[go: up one dir, main page]

RU2013117721A - Устройство и способ обработки материала при помощи сфокусированного электромагнитного излучения - Google Patents

Устройство и способ обработки материала при помощи сфокусированного электромагнитного излучения Download PDF

Info

Publication number
RU2013117721A
RU2013117721A RU2013117721/14A RU2013117721A RU2013117721A RU 2013117721 A RU2013117721 A RU 2013117721A RU 2013117721/14 A RU2013117721/14 A RU 2013117721/14A RU 2013117721 A RU2013117721 A RU 2013117721A RU 2013117721 A RU2013117721 A RU 2013117721A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
electromagnetic radiation
radiation
specified
pattern
divergence
Prior art date
Application number
RU2013117721/14A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2551921C2 (ru
Inventor
Берндт ВАРМ
Петер РИДЕЛЬ
Клаудиа ГОРШБОТ
Франциска ВОЙТТЕННЕК
Original Assignee
Уэйвлайт Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Уэйвлайт Гмбх filed Critical Уэйвлайт Гмбх
Publication of RU2013117721A publication Critical patent/RU2013117721A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2551921C2 publication Critical patent/RU2551921C2/ru

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • B23K26/046Automatically focusing the laser beam
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61FFILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
    • A61F9/00Methods or devices for treatment of the eyes; Devices for putting in contact-lenses; Devices to correct squinting; Apparatus to guide the blind; Protective devices for the eyes, carried on the body or in the hand
    • A61F9/007Methods or devices for eye surgery
    • A61F9/008Methods or devices for eye surgery using laser
    • A61F9/00825Methods or devices for eye surgery using laser for photodisruption
    • A61F9/00836Flap cutting
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/062Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam
    • B23K26/0622Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam by shaping pulses
    • B23K26/0624Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam by shaping pulses using ultrashort pulses, i.e. pulses of 1ns or less
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • B23K26/066Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms by using masks
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61FFILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
    • A61F9/00Methods or devices for treatment of the eyes; Devices for putting in contact-lenses; Devices to correct squinting; Apparatus to guide the blind; Protective devices for the eyes, carried on the body or in the hand
    • A61F9/007Methods or devices for eye surgery
    • A61F9/008Methods or devices for eye surgery using laser
    • A61F2009/00844Feedback systems
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61FFILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
    • A61F9/00Methods or devices for treatment of the eyes; Devices for putting in contact-lenses; Devices to correct squinting; Apparatus to guide the blind; Protective devices for the eyes, carried on the body or in the hand
    • A61F9/007Methods or devices for eye surgery
    • A61F9/008Methods or devices for eye surgery using laser
    • A61F2009/00861Methods or devices for eye surgery using laser adapted for treatment at a particular location
    • A61F2009/00872Cornea
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61FFILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
    • A61F9/00Methods or devices for treatment of the eyes; Devices for putting in contact-lenses; Devices to correct squinting; Apparatus to guide the blind; Protective devices for the eyes, carried on the body or in the hand
    • A61F9/007Methods or devices for eye surgery
    • A61F9/008Methods or devices for eye surgery using laser
    • A61F2009/00897Scanning mechanisms or algorithms

Landscapes

  • Optics & Photonics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Ophthalmology & Optometry (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Vascular Medicine (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Laser Surgery Devices (AREA)
  • Eye Examination Apparatus (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
  • Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)

Abstract

1. Устройство для обработки материала посредством сфокусированного электромагнитного излучения, содержащее:- источник электромагнитного излучения,- оптические компоненты, направляющие и фокусирующие излучение на или в материал,- средство для генерирования паттерна в пучке электромагнитного излучения,- по меньшей мере частично отражающую поверхность, установленную на траектории пучка перед фокусом сфокусированного излучения с возможностью проецирования на нее, по меньшей мере, частично указанного паттерна посредством по меньшей мере части указанных оптических компонентов,- по меньшей мере один детектор, выполненный с возможностью приема отраженного, посредством указанной поверхности, изображения паттерна и генерирования электрических сигналов, соответствующих указанному изображению, которое содержит информацию о положении фокуса,- компьютер, выполненный с возможностью приема указанных электрических сигналов и запрограммированный на обработку указанного изображения для генерирования электрического сигнала, зависящего от фокального положения, иэлемент регулировки расходимости, установленный на траектории пучка и выполненный с возможностью приема указанного электрического сигнала, генерируемого компьютером, и изменения расходимости электромагнитного излучения в соответствии с указанным сигналом.2. Устройство по п.1, в котором указанная поверхность установлена в месте выхода электромагнитного излучения из устройства.3. Устройство по п.1, в котором материал, подлежащий обработке, является тканью глаза, предпочтительно роговицей.4. Устройство по п.1, в котором указанным источником является лазе

Claims (11)

1. Устройство для обработки материала посредством сфокусированного электромагнитного излучения, содержащее:
- источник электромагнитного излучения,
- оптические компоненты, направляющие и фокусирующие излучение на или в материал,
- средство для генерирования паттерна в пучке электромагнитного излучения,
- по меньшей мере частично отражающую поверхность, установленную на траектории пучка перед фокусом сфокусированного излучения с возможностью проецирования на нее, по меньшей мере, частично указанного паттерна посредством по меньшей мере части указанных оптических компонентов,
- по меньшей мере один детектор, выполненный с возможностью приема отраженного, посредством указанной поверхности, изображения паттерна и генерирования электрических сигналов, соответствующих указанному изображению, которое содержит информацию о положении фокуса,
- компьютер, выполненный с возможностью приема указанных электрических сигналов и запрограммированный на обработку указанного изображения для генерирования электрического сигнала, зависящего от фокального положения, и
элемент регулировки расходимости, установленный на траектории пучка и выполненный с возможностью приема указанного электрического сигнала, генерируемого компьютером, и изменения расходимости электромагнитного излучения в соответствии с указанным сигналом.
2. Устройство по п.1, в котором указанная поверхность установлена в месте выхода электромагнитного излучения из устройства.
3. Устройство по п.1, в котором материал, подлежащий обработке, является тканью глаза, предпочтительно роговицей.
4. Устройство по п.1, в котором указанным источником является лазер, предпочтительно фемтосекундный.
5. Устройство по п.1, в котором указанная поверхность является аппланационной поверхностью, предназначенной для прижатия к роговице.
6. Устройство по п.1, в котором паттерн содержит две или более дискретные точки.
7. Устройство по п.1, в котором элемент регулировки расходимости содержит телескоп, деформируемое зеркало или деформируемую линзу.
8. Устройство по п.1, содержащее два детектора, один из которых предназначен для детектирования излучения, испускаемого указанным источником, а другой - для детектирования излучения, отраженного указанной поверхностью.
9. Устройство по п.1, в котором средство для генерирования паттерна находится в пучке электромагнитного излучения за элементом регулировки расходимости.
10. Устройство по п.1, в котором паттерн содержит дискретные точки, расположенные в форме матрицы.
11. Способ обработки материала посредством сфокусированного электромагнитного излучения, включающий:
- генерирование электромагнитного излучения посредством источника излучения,
- направление излучения на материал, подлежащий обработке,
- фокусирование излучения на или в материал,
- генерирование, посредством электромагнитного излучения, паттерна,
- установку в пучок электромагнитного излучения перед фокусом сфокусированного излучения по меньшей мере частично отражающей поверхности,
- формирование на указанной поверхности изображения указанного паттерна,
- детектирование, посредством по меньшей мере одного детектора, излучения, отраженного указанной поверхностью, причем детектируемые при этом изображения содержат информацию о положении фокуса,
- генерирование электрических сигналов, являющихся репрезентативным представлением детектированных изображений,
- обработку указанных электрических сигналов в компьютере для генерирования электрического сигнала, зависящего от фокального положения, и
- настройку расходимости генерируемого излучения в соответствии с указанным электрическим сигналом.
RU2013117721/14A 2010-09-30 2010-09-30 Устройство и способ обработки материала при помощи сфокусированного электромагнитного излучения RU2551921C2 (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/EP2010/005976 WO2012041351A1 (de) 2010-09-30 2010-09-30 Vorrichtung und verfahren für die bearbeitung von material mit fokussierter elektromagnetischer strahlung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2013117721A true RU2013117721A (ru) 2014-11-10
RU2551921C2 RU2551921C2 (ru) 2015-06-10

Family

ID=44147910

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013117721/14A RU2551921C2 (ru) 2010-09-30 2010-09-30 Устройство и способ обработки материала при помощи сфокусированного электромагнитного излучения

Country Status (14)

Country Link
EP (1) EP2621662B1 (ru)
JP (1) JP5763771B2 (ru)
KR (2) KR101679330B1 (ru)
CN (1) CN103209798B (ru)
AU (1) AU2010361365B2 (ru)
BR (1) BR112013006408A2 (ru)
CA (1) CA2809887C (ru)
DK (1) DK2621662T3 (ru)
ES (1) ES2731902T3 (ru)
MX (1) MX341543B (ru)
PL (1) PL2621662T3 (ru)
PT (1) PT2621662T (ru)
RU (1) RU2551921C2 (ru)
WO (1) WO2012041351A1 (ru)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102017215975A1 (de) * 2017-09-11 2019-03-14 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Formung eines Laserstrahls durch einen programmierbaren Strahlformer
DE102019109795B4 (de) * 2019-04-12 2023-11-30 Precitec Gmbh & Co. Kg Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen einer Fokuslage sowie zugehöriger Laserbearbeitungskopf
WO2021117001A1 (en) * 2019-12-13 2021-06-17 Alcon Inc. System and method of determining incision depths in eyes
DE102020134109B3 (de) 2020-12-18 2022-05-25 Primes GmbH Meßtechnik für die Produktion mit Laserstrahlung Vorrichtung und Verfahren zur Fokuslagen-Bestimmung
DE102020134317A1 (de) 2020-12-18 2022-06-23 Primes GmbH Meßtechnik für die Produktion mit Laserstrahlung Vorrichtung und Verfahren zur Fokuslagen-Bestimmung
DE102022101043B3 (de) 2022-01-18 2023-07-13 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein Verfahren und Laserbearbeitungseinrichtungen zur Reduzierung der Auswirkungen thermischer Linseneffekte bei der Lasermaterialbearbeitung
CN115383287B (zh) * 2022-05-24 2024-01-16 武汉松盛光电科技有限公司 一种分束式自动对焦系统及方法
CN115026414B (zh) * 2022-06-22 2024-07-26 合肥工业大学 一种激光双光子直写加工设备及其自动对焦方法
CN114951964B (zh) * 2022-07-04 2024-04-26 西安理工大学 适用于低中高功率激光的焦点判定装置及定焦方法
WO2024188409A1 (de) 2023-03-10 2024-09-19 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. Verfahren und laserbearbeitungseinrichtungen zur reduzierung der auswirkungen thermischer linseneffekte bei der lasermaterialbearbeitung

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5445146A (en) * 1995-03-31 1995-08-29 Bellinger; Gary J. Biological tissue stimulation by low level optical energy
JP3162254B2 (ja) * 1995-01-17 2001-04-25 三菱電機株式会社 レーザ加工装置
JP2000357835A (ja) * 1999-06-15 2000-12-26 Amada Eng Center Co Ltd レーザ発振器
JP2001070337A (ja) * 1999-09-01 2001-03-21 Nidek Co Ltd レーザ手術装置
US6624913B1 (en) * 2000-03-27 2003-09-23 Eastman Kodak Company Method of electronic processing of exposed photographic material
DE10120251B4 (de) * 2001-04-25 2006-03-23 Precitec Kg Verfahren und Sensorvorrichtung zur Überwachung eines an einem Werkstück durchzuführenden Laserbearbeitungsvorgangs sowie Laserbearbeitungskopf mit einer derartigen Sensorvorrichtung
US6794625B2 (en) 2001-05-15 2004-09-21 Applied Materials Dynamic automatic focusing method and apparatus using interference patterns
US6666857B2 (en) 2002-01-29 2003-12-23 Robert F. Smith Integrated wavefront-directed topography-controlled photoablation
JP3918583B2 (ja) * 2002-03-01 2007-05-23 株式会社デンソー 高密度エネルギー加工装置及び高密度エネルギー加工方法
JP2004069314A (ja) 2002-08-01 2004-03-04 Olympus Corp 焦点距離測定装置
JP2005345328A (ja) * 2004-06-04 2005-12-15 Sharp Corp 光学式物体識別装置
JP4491446B2 (ja) * 2005-11-04 2010-06-30 株式会社オーク製作所 周辺露光装置およびその方法
DE102006007750A1 (de) * 2006-02-20 2007-08-23 Wavelight Ag Verfahren und optische Anordnung zur Kontrolle der Fokustiefe eines abbildenden optischen Systems
DE102007060344A1 (de) * 2007-12-14 2009-06-18 Alpha Laser Gmbh Materialbearbeitungslaser mit Teleskop
DE102008015403A1 (de) * 2008-03-22 2009-09-24 Daimler Ag Einrichtung zum Feinbearbeiten einer Innenoberfläche einer Werkstückbohrung
ES2338723T3 (es) * 2008-04-22 2010-05-11 Wavelight Ag Dispositivo para la cirugia ocular de optica laser.
DE102009007769B4 (de) * 2009-02-05 2016-07-14 Jenoptik Automatisierungstechnik Gmbh Laserbearbeitungskopf mit integrierter Sensoreinrichtung zur Fokuslagenüberwachung

Also Published As

Publication number Publication date
CN103209798A (zh) 2013-07-17
KR20150110822A (ko) 2015-10-02
ES2731902T3 (es) 2019-11-19
CA2809887C (en) 2015-04-07
PL2621662T3 (pl) 2019-09-30
AU2010361365A1 (en) 2013-03-21
MX341543B (es) 2016-08-23
CA2809887A1 (en) 2012-04-05
WO2012041351A1 (de) 2012-04-05
PT2621662T (pt) 2019-07-17
RU2551921C2 (ru) 2015-06-10
DK2621662T3 (da) 2019-07-22
JP2014501618A (ja) 2014-01-23
MX2013003527A (es) 2013-05-22
CN103209798B (zh) 2015-11-25
BR112013006408A2 (pt) 2016-07-05
KR20130091340A (ko) 2013-08-16
EP2621662A1 (de) 2013-08-07
EP2621662B1 (de) 2019-05-01
AU2010361365B2 (en) 2014-12-11
KR101629404B1 (ko) 2016-06-13
JP5763771B2 (ja) 2015-08-12
KR101679330B1 (ko) 2016-11-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2013117721A (ru) Устройство и способ обработки материала при помощи сфокусированного электромагнитного излучения
KR101310045B1 (ko) 광학 시스템의 초점 위치를 검출하는 장치 및 방법 및 안과학적 치료 장치
JP2020504832A5 (ru)
RU2019142858A (ru) Системы и способы проецирования на глаз с управлением фокусировкой
RU2009114667A (ru) Устройство для лазерно-оптической хирургии глаза
WO2007005409A3 (en) Lpp euv plasma source material target delivery system
CN110431391B (zh) 针对极紫外光源的量测系统
RU2014147974A (ru) Офтальмологический датчик волнового фронта, действующий в режиме параллельного отбора и синхронного детектирования
MY176098A (en) Systems and methods for improved focus tracking using a light source configuration
JP2013535824A5 (ru)
JP2018151624A5 (ru)
JP2016524539A (ja) 高エネルギービームの焦点位置を決定する装置および方法
PT1105037E (pt) Aparelho e metodo para medir defeitos de visao de um olho humano
WO2007130313A3 (en) Laser safety system
JP2016511057A5 (ru)
JP2023535328A (ja) 眼内の媒質混濁の視覚化及び治療
JP2020021014A (ja) 焦点距離可変レンズ装置
RU2014124946A (ru) Устройство для проведения офтальмологической операции, способ проведения операции и контактный элемент из стекла
CN109804296A (zh) 图像投影装置
JPWO2019187958A1 (ja) 情報検出装置、映像投影装置、情報検出方法、及び映像投影方法
US9625693B2 (en) Observation apparatus
KR101279578B1 (ko) 레이저 가공용 오토포커싱 장치 및 이를 이용한 오토포커싱 방법
US10695220B2 (en) Ophthalmological laser treatment system
JP2017506944A5 (ru)
CN102642083A (zh) 激光加工机构

Legal Events

Date Code Title Description
HE9A Changing address for correspondence with an applicant
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20201001