RU2012103666A

RU2012103666A - Фильтр для дугового источника

Info

Publication number: RU2012103666A
Application number: RU2012103666/05A
Authority: RU
Inventors: Клаус БРОНДУМ
Original assignee: Вейпор Текнолоджиз Инк.
Priority date: 2011-02-03
Filing date: 2012-02-02
Publication date: 2013-08-10
Also published as: CN102628159A; US20120199070A1; AR085130A1; BR102012002561A2; IN2012DE00106A; JP2012162803A; CL2012000295A1; EP2485242A1; CA2764009A1

Abstract

1. Фильтр для системы дугового осаждения, содержащей удлиненный катод, анод и по меньшей мере одну подложку, характеризующийся тем, что содержит четное число канальных блоков, симметрично расположенных вокруг удлиненного катода, при этом канальные блоки определяют магнитное поле для направления плазмы и имеют преграждающий компонент для блокировки макрочастиц.2. Фильтр по п.1, в котором канальные блоки электрически смещены для отталкивания положительно заряженных ионов.3. Фильтр по п.1, характеризующийся тем, что расположен между катодом и подложкой.4. Фильтр по п.1, в котором соседние канальные блоки имеют противоположную магнитную полярность.5. Фильтр по п.1, в котором число канальных блоков является четным, от 2 до 8.6. Фильтр по п.1, в котором число канальных блоков равно четырем.7. Фильтр по п.1, в котором преграждающий компонент расположен на стороне канального блока, обращенной к катоду, таким образом, что блокируется линия прямой видимости между катодом и зоной подложки.8. Фильтр по п.1, в котором преграждающий компонент имеет положительно заряженную поверхность.9. Фильтр по п.1, в котором канальные блоки окружены магнитным полем, полученным пропусканием тока через канальные блоки, причем магнитное поле ориентировано перпендикулярно к удлиненной цилиндрической поверхности катода и имеет напряженность, позволяющую осуществлять направление плазмы.10. Фильтр для системы дугового осаждения, содержащей удлиненный катод, анод и по меньшей мере одну подложку, характеризующийся тем, что содержит четное число канальных блоков, симметрично расположенных вокруг удлиненного катода, при этом канальные блоки определяют ма�

Claims

1. Фильтр для системы дугового осаждения, содержащей удлиненный катод, анод и по меньшей мере одну подложку, характеризующийся тем, что содержит четное число канальных блоков, симметрично расположенных вокруг удлиненного катода, при этом канальные блоки определяют магнитное поле для направления плазмы и имеют преграждающий компонент для блокировки макрочастиц.

2. Фильтр по п.1, в котором канальные блоки электрически смещены для отталкивания положительно заряженных ионов.

3. Фильтр по п.1, характеризующийся тем, что расположен между катодом и подложкой.

4. Фильтр по п.1, в котором соседние канальные блоки имеют противоположную магнитную полярность.

5. Фильтр по п.1, в котором число канальных блоков является четным, от 2 до 8.

6. Фильтр по п.1, в котором число канальных блоков равно четырем.

7. Фильтр по п.1, в котором преграждающий компонент расположен на стороне канального блока, обращенной к катоду, таким образом, что блокируется линия прямой видимости между катодом и зоной подложки.

8. Фильтр по п.1, в котором преграждающий компонент имеет положительно заряженную поверхность.

9. Фильтр по п.1, в котором канальные блоки окружены магнитным полем, полученным пропусканием тока через канальные блоки, причем магнитное поле ориентировано перпендикулярно к удлиненной цилиндрической поверхности катода и имеет напряженность, позволяющую осуществлять направление плазмы.

10. Фильтр для системы дугового осаждения, содержащей удлиненный катод, анод и по меньшей мере одну подложку, характеризующийся тем, что содержит четное число канальных блоков, симметрично расположенных вокруг удлиненного катода, при этом канальные блоки определяют магнитное поле для направления плазмы и электрическое смещение для отталкивания положительно заряженных ионов и имеют преграждающий компонент для блокировки макрочастиц, причем поверхность преграждающего компонента электрически положительно заряжена.

11. Фильтр по п.10, характеризующийся тем, что расположен между катодом и подложкой.

12. Фильтр по п.1, в котором соседние канальные блоки имеют противоположную магнитную полярность.

13. Фильтр по п.1, в котором число канальных блоков является четным, от 2 до 8.

14. Фильтр по п.1, в котором преграждающий компонент расположен на стороне канального блока, обращенной к катоду, таким образом, что блокируется линия прямой видимости между катодом и зоной подложки.

15. Фильтр по п.1, в котором канальные блоки окружены магнитным полем, полученным пропусканием тока через канальные блоки, причем магнитное поле ориентировано перпендикулярно к удлиненной цилиндрической поверхности катода и имеет напряженность, позволяющую осуществлять направление плазмы.

16. Система дугового осаждения, содержащая:

удлиненный катод;

зону подложек, имеющую множество подложек, размещенных вокруг катода дуги;

анод, расположенный на расстоянии от удлиненного катода дуги;

отрицательно смещенную зону подложек; и

фильтр, размещенный между катодом и подложками,

при этом фильтр содержит:

четное число канальных блоков, симметрично расположенных вокруг удлиненного катода, причем канальные блоки формируют магнитное поле для направления плазмы и имеют преграждающий компонент для блокировки макрочастиц, при этом канальные блоки, необязательно, электрически смещены для отталкивания положительно заряженных ионов.

17. Система дугового осаждения по п.16, в которой соседние канальные блоки имеют противоположную магнитную полярность.

18. Система дугового осаждения по п.16, в которой число канальных блоков является четным, от 2 до 8.

19. Система дугового осаждения по п.16, в которой преграждающий компонент расположен на стороне канального блока, обращенной к катоду, таким образом, что блокируется линия прямой видимости между катодом и зоной подложки.

20. Система дугового осаждения по п.16, в которой поверхность преграждающего компонента электрически положительно заряжена.

21. Система дугового осаждения по п.16, в которой канальные блоки окружены магнитным полем, полученным пропусканием тока через канальные блоки, причем магнитное поле ориентировано перпендикулярно к удлиненной цилиндрической поверхности катода и имеет напряженность, позволяющую осуществлять направление плазмы.

22. Система дугового осаждения по п.16, дополнительно содержащая множество постоянных магнитов для изменения магнитного поля.

23. Система дугового осаждения по п.16, в которой магнитное поле имеет переменную величину, от 0 до 200 Гаусс на поверхности катода дуги, при этом магнитное поле изменяется в направлении наименьшей переменной величины ноль - 1000 Гаусс, на заданном расстоянии от поверхности катода дуги, и продолжает снижаться в направлении зоны подложек.

24. Система дугового осаждения по п.16, в которой фильтр выполнен с возможностью функционировать без смещения барьера при низкой напряженности магнитного поля, при давлении ниже 1 мТорр, так что электроны вылетают через выходы фильтра, преобразуя систему дугового осаждения в систему электронных пучков.

25. Система дугового осаждения по п.16, в которой фильтр выполнен с возможностью функционировать при низкой напряженности магнитного поля, при давлении 1 мТорр или выше, так что убегающие электроны дуги ионизируют молекулы газа, которые проходят через выходы фильтра, преобразуя систему дугового осаждения в систему пучков ионов.