RU2011107600A

RU2011107600A - Способ изготовления структуры фотоэлектрического элемента

Info

Publication number: RU2011107600A
Application number: RU2011107600/28A
Authority: RU
Inventors: Маркус КУПИХ (CH); Маркус КУПИХ; Йоханнес МАЙЕР (CH); Йоханнес МАЙЕР; Стефано БЕНАГЛИ (CH); Стефано БЕНАГЛИ; Тобиас РОШЕК (CH); Тобиас РОШЕК
Original assignee: Эрликон Солар Аг, Трюббах (Ch); Эрликон Солар Аг, Трюббах
Priority date: 2008-08-01
Filing date: 2009-07-27
Publication date: 2012-09-10
Also published as: WO2010012674A3; TW201013962A; JP2011530161A; EP2316137A2; RU2509392C2; CN102113138A; WO2010012674A2; US20110129954A1

Abstract

1. Способ изготовления структуры фотоэлектрического элемента, имеющей два электрода и содержащей по меньшей мере один слой соединения кремния, включающий в себя: ! осаждение упомянутого слоя соединения кремния на несущую структуру для упомянутого одного слоя соединения кремния, в результате чего одна поверхность упомянутого слоя соединения кремния покоится на упомянутой несущей структуре, а вторая поверхность упомянутого слоя соединения кремния является непокрытой, ! обработку второй поверхности упомянутого слоя соединения кремния в заданной кислородсодержащей атмосфере с обогащением тем самым упомянутой второй поверхности упомянутого слоя соединения кремния кислородом, ! воздействие на упомянутую обогащенную вторую поверхность окружающим воздухом. ! 2. Способ по п.1, при этом упомянутую обработку выполняют, подвергая упомянутую вторую поверхность воздействию заданной газовой атмосферы, содержащей кислород, в течение заданного времени. ! 3. Способ по п.2, при этом упомянутая газовая атмосфера находится при давлении выше давления окружающей среды. ! 4. Способ по п.2, при этом упомянутая газовая атмосфера находится при температуре выше температуры окружающей среды. ! 5. Способ по п.3, при этом упомянутая газовая атмосфера находится при температуре выше температуры окружающей среды. ! 6. Способ по п.1, при этом упомянутую обработку выполняют, подвергая упомянутую вторую поверхность в течение заданного времени воздействию заданного потока газа, содержащего кислород. ! 7. Способ по п.1, при этом упомянутую обработку выполняют, подвергая упомянутую поверхность в течение заданного количества времени воздейств�

Claims

1. Способ изготовления структуры фотоэлектрического элемента, имеющей два электрода и содержащей по меньшей мере один слой соединения кремния, включающий в себя:

осаждение упомянутого слоя соединения кремния на несущую структуру для упомянутого одного слоя соединения кремния, в результате чего одна поверхность упомянутого слоя соединения кремния покоится на упомянутой несущей структуре, а вторая поверхность упомянутого слоя соединения кремния является непокрытой,

обработку второй поверхности упомянутого слоя соединения кремния в заданной кислородсодержащей атмосфере с обогащением тем самым упомянутой второй поверхности упомянутого слоя соединения кремния кислородом,

воздействие на упомянутую обогащенную вторую поверхность окружающим воздухом.

2. Способ по п.1, при этом упомянутую обработку выполняют, подвергая упомянутую вторую поверхность воздействию заданной газовой атмосферы, содержащей кислород, в течение заданного времени.

3. Способ по п.2, при этом упомянутая газовая атмосфера находится при давлении выше давления окружающей среды.

4. Способ по п.2, при этом упомянутая газовая атмосфера находится при температуре выше температуры окружающей среды.

5. Способ по п.3, при этом упомянутая газовая атмосфера находится при температуре выше температуры окружающей среды.

6. Способ по п.1, при этом упомянутую обработку выполняют, подвергая упомянутую вторую поверхность в течение заданного времени воздействию заданного потока газа, содержащего кислород.

7. Способ по п.1, при этом упомянутую обработку выполняют, подвергая упомянутую поверхность в течение заданного количества времени воздействию термокаталитического процесса с кислородсодержащими радикалами.

8. Способ по п.2, при котором активируют газ упомянутой атмосферы плазменным разрядом.

9. Способ по п.8, где упомянутый газ упомянутой атмосферы содержит CO₂.

10. Способ по одному из пп.2 и 4-8, где упомянутая атмосфера находится при давлении вакуума.

11. Способ по п.1, где упомянутая обработка представляет собой влажную обработку.

12. Способ по одному из пп.1-9 или 11, дополнительно содержащий осаждение дополнительного слоя на упомянутой второй поверхности после упомянутого воздействия окружающей среды.

13. Способ по п.10, дополнительно содержащий осаждение дополнительного слоя на упомянутой второй поверхности после упомянутого воздействия окружающей среды.

14. Способ по п.12, где упомянутый дополнительный слой представляет собой соединение кремния.

15. Способ по п.13, где упомянутый дополнительный слой представляет собой соединение кремния.