Tadahiro Omi 真空装置および真空ポンプ
US7254961B2 (en) 2004-02-18 2007-08-14 Denso Corporation Vapor compression cycle having ejector
FR2869369B1 (fr) * 2004-04-21 2006-07-21 Alcatel Sa Pompe a vide multi-etagee, et installation de pompage comprenant une telle pompe
WO2006013761A1 (ja) * 2004-08-02 2006-02-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. ベーンロータリ型空気ポンプ
US7655140B2 (en) 2004-10-26 2010-02-02 Cummins Filtration Ip Inc. Automatic water drain for suction fuel water separators
US8807158B2 (en) 2005-01-20 2014-08-19 Hydra-Flex, Inc. Eductor assembly with dual-material eductor body
DE102005008887A1 (de) 2005-02-26 2006-08-31 Leybold Vacuum Gmbh Einwellige Vakuum-Verdränderpumpe
WO2007003215A1 (en) * 2005-07-05 2007-01-11 Vhit S.P.A. Vacuum vane pump with discharge valve
US20090112370A1 (en) 2005-07-21 2009-04-30 Asm Japan K.K. Vacuum system and method for operating the same
JP4745779B2 (ja) 2005-10-03 2011-08-10 神港精機株式会社 真空装置
DE102006022772A1 (de) * 2006-05-16 2007-11-22 Pfeiffer Vacuum Gmbh Antriebsanordnung für eine Vakuumpumpe
DE102006058837C5 (de) * 2006-12-13 2022-05-05 Pfeiffer Vacuum Gmbh Schmiermittelgedichtete Drehschiebervakuumpumpe
JP5438279B2 (ja) * 2008-03-24 2014-03-12 アネスト岩田株式会社 多段真空ポンプ及びその運転方法
TWI467092B (zh) 2008-09-10 2015-01-01 Ulvac Inc 真空排氣裝置
GB2465374A (en) 2008-11-14 2010-05-19 Mann & Hummel Gmbh Centrifugal separator with venturi
JP5303249B2 (ja) * 2008-11-26 2013-10-02 株式会社荏原製作所 ドライ真空ポンプユニット
DE102009024336A1 (de) * 2009-06-09 2010-12-23 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
FR2952683B1 (fr) 2009-11-18 2011-11-04 Alcatel Lucent Procede et dispositif de pompage a consommation d'energie reduite
JP5677202B2 (ja) * 2011-06-02 2015-02-25 株式会社荏原製作所 真空ポンプ
FR2993614B1 (fr) 2012-07-19 2018-06-15 Pfeiffer Vacuum Procede et dispositif de pompage d'une chambre de procedes
DE102012220442A1 (de) 2012-11-09 2014-05-15 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpensystem zur Evakuierung einer Kammer sowie Verfahren zur Steuerung eines Vakuumpumpensystems
GB2509182A (en) 2012-12-21 2014-06-25 Xerex Ab Vacuum ejector with multi-nozzle drive stage and booster
ITTO20121157A1 (it) * 2012-12-27 2014-06-28 Vhit Spa Sistema di lubrificazione per una pompa per vuoto rotativa.
CA2953455C (fr) * 2014-06-27 2022-03-29 Ateliers Busch Sa Methode de pompage dans un systeme de pompes a vide et systeme de pompes a vide

Also Published As

Publication number Publication date
AU2019204608B2 (en) 2021-07-22
JP2017523339A (ja) 2017-08-17
PT3161318T (pt) 2020-03-06
BR112016030498A2 (ru) 2017-08-22
AU2014398770A1 (en) 2017-01-19
TWI734588B (zh) 2021-07-21
RU2666720C2 (ru) 2018-09-11
KR20170028381A (ko) 2017-03-13
US10760573B2 (en) 2020-09-01
CA2953455C (fr) 2022-03-29
CA2953455A1 (fr) 2015-12-30
KR102223057B1 (ko) 2021-03-05
EP3161318B1 (fr) 2020-02-05
RU2017102492A3 (ru) 2018-07-27
US11725662B2 (en) 2023-08-15
DK3161318T3 (da) 2020-03-09
WO2015197138A1 (fr) 2015-12-30
PL3161318T3 (pl) 2020-08-10
TW202043623A (zh) 2020-12-01
ES2774438T3 (es) 2020-07-21
US20170122321A1 (en) 2017-05-04
BR112016030498B1 (pt) 2022-06-28
EP3161318A1 (fr) 2017-05-03
AU2017100332A4 (en) 2017-04-27
CN106662108A (zh) 2017-05-10
JP6608394B2 (ja) 2019-11-20
TWI710702B (zh) 2020-11-21
AU2019204608A1 (en) 2019-07-18
US20200318640A1 (en) 2020-10-08
TW201608135A (zh) 2016-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2017114342A (ru) Система откачки для создания вакуума и способ откачки при помощи этой системы откачки
RU2017102492A (ru) Способ откачивания в системе вакуумных насосов и система вакуумных насосов
WO2011061429A3 (fr) Procede et dispositif de pompage a consommation d'energie reduite
TR201905512T4 (tr) Hava şartlandırma sistemi ve hava şartlandırma sisteminin kontrol edilmesine yönelik yöntem.
JP2012518878A5 (ru)
EP2626562A3 (en) Pump
EP2687726A4 (en) COMPRESSOR
RU2015149820A (ru) Многоступенчатый самовсасывающий центробежный насосный агрегат
NO20190005A1 (en) Method and system for pumping a liquid containing particles, preferably fish in water
US20170298935A1 (en) Vacuum-generating pumping system and pumping method using this pumping system
CN104632627A (zh) 压缩机泵体及具有其的压缩机
RU2016142607A (ru) Способ откачки в насосной системе и система вакуумных насосов
WO2018033790A3 (en) Pressure system
RU2016141339A (ru) Способ откачки в системе вакуумных насосов и система вакуумных насосов
WO2011135374A3 (en) Improvements relating to penis pumps
JP2017031892A5 (ru)
RU2018100476A (ru) Система добычи нефти
RU2012134597A (ru) Способ удаления газа из участка газопровода, подлежащего ремонту
RU114733U1 (ru) Поршневой многоступенчатый компрессор
CN204436796U (zh) 一种爪形真空泵保护装置
RU83724U1 (ru) Вакуумная камера
MX2021013915A (es) Bomba duplex submarina, sistema de bombeo submarino y metodo de bombeo submarino.
CN104405607A (zh) 备管型手摇油泵
WO2015188185A3 (en) Single piston foundation bag-in-box (bib) pump
CN204226203U (zh) 双级滑阀真空泵