[go: up one dir, main page]

RU2004127936A - Устройство для нагнетания текучей среды и нанесения капель - Google Patents

Устройство для нагнетания текучей среды и нанесения капель Download PDF

Info

Publication number
RU2004127936A
RU2004127936A RU2004127936/12A RU2004127936A RU2004127936A RU 2004127936 A RU2004127936 A RU 2004127936A RU 2004127936/12 A RU2004127936/12 A RU 2004127936/12A RU 2004127936 A RU2004127936 A RU 2004127936A RU 2004127936 A RU2004127936 A RU 2004127936A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
elastically deformable
chamber
channel
fluid
flat
Prior art date
Application number
RU2004127936/12A
Other languages
English (en)
Inventor
Стефен ТЕМПЛ (GB)
Стефен Темпл
Роберт ХАРВИ (GB)
Роберт ХАРВИ
Рональд ЗМУД (GB)
Рональд ЗМУД
Роберт Джонатан ЛОУ (GB)
Роберт Джонатан ЛОУ
Пол Реймонд ДРУРИ (GB)
Пол Реймонд ДРУРИ
Original Assignee
Ксаар Текнолоджи Лимитед (Gb)
Ксаар Текнолоджи Лимитед
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ксаар Текнолоджи Лимитед (Gb), Ксаар Текнолоджи Лимитед filed Critical Ксаар Текнолоджи Лимитед (Gb)
Publication of RU2004127936A publication Critical patent/RU2004127936A/ru

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1625—Manufacturing processes electroforming
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1626—Manufacturing processes etching
    • B41J2/1628—Manufacturing processes etching dry etching
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1626—Manufacturing processes etching
    • B41J2/1629—Manufacturing processes etching wet etching
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1632—Manufacturing processes machining
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1637—Manufacturing processes molding
    • B41J2/1639—Manufacturing processes molding sacrificial molding
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2002/041—Electromagnetic transducer

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Claims (25)

1. Устройство для нанесения капель, содержащее стенки камеры, ограничивающие камеру для жидкости, причем одна из указанных стенок камеры является упруго деформируемой в направлении приведения в действие; сопло для эжекции, соединенное с камерой; средство подачи жидкости для создания непрерывного потока жидкости через камеру; акустические границы, служащие для отражения акустических волн в жидкости в камере; и исполнительный механизм, вынесенный из камеры и из средства подачи жидкости, действующий в указанном направлении приведения в действие на упруго деформируемую стенку камеры, чтобы создать акустические волны в жидкости в камере и посредством этого вызвать эжекцию капель через сопло.
2. Устройство по п.1, в котором акустические границы служат для негативного отражения акустических волн в жидкости в канале.
3. Устройство по п.1, в котором упруго деформируемая стенка камеры образует уплотнение, изолирующее исполнительный механизм от текучей среды в камере.
4. Устройство по п.1, в котором указанная камера для текучей среды содержит удлиненный канал для жидкости, и упруго деформируемая стенка камеры содержит стенку удлиненного канала.
5. Устройство по любому из предыдущих пунктов, в котором упруго деформируемая стенка камеры содержит по существу жесткий элемент, который может передавать силу от исполнительного механизма к текучей среде в канале, и по меньшей мере один первый гибкий элемент.
6. Устройство по п.5, в котором указанная упруго деформируемая стенка камеры содержит множество гибких элементов, расположенных так, чтобы ограничить движение жесткого элемента в направлении приведения в действие.
7. Устройство по п.6, в котором по меньшей мере один из гибких элементов контактирует с текучей средой в канале и является жестким по отношению к давлению текучей среды.
8. Устройство по п.5, в котором гибкие элементы расположены, как соединение в виде параллелограмма, по отношению к жесткому элементу.
9. Устройство по любому из пп. 6-8, в котором исполнительный механизм содержит толкатель, действующий на жесткий элемент.
10. Устройство по п.9, в котором толкатель служит якорем в устройстве электромагнитного исполнительного механизма.
11. По существу плоский компонент для использования в устройстве для нагнетания текучей среды, содержащий: первый плоский слой, имеющий упруго деформируемые части; второй плоский слой, параллельный первому слою, имеющий соответствующие упруго деформируемые части; и множество исполнительных механизмов, имеющих направления приведения в действие, размещенных между указанными двумя слоями и соединенных с внутренними поверхностями этих двух слоев в направлении приведения в действие, перпендикулярном двум слоям; в котором исполнительные механизмы могут действовать так, чтобы деформировать выбранные упруго деформируемые части первого и второго слоев в направлении приведения в действие для того, чтобы вызвать изменение давления жидкости в контакте с наружной стороной первого плоского слоя.
12. Компонент по п.11, в котором первый плоский слой является непроницаемым.
13. Компонент по п. 11 или 12, в котором второй плоский слой является проницаемым.
14. Компонент по п. 11 или 12, в котором исполнительные механизмы содержат жесткие толкатели, соединенные между соответствующими упруго деформируемыми частями первого и второго плоских слоев.
15. Компонент по п.14, в котором толкатели ограничены первым и вторым плоскими слоями так, чтобы они двигались только в направлении приведения в действия.
16. Компонент по п.14, в котором толкатель служит якорем в устройстве электромагнитного исполнительного механизма.
17. Способ изготовления устройства для нанесения капель, имеющего первый плоский компонент, содержащий множество жестких стенок каналов, соответствующих комплекту параллельных каналов; упруго деформируемую стенку канала для каждого канала, причем указанные упруго деформируемые стенки канала находятся в общей плоскости; и второй плоский компонент, содержащий линейный исполнительный механизм для каждого канала, причем указанные исполнительные механизмы имеют соответствующие направления приведения в действие, которые являются параллельными; при этом упруго деформируемые стенки каналов расположены между первым и вторым плоскими компонентами и параллельно им в изготовленном устройстве, причем направление приведения в действие проходит перпендикулярно к указанной общей плоскости и исполнительные механизмы служат для приведения в действие соответствующих каналов посредством деформации связанных упруго деформируемых стенок каналов.
18. Способ по п.17, в котором стадия образования первого плоского компонента содержит стадию образования плоской пластины и вытравливания материала с одной плоской поверхности пластины для образования стенок канала.
19. Способ по п.18, в котором стадия образования первого плоского компонента содержит стадию вытравливания материала с другой плоской поверхности пластины для образования упруго деформируемых стенок канала.
20. Способ по п.19, в котором стадия образования первого плоского компонента содержит стадию нанесения материала после вытравливания материала с указанной одной плоской поверхности, причем стадия вытравливания материала с другой плоской поверхности пластины служит для образования слоя указанного нанесенного материала, как упруго деформируемой стенки канала.
21. Способ по п.19, в котором стадия вытравливания материала с другой плоской поверхности пластины для образования упруго деформируемых стенок канала служит для того, чтобы оставить для каждого канала толкатель, соединенный со связанной упруго деформируемой стенкой канала.
22. Способ по п.21, в котором каждый толкатель проходит по существу вдоль длины связанного с ним канала.
23. Способ по п.19, в котором стадия травления содержит глубокое реактивное ионное травление.
24. Способ по любому из пп. 17-23, в котором указанная пластина образована из кремния, и указанный нанесенный материал содержит SiO2 или SiN.
25. Способ по любому из пп. 17-23, в котором указанный второй компонент изготовлен посредством повторяющегося образования и выборочного удаления слоев.
RU2004127936/12A 2002-02-20 2003-02-20 Устройство для нагнетания текучей среды и нанесения капель RU2004127936A (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB0204010.3 2002-02-20
GBGB0204010.3A GB0204010D0 (en) 2002-02-20 2002-02-20 Droplet deposition apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2004127936A true RU2004127936A (ru) 2005-05-10

Family

ID=9931442

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2004127936/12A RU2004127936A (ru) 2002-02-20 2003-02-20 Устройство для нагнетания текучей среды и нанесения капель

Country Status (12)

Country Link
US (1) US20050212856A1 (ru)
EP (1) EP1476308A2 (ru)
JP (1) JP2005517558A (ru)
KR (1) KR20040083541A (ru)
CN (1) CN1646324A (ru)
AU (1) AU2003208430A1 (ru)
CA (1) CA2476609A1 (ru)
GB (1) GB0204010D0 (ru)
IL (1) IL163531A0 (ru)
MX (1) MXPA04008125A (ru)
RU (1) RU2004127936A (ru)
WO (1) WO2003070467A2 (ru)

Families Citing this family (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7580178B2 (en) * 2004-02-13 2009-08-25 Angstrom, Inc. Image-guided microsurgery system and method
US7330297B2 (en) * 2005-03-04 2008-02-12 Angstrom, Inc Fine control of rotation and translation of discretely controlled micromirror
US7350922B2 (en) * 2004-02-13 2008-04-01 Angstrom, Inc. Three-dimensional display using variable focal length micromirror array lens
US7474454B2 (en) * 2004-06-18 2009-01-06 Angstrom, Inc. Programmable micromirror motion control system
US7898144B2 (en) * 2006-02-04 2011-03-01 Angstrom, Inc. Multi-step microactuator providing multi-step displacement to a controlled object
US8537204B2 (en) * 2004-07-08 2013-09-17 Gyoung Il Cho 3D television broadcasting system
US7382516B2 (en) * 2004-06-18 2008-06-03 Angstrom, Inc. Discretely controlled micromirror with multi-level positions
US7751694B2 (en) * 2004-02-13 2010-07-06 Angstrom, Inc. Three-dimensional endoscope imaging and display system
US7410266B2 (en) * 2004-03-22 2008-08-12 Angstrom, Inc. Three-dimensional imaging system for robot vision
US7768571B2 (en) * 2004-03-22 2010-08-03 Angstrom, Inc. Optical tracking system using variable focal length lens
US7339746B2 (en) * 2004-03-22 2008-03-04 Angstrom, Inc. Small and fast zoom system using micromirror array lens
US7619614B2 (en) * 2004-04-12 2009-11-17 Angstrom, Inc. Three-dimensional optical mouse system
US8049776B2 (en) * 2004-04-12 2011-11-01 Angstrom, Inc. Three-dimensional camcorder
US7742232B2 (en) * 2004-04-12 2010-06-22 Angstrom, Inc. Three-dimensional imaging system
US20070115261A1 (en) * 2005-11-23 2007-05-24 Stereo Display, Inc. Virtual Keyboard input system using three-dimensional motion detection by variable focal length lens
US20070040924A1 (en) * 2005-08-19 2007-02-22 Stereo Display, Inc. Cellular phone camera with three-dimensional imaging function
US7354167B2 (en) 2004-05-27 2008-04-08 Angstrom, Inc. Beam focusing and scanning system using micromirror array lens
US7667896B2 (en) 2004-05-27 2010-02-23 Angstrom, Inc. DVD recording and reproducing system
US7777959B2 (en) * 2004-05-27 2010-08-17 Angstrom, Inc. Micromirror array lens with fixed focal length
US7489434B2 (en) 2007-05-02 2009-02-10 Angstrom, Inc. Hybrid micromirror array lens for reducing chromatic aberration
US7619807B2 (en) * 2004-11-08 2009-11-17 Angstrom, Inc. Micromirror array lens with optical surface profiles
US20060198011A1 (en) * 2005-03-04 2006-09-07 Stereo Display, Inc. Volumetric three-dimensional device using two-dimensional scanning device
US20060203117A1 (en) * 2005-03-10 2006-09-14 Stereo Display, Inc. Video monitoring system using variable focal length lens
KR100709105B1 (ko) * 2005-05-13 2007-04-19 포톤데이즈(주) 프린팅 장치
US20070041077A1 (en) * 2005-08-19 2007-02-22 Stereo Display, Inc. Pocket-sized two-dimensional image projection system
US9736346B2 (en) 2006-05-09 2017-08-15 Stereo Display, Inc Imaging system improving image resolution of the system with low resolution image sensor
US7365899B2 (en) * 2006-08-10 2008-04-29 Angstrom, Inc. Micromirror with multi-axis rotation and translation
US7589884B2 (en) * 2006-09-22 2009-09-15 Angstrom, Inc. Micromirror array lens with encapsulation of reflective metal layer and method of making the same
US7589885B2 (en) * 2006-09-22 2009-09-15 Angstrom, Inc. Micromirror array device comprising encapsulated reflective metal layer and method of making the same
US7488082B2 (en) 2006-12-12 2009-02-10 Angstrom, Inc. Discretely controlled micromirror array device with segmented electrodes
US7535618B2 (en) * 2007-03-12 2009-05-19 Angstrom, Inc. Discretely controlled micromirror device having multiple motions
US9505606B2 (en) * 2007-06-13 2016-11-29 Angstrom, Inc. MEMS actuator with discretely controlled multiple motions
US7605988B2 (en) * 2007-07-23 2009-10-20 Angstrom, Inc. Compact image taking lens system with a lens-surfaced prism
US7589916B2 (en) * 2007-08-10 2009-09-15 Angstrom, Inc. Micromirror array with iris function
US20090185067A1 (en) * 2007-12-21 2009-07-23 Stereo Display, Inc. Compact automatic focusing camera
US8810908B2 (en) * 2008-03-18 2014-08-19 Stereo Display, Inc. Binoculars with micromirror array lenses
US8622557B2 (en) * 2008-05-20 2014-01-07 Stereo Display, Inc. Micromirror array lens with self-tilted micromirrors
JP5916676B2 (ja) * 2013-09-20 2016-05-11 株式会社東芝 インクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法
US10617710B2 (en) 2014-03-12 2020-04-14 Shiseido Company, Ltd. Agent for sedating response to external stimulation in skin and method for sedating that response
CN105366625B (zh) * 2015-10-21 2017-06-23 上海大学 一种基于mems工艺的电磁力喷头
JP7289423B2 (ja) 2017-09-29 2023-06-12 キヤノン株式会社 液体吐出装置および液体吐出ヘッド
CN113737143A (zh) * 2021-08-24 2021-12-03 北海惠科半导体科技有限公司 磁控溅射装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4057807A (en) * 1976-01-15 1977-11-08 Xerox Corporation Separable liquid droplet instrument and magnetic drivers therefor
JPS5559972A (en) * 1978-10-28 1980-05-06 Seiko Epson Corp Ink jet recording head
JPS61189947A (ja) * 1985-02-19 1986-08-23 Nec Corp インクジエツト噴射ヘツド
SE463709B (sv) * 1989-05-23 1991-01-14 Facit Ab Loestagbar blaeckbehaallare foer en blaeckstraaleskrivare
US5170177A (en) * 1989-12-15 1992-12-08 Tektronix, Inc. Method of operating an ink jet to achieve high print quality and high print rate
EP0748691B1 (en) * 1995-06-12 2002-10-02 Océ-Technologies B.V. Ink-jet system
GB9713872D0 (en) 1997-07-02 1997-09-03 Xaar Ltd Droplet deposition apparatus
KR100232844B1 (ko) * 1997-10-31 1999-12-01 윤종용 잉크젯 프린터의 잉크 분사 장치
EP0931654B1 (en) * 1998-01-23 2003-12-03 Océ-Technologies B.V. Ink jet nozzle head

Also Published As

Publication number Publication date
AU2003208430A1 (en) 2003-09-09
CN1646324A (zh) 2005-07-27
CA2476609A1 (en) 2003-08-28
WO2003070467A2 (en) 2003-08-28
EP1476308A2 (en) 2004-11-17
GB0204010D0 (en) 2002-04-03
US20050212856A1 (en) 2005-09-29
IL163531A0 (en) 2005-12-18
WO2003070467A3 (en) 2003-12-04
KR20040083541A (ko) 2004-10-02
MXPA04008125A (es) 2004-11-26
JP2005517558A (ja) 2005-06-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2004127936A (ru) Устройство для нагнетания текучей среды и нанесения капель
EP3362289B1 (en) Process of manufacturing droplet jetting devices
JP3629405B2 (ja) マイクロポンプ
EP1375916B1 (en) Micro pump
DK1065378T3 (da) Elastomere mikropumpe- og mikroventilsystemer
CN1942222A (zh) 用于形成微阀的选择性接合
WO2002043615A3 (en) Microfabricated elastomeric valve and pump systems
JP3418727B2 (ja) マイクロバルブ装置及びその製作方法
US8324785B2 (en) Piezoelectric actuators
US8651630B2 (en) Fluid ejector structure
IT201900005804A1 (it) Valvola microfluidica a membrana ad attuazione piezoelettrica e relativo procedimento di fabbricazione
US20150345663A1 (en) Microvalve Device and Manufacturing Method Therefor
JP2003159697A (ja) マトリクス型アクチュエータ
CN100447467C (zh) 集成于流道内的微型阀
WO2008150210A1 (en) Micropump
US20140225950A1 (en) Microfluidic jetting device with piezoelectric actuator and method for making the same
WO2003089138A2 (en) Microfluidic device
EP1376710B1 (en) Cell driving type actuator
US7517043B2 (en) Fluidic structures
WO2000028213A1 (en) Micropump
WO2006033738A3 (en) Improved micro-fluid ejection devices and method therefor
US6933663B2 (en) Cell driving type actuator and method for manufacturing the same
JPS6228507A (ja) 電歪体駆動のアクチユエ−タ
US6886916B1 (en) Piston-driven fluid-ejection apparatus
WO2021118605A1 (en) Fluidic device die

Legal Events

Date Code Title Description
FA92 Acknowledgement of application withdrawn (lack of supplementary materials submitted)

Effective date: 20070412