RU2013137228A - Устройство автоматического питания промышленного генератора пара металла - Google Patents
Устройство автоматического питания промышленного генератора пара металла Download PDFInfo
- Publication number
- RU2013137228A RU2013137228A RU2013137228/02A RU2013137228A RU2013137228A RU 2013137228 A RU2013137228 A RU 2013137228A RU 2013137228/02 A RU2013137228/02 A RU 2013137228/02A RU 2013137228 A RU2013137228 A RU 2013137228A RU 2013137228 A RU2013137228 A RU 2013137228A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- metal
- crucible
- installation according
- furnace
- pipe
- Prior art date
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract 24
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract 24
- 238000004326 stimulated echo acquisition mode for imaging Methods 0.000 title 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims abstract 19
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims abstract 9
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract 9
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims abstract 9
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims abstract 9
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 claims abstract 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract 4
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims abstract 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims abstract 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims abstract 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims 2
- 229910001209 Low-carbon steel Inorganic materials 0.000 claims 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 claims 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
- C23C14/16—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/246—Replenishment of source material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
Abstract
1. Установка для непрерывного вакуумного осаждения металлического покрытия на движущуюся подложку, содержащая камеру (24) вакуумного осаждения, по меньшей мере, одну головку (25, 26) для нанесения покрытия струйным осаждением пара, соединенную с испарительным тиглем (9), содержащим металл покрытия в жидком виде (11), с помощью подающего пар трубопровода (20), снабженного распределительным клапаном (19), и печь (1) для плавления указанного металла, причем указанная печь находится под атмосферным давлением и расположена ниже уровня самой низкой части испарительного тигля (9) и соединена с испарительным тиглем (9) по меньшей мере одним трубопроводом (8) для автоматического питания испарительного тигля (9), снабженным питающим насосом (6), и по меньшей мере одним трубопроводом (8A, 18) для возврата жидкого металла, факультативно снабженным клапаном (16, 17), причем дополнительно предусмотрены средства регулирования питающего насоса, обеспечивающие регулирования определенного уровня жидкого металла в испарительном тигле (9), отличающаяся тем, что она содержит имеющуюся в каждом из указанных трубопроводов питания и возврата (8, 8A, 18) зону (7, 13, 15), называемую термоклапаном, которая снабжена устройством нагрева и устройством охлаждения для получения регулируемой температуры, независимой от температуры плавильной печи (1) и от температуры в остальной части указанных трубопроводов (8, 8A, 18) и в испарительном тигле (9), с целью расплавления или отверждения металла, находящегося в этом месте.2. Установка по п.1, содержащая средства, обеспечивающие локализованную генерацию пара металла между печью (1) и напыляющей головкой (25, 26).3. Установка по п.2, в к�
Claims (14)
1. Установка для непрерывного вакуумного осаждения металлического покрытия на движущуюся подложку, содержащая камеру (24) вакуумного осаждения, по меньшей мере, одну головку (25, 26) для нанесения покрытия струйным осаждением пара, соединенную с испарительным тиглем (9), содержащим металл покрытия в жидком виде (11), с помощью подающего пар трубопровода (20), снабженного распределительным клапаном (19), и печь (1) для плавления указанного металла, причем указанная печь находится под атмосферным давлением и расположена ниже уровня самой низкой части испарительного тигля (9) и соединена с испарительным тиглем (9) по меньшей мере одним трубопроводом (8) для автоматического питания испарительного тигля (9), снабженным питающим насосом (6), и по меньшей мере одним трубопроводом (8A, 18) для возврата жидкого металла, факультативно снабженным клапаном (16, 17), причем дополнительно предусмотрены средства регулирования питающего насоса, обеспечивающие регулирования определенного уровня жидкого металла в испарительном тигле (9), отличающаяся тем, что она содержит имеющуюся в каждом из указанных трубопроводов питания и возврата (8, 8A, 18) зону (7, 13, 15), называемую термоклапаном, которая снабжена устройством нагрева и устройством охлаждения для получения регулируемой температуры, независимой от температуры плавильной печи (1) и от температуры в остальной части указанных трубопроводов (8, 8A, 18) и в испарительном тигле (9), с целью расплавления или отверждения металла, находящегося в этом месте.
2. Установка по п.1, содержащая средства, обеспечивающие локализованную генерацию пара металла между печью (1) и напыляющей головкой (25, 26).
3. Установка по п.2, в которой указанные средства, обеспечивающие локализованную генерацию пара металла, содержат устройство (43) для удержания жидкого металла, находящееся на дне испарительного тигля (9).
4. Установка по п.2, в которой указанные средства, обеспечивающие локализованную генерацию пара металла, содержат дополнительный тигель (44), соединенный с подающим пар трубопроводом (20).
5. Установка по любому из пп.1-4, в которой указанный(ые) термоклапан(ы) образован(ы) двойной оболочкой, в которой осуществляется охлаждение посредством инжекции и циркуляции хладагента.
6. Установка по любому из пп.1-4, в которой трубопровод (8) питания снабжен перепускным клапаном (14), обеспечивающим возможность использования трубопровода питания (8) в качестве сливной трубы.
7. Установка по любому из пп.1-4, в которой указанные трубопроводы (8, 8A, 18) выполнены из двух материалов, причем внутренний объем образован бесшовной трубой (C) из низкоуглеродистой стали, графита или керамики, покрытой или защищенной снаружи нержавеющей сталью (B).
8. Установка по п.7, в которой трубы (B, C) помещены во вторую металлическую оболочку (A) в форме сильфона.
9. Установка по любому из пп.1-4 или 8, в которой соединение между плавильной печью (1) и испарительным тиглем (9) обеспечено с помощью жесткого эталонного стержня, а трубопроводы (8; 8A, 18) выполнены в форме лиры.
10. Установка по п.9, в которой трубопроводы скреплены друг с другом, а также с печью (1) и испарительным тиглем (9) с помощью металлических фланцев, причем вакуумная герметизация достигается путем наложения надувного металлического уплотнения и графитового уплотнения.
11. Установка по любому из пп.1-4, 8 или 10, дополнительно содержащая устройство (37) для распределения инертного газа, сообщающееся с испарительным тиглем (9).
12. Способ запуска установки по любому из пп.2-11, в соответствии с которым:
- начинают плавление металла в печи (1), поддерживая в то же время твердое состояние металла в термоклапанах (7, 13, 15) трубопроводов питания и возврата (8; 8A, 18);
- нагревают остальную часть указанной установки до температуры, необходимой для приема жидкого металла и/или пара металла, закрывают распределительный клапан (19) трубопровода питания (20) и создают вакуум в камере осаждения (24);
- активируют указанные средства, обеспечивающие локализованную генерацию пара металла, при температуре, превышающей температуру жидкого металла в установке в процессе осаждения;
- расплавляют затвердевший металл, находящийся в термоклапанах (7, 13, 15);
- затем заполняют испарительный тигель (9) с помощью питающего насоса (6), открывают распределительный клапан (19) трубопровода питания (20) и приступают к осаждению металла на указанную движущуюся подложку.
13. Способ по п.12, в соответствии с которым высота испарительного тигля (9) относительно плавильной печи (1) выбрана таким образом, чтобы свободная поверхность жидкого металла в трубопроводе (8) питания была расположена под тиглем (9), когда в установке создан вакуум, при этом питающий насос (6) не работает.
14. Способ использования установки по любому из пп.1-11, в котором подложка представляет собой металлическую полосу, а металлическое покрытие представляет собой магний или цинк.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP11151004.6 | 2011-01-14 | ||
| EP11151004 | 2011-01-14 | ||
| PCT/EP2012/050432 WO2012095489A1 (fr) | 2011-01-14 | 2012-01-12 | Dispositif d'alimentation automatique d'un generateur de vapeur metallique industriel |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2013137228A true RU2013137228A (ru) | 2015-02-20 |
| RU2584369C2 RU2584369C2 (ru) | 2016-05-20 |
Family
ID=43711015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2013137228/02A RU2584369C2 (ru) | 2011-01-14 | 2012-01-12 | Устройство автоматического питания промышленного генератора пара металла |
Country Status (17)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10011905B2 (ru) |
| EP (1) | EP2663665B1 (ru) |
| JP (1) | JP6046051B2 (ru) |
| KR (1) | KR101786160B1 (ru) |
| CN (1) | CN103328680B (ru) |
| AU (1) | AU2012206581B2 (ru) |
| BR (1) | BR112013018030B1 (ru) |
| CA (1) | CA2824248C (ru) |
| ES (1) | ES2538661T3 (ru) |
| HU (1) | HUE026398T2 (ru) |
| IN (1) | IN2013DN06279A (ru) |
| MX (1) | MX342299B (ru) |
| PL (1) | PL2663665T3 (ru) |
| RU (1) | RU2584369C2 (ru) |
| UA (1) | UA111602C2 (ru) |
| WO (1) | WO2012095489A1 (ru) |
| ZA (1) | ZA201305032B (ru) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2206575B (en) | 1987-07-09 | 1992-01-02 | Glaverbel | Spherulizing furnace and process of manufacturing vitreous beads |
| KR101461738B1 (ko) * | 2012-12-21 | 2014-11-14 | 주식회사 포스코 | 가열장치 및 이를 포함하는 코팅 시스템 |
| US9240584B1 (en) * | 2012-12-27 | 2016-01-19 | Sakti3, Inc. | Phase change material source for physical vapor deposition |
| CN105793464B (zh) * | 2013-11-05 | 2018-01-02 | 塔塔钢铁荷兰科技有限责任公司 | 用于控制蒸发器装置中的液体金属的组成的方法和设备 |
| ES2787924T3 (es) * | 2016-05-03 | 2020-10-19 | Tata Steel Nederland Tech Bv | Aparato para alimentar un metal líquido a un dispositivo evaporador |
| WO2018020296A1 (en) | 2016-07-27 | 2018-02-01 | Arcelormittal | Apparatus and method for vacuum deposition |
| EP3735996B1 (de) * | 2019-05-07 | 2023-09-27 | Free Life Medical GmbH | Bidirektionale perfusionskanüle |
| CN112505286B (zh) * | 2019-09-16 | 2023-08-11 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 一种锌致液态金属裂纹形成条件的检测装置及方法 |
| CN113930738B (zh) * | 2020-06-29 | 2023-09-12 | 宝山钢铁股份有限公司 | 一种真空镀膜用的金属蒸汽调制装置及其调制方法 |
| CN113957389B (zh) * | 2020-07-21 | 2023-08-11 | 宝山钢铁股份有限公司 | 一种具有多孔降噪及均匀化分配金属蒸汽的真空镀膜装置 |
| US20220090256A1 (en) | 2020-09-18 | 2022-03-24 | Applied Materials, Inc. | Evaporation apparatus, vapor deposition apparatus, and evaporation method |
| CN114029001B (zh) * | 2021-12-03 | 2023-11-24 | 上海镁源动力科技有限公司 | 一种用于液态金属原料自动上料的装置及上料方法 |
| EP4446459A1 (en) * | 2023-04-11 | 2024-10-16 | NEOVAC GmbH | Evaporation crucible and evaporation unit |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1505064A2 (ru) * | 1987-08-04 | 1994-12-15 | Специализированное конструкторско-технологическое бюро с опытным производством Института электроники им.У.А.Арифова | Электродуговой испаритель |
| US5356673A (en) * | 1991-03-18 | 1994-10-18 | Jet Process Corporation | Evaporation system and method for gas jet deposition of thin film materials |
| BE1010351A6 (fr) | 1996-06-13 | 1998-06-02 | Centre Rech Metallurgique | Procede et dispositif pour revetir en continu un substrat en mouvement au moyen d'une vapeur metallique. |
| JP3901773B2 (ja) * | 1996-11-26 | 2007-04-04 | 三菱重工業株式会社 | 真空蒸着装置 |
| LV13383B (en) * | 2004-05-27 | 2006-02-20 | Sidrabe As | Method and device for vacuum vaporization metals or alloys |
| EP1972699A1 (fr) * | 2007-03-20 | 2008-09-24 | ArcelorMittal France | Procede de revetement d'un substrat et installation de depot sous vide d'alliage metallique |
| EP2048261A1 (fr) * | 2007-10-12 | 2009-04-15 | ArcelorMittal France | Générateur de vapeur industriel pour le dépôt d'un revêtement d'alliage sur une bande métallique |
| EP2199425A1 (fr) * | 2008-12-18 | 2010-06-23 | ArcelorMittal France | Générateur de vapeur industriel pour le dépôt d'un revêtement d'alliage sur une bande métallique (II) |
-
2012
- 2012-01-12 US US13/979,598 patent/US10011905B2/en active Active
- 2012-01-12 KR KR1020137021413A patent/KR101786160B1/ko active Active
- 2012-01-12 HU HUE12700188A patent/HUE026398T2/en unknown
- 2012-01-12 IN IN6279DEN2013 patent/IN2013DN06279A/en unknown
- 2012-01-12 PL PL12700188T patent/PL2663665T3/pl unknown
- 2012-01-12 RU RU2013137228/02A patent/RU2584369C2/ru active
- 2012-01-12 CA CA2824248A patent/CA2824248C/en active Active
- 2012-01-12 EP EP12700188.1A patent/EP2663665B1/fr active Active
- 2012-01-12 MX MX2013008174A patent/MX342299B/es active IP Right Grant
- 2012-01-12 JP JP2013548844A patent/JP6046051B2/ja active Active
- 2012-01-12 WO PCT/EP2012/050432 patent/WO2012095489A1/fr not_active Ceased
- 2012-01-12 CN CN201280005167.6A patent/CN103328680B/zh active Active
- 2012-01-12 AU AU2012206581A patent/AU2012206581B2/en active Active
- 2012-01-12 ES ES12700188.1T patent/ES2538661T3/es active Active
- 2012-01-12 BR BR112013018030-7A patent/BR112013018030B1/pt active IP Right Grant
- 2012-12-01 UA UAA201310074A patent/UA111602C2/uk unknown
-
2013
- 2013-07-04 ZA ZA2013/05032A patent/ZA201305032B/en unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CA2824248A1 (en) | 2012-07-19 |
| MX2013008174A (es) | 2013-12-02 |
| MX342299B (es) | 2016-09-23 |
| ZA201305032B (en) | 2014-07-30 |
| BR112013018030A2 (pt) | 2020-10-27 |
| CN103328680A (zh) | 2013-09-25 |
| CN103328680B (zh) | 2015-05-20 |
| JP2014505794A (ja) | 2014-03-06 |
| ES2538661T3 (es) | 2015-06-23 |
| PL2663665T3 (pl) | 2015-08-31 |
| IN2013DN06279A (ru) | 2015-08-14 |
| JP6046051B2 (ja) | 2016-12-14 |
| EP2663665A1 (fr) | 2013-11-20 |
| US20140127406A1 (en) | 2014-05-08 |
| AU2012206581B2 (en) | 2017-03-30 |
| EP2663665B1 (fr) | 2015-03-11 |
| KR20140041436A (ko) | 2014-04-04 |
| CA2824248C (en) | 2019-11-05 |
| UA111602C2 (uk) | 2016-05-25 |
| HUE026398T2 (en) | 2016-06-28 |
| WO2012095489A1 (fr) | 2012-07-19 |
| KR101786160B1 (ko) | 2017-10-17 |
| RU2584369C2 (ru) | 2016-05-20 |
| BR112013018030B1 (pt) | 2021-05-18 |
| US10011905B2 (en) | 2018-07-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2013137228A (ru) | Устройство автоматического питания промышленного генератора пара металла | |
| JP5140382B2 (ja) | 蒸気放出装置、有機薄膜蒸着装置及び有機薄膜蒸着方法 | |
| TWI460370B (zh) | 液化氣體汽化方法、汽化裝置及使用該汽化方法和裝置之液化氣體供應裝置 | |
| TW200714725A (en) | Linear type deposition source | |
| MY166009A (en) | Method and apparatus for depositing a layer on a semiconductor wafer by vapor deposition in a process chamber | |
| WO2015093649A8 (ko) | 가열장치 및 이를 포함하는 코팅기구 | |
| KR101196564B1 (ko) | 균열 장치 | |
| WO2009143271A3 (en) | Skull reactor | |
| TW200715409A (en) | Source for inorganic layer and method for controlling heating source thereof | |
| CN104845645A (zh) | 焦炉煤气余热回收系统 | |
| JP6411675B2 (ja) | 堆積速度を測定するための方法及び堆積速度制御システム | |
| TW200710240A (en) | Vaporizing material at a uniform rate | |
| FR3100003B1 (fr) | Système de dépôt laser de métal | |
| RU2015118245A (ru) | Устройство и способ регулирования давления газа и управления этим давлением | |
| IL198776A0 (en) | Method and arrangement for heat treatment of substrates | |
| US248462A (en) | Tuyere for blast-furnaces | |
| NO336138B1 (no) | Fremgangsmåte for forsyning av en stormaskin-komponent med et beskyttelsesbelegg. | |
| CN205347562U (zh) | 自动送料机构 | |
| CN219972375U (zh) | 一种调质钢热处理装置 | |
| RU2427449C1 (ru) | Газостат | |
| CN101475838A (zh) | 煤气发生炉的火层检测方法及其带火层检测装置的煤气发生炉炉体 | |
| RU2016141271A (ru) | Способ и устройство для использования отходящего тепла отходящих газов для получения пара | |
| TW200624700A (en) | Gas heating method and a piping member for heating | |
| RU2008120627A (ru) | Способ и установка для проведения процесса структурного превращения в материале заготовок сухим методом | |
| PL399096A1 (pl) | Sposób wytwarzania grafenu z cieklego metalu |