[go: up one dir, main page]

RU2005102006A - Массовый расходомер с датчиками в виде чипа - Google Patents

Массовый расходомер с датчиками в виде чипа Download PDF

Info

Publication number
RU2005102006A
RU2005102006A RU2005102006/28A RU2005102006A RU2005102006A RU 2005102006 A RU2005102006 A RU 2005102006A RU 2005102006/28 A RU2005102006/28 A RU 2005102006/28A RU 2005102006 A RU2005102006 A RU 2005102006A RU 2005102006 A RU2005102006 A RU 2005102006A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pipeline
fluid
sensors
mass flow
temperature
Prior art date
Application number
RU2005102006/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2290610C2 (ru
Inventor
Крейг ВИНЧ (US)
Крейг ВИНЧ
Джеймс ГИБСОН (US)
Джеймс ГИБСОН
Джеймс Д ПАРСОНС (US)
Джеймс Д ПАРСОНС
Томас ФЕЛЬМАН (US)
Томас ФЕЛЬМАН
Original Assignee
Хитроникс (Us)
Хитроникс
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Хитроникс (Us), Хитроникс filed Critical Хитроникс (Us)
Publication of RU2005102006A publication Critical patent/RU2005102006A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2290610C2 publication Critical patent/RU2290610C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
    • G01F1/69—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element of resistive type
    • G01F1/692—Thin-film arrangements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6845—Micromachined devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6847—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow where sensing or heating elements are not disturbing the fluid flow, e.g. elements mounted outside the flow duct
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F5/00—Measuring a proportion of the volume flow

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Claims (12)

1. Конструкция массового расходомера (МР), содержащая трубопровод (4) для текучей среды, по меньшей мере четыре взаимно разнесенных датчика (U1,U2,D1,D2) температуры для определения температуры потока текучей среды в трубопроводе в ответ на приложенный электрический сигнал, причем указанные датчики нагревают текучую среду, протекающую по трубопроводу при прохождении приложенного сигнала и подключены по мостовой схеме с 4 датчиками для определения массового расхода среды, протекающей по трубопроводу.
2. Конструкция МР по п.1, отличающаяся тем, что датчики являются отдельными элементами и размещены симметрично относительно трубопровода.
3. Конструкция МР по п.1, отличающаяся тем, что дополнительно содержит электронную схему (56) для питания датчиков и определения массового расхода текучей среды, протекающей по трубопроводу от датчиков.
4. Конструкция МР по п.1, отличающаяся тем, что датчики содержат пару верхних по течению датчиков (U1,U2) и пару нижних по течению датчиков (D1,D2), которые подключены для определения массового расхода текучей среды как функции разности температур между верхними и нижними по течению датчиками.
5. Конструкция МР по п.4, отличающаяся тем, что мостовая схема имеет две ветви, сторону токового входа и сторону токового выхода, при этом каждая ветвь содержит верхний и нижний по течению датчики, причем верхний по течению датчик (U2) одной из ветвей расположен на стороне токового входа мостовой схемы, а верхний по течению датчик (U1) другой из ветвей расположен на стороне токового выхода.
6. Конструкция МР по п.1, отличающаяся тем, что датчики обеспечивают нагрев текучей среды в ответ на подведенный к мостовой схеме ток.
7. Конструкция МР по п.6, отличающаяся тем, что датчики имеют равные сопротивления при одинаковой температуре.
8. Конструкция массового расходомера (МР), содержащая трубопровод (4) для текучей среды, по меньшей мере один отдельный датчик температуры в виде чипа (U1), размещенный на трубопроводе для нагрева и определения температуры текучей среды в трубопроводе, электронную схему (56) для питания указанного по меньшей мере одного датчика, нагрева текучей среды, протекающей по трубопроводу и определения массового расхода текучей среды по меньшей мере одним датчиком.
9. Конструкция массового расходомера (МР), содержащая трубопровод (4) для текучей среды, по меньшей мере четыре разнесенных датчика (U1,U2,D1,D2) температуры, служащих для определения температуры потока текучей среды в трубопроводе, причем указанные датчики содержат тонкую вольфрамовую пленку (28) на соответствующей подложке AlN (30).
10. Конструкция массового расходомера (МР) содержащая трубопровод (4) для текучей среды, по меньшей мере четыре разнесенных датчика (U1,U2,D1,D2) температуры, служащих для определения температуры потока текучей среды в трубопроводе, электронную схему (56) для питания датчиков и определения массового расхода текучей среды, протекающей по трубопроводу от датчиков, управляющий клапан (54), регулирующий поток текучей среды по трубопроводу под управлением электронной схемы.
11. Конструкция массового расходомера (МР), содержащая трубопровод (4) для текучей среды, по меньшей мере один отдельный датчик (U1) температуры в виде чипа, размещенный на трубопроводе для определения температуры текучей среды в трубопроводе, электронную схему (56) для питания по меньшей мере одного датчика для нагрева жидкости, протекающей по трубопроводу, и определения массового расхода текучей среды от по меньшей мере одного датчика, при этом каждый датчик содержит тонкую вольфрамовую пленку (28) на соответствующей подложке AlN (30).
12. Конструкция массового расходомера (МР), содержащая трубопровод (4) для текучей среды, по меньшей мере, один отдельный датчик (U1) температуры в виде чипа, размещенный на трубопроводе и предназначенный для нагрева и определения температуры текучей среды в трубопроводе, электронную схему (56) для питания по меньшей мере одного датчика, осуществляющего нагрев текучей среды, протекающей по трубопроводу и определение массового расхода текучей среды по меньшей мере одного датчика, управляющий клапан (54), регулирующий поток текучей среды по трубопроводу под управлением электронной схемы.
RU2005102006/28A 2002-06-28 2003-06-28 Массовый расходомер с датчиками температуры RU2290610C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US39238002P 2002-06-28 2002-06-28
US60/392,380 2002-06-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2005102006A true RU2005102006A (ru) 2005-06-27
RU2290610C2 RU2290610C2 (ru) 2006-12-27

Family

ID=30000860

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2005102006/28A RU2290610C2 (ru) 2002-06-28 2003-06-28 Массовый расходомер с датчиками температуры

Country Status (7)

Country Link
US (2) US6883370B2 (ru)
EP (1) EP1499860A4 (ru)
JP (1) JP2005531771A (ru)
CN (1) CN100362324C (ru)
AU (1) AU2003279881A1 (ru)
RU (1) RU2290610C2 (ru)
WO (1) WO2004003483A1 (ru)

Families Citing this family (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6883370B2 (en) * 2002-06-28 2005-04-26 Heetronix Mass flow meter with chip-type sensors
US7333899B2 (en) * 2004-10-13 2008-02-19 Therm-O-Disc, Incorporated Fluid flow rate sensor and method of operation
RU2289155C2 (ru) * 2004-11-16 2006-12-10 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тверской государственный технический университет" Исполнительное устройство для регулирования потоков жидких сред в трубопроводах
JP5623015B2 (ja) * 2005-10-24 2014-11-12 ヘレーウス ゼンゾール テクノロジー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＨｅｒａｅｕｓ Ｓｅｎｓｏｒ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ＧｍｂＨ 流量センサ素子および流量センサ素子の自浄作用
JP4844252B2 (ja) * 2006-06-19 2011-12-28 株式会社島津製作所 熱式質量流量計
US7469583B2 (en) * 2007-02-21 2008-12-30 Mks Japan, Inc. Flow sensor
US7651263B2 (en) * 2007-03-01 2010-01-26 Advanced Energy Industries, Inc. Method and apparatus for measuring the temperature of a gas in a mass flow controller
WO2009051588A1 (en) 2007-10-15 2009-04-23 Micro Motion, Inc. Vibratory flow meter and method for determining a fluid temperature of a flow material
RU2443980C2 (ru) * 2007-10-15 2012-02-27 Майкро Моушн, Инк. Вибрационный расходомер и способ определения температуры жидкости текущего материала
RU2359247C1 (ru) * 2007-11-19 2009-06-20 Закрытое акционерное общество Научно-производственная фирма "СейсмоСетСервис" (ЗАО НПФ "СейсмоСетСервис") Плотномер-расходомер жидких или газообразных сред
US8485030B2 (en) * 2008-01-18 2013-07-16 Waters Technologies Corporation Thermal loop flow sensor
US20090188645A1 (en) * 2008-01-28 2009-07-30 Intec, Inc Tube fouling monitor
RU2380620C1 (ru) * 2008-08-05 2010-01-27 Закрытое Акционерное общество "ТЭРИФ-Н" Система измерения и учета поквартирного потребляемого тепла в системах теплоснабжения для двухтрубной системы
US7971480B2 (en) * 2008-10-13 2011-07-05 Hitachi Metals, Ltd. Mass flow controller having a first pair of thermal sensing elements opposing a second pair of thermal sensing elements
US8251091B2 (en) 2009-09-17 2012-08-28 Hitachi Metals, Ltd. Temperature insensitive mass flow controller
JP6039563B2 (ja) 2010-09-17 2016-12-07 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー ナノ粒子引き抜き成形加工助剤
DE102011002947B3 (de) * 2011-01-20 2012-01-26 Siemens Aktiengesellschaft Messanordnung mit in Gaswegen angeordneten elektrisch beheizten Widerständen
JPWO2015076117A1 (ja) 2013-11-20 2017-03-16 株式会社村田製作所 熱式流量センサ
NL2011975C2 (nl) * 2013-12-17 2015-06-18 Berkin Bv Stromingsmeetapparaat van het thermische type.
CA2945735C (en) * 2014-04-14 2023-02-28 National Research Council Of Canada Rear-facing airstream sensor
US10359308B2 (en) * 2014-12-12 2019-07-23 Natural Gas Solutions North America, Llc Flow meter and a method of calibration
US9791307B2 (en) 2015-03-06 2017-10-17 Alicat Scientific, Inc. Systems and methods for detecting flow of a fluid
DE102016116101A1 (de) * 2016-08-30 2018-03-01 Innovative Sensor Technology Ist Ag Sensorelement und thermischer Strömungssensor zur Messung einer physikalischen Größe eines Messmediums
CN106840287B (zh) * 2017-01-04 2020-02-11 新奥科技发展有限公司 流量传感器、流量计及流量检测方法
DE102017104162A1 (de) 2017-02-28 2018-08-30 Innovative Sensor Technology Ist Ag Sensorelement und thermischer Strömungssensor zur Bestimmung einer physikalischen Größe eines Messmediums
FR3065281B1 (fr) 2017-04-18 2019-06-14 Centre National De La Recherche Scientifique Dispositif de mesure de vitesse ou de debit de gaz
CN113366285A (zh) 2018-12-20 2021-09-07 爱德华兹生命科学公司 热质流体流量传感器
US12259739B2 (en) * 2019-04-30 2025-03-25 Illinois Tool Works Inc. Advanced pressure based mass flow controllers and diagnostics
US11262226B2 (en) 2020-02-17 2022-03-01 GWU Design Hybrid mass flow sensor including a thermal and coriolis principle measurement arrangements
US11048478B1 (en) 2020-03-03 2021-06-29 Randaemon Sp. Z O.O. Method and apparatus for tritium-based true random number generator
US10901695B1 (en) * 2020-03-03 2021-01-26 Randaemon Sp. Z O.O. Apparatus, systems, and methods for beta decay based true random number generator
US11249725B1 (en) 2021-07-22 2022-02-15 Randaemon Sp. Zo.O. Method and apparatus for highly effective on-chip true random number generator utilizing beta decay
US11586421B2 (en) 2021-07-22 2023-02-21 Randaemon Sp. Z O.O. Method for making cost-effective nickel-63 radiation source for true random number generators
US12360742B2 (en) 2021-07-22 2025-07-15 RANDAEMON sp. z o.o Method and apparatus for true random number generator based on nuclear radiation
US11281432B1 (en) 2021-07-22 2022-03-22 Randaemon Sp. Z O.O. Method and apparatus for true random number generator based on nuclear radiation
RU209259U1 (ru) * 2021-08-11 2022-02-10 Общество с ограниченной ответственностью «Квантор-Т» Плотномер-расходомер для жидких сред
US11567734B1 (en) 2021-10-22 2023-01-31 Randaemon Sp. Z O.O. Method and apparatus for highly effective on-chip quantum random number generator
US20230319971A1 (en) * 2022-03-30 2023-10-05 Applied Materials, Inc. Methods of manufacturing plasma generating cells for a plasma source
US12014153B1 (en) 2022-12-05 2024-06-18 Randaemon Sp. Z O.O. Method and apparatus for implementing on chip quantum random number generator using beta decay
US12034834B1 (en) 2023-01-30 2024-07-09 Randaemon Sp. Z O.O. Method and apparatus for steganographic cipher encryption using true random number generator

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2804850C2 (de) * 1978-02-04 1983-11-17 Degussa Ag, 6000 Frankfurt Vorrichtung zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit von Gasen
US4691566A (en) * 1984-12-07 1987-09-08 Aine Harry E Immersed thermal fluid flow sensor
US4744246A (en) * 1986-05-01 1988-05-17 Busta Heinz H Flow sensor on insulator
US5081866A (en) * 1990-05-30 1992-01-21 Yamatake-Honeywell Co., Ltd. Respiratory air flowmeter
RU2030717C1 (ru) * 1991-06-13 1995-03-10 Государственный научно-исследовательский институт биологического приборостроения Устройство для измерения разности температур
RU2018090C1 (ru) * 1991-06-28 1994-08-15 Зингер Александр Матвеевич Массовый расходомер
JP3175887B2 (ja) * 1992-10-27 2001-06-11 株式会社半導体エネルギー研究所 測定装置
JPH0989619A (ja) * 1995-07-19 1997-04-04 Ricoh Co Ltd 感熱式流量計
US5792952A (en) * 1996-05-23 1998-08-11 Varian Associates, Inc. Fluid thermal mass flow sensor
US5827960A (en) * 1997-08-28 1998-10-27 General Motors Corporation Bi-directional mass air flow sensor having mutually-heated sensor elements
JP2000227354A (ja) * 1998-12-01 2000-08-15 Nippon M K S Kk 流量センサ
US6239432B1 (en) * 1999-05-21 2001-05-29 Hetron IR radiation sensing with SIC
JP3461469B2 (ja) * 1999-07-27 2003-10-27 株式会社日立製作所 熱式空気流量センサ及び内燃機関制御装置
US6208254B1 (en) * 1999-09-15 2001-03-27 Fluid Components Intl Thermal dispersion mass flow rate and liquid level switch/transmitter
NL1014797C2 (nl) * 2000-03-30 2001-10-02 Berkin Bv Massadebietmeter.
AU2001248676A1 (en) * 2000-05-04 2001-11-12 Sensirion Ag Sensor module and a method for the production of the same
CH694474A5 (de) * 2000-06-23 2005-01-31 Sensirion Ag Gaszähler und Verwendung des Gaszählers.
JP3655838B2 (ja) * 2001-04-27 2005-06-02 三菱電機株式会社 感熱式流量センサ
US6883370B2 (en) * 2002-06-28 2005-04-26 Heetronix Mass flow meter with chip-type sensors

Also Published As

Publication number Publication date
WO2004003483A1 (en) 2004-01-08
CN100362324C (zh) 2008-01-16
US20040035201A1 (en) 2004-02-26
US7021136B2 (en) 2006-04-04
RU2290610C2 (ru) 2006-12-27
AU2003279881A1 (en) 2004-01-19
US20050087011A1 (en) 2005-04-28
EP1499860A1 (en) 2005-01-26
JP2005531771A (ja) 2005-10-20
US6883370B2 (en) 2005-04-26
EP1499860A4 (en) 2007-05-30
CN1666089A (zh) 2005-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2005102006A (ru) Массовый расходомер с датчиками в виде чипа
CN101680788B (zh) 热式流量计
US7010971B2 (en) Heating resistor type flow-measuring device having a heating resistor and a thermoresistance, whose resistance value varies in response to the ambient temperature
JPH0432328B2 (ru)
ATE267988T1 (de) Fluidtransportsystem
CA2660896A1 (en) Universal sensor controller for a thermal anemometer
ATE554370T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur messung und regelung einer flüssigkeitsströmung
WO2003016833A1 (en) Thermal type flow measuring device
KR920001181A (ko) 열식 유량계(熱式流量計)
KR960024293A (ko) 열식 유량계
US6668642B2 (en) Apparatus and method for thermal isolation of thermal mass flow sensor
US5271272A (en) Fluid flow rate measuring element
US4876887A (en) Thermal flux mass flowmeter
CN1267171A (zh) 光交换装置
JPS6180057A (ja) 熱線アネモメータ
JPS57163822A (en) Measuring device for air flow rate
RU2000103100A (ru) Способ калибровки системы измерения тепловой энергии и теплоносителя и устройство для его осуществления
WO2005098371A3 (en) Flow monitoring system
US6086251A (en) Process for operating a thermocouple to measure velocity or thermal conductivity of a gas
JPS61105422A (ja) 流量測定装置
RU1811610C (ru) Устройство дл исследовани характеристик потоков
JPH10185644A (ja) 感熱式フローセンサ
RU2321830C2 (ru) Тепловой, переменной мощности расходомер газа
TW200504337A (en) Mass flow meter with chip-type sensors
JP4575548B2 (ja) 熱式流量計

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20090629